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SU-8 紅外光 1x3 MMI 波導分光器之設計

林宇仁 1, 林志光 2, 蔡維志 3, 林暉雄 4 , 周曉宇 5


1
行政院國科會精密儀器發展中心, yjlin@pidc.gov.tw
2
國立交通大學機械所, zglin.me91g@nctu.edu.tw
3
國立中央大學光電科學研究所, wctsai@ios.ncu.edu.tw
4
行政院國科會精密儀器發展中心, franklin@pidc.gov.tw
5
行政院國科會精密儀器發展中心, tony@pidc.gov.tw

Keywords: SU-8、多模態干涉器﹝Multi-Mode-Interference,MMI﹞、光束傳播法﹝Beam Propagation


Method,BPM﹞、光纖陣列﹝fiber array﹞
一、摘要
從 1988 年起,很多研究員及學者陸續提出不同結構的 1X3 分光器[1-4]。在他們的研究中,為了達到
均勻的分光效應,所外加的結構,如具有高折射係數的微稜鏡或是低折射係數的波前加速器裝置,都曾
被應用在分光器的結構中。本文使用負光阻 SU-8 為材質來設計與製作光波導,調變硬烤光阻的溫度來達
成折射率之調變。利用多模態干涉器﹝Multi-Mode-Interference,MMI﹞的結構設計一個 1x3 波導分光
器。
二、理論基礎
本文中使用的模擬演算法並不是一般的光束傳播法﹝Beam Propagation Method,BPM﹞[5],而是使
用 Runge-Kutta BPM﹝RKBPM﹞[6]這種方法的收斂性質較好,在計算的過程中數值誤差較小。其方程式
如下

Ψ (i, j , k + 1) = Ψ (i, j , k ) +
1
[k1 (i, j, k ) + 2k 2 (i, j, k ) + 2k 3 (i, j, k ) + k 4 (i, j, k )] (1)
6
− jh  Ψ (i + 1, j , k ) − 2Ψ (i, j , k ) + Ψ (i − 1, j , k ) Ψ (i, j + 1, k ) − 2Ψ (i, j , k ) + Ψ (i, j − 1, k )  (2)
k1 (i, j , k ) = ⋅ + + [n 2 (i, j , k ) − n0 ] ⋅ k 2 ⋅ Ψ (i, j , k )
2

2n0 k  ∆x 2 ∆y 2 

− jh  [Ψ (i + 1, j, k ) + 0.5k1 (i + 1, j , k )] 2[Ψ (i, j, k ) + 0.5k1 (i, j , k )] [Ψ (i − 1, j , k ) + 0.5k1 (i − 1, j , k )]


k 2 (i, j , k ) = ⋅ − +
2n 0 k  ∆x 2 ∆x 2 ∆x 2

+
[Ψ (i, j + 1, k ) + 0.5k1 (i, j + 1, k )] − 2[Ψ (i, j, k ) + 0.5k1 (i, j, k )] + [Ψ(i, j − 1, k ) + 0.5k1 (i, j − 1, k )]
∆y 2 ∆y 2 ∆y 2

[ ]
+ n 2 (i, j , k ) − n0 k 2 [Ψ (i, j , k ) + 0.5k1 (i, j , k )]
2
} (3)

− jh  [Ψ (i + 1, j , k ) + 0.5k 2 (i + 1, j , k )] 2[Ψ (i, j , k ) + 0.5k 2 (i, j , k )] [Ψ (i − 1, j , k ) + 0.5k 2 (i − 1, j , k )]


k 3 (i, j , k ) = ⋅ − +
2n0 k  ∆x 2 ∆x 2 ∆x 2

+
[Ψ(i, j + 1, k ) + 0.5k 2 (i, j + 1, k )] − 2[Ψ(i, j, k ) + 0.5k 2 (i, j, k )] + [Ψ(i, j − 1, k ) + 0.5k 2 (i, j − 1, k )]
∆y 2 ∆y 2 ∆y 2

[ ]
+ n 2 (i, j , k ) − n0 k 2 [Ψ (i, j , k ) + 0.5k 2 (i, j , k )]
2
} (4)

− jh  [Ψ (i + 1, j , k ) + k 3 (i + 1, j , k )] 2[Ψ (i, j , k ) + k 3 (i, j , k )] [Ψ (i − 1, j , k ) + k 3 (i − 1, j , k )]


k 4 (i, j , k ) = ⋅ − +
2n0 k  ∆x 2 ∆x 2 ∆x 2

+
[Ψ (i, j + 1, k ) + k 3 (i, j + 1, k )] − 2[Ψ (i, j, k ) + k 3 (i, j, k )] + [Ψ (i, j − 1, k ) + k 3 (i, j − 1, k )]
∆y 2 ∆y 2 ∆y 2

