Professional Documents
Culture Documents
Sveučilišta u Splitu
ELEKTRONIKA
Prvi dio
( predavanja )
Privremeno izdanje
1
Slika 1.1.2: Kristalno i amorfno ustrojstvo molekula SiO2 prikazano u dvije dimenzije.
Ustrojstvo osnovnog geometrijskog oblika određeno je veličinom atoma ili molekula te
silom vezivanja. Prema vrsti sile vezivanja (kemijske veze) razlikuju se četiri skupine kristala:
kristali nemetali,
ionski kristali,
molekularni kristali
kovalentni kristali.
U poluvodičkoj elektronici, s obzirom na praktičnu primjenu, mogu se istaknuti kovalentni
kristali silicij i germanij, gdje se pod pojmom kovalentni podrazumijeva kristalna veza
pomoću para valentnih elektrona izmrđu dva susjedna atoma, sl. 1.1.3.
2
Slika 1.1.3: Kristalno veza između atoma silicija simbolički prikazana u dvije dimenzije.
Na kovalentnoj vezi temelji se dijamantna struktura koju imaju četverovalentni elementi kao
što je ugljik, silicij i germanij. U dijamantnoj strukturi središnji je atom okružen s četiri
susjedna atoma koji leže u vrhovima tetraedra (tijela omeđenog sa četiri istostranična trokuta),
slika 1.1.4.
3
1.2. Električna svojstva kristala
S obzirom na električnu provodnost ili otpornost, kristali se mogu podijeliti u tri skupine:
kovine (vodiči), poluvodiči i izolatori. Na sobnoj temperaturi električna otpornost za kovine
je reda veličine 10-8 m, za izolatore dosiže vrijednost od 1014 m, a za poluvodiče vrijednost
za je u granicama od 10-5 do 104 m. Razlika u električnim svojstvima između kovina,
elementarnih poluvodiča i izolatora proistječe iz ustrojstva energijskih vrpci. Struktura
energijskih vrpci čistih poluvodiča slična je onima u izolatoru, slika 1.2.1. a) i b), a razlika je
u udaljenosti između vodljive i valentne vrpce, tj. u širini energijskoga procjepa (zabranjene
vrpce). Na niskim temperaturama valentna vrpca je potpuno popunjena elektronima, a
vodljiva prazna, zbog čega je električna vodljivost onemogućena. O širini zabranjene vrpce
ovisi na kojoj će temperaturi nastati elektron-šupljina parovi, a time i gibanje naboja pod
djelovanjem električnog polja. U kovinama I skupine najgornja energijska vrpca nije potpuno
zaposjednuta elektronima (slika 1.2.1c). Za II skupinu elemenata, također kovina, svojstveno
je preklapanje dviju najgornjih energijskih vrpci, čime je opet postignuta djelomična
zaposjednutost dopuštenih energijskih stanja elektronima (slika 1.2.1d). Upravo to
omogućava struju elektrona i pri malim iznosima priključenoga električnog polja.
4
2. POLUVODIČI
2.1. Intrinsični poluvodiči
Poluvodič koji ne sadrži atome drugih elemenata naziva se intrinsični (čisti) poluvodič.
Takav poluvodič je praktički nemoguće proizvesti pa se umjesto idealizirane (teorijske)
definicije češće izriče realnija definicija: intrinsični poluvodič je kristal u kojem jedan strani
atom dolazi na 109 atoma elementarnog poluvodiča.
Na temperaturi apsolutne ništice čisti poluvodič ima svojstva izolatora jer nema slobodnih
nosilaca naboja; valentna vrpca je popunjena, a vodljiva vrpca je prazna. Za poluvodiče
energijski procijep ima relativno mali iznos (EG 1 eV za silicij), tako da se već pri sobnim
temperaturama, zbog toplinske pobude, neki elektroni mogu prebaciti iz valentne vrpce u
vodljivu. U vođenju struje u poluvodičima sudjeluju negativni elektroni i pozitivne šupljine.
Prazna stanja u valentnoj vrpci su šupljine, slika 2.1.1.
5
stanjima na dnu vodljive (struja elektrona) i pri vrhu valentne vrpce (struja šupljina), slika
2.1.2. Koliko elektrona prijeđe u vodljivu vrpcu toliko šupljina ima u valentnoj, slika 2.1.1.
Termičkom pobudom u čistom poluvodiču nastaje ravnotežna gustoća elektrona n0 u
vodljivoj vrpci i šupljina p0 u valentnoj. Te gustoće su jednake pa su označene zajedničkom
oznakom za čistu (intinsičnu) gustoću (koncentraciju):
n0 = p0 = ni (2.1.1)
Broj vodljivih elektrona u energijskom intervalu dE dobije se množenjem gustoće energijskih
stanja C(E) s vjerojatnošću zaposjednuća fFD(E) tih stanja. Ukupan broj valentnih elektrona
može se odrediti s pomoću integrala:
E 'C
n 0 = f FD ( E ) C ( E ) dE (2.1.2)
EC
s granicama integracije po ukupnoj širini vodljive vrpce (slika 2.1.1). Gustoća kvantnih stanja
C(E) u vodljivoj vrpci određena je izrazom:
3
2mC 2 1
C ( E) = 4
h2
E - E C 2 (2.1.3)
6
Slika 2.1.3: Fermi-Diracova funkcija vjerojatnosti zaposjednuća kvantnih stanja.
7
u kojem je:
1
x 2 exp( x ) dx =
0
2
. (2.1.10)
koji se može riješiti primjenom postupka jednakom onom za određivanje gustoće n 0. Nakon
integracije funkcije (2.1.15) dobiva se formula
E -E
p i = p 0 = N V exp fi V (2.1.16)
k T
u kojoj je
3
2 m V k T 2 (2.1.17)
NV = 2
h2
8
Slika 2.1.4: Gustoća elektrona i šupljina u čistom poluvodiču.
Iz uvjeta n0 = p0 može se odrediti položaj Fermijeve razine u odnosu prema rubu valentne EV
i vodljive EC vrpce:
E -E E -E
N C exp - C fi = N V exp - fi V . (2.1.18)
k T k T
Iz (2.1.18) proizlazi izraz za Fermijevu razinu u čistom poluvodiču:
EC + EV k T N
E fi = + ln V . (2.1.19)
2 2 NC
Ako se Efi promatra u odnosu prema EC, izraz (2.1.19) može se pisati kao:
EC - EV k T N
E C - E fi = + ln C (2.1.20)
2 2 NV
ili kao
EC - EV 3 m
E C - E fi = + k T ln C . (2.1.21)
2 4 mV
Fermijeva se razina u čistom poluvodiču nalazi približno na sredini zabranjene vrpce, slika
2.1.5.
9
2.2. Zakon termodinamičke ravnoteže
Umnožak ravnotežnih gustoća vodljivih elektrona i šupljina u čistom je poluvodiču na nekoj
temperaturi stalan i jednak kvadratu intrinsične gustoće:
E -E E
n 0 p 0 = n i2 = N V N C exp C V = N V N C exp G . (2.2.1)
ET ET
2 k m 0 2 mC T mV T 4 2 E T
3
ni = 2
T exp G . (2.2.2)
2 ET T
2 2
h m0
m0 je masa elektrona u mirovanju, a mC(T) i mV(T) su efektivne mase elektrona i šupljina
naznačene kao funkcije temperature. Širina zabranjene vrpce E G(T) je također funkcija
temperature, kao i energijski temperaturni ekvivalent ET(T) = kT. U području sobnih
temperatura promjene efektivnih masa elektrona i šupljina su relativno malene za silicij, pa se
može računati s tabličnim vrijednostima određenima pri temperaturi T = 300 K (tablica
2.2.1.).
mC mV
m0 m0
1.18 0.81
10
može odrediti širina zabranjene vrpce na nekoj temperaturi. Za silicij su određena dva
empirijska izraza, za dva različita temperaturna područja 3:
E G T = 1.170 -1.059 10 -5 T - 6.05 10 -7 T 2 za T 170 K (2.3.1)
E G T = 1.1785 -9.025 10 T - 3.05 10 T
-5 -7 2
za T 170 K . (2.3.2)
11
Slika 2.5.2.1: Energijski dijagram za p-tip poluvodiča pri temperaturi T = 300K
kad su svi akceptori ionizirani.
Osim navedenih relacija za određivanje suženja zabranjene vrpce u stručnoj literaturi mogu se
naći i izrazi izvedeni na osnovi drugačijih pretpostavki i drugog teorijskog pristupa. Tako su
polazeći od eksperimentalnih rezultata Slotboom i De Graaff 2 dobili izraz koji se može
primijeniti za n tip silicija s gustoćama donora do 1021cm-3:
12
N N
E G 0 E1 ln ln 2 0.5 (2.5.3.3)
N1 N1
u kojemu je:
E1 = 9 m eV
N1 = 1019 cm-3
N = gustoća primjesa.
E -E
p 0 = N V exp f V , (2.5.4.2)
k T
odnosno
N
E C - E f = k T ln C , (2.5.4.3)
n0
N
E f - E V = k T ln V . (2.5.4.4)
p0
Dijeljenjem jednadžbe (2.5.4.1) s jednadžbom za intrinsičnu gustoću (2.1.12) dobiva se izraz
za gustoću slobodnih elektrona u ovisnosti o intrinsičnoj gustoći i razlici Fermijevih razina
ekstrinsičnog i intrinsičnog poluvodiča:
E E fi
n 0 n i exp f . (2.5.4.5)
k T
Iz (2.5.4.5) i zakona o termodinamičkoj ravnoteži može se odrediti ravnotežna gustoća p0:
E Ef
p 0 n i exp fi . (2.5.4.6)
k T
Umnožak ravnotežnih gustoća n0 i p0 jednak je kvadratu intrinsične gustoće i ne ovisi o
Fermijevoj energiji:
E -E
n 0 p 0 = n 2i = N C N V exp C V , (2.5.4.7)
k T
što znači da pri nekoj temperaturi jedna od ravnotežnih gustoća raste dok druga pada da bi
njihov umnožak ostao stalan.
