E LE C TR O N M I C R O S C O P Y

E LE C TR O N M I C R O S C O P Y
1 3 :1 0
1 3 :1 0

1 6 :0 0 , N o v. 5 , 2 0 0 7
1 6 :0 0 , N o v. 5 , 2 0 0 7
I n stitu te o f P h ysics, Aca d e m ia S in ica
I n stitu te o f P h ysics, Aca d e m ia S in ica
Tu n g H su
Tu n g H su
D e p a rtm e n t o f M a te ria ls S cie n ce a n d E n gin e e rin g
D e p a rtm e n t o f M a te ria ls S cie n ce a n d E n gin e e rin g
N a tio n a l Tsin g H u a U n ive rsity
N a tio n a l Tsin g H u a U n ive rsity
H sin ch u 3 0 0 , TAI WAN
H sin ch u 3 0 0 , TAI WAN
Te l. 0 3
Te l. 0 3
-
-
5 7 4 2 5 6 4
5 7 4 2 5 6 4
E
E
-
-
m a il
m a il
th su @ m x.n th u .e d u .tw
th su @ m x.n th u .e d u .tw
R e fe re n ce s: R e fe re n ce s:
" Tra n sm issio n E le ctro n M icro sco p y" D .B . Willia m s a n d C . B . C " Tra n sm issio n E le ctro n M icro sco p y" D .B . Willia m s a n d C . B . C a rte r, 1 9 9 6 , a rte r, 1 9 9 6 ,
P le n u m . P le n u m .
" S ca n n in g E le ctro n M icro sco p y a n d X " S ca n n in g E le ctro n M icro sco p y a n d X- -ra y M icro a n a lysis" J.I . G o ld ste in , D .E . ra y M icro a n a lysis" J.I . G o ld ste in , D .E .
N e wb u ry, P . E ch in , D .C . Jo y, C .E . Lym a n , E . Lifsh in , L. S a wye r, N e wb u ry, P . E ch in , D .C . Jo y, C .E . Lym a n , E . Lifsh in , L. S a wye r, a n d J.R . M ich a e l, a n d J.R . M ich a e l,
3 rd e d , 2 0 0 3 , K lu we r/P le n u m . 3 rd e d , 2 0 0 3 , K lu we r/P le n u m .
" D iffra ctio n P h ysics" J.M . C o wle y, 3 rd e d , 1 9 9 5 , N o rth " D iffra ctio n P h ysics" J.M . C o wle y, 3 rd e d , 1 9 9 5 , N o rth - -H o lla n d . H o lla n d .
" E le ctro n M icro sco p y o f Th in C rysta ls" P . H irsch , A. H o wie , " E le ctro n M icro sco p y o f Th in C rysta ls" P . H irsch , A. H o wie , R .B . N ich o lso n , R .B . N ich o lso n ,
D .W. P a sh le y, a n d M .J. Wh e la n ; 2 n d e d ., 1 9 7 7 , R o b e rt E . K rie ge r. D .W. P a sh le y, a n d M .J. Wh e la n ; 2 n d e d ., 1 9 7 7 , R o b e rt E . K rie ge r.
" P ra ctica l E le ctro n M icro sco p y in M a te ria ls S cie n ce " J. W. E " P ra ctica l E le ctro n M icro sco p y in M a te ria ls S cie n ce " J. W. E d in gto n , l9 7 6 , d in gto n , l9 7 6 ,
Va n N o stra n d R e in h o ld . Va n N o stra n d R e in h o ld .
" P ro ce d u re s in E le ctro n M icro sco p y" , e d s. A.W. R o b a rd s a n d A " P ro ce d u re s in E le ctro n M icro sco p y" , e d s. A.W. R o b a rd s a n d A.J. Wilso n , .J. Wilso n ,
1 9 9 6 (o r la te r), Wile y. 1 9 9 6 (o r la te r), Wile y.
" Atla s o f O p tica l Tra n sfo rm s" G . H a rb u rn , C .A. Ta ylo r, a n d T " Atla s o f O p tica l Tra n sfo rm s" G . H a rb u rn , C .A. Ta ylo r, a n d T. R . We lb e rry; . R . We lb e rry;
1 9 6 7 , C o rn e ll U n ive rsity. 1 9 6 7 , C o rn e ll U n ive rsity.
D igita lM icro gra p h D igita lM icro gra p h , G a ta n , I n c. , G a ta n , I n c.
