Slika 2.17 a) Vjerojatnoda gustode na vrhu i (b) oekivano bezdimenzijska zakrivljenost vrhova. ( Nayak, P.R.

(1971) , Slucajan proces modela pri radu na hrapavim povrinama. ASME J. Lub. Tech., 93, 398-407. Sa dozvolom.)

Takoer smo primjetili da profil sa veoma picastim spektrumom nema vrhova ispod glavne linije, dok bijeli profil koji pravi veliku sa beskonanom irinom spektra ima pola svojih vrhova ispod ove linije. (Bush et al. (1976) , standardna devijacija visine za bilo koje je dato:

Nayak (1971), gustoda vrhova po jedinici povrine moe se odnositi na spektralnim trenutaka I brojevima vrhova po jedinici duine od:

Koristedi diskretni nausmini process analiza, Whitehouse and Phillips (1978, 1982) izveli su vezu tribolokih parametara za povrinu koja ima Gaussianovu visinu podjele. Za karakterizaciju profila, potrebna nam je standardna podjela i samo 2 take podjele na mjerenju 1 i 2 odvojeno h (primjereni interval) i 2h iz ishodita normalizirane autokorelacijske funkcije. Za karakterizaciju povriine potrebno nam je izmeu 4 i 7 taki na ACF, zavisno od vrste povrine. Triboloki parametri koji mogu biti unaprijed pretpostvaljeni , su glavna i standardna devijacija (p) od visine vrha; glavna (p) i standardne devijacije (p) od vrha zakrivljenosti; prosjeni vrh nagiba; korelacija koeficijenta izmeu vrha visine i njegove zakrivljenosti ; i vrh gustode. 2.2.2.7 Sloena hrapavost za dvije razliite povrine Za dvije sluajne hrapave povrine u dodiru, sloena hrapavost je definirana kao suma od dvije hrapavosti dobijene procesom dodavajudi zajedno visine (z), nagib (), I zakrivljenost () z = z 1 + z2 = 1+ 2 = 1+ 2 Za dvije razliite hrapave povrine u dodiru, ekvivalentna hrapavost povrine moe biti opisana za sljedede vrijednosti , , , R(), P(), I M0, M2, i M4 su zbrojeni za dvije hrapave povrine , od kojih su:

Gdje je i= 0, 2, 4. Ove jednaine navode da varijancije, funkcije i spektrum su jednostavno aditivni. Od autokonvarijasne funkcije , 2 funkcije su aditivne, grafiki primjer pokazuje da korelacija duine dva eksponencijalna ACVF su prikazani kao:

Slika 2.18 Kvalitativni opis statistiki samosklonosti za povrinski profil. 2.2.3 Fraktalna Karakterizacija Povrina je kompozirana od velikog broja duina skala od hrapavosti koje se preklapaju jedna preko druge. Kao to je prikazano ranije, povrina hrapavosti je generalno ka rakterizirana standardnom devijacijom visine povrine. S druge strane, zbog viestrane prirode povrine, poznate su varijacije visine povrine i njene derivacije kao i drugi parametric hrapavosti, koje zavise strogo od rezolucije hrapavosti mjerenja instrumenta ili bilo koje druge forme filtera; Stoga one nisu jedinstvene za povrinu. (Ganti i Bhushan, 1995; Poon i Bhushan, 1995a). Zbog toga hrapave povrine trebaju biti karakterizirane na takav nain da strukturna informacija hrapavosti bude zadrana na svim skalama. Potrebno je da izmjeriti vieskalne prirode na hrapavosti povrine. Jedinstveno svojstvo povrine hrapavosti je takvo da ako povrina je vie puta uvedana, povedavajudi detalje hrapavosti, onda se posmatra dole na nanoskali. Uopteno, hrapavost na svim promjenama u strukturi se pojavljuje priblino slino , kao to je prikazano na slici 2.18. Statika samosklonost je slina kod pojavljivanja profila ispod razliitih promjena. Takvo ponaanje moe biti okarakterizovano fraktalnom geometrijom (Majumdar and Bhushan, 1990; Ganti and Bhushan, 1995; Bhushan, 1999b).

Fraktalni pristup ima mogudnost karakterizovanja povrine hrapavosti putem skale neovisnosti parametara i omuogudaje informacije na hrapavosti structure na svim duinama skale koji pokazuje fraktalno ponaanje. Karakteristike povrine mogu biti pretpostavljene na svim duinama skale sa ili bez fraktalnog reima koristedi mjerenja na duini jedne skale. Strukturna funkcija i spektrum snage fraktalne povrine prate zakonitost snage I mogu biti napisani kao (Ganti i Bhushan model)

Fraktalne analize dozvoljavaju karakterizaciju povrina hrapavosti dva parametra, D i C, koji su instrumentalno nezavisni i jedinstveni za svaku povrinu. Parametar D (varira izmedju 1 I 2 za povrinu profila ) primarno se odnosi na relativnoj snazi konte ksta frekvencije, i C na amplitude svih frekvencija. je lateralna rezolucija mjerenja instrumenta, je veliina inkrementa (distance) , I je frekvencija hrapavosti. Ako su S() ili P() predstavljeni kao funkcija ili , redoslijedom, log-log plot , onda zakon snage ponaanja rezultira pravu liniju. Nagib ove linije je povezan sa D, i lokacija spektruma duinom snage je povezana sa C.

Slika 2.19 Struktura funkcije za hrapavost izmjerena koritenjem AFM i NOP, iz magnetskog diska. ( Ganti, S. and Bhushan, B. (1995), Generalizovana fraktalna analiza I njena aplikacija za ininjerske povrine, Wear, 180, 17-34.)

Figura 2.19 prezentuje strukturu funkcija magnetnog diska mjerenog koritenjem mikroskopa (AFM) i bezkontaktnim optikim profilom (NOP). Horizontalna smjena u struktunim funkcijama iz jednog skeniranaj u drugo proizilazi iz promjene u lateralnoj rezoluciji. Vrijednosti D i C su prikazane u tabeli 2.3. Fraktalna dimenzija skeniranja je konstantna (1.26 do 1.33); kakogod, C se povedava/smanjuje monotono sa sa AFM. Greka procjene je odgovorna za varijaciju u C. Ovo podatci pokazuju da povrina diska prati fraktalnu strukturu za tri decimale na duini skale.

2.2.4 Praktina razmatranja mjerenja hrapavosti parematara 2.2.4.1 Kratka i Dugo-valna filtriranja Ininjerska povrina pokriva iroku propusnost dugovalova, i primjera, kakogod velikih, obino izloena stacionarna svojstva.(u kojima hrapavost je ovisna uz primjernu visinu). Povrina hrapavosti je svojstvena; dok, njena hrapavost je funkcija propusnosti mjerenja i ovo nije unutarnji objekt. Instrumeni koji koriste razliite primjere intervala mjerenja sa mogunostima razliitih duina skala. Hrapavost pronaena na skalama varira od milimetarskoj ka nanometarskoj (atomic) skali. Povrina je kompozirana sa velikim brojem duina skala hrapavosti koji se preklapaju jedna preko druge. Na povrini nije tolika razliitost, ali ova jedna dolazi u razliitim veliinama. Distribucija veliina i oblika razlika je ovisna na kratkovalnom limitu, ili primjeru intervala mjerenog instrumenta. Kada je primereni interval na kojem je povrina primjera reducirana, broj razlika primjeenih i njenih zakrivljenja pojavljuje se tako to raste bez limita dole na atomskoj skali.

