Smart Sensor Design: The Art of Compensation and Cancellation Abstrak Smart sensor adalah sistem di mana sensor

dan elektronik antarmuka khusus yang terintegrasi pada chip yang sama, atau paling tidak dalam paket yang sama. Karena output tingkat rendah analog dari sensor khas, merancang elektronik antarmuka yang "tidak merugikan", yaitu tidak mengganggu kinerja sensor, cukup menantang, terutama pada saat ini arus utama teknologi CMOS, yang melekat presisi dibatasi oleh kebisingan 1 / f dan ketidakcocokan komponen. Namun, karena sensor kebanyakan agak lambat dibandingkan dengan transistor, teknik dinamis sering dapat digunakan untuk trade speed atau bandwidth untuk presisi lebih tinggi. Contoh teknik seperti auto zeroing, memotong, elemen pencocokan dinamis, diaktifkan-kapasitor penyaringan dan sigma-delta modulasi. Makalah ini menjelaskan penggunaan teknik dinamis seperti dalam desain dan realisasi stateof-the-art CMOS sensor cerdas untuk pengukuran kecepatan suhu, angin dan medan magnet.
INTRODUCTION

Sensor telah menjadi bagian di mana-mana dunia saat ini. Sebagai kasus di titik, sebuah mobil modern biasanya mempekerjakan puluhan sensor, mulai dari posisi sensor sederhana untuk accelerometers MEMS multiaxis. Sensor tersebut meningkatkan performa mesin dan kehandalan, memastikan kepatuhan terhadap standar lingkungan, dan meningkatkan kenyamanan penghuni dan keamanan. Sebuah rumah modern juga mengandung beberapa sensor, mulai dari termostat sederhana untuk sensor gerak inframerah dan sensor gas termal aliran. Contoh lain adalah komputer laptop yang artikel ini ditulis, melainkan juga mengandung beberapa sensor: sensor suhu, sensor posisi motor, kepala membaca magnetik dan foto dioda. Sensor yang paling berguna ketika mereka adalah bagian dari sistem yang lebih besar mampu memproses dan bertindak atas informasi yang mereka sediakan. Untuk memfasilitasi ini, informasi yang diperoleh oleh sensor harus ditransmisikan ke seluruh sistem dengan cara yang kuat. Hal ini biasanya dilakukan oleh modulasi, digitalisasi atau pengolahan sinyal output sensor. Untuk meminimalkan gangguan, dan menghindari kerugian transmisi, pemrosesan tersebut biasanya dilakukan oleh sirkuit elektronik yang terletak di dekat sensor. Jika dilakukan dalam paket yang sama, hasilnya adalah apa yang kita akan memanggil sebuah sensor pintar.

Makalah ini menjelaskan desain CMOS sensor pintar pada umumnya dan memberikan contoh-contoh dari desain state-of-the-art sensor untuk pengukuran kecepatan suhu, angin dan medan magnet. Dalam desain ini, kinerja sensor telah sering secara signifikan ditingkatkan

dengan pilihan yang sesuai mode operasi. Dinamis teknik seperti auto-zeroing, memotong dan elemen pencocokan dinamis (DEM) telah digunakan untuk menangani efek dari ketidakcocokan komponen dan 1 / f noise, sedangkan sigma-delta modulasi telah digunakan untuk mewujudkan tinggi resolusi ADC. Jika diperlukan, kalibrasi dan pemangkasan telah digunakan untuk mengkompensasi efek toleransi manufaktur dan penyebaran proses.
II. SMART SENSORS

Sebuah sensor pintar didefinisikan sebagai sistem-paket dalam-di mana sensor dan elektronik antarmuka khusus yang diwujudkan [1]. Elektronik antarmuka memiliki fungsi utama sebagai berikut: itu pasokan tegangan and/or arus diperlukan untuk mengoperasikan sensor, dan itu proses output sensor sedemikian rupa sehingga dapat kokoh dikomunikasikan kepada dunia luar. Dalam kasus ketika sensor dapat diimplementasikan dalam standar teknologi sirkuit terpadu, sensor pintar dapat terdiri dari satu chip, misalnya dalam kasus sensor suhu, sensor gambar dan sensor medan magnet. Namun, dalam kasus ketika sensor harus diimplementasikan dengan menggunakan non-standar teknologi, solusi dua-chip mungkin lebih tepat. Contoh dua-chip sensor adalah sensor inersia, seperti akselerometer MEMS dan giroskop, yang pembuatan memerlukan penggunaan mikro-mesin teknologi.

Kebanyakan sensor dapat dikonfigurasi untuk beroperasi dalam beberapa mode yang berbeda, masing-masing dengan karakteristik kinerja yang berbeda. Dalam sebuah sensor cerdas, ketersediaan elektronik antarmuka khusus memungkinkan untuk memilih mode yang paling tepat untuk aplikasi tertentu. Sebagai contoh, sebuah accelerometer MEMS dapat dioperasikan baik loop terbuka-atau mode loop tertutup. Secara umum, dynamic range maksimum diperoleh di loop terbuka modus, sedangkan linearitas dan bandwidth maksimum dapat diperoleh dalam loop tertutup mode [2]. Memilih mode yang sesuai kemudian melibatkan trade-off antara rentang dinamis, bandwidth dan linearitas, berdasarkan pengetahuan tentang karakteristik accelerometer dan persyaratan aplikasi. Pengetahuan tentang karakteristik sensor juga diperlukan untuk mengkompensasi sensitivitas lintas, misalnya sensitivitas piring Hall untuk stres kemasan. Desain sensor pintar melibatkan optimalisasi seluruh sistem dan karena itu, latihan dalam desain sistem.
A. Antarmuka elektronik Output dari sensor pintar sebaiknya menjadi sinyal digital, meskipun mikroprosesor yang kompatibel dengan tugas-siklus atau sinyal frekuensi termodulasi juga digunakan. Saat ini, tren adalah keluaran mendigitalkan sensor (yang biasanya analog) secepat mungkin, dan kemudian untuk melakukan salah pengkondisian sinyal tambahan, seperti penyaringan,, dll linierisasi lintas sensitivitas kompensasi, dalam domain digital. Pendekatan ini memfasilitasi interkoneksi dari beberapa sensor melalui bus digital, dan mengambil keuntungan dari fleksibilitas dan kemampuan pemrosesan sinyal everincreasing mikroprosesor. Tren serupa dapat diamati pada penerima radio, yang juga menggunakan pemrosesan sinyal digital lebih dan lebih [3]. Sebagai hasil dari kecenderungan ini, sensor pintar yang ideal adalah perangkat yang mendigitalkan informasi dari domain fisik, yakni adalah

