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Laboratório de Tecnologia do Vácuo - LTV

CURSO DE MATERIAIS, PROCESSOS E COMPONENTES ELETRÔNICOS - MPCE
LABORATÓRIO DE TECNOLOGIA DO VÁCUO – LTV

DISCIPLINA DE TECNOLOGIA DO VÁCUO
Prof. Me. Francisco Tadeu Degasperi

São Paulo – SP – Brasil 2006

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Laboratório de Tecnologia do Vácuo - LTV CRITÉRIO DE AVALIAÇÃO E BIBLIOGRAFIA Disciplina de Tecnologia do Vácuo – 1o Semestre de 2006

Critério de Avaliação
Para efeito de avaliação na disciplina de Tecnologia do Vácuo, temos as seguintes provas e atividades: Atividades: A1, A2, A3 E A4. Atividade de Projeto: A5. Provas: P1, P2 e P3. Prova Substitutiva: PV. Esta prova pode substituir a mais baixa nota de uma das provas. Critério Matemático: (A1+A2+A3+A4+2xA5)/6 = A MÉDIA FINAL (MF) = (A+P) / 2 (P1+P2+P3)/3 = P Se MF < 5,0: Reprovado com conceito C. Se 5,0 <= MF < 7,0: Aprovado com conceito B. Se 7,0 <= MF < 9,0: Aprovado com conceito A. Se 9,0 <= MF <= 10,0: Aprovado com conceito E. Observação Geral: Nesta disciplina damos atenção especial às questões e o tipo delas. Procuramos enfatizar as questões que são realmente encontradas no mundo do vácuo. Também procuramos pedir questões do tipo dissertativas, uma vez que escrever e registrar as idéias são sempre tarefas importantes e difíceis. Mas são também fundamentais no mundo atual, cada vez mais. Esta é uma grande oportunidade que os estudantes têm para exercitar a redação e encadear raciocínio durante a elaboração de um relato. Mesmo que o estudante não venha a trabalhar com tecnologia do vácuo, o tipo proposto de questão também é de cunho formativo: o estudante aprenderá a trabalhar em outras áreas, fazendo modelos físicos, raciocinando, escrevendo, consultando livros e catálogos atuais. Para muitos estudantes, acredito que seja o primeiro contato com uma disciplina tecnológica. Livros e muitos materiais didáticos e profissionais não faltam para um efetivo aprendizado. O importante hoje, e cada vez mais, além do conhecimento, é aprender a procurar respostas aos problemas. Se possível, respostas criativas e de baixo custo. Nesta disciplina procuramos discutir fisicamente os problemas e em seguida tratá-los matematicamente. Os raciocínios desenvolvidos procuram ser informativos dentro da disciplina mas também tem carácter formativo. Aqui está um excelente momento para começar a praticar. Assim, aproveite! BOM SEMESTRE!!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. Me. Francisco Tadeu Degasperi

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Laboratório de Tecnologia do Vácuo - LTV BIBLIOGRAFIA

Livros e Catálogos da Área de Tecnologia do Vácuo
Temos na biblioteca da Fatec-SP um bom, ou melhor, um muito bom acervo referente a área de Tecnologia do Vácuo. Há livros com diferentes enfoques e graus de profundidade. Para um bom acompanhamento da disciplina, além de um eficiente aprendizado, os estudantes devem estar em constante contato com os livros. Os livros listados a seguir estão em ordem de profundidade:

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Basic Vacuum Technology, A. Chambers e outros. Adam Hilger. LIVRO-TEXTO; Tecnologia do Vácuo, ACM, Montinho e outros – Editora Universidade Nova Lisboa; Curso de Tecnologia do Vácuo – Instituto de Física da Universidade de São Paulo. Apostilas; Fundamentos de la Ciencia y Técnica del Vacío, G. Lewiss – Editora Aguilar; Vacuum Physics and Techniques, T.A. Delchss. Chapman Hall; Modern Vacuum Practice, U. Harris. McGraw-Hill Books Company; Vacuum Technology. Its Foundation - Leybold Company; High Vacuum Productions in the Microelectronics Industry, P. Duval – Elsevier Science Publishers;

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A Users Guide to Vacuum Technology, J.F. O’Hanlon – Wiley Interscience; Vacuum Technology, A. Roth North Holland, e E muitos outros livros e textos disponíveis na biblioteca da Fatec-SP.

Há também textos sobre Tecnologia do Vácuo disponíveis no site da Fatec-SP, em Serviços & Pesquisa, no Laboratório de Tecnologia do Vácuo. Os textos disponíveis são muito bons e têm o enfoque de aplicação, apesar de trazerem bastante bem a parte básica. No início de cada semestre letivo será passado ao representante da turma uma cópia eletrônica com alguns textos e livros da área de tecnologia do vácuo. Este material é de alta qualidade e escrito por profissionais que atuam em projetos tanto em empresas com em centros de pesquisa.

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Laboratório de Tecnologia do Vácuo - LTV Temos disponíveis em nossa biblioteca os seguintes catálogos de empresas importantes na área de tecnologia do vácuo. Há também os catálogos em forma eletrônica disponíveis nos sites das empresas.

Balzers-Feiffer, Leybold-Inficon, BOC-Edwards, Kurt Lesker, MKS, Varian, MDC, Perkins-Elmer, Alcatel, Huntington e muitos outros.

Além dos livros, há também na nossa biblioteca catálogos de empresas na área de tecnologia do vácuo. Há também os catálogos eletrônicos que poder consultados nos sites das empresas. Os catálogos das empresas de produtos de vácuo são bons e uma fonte segura de informações. Ele complementarão o seu estudo. Faça uma busca!

Além da nossa biblioteca temos a do Instituto de Física da USP com vários outros títulos e também revistas periódicas especializadas na área da tecnologia do vácuo, tais como: Vacuum, Journal of Vacuum Science and Technology – AVS e a Revista de Aplicações de Vácuo – SBV. Entre no site Sociedade Brasileira de Vácuo – SBV, você terá como encontrar muitas informações importantes.

