Universitatea POLITEHNICA din Bucureti Facultatea de Chimie Aplicat i tiina Materialelor

Catedra de tiina i Ingineria Materialelor Oxidice i Nanomateriale

NANOMATERIALE
Curs 8 Proprieti i aplicaii ale materialelor nanostructurate

Generaliti
Materialele nanostructurate (NSM), nanocristalele sau materialele nanofazice sunt policristale cu granulometrie foarte fin, ce variaz ntre 1 i 100 nm. Primele rezultate privind prepararea NSM prin compactarea pulberilor metalice de dimensiuni nanometrice i proprietile acestora au fost studiate de ctre cercetori rui (Morokhov, I.D., Trusov, L.I., and Chizhik, S.P.), n anul 1977.

Generaliti
Totui, ideea unei modificri semnificative a proprietilor materialelor prin formarea unei structuri nanocristaline a fost formulat prima dat de H. Gleiter & co., n anii 80. Nanocristalele au devenit importante n domeniul cercetrii deoarece prezint unele proprieti semnificativ mbuntite comparativ cu aceleai policristale, dar cu granulometrii mari, obinuite.

Generaliti
Spectrul proprietilor afectate de structura nanocristalin se ntinde de la cele mecanice, la cele electronice.
Unele proprieti fizice i mecanice ale NSM s-a descoperit ca fiind semnificativ superioare materialelor convenionale, fcnd din NSM o oportunitate pentru aplicaii n inginerie. Proprietatea aliajelor nanocristaline de a se deforma superplastic la temperaturi sczute i presiuni ridicate se ateapt s scad semnificativ costul tehnologiei de producere a metalelor.

Generaliti
Spectrul proprietilor afectate de structura nanocristalin se ntinde de la cele mecanice, la cele electronice.
Rezistena mecanic, ductilitatea i rezistena la uzur pot face ca metalele i ceramicile refractare nanocristaline s fie folosite la construcia de ansambluri supuse la temperaturi nalte, cum ar fi motoarele. Proprietile magnetice mbuntite ale aliajelor nanocristaline cum ar fi coercivitatea sczut i permeabilitatea magnetic nalt le-au fcut pe acestea s fie deja folosite la transformatoare. NSM au un coeficient de difuziune cu multe ordine de mrime crescut i pot fi folosite n multe aplicaii, precum tehnologia stocrii hidrogenului.

Generaliti
Spectrul proprietilor afectate de structura nanocristalin se ntinde de la cele mecanice, la cele electronice.
acoperirile nanostructurate cresc semnificativ rezistena la uzur a materialelor. proprietile electrice i electronice modificate ale metalelor i ceramicilor covalente nanostructurate ii vor gsi aplicaii n electronic.

NMS au o importan crescut n tehnologia i viaa secolului XXI.

Generaliti
Doi factori importani sunt considerai a determina proprietile NSM:
n primul rnd, atunci cnd diametrul granulelor se apropie de civa nanometri, lungimea modular a structurii devine comparabil cu distanele caracteristice ale proceselor fizice din solide i efectele secundare sunt pronunate. O important fracie volumetric a materialelor NMS este ocupat de atomi n zone cu defecte n special la interfee. Astfel, structura atomic a interfeelor este crucial pentru proprietile acestor materiale.

Structura
Clasificare
Gleiter a clasificat NSM n funcie de forma i compoziia chimic a cristalitelor.
n funcie de form exist 3 categorii de NSM i anume cristalite: - n form de strat; - n form de tij; - echiaxiale.

Structura
Clasificare
Gleiter a clasificat NSM n funcie de forma i compoziia chimic a cristalitelor.
n funcie de compoziia chimic:
Cu cristalite i interfee de aceeai compoziie chimic; Cu cristalite de compoziii chimice diferite; Cu variaie de compoziie ntre cristale i interfee; Cu cristalite de dimensiuni nanometrice dispersate ntr-o matrice de compoziie chimic diferit.

Structura
Clasificare
Tipurile de NSM considerate constau din uniti structurale de dimensiuni nanometrice separate de interfee. Toate aceste materiale au energie liber foarte nalt, stocat n principal n interfee i sunt departe de starea de echilibru termodinamic. n consecin, sunt preparate prin procese de neechilibru.