Slika 2.20 Sinusodualni profili sa razliitim brojevima taaka na duini valova

Ovo znai da asperity nije definiran objekt. Pokuaji su napravljeni da se identifikuje ispravni interval koji prinosi relevantni broj za partikularnu aplikaciju. Relevantost za kontaktnu mehaniku je definirana kao takva koja pravi kontakt u partikularnoj aplikaciji i nosi neko optereenje. Kratkoduni talasi ogranieni intervali koji utiu na statistiku. Izbor kratkodunog talasnog ogranienja zavisi na odgovoru na sljedee pitanje: Koji je najkrai duni talas koji e uticati na interakciju? Poznato je da na nanoskali prvo dolazi u kontakt i instantna plastina deformacija, i subjektivno, optereenje je podrano deformacijom od vee skale (Bhushan and Blackman, 1991; Poon and Bhushan, 1996). Poto je plastina deformacija u najvie aplikacija nepoeljna, aspirities na nanoskali trebaju biti uoeni. Takoer, kratkovalna talasna ogranienja treba da budu, ukoliko je to mogue, to manja. Efekat od kratkovalnih talasnih ogranienja na hrapavosti profila moe biti ilustriran preko sinusoidnog profila prezentovan sa razliitim brojem primjera taaka po duini vala, kao to imamo na slici 2.20. Oblik sinusoidnog profila je iskrivljen kada broj primjerenih taaka opada. Parametri profila se ne mjenjaju sa takama jednako do 6 ili vie po duini vala. Minimalni broj taaka potreban za prezentovanje duine vala i njegove strukture moe biti postavljen do 6, optimalni primjer intervala je /6, gdje je duina vala sinusoidnog profila. Analogno, primjerni interval treba da bude povezan sa glavnom duinom vala sinusoidnog profila i njegove strukture sluajnog proflika koji je predstavljen sa *. Dakle, * je funkcija propusnosti mjerenja. Razumno je izabrati primjereni interval od * mjeren na dugom ogranienju talasne duine. 0.25 * do 0.5 * (Poon and Bhushan, 1995a). Slika 2.21 demostrira kako je ogranienje duine vala, moe uticati na mjerenje hrapavosti parametra (Anonimno, 1995a). Vrh profila predstavlja aktuelno pomjeranje gramofonske igle na povrini. One nie pokazuju iste profile koristei prekid valnodunih vrijednosti od 0.8, 0.25 i 0.08 mm. Mali prekid vrijednosti bi izolirao valovitost dok veliki prekid vrijednosti bi ukljuio valovitost. Thomas (1990) je pokazao kako standardna devijacija povrine hrapavosti, , e se poveati sa poveanjem na prekidu duine vala ili primjera duine L, kao to je dato u sljedeim jednainama: L1/2

Slika 2.21 Efekat prekida duine vala je da ukine sve komponente itavog profila koji imaju duine vala vede nego prekid vrijednosti.

Ganti I Bhushan (1995) i Poon i Bhushan (1995) su rekli da I druge hrapavosti parametara koji se povedavaju zajedno sa L i onda dostiu konstantnu vrijednost zato to ininjerske povrine imaju duga valnoduna ogranienja. Ovo, prije povrine hrapavosti se moe efektivno kvantificirati, dok aplikacija mora biti definirana. Imati znanje aplikacije omoguduje da mjerenja budu planirana i partikularna zato da budu odlueno koju propusnost povrine spaja informacije koje se skupljaju. Spajanja koja se pojavljuju kao hrapavost u jednoj aplikaciji na povrini mogu dobro kostatovati valovitost u drugom. Dugo valnoduno ogranienje (koje je isto kao i veliina skeniranja u mnogim instrumentima) U kontaktu problema je postavljen putem dimenzija od kontaktnog podruja (slika 2.22). Ovo je jednostavno reeno da je duina talasa mnogo dua od nominalnog kontaktnog podruja, ako to postoji, trebao bi dobiti. Dugo valnoduno ogranienje moe biti izabrano da bude duplo nominalne kontaktne veliine ili dugo valnoduno ogranienje hrapavosti I njene structure u nominalnoj kontaktnoj veliini, ako to postoji, bilo koje je manje. Da bi predvidjeli bazu instrumentacije za hrapavost mjerenja, serija prekida valnodunih vrijednosti je standardizovana prema Britanskim standard (BS1134-1972), ANSI/ASME (B46.1-1985), i ISO preporuka (R468). Internacionalni standard prekida vrijednosti su 0.08, 0.25, I 0.8 mm. eljena vrijednost od 0.8 mm se pretpostavlja ukoliko je zadata razliita vrijednost. Valovitosti mjerenja su napravljena bez dugih valnodunih filtriranja. Dugo i kratko valnoduno filtriranje u mjerenju instrumenata je najvise slina postignudu digitalnog filtriranja.

Slika 2.22 . Veliina kontakta dvije pomjerajue komponente razliitih duina L1 i L2 na istoj povrini hrapavosti

Slika 2.23 Prijenosne karakteristike profila sa niskim i visokim filterima

Ova tehnika je spora, i metoda komercijalno koritena je impulsni odgovor (FIR) tehnika. Odgovor impulsa je dobiven preko uzimanja inverzujudeg FFT od filtera specifikacije. (1985) takoer opisuje elektronsko filtriranje metode za kratke i duge valnoduno filtriranje, koje je postignuto pomjeranjem alternativne voltae predstavljajudi profil kroz elektrini zrani filter, isti kao i standardni RC filter. Elektronski filter se generalno koristi da filtrira napolje kratke valnodune elektronske buke. Mehaniko kratko valnoduno filtriranje takoer rezultira od dizajna i konstrukcije mjerenja instrumenta. Naprimjer, u gramofonskoj igli ili atomskoj sili mikroskopa, igla se pomjera odreene kratke valne duine u redu na gramofonsku iglu po radijusu, koji je odreen prema lateralnoj rezoluciji instrumenta. Igla nije omogudena da ulazi u lijebove. Kako razmak izmeu lijebova raste, premjetanje igle de rasti, ali jednom kada postane dovoljno za iglu da dostigne dno, onda de tamo biti kompletna indikacija. U digitalnom optikom profile, lateralna rezolucija je kontrolisana fizikom veliinom od punjenog ureaja (CCD) slika senzora na mikroskopskom objektivu se mijenja. Kratko valnoduno ogranienje, ako je izabrano, treba da bude najmanje duplo vede od lateralne rezolucije instrumenta. Za instrument u kojem je uveden kratki valnoduni filter, izlaz de obino pasti ispod odreene frekvencije, koja je ispod odreene valne duine, npr. Kao to je pokazano krivinom B na slici 2.23, iako igla nastavlja da raste I opada preko nepravilnosti. Istakana krivina C na slici 2.23 takoer pokazuje pad instrumentaln og izlaza na duini valne duine. Samo u rangu valnih duina za koje je krivina subtantivno ravna, de idukovati mjerenjem amplitude i nezavisnosti na valnodunoj krivini A na slici 2.23. 2.2.4.2 Veliina skeniranja Nakon kratkog valnodunog i dugog valnodunog ogranienja koji su odabrani, hrapovitost mjerenja moraju biti napravljeni na duini velikoj dovoljno da dobavi statistiku vrijednost za izabranu lokaciju. Ukupna ukljuenost je zvana duina mjerenja, duina evolucije, transverzalna duina, ili duina skeniranja. U nekim sluajevima, duina nekoliko individualnih duina (otprilike 5) su izabrani ( Whitehouse, 1994). U mnogim mjerenjima, duina skeniranja je ista kao I dugo valnoduno ogranienje. Za dvodimenzionalno mjerenje, odreeni predmet je mjeren prije duine. Wyant et al. (1984) I Bhushan et al. (1985) su predloili da u mjerenju sluajne povrine, skeniranje duine je jednako ili vede od 200 *.