U ravnotežnom stanju svaki poluvodič ima jednak iznos pozitivnog i negativnog naboja
(zakon električne neutralnosti):
N D + p0 = N A + n 0 . (2.5.4.8)
13
Za n-tip poluvodiča, uz uvjet NA = 0, izraz (2.5.4.8) poprima oblik:
n 0 = N D + p0 . (2.5.4.9)
n2
Uz zamjenu p 0 = i dobiva se:
n0
ND N 2D + 4 n 2i
n0 = + . (2.5.4.10)
2 2
n 2i
Ako je N 2D >> 4 n 2i , tada je n0 ND i p 0 = .
ND
U n-tipu poluvodiča elektroni su većinski (glavni ili majoritetni), a šupljine manjinski
(sporedni ili minoritetni) nosioci naboja. U skladu sa zakonom o termodinamičkoj ravnoteži,
gustoća šupljina opada s porastom gustoće elektrona (potiskivanje manjinskih nosilaca).
Položaj Fermijeve razine u odnosu prema dnu vodljive vrpce određen je izrazom:
N
E C - E f = k T ln C , (2.5.4.11)
ND
prema kojemu je u dijagramu energija za n-tip poluvodiča položaj Fermijeve energije blizu
dna vodljive vrpce, slika 2.5.4.1., jer je NC 1019 cm-3, a ND 1016 cm-3.
NA N 2A + 4 n 2i
p0 = + . (2.5.4.13)
2 2
U p-tipu poluvodiča šupljine su većinski nosioci, a elektroni manjinski. Dodavanjem
akceptora raste gustoća šupljina, a opada gustoća elektrona.
n 2i
Ako je N 2
A >> 4 n , tada je p0 NA i n 0 =
2
i .
NA
14
U dijagramu energija za p-tip poluvodiča Fermijeva se razina nalazi blizu vrha valentne
vrpce, slika 2.5.4.2., jer je NV 1019 cm-3, a NA 1012 cm-3.
15
2.7. Driftno gibanje nosilaca
Gibanje nosilaca u poluvodiču na koji nije priključen napon (unutar poluvodiča nema
električnoga polja), je neusmjereno (stohastičko) s prosječnom termičkom brzinom koja se
mijenja u ovisnosti o temperaturi prema izrazu:
3 ET
vt = (2.7.1)
m*
u kojem je ET temperaturni ekvivalent energije, a m* efektivna masa elektrona (šupljina).
Zbog utjecaja priključenoga napona u poluvodiču nastaje električno polje koje usmjerava
gibanje nosilaca u smjeru svog djelovanja. Pri tome se prosječnoj termičkoj brzini pribraja
(superponira) brzina zbog djelovanja električnoga polja, tzv. driftna brzina. Ona je
proporcionalna jakosti električnoga polja F i pokretljivosti nosilaca :
vd = F , (2.7.2)
gdje je oznaka za pokretljivost nosilaca.
Na slici 2.7.1 prikazano je usmjereno gibanje nosilaca (elektrona i šupljina) u poluvodiču
duljine w, pod utjecajem električnoga polja iznosa F = U/w.
16
i = q n i n + p . (2.7.5)
17
a za šupljine
dp
J p q D p . (2.8.4)
dx
U izrazima (2.8.3) i (2.8.4) Dn i Dp su difuzijske konstante za elektrone, odnosno za šupljine, a
q je naboj elektrona.
Difuzijska konstanta obično se određuje mjerenjem pri nekoj temperaturi, a može se i
izračunati ako su poznati određeni parametri. Njeno fizikalno značenje može se razjasniti npr.
analizom neprekinute difuzijske raspodjele uskog impulsa elektrona u jednodimenzijskom
prostoru, slika 2.8.2.
18
1 1
n 1 A n 2 A (2.8.5)
2 2
gdje je A površina presjeka kroz koji prolaze elektroni.
Brzina protjecanja elektrona po jedinici površine u smjeru osi +x jednaka je:
n (x) n1 n 2 (2.8.6)
2
Budući da je srednji slobodni put upravo mala diferencijalna dužina, razlika u gustoći
elektrona n1 - n2 može se izraziti u obliku derivacije:
n 1 n 2 n ( x ) n ( x x )
. (2.8.7)
x
Za male priraste x (tj. male vrijednosti srednjeg slobodnog puta prije raspršenja zbog
međusobnog sudaranja) relacija (2.8.6.) može se pisati u obliku:
dn ( x ) .
2 2
n ( x ) n ( x x ) (2.8.8)
n (x) lim
2 x 0 x 2 dx
2
19
Prema prihvaćenom dogovoru o pozitivnom smjeru električne struje (smjer gibanja čestica
koje nose pozitivan naboj), te prema ucrtanom smjeru vektora električnog polja, driftna i
difuzijska struja šupljina imaju pozitivan smjer. Elektroni se pod utjecajem električnog polja
gibaju u smjeru suprotnom onom od gibanja šupljina. Kako smjeru gibanja negativnog naboja
odgovara suprotan smjer gibanja pozitivnog naboja, driftna sastavnica elektrona ima isti smjer
kao i driftna sastavnica šupljina. Difuzijska struja elektrona ima suprotan smjer od onoga koji
ima difuzijska struja šupljina zbog toga što su isti smjerovi difuzijskog gibanja elektrona i
šupljina.
Sukladno slici 2.9.1. mogu se napisati jednadžbe za gustoću ukupne struje elektrona i
šupljina:
dn( x )
J n ( x ) q n n ( x ) E( x ) q D n (2.9.1)
dx
dp( x )
J p ( x ) q p p( x ) E( x ) q D p (2.9.2)
dx
Sukladno slici 2.9.1., zbog negativnog gradijenta gustoća, difuzijska i driftna sastavnica
struje šupljina se zbrajaju, a te iste sastavnice struje elektrona se oduzimaju. Pri tome ukupna
struja može biti struja elektrona ili struja šupljina što ovisi o odnosu veličina njihovih gustoća,
o iznosu i smjeru električnog polja te o gradijentu gustoća šupljina i elektrona.
u kojemu je N ukupna gustoća svih ioniziranih primjesa, a vrijednost parametara min, maks,
i Nref dane su u tablici 2.10.1. 6.
nosilac
N ref cm 3
maks cm 2 V 1s 1 min cm 2 V 1s 1
20
Tablica 2.10.1: Parametri za određivanje pokretljivosti nosilaca u siliciju u ovisnosti o
gustoći primjesa, T = 300 K.
21
Slika 2.12.2: Energijske razine u nehomogenom poluvodiču n-tipa.
Izraz (2.12.3) može se, dakle, prikazati u obliku:
q U( x )
n 0 N C exp (2.12.5)
kT
iz kojega proizlazi i gradijent gustoće n0 po koordinati x:
dn 0 q q U( x ) dU ( x ) q dU( x )
N C exp n0 . (2.12.6)
dx kT k T dx k T dx
Uvrštavanjem izraza (2.12.6) u (2.12.1), te zamjenom polja F negativnom derivacijom
potencijala po udaljenosti,
dU ( x )
F , (2.12.7)
dx
dobiva se jednadžba:
dU ( x ) q dU ( x )
q n0 n q Dn n0 0, (2.12.8)
dx k T dx
iz koje, nakon kraćenja istovrsnih veličina, proistječe poznata Einsteinova relacija,
kT
n Dn , (2.12.9)
q
22
n 0
k T 0 w dn 0
q n00 n 0 dU( x )
(2.12.11)
U0
23
elektrona n 0 n n 0 n zanemariv je prema broju n0n u poluvodiču n-tipa, pa se može smatrati da
je ravnotežna gustoća glavnih nosilaca naboja ostala nepromijenjena.
Predznak (-) u izrazu (2.14.3) označava opadanje gustoće, odnosno poništavanje ili
rekombinaciju šupljina.
Vrijeme života manjinskih nosilaca nije stalna veličina već ovisi o gustoći primjesa u
poluvodiču. Na temelju provedenih mjerenja za silicijski poluvodič 8 izvedene su empirijske
relacije za određivanje vremena života manjinskih nosilaca.
p0
p
Za šupljine u poluvodiču n-tipa: N , (2.14.4)
1 D
N 0D
24
gdje je p0 = 3.5210-5 s, N0D = 7.11015 cm-3 (T = 300 K).
n0
n
Za elektrone u poluvodiču p-tipa: N , (2.14.5)
1 A
N 0A
gdje je n0 = 1.710-5 s, N0A = 7.11015 cm-3 (T = 300 K).
koji se u određenim uvjetima može svesti na jednostavnije diferencijalne jednadžbe. Npr. ako
se pretpostavi da u poluvodiču nema električnog polja, (F = 0), te ako je gustoća šupljina
p
stalna s obzirom na koordinatu x, ( n 0 ), izraz (2.15.1) svodi se na (2.15.3) s rješenjem
x
(2.15.2). Ako se poluvodič razmatra u stacionarnom ravnotežnom stanju (nema promjene
p
gustoće s obzirom na vremensku varijablu, ( n 0 ), te ako se zanemari utjecaj električnog
t
polja, (F = 0), dobiva se diferencijalna jednadžba (2.15.2) koja uključuje efekt rekombinacije i
difuzije.
d 2 p n p n p 0n
. (2.15.2)
dx 2 Dp p
Netočna bi bila pretpostavka da je električno polje jednako ništici, (F = 0), jer ako postoji
gradijent gustoće u poluvodiču, postoji i električno polje. Ali utjecaj uspostavljenog
električnog polja može se zanemariti u odnosu prema utjecaju difuzije na manjinske šupljine u
poluvodiču n-tipa:
Opće rješenje jednadžbe (2.15.2) koja se naziva difuzijska jednadžba je oblika:
x x
p n p 0 n A 1 exp A 2 exp , (2.15.3)
Lp Lp
25
gdje je oznaka Ln uvedena za izraz D n n , a označava difuzijsku dužinu elektrona, a
konstante B1 i B2 su definirane rubnim uvjetima koji vrijede za dotični poluvodič.
