Welcome to Scribd, the world's digital library. Read, publish, and share books and documents. See more
Download
Standard view
Full view
of .
Look up keyword
Like this
4Activity
0 of .
Results for:
No results containing your search query
P. 1
Cảm biến hoá học hoạt động trên cơ sở sóng âm bề mặt và ứng dụng đo độ ẩm

Cảm biến hoá học hoạt động trên cơ sở sóng âm bề mặt và ứng dụng đo độ ẩm

Ratings: (0)|Views: 567 |Likes:
Published by pvdai
Hội nghị toàn quốc về Điều khiển và Tự động hoá - VCCA-2011

Cảm biến hoá học hoạt động trên cơ sở sóng âm bề mặt và ứng dụng đo độ ẩm Chemical sensors based on surface acoustic wave and its application for humidity measurement
Hoàng Sĩ Hồng, Trần Mạnh Hà, Trần Thị Thuỳ Dung Bộ môn Kỹ Thuật Đo và Tin Học CN-Viện Điện-Trường ĐHBK Hà Nội e-Mail: honghs-see@mail.hut.edu.vn Tóm tắt
Bài báo giới thiệu nguyên lý và cấu tạo của một loại cảm biến hoá học mới hoạt động trên cơ sở sóng âm bề mặt (SAW) của
Hội nghị toàn quốc về Điều khiển và Tự động hoá - VCCA-2011

Cảm biến hoá học hoạt động trên cơ sở sóng âm bề mặt và ứng dụng đo độ ẩm Chemical sensors based on surface acoustic wave and its application for humidity measurement
Hoàng Sĩ Hồng, Trần Mạnh Hà, Trần Thị Thuỳ Dung Bộ môn Kỹ Thuật Đo và Tin Học CN-Viện Điện-Trường ĐHBK Hà Nội e-Mail: honghs-see@mail.hut.edu.vn Tóm tắt
Bài báo giới thiệu nguyên lý và cấu tạo của một loại cảm biến hoá học mới hoạt động trên cơ sở sóng âm bề mặt (SAW) của

More info:

Published by: pvdai on May 29, 2012
Copyright:Attribution Non-commercial

Availability:

Read on Scribd mobile: iPhone, iPad and Android.
download as PDF, TXT or read online from Scribd
See more
See less

10/19/2013

pdf

text

original

 
 Hội nghị toàn quốc về Điều khiển và Tự động hoá
- VCCA-2011VCCA-2011
Cảm biến hoá học hoạt động
 
trên cơ sở sóng âm bề mặt
 
và ứng dụngđo độ ẩm
 
Chemical sensors based on surface acoustic wave and its application for humidity measurement
Hoàng S
 ĩ 
H
ồng, Trần Mạnh Hà, Trần Thị Thuỳ Dung
 B
môn K
Thu
ật
 
Đ
o và Tin H
ọc
CN-Vi
ện
 
Đ
i
ện
-
Trường ĐHBK Hà Nội
 e-Mail: honghs-see@mail.hut.edu.vn
Tóm tắt
 
Bài báo gi
ới
thi
u nguyên lý và c
ấu
t
ạo
c
ủa
m
ột
lo
ại
 c
ảm
bi
ến
hoá h
ọc
m
ới
ho
ạt
 
động
trên c
ơ 
s
ở 
sóng âmb
m
ặt
(SAW) c
ủa
v
ật
li
ệu
áp
đ
i
ện
.
Đồng
th
ời
qua
đó
 phát tri
ển
m
ột
c
ảm
bi
ến
 
đo độ
 
ẩm
trên c
ơ 
s
ở 
sóng b
 m
ặt
s
d
ụng
v
ật
li
ệu
áp
đ
i
ện
màng m
ỏng
AlN ph
 trê
n đế
silicon. V
ật
li
ệu
nh
ạy
 
được
s
d
ụng
là oxitkim lo
ại
ZnO. K
ết
qu
 
đ
o cho th
ấy
c
ảm
bi
ến
độ
 nh
ạy
cao (
theo độ
d
ịch
t
ần
s
) là kho
ảng
220 kHzt
ươ 
ng
ứng
v
ới
 