Structura
Clasificare
Modificarea metodei sau condiiilor de obinere modific microstructura final: structura i proprietile NSM pot fi manipulate prin controlul metodelor de obinere;
- Aceasta permite generarea practic a unui numr infinit de proprieti; - Din acest motiv este dificil a controla, reproduce i stabiliza aceste proprieti.

De aceea eforturile de cercetare sunt centrate pe relaia dintre tehnica de fabricaie i microstructura / proprietile nanocristalelor.

Structura
Raportul dintre atomii aflai la interfa i cei

din masa materialului

Din studiile limitelor granulelor (interfeelor) n policristalele cu granulaii mari i bicristalele preparate artificial, limea acestora este cunoscut ca fiind de ordinul 0,51 nm. n regiunile-limit structura atomic trece de la o reea cu o anumit orientare la o reea cu alt orientare atomii de interfa nu aparin nici unuia dintre straturi, asumndu-i poziii intermediare.

Structura
Raportul dintre atomii aflai la interfa i cei

din masa materialului

Ideea de baz n confecionarea NSM postulat de Gleiter a fost reducerea dimensiunilor granulelor pn cnd numrul atomilor din zona interfeelor s fie comparabil cu acela al atomilor din reele. Dac considerm limea unei granule 1 nm, fracia volumetric a interfeelor poate fi estimat ca fiind 3/d, unde d este dimensiunea granulei.
= 30% pentru d = 10 nm; Sub 10 nm, aproape jumatate din atomi sunt situai n interfee i jonciuni.

Structura
Limitele intergranulare LG
Pentru c interfeele ocup o fraciune semnificativ a volumului NSM, structura acestora este foarte important pentru proprietile nanocristalelor. Astfel, mari eforturi au fost depuse pentru a nelege dac interfeele din NSM au o structur atomic semnificativ diferit de interfeele din materialele cu granulometrie mare.

Structura
Limitele intergranulare LG
n materiale obinute prin condensare din faz gazoas Gleiter & co. au obinut primul model al structurii atomice a interfeelor n NSM, folosind date obinute prin difracie de raze X, spectroscopie de pozitroni, spectroscopie Mssbauer, etc.
- S-a concluzionat c interfeele n NSM au o structur atomic asemntoare cu cea a gazelor densitatea de mas semnificativ redus, far aranjare spaial pe distan mic sau mare.

Structura
Limitele intergranulare LG
n materiale obinute prin condensare din faz gazoas Totui, modelul structurii interfeelor bazat pe structur asemntoare cu a gazelor a fost respins mai trziu, bazat pe noile rezultate HREM.
- Observaiile directe HREM a structurii Pd nanostructurat au artat c structura interfeelor este mai degrab similar cu interfeele convenionale de unghi nalt. - Totui, studiile HREM au artat un nivel energetic nalt al interfeelor, diferit fa de policristalele convenionale.

Structura
Limitele intergranulare LG
n materiale obinute prin condensare din faz gazoas Rezultatele controversate obinute despre NSM preparate prin aceeai tehnic au artat c problema structurii interfeelor n nanocristale nu este simpl i necesit o analiz mult mai atent a rolului variailor factori, n afar de dimensiunea granulelor:
Distribuia granulometric; Condiii de obinere; Perioada de mbtrnire; Tratamentul termic.

Structura
Limitele intergranulare LG
n materiale obinute prin cristalizare din stare amorf Datele obinute prin HREM relev c interfeele au caracteristicile interfeelor normale de unghi nalt; - Nu s-a putut detecta contrast extins din cauza interfeelor neordonate.

Structura
Limitele intergranulare LG
n materiale obinute prin mcinare cu bile Distorsiunile observate n Mssbauer au fost atribuite: spectrele de spectroscopie

- existenei unei faze cu un grad sczut de ordine pe distan scurt; sau - impuritilor din bilele de mcinare.

Se confirm ns prezena unei faze cu energie ridicat.

Structura
Deformri elastice n reeaua cristalin
Forele elastice interne sunt una dintre proprietile structurale de baza ale nanocristalelor. Aceste fore au origini diferite i joac un rol important n modificrile structurale ale nanocristalelor i proprietile acestora. Cel mai puternic instrument pentru studiul forelor interne este difracia cu raze X.

