Welcome to Scribd, the world's digital library. Read, publish, and share books and documents. See more
Download
Standard view
Full view
of .
Look up keyword
Like this
9Activity
0 of .
Results for:
No results containing your search query
P. 1
What is the MEMS

What is the MEMS

Ratings: (0)|Views: 246|Likes:
Published by La

More info:

Published by: La on Mar 06, 2010
Copyright:Attribution Non-commercial

Availability:

Read on Scribd mobile: iPhone, iPad and Android.
download as DOCX, PDF, TXT or read online from Scribd
See more
See less

05/09/2013

pdf

text

original

 
GIỚI THIỆULỊCH SỬ CỦA CÔNG NGHỆ MEMS///////Lịch sử của vi gia công gắn liền với sự phát triển của công nghệ mạch tích hợp(IC). Bắt đầu từ những năm 1960 các nhà nghiên cứu đã thực nghiệm sử dụngcông nghệ gia công IC để tạo ra các cấu trúc cơ. Một trong những thiết bị đầutiên như tranzito cộng hưởng tuy không thành công trong việc thương mại hóanhưng mở đường cho sự thành công của cảm biến áp lực và gia tốc kế vàonhững năm 1970. Nghiên cứu quan trọng và nỗ lực phát triển trong những năm 1980 và 1990 đãdẫn đến sự hình thành công nghệ gia công mới, linh kiện và thị trường choMEMS. Đặc biệt nhất, gia công vi cơ bề mặt đã cho phép tích hợp các phẩn tửcơ với các mạch tích hợp dẫn đến sự hạ giá thành của gia tốc kế và micromirror arrays. Quá trình thương mại hóa của công nghệ MEMS cuối cùng đã bắt đầutiếp cận với xã hội với quy mô lớn. Do đó ngày nay hầu hết mọi người đã từngtiếp cận với các sản phẩm của MEMS cho dù chủ ý hay không chủ ý.///Hệ thống vi cơ điện tử MEMS ( MicroElectroMechanical Systems) là thuật ngữdùng để chỉ các hệ thống tích hợp các thành phần điện tử và cơ khí có kíchthước cỡ micromet.///Thuật ngữ “MEMS” được đề xuất vào năm 1987 khi chuỗi ba hội thảo vềmicrodynamics và MEMS được tổ chức vảo tháng 7 năm 1987 ở thành phố SaltLake, Utah; vào tháng 11 năm 1987 ở Hyannis, Massachusetts và tháng 1 năm1988 ở Princeton, New Jersey. Những cuộc hội thảo này mở ra một kỉ nguyênmới của các thiết bị vi cơ điện tử. Thuật ngữ tương đương của MEMS bao gồm“microsystems” được ưa thích tại châu Âu và “micromachine” được ưa chuộngở Nhật Bản. Khi đó MEMS chỉ là ứng dụng bị động và bị giới hạn về côngnghệ, và đã nhanh chóng nổi lên như một lĩnh vực liên ngành có liên quan đếnrất nhiều lĩnh vực chuyên ngành khoa học và kỹ thuật khác.Quá trình thu nhỏ các hệ thống cơ hứa hẹn nhiều cơ hội thúc đẩy hướng pháttriển mới cho sự tiến bộ của khoa học và công nghệ. Vi cơ cấu và vi hệ thống sẽnhỏ hơn, nhẹ hơn, nhạy hơn và thường chính xác hơn so với các cơ cấu vĩ mô.Tuy nhiên sự phát triển của hệ thống vi cơ đòi hỏi công nghệ chế tạo phù hợp.
 
///Hệ thống vi cơ điện tử (MEMS) là công nghệ của thế giới rất nhỏ. MEMS cũngđược gọi là micromachines (Nhật Bản) hoặc Micro Systems Technology (châuÂu). MEMS được tạo từ các thành phần kích cỡ từ 1 tới 100
m
 µ 
và kích thướccác thiết bị MEMS nói chung trong khoảng từ 20
m
 µ 
tới 1mm. Chúng thườngchứa đơn vị trung tâm chứ dữ liệu, vi cảm biến và nhiều thành phần kết nối vớithế giới ngoại vi giống như cảm biến.TẠI SAO LỰA CHỌN CÔNG NGHỆ MEMSLí do mà công nghệ MEMS nhanh chóng được ứng dụng có thể phân loại chungtheo 3 lí do:Thu nhỏ các thiết bị hiện tại, giống như sự chế tạo của silicon dựa vào con quayhồi chuyển để thu nhỏ thiết bị vài kg và thể tích 1000
3
cm
thành con chíp cỡ vàigram được đóng gói với kích cỡ 0,5
3
cm
.Sự phát triển của thiết bị mới dựa trên những nguyên lí cái mà không hoạt độngđối với kích cỡ lớn. Ví dụ đưa ra là chíp sinh học trong đó điện trường sử dụngđể bơm chuyển chất phản ứng quanh chíp. Cái này được gọi là hiệu ứng điệnthẩm dựa trên sự tồn tại của lực cản trên dòng chất lỏng chỉ làm việc theo khedọc chiều dài của đoạn cỡ 1 mm tức là với kích cỡ micro.Sự phát triển của công cụ mới để giao tiếp với thế giới micro. Vào năm 1986 H.Rohner và G.Binnig tại IBM đã được giải thưởng Nobel Vật lí với công trìnhcủa họ về kính hiển vi tunel (STM). Công trình này dự báo sự phát triển củamột thế hệ kính hiển vi mới (kính hiển vi nguyên tử, kính hiển vi quét trườnggần…). Ví dụ khác của lớp thiết bị MEMS với kích cỡ lớn hơn một chút có thểlà sự phát triển của taykẹp micro để gắp tế bào phục vụ cho việc phân tích.Sự thu nhỏ thường là sự mục đích quan trọng nhất đằng sau sự phát triển củaMEMS với nhận thức chung là thu nhỏ để tăng giá trị sản phẩm bằng cách giảmmức tiêu thụ vật liệu và cho phép gia công theo lô nhưng lợi ích quan trọngkhông kém đó là tăng khả năng ứng dụng. Thông thường giảm khối lượng vàkích cỡ cho phép lắp đặt MEMS ở vị trí nơi mà các hệ thống truyền thống

You're Reading a Free Preview

Download
scribd
/*********** DO NOT ALTER ANYTHING BELOW THIS LINE ! ************/ var s_code=s.t();if(s_code)document.write(s_code)//-->