3. PN SPOJ
3.1 Uvod
Izrazita nehomogenost poluvodiča postiže se tako da se monokristalu u jednom dijelu dodaje
primjesa akceptora, a drugom primjesa donora. Ta dva dijela odvojena su graničnom plohom
(ravninom kompenzacije) koja se zove pn spoj ili pn prijelaz, slika 3.1.1.
26
Slika 3.1.2: pn spoj dobiven epitaksijalnim rastom n tipa na podlozi p tipa.
Kada su epitaksijalni sloj i podloga od istog materijala tada je to homoepitaksijalni,
autoepitaksijalni ili izoepitaksijalni rast. Ako je podloga različita od epitaksijalnog sloja tada
je to heteroepitaksijalni rast. Za pokretanje procesa epitaksijalnog rasta potrebna je energija
od 1.6 do 1.9 eV (aktivacijska energija), a brzina samog rasta ovisi o temperaturi.
Difuzija primjesa je osnovni tehnološki postupak dobivanja pn spoja koji se obavlja na
visokoj temperaturi u zatvorenom sustavu (difuzijskim pećima). Za razliku od epitaksijalnog
rasta difuzija primjesa je selektivan proces jer se obavlja na točno odabranim mjestima na
poluvodiču kroz otvor (prozore) u oksidnom sloju na površini silicija. Na slici 3.1.3. prikazan
je tipičan pn spoj dobiven difuzijom primjesa donora u podlogu p tipa.
27
P strana je jednoliko onečišćena atomima akceptora, a n strana atomima donora, a na prijelazu
između ta dva homogena područja razlika u gustoći donora i akceptora mijenja se skokovito.
Ravnotežne gustoći nosilaca na p strani su p0p i n0p, a na n strani su p0n i n0n, slika 3.2.2.
28
neutralno neutralno
područje područje
11
P. Biljanović, Poluvodički elektronički elementi, Školska knjiga Zagreb 1996. str. 191.
29
dn 0
0 q n0 n F q Dn , (3.2.1.2)
dx
D n dn 0
F , (3.2.1.3)
n n 0 dx
d k T dn 0
F . (3.2.1.4)
dx q n 0 dx
Integraciju diferencijalne jednadžbe (3.2.1.4) potrebno je provesti u granicama koje određuje
područje barijere: od x = -xp do od x = xn, slika 3.2.1.1.
kT n (x )
( x n ) ( x p ) ln 0 n . (3.2.1.5)
q n 0 (x p )
Ako su svi donori i akceptori ionizirani izraz (3.2.1.5) može se pisati u obliku:
k T N N
( x n ) ( x p ) U k ln A 2 D , (3.2.1.6)
q ni
gdje je: n 0 ( x n ) N D i n 0 ( x p ) N A .
30
q NA xp
K1 , (3.2.2.5)
te se (3.2.2.4) može pisati u obliku:
d q NA
F( x ) (x xp ) . (3.2.2.6)
dx
Za područje od 0 do xn, jakost električnoga polja dana je izrazom:
d q N D
F( x ) (x xn ) . (3.2.2.7)
dx
U točki x = 0 električno polje ima maksimalnu vrijednost:
q ND xn q NA xp
Fm . (3.2.2.8)
Integriranjem izraza (3.2.2.6) i (3.2.2.7) dobiva se funkcija raspodjele potencijala u području
barijere:
q N A x2
x p x K 2 , (3.2.2.9)
2
q N D x 2
x n x K 3 . (3.2.2.10)
2
Ako se odabere jedna strana barijere kao ishodišna (npr. (-xp) = p = 0), za konstante K2 i
K3 dobiva se:
2
q N A xp
K2 K3 . (3.2.2.11)
2
Konstante integracije K2 i K3 su jednake jer je funkcija raspodjele potencijala neprekinuta
(kontinuirana).
Vrijednost potencijala u točki x = xn iznosi:
2
q N D x 2n q N A x p
( x n ) n (3.2.2.12)
2 2
i jednaka je kontaktnom potencijalu Uk.
Uz uvjet:
ND xn NA xp (3.2.2.13)
kojim se izriče električna neutralnost cjeline pn spoja, mogu se odrediti širine barijere xn i xp:
2 Uk NA
xn , (3.2.2.14)
q N D (N A N D )
2 Uk ND
xp . (3.2.2.15)
q N A (N A N D )
31
2 U k (N A N D )
d B x n ( x p ) . (3.2.2.16)
q NA ND
32
Slika 3.2.3.1: Polarizacija pn spoja.
Promjena širine područja barijere pn spoja izravna je posljedica promjene napona na barijeri
UB, koji je jednak kontaktnom naponu Uk i njemu superponiranom vanjskom naponu U. U
uvjetima propusne polarizacije napon na barijeri je umanjen upravo za iznos priključenog
napona U:
UB Uk U , (3.2.3.1)
a pri nepropusnoj polarizaciji je povećan, slika 3.2.3.2.
UB Uk U , (3.2.3.2)
33
rubove barijere su manje od ravnotežnih, ali prema krajevima p i n strane teže ravnotežnim
razinama, slika 3.2.3.4.
34
k T k T k T kT
U ln n ( x p ) ln n( x n ) ln N D ln n 0 p . (3.2.3.8)
q q q q
35
koja se može pisati u skraćenom obliku:
C T0
CT
U (3.2.5.6)
1
Uk
gdje je:
q NA ND
C T0 . (3.2.5.7)
2 Uk (NA ND )
36
3.2.7. Odnos struje i napona pn spoja
Uz priključeni napon U kojim je pn spoj propusno polariziran, povećava se koncentracija
šupljina na rubu barijere n strane i elektrona na rubu barijere p strane, slika 3.2.7.1.
q U
p'( x n ) p( x n ) p 0 ( x n ) p 0 ( x n ) exp 1 . (3.2.7.2)
k T
Izrazi (3.2.7.1) i (3.2.7.2) mogu se upotrijebiti kao rubni uvjeti pri određivanju gustoće struje
elektrona u p strani i šupljina u n strani pn spoja. Drugi rubni uvjet je iznos gustoće na
krajevima pn spoja: p'(xcn) = 0; n'(-xp) = 0.
Opće rješenje jednadžbe kontinuiteta za ekscesne šupljine u području od xn do xcn ima oblik:
x x
p'( x ) A exp B exp . (3.2.7.3)
Lp Lp
x x
0 A exp cn B exp cn . (3.2.7.5)
Lp Lp
37
gdje je
dp ( x ) dp '( x )
. (3.2.7.8)
dx dx
Jednakost (3.2.7.8) proistječe iz relacije p(x) = p'(x) + pon, slika 3.2.7.2.
38
Ako se u (3.2.7.13) uvedu supstitucije:
n 2i n2
n 0 ( x p ) ; p 0 ( x n ) i ; x cp x p w p ; x cn x n w n ,
NA ND
dobiva se izraz:
2 Dn Dp q U
J q ni exp k T 1 , (3.2.7.14)
L n N A th
wp w
L p N D th n
Ln L
p
39
Za wp<<Ln i wn<<Lp (uska p i n strana), funkcija tangens hiperbolni može se aproksimirati
argumentom:
wp wp wn wn
th ; th ,
Ln Ln Lp Lp
gdje je p n 0 p n ( x n ).
40
Slika 3.2.9.1: Akumulirani naboj na širokoj n strani pn spoja.
Za široku stranu pn spoja vrijedi uvjet xcn - xn = wn >> Lp, slika 3.2.9.1. Akumulirani naboj
šupljina Qp na n strani određen je izrazom:
x cn
Qp q S p
xn
n ( x ) p 0 n dx . (3.2.9.2)
x cn x n xn xn
(3.2.9.3)
q S (pn0 p 0 n ) ( L p ) exp exp
L p L p
0
q S (pn0 p 0n ) Lp .
41
Slika 3.2.9.2: Akumulirani naboj na uskoj n strani pn spoja.
Jednadžba pravca koji je jednoznačno definiran točkama T2(xn,pn0) i T1(xcn,p0n) glasi:
p n 0 p 0n
p n ( x) p 0n ( x x cn ) . (3.2.9.7)
x n x cn
Akumulirani naboj Qp može se odrediti prema izrazu (3.2.9.2):
x cn
Q p q S ( p n 0 p 0n ) p
xn
n ( x ) p 0 n dx
x
( p p 0 n ) cn
x n x cn xn
q S n0 ( x x cn ) dx
(3.2.9.8)
x cn
(p n0 p0n ) x 2
q S wn
q S x x cn ( p n 0 p 0n ) .
x n x cn 2 x 2
n
42
ln I s ln k '2 ln n i , (3.2.11.3)
dI s dn E dT
2 i 3 G0 . (3.2.11.4)
Is ni ET T
43
Slika 3.3.1: Raspodjela primjesa u linearno-postupnom pn prijelazu.