Structura
Parametrii de reea
Parametrii de reea ai nanoparticulelor izolate sunt mai mici comparativ cu cristalele brute. Contracia reelei este de obicei asociat presiunii Laplace cu originea n tensiunea superficial - care poate fi estimat ca p = /d unde este energia liber de suprafa. Fore de acelai semn, dei substanial sczute, apar n NSM compactate.
Ca rezultat, contracia reelei este ntotdeauna observat n nanocristale. Totui, datele privind schimbarea parametrilor reelelor NSM sunt nc controversate, existnd cercettori care raporteaz creterea parametrilor de reea n NMS.

Difuzia
Este una dintre proprietile-cheie ale NSM, deoarece controleaz stabilitatea structural i multe alte proprieti fizice ale acestor materiale. Coeficientul de difuzie NSM este influenat de:
Efetul de mas; Structura specific la interfa.

Difuzia
Distana caracteristic de difuziune pentru multe proprieti ale policristalelor este strns legat de ordinul de mrime al granulelor;
Scderea dimensiunii aceste proprieti. granulelor mbuntete semnificativ

Energia de activare pentru coeficientul de difuziune la limitele intergranulare n NSM este considerabil sczut fa de policristalele convenionale. Valorile sunt similare celor pentru difuziunea de suprafa.

Proprieti mecanice
Generaliti
Marele interes pentru comportamentul mecanic al materialelor nanostructurate i are originea n propritile mecanice unice observate i/sau previzionate pentru prima dat la materiale preparate prin metoda condensrii gazelor. Printre aceste prime observaii / previziuni se numr:
Modul de elasticitate sczut cu pn la 30 - 50% fa de materialele cu granulometrii convenionale; Duritate i rezisten mecanic foarte mari: rezistena pentru metalele pure nanocristaline (~ 10 nm dimensiunea granulelor) este de 2 pn la 7 ori mai mare dect cea a metalelor cu dimensiuni ale granulelor mari (>1 mm);

Proprieti mecanice
Generaliti
Marele interes pentru comportamentul mecanic al materialelor nanostructurate i are originea n propritile mecanice unice observate i/sau previzionate pentru prima dat la materiale preparate prin metoda condensrii gazelor. Printre aceste prime observaii / previziuni se numr:
O pant negativ Hall-Petch, adic n regimul nanometric, rezistena scade odat cu scderea dimensiunii particulelor (pentru metale); Ductilitate i posibil, comportament superplastic la ceramici fragile sau materiale intermetalice cu particule de dimensiuni nanometrice probabil datorit mecanismelor de deformare difuzional.

Proprieti mecanice
Generaliti
Dei exist date limitate privind comportamentul mecanic, n special comportamentul la tensiune al materialelor nanocristaline, se pot face unele extrapolri privind mecanismele de deformare.

Proprieti mecanice
Generaliti
Activitatea dislocaiilor Este probabil ca pentru dimensiunile nanometrice de la polul superior, 50 - 100 nm, activitatea de dislocare domin pentru temperaturile test < 0,5 Ttop. Odat cu scderea dimensiunii particulelor, activitatea de dislocare pare s scad; Dislocrile eseniale la dimensiuni ale granulelor sub 50 nm se presupune a fi rezultatul forelor care acioneaz n dislocri pe suprafee sau interfee.

Proprieti mecanice
Generaliti
Activitatea dislocaiilor Apariia de noi dislocaii este, de asemenea, ngreunat de dimensiunile foarte mici ale particulelor (< 10 nm); Stresul necesar pentru a activa sursele de dislocaie este invers proporional cu distana dintre pivoii dislocaiei; Deoarece granulele nanometrice limiteaz distana dintre asemenea pivoi, fora necesar pentru a activa sursele dislocaiei poate atinge valoarea teoretic a forelor de forfecare ale unui cristal fr dislocaii cu cea mai mic valoare a dimensiunii granulelor (~2nm).

Proprieti mecanice
Generaliti
Activitatea dislocaiilor Astfel, la cea mai mic valoare a dimensiunii granulelor, exist noi fenomene ce controleaz comportamentul deformrilor. S-a sugerat, de asemenea, c astfel de fenomene ar putea include translaia limitelor granulelor sau rotaii ale granulelor nsoite de fenomene de refacere local prin difuziune.