Figura 2.24 SEM mikrograf otiska napravljen iglom instrumentom koji pokazuje povrinu odtete Nf-P.

2.3 Mjerenje povrine hrapavosti Razlika je napravljena izmeu metoda i ocjenjivanja nanoskale ka amotskoj skali i mikroskale spojenom sa povrinom hrapavosti. Ovi detalji su obino obezbjeeni koritenjem metoda kao to su slaba snaga elektornske difrakcije, molekularni snop metoda, emisija i mikroskopska, skeniranje mikroskopom, I atomska sila mokroskopa. U drugu ruku, za mnoge ininjere i manufakturne povrine koje su generalno mehanike ili optike metode. Neke od ovih metoda takoer mogu biti koritene za mjerenje geometrijskih parametara na povrini (Bhushan, 1996, 1999). Instrumenti su omogudeni za hrapavost mjerenja. Ova tehnika mjerenja moe biti podjeljena na dvije kategorije: (a) kontaktna vrsta u kojoj tokom mjerenja komponenta instrumenta aktuelno dodiruje povrinu koja se mjeri; i (b) bezkontaktna vrsta. Kontaktna vrsta instrumenta moe otetiti povrinu kada se koristi sa igrom tipa sharp, partikularna povrina (slika 2.24). Za ova mjerenja, normalna opteredenja moraju da budu dovoljno niska kako kontakti ne bi dotakli povrinu koja se mjeri. Prve praktine igle kao instrumenti su napravljeni od strane Abbotta i Firestone (1993). 1939, Rank Taylor Hobson u Leicester, Engleska, predstavio je prvi komercijalni instrument zvani Talysruf. Danast, kontaktna vrsta igle kao instrumenta se koristi za elektronske amplifikacije, i veoma su popularne. Tehnika ifrom se prepuruuje od strane ISO-a, koji se generalno koristi za proizvodne svrhe. U 1983. Bezkontaktni optiki profile bazirani na principu duplom snopu optike interferencije koja je napravljena te se sada iroko koristi u elektronici i optikoj industriji za mjerenje glatkih povrina. 1985, napravljena je atomska sila mikroskopa koja je u sutini nano profilna radedi sa ultra niskim opteredenjima. To moe biti koriteno za mjerenje povrina hrapavosti sa lateralnom rezolucijom u rasponu od mikroskopske do atomske skale. Ovaj instrument je pogodan za koritenje u istraivanju te mjerenj hrapavosti sa ekstremno velikiom lateralnom rezolucijom, partikularno nanoskalne hrapavosti. Postoji broj drugih tehnika koje su bile ili demonstrirane u labaratorijama I nikada nisu komercijalno koritene ili koritene u specifinim aplikacijama. Mi demo razdvojiti razliite tehnike na est kategorija bazirane na fizikom principu spajanja: metoda mehanike igle, optika metoda, SPM metoda, fluidna metoda, elektronska metoda, i elektonsko mikroskopska metoda. Opis ovih metoda je predstavljen, a detaljni opis od samo tri igle, optika (bazirana na optikoj interferenciji), I AFM tehnika , su osigurane. Mi demo ukljuiti ovu sekciju uporeujudi metode mjerenja. 2.3.1 Metoda mehanike igle Ova metoda se koristi kao instrument koji biljei i snima vertikalne pokrete igle postavljena na konstantnoj brzini od povrine koja se mjeri. Pradenje je jedan od dijelova komercijalnih profila. Igla je mehaniki spojena najede na linearnu varijablu deferencijalnog transformatora (LVDT), optiki ili kapacitivni sensor. Igla je opteredena uz primjer te je skenirana preko stationarnog primjera povrine koristedi poprijene jedinice na konstantnoj brzini ili primjer koji je transportovan preko optike ravn e reference. Kako se igla ili primjer pomjera, igla ide preko primjera uzrokujudi povrinu devijacije. Ono producira analogni signal odgovarajudi vertikalom pomjeranju igle. Ovaj signal je onda pojaan, uvjetovan i digitaliziran. (Thomas, 1999; Bhushan, 1996). U profile, kako je prikazano na slici 2.25a, instrument se sastoji od igle mjerenja glave sa igloo vrste I mehanizmom skeniranja. Mjerenje glave kudita rukom igle sa iglom, senzorom i sa sistemom opteredenja. Ova runa igla je spojena na jezgro LVDT prema monitoru

vertikalnih pokreta. Jezgro sile solenoida je spojeno sa runom iglom i njegov namotaj je energovizovan da oitaje vrstu igle uz primjer. Optiki senzor se koristi da predvidi slabo ogranienje vertikalnoj lokaciji od igle sa uvaavanjem primjera. Ovaj uzorak je skeniran ispod igle pri konstantnoj brzini. Ultra niska opteredenja profila, prikazana na slici 2.25b I 2.25c , vertikalni pokreti su prikazani koristedi kapacitivne senzore, i preciznost transformatora primjera tokom mjerenja. Hardver se sastoji od dvije glavne komponente: iglu koja mjeri glavu sa vrstom igle i mehanizam skeniranja. Igla mjerenja glave kudita koja ukljuuje iglu, elektronski sezno i integrisanu optiku kao i system opteredenja. Kapacitivni senzor proizvodi manju bu ku, te ima manju masu i prikazuje se dobro s manjim dimenzijama usporeujudi sa LVDT. Kapacitivni senzor sklopa konzumira runu iglu konektovanu na senzor koji produuje kroz centar velike osjetljivosti kapacitivnog senzora. Vertikalno pomjeranje rune igle rezultira pomjeranjem koje je registrovano kapacitivnim senzorom. Analogni signal kapacitivnog senzorskog izlaza je digitaliziran i prikazan na povrini hrapavosti mape. itav sklop je montiran na ploi, koja se pokrede preko motora za vertikalne pokrete. U sutini, da bi pratili iglu preko povrine, sila je omogudena za iglu. Mogudnost da tano prihvatimo i kontroliemo ovu silu je kritina za performance profila. Mjerenje glave koristi icu da postavi programabilnu iglu opteredenu najmanjom sa 0.05 mg. Spojen ispod igle sa magneto spojenim na kraju. Magnet je zadran blizu ice, kada je energizovan, producira magnetsko polje koje pomjera magnetnu ruku. Ovo omoguduje silu da gura runu iglu. Sila mehanizma i digitalni signal procesora se korista da odre konstantnu silu za iglu. Igla se pokrede lagano, ali njene tenzije utiu ovisno od sile koja ju pokrede. Tabela igle i njene pozicije naspram podeavanja je generalna. Digitalni signal procesora koristi ove podatke da bi dinamiki promjenio podeavanja kako su napravljena mjerenja hrapavosti. Mehanizam skeniranja pokazana na slici 2.25c, dre senzor sklopa stacioniran dok je primjer faze pomjeren sa preciznim pomjeranjem mehanizma. Ovaj mehanizam , zvani X pokret, koristi motor za pokretanje koji onda pomjera primjer faze sa upustvom duinom optike preko PTEE. Pokret je prikazan putem optikog enkodera i tanost iznosi od 1 do 2 m. Optika osigurava glatko i stabilno pomjeranje preko duine skeniranja, dok uputstvo pridonosi ravnan direktan pokret. Ovo sken iranje ogranienja mjerenja buke iz instrumenta, koristi senzor za mjerenje sa glatikom vertikalnom preciznodu. Topografska povrina mjerenja moe biti odreena sa visoko senzitivnom preko 205-mm skeniranja. Trodimenzionalne slike mogu biti ubaene prihvatajudi dvodimenzionalno skeniranje u smijeru X dok