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5. Velocidade de bombeamento efetiva. Procedimentos de Limpeza. 7.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . e técnicas de trabalho. Fernando Prestes. Abertura e apresentação da disciplina. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Processos e Componentes Eletrônicos – MPCE da Faculdade de Tecnologia de São Paulo – FATEC-SP do Centro Estadual de Educação Tecnológica Paula Souza – CEETEPS tem como objetivos principais fornecer ao estudante os conceitos necessários para o entendimento do comportamento dos gases e vapores em baixas pressões e dos sistemas de vácuo. O processo de bombeamento em tecnologia do vácuo. Regimes de escoamento dos gases em sistemas de vácuo.FATEC . Considerações gerais para um bom aproveitamento da disciplina. com sus instrumentos. Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Objetivos da disciplina. Cel. SEMANA MATÉRIA 1. métodos. Recordação dos principais conceitos até o momento. 4.LTV Plano de Estudo e a Utilização dos Roteiros de Estudos e Exercícios de Fixação da Disciplina de Tecnologia do Vácuo A disciplina de Tecnologia do Vácuo ministrada no Curso de Materiais. Medidores de vácuo de pressão total. Pça.SP. As várias fontes de gases nos sistemas de vácuo. Escoamento dos gases. Recordação e Prova P1. Os gases reais. Cálculo de condutâncias. Aspectos e detalhes construtivos. O conteúdo programático da disciplina de tecnologia do vácuo está mostrado abaixo. 8. 30 . O conceito de pressão de vapor. Materiais empregados na construção de sistemas de vácuo.CEP 01124-060 São Paulo . Teoria cinética dos gases. Condutância nos sistemas de vácuo e sua dependência com o regime de escoamento.fatecsp.br . Velocidade de bombeamento. Associação de condutâncias. Comportamento dos gases ideais. 3. O "mundo" da tecnologia do vácuo. 2.br Fax: (011) 3315-0383 6.

Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.LTV 9. Com o propósito de auxiliar e orientar o estudo dos estudantes que cursam a disciplina de tecnologia do vácuo temos a seguir a relação dos tópicos dos Roteiro de Estudos e Exercícios de Fixação – REEF. As revistas especializadas na área. Nos REEF temos uma introdução ao assunto. 15. Pça.br . exercícios propostos dentro do contexto das aplicações em casos reais encontrados na tecnologia do vácuo e comentários desses exercícios proposto.fatecsp. vedações. Prova P2. 30 . 11. Medidores e controladores de vazão de gases para baixas pressões. tubos e outros).SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Cel. Apresentação do projeto (Atividade A5). 10. 17. Prova P3. Fernando Prestes. Operação de sistemas de vácuo. Sistemas de vácuo resistentes a gases corrosivos. REEF – 3: Regimes de Escoamento dos Gases.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.SP. anteparos. 13. Terceira discussão sobre o projetos (Atividade A5). filtros.CEP 01124-060 São Paulo . Apresentação do projeto (Atividade A5). Bombas de Vácuo. REEF – 1: Comportamento dos Gases Ideais – Teoria Cinética dos Gases. 18. Sistemas de vácuo para altas vazões. REEF – 2: Comportamento dos Gases Reais – Teoria Cinética dos Gases. Bombas de Vácuo.FATEC . Detecção de vazamentos. Condutância e Velocidade de Bombeamento. Sistemas de vácuo de uso geral. flanges. Utilização de catálogos na área. Segunda discussão sobre o projeto (Atividade A5). armadilhas geladas. São recomendados livros e catálogos pertinentes ao assunto em questão. Prova substitutiva. Primeira discussão sobro o projeto (Atividade A5). Acessórios e componentes auxiliares (válvulas. 14. 12. 16. Medidores de vácuo de pressão parcial.

REEF – 6: Medidores de Vácuo.fatecsp.br . Francisco Tadeu Degasperi Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV Faculdade de Tecnologia de São Paulo – FATEC-SP – CEETEPS – São Paulo – SP – Brasil. REEF – 5: Os Vários Tipos de Fontes de Gases e o Processo de Bombeamento em Tecnologia do Vácuo. REEF – 12: Sensores de Pressão Parcial e Análise de Gases Residuais. REEF – 9: Componentes Auxiliares dos Sistemas de Vácuo. Cel. REEF – 10: Sistemas de Vácuo de Aplicação Geral e sua Operação. Sensores Diretos e Indiretos de Pressão Total. Me.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. REEF – 8: Bombas de Vácuo.SP.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Fernando Prestes. Critérios e Requisitos na sua Escolha. As sugestões e críticas dos estudantes são bem-vindas no sentido de procurar aprimorar o material agora disponível na tentativa de ser um instrumento de auxílio ao estudo sistemático na ára de tecnologia do vácuo. - ftd@fatecsp.FATEC .LTV REEF – 4: Cálculo das Condutâncias e Velocidade Efetiva de Bombeamento. 30 . REEF – 11: Sistemas de Vácuo para Altas Vazões e Gases Corrosivos. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Pça. REEF – 14: Detecção de Vazamentos. REEF – 7: Materiais Utilizados na Construção de Sistemas de Vácuo.CEP 01124-060 São Paulo .br Prof. REEF – 13: Medidores e Controladores de Fluxo de Gases e Vapores.

em geral bem alicerçada. Certamente uma das páginas mais belas da história da ciência e também das mais importantes. Todas as tecnologias disponíveis têm uma sustentação física básica. muitos resultados e interpretações foram alcançadas a partir desse audacioso empreendimento intelectual. Em condições de baixas densidades e temperaturas acima da temperatura crítica os gases têm comportamento bem próximo aos gases ideais. pagaremos o preço de dificilmente poderemos propor situações inusitadas e com isso estaremos sempre à reboque daqueles que têm esse domínio. ou seja. termodinâmicos.SP. e a partir dos resultados obtidos compará-los com os resultados macroscópicos. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Para que a remoção de gases dos volumes seja feita de maneira eficiente. desde a proposição essencialmente filosófica dos gregos e muito depois ter alçado para uma teoria científica somente no século XIX. os energeticistas acreditam essencialmente na termodinâmica. Este projeto foi intensificado e no final do século XIX ocorreu um cisma no pensamento científico da física. Fernando Prestes. Por exemplo a pressão e a temperatura somente foram interpretados à luz da suposição de que o mundo microscópico fosse governado por leis da mecânica. lança luz sobre o entendimento de muitas características físicas importantes dos sistemas gasosos. Em contrapartida.br . O modelo atômico da matéria é um daqueles modelos cuja maturidade demorou séculos. Apesar de na maioria dos casos a área tecnológica criar as suas próprias abordagens e métodos de análise e modelagem.FATEC . uma vez que consideram a teoria atômica inacessível à realidade das Pça. Os atomistas advogavam em favor da concepção atômica da matéria.LTV ROTEIRO PARA ESTUDOS E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 1 Comportamento dos Gases Ideais – Teoria Cinética dos Gases O objetivo principal da Tecnologia do Vácuo é criar condições para a produção de baixas pressões. Cel.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Tivemos um embate entre duas grandes linhas de pensamento científico na época: os atomistas e o energeticistas. O modelo de gás ideal. não obstante a sua simplicidade. Neste momento nasce a química como ciência. e mais que isso. Uma das grandes conquistas da ciência foi a aplicação das leis de Newton à teoria atômica da matéria.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . acreditavam que a ciência deveria ser sustentada na hipótese atômica e com isso as leis da física deveriam ser aplicadas aos átomos e moléculas. 30 .fatecsp. não podemos deixar de ter uma boa compreensão do fenômeno físico em suas bases.CEP 01124-060 São Paulo . devemos conhecer o comportamento da matéria no estado gasoso. Caso essa compreensão física não for atingida.