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Nanoidentare
Duritate Modulul de elasticitate Rezistena la rupere (tenacitate) Studii de micro/nanozgriere pentru a releva rezistena la uzur/zgriere Teste la ncovoiere cvasi-statice

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Nanoidentare Duritate i modul de elasticitate

Dispozitivul de nanoidentare monitorizeaz i nregistreaz ncrcarea dinamic i deplasarea identatorului - diamant n form de piramid triunghiular (Berkovich), n timpul identrii cu o rezoluie n for de 75 nN i n deplasare de 0,1 nm. Modulele de elasticitate i duritate sunt calculate pe baza relaiei ncrcare-deplasare. Vrful de ncrcare la identare depinde de proprietile mecanice ale probei un material mai dur necesit o ncrcare mai mare pentru o profunzime de identare corespunztoare.

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Nanoidentare Rezistena la rupere

Tehnica de identare pentru msurarea rezistenei la rupere pe microscal este bazat pe msurarea lungimilor fisurilor medianeradiale produse prin identare. Un identator Vickers (o piramid patrulater de diamant) este folosit la un test de microrezisten. O for de 0,5N este, n mod normal, folosit pentru identarea Vickers. Rezultatele identrii sunt examinate folosind un microscop optic pentru a msura lungimea fisurilor mediane radiale, c.

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Nanoidentare Rezistena la rupere

Rezistena la rupere formul: (KIC) este calculat folosind urmtoarea
1/ 2

E K IC H

P 3/ 2 c

este o constant empiric ce depinde de geometria identatorului; H i E sunt modulii de rezisten i elasticitate obinui prin rezultatele nanoidentrii; P vrful forei de identare; c lungimea fisurii msurat de la centrul identrii folosind un microscop optic; pentru o identare, toate fisurile sunt msurate; lungimea fisurii c este obinut prin media aritmetic a valorilor obinute prin multiple identri.

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Nanoidentare Rezistena la zgriere

n studiile de micro/nanozgriere, un identator diamant conic cu raza vrfului de aproximativ 1m i un unghi de 60 se trece peste suprafaa probei cu for progresiv, pn la apariia semnificativ de leziuni n prob; Coeficientul de frecare este monitorizat n timpul zgrierii. Pentru a obine adncimea zgrierii n timpul procesului, profilul suprafeei probei este obinut prin translaia probei la o for mic de aproximativ 0.2mN, insuficient pentru a produce leziuni unei suprafee dure.

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Nanoidentare Rezistena la zgriere

Zgrieturile de 500 m sunt fcute prin translaia probei n timp ce se variaz cresctor fora pe vrf n funcie de duritatea materialului. Adncimea propriu-zis a zgrierii este obinut prin scderea profilului iniial din adncimea zgrierii msurat n timpul testului. Pentru a msura profunzimea zgrierii dup proces, suprafaa zgriat este scanat la o ncrcare joas de 0.2mN i apoi sczut din profilul suprafeei obinut nainte de proces.

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Nanoidentare Rezistena la ncovoiere

Testele cvasi-statice de ncovoiere sunt de asemenea produse folosind un nanoidentator; Avantajul unui nanoidentator este c utilizeaz fore de pn la 500 mN, mai mult dect n AFM (pn la 100N) i poate fi folosit pentru structuri ce necesit fore mari n timpul testului. Pentru a evita strpungerea probei cu vrful identatorului n timpul testrii, se folosete un vrf bont la testele de uzur i ncovoiere identator conic de diamant cu raza 1m i unghi inclus de 60;

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Nanoidentare Rezistena la ncovoiere

Poziia de ncrcare este la centru pentru fibrele transversale i la 10m de captul liber la fibrele suport cu prindere unilateral; Un microscop optic cu mrire 1.500 X sau un AFM este folosit pentru a determina poziia de ncrcare; Proba este plasat sub identator cu o precizie de aproximativ 200 nm longitudinal i mai puin de 100 nm lateral; Modulul elastic i fora de ncovoiere a fibrelor pot fi obinute prin curbele ncrcare-deplasare.