Slika 2.25 ema: (a) igle mjerenja glave sa sistemom oitavanja i skeniranjem mehanizma koristedi u Veeco/Sloan Dektak profilima. (b) Sistem mjerenja glave sa oitavanjem sistema i (c) skeniranje mehanizma koritenjem Tencor P-series profila

Slika 2.26 ema igle koja prikazuje ugao i vrstu radijusa Putem ka Y smijeru od 5 m sa Y koriteno za precizno pozicioniranje. Kada se gradi povrinska mapa preko paralelnih prelaenja, bitno je napomenuti slinost izmeu profila. Ovo moe biti postignuto spoljanjim postupkom u kojem glavni od svakog profila se rauna odvojeno I neki rezultati su odsjeceni zajedno da proizvedu tanu povrinu mape. Povrina mape je generalno predstavljena tako da vertikalna osa je magnificirana sa tri do etri reda magnetizma usporedno sa horizontalnom osom skeniranja. Mjerenja na okruglim povrinama sa dugim skeniranjem duina moe biti izveden sa modificiranom iglom profila u kojoj cilindrina povrina je rotirana za osu tokom mjerenja. Igle se prave od dijamanata. Oblici mogu varirati od jedne tvornice do druge. Takasta igla sa vrstom (e.g. 0.25 m X 2.5 m) moe se koristiti za detektovanje ispupenja ili nekih drugih specijalnih aplikacija. Neke vrste su gotovo iskljuivo koriste za mjerenje mikrohrapavosti (slika 2.26) Prema internacionalnom standard (ISO 32741975) , igla pravi konus od 60do 90ukljuudi ugao I vrstu radijusa zakrivljenja od 2, 5, ili 10 m. Radijus igle u rangu je obino od 0.1 do 0.2 m prema 25 m sa ukljuenim uglaom od 60do 80. Dijamantska igla je vrsta dijamantskog s ipom je montirana na runu iglu. Dijamantski ip je odsjeen, zatim prizemljen sa specifinim dimenzijama. Radijus zakrivljenja za submikrometarsku vrstu igle, koji se pretpostavlja da je sferna, mjeri se sa SEM, ili uz standard. Vrsta igle koja je u dodiru sa povrinom duinom sa znanim radijusom zakrivljenosti, otkriva aktuelni radijus vrste. Maksimalna vertikalna i horizontalna magnifikacija koja moe biti koritena je otprilike od 100.000x i 100x redoslijedom. Vertikalna rezolucija je ograniena senzorima, pozadinskim mehanikim vibracijama i bukom iz elektronike. Rezolucija za glatku povrinu je niska 0.1 nm i 1 nm za hrapave povrine za vede korake. Lateralna rezolucija je u redu za iglu i njen radijus. Korak visine se ponavlja oko 0.8 nm za korak visine od 1 m. Igla pokriva domet otprilike od 0.05 do 100 mg. Dugovalni prekidi valnodunog dometa varira od 4.5 m do 25 mm. Kratkovalna prekidanja valnodunog dometa varira od 0.25 m do nekolilko milimetara.

Duina skeniranja moe biti najvie 200 mm uz trodimenzionalne slike, podruje skeniranja moe biti veliko 5 mm X 5 mm. Vertikalni domet ide od 2 do 250 m. Brzina skeniranja dometa ide od 1 m/s do 25 mm/s. Primjerni rate dome tide od 50 Hz do 1 kHz. 2.3.1.1 Relokacija Ima mnogo situacija gdje bi trebalo biti veoma korisno gledati na povrinu prije i poslije eksperimenta, da bi vidjeli ta se mjenja na povrinskoj hrapavosti. Ovo moe biti uspjeno koritenjem table (Thomas, 1999). Tabla je podebljana na instrumentu igle. Faza moe biti sputena ili smaknuta. Igla je zatim locirana prema duinama orginalnog profila.

Slika 2.27 Disorcija profila prema dimenzijama vrste igle 2.3.1.2 Replikacija Replikacija se koristi da se doda mjerenju na djelovima koji nisu lako dostupni, takvi su interalne povrine ili povrine ispod vode. To se koristi na komplikovanim povrinama zbog toga to direktno mjerenje bi otetilo povrinu (Thomas, 1999). Princip je jednostavan da ubacis na povrinu koja se mjeri u kontaktu sa tenom koje de subjektivno biti postavljen a, nadajudi se da de reproducirati originalne detalje, kao slika ogledala ili negative. Materijali kao plaster , cement ili neke druge tenosti koje se koriste. Glavno pitanje je kako replica reproducira ovo spajanje od orginala. 2.3.1.3 Uzroci greaka Konana veliina vrha igle izobliava profil povrine u odreenoj mjeri (Radhakrishnan, 1970; McCool, 1984). Slika 2.27 pokazuje kako konana veliina olovkom iskrivljuje profil povrine. Polumjer zakrivljenosti od vrha moe biti pretjerana, i dolina se moe prikazati kao kvrica.Profil sadri mnoge vrhove i doline radijusu zakrivljenosti oko 1 m ili manje ili vie pada nagiba iznad 45 bi vjerojatno biti vie ili manje pogrene strane igle instrumenta.

Drugi izvor pogreke je zbog igle kinematike (McCool, 1984).Olovka za konane mase se dri u kontaktu s povrinom. Ako poprijeko stavimo na povrinu na dovoljno visoku brzinu, ne odravamo kontakt s povrine se prati. Gdje i da li se to dogaa ovisi o lokalnoj povrina geometrija, Konstanta opruge na maseni omjer, i pradenje brzine. Jasno je da traga za koja olovka ne dotie, odrava I predstavlja netone informacije o povrini mikrohrapavosti. Opteredenje igle takoer uvodi pogreku.Otra olovka ak i pod niskim opteredenja rezultatira u podruju kontakta tako mali da lokalni tlak moe biti dovoljno visok da uzrokuje znaajnu lokalnu elastine deformacije. U nekim sluajevima, lokalni tlak moe prelaziti tvrdodu materijala, i plastine deformacije povrine moe dovesti. Igla opdenito pravi vidljivu ogrebotinu na mekim povrinama, Primjerice, neki elici, srebro, zlato, olovo, i elastomeri (Poon i Bhushan, 1995a; Bhushan, 1996). Postojanje ogrebotina rezultira mjernim pogrekama i pravi neprihvatljivu tetu. Kao to je prikazano na Slici 2.24. Olovka kopa u povrinu, a rezultati ne predstavljaju doista mikrohrapavost. Vano je da odaberete iglu niskog opteredenja, dovoljno nisku kako bi smanjili plastinu deformaciju. 2.3.2 Optike metode Kada elektromagnetna radijacija (svjetlosni talas) kao incident se desi na inenjerskoj povrini, to se ogleda bipolarno ili difuzno ili oboje (Slika 2,28). Odsjaj je potpuno reflektirajudi kada ugao odraza bude jednak uglu incidencije (Snell zakon), a to vrijedi i na savreno glatkim povrinama. Reflekcija je potpuna.

Slika 2.28 Naini reflekcija elektromagnetskog zraenja iz vrste povrine, (a) samoreflektirajudi, (b) samodifuzni, i (c) u kombinaciji reflektirajudi i difuzno. (Thomas, T.R. (1999), Rough Surfaces, 2nd ed., Imperial College Press, London, U.K.) Kako se hrapavost povedava, intenzitet reflektirajudih zraka opada dok se zraenje povedava inzenzitivno I postaje difuzno. Na mnogim povrinama, reflekcije nisu ni potpuno reflektirajude ili potpuno difuzne. Oito, veza izmeu valnih duina zraenja i hrapav osti povrine de uticati na reflekciju. Povrina koja je glatka na zraenja jedne valne duine mogla bi se ponaati kao da je hrapava na zraenje razliitih valnih duina.