os atomistas triunfaram.br . como sendo apenas uma idealização teórica. a teoria da relatividade e a mecânica quântica. Durante quase duas décadas este cenário científico-cultural dominou o debate filosófico da física e da química.SP. Pça. Voltando ao gás ideal. e por fim.CEP 01124-060 São Paulo . podemos dizer que o seu estudo foi a porta de entrada às idéias atomistas científicas. Ele é alcançado desde que sejam obedecidas certas condições. Cel.FATEC .LTV medições. Discuta esta questão complementar as questões anteriores. As figuras abaixo mostram de forma pictórica o estado de agregação da matéria.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .fatecsp. Figuras mostrando de forma pictórica os estados de agregação da matéria e suas mobilidades. Ele é tão real e preciso que o seu conceito é utilizado em metrologia de vácuo. Quais são os estados da matéria? Quais são as características físicas macroscópicas dos vários estados? Como podemos entender os vários estados de agregação da matéria a partir da Teoria Atômica da Matéria? Discuta a mobilidade dos átomos e moléculas nos três estados da matéria. Mais ainda. 1. do ponto de vista prático e voltado à tecnologia o modelo de gás ideal tem grande alcance e não devemos interpretar o termo gás ideal como sendo um gás inexistente na prática. Fernando Prestes.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. ou seja. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. insinuando a extensão possível do movimento entre os átomos e moléculas vizinhos. Neste caldo cultural tivemos uma verdadeira revolução nas idéias da física que acabaram por abrir as portar à física do século XX. Muito avanço ocorreu em torno das idéias lançadas. Podemos dizer que até hoje a ciência persegue o caminho aberto pelos atomistas. com isto queremos dizer. 30 .

De posse do conhecimento da Teoria Cinética dos Gases. Explique em detalhe as leis de Boyle–Mariotte (p.Afastar duas placas de vidro. com água entre elas. o que é velocidade média? O que é livre caminho médio? O que é difusão de gases? O que á efusão dos gases? 6.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. como interpretamos fisicamente as seguintes grandezas: pressão e temperatura. Cel.V = constante) e a de Charles (p/T = constante). à luz da Teoria Cinética dos Gases. ou outra superfície bastante lisa e plana. pressão. mas alguns conceitos são importantes. Assim.Faça um modelo físico e um possível arranjo experimental. .SP. temperatura. . O que são Gases Ideais ou Gases Perfeitos? Quais são as características físicas marcantes desse sistema de agregação da matéria? Quando os Gases Reais podem ser aproximados por Gases Ideais? Exiba e discuta a Equação dos Gases Perfeitos ou Equação de Clapeyron-Mendeleiev.LTV 2.Depois de usar um guarda-chuva. podemos conhecer muito do comportamento dos gases. Fernando Prestes. Uma vez utilizado o modelo da Teoria Atômica da Matéria com a Teoria Cinética dos Gases.Desentupidor de pia. 5.br .FATEC . . Além de conseguirmos um bom entendimento do comportamento dos gases quando em movimento. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. . 7.Aspirador de pó. Questão para Pesquisar. . girá-lo vigorosamente para remover a água de sua superfície. Como podemos entender.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . 30 .Discuta dentro do assunto das ventosas como você poderia medir a força suportada por ela. quantidade de gás? Para um aprofundamento do estudo físico. . Explique os seus mecanismos físicos de funcionamento a partir de primeiros princípios. acredito que não. . Fenomenologicamente. há uma série de sensores de pressão cujo princípio de funcionamento está baseado nesses conceitos. ações ou equipamentos bastante presentes em nosso cotidiano: . 3. .viscosidade.Limpar a calçada com um esguicho de água. Agora pesquise: O que são graus de liberdade para a energia? 8. . . Descreva em detalhe o princípio de funcionamento e o mecanismo dos seguintes dispositivos. 4.Conta-gotas e a pipeta para determinar um determinado volume de líquido. .condutividade térmica.Ventosa. estas definições são suficientes? O que é mol de uma quantidade? Discuta a mobilidade dos átomos e moléculas nos gases e vapores.transpiração térmica. como você define as seguintes grandezas: volume. Faça gráficos. os seguintes fenômenos de transporte através da matéria gasosa: .CEP 01124-060 São Paulo . Este tipo de exercício é Pça.Tomar suco de canudinho.fatecsp. Estas últimas questões parecem simples – talvez sejam! –.

9. Isto é essencial para aplicarmos o nosso conhecimento à realidade. .Vacuum Physics and Techniques. J.CEP 01124-060 São Paulo .Fundamentos de la Ciencia y Técnica del Vacío. O´Hanlon (capítulo 2). Harris (capítulo 2).An Introduction to Fundamental of Vacuum Technology. A. há muita confusão referente a estes aspectos. Cel. teríamos uma gravidade também nula no interior do recipiente? Discuta esta questão. Digamos que temos um recipiente e o conectamos a uma bomba de vácuo. Ference Jr. A. a teoria é imprescindível. Uma situação tem a haver com outra.Modern Vacuum Practice.Tecnologia do Vácuo. se pudéssemos remover completamente as moléculas do gás do interior do recipiente. . A medida que passa o tempo. . .Curso de Física: Calor. verificamos que a pressão vai diminuindo.Além do livro-texto e ainda muitos outros.A Users Guide to Vacuum Technology. Lewin (capítulo 1).br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. e outros (capítulo3). M. Fernando Prestes. F. N. As referências mais importantes.br . ao nível de nossa disciplina.SP. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. gravidade e pressão atmosférica estão ligadas entre si? Somente como comentário. Muitos conceitos e instrumentos da Tecnologia do Vácuo estão apoiados nos aspectos fenomenológicos dos gases ideais. ou seja. Você pode também dizer que com a diminuição da pressão a gravidade dentro do recipiente também diminui? Ainda mais. Tompkins. Tanto para entender profundamente os vários aspectos das tecnologias assim como para gerar idéias novas.LTV bastante instrutivo. M. Nunca devemos perder de vista os conceitos básicos e a sustentação física das tecnologias existentes. existência e ausência de gravidade e existência e ausência de pressão atmosférica. C. T. G. e . Utilize também os textos disponíveis no site da Fatec-SP dentro do Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .FATEC . são: . . pois possibilita entender o que significa realizar o primeiro passo para a construção de um modelo físico de um fenômeno. . Francisco Tadeu Degasperi Pça. H. Um ponto chave para um bom domínio da tecnologia do vácuo tanto do ponto de vista do projeto como de sua instrumentação assim como dos inúmeros processos industriais e científicos é uma compreensão dos seus conceitos básicos. Comentário: Este roteiro é tão longo como importante. Montinho e outros (capítulo 1). 30 . Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp. Mas está plenamente justificado dados a importância e o alcance dos conceitos tratados. Delchar (capítulo 1). Além dos livros indicados logo abaixo consulte também livros referentes à físico-química dos gases e vapores.