độ
 
ẩm
 
thay đổi
t
 
10 đến
90% RH. Bênc
ạnh
 
đó
, s
 
ảnh
 
hưởng
c
ủa
nhi
ệt
 
độ
 
đến
c
ảm
bi
ến
 c
ũng
 
được
kh
ảo
sát và
đánh
giá.
Abstract:
 In this work, the novel chemical sensors based onsurface acoustic wave (SAW) of a piezoelectricmaterial layer were introduced. The principle andstructure of these sensors also were investigated.Thus, the SAW humidity sensor using ZnO sensinglayers grown on the AlN/Si substrate were fabricated.Some experimental results showed that the largestshift in the frequency response of the SAW humiditysensor was at approximately 220 kHz for humidityrange from 10 to 90% RH. Besides, the effect of temperature on to the properties of the SAW humiditysensor also were discussed and reported.
Ký hiệu
 
Ký hiệu
 
Đơn vị
 
Ý nghĩa
 V
SAW
 
m/s V
ận
t
ốc
sóng b
m
ặt
 f MHz T
ần
s
c
ộng
 
hưởng
 
 λ
 
Μ
m B
ước
sóngT °C Nhi
ệt
 
độ
 E V T
rường
 
đ
i
n
ε
H
ằng
s
 
đ
i
ện
môi
σ
S/m
Độ
d
ẫn
 
đ
i
ện
 m Gram Kh
ối
 
lượng
 
ρ
N/m
2
Áp su
ất
 V
0
m/s v
ận
t
ốc
sóng
 ban đầu
 
Chữ viết tắt
 
SAW Surface acoustic waveIDT Inter-digital transducerSEM Scanning electron microscopeAlN Aluminum nitride ZnO Zinc oxideRH Relative humidity
1.
 
Giới thiệu chung
 
Hi
ện
t
ại
các ph
ươ 
ng pháp
đ
o các thông s
i trườn
gnh
ư
n
ồng
 
độ
ch
ất
khí, nhi
ệt
 
độ
độ
 
ẩm
 
đã
đ
ang
được
nghiên c
ứu
r
ộng
rãi
ở 
Vi
ệt
nam và th
ế
gi
ới
.
Điều
 
đó
là b
ởi
vì các y
ếu
t
i trường
nói chung và
độ
 
ẩm
 nói riêng
ảnh hưởng
nhi
ều
 
đến
các l
 ĩnh
v
ực
khác nhau
trong đời
s
ống
nh
ư
s
ản
xu
ất
nông nghi
ệp
, th
ực
ph
m,
i trường
, y t
ế
..vv. M
ột
s
ph
ươ 
ng pháp
đ
o khí ho
ặc
 
độ
 
ẩm
truy
ền
th
ống
 
đang được
s
d
ụng
bao g
ồm
: c
mbi
ến
ki
ểu
 
thay đổi
 
đ
i
ện
tr
ở 
,
đ
i
ện
dung và d
ựa
trên s
 
thay đổi
c
ủa
t
ần
s
c
ộng
 
hưởng
c
ủa
b
 
dao động
th
ạch
 anh [1,2]. V
ật
li
ệu
nh
ạy
có th
là các oxit kim lo
ại
c
ấu
trúc nano. So v
ới
các ph
ươ 
ng pháp trên thì c
ảm
 bi
ến
 
đ
o
i trường
d
ựa
trên c
ơ 
s
ở 
sóng âm b
m
ặt
 (SAW-surface acoustic wave)
đã
 
được
ch
ứng
minh cónhi
ều
 
ư
u
đ
i
ểm
độ
nh
ạy
cao, nh
, nh
ẹ, độ
tin c
ậy
 cao và có kh
n
ă
ng ch
ế
t
ạo
c
ảm
bi
ến
không dây [3].Trên c
ơ 
s
ở 
 
đó
m
ột
s
nhóm nghiên c
ứu
trên th
ế
gi
ới
 
đã
ch
ế
t
ạo
ứng
d
ụn
g c
ảm
bi
ến
SAW
đ
o khí nh
ư
 CO
2
, NO
X
[3,4] và
độ
 
ẩm
nh
ư
[5,6]. Tuy nhiê
n đối
 v
ới
các c
ảm
bi
ến
 
đo độ
 
ẩm
ki
ểu
SAW
đã
 
được
nghiênc
ứu
thì v
ật
li
ệu
nh
ạy
 
được
s
d
ụng
ch
y
ếu
là cácpolimer t
ổng
h
ợp
[5,6]. Theo
đó
bài báo này tìm hi
ểu
 và gi
ới
thi
ệu
chung v
c
ảm
bi
ến
SAW
đồng
th
ời
 nghiên c
ứu
và phát tri
ển
m
ột
c
m bi
ến
 
