Universidad Nacional de Ingeniera Facultad de Ciencias Escuela Profesional de Fsica

PREPARACIN DE MUESTRAS PARA UN MICROSCOPIO ELECTRNICO DE BARRIDO I

Introduccin a la Microscopia Electrnica

ALUMNOS: GONZALES LORENZO CARLOS DAVID 20030196E

Prof. Alcides Lpez

2009-I 9 de Mayo del 2009

(3) Preparacin de Muestras para SEM I

Gonzales Lorenzo Carlos David
Facultad de Ciencias, Universidad Nacional de Ingeniera E-mail: lorentz19_3abn@hotmail.com

La prepararacin de muestras para un Microscopio Electrnico de Barrido (SEM) se distingue segn el tipo de muestra que se quiere analizar. Si la muestra es orgnica no conductora, primero se debe limpiar cuidadosamente y luego debe hacerse un recubrimiento metlico mediante la tcnica del Sputtering esto para que en la muestra haya desprendimiento de electrones y sean captados en el SEM. Para una muestra inorgnica conductora simplemente se debe limpiar la superficie con cuidado de no daarla para ello se usa acetona y un aparato ultrasnico para desprender las suciedades de la muestra por efecto cavitacin. Palabras Claves: Sputtering, ultrasnico, cavitacin.

The prepararacin samples for Scanning Electron Microscope (SEM) differ depending on the type of sample to be analyzed. If the sample is organic non-conductive, it must first be carefully cleaned and then made a metallic coating by sputtering technique in this so that the sample has electron detachment are captured in the SEM. To sample an inorganic conductive simply clean the surface with care not to damage it and for it uses him acetone and an ultrasonic appliance to remove the dirts of the
sample for effect cavitation.

Keywords: Sputtering, ultrasonic, cavitations.

1. Introduccin
La imagen que se forma en un SEM a diferencia del TEM donde la imagen se forma con los electrones del haz que traspasan la muestra, en el SEM la imagen se genera con los electrones que rebotan sobre la superficie de la muestra. Estos electrones dan informacin sobre las caractersticas topogrficas de la muestra. Es decir la calidad de la imagen que se obtenga depender de la capacidad que tenga la muestra para emitir electrones. As que la preparacin de muestras conductoras solo consiste en su limpieza pegado sobre el porta muestras, utilizando para ello un pegamento especial conductor. En el caso de muestras no conductoras se requiere un recubrimiento por pelcula delgada de un elemento conductor. La preparacin de muestras es, en general, sencilla. Los requisitos indispensables que deben cumplir son ausencia de lquidos, es decir, la muestra tiene que estar seca y adems debe ser conductora de la corriente elctrica. Este ltimo requisito se cumple en los metales pero no as en otro tipo de materiales, por lo que para hacer a la muestra conductora se la recubre de una capa de algn material conductor tal como el carbn o el oro.

Este recubrimiento ha de ser suficientemente grueso como para que circule la corriente elctrica que se deposita en la muestra y suficientemente delgado para que no enmascare o tape las caractersticas superficiales de inters. Un proceso muy utilizado para recubrir con pelculas conductoras es el Sputtering y Evaporacin Trmica.

Figura1. Tipos de Monturas para SEM.

2. FUNDAMENTO TERICO 2.1 Monturas para muestras [1] Las monturas que sostienen las muestras en el SEM pueden ser de carbn o de aluminio. Vienen en distintas formas y tamaos como se pueden observar en la figura 1.Las monturas ms usadas estn hechas de una aleacin de Aluminio que es seleccionado por su fcil maquinado y donde las superficies son pulidas primero por mtodos mecnicos y luego mediante tcnicas metalogrficas, se obtiene un terminado de espejo; esta montura es ideal para estudios que requieren superficies totalmente lisas. 2.2 Limpiador ultrasnico: Branson 2210. [2] El funcionamiento de este limpiador ultrasnico se basa en el fenmeno fsico llamado cavitacin en la cual con cuidado y a fondo limpia la superficie de sus muestras. Un transductor ultrasnico conectado al tanque de limpieza transmite una alta frecuencia de sonidos (de 47 KHz) en la solucin de limpieza.

es la misma, el material tiende a debilitarse metalrgicamente y se inicia una erosin que, adems de daar la superficie, provoca que sta se convierta en una zona de mayor prdida de presin y por ende de mayor foco de formacin de burbujas de vapor. 2.4 Cintas Conductoras Para pegar la muestra a la montura se utilizan cintas o pegamentos conductores, las ms requeridas son las cintas de carbn y las cintas de cobre. Son pegamentos de dos caras, cintas elctricamente conductoras fueron desarrollados para adjuntar muestras para ser examinadas por SEM o EDS. Se recomienda un producto conductor basado en carbn para el trabajo de EDS donde es importante eliminar los rayos X que entran en el detector del sustrato. I. Cintas Conductoras De Cobre [4]

Las cintas de cobre adems de ser conductivas y adhesivas proveen un fondo ideal contra el que puede observarse el espcimen. El uso de cintas reduce considerablemente la cuenta de rayos X. Ya sea que se est capturando imagen o analizando una muestra se logra un efecto igual al trabajo con microscopa de campo oscuro. Las ventajas de usar cintas de cobre son Permite la montura de muestras sin contaminacin de pintura de plata o carbn. Permite la montura de muestras altamente porosas o absorbentes sin distorsin generada por lquido absorbido por la muestra. Proveen buena conductividad.

