Technische Gebudeausrstung Building Services

40 years of cleanroom technology: some historical remarks

Hans H. Schicht, CH-8126 Zumikon

1. The beginnings 2. International symposia and ICCCS 3. A quantum leap forward 4. Standards and regulatory compendia 5. Conquering the world 6. Cleanrooms their impact upon society 7. The future

Seite 1 / Name / 18.03.2004

Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

The pioneer of unidirectional airflow: Willis J. Whitfield

Seite 2 / Name / 18.03.2004

Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

Earliest air filter technology

(Copyright: Luwa AG / Mc Leod Russel Filter Ltd., CH-8610 Uster)

1939

Production of gas filters for the Swiss Army

Seite 3 / Name / 18.03.2004 Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

Whitfield clean work station, built in 1962

(Courtesy: The Cleanroom Monitor, edited by the Scottish Society for Contamination Control)

Seite 4 / Name / 18.03.2004

Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

1973 operating theatre for orthopedic surgery with horizontal unidirectional airflow

Seite 5 / Name / 18.03.2004

Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

A pioneering cleanroom application: Hip joint replacement in a Meierhans operating cabin

Seite 6 / Name / 18.03.2004

Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

Early containment concept for veterinary virology

(E. Hovgaard Jensen in: Proc. 2nd Int. Sympos. Contam. Control, London, 23-26 Sept. 1974, p. 41-43)

Seite 7 / Name / 18.03.2004

Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

1st Int. Sympos. Contamination Control, Zrich, 18-20 Oct. 1972: Title page of the Proceedings

Seite 8 / Name / 18.03.2004

Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

5th Int. Sympos. Contamination Control, Munich, 15-17 Sept. 1980: Title page of the Proceedings

Seite 9 / Name / 18.03.2004

Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

Semiconductor fabs in 1990 huge air circulation machines

(P.G. Luscuere in: Swiss Contamination Control 3 (1990) 4a, p. 169-171)

Seite 10 / Name / 18.03.2004

Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

Minienvironments in a semiconductor fab

(Copyright: Zellweger Luwa AG, CH-8610 Uster)

Seite 11 / Name / 18.03.2004

Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

A SMIF box in a semiconductor fab

(Copyright: M + W Zander GmbH, D-70499 Stuttgart)

Seite 12 / Name / 18.03.2004

Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

1995: Isolator protected ampoule filling machine

(Copyright: Cilag AG, CH-8201 Schaffhausen)

Seite 13 / Name / 18.03.2004

Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

An early isolator for hospital applications

(B. Saint Martin in: Proc. 1st Sympos. Contam. Control, Zrich, 18-20 October 1972, p. 122-124)

Seite 14 / Name / 18.03.2004

Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

CEN/TC 243 meeting at AFNOR, Paris, 8 Oct. 1993

Seite 15 / Name / 18.03.2004

Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

The impact of cleanroom technology upon society

Market estimate for cleanrooms and cleanroom products 2001 [in brackets: 2006]:

USD 8 billion [USD11 billion]

Market volume of products manufactured in cleanrooms:

more than USD 1 000 billion

Persons working in cleanrooms:

USA: 500 000 persons World: 2 000 000 persons

Seite 16 / Name / 18.03.2004 Raumautomation - Raumfunktion

Technische Gebudeausrstung Building Services

Packaging of sliced meat loaf

(Copyright: Migros Genossenschafts-Bund, CH- 8005 Zrich and Zellweger Luwa AG, CH-8610 Uster)

Seite 17 / Name / 18.03.2004

Raumautomation - Raumfunktion