Reflektirajude zrake dvije paralelne ploe koje su postavljene normalno da upadne z rake ometaju i rezultiraju formiranjem rubova. (Slika 2.29). Meurazmak je funkcija razmaka dviju ploa.Ako je jedna od ploa referentna ploa, a druga je inenjering povrina ija se hrapavost mjeri, meurazmak se moe odnositi na hrapavost povrine. Mi smo upravo opisali takozvane dvije zrake optikih smetnji. Niz drugih smetnji tehnika se koristi za mjerenje hrapavosti. Brojne optike metode su iskazane u literaturi za mjerenje povrinske hrapavosti. Optiki mikroskop je koriten za ukupno mjerenje, koje prua tek kvalitativne informacije. Optike metode mogu se podijeliti u geometrijske i fizikalne metode (Thomas, 1999). Geometrijske metode ukljuuju konus rezova i svjetlo rezova metode. Fizike metode ukljuuju reflektirajude i difuzne refleksije, kao i optike smetnje. 2.3.2.1 Kruzni-rezova Metoda U ovoj tehnici, dio je rez kroz povrinu koja se ispituje sa uglom , ime se uinkovito povedala visina varijacije koje faktorom ugla , a naknadno je pregledao optikim mikroskopom.

Slika 2.29 Optiki ema od dva snopa interferencije

Ova tehnika je prva opisana od strane Nelsona (1969). Povrina koja se sijee mora biti podrana s premazom koji de sprijeiti razmazivanje na konture tijekom operacije rezova. Ovaj premaz vrsto mora pridravati na povrinu, mora imati slinu tvrdodu, i ne treba se raspriti na povrine. Za elinih povrina, oko 0,5 mm debljine electroplated nikal moe koristiti.Uzorak je zatim tlo na povrinom na tipinom konus uglu izmeu 1 i 6 . Konusni dio tako proizveden oplakuje, uglaen, i eventualno lagano urezuje ili topline zatamnjena prua dobar kontrast za optiki ispit. Nedostaci ove tehnike ukljuuju unitenje ispitnoj povrini, zamorno primjerenu pripremu, i siromanu tanost. 2.3.2.2 Svjetlosna rezna metoda Slika proreza (ili ravnalo kao britva) je izbaena na povrinu ugla od 45 . Reflektirana slika de se pojaviti na ravnoj liniji, ako je povrina glatka, i kao breuljkasa linija ako je povrina gruba.Relativno vertikalno uvedanje na profilu je kosekant kuta incidencije, u ovom sluaju 1.4. Bona rezolucija je oko 0,5 m. Automatski sustav za trodimenzionalno mjerenje povrinske hrapavosti opisali su Uchida i sur. (1979). Njihov sustav se sastoji koristedi optiki sustav za projekt na zraku incident dijafragma, a zatim promatranje slike s industrijskom televizijskom kamerom projicira kroz mikroskop, stol za ispitnoj povrini pokrede se preko koranog motora. 2.3.2.3 Metoda spekularna refleksije Sjajna ili reflektirajuda refleksija (ponekad se nazivaju sjaj) je povrina u vlasnitvu materijala, naime, indeks loma i hrapavost povrine. Fresnel jednadbe pruaju odnos izmeu indeksa loma i refleksije. Povrina hrapavosti raspruje reflektirano svjetlo, ime utjee reflektirajudi refleksije. Ako je hrapavost mnogo manja od valne duine svjetlosti () I povrina ima Gaussovu raspodjelu visine, korelaciju izmeu spekularne refleksije (R) i je opisao (Beckmann i Spizzichino, 1963)

Gdje je 1 ugao incidencije mjeren na normal uzorka, i R0 je ukupna reflekcija na povrini hrapavosti i nalazi se mjerenjem ukupnog intenziteta svjetla.

Slika 2.30 ema glosmetra. (Budde, W. (1980), A reference instrument for 20, 40, and 85gloss measurements, Metrologia, 16, 1-5.) Ako je hrapavost inducirana, svjetlosna apsorpcija procesa je zanemariva, R0 je jednaka spekularnoj refleksiji savreno glatke povrine od istog materijala. Za grublje povrine ( /10), reflektirajuda zraka uinkovito nestaje, tako da R vie nije mjerljiva. Trgovaki instrumenti nakon opdeg pristupa se ponekad nazivaju reflektirajudi glosmeters (Slika 2,30). Prvi glossmeter je koriten u 1920. Glossmeter otkriva reflektirajude refleksije (Ili sjajilo) ispitivane povrine (od tipine veliine od 50 mm 50 mm). Svjetlo se reflektira na povrinu (Gardner i tratina, 1972). Izmjereno reflektirajuda refleksija je dodijeljena sjaju broja. Sjaj broj je definiran kao stupanj u kojem se u zavrnici povrine pristupi da od teorijskog sjaja standarda, to je savreno ogledalo, dodijeljena vrijednost 1000. Praktino, primarni standard temelji se na crnom sjaju (indeks loma, n = 1,567) pod uglom incidencije od 20 , 60 ili 85 , prema ISO 2813 ili Amerikog drutva za ispitivanje materijala (ASTM) D523 standardima. Reflektirajuda refleksija od crnog premaza na 60 za nepolarizirano zraenje 0,100 (Fresnelova jednadba). Po definiciji, 60 sjaj vrijednost ovog standarda je 1000 0,10 = 100. Za 20 i 85 stupnjeva, Fresnel reflekcijes su 0,049 i 0,619, odnosno, koji su opet po definiciji postavili dati sjaj vrijednost 100. Glossmeter opisao Budde (1980), djeluje preko valne duine 380-760 nm s vrha na 555 nm. Postoji pet razliitih uglova incidencija koji se obino koriste - 20 , 45 , 60 , 75 , i 85 . Vedi uglovi incidencije se koriste za naborane povrine i obrnuto. Glossmeters se najede koriste za boju, laka, i papira Gardner I Tratina, 1972). To se takoer koristi u magnetskim vrpcama, na 45 ili 60 incident uglova, ovisno o razini od hrapavosti (Bhushan, 1996). To je vrlo povoljno za mjerenje

hrapavosti magnetskih traka premaza tijekom proizvodnje od strane glossmetra. Prednost glossmetra je njegova unutarnja jednostavnost, lakoda i brzina analize. Osim tonosti i obnovljanja, glavni je nedostatak sjaja mjerenja je njegova ovisnost o indeksu loma. Reflektirajuda refleksija od dielektrine povrine za nepolariziran incidenta zraenja se povedava s povedanjem indeksa loma prema Fresnel jednadbama (Hecht i Zajac, 1974).

Gdje je n indeks prelamanja dielektrinog materijala, i je ugao incidencije s obzirom na povrinu normale, a R1 i R2 su refleksije okomite i paralelno upadne ravni, respektivno. Za i = 0 (normalna pojava), jednadba 2,45 smanjuje na

Iz jednadbe 2,45 i 2,46, moemo vidjeti da je mala promjena indeksa loma povrine moe promjeniti broj sjaja. Promjena u indeksu loma moe dodi iz promjene u opskrbi sirovine koja se koristi u proizvodnji test povrine (Fineman sur., 1981), promjena u sastavu povrine (Wyant et al, 1984.), ili starenje povrine (Alince i Lepoutre, 1980; Wyant et al,. 1984). Stoga zakljuujemo da je koritenje glossmetra za mjerenja hrapavosti nije ba primjereno; Meutim, za sjaj ili opdi izgled, to moe biti prihvatljivo.