ND NA a 2 d 2B
U k U T ln U T ln . (3.3.1.3)
n 2i 4 n 2i
44
d 2 a
x. (3.3.2.1)
dx 2
Integriranjem jednadžbe (3.3.2.1) u području
dB d
x B (3.3.2.2)
2 2
uz uvjet
d d
F 0 za x = B (3.3.2.3)
dx 2
dobiva se izraz za jakost električnog polja kao funkcija od x, slika 3.3.2.1 b),
a q 2 d 2B 4 x2
F( x ) x Fmaks 1 2 (3.3.2.4)
2 2 dB
gdje je Fmaks maksimalna jakost električnog polja:
q a d 2B
Fmaks . (3.3.2.5)
8
Nakon integracije izraza 3.3.2.4 uz rubni uvjet (x)=0 za x=0, dobiva se raspodjela
potencijala:
q a d 2B x3
( x ) x . (3.3.2.6)
2 4 3
dB
Na rubovima barijere, tj u točki x , potencijal iznosi:
2
d q a d 3B
B n , (3.3.2.7)
2 24
dB
a u točki x
2
d q a dB 3
B p . (3.3.2.8)
2 24
Razlika potencijala u tim točkama upravo je izraz za kontaktni potencijal, slika 3.3.2.1 c)
q a d 3B
U k n p . (3.3.2.9)
12
Iz sustava jednadžbi 3.3.1.3 i 3.3.2.9 može se odrediti širina područja barijere d B i kontaktni
potencijal Uk.
45
Slika 3.3.2.1: Raspodjelau linearno-postupno, pn prijelazu:
a) naboja, b) električnog polja, c) potencijala
Iz jednadžbi 3.3.1.3. i 3.3.2.9. određena je ovisnost kontaktnog potencijala o nagibu
raspodjele gustoće te grafički prikazana na slici 3.3.2.2.
46
1
12 3
dB U k U . (3.3.2.11)
q a
47
Slika 3.4.1: Ovisnost topljivosti primjesa u siliciju o temperaturi.
Difuzija primjese se obavlja na odabranim mjestima na površini silicija kroz otvore (prozore)
načinjene na oksidnom sloju SiO2 kojim je presvučena cijela ploha, slika 3.4.2.
gdje je:
f(x,t) broj atoma primjese koji prođu u jedinici vremena kroz centimetar četvorni površine
silicija,
D difuzijska konstanta za atome primjese,
N(x,t) gustoća primjese na udaljenosti x od površine silicija nakon vremena t od početka
difuzije.
Drugi Fickov zakon proistječe iz difuzijske jednadžbe slobodnih nosilaca u kojoj je
izostavljen član za rekombinaciju i generaciju nosilaca jer te pojave ne postoje u procesu
difuzije primjesa:
48
N ( x, t ) 2 N ( x, t )
t
D
x 2
cm -3
s 1 . (3.4.2)
Difuzijski proces može teći uz stalnu površinsku gustoću primjese na površini silicija. To je
difuzija iz neograničenog izvora ili difuzija uz stalnu površinsku gustoću.
Drugi tip je difuzija iz ograničenog izvora pri kojoj nastaje prostorna preraspodjela
(redistribucija) atoma primjese predhodno unešenih u silicij u prvom koraku difuzije
(predepoziciji).
Isto tako se može odrediti s pomoću izraza (3.4.1.1) i ukupan broj atoma primjese koji prođu
kroz jediničnu površinu (1 cm2) poluvodiča do trenutka t:
2 N0
Q( t ) N ( x, t ) dt
D t cm -2 . (3.4.1.4)
0
49
Ukoliko je ukupan broj atoma primjese određen izrazom (3.4.1.1) početni (ograničeni) izvor
iz kojeg primjesa prodire dublje u obujam poluvodiča, tada se prvi korak difuzije kojim je
unešena količina Q(t) naziva predepozicija. Da bi količina primjese Q(t) ostala
nepromjenjena, površina silicija se prekriva slojem silicijevog dioksida SiO 2 kako bi se
onemogućilo isparavanje primjese u okolni prostor. Nakon oksidacije poluvodič se stavlja u
difuzijsku peć u kojoj pri temperaturi od oko 1000 oC primjesa prodire (difundiraja) dublje u
obujam poluvodiča. To je drugi korak difuzije primjese ili redistribucija. Raspodjela gustoće
primjese kao funkcija udaljenosti x od površine poluvodiča i trajanja difuzije t određena je
Gaussovom raspodjelom koja se dobiva rješenjem jednadžbe drugog Fickovog zakona:
Q x2
N ( x, t ) exp . (3.4.2.1)
Dt 4 D t
3.4.3. Dubina pn spoja
Određivanje dubine pn spoja dobivenog difuzijom primjese razmotrit će se na siliciju s
jednolikom (uniformnom) gustoćom primjese donora ND, u koji se difuzijom unose atomi
akceptora s raspodjelom gustoće N(x,t), slika 3.4.3.1.
4. BIPOLARNI TRANZISTOR
4.1 Definicija i tehnološka izvedba
50
Naziv tranzistor nastao je kao složenica od dvije engleske riječi: transfer resistor što u
prijevodu znači prenjeti otpor. U nazivu bipolarni tranzistor sadržana je osnovna značajka
ovog elektroničkog elementa, njegovo aktivno djelovanje (prijenos otpora) koje se temelji na
sudjelovanju obaju tipova nosilaca naboja (bipolarnih nosilaca tj. elektrona i šupljina).
Bipolarni spojni tranzistor (skračenica BJT od engl. bipolar junction transistor) može se u
načelu shvatiti kao ustrojstvo dvaju pn spojeva, tj. kao poluvodička cjelina pnp ili npn tipa u
kojoj se središnji sloj naziva baza (oznaka B), a druga dva sloja su emiter (oznaka E) i
kolektor (oznaka C), slika 4.1.1.
51
Slika 4.1.2: Energijski i potencijalni dijagrami za npn tranzistor:
a) i d) u ravnotežnom stanju,
b) i c) u stanju normalne polarizacije.
Širina osiromašenog područja na emiterskom i kolektorskom spojištu mijenja se u ovisnosti
o iznosu priključenog napona i njegovu polaritetu. Stoga su efektivne širine pojedinih
područja wE, wB i wC različite od tehnoloških dimenzija wE0, wB0 i wC0, a najizraženije su
promjene u području baze na spojištu kolektor-baza zbog nepropusne polarizacije tog spojišta,
slika 4.1.3.
52
Slika 4.1.4: Diskretna izvedba planarnog npn tranzistora.
Proizvodnja planarnih tranzistora temelji se na metodama planarne tehnologije na siliciju.
Na jako vodljivoj n+ monokristalnoj silicijskoj podlozi (pločici) formira se epitaksijalnim
rastom n sloj (epitaksijalni sloj). Zatim se cijela struktura podvrgava procesu oksidacije
(nanošenje sloja silicijeva dioksida), te se kroz male otvore (prozore) difuzijom iz
ograničenog izvora unosi primjesa tj. atomi akceptora formirajući tako p područje (područje
baze). Potom se kroz novi otvor (E) difuzijom iz neograničenog izvora formira n + područje
emitera. Kao materijal za kontakt s pojedinim područjima upotrebljava se aluminij jer se
dobro vezuje s oksidnim slojem, dobro odvodi toplinu i ne stvara sa silicijem ispravljački
spoj. Aluminijski spoj s n+ područjem, zbog velike gustoće primjese (iznad 51018cm-3) ima
omski karakter, kao i aluminijski spoj s područjem baze koje je poluvodič p tipa. Područje
emitera obično ima veću gustoću primjesa u odnosu prema bazi, a baza u odnosu prema
kolektoru. Područje kolektora je n tip poluvodiča, ali je spojeno na aluminijski kontakt preko
n+ područja kako bi se uklonilo ispravljačko djelovanje na spoju metal-poluvodič.
Tipična raspodjela (profil) primjese za pojedina područja bipolarnog spojnog tranzistora
prikazana je na slici 4.1.5., gdje je uz stvarnu nejednoliku raspodjelu primjese prikazana i
idealizirana jednolika raspodjela sa skokovitim prijelazima.
53
4.2. Profili manjinskih nosilaca i područje rada tranzistora
U stacionarnom stanju raspodjela elektrona u bazi npn tranzistora može se odrediti rješenjem
jednadžbe kontinuiteta (2.14.1) koja napisana za manjinske elektrone u bazi, uz uvjet
n B
0 , prelazi u oblik:
t
2 n B n B n B0
Dn 2 0 (4.2.1)
x nB
gdje je nB gustoća elektrona u bazi, a nB0 je toplinska ravnotežna gustoća:
n 2i
n B0 . (4.2.2)
N AB
Rješenje jednadžbe (4.2.1.) potrebno je odrediti uz uvjete:
U
n B x E n B0 exp BE (4.2.3)
UT
U
n B x E w B0 n B0 exp BC (4.2.4)
UT
u kojima su zanemarene širine osiromašenih područja emiterskog i kolektorskog spojišta, tj.
za efektivnu širinu emitera, baze i kolektora uzete su njihove tehnološke širine w E0, wB0 i wC0,
slika 4.1.3.