Figura.2 Limpiador Branson 2210 Durante la etapa de presin baja de cada onda sonora, burbujas diminutas se forman y crecen. Durante la alta presin organizan este derrumbamiento de burbujas, quitando la suciedad, la herrumbre y otros contaminantes. Esta accin de limpieza puede alcanzar cualquier superficie expuesta, an en grietas profundas. 2.3 Cavitacin [3] La cavitacin o aspiracin en vaco es un efecto hidrodinmico que se produce cuando el agua o cualquier otro fluido pasa a gran velocidad por una arista afilada La implosin causa ondas de presin que viajan en el lquido. Estas pueden disiparse en la corriente del lquido o pueden chocar con una superficie. Si la zona donde chocan las ondas de presin

Figura 3. Cinta conductora de cobre. II. Cintas Conductoras De Carbn [5]

Las cintas conductoras de carbn, as como es conductor y adhesivo no tienen casi ninguna estructura perceptible y proporciona el fondo ideal para ver su

espcimen entero. El empleo de las cintas tambin reduce enormemente las cuentas de rayo X de fondo, dando a la exactitud mayor y lmites de deteccin inferiores para su trabajo de EDS.

Caractersticas: La plastilina conductora LEIT-C-PLAST es muy utilizado en muchas muestras para SEM/EDS por su combinacin de propiedades favorables: 1. 2. Conductividad elctrica alta Plasticidad permanente

3. No afectado por las condiciones altas de vaco, tambin UHV "compatible" 4. Suficiente fuerza adhesiva Densidad: 1.2 g/cc

Figura 4. Cinta conductora de carbn. 2.5 Plata coloidal. [6] Consisten en las partculas de plata minsculas suspendidas en una base lquida la cual es conductora. Es utilizado en la preparacin de muestras para SEM como pegamento cuando la muestra es orgnica generando una conexin entre la muestra y un camino de descarga de los electrones.

Figura 6. Plastilina Conductora LEIT-C-PLAST. 2.7 Pulverizacin Catdica (Sputtering) [8]

Figura 5. Pegamento de Plata coloidal. 2.6 La plastilina conductora LEIT-C-PLAST [7] Este material altamente conductivo y moldeable, este plstico Es diseado para montar especmenes grandes en un SEM, y con mayor efectividad de agarre a la muestra con respecto a los dems pagamentos a fin de que las muestras se queden pegadas si las muestras son volteadas mirando hacia arriba o hacia abajo.

El proceso de pulverizacin catdica es principalmente un proceso de bombardeo inico, que consigue la deposicin en fase de vapor, sobre un sustrato de vidrio, del material bombardeado. En esta tcnica, los iones formados en un plasma son acelerados hacia el material que se desea depositar, mediante un campo elctrico. El alto voltaje entre el ctodo y el nodo provoca que los iones del gas de proceso (como el argn) golpeen el blanco con la energa suficiente para arrancar tomos de la superficie del ctodo mediante un proceso de transferencia de momento. Cuando el in golpea la superficie del material, transfiere parte de su energa a los tomos que lo forman, y se produce entonces una

colisin en cascada. Las mltiples colisiones hacen posible que algunos tomos del material adquieran la suficiente energa para abandonar la superficie, alcanzar el sustrato y adherirse a l. La mayor parte de la energa proporcionada por los iones incidentes se transforma en calor, siendo este disipado mediante un circuito de refrigeracin que evita el sobre calentamiento del ctodo.

papeles y cartulinas, y la celulosa blanca de fibra corta se usa para dar suavidad y como relleno. Dependiendo de la proporcin en las mezclas se obtienen papeles para diferentes usos. En nuestro caso usaremos papel celulosa para hacer la replica de una superficie metlica con ayuda de la acetona. 2.9 Tcnica de la Replica:
Debido a que todas las muestras no pueden ser introducidas en el SEM (ya sea por tamao, forma, etc.), la tcnica de la replica permite obtener una copia fiel de la muestra conservando sus caractersticas superficiales. La muestra a la cual se aplico este procedimiento fue una moneda, y su procedimiento es el siguiente: Se limpia con alcohol la superficie que ser copiada (moneda) y se seca. Luego se coloca un pequeo fragmento de celulosa en la parte de la superficie que se desea copiar, y despus se le hecha de 2 a 3 gotas de acetona en el fragmento de celulosa. Se deja secar la acetona 5 a 10 minutos y se retira el fragmento, de esta manera obtenemos la replica de la superficie. Luego colocamos esta replica sobre la base que contiene la cinta de carbn. Seguidamente llevamos las muestras al metalizador que har el recubrimiento por Sputtering.