O u tlin e :
O u tlin e :
I n tro d u ctio n
I n tro d u ctio n
Th e E le ctro n m icro sco p e
Th e E le ctro n m icro sco p e
P rin cip le o f im a ge fo rm a tio n
P rin cip le o f im a ge fo rm a tio n
D iffra ctio n
D iffra ctio n
S p e cim e n p re p a ra tio n
S p e cim e n p re p a ra tio n
C o n tra st
C o n tra st
S ca n n in g e le ctro n m icro sco p y
S ca n n in g e le ctro n m icro sco p y
E le ctro n m icro p ro b e / An a lytica l e le ctro n
E le ctro n m icro p ro b e / An a lytica l e le ctro n
m icro sco p y
m icro sco p y
I n tro d u ctio n : I n tro d u ctio n :
Wh y e le ctro n m icro sco p y? Wh y e le ctro n m icro sco p y?
S e n sitivity: S e n sitivity:
B e a m /so lid (sp e cim e n ) in te ra ctio n B e a m /so lid (sp e cim e n ) in te ra ctio n
(S p a tia l) R e so lu tio n : (S p a tia l) R e so lu tio n :
M icro sco p y vs. m icro p ro b e M icro sco p y vs. m icro p ro b e
Wa ve le n gth , p ro p e rtie s o f le n s Wa ve le n gth , p ro p e rtie s o f le n s
B e a m /so lid in te ra ctio n B e a m /so lid in te ra ctio n
I n fo rm a tio n o th e r th a n th e im a ge I n fo rm a tio n o th e r th a n th e im a ge
A b rie f h isto ry o f e le ctro n m icro sco p y A b rie f h isto ry o f e le ctro n m icro sco p y
Tra d itio n a l m a te ria ls Tra d itio n a l m a te ria ls
ch a ra cte riza tio n : ch a ra cte riza tio n :
in cid e n ce b e a m (p ro b e ): in cid e n ce b e a m (p ro b e ):
p h o to n p h o to n
e xit b e a m (sign a l): p h o to n e xit b e a m (sign a l): p h o to n
d e te cto r: e ye d e te cto r: e ye
p ro ce sso r/sto ra ge : b ra in p ro ce sso r/sto ra ge : b ra in
(re f. Ta iyo ) (re f. Ta iyo )
Wh y e le ctro n m icro sco p y? Wh y e le ctro n m icro sco p y?
S e n sitivity: S e n sitivity:
B e a m /so lid (sp e cim e n ) B e a m /so lid (sp e cim e n )
in te ra ctio n in te ra ctio n
e le ctro n e le ctro n
b e a m b e a m
ligh t ligh t B S E B S E
X X- -ra ys S E ra ys S E
Au ge r Au ge r
e le ctro n s e le ctro n s
sp e cim e n sp e cim e n
h e a t h e a t
m a gn e tic fie ld m a gn e tic fie ld
c cu rre n t u rre n t
in e la stic in e la stic
e la stic e la stic
d ire ct sca tte d ire ct sca tte re d re d
b e a m b e a m b e a m b e a m
Wh y e le ctro n m icro sco p y (E M )? Wh y e le ctro n m icro sco p y (E M )?
I n fo rm a tio n o b ta in a b le fro m E M I n fo rm a tio n o b ta in a b le fro m E M
B e a m /so lid in te ra ctio n B e a m /so lid in te ra ctio n
im a ge : m o rp h o lo gy im a ge : m o rp h o lo gy
sca tte rin g p o we r sca tte rin g p o we r
crysta l stru ctu re crysta l stru ctu re
crysta l d e fe cts crysta l d e fe cts
a to m ic stru ctu re a to m ic stru ctu re
o th e r th a n th e im a ge : o th e r th a n th e im a ge :
(ch e m ica l) e le m e n ta l co m p o sitio n (ch e m ica l) e le m e n ta l co m p o sitio n
e le ctro n ic stru ctu re e le ctro n ic stru ctu re
(S p a tia l) R e so lu tio n : (S p a tia l) R e so lu tio n :
M icro sco p y vs. m icro p ro b e M icro sco p y vs. m icro p ro b e
Wa ve le n gth , p ro p e rtie s o f le n s Wa ve le n gth , p ro p e rtie s o f le n s
A b rie f h isto ry o f
A b rie f h isto ry o f
e le ctro n
e le ctro n
m icro sco p y
m icro sco p y
(vg)
(vg)
Va rio u s E le ctro n Va rio u s E le ctro n
M icro sco p e s M icro sco p e s
(vg) (vg)
Th e E le ctro n m icro sco p e Th e E le ctro n m icro sco p e
S tru ctu re a n d m a jo r co m p o n e n ts S tru ctu re a n d m a jo r co m p o n e n ts
O p e ra tio n O p e ra tio n
Th e E le ctro n Th e E le ctro n
m icro sco p e m icro sco p e
S tru ctu re a n d m a jo r S tru ctu re a n d m a jo r
co m p o n e n ts co m p o n e n ts
Th e E le ctro n O p tics C o lu m n Th e E le ctro n O p tics C o lu m n
o f JE O L JE M o f JE O L JE M - -1 0 0 C 1 0 0 C
Th e Le n s S yste m : Th e Le n s S yste m :
C o n d e n se r Le n s: C o n d e n se r Le n s:
C o n tro ls b e a m in te n sity, d e n sity, C o n tro ls b e a m in te n sity, d e n sity,
co n ve rge n ce , co h e re n ce . co n ve rge n ce , co h e re n ce .