đo độ
 
ẩm
m
ới
 trên c
ơ 
s
ở 
sóng âm b
m
ặt
s
d
ụng
v
ật
li
ệu
n
ền
áp
đ
i
ện
là AlN ph
trê
n đế
silicon truy
ền
th
ống
. L
ớp
v
ật
 li
ệu
nh
ạy
là ki
ểu
màng
đ
a tinh th
oxit kim lo
ại
d
ạng
 h
ạt
x
ốp
kích
thước
nano (nanocrystalline ZnO). C
ảm
 bi
ến
 
được
ch
ế
t
ạo
theo ph
ươ 
ng pháp quang kh
ắc
ă
nmòn thô
ng thường
. C
ấu
trúc b
m
ặt
c
ủa
c
ảm
bi
ến
 
được
ki
ểm
tra b
ằng
ph
ươ 
ng pháp ch
ụp
 
ảnh
b
m
ặt
 SEM và m
ột
s
ph
ươ 
ng pháp
đ
o phân tích v
ật
lý khác(nhi
ễu
x
tia X). Mô
i trường
 
độ
 
ẩm
 
thay đổi
t
 
10 đến
 
90% RH được
 
tạo bằng
các áp su
ất
h
ơ 
i b
ảo
hoà thôngqua các dung d
ịch
mu
ối
 
đựng
trong bình
đ
o kín nh
ư
 K
2
CO
3
(t
o 30 % or 50 % RH relative humidity),CuSO
4
.5H
2
O (for 70 % and 90 % RH), và ch
t hút
m(desiccant) và không khí khô (t
o 10 % RH).
Độ
 
m
i trườ 
ng
đo đượ 
c xác nh
n l
i thông qua m
t máy
đo độ
 
m
độ
chính xác cao có bán s
n trên th
 
trườ 
ng.
2.
 
K
ết
qu
và th
ảo
lu
ận
 
2.1 C
ấu
t
ạo
c
ảm
bi
ến
 
M
ột
c
ảm
bi
ến
SAW có nhi
ều
ki
ểu
c
ấu
trúc khác nhau.Tuy nhiên trong bài báo này ch
t
ập
trung vào c
ấu
trúc
582
 
 Hội nghị toàn quốc về Điều khiển và Tự động hoá
- VCCA-2011VCCA-2011
đơ 
n gi
ản
nh
ất
là delay-line. C
ấu
t
ạo
c
ảm
bi
ến
 
được
 trình bày nh
ư
hình 1. Chúng g
ồm
có l
ớp
v
ật
li
ệu
màngm
ỏng
có tính ch
ất
áp
đ
i
ện
(piezoelectric) ph
lên m
ột
 
đế
silicon. H
ai bộ
 
chuyển đổi tín hiệu (IDT)
làm b
ằng
 kim lo
ại
 
được phủ lên trên một đế vật liệu có tính chấtáp điện. Mỗi IDT có cấu trúc gồm hệ thống hai bảncực hình răng lược đan xem vào nhau và cách li vớinhau. Tùy theo loại khí hoặc độ ẩm muốn nhận biết,
l
oại vật liệu nhạy có tính chất nhạy tươ 
ng
ứng
 
được phủ vào khoảng giữa của hai IDT
. Trong nghiên c
ứu
 này c
ảm
bi
ến
 
độ
 
ẩm
SAW
được
tác gi
thi
ết
k
ế
theoc
ấu
trúc nh
ư
trên v
ới
các thông s
c
th
nh
ư
sau: cácIDTs
được
ch
ế
t
ạo
b
ằng
nhôm ph
trê
n đế
áp
đ
i
ện
làmb
ằng
v
ật
li
ệu
AlN/Si (có
độ
dày
h = 1 μm)
. Ph
ươ 
ngpháp b
ốc
bay nhi
ệt
ă
n mòn kim lo
ại
 
đã
 
được
s
 d
ụng
 
để
s
ản
xu
ất
các IDT v
ới
 
độ
dày kho
ảng
100 nmvà kho
ảng
cách gi
ữa
các ngón tay b
ằng
 
độ
r
ộng
c
ủa
 
mỗi ng
ón tay là
d = 10 μm. Độ
ch
ồng
gi
ữa
hai b
ản
 c
ực
c
a IDT là W =
4000 μm. Khoảng
cách gi
ữa
haiIDT là L = 5 mm. L
ớp
nh
ạy
v
ật
li
ệu
nh
ạy
 