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Nanoidentare Rezistena la oboseal

Pentru testele de oboseal, o ncrcare oscilant este aplicat i se msoar intensitatea contactului n timpul testrii. O scdere semnificativ a intensitii contactului n timpul testrii indic numrul de cicluri pn la cedare.

Metode de caracterizare la scar nanometric Nanoidentare filme SiO2/SiC Au fost realizate studii prin nanoidentare asupra unor filme de SiO2 i SiC, materiale de interes pentru obinerea micro i nanodispozitivelor electromecanice (MEMS, NEMS).
Filmul de 1m grosime de SiO2 a fost depus printr-un proces chimic catalizat de depunere din vapori n plasm (PECVD) pe un substrat de Si(111). Un strat de 3m grosime de SiC a fost format folosind un proces de depunere din vapori la presiune atmosferic (APCVD) pe un substrat de Si(100).

Proprieti mecanice

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Nanoidentare filme SiO2/SiC

Proprietile mecanice ale unor filme de SiO2 i SiC Proba Duritate Modul de Rezistena Efortul [GPa] elasticiate la rupere critic [GPa] [MPam1/2] [mN] 9,5 24,5 144 395 0,58 0,78 9,5 14

Film SiO2 Film SiC

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Nanoidentare filme SiO2/SiC

Filmul SiC prezint cea mai mic urm de identare, n comparaie cu alte materiale analizate; n plus fa de urmele identrii, fisuri radiare pot fi observate pornind din colurile urmei de identare filmul SiC prezint cea mai mare lungime a fisurilor radiare;
Deoarece filmul SiC e monocristalin, nu exist interfee care s opreasc propagarea fisurilor sau s schimbe direcia acestora; De aceea filmul SiC prezint o rezisten mai sczut la rupere fa de policristalele SiC brute de 3,6MPam1/2.

Imagini optice ale identrii Vickers fcute cu for normal - 0,5N timp de 15 s pe filmul SiC

Comparaie ntre coeficientul de frecare i profunzimea zgrierii n funcie de ncrcarea progresiv. Imagini de microscopie optic ale zgrieturilor: la nceputul zonei de zgriere - A unde ceoficientul de frecare a crescut mult sau rapid - B la sfritul zonei - C

Coef. de frecare d

Regiunea A

Regiunea B

Regiunea C

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Microscopia atomic de for Rezistena la ncovoiere

Teste de ncovoiere nanostatice ale dispozitivelor fixe nanoprobe fcute folosind un AFM;

Imagini SEM al unui ansamblu de nanoprobe de Si sau SiO2

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Microscopia atomic de for Rezistena la ncovoiere

Teste de ncovoiere cvasi-statice ale dispozitivului de nanoprobe sunt fcute prin folosirea unui AFM;

Schema unei nanofibre tipice Seciunea transversal trapezoidal se datoreaz formrii n mediu umed n timpul fabricrii.

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Microscopia atomic de for Rezistena la ncovoiere

Un vrf de diamant n form de piramid triunghiular (raza aproximativ 200 nm) montat pe o lam dreptunghiular de oel inoxidabil este folosit pentru testele de ncovoiere; Tableta cu dispozitivul de nanofibre este fixat pe o suprafa plan de prob folosind o banda dublu-adeziv; Pentru testul de ncovoiere, vrful este trecut peste dispozitivul de nanofibre cu ajutorul unui AFM i al unui microscop optic puternic, incorporat.

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Microscopia atomic de for Rezistena la ncovoiere

Pentru poziionarea precis a vrfului peste o fibr aleas, aria este scanat prin contact cu o for de 24N, care produce leziuni neglijabile probei;
Dup scanare, vrful este poziionat la un capt al fibrei alese;
Fotodetector Diod laser

Piezo-tub de scanare

Prob nanostructurat Suport de prob

Vrf de diamant i suport flexibil din oel

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Microscopia atomic de for Rezistena la ncovoiere

Pentru poziionarea precis a vrfului peste o fibr aleas, aria este scanat prin contact cu o for de 24N, care produce leziuni neglijabile probei;
Pentru poziionarea vrfului n centrul zonei fibrei, acesta e micat la cellalt capt al razei prin aplicarea unui voltaj de contrabalansare la X-piezo;
Fotodetector Diod laser

Piezo-tub de scanare

Prob nanostructurat Suport de prob

Vrf de diamant i suport flexibil din oel

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Microscopia atomic de for Rezistena la ncovoiere