O motivo físico está no fato de serem as forças de interação entre os átomos e moléculas importantes frente a energia cinética das partículas. esta etapa da modelagem de sistemas físicos é fundamental. Explicitamente levou em consideração as forças que agem entre as moléculas do gás e também supôs a existência de um volume próprio dessas moléculas. Devemos ter sempre em mente que qualquer problema real. as equações de Maxwell do eletromagnetismo estavam dadas e com isso o modelo da luz como sendo uma radiação eletromagnética. ou seja. Abaixo da temperatura crítica e para densidades crescentes o modelo de gás ideal falha. Em geral. estudar em detalhe o modelo de gás real. Fernando Prestes. 30 .SP. Assim. Um aspecto importante tanto na ciência como na tecnologia é a identificação do sistema físico em estudo. a seguir. Apesar do modelo de gás ideal ou gás perfeito lançar luz sobre o comportamento dos sistemas gasosos.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .fatecsp. Temos a proposição atualmente de mais de 30 equações de estado. por exemplo. Para as condições que usualmente encontramos nos sistemas de vácuo. qual é exatamente o nosso objeto de estudo e trabalho. Este é o caso interessante cuja melhoria no modelo de gás ideal se deu considerando aspectos inerentes à teoria atômica da matéria.FATEC . podemos adotar o modelo de gás ideal em muito boa aproximação. essas partículas minúsculas começavam a tomar a forma de uma estrutura mais complexa.LTV ROTEIRO PARA ESTUDOS E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 2 Comportamento dos Gases Reais – Teoria Cinética dos Gases O modelo de gás ideal. algumas ainda são fenomenológicas.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Cel. A distribuição de energia de Maxwell-Boltzmann em um gás. Van der Waals considerou interações entre os átomos ou moléculas que compõe o gás. lança luz sobre o entendimento de muitas características físicas importantes dos sistemas gasosos. Este modelo se deu em um momento da história da física em que muitos avanços estavam ocorrendo. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. não obstante a sua simplicidade.br . Essas novas idéias e teorias abriram as portas para a grande revolução na física século XX. O modelo de gás ideal vale para uma faixa relativamente estreita de valores de pressão e temperatura. deveremos levar em consideração o potencial de Van der Waals.CEP 01124-060 São Paulo . A definição de entropia e o início dos estudos de descarga elétrica em gases. e ainda depende do tipo de gás. Nos casos que temos os gases interagindo com as paredes do sistema de vácuo. há uma série de imperfeições neste modelo. é de solução impossível! Se formos levar em consideração todas as interações possíveis que podem ocorrer com uma pedra que está próxima à superfície da Pça. das Vamos. por mais simples que possa parecer.

raramente conseguiremos desta forma. Quando podemos aproximar um gás real por um gás ideal? 2. etc. Fernando Prestes. uma grande parte dos corpos teriam mudado de lugar. que pode ser analítica. depois de pronto. Dependendo da forma como montarmos os problemas a sua solução poderá quase que emergir naturalmente da modelagem. 1. mostre que recai na Equação de Estado dos Gases Ideais. O que são forças de Van der Waals? Quais são os dois ingredientes introduzidos na Equação de Estado dos Gases Reais? No limite. ou seja. que é a forma a qual quase sempre a conseguiremos.fatecsp. Talvez seja impossível para uma mente humana! E se fosse possível montar o problema. como explicar os estados de agregação da matéria considerando esta importante força.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .SP. O conhecimento da teoria é fundamental. encontrados em laboratórios e em linhas de produção. Se a solução realmente representa o fenômeno somente a experiência poderá nos dizer. Comparando os dados experimentais com os resultados da modelagem poderemos dizer se fizemos um bom modelo. em geral. Cel. 30 . Explique o fenômeno de condensação. você precisa conhecer muito sobre o assunto. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. nos montaremos os problemas e em seguida deveremos resolvê-los. nos resta a solução matemática do problema. muitos sóis teriam se apagado. no plano p-V. Na vida real. 3.br . para várias temperaturas. Assim. Pense em todos os corpos do Universo interagindo com essa pedra. Considere o potencial de Lennard-Jonnes. devemos aprender a fazer modelos de sistemas físicos. não tem como escapar. justamente para desprezar certas ocorrências supérfluas. sempre. mas devemos praticar a sua aplicação à realidade. Parece paradoxal: para fazer simplificações. se as hipóteses e os detalhes introduzidos no modelo foram suficientes e representam bem a realidade. Descreva em detalhe o princípio físico dos seguintes dispositivos. o problema deve ser enunciado de forma clara e com as perguntas bem formuladas. À luz da teoria atômica da matéria como você explica a origem das forças de Van der Waals. Na disciplina de tecnologia do vácuo. Ainda. teremos a oportunidade de estudar e modelar sistemas reais. ou seja. Não há outra maneira senão fazermos para conseguir obter experiência em qualquer que seja o assunto. Veremos que dependendo da forma que montamos um problema. mal conseguiríamos sequer montar o problema. Em que situação falha o modelo de gás ideal ou perfeito? Faça um gráfico.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. ela dirá se o problema é solúvel ou não.LTV Terra. Em física dizemos que o problema deve ser bem posto.FATEC .CEP 01124-060 São Paulo . ações ou equipamentos bastante presentes em nosso cotidiano: Pça. ou pode ser numérico-computacional. devemos ter claro que sempre precisaremos fazer simplificações. Em seguida.