ẩm
ZnO
được
s
ản
xu
ất
b
ằng
ph
ươ 
ng pháp hoá h
ọc
sol-gel vàph
lên toàn b
b
m
ặt
c
ủa
c
ấu
trúc b
ằng
ph
ươ 
ngpháp ph
quay li tâm và gia nhi
ệt
l
ại
t
ại
nhi
ệt
 
độ
caol
ần
 
lượt
t
ại
400, 500 và 600 °C trong vòng 1 h v
ới
 chi
ều
d
ầy
x
ấp
x
t = 250 nm.(a)(b)(c)
H. 1
 
Cấu trúc của cảm biến: (a) hình chiếu cạnh,
(b) hình
chiếu bằng 
 
và (c) cảm biến
SAW 
độ ẩm
 
2.2 Nguyên lý ho
ạt
 
động
c
ủa
c
ảm
bi
ến
 
Khi cấp cho IDT
th
nh
ất
 
một điện áp
 
xoay chiều,theo tính chất của vật liệu áp điện thì điện áp đó sẽlàm cho vật liệu bị biến dạng và năng lượng điện sẽ biến đổi thành năng lượng cơ dưới dạng một dao động
 c
ơ 
h
ọc. Các dao động cơ dưới tác dụng của dao độngđiện sẽ lan truyền với một vận tốc
 
nào đó (V
SAW
, phụthuộc vào vật liệu áp điện) trên bề mặt của phiến ápđiện, sóng này còn gọi là sóng Raleigh
(hình 2).
Các dao động cơ này lan truyền tới phần chuyển đổitín hiệu IDT thứ hai và tác động lên phần này. Tại đây
theo nguyên lý c
ủa
hi
ệu
 
ứng
áp
đ
i
ện
thu
ận, nănglượng của dao động cơ được IDT chuyển đổi lại thànhnăng lượng điện. Như vậy, đặc tính của cảm biếnSAW được biểu hiện qua vận tốc s
óng b
m
ặt
(V
SAW
)
và độ suy hao năng lượng
 
sóng thông qua việc so sánhtín hiệu vào và ra từ hai bộ phận
 
chuyển đổi IDTtương ứng.
 
H.2
 
Sóng bề mặt Raleigh trên cấu trúc SAW 
 
M
ặt
khác n
ăng lượng
 
đ
i
ện
t
b
IDT th
hai l
ại
ti
ếp
 t
ục
chuy
ển
 
đổi
 
ngược
thành n
ăng lượng
sóng c
ơ 
lan truy
ền
theo chi
ều
 
ngược
l
ại
s
c
ộng
 
hưởng
v
ới
 sóng b
m
ặt
theo chi
ều
thu
ận
t
ại
m
ột
t
ần
s
c
ộng
 
hưởng
f xác
định
.
Theo nguyên lý trên, khi các tác nhân hóa học như các phần tử khí hoặc hơi ẩm tương tác với bề mặt của lớpvật liệu nhạy giữa hai bộ chuyển đổi IDT sẽ gây ra
m
ột
 
sự thay đổi tốc độ truyền sóng và độ suy haonăng lượng sóng so với trường hợp không có các tácnhân hóa học tác dụng vào. Sự thay đổi đó là do các
tác nhân hóa
học đã làm thay đổi một số
tính ch
ất
 
củavật liệu nhạy như khối lượng, độ dẫn hay độ nhớt vàhệ quả là làm thay đổi đặc tính của
sóng truy
ền
trênb
m
ặt
c
ủa
c
ảm
bi
ến. Từ sự thay đổi đó, chúng ta sẽthiết lập được mối
liên h
gi
ữa
v
ận
t
ốc
sóng b
m
ặt
 
hay độ
suy hao v
ới
 
các tín hiệu cần đo như nồng độkhí hay hơi ẩm
. Nhìn chung, só
ng Raleigh rất nhạyvới các tác nhân bề mặt, do đó các cảm biến hóa họcdựa trên đặc tính SAW có độ nhạy rất cao. Như vậy, dưới các tác nhân ảnh hưởng đến đặc tínhcủa SAW thì vật liệu nhạy và đế áp điện dóng vai trò
quan tr
ọng
 
trong việc quyết
 
định
 
tính chất của cảm biến hóa học kiểu
SAW. V
ận
t
ốc
sóng b
m
ặt
(V
SAW
)
được
 
đ
o thông qua
đ
o t
ần
s
c
ộng
 
hưởng
(f) và
 bước
 sóng (
λ
) c
ủa
c
ảm
bi
ến
SAW [7].
4SAW
f f
 
   
(1)
 