[ ]
+ n 2 (i, j , k ) − n0 k 2 [Ψ (i, j , k ) + k 3 (i, j , k )]
2
} (5)

三、理論簡介
本文使用多模態干涉元件來設計 1x3 波導分光器,多模態干涉光學元件有著很多有趣的,也是極
佳的特性,例如精簡的結構、低能量損耗及低製造誤差等[7]。我們首先利用 3-D RKBPM 設計在矽基底
上以方形波導所製造的 1X3 MMI 分光器。依據所選擇的正確結構參數,入射光的能量能被均勻的分布到
三個輸出波導區域。
一個 1X3 多模態干涉(MMI)分光器由三個部分所組成:中心對稱的單模態入射波導、多模態干涉
波導區和三個單模態波導的輸出﹝這部份需加轉彎的波導將三個輸出中心距離分離至 250um 以方便實驗
時使用光纖陣列﹝fiber array﹞來收光﹞。
這個 1X3 波導分光器的製作過程如下圖,前兩層的 SU-8 的厚度均為 6um 最後一層 SU-8 除了填滿空
隙外預估還會多增加 2um 的 SU-8 殘留,不過這並不影響設計的結果。

圖一、波導製作的流程
四、研究結果
對於全部的入射和輸出波導而言,它們有著相同的寬度 Wn ,在兩個相鄰的輸出波導間的間距為
Wgap ;在多模態區中的寬度和長度分別為 Ww 和 L 。 Ww 的值必須被適當的選擇。然而,三個輸出的
單模態波導通常傳播著大小不相同的能量,看起來有如三個不相同的聚光點;因此,在多模態區中,選
擇最為適當的寬度,以提供大於三階的 eigenmodes 數,可藉此補償調光器的不均勻能量點。為了使製程
更加簡單化,我們使用較寬的多模態波導區域;當光波從入射區進入多模態區之後,三階或大於三階的
波導模態會逐漸的形成;當三個相似的光點出現時,光波在此時可被分歧成三個能量相同的部分,而此
三個相同的光束可從三個單一模態波導的區域射出。輸入和輸出的波導寬度( Wn )是 6um,而二個相
鄰輸出波導的間距( W gap )是 22um,波導核心層的厚度也是 6um,多模態區中的寬度和長度( Ww 和 L )
分別是 70um 和 1550um,在此設計中,我們所使用的光波長是 1.549um。

圖二、左圖為光在波導內傳播能量分佈圖,右圖為輸出面的能量等高線圖

圖三、加上轉彎波導的結果
五、結論
適度的調變 SU-8 光阻硬烤的時間與溫度,將可以調變出不同的折射係數,藉由這種方式即可使用
SU-8 來製作光波導,這將比使用 SOI 晶片製作波導成本較為低廉。
MMI 波導分光器一改傳統 Y 分岔分光器只能設計 2 的 N 次方倍的分光數目,將可設計出任意整數的
分光數目,而且有擁有結構簡易,方便製作等優點。
六、REFERENCES
[1] W. Y. Hung, H. P. Chan, and P. S. Chung, “Single-mode 1×3 integrated optical branching
circuit design using phase-front accelerators,” Electron. Lett., vol. 24, pp. 1365-1366,
1988.
[2] S. Banda and H. Ogawa, “Novel symmetrical three-branch optical waveguide with equal power
division,” IEEE Microwave Guided Wave Lett., vol. 2, pp. 188-190, 1992.
[3] H. B. Lin, Y. H. Wang, and W. S. Wang, “Single-mode 1×3 integrated optical branching
circuit design using microprism,” Electron. Lett., vol. 30, pp. 408-409, 1994.
[4] T. J. Wang, Y. H. Wang, and W. S. Wang, “Single-mode 1×3 equal-power divider using a
substrate microprism and two waveguide expanders,” IEEE Photonic Technol. Lett., vol.
12, pp. 164-166, 2000.
[5] W. P. Huang and C. L. Xu, “Simulation of three-dimensional optical waveguides by a
full-vector beam propagation method,” IEEE J. Quantum Electron., vol. 29, no. 10, pp.
2639-2349, Oct. 1993.
[6] K. Y. Lee and H. W. Chang, “Semivectorial RKBPM analysis of polarization dependences of
lightwaves propagating along Ti:LiNbO3 channel waveguides,” J. Optical Comm.
[7] L. B. Soldano, and E. C. M. Pennings, “Optical multi-mode interferences devices based
on self-imaging: principles and applications,” IEEE J. Lightwave Technol., vol. LT-13,
pp. 615-627, 1995.