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Sistemas Micro Electro Mecánicos y Aplicacione

Sistemas Micro Electro Mecánicos y Aplicacione

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Capitulo 1. Introducci\u00f3n.

Las siglas MEMS son en conjunto, un acr\u00f3nimo para denotar a lo que actualmente se conoce como Sistemas Micro Electro Mec\u00e1nicos, los cuales integran elementos mec\u00e1nicos, sensores, actuadores y dispositivos electr\u00f3nicos agrupados en su conjunto en un substrato u \u201coblea\u201d com\u00fan de silicio, mediante el uso de tecnolog\u00eda aplicada en micro fabricaci\u00f3n. Esta tecnolog\u00eda abarca una colecci\u00f3n muy variada de procesos, permitiendo as\u00ed el formado de micro l\u00e1minas de manera individual o tambi\u00e9n de forma apilada.

Aunque contamos con una definici\u00f3n concreta acerca de estos dispositivos; en algunas partes de Europa y Asia se les conoce como Micro Sistemas y/o Micro Maquinas.

1.1 Definici\u00f3n de MEMS

Un microsistema puede ser considerado como cualquier dispositivo o unidad hecha de un n\u00famero finito de componentes micro-maquinados. El t\u00e9rmino MEMS surgi\u00f3 en Estados Unidos en la d\u00e9cada de 1990, despu\u00e9s de aquel tan nombrado per\u00edodo tecnol\u00f3gico que fue denominado como el de Micro Fabricaci\u00f3n de Silicio; aunado a esto podemos establecer que el inicio de los Sistemas Micro Electro Mec\u00e1nicos como tal data aproximadamente 56 a\u00f1os atr\u00e1s, justo a principios de la d\u00e9cada de 1950 con el descubrimiento de los semiconductores en los Laboratorios Bell.

Existe tambi\u00e9n, un acr\u00f3nimo similar denotado como MOEMS, el cual hace referencia a una ramificaci\u00f3n de los Sistemas Micro Electro Mec\u00e1nicos pero con la diferencia de que estos dispositivos realizan funciones \u00f3pticas; lo anterior se cita como breviario cultural, pero cabe destacar que no va a ser objeto de estudio de la presente tesis.

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1.2 Ejemplos de Sistemas Micro Electro Mec\u00e1nicos y Aplicaciones.

Estos elementos se han venido desarrollando desde principios de 1970, fue a partir de este periodo cuando estos dispositivos se empezaron a desarrollar como elementos integrantes de sensores de presi\u00f3n, temperatura, aceleraci\u00f3n, sensores de flujo, inyectores de impresi\u00f3n, sensores de gases, micro motores, micro engranes, entre otros.

Dichos dispositivos tambi\u00e9n fueron utilizados para abrir o cerrar circuitos en l\u00edneas de transmisi\u00f3n, lo que provoc\u00f3 como su siguiente apertura en el mercado, su uso en aplicaciones de microondas.

En este paso se utilizaron MEMS interruptores, conmutadores relevadores; provocando con esto que de manera directa la tecnolog\u00eda tenga un gran impacto sobre las propiedades de los mismos, ya que estas cambian por la interacci\u00f3n con su respectivo ambiente de trabajo.

Los MEMS traducidos a la realidad como dispositivos tecnol\u00f3gicos; son extremadamente diversos y f\u00e9rtiles en cualquier tipo de aplicaciones sobre las que podamos especular su uso, as\u00ed como tambi\u00e9n en la forma en que dichos elementos pueden ser dise\u00f1ados y manufacturados.

La tecnolog\u00eda impl\u00edcita dentro de los Sistemas Micro Electro Mec\u00e1nicos hace posible la integraci\u00f3n y el uso de micro electr\u00f3nica con una percepci\u00f3n activa y funciones de control es por eso que tiene, de una forma muy amplia y concreta su expansi\u00f3n en las \u00e1reas de dise\u00f1o y aplicaciones en espacio.

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