Pentru poziionarea precis a vrfului peste o fibr aleas, aria este scanat prin contact cu o for de 24N, care produce leziuni neglijabile probei;
jumtate din for este aplicat la X-piezo dup ce vrful este poziionat la un capt al fibrei rezultatul fiind de obicei miscarea vrfului ctre centrul zonei.
Fotodetector Diod laser

Piezo-tub de scanare

Prob nanostructurat Suport de prob

Vrf de diamant i suport flexibil din oel

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Microscopia atomic de for Rezistena la ncovoiere

Odat ce vrful a fost poziionat n centrul zonei ocupate de fibr, vrful e meninut staionar fr baleiaj i Z-piezo este extins pe o distan cunoscut, n mod normal 2,5m, la o vitez de 10 nm/s;
DVAFM Dpiezo Piezo-tub de scanare

n acest timp, semnalul de deflecie vertical (dVAFM), care e proporional cu deflexia suportului (Dvrf) este monitorizat.
Dprob

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Microscopia atomic de for Rezistena la ncovoiere

Odat ce vrful a fost poziionat n centrul zonei ocupate de fibr, vrful e meninut staionar fr baleiaj i Z-piezo este extins pe o distan cunoscut, n mod normal 2,5m, la o vitez de 10 nm/s;
DVAFM

Deplasarea piezo-tubului este egal cu suma deplasrilor cantileverului i a nanoprobei. Astfel, deplasarea nanoprobei (Dprob) n punctul de aciune a forei poate fi determinat ca Dprob = Dpiezo Dvrf .

Dpiezo Piezo-tub de scanare

Dprob

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Microscopia atomic de for Rezistena la ncovoiere

Fora aplicat asupra nanoprobei (Fprob) este aceeai cu cea aplicat asupra vrfului / cantileverului (Fvrf).
DVAFM Piezo-tub de scanare Dpiezo

Dprob

Fprob

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Microscopia atomic de for Rezistena la ncovoiere

Rezistena la ncovoiere va fi calculat pe baza unor ecuaii, innd cont de fora maxim aplicat asupra probei, care conduce la rupere. Metoda permite i evaluarea prin calcul a modulului de elasticitate.
DVAFM Piezo-tub de scanare Dpiezo

Dprob

Fprob

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Microscopia atomic de for Rezistena la rupere

Vrf de diamant

La nceput, o fisur de geometrie cunoscut este introdus n regiunea de tensiuni de rupere maxime, de ex. la suprafaa exterioar din apropierea unui capt al probei. Prin ncovoierea probei ca n figur, eforturile vor fi concentrate sub fisur. Acest lucru va duce la ruperea probei sub fisur, atunci cnd se atinge o for critic (for de rupere).

Proba

Suport

Concentrarea eforturilor

Frupere

Metode de caracterizare la scar nanometric

Proprieti mecanice

Microscopia atomic de for Rezistena la oboseal

n mod similar testului la ncovoiere, vrful de diamant este mai nti, poziionat la centrul probei. Pentru a asigura faptul c vrful este ntotdeauna n contact cu proba (fr a avea un impact asupra ei), piesa piezo este, mai nti alungit cu distana D1, ceea ce asigur un efort minim asupra probei. Dup aceast alungire, o deplasare ciclic de amplitudine D2, este aplicat continuu pn cnd are loc ruperea probei.

Proprieti mecanice
Elasticitatea
De obicei, se consider c proprietile elastice ale solidelor cristaline nu depind de structur. Msurtorile efectuate asupra materialelor nanostructurate au artat o scdere semnificativ a modulelor lui Young i a celui de forfecare.
Valorile reduse obinute pentru cele dou module msurate pentru materialele nanostructurate obinute prin compactarea pulberilor au fost atribuite nivelului ridicat de porozitate din aceste materiale. De asemenea, exist o tendin de scdere a modului de elasticitate, din cauze intrinseci, semnificativ doar pentru granulometrii foarte mici (d < 10 nm). Aceast scdere este asociat cu o cretere a componentei interfaciale, care are un modul de elasticitate mai redus, datorit creterii volumului specific.