Sukladno ovim oznakama rješenje jednadžbe poprima oblik:
x xE x xE
n B ( x ) n B0 A 1B exp A 2 B exp (4.2.5)
L nB LnB
gdje je:
w
n B x E w B0 n B x E exp B0
LnB
A 1B , (4.2.6)
w
2 sh B0
L nB
w
n B x E w B0 n B x E exp B0
LnB
A 1B , (4.2.7)
w B0
2 sh
LnB
n B x E w B0 n B x E w B 0 n B 0 , (4.2.8)
n B x E n B x E n B0 . (4.2.9)
Ako je spoj emiter-baza propusno, a spoj kolektor-baza nepropusno polariziran, tada se mogu
pisati sljedeće relacije:
54
U
n B ( x E ) n B0 exp BE , (4.2.10)
UT
n B ( x E w B0 ) 0 . (4.2.11)
Budući da je za tranzistorski efekt nužan uvjet uske baze, tj. treba biti:
w B0
1 (4.2.12)
L nB
rješenje jednadžbe (4.2.5) može se aproksimirati linearnim rješenjem nakon razvoja u
x xE x xE
Taylorov red članova exp i exp :
L nB LnB
w B0 x E x
n B (x) n B (x E ) . (4.2.13)
w B0
Na slici 4.2.1. prikazana je linearna raspodjela manjinskih elektrona u bazi npn tranzistora
sukladno relaciji (4.2.13) i nelinearna sukladno relaciji (4.2.5).
2 p C p C p C0
Dp 0 (4.2.15)
x 2 pC
gdje je pE vriojeme života šupljina u emiteru, a pC vrijeme života šupljina u kolektoru.
Termičke ravnoteže gustoća određene su izrazima:
n 2i n2
p E0 ; p C0 i . (4.2.16)
N DE N DC
55
Uz rubne uvjete:
p E ( 0) p E 0 , (4.2.17)
U
p E ( x E ) p E 0 exp BE , (4.2.18)
UT
U
p C ( x E w B0 ) p C 0 exp BC , (4.2.19)
UT
p C ( x E w B0 x C ) p C 0 . (4.2.20)
Rješenja jednadžbi (4.2.14) i (4.2.15) su:
x
sh
U BE L pE
p E ( x) p E0 p E 0 exp 1 , (4.2.21)
UT xE
sh
L pE
x w B0 x C x
sh E
U BE LpC
p C ( x ) p C 0 p C 0 exp 1 , (4.2.22)
UT xC
sh
L pC
Ovisno o polaritetu napona priključenog između emitera i baze, te kolektora i baze, u načelu
se razlikuju tri područja rada tranzistora:
1. normalno aktivno područje (spoj emiter-baza je propusno, a spoj kolektor-baza nepropusno
polariziran),
2. područje zasićenja (spoj emiter-baza i spoj kolektor-baza su propusno polarizirani),
3. zaporno područje (spoj emiter-baza i spoj kolektor-baza su nepropusno polarizirani).
Uz navedena tri područja teorijski se razmatra i četvrto područje koji je obrnuto (inverzno) u
odnosu prema normalnom aktivnom području (spoj emiter-baza je nepropusno, a spoj
kolektor-baza propusno polariziran).
Raspodjela utisnutih manjinskih nosilaca u područje emitera, baze i kolektora mogu se
grafički prikazati na temelju jednadžbi (4.2.5), (4.2.21) i (4.2.22). Na slici 4.2.2 prikazane su
raspodjele za sva četiri područja rada.
56
Slika 4.2.2: Raspodjela utisnutih manjinskih nosilaca u područje
emitera, baze i kolektora za:
a) normalno aktivno područje, b) područje zasićenja,
c) zaporno područje, d) inverzno aktivno područje.
U normalnom aktivnom području prema slici 4.2.2. veća gustoća primjese iz emitera rezultira
u većem utiskivanju nosilaca u područje baze.
U području zasićenja je utiskivanje elektrona iz kolektora u suprotnom smjeru od utiskivanja
iz emitera. Stoga je struja koja je proporciionalna nagibu raspodjele elektrona u bazi manja u
odnosu prema struji u normalnom aktivnom području. Kvalitativan prikaz ove pojave
prikazan je na slici 4.2.3.
57
Slika 4.2.3: Raspodjela utisnutih elektrona u bazi npn tranzistora u području zasićenja:
a) iz emitera, b) iz kolektora, c) ukupna raspodjela.
U zapornom području teku male zaporne struje jer se mali broj nosilaca utisne u bazu.
U inverznom aktivnom području se veći broj šupljina utisne u kolektorsko područje nego
elektrona u bazu, što rezultira u vrlo malom strujnom pojačanju, pa se ovo područje samo
teorijski razmatra pri određivanju parametara tranzistora.
58
1. struje šupljina IpE (šupljine utisnute iz emitera u bazu),
2. struje elektrone InE (elektroni utisnuti iz baze u emiter).
I E I pE I nE (4.3.1)
Sastavnice struje kolektora IC su:
1. struje šupljina IpC (struja IpE umanjena za rekombinacijsku struju IR),
2. reverzne struje zasićenja ICB0 (struja manjinskih nosilaca nepropusno polariziranog spoja
kolektor-baza).
I C I pC I CB 0 (4.3.2)
Struja baze IB sastoji se od tri sastavnice:
1. struje elektrona InE (utisnuta struja iz emitera u bazu),
2. rekombinacijske struje IR , koja je posljedica rekombinacije elektrona u bazi i dijela
šupljina iz emitera,
I R I pE I pC (4.3.3)
3. reverzne struje zasićenja spojišta kolektor-baza ICB0.
I B I nE I R I CB 0 (4.3.4)
Struja emitera jednaka je zbroju struje kolektora i struje baze:
IE IC IB (4.3.5)
Za npn tranzistor, slika 4.3.2. sve struje teku u suprotnom smjeru u odnosu prema strujama
pnp tranzistora.
59
To je difuzijska struja šupljina koja teče u n tip emitera kao što teče difuzijska struja elektrona
u p tip baze. Stoga se struja baze može izraziti relacijom:
dp E q D p S p E0 U
I B I pE q D p S exp BE , (4.3.12)
dx x x w
E E0
w E0 UT
n 2i
gdje je p E 0 .
N DE
Tehnološka širina emitera wE0 mnogo je manja od difuzijske dužine šupljina u emiteru
(transparentni emiter), tj. može se pisati nejednakost wE0 << LpE. Obično je wE0 istog reda
veličine kao i tehnološka širina baze wB0, ali je redovito u emiteru mnogo veća gustoća
primjese nego u bazi (pE0 << nB0) što znači da je struja baze mnogo manja od struje emitera.
I nE I
nE (za npn tranzistor) (4.4.1.2)
I nE I pE IE
I nC I
* 1 R (za npn tranzistor) (4.4.2.2)
I nE I nE
4.4.3. Strujno pojačanje
Omjer struje većinskih nosliaca kolektora i ukupne struje emitera jednak je umnošku
djelotvornosti i faktora prijenosa, a definira se kao strujno pojačanje tranzistora u spoju
zajedničke baze:
I pC I pC I pE
* (za pnp tranzistor) (4.4.3.1)
IE I pE I E
I nC I nC I nE
* (za npn tranzistor) (4.4.3.2)
IE I nE I E
Sukladno definiciji za strujno pojačanje , jednadžba (4.3.1), odnosno (4.3.7) može se pisati
kao funkcija IC = f(IE):
I C I E I CB 0 (4.4.3.3)
60
Uvrštavanjem izraza za struju emitera, IE = IC + IB u relaciju (4.4.3.3) dobiva se funkcija IC =
f(IB):
I
IC I B CB0 I B ( 1) I CB0 (4.4.3.4)
1 1
u kojoj je faktor strujnog pojačanja tranzistora u spoju zajedničkog emitera.
1
N DE L pE th w E L pE , (4.6.4)
D nB
N AB L nB th w B LnB
odnosno
1
D pE N AB L nB th w B L nB
1 . (4.6.5)
D nB N DE L pE th w E L pE
Iako je u pravilu kod stvarnih planarnih tranzistora emiter uska n strana, transparentni emiter,
teorijski se može razmatrati i slučaj kada je emiter široka n strana (w E/LpE >> 1), a baza uska p
strana (wB/LnB << 1). Tada vrijede sljedeće aproksimacije:
th ( w E L pE ) 1 , (4.6.6)
wB
th( w B L nB ) , (4.6.7)
L nB
te se izraz izraz za djelotvornost pnp tranzistora svodi na jednostavniji oblik:
61
1
D N DB w B
1 nE . (4.6.8)
D pB N AE L nE
62
q U BE
za x = xBE, n '( x ) n '( x BE ) n 0 B exp 1 (4.7.5)
kT
Uvrštavanjem navedenih rubnih uvjeta u jednadžbu (4.7.3) dobiva se:
n 0 B sh ( x BC x ) L nB q U BE
n '( x ) exp 1 . (4.7.6)
sh( w B L nB ) kT
Deriviranjem izraza za n'(x) dobiva se gradijent gustoće:
dn '( x ) n 0 B ch ( x BC x ) L nB q U BE
exp 1 , (4.7.7)
dx L nB sh ( w B ) L nB k T
kojim je za x = xBC određena difuzijska struja InC:
dn '( x )
I nC q S D nB
dx x x BC
, (4.7.8)
n 0B q U BE
q S D nB exp 1
L nB sh w B L nB k T
a za x = xBE, difuzijska struja InE:
dn '( x )
I nE q S D nB
dx x x BE
. (4.7.9)
n ch w B L nB q U BE
q S D nB 0 B exp 1
L nB sh w B L nB k T
63
Slika 4.7.2: Prikaz tranzistora s dvije diode kad je širina
baze veća od difuzijske dužine nosilaca.
