Propriedades Ópticas de Nanocristais

de Germânio Produzidos por

Implantação Iônica

Sergio Frederico Pires Dias

Eduardo Ceretta Moreira
Universidade Federal do Pampa
 Motivação do Trabalho

Procura de materiais capazes de suprir a alta

demanda por dispositivos opto-eletrônicos cada
vez menores e mais eficientes para geração de
sinais ópticos.
 Objetivos

Estudo das propriedades ópticas de nanocristais

de Ge

Busca de melhores parâmetros na produção de

nanocristais de Ge
 Materiais e Métodos

Utilizando a técnica de Implantação Iônica, foram

implantados íons de Ge em uma matriz de SiO 2
de 320nm depositada sobre um substrato de Si,
com 120 keV de energia.
 Implantação Iônica
Técnica que permite
introduzir qualquer
elemento em uma
dada matriz.

Controle sobre a
quantidade e
profundidade dos
Exemplo de ions de Ge, implantados em um matriz de SiO2.
ions implantados.
Lopes, J. M. J. Nanoestruturas Luminescentes de Ge e Sn em Camadas de SiO2 Implantadas.
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Já compativel com as tecnologias de microeletronica

existentes
Laboratório de Implantação Iônica, IF - UFRGS (Porto Alegre - RS)
Parâmetros de Produção de
Nanocristais de Germânio
Foi estudado a influência de três fatores durante o
processo de produção dos nanocristais em relação
a sua intensidade fotoluminescente final:

Fluência de Implantação

Tempo de Recozimento

Temperatura de Implantação
 Resultados

Varias características importantes foram

observadas nas amostras em altas temperaturas, a
saber:

Pico de intensidade em 390 nm, influenciado pela

temperatura de implantação.

Distribuição de NC idêntica à que ocorre em RT.

Aumento de 20% da intensidade PL após seu
recozimento.

Necessidade do tratamento térmico para a

nucleação dos NCs de Ge

Maior intensidade PL em relação as amostras a RT.

Influência da temperatura de implantação na emissão
fotoluminescente.
 Conclusão

Aumentos significativos na intensidade da

fotoluminescência (quase um fator três).

Implantação iônica a alta temperatura induz a

formação de nanocristais de germânio menores e
em maior número.