2.3.2.4 Metoda difuzne refleksije Vizija ovisi o difuznom razmiljanju ili rasprenju. Teksture, nedostaci, i kontaminacija su uzroci rasprenja (Bennett i Mattson, 1989; Stover, 1995. Teko je dobiti detaljne podatke hrapavosti distribucije od rasprskavanja mjerenja. Njegova prostorna rezolucija se temelji na optikom snopa veliine, obino od 0,1 do 1 mm u promjeru. Zbog scatterometers mjere svjetlo refleksije je vie nego stvarna fizika udaljenost izmeu povrine i senzora, oni su relativno neosjetljivi na promjene u temperaturi i mehanike ili akustike vibracije, to ih ini izuzetno stabilnim i robusnim. Za mjerenje velike povrine podruja, tradicionalne metode skeniranja hrapavosti i relativno mala podruja (ili ponekad samo jedan) na razliitim mjestima na povrini. S druge strane, s scatterometers, mjesto je brzo i automatski rastered preko velike povrine. Rasprenje ponekad je zaposlen na mjerenje povrinske teksture. Ova tehnika je posebno pogodna za on-line hrapavosti mjerenja tijekom proizvodnju jer je kontinuirana, brza, razorna, i relativno neosjetljiva na okoli. Tri pristupa su koritena za mjerenje nedostataka i hrapavosti laganim rasipanjem. Ukupno Integrirani Scatter Ukupni integrisani scatter (TIS) metoda je komplementarne spekularne refleksije. Umjesto mjerenja intenzitet reflektiranog svjetla, gdje jedan mjeri ukupni intenzitet difuzno rasprenog svjetla (Bennett, 1978; Stover, 1995).

Slika 2.31 ema ukupnog integriranog rastjerivanja aparata s difuznom integrirano m sferi. (Stover, J.C., Bernt, M., and Schiff, T. (1996), TIS uniformity maps of wafers, disks and other samples, Proc. Soc. Photo-Opt. Instrum. Eng., 2541, 21-25.) U prvom TIS instrumentu, aluminizirani, reflektirajudi je bila koritena Coblentz kugla (90 integrirajudi sfera) (Bennett i Porteus, 1961). Drugi nain, koji je prikazan na slici 2,31 koristi high-difuzne refleksije integrine sfere. Snop Incident laser putuje kroz integriranu sferu i udari uzorak luku za nekoliko stupnjeva off-normale. U reflektirajudi odraz prolazi sfera i opet ostavlja kroz izlaznu luku gdje je mjerena spekulara detektora, D2. unutar sfere je prekrivena difuznim bijelim premazom koji okupljenim uzrokom raspruje cjelokupnoj unutranjosti kugle.Sfera vodi na jedinstvenom sjaju, bez obzira na orijentaciju

od rasprenog uzorka. Raspreni signal mjeri I uzrokuje ovu jedinstvenu sjaj s rasprenim detektorom, D1, koji se nalazi na desnoj strani sfere.TIS je tada omjer ukupne svjetlosti rasprene po uzorku u ukupnom intenzitetu rasprenog zraenja (oba reflektirajudi i difuzno). Ako povrina ima Gaussovu visinu distribucije i njegova standardna devijacija je mnogo manja od valne duine svjetlosti (), TIS moe biti povezano s kao da je jednadbe 2,41 (Bennett, 1978).

Uzorci poznate spekularne refleksije se koriste za kalibriranje reflektirane snage (R0) signale.isti uzorci, koji se koriste za odraavanje zraka na sferi unutranjosti, moe se koristiti za kalibraciju ratrkane modi. (R0 - R) mjerni signali (Stover et al, 1996.). Nekoliko komercijalnih instrumenata, poput Surfscana (Tencor instrumenti, Mountain View, CA), Diskan (OKS Corp, Bedford, MA), a Dektak SVR-2000 (Veeco / Sloan Tehnologija, Santa Barbara, CA) su izgraeni na tom principu. Ovi instrumenti se opdenito koriste za generiranje karata asperities, defekti, ili estice umjesto mikrohrapave distribucije. Ovaj pristup se oslanja na promatranju da, preko velikog raspona hrapavosti, uzorak rasprenog zraenja postaje difuzna s povedanjem hrapavosti. Dakle, cilj je da se ovdje mjeri parameter koji karakterizira razliku od rasprenog zraenja uzorka i odnosi ovaj parametar hrapavosti povrine. Omjer zrcalnog intenziteta na intenzitet na jednom off-zrcalnog ugla se mjeri. Bududi da taj omjer opdenito opada s povedanjem povrinske hrapavosti, ona sama prua mjeru hrapavosti. Peters (1965) je koristio ovu tehniku s detektorom odranom na 40 reflektirajudi hrapavost cilindrinih dijelova. Njegovi rezultati pokazuju dobru korelaciju Ra u rasponu do 0,3 m. Koritenje slanje / primanje fiber-optikih paketa se postavljaju pod razliitim kutovima, hrapavost mjerenja moe biti s optikom i instrumentacije smjetenih daljinski (Sjeverna i Agarwal, 1983). Kutna distribucija u naelu, cijeli kutne distribucije (AD) od rasutih zraenja sadri mnoge informacije o hrapavosti povrine. Osim hrapavosti, mjerenja kutne distribucije moe dati i druge povrinske parametre, kao to su prosjene valne duine ili prosjeni nagib. Upadni ugao se obino odrava konstantnom i AD mjeri niz detektora ili pokretni detektor i pohranjuju se kao funkcija kuta rasprenja. Vrste povrinske informacije koje se mogu dobiti iz AD ovisi o hrapavosti reima. Za > i povrine prostorne valne duine> (grubo povrina granica), jedan radi u geometrijskoj optici reima, gdje se rasprenje moe opisati kao rasprenja iz serije glints ili povrinskih aspeka; orijentirani da reflektiraju svjetlo iz upadnog snopa u rasprenja smjeru. Ovo AD stoga je vezana da je raspodjela povrine nagiba, a njegova irina je mjera karakteristike nagiba povrine. Kao i povrinu prostorne valne duine pad, distribucija postaje mnogo kompliciranija

Za < (glatka povrina granica), rasprenje proizlazi iz difrakcije svjetlosti koje povrinske hrapavosti gleda kao skup sinusoidalnih difrakcija reetki s razliitim amplitudama, valne duine, i smjerova diljem povrine. Intenzitet rasprenog svjetla odreujese po vertikalnoj skali od hrapavosti a njegova ugaona irina po poprenoj skali; obje ljestvice se mjere u jedinicama zraenja valne duine. To moe biti prikazano teoretski da AD trebaju izravno preslikati spektralnu gustodu snage funkcije povrine hrapavosti (Hildebrand i sur, 1974;. Stover, 1975; Crkva, 1979). Slika 2,32 prikazuje skicu razliitih teksturnih klasa (u glatkog limita) na lijevoj i njihove rasprenje potpise ili power spektralne gustode naseljenosti na desnoj strani. Konana skica na slici je zbroj onih prethodnih, koji predstavljaju pravi dijamantsku povrinu. Takvi potpisi se lako mogu vidjeti te odraavaju svjetlo laserske zrake iz plohe na dalekom ekranu u mranoj sobi (Crkva, 1979). Slika 2,33 prikazuje izmjerenu ratrkanu intenziteta distribucije iz dijamanta pretvorbe zlata povrine pomodu He-Ne laser svjetla. On koristi nekonvencionalni nain skeniranja rasprenja ugla I incident ugla istovremeno dredi obje izvor i detektor fiksnog i rotirajudeg primjeraka. Gornja krivulja na slici 2,33 pokazuje AD u ravnini incidencije i okomita je na dominantni leao povrine. Otar vrh u sreditu je reflektirajudi odraz, iroko rasprenje distribucije je zbog sluajne komponente hrapavosti, i niz diskretnih linija su zbog periodinih komponenta hrapavosti uzrokovane stopi dijamant alat. Donja krivulja na Slici 2,33 AD se mjeri u paralelnom smijeru, a to pokazuje i svoju dugo iroku distribuciju karakteristika sluajnih hrapavosti uzorka u tom smjeru. U principu, dakle, moe se razlikovati izmeu uinaka zbog povremenih i sluajnih hrapavosti komponenti i moe otkriti smjer vlasnitvo povrina. Broj eksperimentalnih sustava su razvijeni. Clarke i Thomas (1979) razvili laser za skeniranje analizatora sustava za mjerenje grube povrine, i rasprene svjetlosti empirijski je povezana s hrapavodu. U svojoj tehnici, laserske zrake se reflektiraju u poligonalnom ogledalu rotirajudi se pri velikoj brzini na povrinu gdje se ogleda u fiksnoj fotodetektorskom prijemniku maskiranom u uskom razrezu. Ugaona refleksija je funkcija proizvedena kao mjesto skeniranja trake. U odreenom trenutku bilo kojeg skeniranja, fiksno detektor prima resprenu svjetlost od jedne take na strip koji se dogaa u tom trenutku osvijetljen na gredu. Mjesto promjera se moe podesiti od 200 m gore na ispitivanje irine od 623 mm, a brzina skeniranja je 5 kHz maksimalno.