.FATEC . mais precisamente altovácuo? 5. .CEP 01124-060 São Paulo . Com vento. isto em um dia úmido. Diga e interprete fisicamente a equação da lei da atmosfera isoterma. Discuta e pesquise a questão sobre como varia a pressão em relação a altitude. Com aquecimento. Mas cabe mencionar que mesmo que o gás esteja a Pça.Secar uma toalha. Isto é essencial para aplicarmos o nosso conhecimento à realidade. Ainda há bombas de vácuo cujo princípio de funcionamento é o mesmo do exemplo da queijeira. Por temperaturas relativamente altas queremos dizer acima da temperatura crítica.Água colocada em recipientes guardando um salgadinho que foi frito. por que os vários tipos de gases e vapores que compõem a nossa atmosfera não escapa da Terra e procura ocupar o espaço de todo o Universo? Mais.br . pois possibilita entender o que significa realizar o primeiro passo para a construção de um modelo físico de um fenômeno. Veja que sabemos que a pressão ao nível do mar é maior de a pressão na cidade de São Paulo. . Muitos conceitos.Uma queijeira na geladeira apresenta condensação não uniforme de água em sua superfície. 4. Existem muitas aplicações industriais da tecnologia do vácuo sustentadas em conceitos exatamente os mesmos referentes aos casos acima. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. . a matéria no estado gasoso tem é o fato de ocupar totalmente o espaço ou o volume onde elas estão.LTV . aplicações e equipamentos da Tecnologia do Vácuo estão apoiados neles. mas é tão importante como ele. Assim. Este tipo de exercício é bastante instrutivo. Tudo vai depender de como encaramos o que seja uma explicação convincente e feita a partir de princípios físicos básicos. Estas questões também parecem simples – talvez sejam! –. acredito que não são simples. explique os seus mecanismos físicos de funcionamento a partir de primeiros princípios.Dificuldade em abrir uma geladeira logo após ter sido fechada. Cel. Sempre e de forma enfática dissemos que a propriedade mais marcante que os gases e vapores. O estudante deve-se convencer que apesar do nome gás perfeito. isto é. que por sua vez é maior que a pressão em Campos do Jordão.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.Botijão de gás de cozinha. Ela fechada. Sendo que tanto a forma como o volume dos gases e vapores são totalmente determinados pelo recipiente que eles estão. podemos nos aprofundar um pouco mais. Fale da eficiência de cada forma de secagem. Por que lá temos vácuo. como nas padarias. Fernando Prestes.SP.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . . na Lua a pressão na sua superfície é da ordem de 10-7 torr. Na disciplina de tecnologia do vácuo temos a oportunidade de estudar os princípios e aplicações de inúmeros processos que ocorrem em baixas pressões. Sendo assim. Ela aberta. Veja que retomamos em algumas questões o assunto referente aos gases perfeitos.fatecsp. ele ocorre em condições de temperaturas relativamente altas e em baixas densidades.Cheirar um perfume a uma distância de alguns metros dele em uma sala sem ventilação. mas mais uma vez. Sabemos que cada tipo de gás tem sua temperatura crítica. . Pesquise sobre o assunto desta questão. Diante da questão referente a atmosfera do nossa Terra. 30 .Panela normal e panela de pressão. Comentário: Este roteiro não é tão extenso como o roteiro anterior.

no mínimo de forma bastante simples e rápida. e Muitos outros. Tompkins. Lewin (capítulo 1). A Users Guide to Vacuum Technology. Montinho e outros (capítulo 1). C. An Introduction to Fundamental of Vacuum Technology. Há também inúmeros livros de físico-química que tratam muito bem deste assunto.SP. Ference Jr. Curso de Física: Calor. M. e outros. sem perder os pontos principais. M. F. Delchar (capítulo 1).FATEC . Aproveitamos este espaço também para apresentar as referências mais importantes: Tecnologia do Vácuo. Vacuum Physics and Techniques. M. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Francisco Tadeu Degasperi Pça. como ocorreu historicamente. Modern Vacuum Practice. G. Tendo a oportunidade aprofunde-se no assunto. A. veja também o livro: Curso de Física: Calor. A. Como referência. O´Hanlon (capítulo 2). 30 .SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . N.LTV temperatura abaixo da sua temperatura crítica se ele estiver em densidades bastante baixas poderemos ter a observância bastante boa da lei de Boyle-Mariotte. Esta lista tem por objetivo marcar a presença no estudo dos gases reais. Em geral nestes livros o assunto dos gases e vapores abre para a teoria atômica da matéria. J. Ference Jr.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. Harris (capítulo 2).br . Fernando Prestes. Cel. T.CEP 01124-060 São Paulo . Fundamentos de la Ciencia y Técnica del Vacío.fatecsp. H. e outros (capítulo3).

Cel.American Vacuum Society – AVS. Let us suppose these to be constant. G. In the beginning.CEP 01124-060 São Paulo . Suppose we have a closed container held at constant temperature and we put a liquid in the bottom.FATEC . Pça.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . An Introduction to Fundamentals of Vacuum Technology . Fernando Prestes. although in vacuum technology. When the pressure has increased to the point that there are as many molecules going into the liquid as going out of the liquid. Molecules from the liquid evaporate and become gas molecules at a rate.LTV Trabalho Adicional: Traduza e Estude o Texto a Seguir. Tompkins. which is dependent on the surface area and the temperature. thus the rate of molecules leaving the liquid is a constant. TEXTO SOBRE PRESSÃO DE VAPOR Extraído da monografia de H. The number of molecules condensing depends on how many there are in the gas phase.br . at suggested in figure 24. the solid form is usually the one encountered. 30 . We shall use the liquid form as an example simply because it is easy to understand. Note also that the gas phase molecules are striking the other surface of the container and forming a condensed layer there also. molecules from the gas phase strike the liquid surface and go from the gas phase to the liquid phase (condense).br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. The concept of “vapor pressure” is equally valid when the condensed phase is a solid or a liquid. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp.SP. For simplicity let us suppose that we remove the gases above the liquid. At the same time. and the pressure of the molecules (the partial pressure) will increase. A “vapor” is a gas near its condensation temperature. equilibrium has been reached and the gas phase is satured. there are very few molecules in the gas phase hence the number going from liquid to gas is much greater than the number going from gas to liquid.