đâ
y t
ần
s
c
ộng
 
hưởng
 
f được
 
đ
o b
ằng
m
ột
networkanalyzer [7], d là
độ
r
ộng
c
ủa
các thanh IDT nh
ư
hình1(b).
2.3 C
ảm
bi
ến
SAW
đo độ
 
ẩm
s
ử 
d
ụng
c
ấu
trúcZnO/AlN/Si
Hình 3 (a,b,c) ch
ra c
ấu
trúc b
m
ặt
c
ủa
v
ật
li
ệu
nh
ạy
 
ZnO được
ch
ế
t
ạo
thông qua ph
ươ 
ng pháp nhi
ệt
nungl
ại
t
ại
các nhi
ệt
 
độ
400, 500 và 600 °C. B
m
ặt
c
ủa
 l
ớp
nh
ạy
ôxit kim lo
ại
có c
ấu
trúc d
ạng
h
ạt
và x
ốp
v
ới
 kích
thước
kho
ảng
19.23, 29.13 and 43.8 nm
tươngứng với nhiệt độ nung
 400, 500 và 600 °C. C
u trúc
583
 
 Hội nghị toàn quốc về Điều khiển và Tự động hoá
- VCCA-2011VCCA-2011
này
đã
 
đượ 
c ch
ng minh thích h
ợ 
p cho vi
c hút
m[8]. Trong khi
đó
b
m
t c
a l
ớ 
p v
t li
u áp
đ
i
n(AlN/Si) không có c
u trúc d
ng h
t x
p (hình 3d) vàkích
thướ 
c h
t b
m
t l
ớ 
n h
ơ 
n. M
t s
tính ch
t khácnh
ư
 
độ
 
đị
nh
hướ 
ng tinh th
c
a v
t li
u áp
đ
i
n và l
ớ 
pnh
y
đượ 
c
đ
o b
ng
 phươ 
ng pháp nhi
u x
tia X t
mth
ờ 
i ch
ư
a th
o lu
n
ở 
bài báo này. (a)
 
(b)(c ) (d)
H.3
 
nh
 
bề mặt của lớp nhạy ZnO của cảm biến SAW đượcchế tạo tại nhiệt độ
nung khác nhau: (a) 400
°C
 , (b) 500
°C
 ,(c) 600
°C
 
và (d) bề mặt lớp áp điện AlN.
 
Hình 4 chỉ ra kết quả thử nghiệm của cảm biến SAWvới cấu trúc ZnO/AlN/Si theo sự thay đổi độ ẩm từ 10đến 90% RH. Trong đó độ
d
ịch
t
ần
s
(frequencyshift)
chính là Δf = f 
-f 
0
, ở đây f 
0
là tần số cộng hưởngcủa cảm biến tại độ ẩm 10% RH và f là tần số cộnghưởng của cảm biến tại cad giá trị độ ẩm từ 10, 30,50, 70 và 90% RH. Tần số cộng hưởng f 
0
có thể đặctrưng cho vận tốc sóng bề mặt V
SAW
theo như côngthức (1) đã được trình bày như ở phần trên.
H.4
 
Ảnh
 
bề mặt 
c
ủa
l
ớp
nh
ạy
ZnO c
ủa
c
ảm
bi
ến
SAW 
được
 ch
ế 
ạo
ại
nhi
ệt 
 
độ
nung khác nhau: (a) 400
°C
 , (b) 500
°C
 ,(c) 600
°C
và (d) b
ề 
m
ặt 
l
ớp
áp
đ 
i
ện
AlN.
Qua
đó
nh
ận
th
ấy
r
ằng
v
ới
 