SLIKA Slika 2,32 Tekstura razrede i njihovog rasprenja potpisa kada je osvijetljen konkretnom svjetlosti.Konana skica zbroj prethodnih koje predstavljaju pravi dijamant pretvorio povrinu u zbroj prethodnih one predstavljaju pravi dijamant koji pretvora povrinu. (Iz Crkve, E.L. (1979) mjerenje povrinske teksture i topografije od strane diferencijalne rasprenje svjetlosti, nosite, 57, 93-105.)

U mjerenjima koje su izvijestili Clarke i Thomas (1979), svi su bili odraz simetrine krivulje i otprilike isti oblik bez obzira na krivulju Gaussovih pogreaka (slina gornja krivulja kao to je prikazano na slici 2,33).Hrapavost povrine je utvreno da se odnosi na irinu krivulja na pola maksimalne amplitude. Polovica irine tendencije da se poveda prilino linearno s aritmetikom. Prosjena hrapavost varira kao o etvrtoj modi srednje apsolutne profila padini (Slika 2.34). Vorburger sur. (1984) razvio AD instrumenta prikazan na slici 2,35 u kojima zraka iz On-Ne laser osvjetljava povrine pod kutom od pojavnosti koje mogu bi ti razliiti.Rasprena svjetlost distribucije otkrivena niz 87 optikih senzora smjetenih u polukrunom jaram koji se moe rotirati oko svoje ose, tako da se raspreno zraenje moe uzorkovani tijekom cijelog hemisferi. Oni u odnosu na kutna rasprenja podataka s teorijskim kutnih rasprenja distribucija izraunata iz digitaliziranih hrapavosti profila mjeri stylus instrumenta i pronalazi razumnu korelaciju. Tri metode rasprenja opisane do sada su uglavnom ograniena na raspolaganju teorija da studija povrine iji su mnogo manje od . Uz He-Ne laser kao izvor svjetla, prethodno ogranienje znai da ove tehnike su koristili uglavnom na optikim povrinama kvalitetnih gdje <0,1 m. Unutar ogranienog reima, oni mogu pruiti highspeed, kvantitativna mjerenja hrapavosti I izotropne povrine i one s izgovara lee. Na grublje povrine, AD moe biti koristan kao komparator za pradenje i amplitude i valne duine povrinskih svojstava.

SLIKA 2,33 Eksperimentalna AD rasprenja spektra od dijamanta na povrini.Gornja krivulja pokazuje skeniranje okomito na laika smjeru.Donja krivulja pokazuje skeniranja paralelu laika smjeru. (Iz Crkve, EL (1979), mjerenje povrinske teksture i topografije diferencijal rasprenje svjetlosti, Nositi, 57, 93-105.)

2.3.2.5 Metoda Pattern pjega Kada je gruba povrina osvijetljena s djelomino koherentne svjetlosti, reflektira zrake koje se sastoje u dijelu od sluajnih obrazaca svijetlih i tamnih podruja poznat kao pjega. Pjega je lokalni intenzitet varijacija izmeu susjednih taaka u ukupnom AD objanjeno ranije. Jedan od naina objanjavanja razlika izmeu razbacan i AD je napomenuti da je pjega intenzitet buke koja se obino dobije prosjeno van dobiti AD. Tehnika za odnose razbacan i hrapavost povrine je razbacan uzorak korelacije mjerenja. Evo, dva pjega uzoroka dobiveni su iz ispitne povrine koje ga osvjetljavaju s razliitim kutovima incidencije ili razliite valne duine svjetlosti. Korelacija svojstva pjega obrasca zatim studirao snimanje obrasce. Goodman (1963), a drugi su pokazali da je stupanj korelacija izmeu pjega obrasci uvelike ovisi o hrapavosti povrine () (vidi npr., Ruffing i Fleischer, 1985). 2.3.2.6 Metoda optike interferencije Optika interferometrija je vrijedna tehnika za mjerenje povrinskog oblika, na obje makroskopskih i mikroskopskih razmjera (Tolansky, 1973).Tradicionalna tehnika ukljuuje gleda na smetnji rubovima i odreivanju koliko oni polaze od toga da bude ravno i j ednako rasporeene. S prikladnim raunalima analiza, te se moe koristiti da se upotpunosti karakterizaciju povrine. Bennett (1976) razvio interferometrijski sustav koji zapoljavaju vie grede rubu jednake kromatske reda (FECO). FECO se formiraju kada collimated snop bijele svjetlosti prolazi kroz viestruke refleksije izmeu dva djelomino posrebrena povrinama, od kojih je jedna povrina iji je profil se mjeri, a drugi je superglatka referenca povrine. Na temelju televizijske kamere za detekciju poloajnih pomaka rubova,ova tehnika je dala tanosti po nalogu 0,80 nm za mjerenje povrinskih profila. Bono rjeenje ovog sustava je izvijestio da de biti izmeu 2 i 4 m, preko 1 mm profila duine. Oba kontrasta razlike smetnje (DIC) i Nomarska polarizacija interferometra tehnike (Francon, 1966; Francon i Mallick, 1971) obino se koristi za kvalitativnu procjenu hrapavosti povrine. Dok oni interferometri su vrlo jednostavni za rad, a oni su u sutini neosjetljivi vibracijama jer imaju nedostatak da su izmjerili ono to je bitno na nagib povrine.

Slika 2.34 Varijacija pola irine s (a) prosjene hrapavosti i (b) znai apsolutni nagib:, mljevenog: B, okrenuo; C, iskra erodirani, D, oblika, E, prizemlje, F, iskrian oplakuje; G, paralelno oplakuje. (Clarke, G.M. and Thomas, T.R. (1979), mjerenje hrapavosti s laserskim skeniranjem analizer, Wear, 57, 107-116.)

Tolansky ili viegredni interferometar je jo jedan zajedniki interferometar koji se koristiti s mikroskopom. Povrina se ispituje jer mora imati visoku reflektivnost i mora biti u kontaktu s interferometrom referentne povrine, to moe biti ispoetka povrine pod testom. Jednom od najedih optikih metoda kvantitativnog mjerenja povrinske hrapavosti je koristiti dvije-zrake interferometar.Stvarni uzorak se moe mjeriti izravno, bez primjene visoke reflektivnosti premaza.Povrinska visina profila sama mjeri.Mogudnost mijenjanja uvedanja moe se koristiti za dobivanje razliitih vrijednosti bone rezolucije u razliitim poljima pogledom. Kratkovalno talasno vidljivo svjetlo interferometrije i kompjutorizirane faze smjera tehnike mogu mjeriti visinu povrine. Varijacije s rezolucijama bolje od stotina od valne duine svjetlosti.Ukratko valne duine vidljivog svjetla su nedostatak, meutim, kada je mjerenje velikih povrina-visine varijacije i nagibe.