O b je ctive Le n s: O b je ctive Le n s:
M a gn ifica tio n , in tro d u cin g M a gn ifica tio n , in tro d u cin g
co n tra st. co n tra st.
I n te rm e d ia te Le n s: I n te rm e d ia te Le n s:
Fu rth e r m a gn ifica tio n , im a gin g Fu rth e r m a gn ifica tio n , im a gin g
o r d iffra ctio n . o r d iffra ctio n .
P ro je cto r Le n s: P ro je cto r Le n s:
Fin a l m a gn ifica tio n Fin a l m a gn ifica tio n
Ap e rtu re s Ap e rtu re s
S p e cim e n ch a m b e r S p e cim e n ch a m b e r
C a m e ra C a m e ra
Th e e le ctro n gu n : Th e e le ctro n gu n :
An e le ctro sta tic le n s + An e le ctro sta tic le n s +
a n e le ctro n a cce le ra to r a n e le ctro n a cce le ra to r
Fila m e n t: Tu n gste n Fila m e n t: Tu n gste n
La B La B
6 6
Fie ld e m issio n Fie ld e m issio n
Acce le ra tio n vo lta ge : Acce le ra tio n vo lta ge :
(H V o r H T) (H V o r H T)
1 0 0 k V 1 0 0 k V 1 M V 1 M V
Th e e le ctro m a gn e tic le n s Th e e le ctro m a gn e tic le n s
Th e E le ctro n m icro sco p e Th e E le ctro n m icro sco p e d iffra ctio n p a tte rn d iffra ctio n p a tte rn
o p e ra tio n o p e ra tio n
P rin cip le o f im a ge fo rm a tio n P rin cip le o f im a ge fo rm a tio n
Fu n d a m e n ta l ge o m e trica l a n d p h ysica l o p tics Fu n d a m e n ta l ge o m e trica l a n d p h ysica l o p tics
Ab b e Ab b e s p rin cip le a n d th e b a ck fo ca l p la n (B FP ) s p rin cip le a n d th e b a ck fo ca l p la n (B FP )
C o n tra st: B e a m /so lid in te ra ctio n C o n tra st: B e a m /so lid in te ra ctio n
B FP a n d th e o b je ctive a p e rtu re : B FP a n d th e o b je ctive a p e rtu re :
B righ t fie ld (B F) a n d d a rk fie ld (D F) im a ge s. B righ t fie ld (B F) a n d d a rk fie ld (D F) im a ge s.
(vg) (vg)
Ab b e Ab b e s P rin cip le o f im a ge s P rin cip le o f im a ge
fo rm a tio n fo rm a tio n
P rin cip le o f Fu n d a m e n ta l P rin cip le o f Fu n d a m e n ta l
ge o m e trica l a n d p h ysica l o p tics ge o m e trica l a n d p h ysica l o p tics
Ab b e Ab b e s p rin cip le a n d th e b a ck s p rin cip le a n d th e b a ck
fo ca l p la n (B FP ) fo ca l p la n (B FP )
C o n tra st: B e a m /so lid in te ra ctio n C o n tra st: B e a m /so lid in te ra ctio n
B FP a n d th e o b je ctive a p e rtu re : B FP a n d th e o b je ctive a p e rtu re :
B righ t fie ld (B F) B righ t fie ld (B F)
D a rk fie ld (D F) im a ge s. D a rk fie ld (D F) im a ge s.