Figura 7. Interaccin de iones de argn con una superficie del target.

2.8 La Celulosa [9] La celulosa, en trminos generales se puede definir como un polisacrido constituido por molculas de D-glucosa unidas por enlaces B glucosdicos. Es el compuesto orgnico ms difundido en la naturaleza; componente principal de las paredes celulares vegetales (por ejemplo en las maderas, en las fibras de algodn) en las cuales se encuentra junto con hemicelulosa, pectina, extensina (que actan como aglutinante entre las fibras celulsicas) y lignina. La nitrocelulosa, el acetato de celulosa, y el xantato de celulosa (rayn) son esteres de la celulosa que tienen una gran aplicacin tcnica; la que se obtiene de la madera es la pasta de celulosa. Es el principal componente en la manufactura de papeles y cartones y tambin, en pequeas cantidades, se encuentra en productos como el rayn, pelculas fotogrficas, celofanes, explosivos, etc. La celulosa blanca de fibra larga se usa principalmente para agregar resistencia a los 2.10 Tcnica de recubrimiento de las muestras en un SEM
I. Tcnica de recubrimiento (Sputtering) [10] con Oro

Cuando el propsito del anlisis de una muestra no incluye la obtencin de un espectro de RX, un elemento que se utiliza frecuentemente para recubrir la superficie es el oro. La figura 6 muestra esquemticamente lo que se conoce como "Sputtering". Consiste en una fuente de alimentacin en corriente continua regulable de 1 a 3 KV conectada por una parte a una tarjeta de oro u oro-paladio y por otra parte al porta muestras. El conjunto va acoplado a una bomba de vaco. La introduccin de un gas tal como el argn en la campana de vaco provoca que los tomos de argn impacten en la tarjeta de oro y se desprendan tomos de dicha tarjeta que son atrados hacia la muestra en la cual quedan depositados proporcionando un espesor de recubrimiento que depende del tiempo de exposicin. En nuestro caso se uso como gas el aire con su

componente el nitrgeno para que impacten en el target de oro y se desprendan tomos de dicha target.

En nuestro laboratorio para el proceso de Sputtering usamos el EMS 550 Sputter Coater, el cual tiene un target de oro (Au) para el recubrimiento de la muestra.

Figura 8. Recubrimiento de una muestra mediante

Sputtering.
II. Tcnica de recubrimiento (Evaporacin Trmica) [10] con carbono

Figura 10. EMS 550, usado en el laboratorio de Sputtering.

3. MATERIALES UTILIZADOS Fragmentos de celulosa. Acetona purificada. Muestras no conductoras. Monturas de SEM. Limpiador ultrasnico: Branson 2210 Pegamento de Plata coloidal Cinta conductora de carbn. Pinza. Tijerita. Algodn. Pipeta Pasteur. Bistur. Aparato para hacer la pulverizacin catdica EMS 550.

En el caso de precisarse un anlisis elemental en una muestra no conductora es necesario recubrir la superficie de un elemento lo ms transparente posible a los RX. Este elemento es el carbono. Uno de los tipos de metalizadores de carbono se muestra esquemticamente en el grfico. Consiste en dos electrodos conectados a una fuente de corriente alterna de bajo voltaje y alta intensidad entre los que se intercala una barra de carbono terminada en una punta afilada. Al pasar la corriente, la punta de la barra se va evaporando, de forma que roca la muestra con una fina capa de carbono. La punta va acoplada a un muelle que la mantiene en todo momento en contacto con el otro electrodo. Todo el conjunto est encerrado en vaco con el fin de facilitar la deposicin de la pelcula de carbono sobre la muestra.

Figura 9. Recubrimiento con carbono mediante Evaporacin Trmica.

Figura 11.Materiales utilizados en el laboratorio.

4. PROCEDIMIENTO EXPERIMENTAL A. Muestra Inorgnica: Lavamos los objetos metlicos con abundante agua destilada, luego colocamos las monedas en la cubeta ultrasnica. Para esto se colocaron las monedas en un pequeo vaso que fue colgado en uno de los lados de la cubeta de tal manera que no toque la superficie, pero que este lo suficientemente sumergido. Se activo el ultrasonido por 5 minutos. Esto har que la grasa que aun esta pegada a la moneda sea despegada por efecto cavitacin.