Budući da je NDE >> NAB redovito je faktor >> 1. Omjer Dn/Dp može se izraziti kao omjer
pokretljivosti elektrona i šupljina n/p. Kako je pokretljivost elektrona veća od pokretljivosti
šupljina (2.5 puta za silicij) to je i faktor npn tranzistora veći od faktora pnp tranzistora.
Prema relaciji (4.8.1) može se zaključiti da se veći postiže povećanjem razine gustoće
primjese u emiteru NDE. Nažalost, takav zaključak se u praksi pokazao netočnim što se tumači
degeneriranim svojstvima poluvodiča. Naime pri gustoćama primjese veličine od oko 1019cm-3
i većima mijenjaju se fizikalna svojstva materijala, tj. smanjuje se energijski procijep za iznos
EG koji se može odrediti pomoću izraza (2.4.3.1).
Smanjenjem energijskog procijepa nastaje povećanje intrinsične gustoće u emiteru n i deg koja
se može odrediti iz izraza (2.2.1) za intrinsičnu gustoću nedegeneriranog poluvodiča u koji je
uvršteno smanjenje energijskog procijepa:
E E G
ni2deg N V N C exp G
k T
(4.8.2)
E E E
N V N C exp G exp G ni2 G ,
k T k T k T
gdje je ni intrinsična gustoća nedegeneriranog poluvodiča.
Budući da je gustoća utisnutih šupljina u područje emitera proporcionalna veličini nideg/NDE za
faktor strujnog pojačanja može se pisati izraz koji uključuje efekt degeneriranog emitera:
Dn N DE w E E G
exp . (4.8.3)
D p N AB wB k T
Ovisnost faktora strujnog pojačanja o razini gustoće primjese NDE za određenu vrijednost
gustoće NAB prikazana je na slici 1. za temperaturu T = 300 K i T = 280 K.
64
Slika 4.8.1: Ovisnost faktora strujnog pojačanja o gustoći primjese u emiteru.
Linearna funkcija raspodjele (4.9.1) može se, sukladno uvjetu n'(xBE) >> n'(xBC) 0, svesti na
jednostavniji oblik:
n '( x BE ) n '( x BE )
n '( x ) n '( x BC ) ( x x BC ) ( x x BC ) . (4.9.2)
x BE x BC w B
Gustoća difuzijske struje elektrona u bazi tranzistora dana je izazom:
65
dn '( x ) dn '( x BE )
J nB q D nB q D nB q n '( x ) v ( x ) , (4.9.3)
dx wB
u kojemu je v(x) brzina nosilaca kroz bazu.
dx
U skladu s definicijom za brzinu v( x ) može se odrediti vrijeme proleta nosilaca kroz
dt
bazu:
x BC
dx
t pr
x BE
v( x )
. (4.9.4)
66
Pri većim iznosima napona nepropusne polarizacije kolektor-baza U CB, efektivna širina baze
može poprimiti iznos nula pri ćemu nastaje naponski proboj tranzistora (engl. punch-
through).
Posljedica Earlyjevog efekta očituje se u promjeni gustoće i nagibu raspodjele gustoće
manjinskih nosilaca naboja u bazi. Smanjenjem efektivne širine baze umanjuje se i
vjerojatnost poništavanja manjinskih nosilaca u bazi pa prema tome i rekombinacijska
sastavnica struje baze, što izravno utječe na povećanje faktora strujnog pojačanja (jednadžba
4.8.1.). Nadalje povećava se nagib (gradijent) raspodjele gustoće manjinskih nosilaca u bazi
(elektrona, ako se radi o npn tranzistoru), te se povećava elektronska sastavnica struje emitera
koja je proporcionalna nagibu raspodjele gustoće. Navedene se pojave mogu iskazati
jednadžbama:
I R I nE I nC (4.10.1)
2
1 w
I R I nE (1 ) I nE B
*
(4.10.2)
2 L nB
S q n B0 D nB
I nE (4.10.3)
wB
Uvrštavanjem jednadžbe (4.10.3) u (4.10.2) izraz za rekombinacijsku sastavnicu struje baze
poprima oblik:
S q n B0 D nB 1 w 2B S q n B0 w B Q nB
IR (4.10.4)
wB 2 L nB 2 nB nB
67
U
I R I CS exp CB 1 . (4.11.22)
UT
Faktor I (alfa inverzno) je strujno pojačanja tranzistora u spoju zajedničke baze kad
tranzistor radi u inverznom aktivnom području (spoj emiter baza je nepropusno polariziran, a
spoj kolektor baza propusno). N (alfa normalno) je strujno pojačanje tranzistora u spoju
zajedničke baze za normalno aktivno područje.
Iz sustava jednadžbi od (4.11.19) do (4.11.22) mogu se struje I E i IC izraziti kao funkcije
napona UEB i UCB:
U U
I E I ES exp EB 1 I I CS exp CB 1 , (4.11.23)
UT UT
U U
I C N I ES exp EB 1 I CS exp CB 1 . (4.11.24)
UT UT
U
I'' I CB 0 exp CB 1 . (4.11.31)
UT
Iz sustava jednadžbi (4.11.28)-(4.11.31) mogu se struje I C i IE izraziti kao funkcije napona UEB
i UCB:
I EB 0 U I U
IE exp EB 1 I CB0 exp CB 1 , (4.11.32)
1 N I U T 1 N I U T
68
N I EB0 U EB I CB0 U
IC exp 1 exp CB 1 . (4.11.33)
1 N I U T 1 N I U T
I CB 0
I CS , (4.11.35)
1 N I
U Ebers-Mollovom modelu npn tranzistora strujni izvori i struje dioda imaju suprotan
predznak u odnosu prema strujama pnp tranzistora, a zbog npn ustrojstva promjenjeni su i
polariteti napona na spoju emiter-baza i kolektor-baza, slika 4.11.4.
69
Slika 4.12.1: Područja rada npn tranzistora:
"1" - normalno aktivno, "2" - inverzno aktivno,
"3" - zasićenje, "4" - zapiranje.
Sukladno Ebers-Mollovim jednadžbama prikazana četiri područja rada tranzistora mogu se
odrediti analitičkim izrazima:
1. Za normalno aktivno područje, iz jednadžbi za npn tranzistor (4.11.36) i (4.11.37), uz
uvjet UBE >> UT; UBC < 0, dobivaju se relacije:
U
I E I ES exp BE 1 I I CS , (4.12.1)
UT
U
I C N I ES exp BE 1 I CS , (4.12.2)
UT
pomoću kojih se može odrediti funkcija IC = f(IE) za normalno aktivno područje:
I C N I E I CS (1 N I ) , (4.12.3)
odnosno
I C N I E I CB0 . (4.12.4)
2. Za inverzno aktivno područje izvedena je relacija iz Ebers-Mollovih jednadžbi uz uvjet
UBE < 0 i UBC >> UT,:
I E I I C I EB0 . (4.12.5)
3. Područje zasićenja definirano je naponima kojima su propusno polarizirana oba spojišta,
UBE > 0 i UBC > 0. Sukladno tim uvjetima iz relacija (4.11.36) i (4.11.37) izvedeni su izrazi
za napone UBE i UBC:
I E I I C I EB0
U BE U T ln , (4.12.6)
I EB 0
I C N I E I CB0
U BC U T ln . (4.12.7)
I CB0
Napon između kolektora i emitera UCE jednak je razlici napona UBE i UBC, slika 4.12.2.:
70
Slika 4.12.2: Orijentacija napona za npn tranzistor u zasićenju.
( I E I I C I EB 0 ) N
U CE U T ln . (4.12.8)
( I C N I E I CB0 ) I
4. Zaporno područje definirano je naponima kojima su nepropusno polarizirana spojišta
emiter baza i kolektor baza, UBE < 0, UBC < 0. Uz te uvjete, iz Ebers-Mollovih jednadžbi
za npn tranzistor proistječu relacije za struje IC i IE:
I EB0
IE (1 N ) (4.12.9)
1 N I
I CB 0
IC (1 I ) , (4.12.10)
1 N I
koje pokazuju da unatoč nepropusnoj polarizaciji oba spojišta teku male struje emitera i
kolektora. Stoga se zaporno područje definira uvjetom I E = 0 i UBC < 0, a pritom je struja
kolektora IC jednaka struji ICB0. Uvrštavanjem uvjeta IE = 0 i IC = ICB0 u Ebers-Mollovu
jednadžbu (4.11.36) dobiva se izraz za napon UBE:
U BE U T ln(1 N ) . (4.12.11)
Npr. za vrijednost N = 0.9 pri T = 300 K, emitersko je spojište nepropusno polarizirano
naponom iznosa UBE = -59.5 mV.