Proprieti mecanice
Elasticitatea
De obicei, se consider c proprietile elastice ale solidelor cristaline nu depind de structur. Msurtorile efectuate asupra materialelor nanostructurate au artat o scdere semnificativ a modulelor lui Young i a celui de forfecare.
Diferite modificri ale modulului E pentru aceeai granulometrie i densitate pot fi legate de diferite stri ale suprafeelor granulare: la echilibru sau la neechilibru. Sinterizarea, proces ce elimin porozitatea, conduce i la obinerea unor suprafee granulare mai relaxate, fapt ce contribuie la recuperarea modulelor.

Proprieti mecanice
Duritate
Duritatea, rezistena mecanic i comportamentul la deformare materialelor nanocristaline sunt proprieti unice i nu sunt nc pe deplin nelese. Duritatea i rezistena mecanic ale materialelor cu granulometrii convenionale (diametrul granulei, d > 1 mm) este o funcie de dimensiunea granulelor.
Atunci cnd dimensiunea granulelor este redus la regim nanometric (< 100 nm), duritatea, n mod normal, crete odat cu scderea granulometriei i poate fi de 2 pn la de 7 ori mai mare pentru metale nano pure (10 nm dimensiunea granulelor) dect pentru metalele cu granule mari (> 1 m).

Ductilitate i rezistena la rupere

Este un fenomen cunoscut faptul c dimensiunea granulelor are un efect puternic asupra dusctilitii i rezistenei la rupere a materialelor cu granulometrii convenionale (> 1 mm).
La baz, distrugerea mecanic, fenomen care limiteaz ductilitatea, este generat de disclocaii i fisuri; Nucleaia i propagarea fisurilor pot fi folosite pentru a explica dependena rezistenei la rupere de dimensiunea granulelor; Ameliorarea granulometriei poate face mai dificil propagarea fisurilor i, drept consecin, n cazul materialelor cu granulometrii convenionale, duce la creterea rezistenei la rupere aparente.

Proprieti mecanice

Ductilitate i rezistena la rupere

Materialele ceramice fragile pot prezenta caracteristici de ductilitate atunci cnd au structuri nanocristaline.
S-a studiat comportamentul plastic aparent la compresiune al CaF2 nanocristaline la 80C i al TiO2 nanocristalin la 180C. Aceste observaii au fost atribuite dilatrii difuzionale mbuntite ce produce fenomenul de plasticitate la aceste temperaturi, unde materialele cu granulometrii convenionale ar eua n regim elastic. Aceste rezultate nu au putut fi reproduse i se crede c natura poroas a acestor probe a fost respnsabil de comportamentul aparent ductil.

Proprieti mecanice

Proprieti mecanice
Superplasticitate
Superplasticitatea este capacitatea unor anumite materiale policristaline de a prezenta deformri foarte mari la alungire, fr rupere;
n mod normal, alungiri de 100% pn la 1000% sunt considerate ca fiind caracteristice acestui fenomen.

Odat cu scderea dimensiunii granulelor s-a constatat c:

temperatura la care apare fenomenul de superplasticitate este mai mic; tensiunea la care apare superplasticitatea este mai mare.

Proprieti mecanice
Superplasticitate
Chiar dac fenomenul de superplasticitate de joas temperatur nu s-a observat la materialele nanostructurate, un comportament superplastic mbuntit a fost observat la temperaturi mari, considernd intervalele de temperatur ca fiind sczute pentru superplasticitate i, probabil mai semnificativ pentru un regim de tensiuni mai mari. Foarte multe lucruri trebuie nelese despre comportamentul superplastic al materialelor nanostructurate, totui, posibilitatea utilizrii unor fore considerate convenionale pentru fasonare prezint implicaii industriale majore.
Din acest punct de vedere, de un interes deosebit se bucur fasonarea materialelor ceramice cu forme deosebite.

MEMS / NEMS
Sistemele microelectromecanice (MEMS) se refer la dispozitivele microscopice care au o lungime caracteristic mai mic de 1mm, dar mai mare de 1m i combin componente electrice i mecanice.
Masa unei structuri microelectromecanice de siliciu poate ajunge chiar i la 1 nN.