(vg) (vg)
lens
image
C o n tra st: B e a m /so lid in te ra ctio n C o n tra st: B e a m /so lid in te ra ctio n
B FP a n d th e o b je ctive a p e rtu re : B FP a n d th e o b je ctive a p e rtu re :
B righ t fie ld (B F) a n d d a rk fie ld (D F) B righ t fie ld (B F) a n d d a rk fie ld (D F)
im a ge s. im a ge s.
B F B F
D F D F
o b je ct le n s B FP o b je ct le n s B FP
D P D P
O b j. Ap O b j. Ap im a ge im a ge
D iffra ctio n P a tte rn D iffra ctio n P a tte rn
D iffra ctio n C o n tra st D iffra ctio n C o n tra st
Wh a t is D iffra ctio n ? Wh a t is D iffra ctio n ?
Wh a t is D I FFR AC TI O N ?
Wh a t is D I FFR AC TI O N ?
We d o n We d o n t e ve n n e e d th e wo rd t e ve n n e e d th e wo rd d iffra ctio n d iffra ctio n . Wh a t we o b se rve e xp e rim e n ta lly . Wh a t we o b se rve e xp e rim e n ta lly
is th e re su lt o f wa ve p ro p a ga tio n . Wh e n th e re is a n o b je ct in th is th e re su lt o f wa ve p ro p a ga tio n . Wh e n th e re is a n o b je ct in th e wa y o f th e e wa y o f th e
p ro p a ga tin g wa ve s, a p a tte rn a sso cia te d with th e sh a p e a n d n a tu r p ro p a ga tin g wa ve s, a p a tte rn a sso cia te d with th e sh a p e a n d n a tu re o f th e e o f th e
o b je ct a n d th e n a tu re o f th e wa ve is fo rm e d . Th is ca n b e ca lle d o b je ct a n d th e n a tu re o f th e wa ve is fo rm e d . Th is ca n b e ca lle d th e Fre sn e l th e Fre sn e l
p a tte rn o r th e Fra u n h o fe r p a tte rn , d e p e n d in g u p o n th e a p p ro xim a t p a tte rn o r th e Fra u n h o fe r p a tte rn , d e p e n d in g u p o n th e a p p ro xim a tio n s u se d io n s u se d
in d e scrib in g it. in d e scrib in g it.
R e la te d te rm s: R e la te d te rm s:
S ca tte rin g (o f p a rticle s) S ca tte rin g (o f p a rticle s)
R e fle ctio n (b y a to m p la n s in a so lid ) R e fle ctio n (b y a to m p la n s in a so lid )
WAVE P R O P AG ATI O N , S C ATTE R I N G , AN D S U P E R P O S I TI O N WAVE P R O P AG ATI O N , S C ATTE R I N G , AN D S U P E R P O S I TI O N
E le ctro n s fly th ro u gh th e va cu u m = e le ctro n wa ve p ro p a ga tin g E le ctro n s fly th ro u gh th e va cu u m = e le ctro n wa ve p ro p a ga tin g
th ro u gh th e va cu u m . th ro u gh th e va cu u m .
E le ctro n s (e le ctro n wa ve s) ca n b e sca tte re d b y e le ctro sta tic p o t E le ctro n s (e le ctro n wa ve s) ca n b e sca tte re d b y e le ctro sta tic p o te n tia l e n tia l
o f a to m s. o f a to m s.
Wh e n two o r m o re e le ctro n wa ve s m e e t, th e ir a m p litu d e s a re a d d e d Wh e n two o r m o re e le ctro n wa ve s m e e t, th e ir a m p litu d e s a re a d d e d . .
H o w to a d d wa ve s: H o w to a d d wa ve s:
D ire ct m e th o d D ire ct m e th o d (vg) (vg)
Am p litu d e Am p litu d e - -p h a se d ia gra m (ve cto r m e th o d ) p h a se d ia gra m (ve cto r m e th o d ) (vg) (vg)
Fo u rie r tra n sfo rm Fo u rie r tra n sfo rm
O p tica l b e n ch (Atla s) O p tica l b e n ch (Atla s) (vg) (vg)
C o m p u te r C o m p u te r (D igita lM icro gra p h ) (D igita lM icro gra p h )
D iffra ctio n P a tte rn s fro m 3 D o b je cts D iffra ctio n P a tte rn s fro m 3 D o b je cts
B ra gg B ra gg s La w s La w (vg) (vg)
n
n

= 2d sin
= 2d sin

E xa m p le s o f e le ctro n m icro gra p h s a n d E xa m p le s o f e le ctro n m icro gra p h s a n d

(tra n sm issio n ) e le ctro n d iffra ctio n (TE D ) p a tte rn s (tra n sm issio n ) e le ctro n d iffra ctio n (TE D ) p a tte rn s
(vg) (vg)
C o n tra st m e ch a n ism : C o n tra st m e ch a n ism :
B e a m /sp e cim e n in te ra ctio n B e a m /sp e cim e n in te ra ctio n
Am p litu d e a n d /o r p h a se o f th e e le ctro n wa ve s a re a lte re d b y Am p litu d e a n d /o r p h a se o f th e e le ctro n wa ve s a re a lte re d b y th e sp e cim e n th e sp e cim e n
P ro p e rtie s o f le n s P ro p e rtie s o f le n s
Wa ve s (ra ys) in itia te d fro m a p o in t o n th e o b je ct ca n n o t b e Wa ve s (ra ys) in itia te d fro m a p o in t o n th e o b je ct ca n n o t b e co n ve rge d b y co n ve rge d b y
th e le n s to a p o in t o n th e im a ge . th e le n s to a p o in t o n th e im a ge .