At saturation. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. The increased temperature affects both processes. Suppose we now heat our closed container to a higher temperature. it would sublime until the partial pressure of CO2 close to 10-4 Torr or until the dry ice were gone whichever came first. Fernando Prestes.br . at the temperature of 1500 K. The process of atoms or molecules leaving the surface is called sublimation rather than evaporation but it is essentially the same. These are equilibrium curves and not kinetic curves. and the net effect is that increased temperature causes higher vapor pressures.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.FATEC . equilibrium is again reached. the same phenomena occur for solids. liquid to gas. and gas to liquid. If one were to insert a piece of solid CO2 (dry ice) into an evacuated chamber. however. at 100 K. They say nothing about how vapor pressures sublime faster than materials with low vapor pressure. The rate of molecules going from one phase to the other changes and as the pressure change.CEP 01124-060 São Paulo . tungsten has a vapor pressure below 10-11 Torr and very little sublimation occurs. Although we have used a liquid for illustration.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . On the other hand. common practice is to use the term “vapor pressure” when what is meant is “saturation vapor pressure”. It does not affect the processes equally. Cel.fatecsp. We shall follow the common practice and use the term “vapor pressure”.SP. the proper term is “saturation vapor pressure” or “equilibrium vapor pressure”. Actually. Pça.LTV To be absolutely correct. the term “vapor pressure” refers to the partial pressure of the vapor at any time. 30 . Figures 25 and 26 show the vapor pressure for several materials.

____________________ _____________________________ TAREFA Este texto expõe muito bem o fenômeno de pressão de vapor e o seu enfoque é voltado à tecnologia do vácuo. Como tarefa. Como dissemos.br . o fenômeno de pressão de vapor é muitíssimo importante para entender inúmeros processos que ocorrem em vácuo e também para entendermos o princípio de bombeamento e limitações de algumas bombas de vácuo.LTV Of more practical interest is the fact that zinc. Cel.CEP 01124-060 São Paulo .FATEC . has somewhat higher partial pressure. Francisco Tadeu Degasperi Pça. traduza o texto e faça comentários sobre o assunto.SP. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Fernando Prestes. which is a constituent of brass. BOM TRABALHO!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. Separe a tradução dos comentários. 30 . Também temos aqui a oportunidade de praticar a língua inglesa. A system which is being baked sometimes reaches 250 °C or 523 K.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. exaustivamente. At 100 °C or 373 K and below. Aqui está uma boa oportunidade de reforçar o aprendizado sobre o assunto. the vapor pressure at this temperature is about 10-4 Torr and one would probably find zinc at rather unexpected places inside the system.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Cadmium plated screws are to be avoided for the same reason. the vapor pressure of zinc is below 10-11 Torr.fatecsp. bastante discutido e enfatizado em sala de aula e nos exercícios. Os materiais que usamos na construção de sistemas de vácuo devem ter a sua pressão de vapor verificada em função da temperatura.

considerando os outros dados físicos constantes.CEP 01124-060 São Paulo . Temos os regimes de escoamento viscoso turbulento. considerando a hipótese atômica. o gás precisa ser “transportado” de uma região para outra região. Cel. Não obstante. Um outro ponto que nunca devemos perder de Pça. em geral o seu diâmetro. O estudo e cálculo das condutância dos tubos e orifícios são de suma importância para um eficiente projeto do sistema de vácuo no que se refere ao processo de remoção dos gases.SP. 30 . No escoamento viscoso laminar o gás se comporta como um meio contínuo e o fluxo de gás ocorre como se fosse em camadas bem determinadas. Neste roteiro teremos a oportunidade de nos depararmos com questões centrais da tecnologia do vácuo. Para isso precisamos ter claro os regimes de escoamento dos gases. se o tubo for de seção circular. sem esses conceitos.br . podemos fazer em muitos casos modelos factíveis cujos cálculos podem ser realizados de forma simples e por meio deles obter uma boa compreensão do comportamento dos sistemas de vácuo em análise.FATEC .fatecsp.LTV ROTEIRO PARA ESTUDOS E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 3 Regimes de Escoamento dos Gases.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. viscoso laminar. Sistemas de vácuo complexos têm sua modelagem complicada. Este número é o quociente entre o livre caminho médio com uma dimensão típica do tubo por onde escoa o gás.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Não existe neste caso uma coerência macroscópica no transporte. Fernando Prestes. acredito que é impossível de termos uma compreensão suficientemente profunda do processo de transporte e bombeamento dos gases e vapores rarefeitos. Em baixas pressões os gases e vapores podem escoar de quatro formas completamente diferentes entre si. o critério para a identificação do tipo de escoamento que está ocorrendo é dado pelo número de Knudsen. O processo físico de cada um desses regimes de escoamento tem característica própria. é possível entender as diferenças entre os vários tipos de escoamento. No caso do escoamento molecular o transporte dos gases se dá completamente de forma aleatória. acarretando uma menor condutância. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. intermediário ou transição e molecular. Matematicamente. Os modelos de cálculo de condutância em tecnologia do vácuo são voltados essencialmente às geometrias simples. Diante de uma análise física do processo de transporte dos gases em uma tubulação. para tanto. Isto tem conseqüências práticas: no regime de escoamento molecular o transporte dos gases é muito menos eficiente. Isto faz com que as expressões matemáticas sejam bem diferentes para cada regime de escoamento. Condutância e Velocidade de Bombeamento O objetivo principal da Tecnologia do Vácuo é criar condições para a diminuição da pressão em recipientes.

FATEC . veremos quais os princípios físicos que podem ser usados para que elas bombeiem. presente em todos os estados da matéria. e em seguida essas bombas de vácuo vão fazer com estas partículas não fiquem mais no ambiente do sistema de vácuo exercendo pressão. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Desta forma.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . 1. Ocorre que no estado gasoso o movimento se dá mais livremente.SP. mais uma vez enfatizamos como os conceitos. podendo as trajetórias ser de grande comprimento. Devemos ter sempre presente que os termos em geral empregados para designar o bombeamento dos gases e vapores pelas bombas de vácuo. intrinsecamente os movimentos são de pequenas distâncias. sempre são as partículas – átomos e moléculas – que deverão chegar às bombas de vácuo e em seguida as bombas de vácuo farão alguma coisa com elas para não voltarem ao sistema de vácuo. Este estudo deve ser aprofundado. pois nele está a essência para o entendimento físico dos estados da matéria em conjunto com o potencial de natureza eletromagnética que existem entre as partículas que compõe o gás ou vapor.fatecsp. dependendo exclusivamente da densidade do gás. “chupando”. por exemplo. Veja que a bomba de vácuo não tem nenhum mecanismo de atrair ou trazer para ela os átomos e moléculas que deverão ser bombeados. 30 . O movimento constante e caótico dos átomos e moléculas. Veremos no assunto das bombas de vácuo com essas bombas fazem o processo de bombeamento. Isto se dá pois camufla a importância do conceito da condutância. Como você define velocidade de bombeamento de uma bomba de vácuo? Considere o raciocínio da bomba de vácuo do tipo de uma seringa de injeção. o da condutância. Nos estados sólido e líquido. Estes preconceitos têm trazido e introduzido muitos malefícios à tecnologia do vácuo. que ao meu ver é a grandeza mais importante da tecnologia do vácuo.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. deveremos ter a tubulação com suficiente passagem para as partículas poderem atingir com facilidade às bombas de vácuo. Cel. Assim retomando o assunto. Isto que podemos definir como bombeamento das bombas de vácuo. uma vez que além de levarem a uma interpretação errada dos fenômenos. Fernando Prestes. tais como. e mais à frente. “puxando”. ou ainda “atraindo” as partículas do gás.br . eles têm conseqüências do ponto de vista prático nos projetos e utilização de sistemas de vácuo. não têm sentido físico. São as partículas que deverão chegar até a bomba de vácuo. Explicando melhor. “sugando”. No caso da condutância. são fundamentais.LTV vista é quanto a questão da mobilidade dos átomos e moléculas. Em todos os estados da matéria os átomos estão em movimento. e no caso do gás sem um centro de força definido e com isso podendo ter movimentos de longo alcance é que garante a sua possibilidade de bombeamento. devendo ser pesquisado e estudado. Considere uma montagem básica Pça.CEP 01124-060 São Paulo .