mẫu cảm
bi
ến
có l
ớp
nh
ạy
 
được
nhi
ệt
nung t
ại
400 °C có
độ
d
ịch
gi
m t
ần
s
 c
ộng
 
hưởng
l
ớn
nh
ất
(kho
ảng
 
220 kHz đối
v
ới
 
độ
 
ẩm
 t
 
10 đến
90% RH). K
ết
qu
này là l
ớn
h
ơ 
n so v
ới
14
kHz đối
 
với cảm
bi
ến
SAW s
d
ụng
v
ật
li
ệu
nh
ạy
 polyXIO [6] và 40 kHz v
ới
 
trường
h
ợp
v
ật
li
ệu
nh
ạy
Meso-tetra porphyrin (TPPS
4
) [5]. K
ết
qu
này
được
 gi
ải
thích thông qua b
m
ặt
c
ủa
v
ật
li
ệu
nh
ư
hình 3. V
ới
 m
ẫu
nung t
ại
400 °C thì các h
t x
p b
m
t có kíchth
ướ 
c bé nh
t do v
y di
n tích riêng b
m
t ti
ế
p xúcv
ớ 
i mô
i trườ 
ng
m là l
ớ 
n nh
t
đ
i
u
đó
cho k
ế
t qu
m
u400 °C có
độ
nh
y
m l
ớ 
n nh
t. M
t khác c
ơ 
ch
ế
nh
y
m c
a c
m bi
ế
n
đượ 
c gi
i thích c
th
h
ơ 
n theo côngth
c (2) và (3)
đã
 
đượ 
c báo cáo t
các nghiên c
u
trướ 
c
đâ
y [8,9].
2
000
2 2( ) 2
 Zn
 H O O
Zn OH Zn V e
(2)
0
              
v v v v v T E m T E m
 (3)T
công th
ức
(2) chúng ta th
ấy
r
ằng
khi các
 phần tử
 h
ơi nước
 
được
h
ấp
ph
vào b
m
ặt
d
ạng
h
ạt
x
ốp
ho
ặc
 l
r
ỗng
nh
(kích
thước
c
ở 
nanometer) c
ủa
l
ớp
nh
ạy
 ZnO, k
ết
qu
t
ạo
ra các
đ
i
ện
t
t
do. Do v
ậy
 
độ
d
ẫn
 
đ
i
ện
 
(σ) của
l
ớp
nh
ạy
ph
lên ph
ươ 
ng truy
ền
sóngt
ă
ng lên và
đồng
th
ờ 
i kh
ối
 
lượng
(m) c
ủa
l
ớp
nh
ạy
 c
ũng
t
ă
ng lê
n …Theo đó
t
công th
ức
(3), v
ận
t
ốc
 sóng b
m
ặt
 
(ΔV) sẽ
b
 
ảnh
 
hưởng
theo chi
ều
 
hướng
 gi
ảm
v
ận
t
ốc
. K
ết
qu
là t
ần
s
c
ộng
 
hưởng
c
ủa
c
ảm
 bi
ến
SAW s
b
d
ịch
theo chi
ều
gi
ảm
.Trên th
ực
t
ế
và theo công th
ức
(3), v
ận
t
ốc
sóng b
 m
ặt
SAW ch
ịu
 
ảnh
 
hưởng
nhi
ều
b
ởi
nhi
ệt
 
độ
môi
trường. Để
 
đánh
giá v
ấn
 
đề
này tác gi
ch
ọn
m
ẫu
c
ảm
 bi
ến
 
được
nhi
ệt
nung t
ại
500 °C và duy trì
đ
i
u ki
n
độ
 
m khô
ng đổ
i kho
ng 30% RH. Nhi
t
độ
 
thay đổ
it
kho
ng
25 đế
n 80 °C b
ng m
t hotplate nh
ư
hình 5
H.5
 
 Hệ đo
 
độ
 
ẩm dùng cảm biến SAW với nhiệt độ thay đổitừ 25 đế 
n 80 °C 
 K
ết
qu
 
đo được
trình bày nh
ư
trong hình 6. Rõ ràngr
ằng
t
ần
s
c
ộng
 
hưởng
c
ủa
c
ảm
bi
ến
ch
ịu
 
ảnh
 
hưởng
 nhi
ều
b
ởi
nhi
ệt
 
độ
i trường
. Nhi
ệt
 
độ
t
ă
ng thì t
ần
 s
c
ộng
 
hưởng
d
ịch
theo chi
ều
gi
ảm
càng l
ớn
. Tuy
584

Activity (4)

You've already reviewed this. Edit your review.
1 thousand reads
1 hundred reads
Lai Thành liked this
Tung Nguyen liked this

You're Reading a Free Preview

Download
scribd
/*********** DO NOT ALTER ANYTHING BELOW THIS LINE ! ************/ var s_code=s.t();if(s_code)document.write(s_code)//-->