Ap e rtu re lim ita tio n Ap e rtu re lim ita tio n
S p h e rica l a b e rra tio n S p h e rica l a b e rra tio n
C h ro m a tic a b e rra tio n C h ro m a tic a b e rra tio n
D e fo cu s D e fo cu s
Astigm a tism Astigm a tism
D e te cto r: Film , C C D D e te cto r: Film , C C D
R E S O LU TI O N : R E S O LU TI O N :
R a yle igh R a yle igh s crite rio n s crite rio n (vg) (vg)
B a la n cin g th e sp h e rica l B a la n cin g th e sp h e rica l
a b e rra tio n e ffe ct a n d th e a b e rra tio n e ffe ct a n d th e
d iffra ctio n e ffe ct: d iffra ctio n e ffe ct:
S m a lle r a p e rtu re p ro d u ce s S m a lle r a p e rtu re p ro d u ce s
la rge r Airy d isc (d iffra ctio n la rge r Airy d isc (d iffra ctio n
p a tte rn o f th e a p e rtu re ). p a tte rn o f th e a p e rtu re ).
La rge r a p e rtu re p ro d u ce s m o re La rge r a p e rtu re p ro d u ce s m o re
d iffu se d d isc d u e to sp h e rica l d iffu se d d isc d u e to sp h e rica l
a b e rra tio n a b e rra tio n
S p e cim e n p re p a ra tio n S p e cim e n p re p a ra tio n
S p e cim e n : Wh a t ch a ra cte riza tio n is a ll a b o u t. S p e cim e n : Wh a t ch a ra cte riza tio n is a ll a b o u t.
th e u ltim a te lim it o f re so lu tio n a n d d e te th e u ltim a te lim it o f re so lu tio n a n d d e te cta b ility cta b ility
G e n e ra l re q u ire m e n ts: G e n e ra l re q u ire m e n ts:
th in , sm a ll, co n d u ctive , firm , d ry th in , sm a ll, co n d u ctive , firm , d ry
Va rio u s m e th o d s Va rio u s m e th o d s
U ltra m icro to m y U ltra m icro to m y
M e ch a n ica l M e ch a n ica l
C h e m ica l C h e m ica l
I o n I o n
(Lu ck y fo r n a n o (Lu ck y fo r n a n o - -m a te ria ls wo rk : M in im a l p re p a ra tio n ) m a te ria ls wo rk : M in im a l p re p a ra tio n )
C o n tra st e n h a n ce m e n t: C o n tra st e n h a n ce m e n t:
S ta in in g, e va p o ra tio n , d e co ra tio n S ta in in g, e va p o ra tio n , d e co ra tio n
S p e cim e n su p p o rt a n d sp e cim e n h o ld e rs S p e cim e n su p p o rt a n d sp e cim e n h o ld e rs
S p e cim e n su p p o rt S p e cim e n su p p o rt: (vg) : (vg)
G rid G rid
H o le y ca rb o n grid H o le y ca rb o n grid
S p e cim e n h o ld e rs: S p e cim e n h o ld e rs: (vg) (vg)
To p e n try To p e n try
S id e e n try S id e e n try
S in gle /d o u b le tilt S in gle /d o u b le tilt
H e a tin g, co o lin g, te n sile , e n viro n m e n ta l, e tc. H e a tin g, co o lin g, te n sile , e n viro n m e n ta l, e tc.