Slika 2.35 ema ugla distribucije aparata Vorburger, T.V., Teague, E.C., Scire, F.E., McLay, M.J., and Gilsinn, D.E. (1984), Povrina hrapavosti sa DALLAS J. Res. of NBS, 89, 3-16.) Koritenje bijelog svjetla ili barem nekoliko razliitih valnih duina za izvor svjetla, moe rijeiti problem dvosmislenosti visina. Dvije tehnike mogu proiriti spektar mjerenja povrinske mikrostrukture gdje su povrine male, padine su velike. Jedna od tehnika, mjerenje povrinske visine, na dvije ili vie vidljivih valnih duina, stvara puno vedu nevidljivu sintetiku valnu duinu, to povedava dinamiki raspon mjerenja po omjeru sintetike valne duine u vidljivom podioku. Moguda povedanja dinamikog raspona faktora su od 50-100. Jo modnija metoda koristi bijelo-svjetlo skeniranjem interferometrom, koji ukljuuje mjerenje stupnja modulacije rese ili koherentnosti, umjesto faze od smetnji resama. Povrinske visine se mjere i mijenjaju putanju duine. Uzorak ruke interferometra odreuje poloaj uzorka za koji bijelo svjetlo dopire gdje se dobija najboljim kontrast. Vertikalni poloaj na svakom mjestu daje kartu povrine visine. Razliiti komercijalni instrumenti na temelju optikih faza dostupni su vertikalnim skeniranjem interferometrija. (Wyko Corp, Tucson, AZ, Zygo Corp, Middlefield, CT, a fazna tehnologija, Tucson, AZ). Dalje, opisati demo principe rada sljededeg tipinog komercijalnog optikig profila. (Wyant, 1975; Brning, 1978; Wyant i Koliopoulos, 1981;Creath, 1988) Nekoliko faza-tehnike mjerenja moe se koristiti u optikom Profilu koji daje precizniju visinu mjerenja.

Jedan nain rada koji se koristi u komercijalnim profiluna je tzv. integrirana kanta faza (Wyant sur, 1984, 1986.; Bhushan sur., 1985). Za ovu tehniku, fazna razlika izmeu dva uplitanja greda se mijenja za stalnoa ukoliko ju je detektor proitao. Svaki put kada je detektorski niz proitao, vremensku varijablu fazu (t), promijenide se za 90 za svaki piksel. Osnovna jednadba za zraenju od dva snopa ometanja. Uzorak je dao

gdje je prvi termin prosjek zraenja, a druga je mijeanje pojmova, (x, y) je faza Raspodjela se mjeri. Ako je zraenje integrirano dok (t) varira od 0 do / 2, / 2 do , i do 3 / 2, to de rezultirati signalom na svakoj taki, gdje su dati

Iz vrijednosti A, B i C , jednaina se moe postaviti i kao:

Oduzimanjem i dijeljenjem se poniteiuinci fiksnog uzorka buke pa se dobijaju varijacije diljem detektora, ali kada uinci nisu toliko veliki, onda je dinamiki raspon od detektora premali da se koristi. etiri oblika intenziteta podataka se mjere. Faza (x, y) prvi se izraunava pomodu jednadbe 2.50, koristite prva tri od etiri okvira. Tada se na slian nain izraunava koritenjem zadnjih tri od etiri okvira. Ove dvije izraunate vrijednosti faza de u prosjeku povedati tanost mjerenje. Bududi da jednadba 2.50 daje fazu modulom 2, postojade nepravilnosti u 2 koji je prisutan u raunanju faze. Te se nepravilnosti mogu ukloniti dok uzorak koji se mjeri bude ogranien, tako da stvarna fazna razlika izmeu susjednih piksela bude manje od . To se postie dodavanjem ili oduzimanjem viekratnih 2 na pikselu, dok je razlika izmeu njega i njegovog susjednog piksela manje od . Nakon to se faza (x, y) odreuje preko smetnji podruju, tada joj odgovara visina distribucije h (x, y) koja se odreuje jednadbom:

Zakretom faza interferometrija koristedi jednu valnu duinu je ogranieno dinamikim rasponom.Visinska razlika izmeu dvije uzastopne take podataka mora biti manja od 4 gdje

je valna duina svjetla. Ako je nagib vedi od 4 po detektoru piksela, onda postoje vosome viestrukih poluvalnih duina. Jedna tehnika koja je bila vrlo uspjena u prevladavanju tih ogranienja je nagib za obavljanje mjerenja koristedi dva ili vie valnih duine 1 i 2, a zatim oduzmite dva mjerenja. To rezultira u ogranienju u visini razlike izmeu dviju susjednih detektora bodova od etvrtine od sintetizirane ekvivalentne valne duine.

Dakle, paljivo odabirom dvije valne duine, mogude je uveliko povedati dinamiki raspon Mjerenje nad onim to se moe dobiti koristedi jednu valnu duinu (Cheng i Wyant, 1985). Dok koristite dvije valne duine fazu-prebacuje interferometrija radi jako dobre visine. Ne raditi posebno dobro s hrapavim povrinama.Puno bolji pristup je da koristite iroki spektar valne duine i skuta modulacije ili koherentnost vrha osjetilnog pristupa, iji opis slijedi. Vertikalno skeniranje Koherentnosti U vertikalnom skeniranju koherentnosti vrha istraivanja naina rada,koristi se iroka spektralna bijela svjetlost. Zbog velikog spektra propusnosti izvora, koherentnost duine izvora je kratka.

Slika 2.36 Zraenja na jednoj taki uzorka, kao uzorak je prevedena kroz fokus (From Caber, P. (1993), Profil za hrapave povrine, Appl. Opt., 32, 3438-3441.)

i dobar kontrast ruba de se dobiti tek kada su dvije staze interferometra smo usko podudarne u duini. Dakle, ako je u mikroskopu smetnja duljina kraka uzorka,

interferometar je raznolik, visina varijacije preko uzorka moe se odrediti gledajudi poloaj uzorak za koji je kontrast ruba maksimum. U ovom mjerenju ne postoji visina nejasnode i, bududi da je u pravilno prilagoenom interferometru kada je uzorak u fokusu dobije se maksimalan kontrast ruba, fokus nema pogreke u mjerenju povrinske teksture (Davidsonsur., 1987). Slika 2,36 pokazuje zraenja na jednu taku uzorka, kao uzorak je prevedena kroz fokus. Valja napomenuti da ovaj signal izgleda poput amplitude modulirane (AM) komunikacije signala. Veliki nedostatak ovog tipa skeniranja interferometrijski mjerenja je da se visina povrina samo jednom mjeri u isto vrijeme i veliki broj mjerenja i prorauna potrebni su kako bi se utvrdio veliki raspon vrijednosti povrinskih visina. Jedna od metoda za obradu podataka koja daje brze i precizne rezultate mjerenja jeste da koristite uobiajeni komunikacijski i digitalni signal, obrada (DSP) hardvera demodulate kako bi se utvrdio vrhunac kontrasta ruba (aber, 1993). Ova vrsta mjernog sustava stvara brzo, nekontaktnano, pravo trodimenzijonalno podruje za mjerenja grube povrine sa krupnim koracima i sa nanometarskom preciznodu.