Ebers-Mollove jednadžbe izvedene su uz napone emiter-baza i kolektor baza za tranzistor sa
zanemarivim serijskim otporima emitera, baze i kolektora. Tako npr. serijski otpor emitera
sastoji se od otpora priključka metalnog kontakta na emiter i tijela emitera. Na isti način
definiraju se serijski otpori baze i kolektora. Za realni tranzistor u račun je potrebno uključiti i
vrijednosti tih otpora. Nadomjesni sklop za realni tranzistor može se prikazati kao idealni
tranzistor s uključenim serijskim otporima rbb', rcc' i ree', slika 4.12.3. Kako je emiter najjače
onečišćeno područje njegova električna provodnost je velika pa se serijski otpor ree' obično ne
uključuje u račun. Područje baze je relativno usko sa znatnom električnom otpornošću pa se
serijski otpor s tipičnim iznosima od 10 do 100 najčešće uključuje u račun. Pri većim
strujama kolektora pad napona na serijskom otporu rcc' može značajno utjecati na rad
tranzistora.
71
Slika 4.12.3: Nadomjesni sklop realnog npn tranzistora
(za područje zasićenja).
U skladu s orijentacijom struja i padova napona u nadomjesnom sklopu na slici 4.12.3., mogu
se napisati jednadžbe naponske ravnoteže:
U BE I B rbb ' U B'E ' I E ree ' 0 (4.12.12)
U BC I B rbb ' U B 'C ' I C rcc ' 0 . (4.12.13)
Pažljiv će čitatelj odmah uočiti nedosljednost u oznakama za napone realnog i idealnog
tranzistora. Prema slici 4.12.3. oznake U B'E' i UB'C' odnose se na idealan tranzistor stoga
odgovaraju oznakama UBE i UBC u Ebers-Mollovim jednadžbama, dok se oznake U BE i UBC
odnose na realan tranzistor.
72
Slika 4.13.1.2: Izlazne karakteristike npn tranzistora u spoju zajedničke baze.
U normalnom aktivnom području rada tranzistora u spoju zajedničke baze karakteristike su
približno vodoravni pravci, a mali porast struje I C koji nastaje s povećanjem napona U CB
tumači se kao posljedica Earlyjevog efekta. Pri propusnom polaritetu napona kolektor-baza, (-
UCB), tranzistor radi u području zasićenja koje je karakterizirano naglim padom struje
kolektora što se tumači smanjenjem gradijenta gustoće elektrona u bazi.
Stalna vrijednost struje emitera IE pri promjeni (povećanju apsolutne vrijednosti) napona UCB
može se održati promjenom (smanjenjem) napona UBE tako da je gradijent gustoće elektrona u
bazi tranzistora stalan, slika 4.13.1.3.
Slika 4.13.1.3: Definicija stalnog gradijenta gustoće nosilaca (elektrona) u bazi npn
tranzistora pri promjeni napona UCB.
73
Slika 4.13.2.2: Izlazne karakteristike npn tranzistora u spoju zajedničkog emitera.
U skladu s jednadžbom UCE = UBE - UBC za aktivno područje nužno treba biti ispunjen uvjet
UCE > UBE da bi spoj kolektor-baza bio nepropusno polariziran naponom U CB. Povećanjem
napona UCE povećava se i apsolutni iznos napona UCB, a smanjuje se efektivna širina baze. Da
bi pritom struja baze zadržala stalnu vrijednost potrebno je povećati gustoću manjinskih
nosilaca (elektrona) n0B na rubu barijere emiterskog spojišta, odnosno povećati napon
propusne polarizacije UBE spoja emiter-baza, slika 4.13.2.3.
Slika 4.13.2.3: Prikaz utjecaja promjene efektivne širine baze na izlazne karakterisike npn
tranzistora u spoju zajedničkog emitera.
74
5. UNIPOLARNI TRANZISTOR (TRANZISTOR S DJELOVANJEM
ELEKTRIČNOG POLJA)
U vođenju struje kod unipolarnih tranzistora sudjeluju većinski nosioci naboja (elektroni ili
šupljine), a jakost te struje može se mijenjati vanjskim naponom. Zbog toga što se promjena
vodljivosti poluvodiča, a time i jakosti struje, postiže djelovanjem poprečnoga
(transverzalnoga) električnoga polja koje je posljedica upravo priključenog vanjskog napona
na poluvodič, uz naziv unipolarni tranzistor obično se upotrebljava skraćeni naziv tranzistor s
efektom polja. Dio poluvodiča kroz koji teče struja naziva se kanal, a ovisno o tome koji je tip
nosilaca naboja u kanalu, unipolarni tranzistori mogu biti p-kanalni ili n-kanalni. Prvi
unipolarni tranzistori su spojni tranzistori s efektom polja sa skraćenim nazivom JFET (engl.
junction field effect transistor). Za razliku od ustrojstva spojnog tranzistora, upravljačka
elektroda kojom se upravlja protjecanjem struje kroz kanal, može biti odvojena od kanala
izolacijskim slojem silicijevog dioksida. Takav tranzistor pripada skupini tranzistora s
efektom polja s izoliranim vratima, a skraćeni mu je naziv IGFET (engl. insulated gate field
effect transistor) ili MOSFET (engl. metal-oxide-semiconductor field effect transistor) zbog
ustrojstva kojega čini silicij kao ishodišni materijal i silicijev dioksid kao izolacijski sloj ispod
metalne elektrode (vrata).
75
Slika 5.1.2: Širina potpuno otvorenog kanala pri UDS = 0 i UGS = 0.
U skladu sa slikom 5.1.2. vodljivost potpuno otvorenog kanala određena je izrazom:
1 q n N D 2a w 2a w
G0 . (5.1.1)
R0 L L
Pri nekom naponu UGS i naponu UDS = 0 širina kanala se jednako po cijeloj njegovoj dužini
smanji na stalnu vrijednost 2b, slika 5.1.3.
Slika 5.1.3: Širina kanala pri nekom naponu UGS i naponu UDS = 0.
U skladu s jednadžbom izvedenom za širinu područja barijere jednostranog pn spoja, može se
napisati izraz za širinu barijere:
2 ( U k U GS )
ab . (5.1.2)
q ND
Napon UGS pri kojemu je širina kanala jednaka ništici (b = 0), označen je kao napon dodira
UGS0 (engl. pinch-off voltage):
2 ( U k U GS 0 )
a2 , (5.1.3)
q ND
odnosno
a2 q N D
U GS 0 U k . (5.1.4)
2
Iz jednadžbi (5.1.2) i (5.1.4) može se izraziti poluširina kanal u ovisnosti o naponu UGS i UGS0:
76
U k U GS
b a 1 . (5.1.5)
U k U GS 0
Pri naponu UDS 0 i UGS 0 kroz kanal teče struja odvoda stvarajući pad napona duž kanala.
Napon između uvoda i bilo koje točke u kanalu funkcija je koordinate x, U(x), pa je i napon
nepropusno polariziranog pn spoja vrata-kanal funkcija koordinate x. Posljedica toga je da
širina kanala više nije stalna već se mijenja duž kanala, slika 5.1.4.
odnosno
U k U GS U ( x )
I D dx 2a w q N D n 1 dU ( x ) . (5.1.9)
U k U GS 0
Ako se uvod S uzme kao ishodišna i referentna točka, integraciju lijeve strane jednadžbe treba
provesti u granicama od x = 0 do x = L, a desne od napona vrijednosti 0 do U DS. Tako se
dobiva izraz:
77
k GS
3 3
2 U U U DS
2 U U 2
I D G 0 U DS k GS
, (5.1.10)
3 U k U GS 0
gdje je G0 vodljivost potpuno otvorenog kanala:
2a w q N D n
G0 . (5.1.11)
L
Funkcija (5.1.10) poprima maksimalnu vrijednost u točki UDS = UGS - UGS0, a zatim opada s
porastom napona UDS. Takav tok funkcije ne odgovara stvarnoj (izmjerenoj) karakteristici. Na
izmjerenim karakteristikama utvrđeno je da nakon vrijednosti UDS = UGS - UGS0 struja blago
raste s porastom napona UDS (praktički ima stalnu vrijednost). Pri naponu UDS = UGS - UGS0,
napon odvod-vrata, UDG, jednak je naponu dodira -UGS0, a to znači da dodir barijera nastaje na
strani odvoda. Smanjivanje širine kanala kao i dodir barijera nastaju zbog pada napona duž
kanala. Kako je pad napona posljedica protjecanja struje kroz kanal, pri dodiru barijera
prestala bi teći i struja, te bi nestao i uzrok dodira barijera. Stoga je zaključak da širina kanala
na mjestu dodira barijera nije jednaka ništici, već ima mali iznos koji se pri prekoračenju
napona dodira proteže prema uvodu, slika 5.1.5.
78
Slika 5.1.6: Izlazne karakteristike FETa. Definicija triodnog područja i
područja zasićenja.
5.1.1. Dinamički parametri FETa
Derivacija struje ID po naponu UGS pri nekoj stalnoj vrijednosti napona U DS definira se kao
strmina:
I D
gm . (5.1.1.1)
U GS U DS konst.
U k U GS
g m G 0 1 . (5.1.1.3)
U k U GS 0
Izlazna dinamička vodljivost definirana je derivacijom struje I D po naponu UDS pri nekoj
stalnoj vrijednosti napona UGS. Tako je za triodno područje izveden izraz:
U k U GS U DS
g d G 0 1 . (5.1.1.4)
U k U GS 0
79
Ustrojstvo p-kanalnog spojnog FETa (kanal je p tipa, a područje vrata n + tipa) je takvo da
naponi napajanja UGS i UDS, te struja ID, imaju suprotan predznak od onog za n-kanalni FET,
slika 5.1.2.1.
a2 q N A
U GS 0 Uk , (5.1.2.2)
2
U k U GS
b a 1 . (5.1.2.3)
U k U GS 0
Triodno područje:
3 3
2
I D G 0 U DS
U k U GS U DS 2 U U
k GS 2
. (5.1.2.4)
3 U k U GS 0
Granični uvjet između područja zasićenja i triodnog područja treba pisati u obliku apsolutnih
vrijednosti:
U DS U GS U GS 0 . (5.1.2.5)
Područje zasićenja:
3 3
I Dzas 2
G 0 U GS U GS 0
U k U GS 0 2 U U
k GS 2
.