Figura 13. Colocando las monedas en papel

absorbente.

Figura 12. Cubeta Ultrasnica con vaso sumergido.

Luego colocamos las monedas en papel absorbente y cortamos un pedazo pequeo de cinta de celulosa (ms pequeo que el tamao de la moneda) y usando las pinzas, con mucho cuidado lo colocamos en la moneda; al mismo tiempo, usando la pipeta pasteur extraemos acetona del frasco y colocamos una gota encima de la moneda (antes de colocar la celulosa) y otra gota despus de haber colocado la celulosa. Esperamos que se evapora la acetona y que la celulosa recupere su dureza, luego, con mucho cuidado, desprendemos la celulosa con las pinzas sin tocar la parte que queremos observar por el microscopio y la pegamos en el porta muestra con el pegamento de plata coloidal.

Figura 14. Colocando la celulosa en el porta

muestra.

Figura 15. Moneda con celulosa, copiando la

superficie tcnica de la replica.

B.

Muestra Orgnica: En este caso usamos una muestra de papel bulki con tinta de lapicero, recortamos un pedazo pequeo y luego es colocado en el porta muestras usando para ello el pegamento de plata coloidal.

C. Proceso de laminado Luego dejamos a que seque el pegamento y lo colocamos en las ranuras portadoras de muestras del EMS 550 Sputter Coater para proceder con el recubrimiento metlico de oro.

Figura 18. Muestras con recubrimiento de oro

luego del proceso de laminado por Sputtering. Hecho esto, se tena que insertar las muestras en el microscopio de barrido y luego poder observar la muestra, pero esto no se pudo hacer; esto se har en una continuacin de este laboratorio. 5. OBSERVACIONES A veces la muestra que se quiere analizar es muy grande o muy difcil de reducir para colocarla en el SEM, es por ello que se emplea la Tcnica de la Replica con la cual podemos obtener un duplicado de la superficie de la muestra utilizando la cinta de celulosa conservando as las caractersticas superficiales de la muestra original. Las muestras deben tener una buena capacidad para desprender electrones. En el caso de muestras metlicas no hay inconveniente, en este caso es suficiente limpiarlas adecuadamente sin daar la superficie. Las muestras orgnicas (no metlicas) requieren de un recubrimiento de pelcula delgada de material conductor para que su superficie pueda desprender electrones y sean detectadas por el SEM.

Figura 16. Muestras preparadas, colocadas en la

ranuras portadoras de muestras del EMS 550 Sputter Coater para el proceso de laminado Sputtering. Luego esperamos unos cinco minutos hasta recubrir adecuadamente la muestra.

Figura 17. Proceso de laminado de la muestra en la

campana de vaco del EMS 550 Sputter Coater.

6. CONCLUCIONES La tcnica de la replica es valida debido a que lo que hace el SEM es detectar los electrones secundarios que salen disparados de la superficie y por ello el objetivo de conocer la morfologa de la muestra. El funcionamiento del limpiador ultrasnico Branson 2210 se basa en el fenmeno fsico llamado cavitacin en la cual con cuidado y a fondo limpia la superficie de la muestra (moneda), quitando la grasa que aun esta pegada a esta.

El proceso de laminado por Sputtering se basa en el que los tomos del gas que se encuentra dentro de la cmara de vaco en este caso los del aire (hidrogeno) se ionicen debido a una diferencia de potencial aplicado, provocando que impacten en el target de oro y se desprendan tomos de dicho target que son atrados hacia la muestra en la cual quedan depositados producindose as el recubrimiento.

Para poder metalizar las superficies de una muestra orgnica se realiza el proceso de Sputtering el cual produce una capa muy fina y homognea sobre la muestra para luego ser colocada en el porta muestras del SEM.

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[1] http://www.2spi.com/catalog/mounts/mounts.html [2] http://www.bransonic.com/pdf/p214-142ra.pdf [3] http://es.wikipedia.org/wiki/Cavitaci%C3%B3n [4] http://www.emsdiasum.com/microscopy/cartmxc/ addtocart.asp?UCII_AddId=77802-22 [5] http://www.2spi.cn/catalog/spec_prep/cond_adhestapes.shtml [6] http://www.emsdiasum.com/microscopy/products/ chemicals/adhesive.aspx#12686

[7] http://www.2spi.cn/catalog/spec_prep/ cond_adhes3.shtml [8] Sputtering by Particle Bombardment I, H. Andersen, H.L.Bay, R.Behrisch, M. Robinson, H.E. Roosendaal, R Sigmund, Springer-Verlag Berlin Heidelberg New York 1981.

[9] http://www.fing.uncu.edu.ar/catedras/ industrias/archivos/2006Celulosa.pdf

[10] http://www.mty.itesm.mx/dia/deptos/im/m00862/Lecturas/SEM_ICP.pdf