P e rfo rm a n ce : P e rfo rm a n ce :
Tilt a n gle , wo rk in g d ista n ce , Tilt a n gle , wo rk in g d ista n ce ,
M o ve m e n ts a n d co n tro ls
o f th e sp e cim e n
H igh R e so lu tio n E le ctro n M icro sco p e (H R E M ): H igh R e so lu tio n E le ctro n M icro sco p e (H R E M ):
Ap p ro a ch in g a to m ic re so lu tio n . Ap p ro a ch in g a to m ic re so lu tio n .
R e q u ire m e n ts: R e q u ire m e n ts:
(U ltra ) h igh re so lu tio n p o le p ie ce (U ltra ) h igh re so lu tio n p o le p ie ce
E le ctro n ic sta b ility E le ctro n ic sta b ility
M e ch a n ica l sta b ility M e ch a n ica l sta b ility
C le a n e n viro n m e n t: (U ltra ) h igh va cu u m C le a n e n viro n m e n t: (U ltra ) h igh va cu u m
S p e cim e n p re p a ra tio n : ve ry ve ry th in S p e cim e n p re p a ra tio n : ve ry ve ry th in
I n ge n e ra l H R E M is n e e d e d fo r stu d yin g n a n o I n ge n e ra l H R E M is n e e d e d fo r stu d yin g n a n o - -m a te ria ls. m a te ria ls.
condener
lens
condener
aperture
objective lens
objective
aperture
Probe forming in SEM
cro sso ve r
working
distance
specimen
S ca n n in g e le ctro n m icro sco p y S ca n n in g e le ctro n m icro sco p y
m icro p ro b e m icro p ro b e
B e a m /sp e cim e n in te ra ctio n : Wh e n B e a m /sp e cim e n in te ra ctio n : Wh e n
th e sp e cim e n is th ick , th e sp e cim e n is th ick , se m i se m i - -
in fin ite in fin ite . .
M o n te C a rlo sim u la tio n M o n te C a rlo sim u la tio n
Th e p ro b e fo rm in g syste m : (vg) Th e p ro b e fo rm in g syste m : (vg)
Fo rm in g a sm a ll p ro b e is th e Fo rm in g a sm a ll p ro b e is th e
sa m e a s fo rm in g a sm a ll sp o t in sa m e a s fo rm in g a sm a ll sp o t in
th e im a ge th e im a ge
Th e co lu m n Th e co lu m n
C o n tra st m e ch a n ism : C o n tra st m e ch a n ism :
S e co n d a ry e le ctro n s S e co n d a ry e le ctro n s
B a ck sca tte re d e le ctro n s B a ck sca tte re d e le ctro n s
O th e r sign a ls O th e r sign a ls
R e so lu tio n : R e so lu tio n :
Lo w m a g: lim ite d b y sca n ra te Lo w m a g: lim ite d b y sca n ra te
H igh m a g: lim ite d b y le n s H igh m a g: lim ite d b y le n s
d e fe cts d e fe cts sa m e a s TE M sa m e a s TE M
D e te cto r D e te cto r
E xa m p le s E xa m p le s
o f S E M o f S E M
im a ge s im a ge s (vg) (vg)
SEM
SEM
TEM
TEM
E (kV) 10 20 30 100
E (kV) 10 20 30 100
200 400
200 400
(
(
A) 0.122 0.0859 0.0698 0.037 0.025
A) 0.122 0.0859 0.0698 0.037 0.025
0.0126
0.0126
Cs (mm) 10
Cs (mm) 10
-
-
20 1
20 1
-
-
3
3
Resolution: beam size image poin
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t size
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r =
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3/ 4 3/ 4
Cs
Cs
1/ 4 1/ 4
r =
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3/ 4 3/ 4
Cs
Cs
1/ 4 1/ 4
E le ctro n m icro p ro b e / An a lytica l e le ctro n m icro sco p y: E le ctro n m icro p ro b e / An a lytica l e le ctro n m icro sco p y:
E n e rgy d isp e rsive (X E n e rgy d isp e rsive (X- -ra y) sp e ctro m e te r, E D S (E D X) ra y) sp e ctro m e te r, E D S (E D X)
Wa ve le n gth d isp e rsive (X Wa ve le n gth d isp e rsive (X- -ra y) sp e ctro m e te r, WD S (WD X) ra y) sp e ctro m e te r, WD S (WD X)
E le ctro n e n e rgy lo ss sp e ctro sco p y, E E LS E le ctro n e n e rgy lo ss sp e ctro sco p y, E E LS
Q u a n tita tive a n a lysis Q u a n tita tive a n a lysis
e tc. e tc.
XR D a n d WD S
E