HEPA (High Efficiency Particulate Air) filter merupakan filter udara yang memenuhi standar efisiensi yang ditetapkan

oleh Departemen Energi Amerika Serikat (United States Department of Energy). Lapisan filter ini tersusun dari serat fibreglass yang memiliki berbagai ukuran, berdiameter antara 0.5 sampai 2.0 m (mikrometer) atau kira-kira setara akurasi masker yang dipakai di ruang operasi. Filter udara pada umumnya hanya berfungsi sebagai saringan biasa, yang mana partikel-partikel terkecil atau debu yang sangat halus masih bisa lolos dari filter. Dalam hal ini HEPA filter memiliki keunggulan jauh lebih teliti menangkap partikel berukuran mikro, ditambah dengan keunikan setiap seratnya yang memiliki sifat lengket. Meskipun partikel kotoran berukuran lebih kecil daripada celah yang terbentuk antar serat, partikel-partikel kotoran tersebut tetap tidak bisa lolos dari filter (karena menempel pada serat). Dalam menjebak partikel kotoran yang berukuran lebih kecil daripada celah antar serat, HEPA filter bekerja dalam 3 mekanisme sebagai berikut : 1. Interception : Partikel kotoran yang berukuran sedang akan mengalir mengikuti arus udara di dalam filter. Begitu partikel tersebut mengalir di dekat batang serat, maka kotoran akan ditarik dan menempel erat pada serat tersebut. 2. Impaction : Partikel kotoran yang berukuran lebih besar dan berat tidak dapat mengikuti arus udara di dalam filter. Sehingga, gerak partikel tersebut langsung terhambat oleh blokade serat, dan benar-benar menempel pada serat.

3. Diffusion : Partikel kotoran yang berukuran jauh lebih kecil pasti bertumbukan dengan molekul gas ketika dibawa oleh arus udara. Tumbukan ini menyebabkan gerak partikel menjadi tidak beraturan dan membuatnya bergerak mendekati serat. Ketika partikel tersebut mendekati serat, partikel tersebut akan ditarik dan merekat erat pada serat. HEPA filter tidak hanya digunakan pada mobil atau untuk kebutuhan medis saja, vacuum cleaner modern yang dirancang bagi penderita alergi atau konsumen yang benar-benar mementingkan kualitas udara bersih juga menggunakan HEPA filter.

Cleanroom adalah lingkungan yang terkendali di mana produk yang diproduksi. Ini adalah ruang di mana konsentrasi partikel udara dikendalikan untuk batas yang ditentukan. Menghilangkan sub-mikron kontaminasi udara benar-benar sebuah proses kontrol. Kontaminan ini dihasilkan oleh orang-orang, proses, fasilitas dan peralatan. Mereka harus terus-menerus dikeluarkan dari udara. Tingkat mana partikel-partikel ini perlu dihapus tergantung pada standar yang dibutuhkan. Standar yang paling sering digunakan adalah Standard 209E Federal. 209E adalah dokumen yang menetapkan kelas standar kebersihan udara untuk tingkat partikulat udara di cleanrooms dan zona bersih. Aturan ketat dan prosedur yang diikuti untuk mencegah kontaminasi produk. Satu-satunya cara untuk mengendalikan kontaminasi adalah untuk mengendalikan lingkungan total. Aliran udara tingkat dan arah, bertekanan, suhu, kelembaban dan penyaringan khusus semua perlu dikontrol ketat. Dan sumber dari partikel-partikel perlu dikendalikan atau dihilangkan bila memungkinkan. Ada lebih banyak ruangan yang bersih dari filter udara. Cleanrooms direncanakan dan diproduksi dengan menggunakan protokol yang ketat dan metode. Mereka sering ditemukan dalam elektronik, farmasi, farmasi, industri perangkat medis, dan lingkungan manufaktur kritis. Hanya membutuhkan sebuah monitor cepat udara di Cleanroom dibandingkan dengan kantor khas bangunan untuk melihat perbedaannya. Kantor bangunan khas berisi udara dari 500.000 sampai 1.000.000 partikel (0,5 mikron atau lebih besar) per kaki

kubik udara. Sebuah Cleanroom 100 Kelas ini dirancang untuk tidak pernah memungkinkan lebih dari 100 partikel (0,5 mikron atau lebih besar) per kaki kubik udara. Kelas 1000 dan 10.000 Kelas cleanrooms dirancang untuk membatasi partikel untuk 1000 dan 10.000 masingmasing. Sebuah rambut manusia adalah sekitar 75-100 mikron dalam diameter. Sebuah partikel 200 kali lebih kecil (0,5 mikron) dari rambut manusia dapat menyebabkan bencana besar di Cleanroom. Kontaminasi dapat menyebabkan downtime yang mahal dan biaya produksi meningkat. Bahkan, miliar dolar NASA Hubble Space Telescope rusak dan tidak tampil sebagaimana dirancang karena dari partikel lebih kecil dari 0,5 mikron. Setelah Cleanroom dibangun itu harus dijaga dan dibersihkan dengan standar tinggi yang sama. Buku panduan ini disusun untuk memberikan staf membersihkan profesional informasi tentang cara membersihkan Cleanroom.

Apa Kontaminasi?
Kontaminasi adalah proses atau perbuatan yang menyebabkan bahan atau permukaan menjadi kotor dengan zat kontaminasi. Ada dua kategori besar kontaminan permukaan: film jenis dan partikulat. Kontaminan ini dapat menghasilkan sebuah "cacat pembunuh" di sirkuit mini. Film kontaminan hanya 10 nm (nanometer) dapat secara drastis mengurangi adhesi lapisan pada wafer atau chip. Hal ini diterima secara luas bahwa partikel 0,5 mikron atau lebih besar adalah target.

Namun, beberapa industri sekarang menargetkan partikel yang lebih kecil.