O que é condutância em sistemas de vácuo? O que representa esta grandeza? Discuta a dependência com o regime de escoamento. diga quais são as características marcantes de cada tipo de regime de escoamento. Temos com isso a construção de uma bomba de vácuo? Discuta o assunto e fale sobre o seu mecanismo de fixação de gases. de uma caixa d´água sendo bombeada por uma bomba d´água. Tente fazer um modelo físicomatemático do bombeamento de um gás em um recipiente com uma bomba de vácuo de velocidade de bombeamento constante. Agora. 4. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. 8. tanto de seção circular como de seção retangular. 3. A solução do problema é simples. no caso do gás isso não ocorre.FATEC .br . Faça um modelo. 5. Dedique especial atenção a essa questão.SP. Quase tudo em tecnologia do vácuo depende de uma compreensão clara sobre como se dá o processo de escoamento dos gases. Isto é bastante bem verificado experimentalmente. Como este ponto liga-se à velocidade de bombeamento e a condutância? 7.CEP 01124-060 São Paulo .LTV em que podemos fazer vácuo em um recipiente. Pça. O que é throughput? Exiba a expressão matemática que define esta grandeza e explore a mesma. Para essas grandezas exiba as suas unidades. Ela é essencial para entender o efeito de bombeamento de gases e vapores. O que é velocidade de escoamento efetiva? Explore este assunto.fatecsp. Sabemos como bombear eficientemente uma quantidade de água de uma caixa. Discuta esta questão. 30 .SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Veja que o líquido mantém o seu volume quando aplicamos uma pressão nele. como podemos entender o bombeamento de parte do vapor de água na atmosfera quando colocamos um copo com água gelada sobre uma mesa. 2. temos que a maneira como se dá o seu bombeamento é completamente diferente do caso do líquido. Ainda. 6. como o gás ocupa todo o espaço que é fornecido para ele. Com relação ao bombeamento de gases. Mais ainda. nos vários regimes de escoamento de gases. e também para orifícios. Qual o critério matemático que determina o tipo de regime de escoamento dos gases que estamos trabalhando? Faça um formulário com as expressões para a condutância dos tubos. Nas questões acima apresentamos várias grandezas importantes no contexto dos sistemas de vácuo. É interessante observar que quase todas as bombas de vácuo existentes têm seus princípios de funcionamento que podem ser entendidos por meio dos exemplos acima.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Ainda. Cel. Apresente as unidades utilizadas usualmente e também no Sistema Internacional de Unidades. quando cortamos um pedaço de ferro. Quais são os tipos de escoamento de gases em tecnologia do vácuo? Explique fisicamente cada um deles. Fernando Prestes. bastante simples. Vamos explorar esta importante questão.

CEP 01124-060 São Paulo . Certamente não precisaremos considerar a atração gravitacional da Lua. próximo de zero. Um passo. quer no projeto. Mas veja. não só importante. no mínimo. se tivermos que levar em conta tudo o que ocorre com ele. sensores de vácuo. do Sol ou de Alfa-Centauro. Voltando à pedra. mesmo no início do movimento. tratando das marés. por exemplo. quaisquer que sejam. componentes auxiliares. considerar a atração gravitacional é essencial. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Esta é uma característica muito marcante dos problemas que ocorrem de fato no nosso dia a dia.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . saber considerar o essencial e deixar de lado o supérfluo. mas crucial à resolução de problemas é saber fazer aproximações. ela é essencial para explicar o fenômeno.SP. os conceitos vistos serão centrais. O movimento de um pára-quedas somente pode ser explicado caso haja gravidade e resistência com o ar.br . bombas de vácuo. Dependerá também da velocidade que a pedra atingirá. um aspecto para uma dada situação de modelagem pode parecer que ele é supérfluo. Assim. certamente não poderemos desconsiderar a força de resistência com o ar. Sem gravidade o pára-quedista não cai. sem resistência do ar ele não serve para nada o seu pára-quedas. Por exemplo.FATEC . se uma folha de papel estiver aberta e a deixarmos cair. trate este assunto com muita dedicação.LTV Comentário: Nos projetos em tecnologia do vácuo certamente intervêm as grandezas estudadas neste roteiro. a gravidade da Terra não explica as marés. quer no desempenho dos equipamentos. por mais simples que julgamos que seja. sequer teremos tempo ou capacidade intelectual para montar matematicamente o modelo do problema. para baixas velocidades podemos desprezar esta força. devem existir esses dois ingredientes na modelagem do movimento Pça. Mas sem ela a água não estaria presa à Terra. Dependendo do problema. cuja velocidade é muito pequena. caso contrário a pedra não cairá! Considerar a resistência do ar.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. irá depender de fatores como o coeficiente de arraste da pedra. Os conceitos apresentados são. Depende do detalhamento que desejamos atingir. que está relacionado com o seu perfil aerodinâmico. Os alunos já devem estar notando que os problemas que estão sendo discutidos e tratados requerem muitas considerações referentes a aproximações. Assim. Fernando Prestes. 30 . pois a característica mais marcante dos gases em baixas pressão está ligada ao modo como se escoam em uma tubulação. Como quase sempre interligamos a bomba de vácuo à câmara de vácuo por meio de uma tubulação é de fundamental interesse considerar como esta tubulação intervêm no processo de transporte dos gases e vapores. Uma discussão de caracter mais geral pode ser feito já nesta altura da disciplina.fatecsp. os mais importantes da ciência e da tecnologia do vácuo. as interações de todos os tipos possíveis. para o movimento de um corpo na superfície da Terra. mas em outra situação pode ser essencial. Mas se estivermos. certamente deveremos considerar a atração gravitacional da Lua. Assim. etc. Qualquer que seja o problema. acredito. Cel. uma pedra. em todos os assuntos nesta disciplina.