konverter fisik-ke-digital (PDC). Dilihat dari sudut ini, tantangan utama dalam desain sensor pintar adalah bahwa digitalisasi output tanpa membatasi kinerja. Kebanyakan sensor dapat dikonfigurasi untuk beroperasi dalam beberapa mode yang berbeda, masing-masing dengan karakteristik kinerja yang berbeda. Dalam sebuah sensor cerdas, ketersediaan elektronik antarmuka khusus memungkinkan untuk memilih mode yang paling tepat untuk aplikasi tertentu. Sebagai contoh, sebuah accelerometer MEMS dapat dioperasikan baik loop terbuka-atau mode loop tertutup. Secara umum, dynamic range maksimum diperoleh di loop terbuka modus, sedangkan linearitas dan bandwidth maksimum dapat diperoleh dalam loop tertutup mode [2]. Memilih mode yang sesuai kemudian melibatkan trade-off antara rentang dinamis, bandwidth dan linearitas, berdasarkan pengetahuan tentang karakteristik accelerometer dan persyaratan aplikasi. Pengetahuan tentang karakteristik sensor juga diperlukan untuk mengkompensasi sensitivitas lintas, misalnya sensitivitas piring Hall untuk stres kemasan. Desain sensor pintar melibatkan optimalisasi seluruh sistem dan karena itu, latihan dalam desain sistem. Sebuah tantangan desain lebih lanjut muncul dari kenyataan bahwa bandwidth sinyal sensor paling mencakup DC. Akibatnya, desain antarmuka elektronik transparan, terutama di saat ini teknologi CMOS mainstream, melibatkan pertempuran terus-menerus terhadap 1 / f kebisingan, dan kesalahan yang disebabkan oleh ketidakcocokan komponen, injeksi muatan dan arus kebocoran. Untungnya, sensor kebanyakan agak lambat dibandingkan dengan kecepatan switching transistor, dan teknik sangat dinamis seperti auto-zeroing, pencocokan memotong, unsur dinamis (DEM), modulasi diaktifkan-kapasitor penyaringan dan sigma-delta, yang pada dasarnya perdagangan speed atau bandwidth untuk presisi, dapat digunakan untuk efek yang baik. Ketika kebisingan yang rendah adalah pertimbangan utama, teknik modulasi kontinyu-waktu seperti memotong dan DEM harus digunakan, karena mereka bebas dari kebisingan bawah sampling yang melekat pada-diskrit-waktu teknik seperti auto-zeroing dan diaktifkankapasitor penyaringan [ 4]. Dengan menggabungkan teknik dinamis berbagai, sebuah switchedcapacitor sigma-delta ADC dengan 22-bit resolusi dan 19-bit akurasi mutlak telah dirancang [5]. B. Kalibrasi dan pemangkasan (Calibration and trimming) Seperti semua sensor, kinerja sensor cerdas hanya dapat dievaluasi dengan kalibrasi itu terhadap standar yang dikenal, setelah itu ketidaktelitian yang dikenal. Dengan pemangkasan sensor selama kalibrasi, ketidakakuratan yang dapat dikurangi secara signifikan. Ini adalah teknik yang kuat, yang dapat digunakan untuk mengoreksi banyak kesalahan akibat toleransi manufaktur dan penyebaran proses. Namun, di sensor ditujukan untuk produksi massal, harus dilihat sebagai metode pilihan terakhir, karena kalibrasi dan pemangkasan sensor individu memerlukan peralatan uji tambahan dan memakan waktu produksi mahal. III. Sebuah SENSOR SUHU SMART

Pada bagian ini, desain sensor suhu tinggi akurasi pintar digambarkan [6]. Sensor suhu dapat dikemas dengan cara yang sama sebagai sirkuit terpadu lainnya, dan sebagainya dapat segera diwujudkan dalam teknologi CMOS standar. Sensor tersebut biasanya didasarkan pada ketergantungan suhu dari tegangan basisemitor dari transistor bipolar substrat. Meskipun transistor tersebut tersedia dalam semua proses CMOS, mereka adalah perangkat yang menunjukkan penyebaran parasit proses signifikan. Akibatnya, sensor tersebut harus dikalibrasi dan dipangkas untuk mencapai ketidakakuratan kurang dari 2 C A. Operasi prinsip Seperti ditunjukkan pada Gambar. 1, tegangan sebanding dengan suhu mutlak (PTAT) dapat diperoleh dengan biasing dua transistor Q1 bipolar, identik 2 pada 1: p rasio lancar dan kemudian mengukur perbedaan antara basis-emitor mereka tegangan: