alat Uji SEM yang ada di FMIPA ITB ini dilengkapi dengan Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy (EDS

atau EDX) namun tidak semua alat uji SEM dilengkapi dengan fitur ini. EDS atau EDX dapat dipergunakan untuk mengetahui komposisi unsur dari material. EDS dihasilkan dari Sinar X karakteristik, yaitu dengan menembakkan sinar X pada posisi yang ingin diketahui komposisinya. Setelah ditembakkan pada posisi yang diinginkan maka akan muncul puncak – puncak (pick) tertentu yang mewakili suatu unsur yang terkandung. Dengan EDS juga dapat membuat elemental mapping (pemetaan elemen) dengan memberikan warna berbeda dari masing – masing elemen di permukaan bahan. EDS bisa digunakan untuk menganalisa secara kunatitatif dari persentase masing – masing elemen.

Scanning Electron Microscopy (SEM)
Elektron memiliki resolusi yang lebih tinggi daripada cahaya. Cahaya hanya mampu mencapai 200nm sedangkan elektron bisa mencapai resolusi sampai 0,1 – 0,2 nm. Dibawah ini diberikan perbandingan hasil gambar mikroskop cahaya dengan elektron.

Disamping itu dengan menggunakan elektron kita juga bisa mendapatkan beberapa jenis pantulan yang berguna untuk keperluan karakterisasi. Jika elektron mengenai suatu benda maka akan timbul dua jenis pantulan yaitu pantulan elastis dan pantulan non elastis seperti pada gambar dibawah ini.

Prinsip kerja dari SEM adalah sebagai berikut: 1. 2. 2. biasanya berupa filamen yang terbuat dari unsur yang mudah melepas elektron misal tungsten. Sinar elektron yang terfokus memindai (scan) keseluruhan sampel dengan diarahkan oleh koil pemindai. 3. Pistol elektron. Lensa magnetik memfokuskan elektron menuju ke sampel. Sistem vakum. karena elektron sangat kecil dan ringan maka jika ada molekul udara yang lain elektron yang berjalan menuju sasaran akan terpencar oleh tumbukan sebelum mengenai sasaran sehingga menghilangkan molekul udara menjadi sangat penting. berupa lensa magnetis karena elektron yang bermuatan negatif dapat dibelokkan oleh medan magnet. 4.edu) . Secara lengkap skema SEM dijelaskan oleh gambar dibawah ini: (sumber:iastate. Lensa untuk elektron. 3. Ketika elektron mengenai sampel maka sampel akan mengeluarkan elektron baru yang akan diterima oleh detektor dan dikirim ke monitor (CRT). Sebuah pistol elektron memproduksi sinar elektron dan dipercepat dengan anoda.Pada sebuah mikroskop elektron (SEM) terdapat beberapa peralatan utama antara lain: 1.

permukaan yang tinggi berwarna lebih cerah dari permukaan rendah. Perbedaan gambar dari sinyal elektron sekunder dengan backscattered adalah sebagai berikut: elektron sekunder menghasilkan topografi dari benda yang dianalisa. . Contoh perbandingan gambar dari kedua sinyal ini disajikan pada gambar dibawah ini. Mekanisme kontras dari elektron sekunder dijelaskan dengan gambar dibawah ini. Sinyal -sinyal tersebut dijelaskan pada gambar dibawah ini. Sedangkan backscattered elektron memberikan perbedaan berat molekul dari atom – atom yang menyusun permukaan. atom dengan berat molekul tinggi akan berwarna lebih cerah daripada atom dengan berat molekul rendah. Permukaan yang tinggi akan lebih banyak melepaskan elektron dan menghasilkan gambar yang lebih cerah dibandingkan permukaan yang rendah atau datar.Ada beberapa sinyal yang penting yang dihasilkan oleh SEM. Dari pantulan inelastis didapatkan sinyal elektron sekunder dan karakteristik sinar X sedangkan dari pantulan elastis didapatkan sinyal backscattered electron.

Namun untuk mengenali jenis atom dipermukaan yang mengandung multi atom para peneliti lebih banyak mengunakan teknik EDS (Energy Dispersive Spectroscopy). Dengan EDS kita juga bisa membuat elemental mapping (pemetaan elemen) dengan memberikan warna berbeda – beda dari masing – masing elemen di permukaan bahan. Contoh dari aplikasi EDS digambarkan pada diagram dibawah ini. . namun tidak semua SEM punya fitur ini. EDS dihasilkan dari Sinar X karakteristik. EDS bisa digunakan untuk menganalisa secara kunatitatif dari persentase masing – masing elemen. Maka setelah ditembakkan pada posisi yang diinginkan maka akan muncul puncak – puncak tertentu yang mewakili suatu unsur yang terkandung. Maka teknik ini sangat berguna untuk membedakan jenis atom. yaitu dengan menembakkan sinar X pada posisi yang ingin kita ketahui komposisinya.Sedangkan mekasime kontras dari backscattered elektron dijelaskan dengan gambar dibawah ini yang secara prinsip atom – atom dengan densitas atau berat molekul lebih besar akan memantulkan lebih banyak elektron sehingga tampak lebih cerah dari atom berdensitas rendah. Sebagian besar alat SEM dilengkapi dengan kemampuan ini.

jika tidak konduktor maka perlu dilapis logam seperti emas. . Resolusi lebih rendah dari TEM 4. Memerlukan kondisi vakum 2. Morfologi: Menganalisa bentuk dan ukuran dari benda sampel 3. Topografi: Menganalisa permukaan dan teksture (kekerasan.(sumber: umich. Hanya menganalisa permukaan 3. Sedangkan kelemahan dari teknik SEM antara lain: 1.edu) Aplikasi dari teknik SEM – EDS dirangkum sebagai berikut: 1. Komposisi: Menganalisa komposisi dari permukaan benda secara kuantitatif dan kualitatif. Sampel harus bahan yang konduktif. reflektivitas dsb) 2.

Sign up to vote on this title
UsefulNot useful