(5.1.2.6)
3 U k U GS 0
80
5.1.3. Statičke karakteristike FETa
Izlazne karakteristike spojnog FETa dane su za triodno područje jednadžbom (5.1.10), a za
područje zasićenja jednadžbom (5.1.12). U podrućju zasićenja funkcija I D = f(UGS) je ujedno i
prijenosna karakteristika koja se može približno prikazati paraboličnom funkcijom:
2
U
I D I DSS 1 GS (5.1.3.1)
U GS 0
u odsječku određenom točkama UGS0 i IDSS (struja ID pri naponu UGS = 0). Dio parabole izvan
tog područja nema fizikalnoga značenja, slika 5.1.3.1.
5.2. MOSFET
MOS unipolarni tranzistor može biti izveden kao n-kanalni na p-podlozi ili kao p-kanalni
na n-podlozi, obogaćenog ili osiromašenog tipa. Podloga je silicij s relativno malom
gustoćom primjese na koju se nanosi tanki sloj silicijeva dioksida SiO 2 debljine t0x 0.1 m.
Zatim se određenim planarnim postupkom (fotolitografski postupak) otvaraju "difuzijski
prozori" u oksidnom sloju kroz koje se difuzijom unosi primjesa, oblikujući tako područje
uvoda i odvoda u podlozi. Gustoća primjese u području uvoda i odvoda je relativno velika.
Dio poluvodiča između uvoda i odvoda označen je kao kanal kroz koji struja može teći jedino
ako su u njemu nosioci naboja istog tipa kao i većinski nosioci područja uvoda i odvoda. To
znači da je za n-kanalni MOSFET uz površinu između p-podloge i izolatora (u kanalu) nužno
stvoriti višak elektrona, odnosno uspostaviti inverzijski sloj između uvoda i odvoda. To je
temeljni preduvjet za vođenje MOSFETa.
Inverzijski sloj može nastati pod utjecajem priključenog napona odgovarajućeg polariteta
između vrata i uvoda, UGS. Tako npr. za p kanalni MOSFET pozitivni napon U GS izvlači
elektrone iz dubine podloge te ih gomila uz spoj podloge i izolacijskog sloja obogaćujći tako
područje kanala elektronima, slika 5.2.1. Što je veći pozitivni napon U GS to je veća i
vodljivost kanala, te je uz stalan napon između odvoda i uvoda U DS veća i struja ID između
njih. Struja ID može teći uz priključeni napon UDS samo ako je napon UGS pozitivan i veći od
određene vrijednosti koja se naziva napon praga UGS0. S obzirom na iznesene značajke takav
n-kanalni MOSFET pripada skupini obogaćenog tipa.
81
Slika 5.2.1: Presjek n-kanalnog MOSFETa.
Drugi tip n-kanalnog MOSFETa moguće je oblikovati tako da se između uvoda i odvoda
posebnim tehnološkim postupkom unese uzak kanal n-tipa s relativno malom gustoćom
primjese, slika 5.2.2. a). Značajka je tog n-kanalnog MOSFETa što struja ID može teći i pri
naponu UGS = 0.
Uz negativan napon UGS u izolacijskom sloju dolazi do gomilanja pozitivnog naboja uz
metalni spoj upravljačke elektrode i izolatora, a negativnog naboja uz spoj izolatora i kanala.
Nagomilani negativni naboj odbija slobodne elektrone u dijelu kanala u blizini spoja s
izolacijskim slojem, te se u kanalu stvara sloj koji je osiromašen slobodnim nosiocima naboja,
slika 5.2.2. b), odnosno smanjena je vodljivost kanala. Upravo zbog svojstva što se vodljivost
područja između uvoda i odvoda može mjenjati osiromašenjem kanala elektronima ovakav
tranzistor spada u skupinu tranzistora osiromašenog tipa. Pozitivnim naponm UGS postiže se
isti učinak kao i kod tranzistora obogaćenog tipa: elektroni se izvlače iz dubine podloge i
gomilaju se u kanalu povećavajući tako njegovu vodljivost.
82
Slika 5.2.3: Prijenosne karakteristike n-kanalnog MOSFETa.
Značajka je n-kanalnog MOSFETa osiromašenog tipa što struja I D može teći i pri negativnim
naponima UGS, pri čemu treba biti UGS0 < UGS < 0 (rad u osiromašenom modu) te pri
pozitivnim naponima UGS (rad u obogaćenom modu). Za razliku od tranzistora osiromašenog
tipa, kroz kanal tranzistora obogaćenog tipa struja može teći samo uz pozitivne napone U GS
pri čemu treba biti UGS > UGS0, tj. tranzistor može raditi samo u obogaćenom modu.
Za p-kanalni MOSFETa podloga je silicijski poluvodič n-tipa, a područja uvoda i odvoda p +-
tipa. Napon praga p-kanalnog MOSFETa obogaćenog tipa je negativan, a tranzistor može
raditi jedino u obogaćenom modu uz negativan napon U GS. Za osiromašeni tip napon praga
UGS0 je pozitivan, a tranzistor može raditi u osiromašenom modu pri U GS > 0 i obogaćenom
modu pri UGS < 0, slika 5.2.4.
83
Uz priključeni napon UDS teče i struja između uvoda i odvoda. Posljedica je pad napona duž
kanala, odnosno nejednolika širina kanala, slika 5.2.1.1. Pad napona duž kanala je funkcija
udaljenosti x od ishodišne, odnosno referentne točke (elektrode), pa izraz za površinsku
gustoću naboja treba također prikazati kao funkciju udaljenosti x:
0 ,0 x
m (x) ( U GS U ( x ) U GS0 ) . (5.2.1.2)
t 0x
S pomoću relacije (5.2.1.2) može se odrediti vodljivost jedinične dužine kanala G(x):
G( x ) nk m ( x ) w , (5.2.1.3)
gdje je nk pokretljivost elektrona u kanalu, a w dubina kanala, slika 5.2.1.1.
84
Jednadžba (5.2.1.6) opisuje triodno područje, a (5.2.1.8) područje zasićenja polja izlaznih
karakteristika n-kanalnog MOSFETa, slika 5.2.1.2.
Slika 5.2.1.3: Definicija polariteta napona i smjera struje za n-kanalni MOSFET obogaćenog
tipa.
85
Slika 5.2.2.1: MOSFET kao promjenjivi linearni otpornik.
Dinamički su parametri definirani kao i za spojni FET. Primjenom njihovih definicija na
odgovarajuće jednadžbe za triodno područje rada, dobiva se:
U DS 1
rd , (5.2.2.2)
I D U GS konst. K ( U GS U GS 0 U DS )
I D
gm K U DS , (5.2.2.3)
U GS
g m rd , (5.2.2.4)
Za područje zasićenja:
1
I Dzas , (5.2.2.5)
rd
g m K ( U GS U GS0 ) . (5.2.2.6)
86
5.3. Nadomjesni sklop za unipolarni tranzistor
Za nadomjesni sklop unipolarnog tranzistora u području rada sa značajkama malih promjena
iznosa signala i srednjih frekvencija, može se upotrijebiti linearni sklop koji sadrži naponski
ili strujni ovisni izvor.
Polazeći od funkcije kojom je izražena ovisnost struje iD o dvije varjable uGS i uDS,
i D f ( u GS , u DS ) (5.3.1)
može se odrediti ukupna promjena strujr iD, što s matematičkog stajališta odgovara totalnom
diferencijalu funkcije (5.3.1)
i D i
di D du GS D du DS (5.3.2)
u GS u DS
Kako oznake iD, uGS i uDS uključuju istosmjerne i trenutne izmjenične veličine:
iD = ID + id,
(5.3.3)
uGS = UGS + ugs, (5.3.4)
uDS = UDS + uds, (5.3.5)
mogu se promjene diD, duGS i duDS prikazati kao trenutne izmjenične veličine id, ugs i uds jer su
za male promjene signala po iznosu zadovoljeni uvjeti:
ID >> id; UGS >> ugs; UDS >> uds. (5.3.6)
U skladu s definicijom za dinamičke parametre:
i D i
gm d (5.3.7)
u GS u gs
1 i D i
d (5.3.8)
rd u DS u ds
relacija (5.3.2) može se pisati u obliku:
1
i d g m u gs u ds (5.3.9)
rd
ili
u ds u gs i d rd (5.3.10)
ako se umjesto gm uvrsti r .
d
87
Slika 5.3.1: Nadomjesni sklop unipolarnog trtanzistora
a) sa strujnim izvorom, b) s naponskim izvorom.
88
PRILOG 1.
89
PRILOG 2.
Definicija funkcije pogreške i tablica vrijednosti
erf ( z)
2
exp x 2 dx , erfc(z) = 1 - erf(z).
0
90
Literatura
91
19 R. A. Colclaser, S. Diehl-Nagle, Materials and Devices for Electrical Engineers and
Physicists, McGraw-Hill Book Company, New York, 1985.
20 K. Adamić, J. Herak, Fizika struktura, stanja i svojstva tvari, Školska knjiga, Zagreb,
1981.
92