Professional Documents
Culture Documents
CRT
detector OM
TEM
SEM
Principal features of an optical microscope, a transmission electron microscope and a scanning electron microscope, drawn to emphasize the similarities of overall design.
Anode
Under vacuum
Kombinasi perbesaran dan daya pisah yang lebih besar dan kemampuan deteksi unsur pada permukaan material SEM lebih teliti untuk riset dan industri
Scanning EM (SEM)
Surface relief
Transmission EM (TEM)
Structures Imaging or Diffraction 0.03 theoretical resolution 1.0 practical resolution
ELEKTRON YANG BERHAMBUR DAN DITANGKAP SEM SAAT SAMPEL DITEMBAK ELEKTRON
HAMBURAN ELEKTRON DIDETEKSI DAN ENERGINYA DITAMPILKAN DALAM BENTUK GAMBAR DAN GRAFIK
Tiap Jenis hamburan elektron ditangkap detektor yang berbeda
Tempat Sampel
Perbesaran
Depth of Field
15.5mm 0.19mm 4mm 0.4mm
Resolusi
~ 0.2mm 1-10nm
SEM mempunyai depth of field yang besar, yang dapat memfokus jumlah sampel yang lebih banyak pada satu waktu dan menghasilkan bayangan yang baik dari sampel tiga dimensi. SEM juga menghasilkan bayangan dengan resolusi tinggi, yang berarti mendekati bayangan yang dapat diuji dengan perbesaran tinggi. Kombinasi perbesaran yang lebih tinggi, dark field, resolusi yang lebih besar, dan komposisi serta informasi kristallografi membuat SEM merupakan satu dari peralatan yang paling banyak digunakan dalam penelitian, R&D industri khususnya industri semikonductor.
Morphology
The shape and size of the particles making up the object (strength, defects in IC and chips...etc.)
Composition
The elements and compounds that the object is composed of and the relative amounts of them (melting point, reactivity, hardness...etc.)
Crystallographic Information
How the grains are arranged in the object (conductivity, electrical properties, strength...etc.)
Electron Gun
e- beam
Source: L. Reimer, Scanning Electron Microscope, 2nd Ed., Springer-Verlag, 1998, p.2
Preparasi Sampel
Hindari semua air, larutan atau material-material lain yang mudah menguap dalam vakum. Permukaan harus rata untuk BSE dan OIM Tentukan jumlah sample. Samples Non-logam, seperti building materials, insulating ceramics, harus di caoting agar konduktivitas listriknya baik. Logam dan samples konduktivitas dapat diletakan langsung kedalam SEM.
Image Magnification
menghasilkan kontrol beam yang halus dari elektron yang kemudian difokuskan pada permukaan spesimen. Eelektron guns bisa dalam bentuk thermionik gun atau field-emission gun
Source of Electrons
Thermionic Gun
T: ~1500oC E: >10MV/cm
Filament
(5-50mm)
(5nm)
W and LaB6 Source Brightness Stability(%) W 3X105 ~1 LaB6 3x106 ~2 C-FEG 109 ~5 T-FEG 109 <1
Size Energy spread 50mm 3.0(eV) 5mm 1.5 5nm 0.3 20nm 0.7
Lensa Magnetik
Lensa Condenser focusing determines the beam current which impinges on the sample. Lensa Objective final probe forming determines the final spot size of the electron beam, i.e., the resolution of a SEM.
Sample stage
Coating Techniques
A Grain boundary Map can be generated by comparing the orientation between each pair of neighboring points in an OIM scan. A line is drawn separating a pair of points if the difference in orientation between the points exceeds a given tolerance angle. An Orientation Map is generated by shading each point in the OIM scan according to some parameter reflecting the orientation at each point. Both of these maps are shown overlaid on the digital micrograph from the SEM.