Imagine microscopic a unui MEMS / NEMS

MEMS / NEMS
Sistemele nanoelectromecanice (NEMS) se refer la dispozitive nanometrice care au o lungime caracteristic mai mic de 1m i combin componente electrice i mecanice.
NEMS pot fi realizate cu o mas redus de pn la 1020 N i cu seciuni transversale de circa 10 nm.

Imagine microscopic a unui MEMS / NEMS

MEMS / NEMS
Nano i micro dispozitivele sunt dispozitivele electromagnetice integrate de dimensiuni nano i micrometrice care: (1) convertesc stimuli fizici n semnale mecanice sau electrice i vice versa, i (2) realizeaz propulsia i recepia senzorial.

MEMS / NEMS
Pn n prezent au fost realizate o larg varietate de sisteme microelectromecanice MEMS, cu dimensiuni plecnd de la civa microni pn la cteva mii, printre care:
Dispozitive pe baz de Si; Senzori i actuatori chimici i biologici; Structuri miniaturale non siliciu (de ex., dispozitive din materiale plastice sau ceramice).

De asemenea, au fost produse i diferite sisteme nanoelectromecanice NEMS.

MEMS / NEMS
Dou dintre cele mai importante aplicaii industriale ale MEMS sunt:
accelerometrul (cca. 85 milioane de uniti n 2002) msoar acceleraia autovehiculelor; rezultatele merg ctre un procesor care decide asupra declanrii airbag-urilor. microoglinzi digitale (venituri de cca. 400 milioane dolari n 2002).

Microoglind ce poate fi ridicat sau cobort cu ajutorul unui micromotor

MEMS / NEMS
Sistemele BIOMEMS i BIONEMS se folosesc din ce n ce mai mult n aplicaii comerciale.
Cea mai mare parte a aplicaiilor BIOMEMS includ senzori de sanguini pe baz de siliciu pentru monitorizarea presiunii sanguine (cca. 20 milioane de uniti n 2002) i o larg varietate de biosenzori.

MEMS / NEMS
Integritatea structural prezint o importan capital n utilizarea tuturor dispozitivelor.
Tensiunile aplicate n timpul utilizrii dispozitivelor pot conduce la avarierea componentelor; Fisurile se pot dezvolta sau propaga sub forele de traciune, ducnd, de asemenea, la avarii; Frecarea i uzura limiteaz durata de via i compromit performanele i sigurana dispozitivelor ce includ i micare.

Majoritatea aplicaiilor MEMS/NEMS necesit siguran extrem. Inginerii i designerii MEMS/NEMS doresc proprieti mecanice la scar nanometric.

MEMS / NEMS
Majoritatea materialelor folosite n mod obinuit pentru aplicaii MEMS/NEMS sunt materiale pe baz de siliciu sau monocristale de siliciu (de ex., SiO2 i filme polisiliconice depuse prin metoda depunerii chimice din vapori la presiune sczut - LPCVD).
Un studiu recent a artat faptul c siliciul este un material cu proprieti mecanice deosebite, n plus fa de proprietile sale electronice favorabile.

MEMS / NEMS
Filme de monocristal 3C-SiC (cubic sau -SiC) depuse prin procesul de depunere chimic din vapori la presiune atmosferic (APCVD) pe substraturi de siliciu cu suprafee mari, sunt produse pentru aplicaii cu micro / nano senzori i actuatoare de temperatur ridicat. Aliaje amorfe pot fi formate att pe substraturi metalice sau de siliciu prin tehnici precum sputtering i placare, dovedind o flexibilitate sporit n integrarea superficial. Filme subiri amorfe de Ni-P au fost utilizate pentru realizarea de microdispozitive, n special folosind aa numitele tehnici LIGA (litografie cu raze X, electrodepunere i modelare).

MEMS / NEMS
Micro / nanomecanismele au nevoie de conductori pentru energie, de asemenea de semnale electrice / magnetice pentru a fi funcionale. Filmele electroplacate cu aur i-au gsit aplicaii largi n mecanismele electronice, datorit simplitii proceselor i grosimei foarte mici a filmului. Folosirea de filme SiC, Ni-P i Au mpreun cu materiale pe baz de siliciu sau siliciu deschid noi oportuniti pentru aparatele bazate pe MEMS/NEMS.

MEMS / NEMS

Mecanisme complexe de ncuiere pot fi acionate de un micro-motor i fore electrostatice