Cel. pois lá a pressão na sua superfície é da ordem de 10-7 mbar.fatecsp. BOM TRABALHO!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof.CEP 01124-060 São Paulo .FATEC . 30 .SP.br .LTV do pára-quedista: a força gravitacional e a força de arraste do pára-quedas devido a resistência com o ar. Francisco Tadeu Degasperi Pça. Na Lua não existe o problema do pára-quedista. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Fernando Prestes.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .

Diante disso devemos identificar o regime de escoamento para os cálculos relativos à determinação da velocidade efetiva de bombeamento. Para isto. assim. A conexão do medidor não pode adulterar a medição da pressão.FATEC . Neste roteiro você terá oportunidade de calcular condutância.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . O que considero importante neste estágio da disciplina é que comece a ficar claro ao estudante o papel crucial da condutância no transporte dos gases e suas conseqüências do ponto de vista do desempenho dos sistemas de vácuo. o assunto sempre estará presente. devemos saber calcular o circuito de vácuo e como associar as condutâncias. o assunto da condutância novamente é coloca. e verá que podemos estar diante de um problema que pode ser extremamente simples ou diante de um problema extremamente complicado. Pça. Como ponto de partida para a determinação matemática das condutâncias. uma vez que a expressão matemática correta depende fortemente do regime de escoamento. e no regime de escoamento molecular.CEP 01124-060 São Paulo . O conceito de condutância também é intensamente utilizado para podermos fazer injeções controladas de gases e vapores em sistemas de vácuo.SP. podemos ter uma variação de mais de 100. um certo tipo de gás a uma da temperatura. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. devemos conhecer o valor da velocidade de bombeamento da bomba de vácuo. Veja que este assunto requer bastante reflexão e espero que os iniciantes na tecnologia do vácuo comecem a pensar no assunto e façam uma imagem consciente da sua importância. no que se refere ao bombeamento de gases e vapores. Este assunto está intimamente ligado ao do roteiro anterior. Cel. 30 .000 vezes entre a condutância no regime de escoamento laminar.LTV ROTEIRO PARA ESTUDOS E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 4 Cálculo das Condutâncias e Velocidade Efetiva de Bombeamento Uma etapa importante no trabalho de um projetista de Tecnologia do Vácuo é a determinação e especificação das bombas de vácuo a serem utilizadas.fatecsp.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. próximo à pressão atmosférica. Além de cálculos de sistemas de vácuo. Fernando Prestes. este valor depende em geral de dois outros valores. a saber: a velocidade efetiva de bombeamento e a condutância da tubulação que liga a câmara de vácuo à bomba de vácuo. Um exemplo pode ser dado quanto a instalação de medidores em uma câmara de vácuo ou qualquer outra posição no sistema de vácuo. De certa forma isto reflete o fato de termos maneiras muito distintas entre si para o processo de transporte dos gases em sistemas de vácuo. Isto se faz necessário. Assim. Como exemplo.br . devemos ter a identificação do regime de escoamento. considere um tubo de certos diâmetro e comprimento.

FATEC . Isto quer dizer: Considere os outros regimes de escoamento dos gases. Somente esboce a solução do problema. 30 .br . estando à temperatura ambiente de 20°C.SP. Neste regime estudamos que a condutância não depende da pressão. Calcular as condutâncias do orifício e dos tubos abaixo desenhados. Cel.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Fernando Prestes. considere o texto a seguir. c)Tubo de seção transversal retangular.fatecsp.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . o gás é a mistura da atmosfera – ar –. Como é possível verificar.CEP 01124-060 São Paulo . Considere a pressão de trabalho ao redor de 10-6 mbar. Pça. a) Orifício. Dentro desta mesma questão.LTV 1. Discuta os casos apresentados acima adotando outras pressões em que ocorre o escoamento dos gases ou ainda vapores. nos regimes de escoamento viscoso laminar e intermediário os cálculos das condutâncias não são tão simples como no regime de escoamento molecular. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. b) Tubo de seção transversal circular.

como podemos tratar esta questão.CEP 01124-060 São Paulo . Considere o gás sendo a mistura atmosférica à temperatura ambiente de 20°C. Continuando dentro da mesma questão. Fernando Prestes. Cel. O circuito de vácuo simples mostrado acima é bastante comum e expõe as principais características de circuitos de vácuo mais gerais. Para um processo industrial operando à pressão de 10-1 mbar. avalie condutância e a velocidade de bombeamento efetiva.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.FATEC .SP.fatecsp. Vacuum Technology. considerando a passagem abrupta de um diâmetro para outro valor de diâmetro em uma seqüência de tubos.br . e se fosse o sentido de escoamento dos gases. Também como refinamento. 3. Calcule a condutância do circuito de vácuo operando à pressão de 10-7 mbar. como mostrado no caso acima. O circuito de vácuo é mostrado abaixo. O gás de trabalho é a mistura atmosférica à temperatura de 200°C.LTV 2.Roth. Faça as simplificações necessárias para o cálculo e exponha com clareza o seu raciocínio. Faça uma discussão da questão da passagem do gás de um tubo de maior diâmetro para um tubo de menor diâmetro. Considere o circuito de vácuo abaixo desenhado. 30 . a Pça.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . do menor diâmetro para o maior diâmetro. Faça agora os cálculos considerando a temperatura ambiente. pressão média. Veja o livro de A. Na mesma questão: como devemos considerar o cotovelo no cálculo da condutância? Esta parte da questão é para pesquisar. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Agora. Ainda há outras publicações em nossa biblioteca que trata bastante bem questão mais refinada.

Faça o mesmo se você estivesse trabalhando no Sistema Internacional de Unidades. Qual a dificuldade no cálculo de condutâncias nos regimes viscoso e intermediário? Esta questão não é muito fácil.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Apresente as unidades das grandezas utilizadas nesta questão. Isto é um grande risco! Sempre devemos verificar o universo de validades dos conceitos e dos teoremas. pois podemos errar por ordens de grandeza se não prestarmos atenção a este aspecto. que são de difícil solução sem a intervenção dos métodos numéricos. Não obstante. Devemos estar sempre atentos a está questão.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. misturando inclusive inúmeras unidades. Fernando Prestes. utilizamos unidades fora do sistema internacional. Para situações como essa muitas vezes iremos necessitar de um cálculo feito por meio de métodos numéricos. Um fato absolutamente dentro do cotidiano dessas atividades. Os cálculos de sistemas de vácuo em geral recaem em equações diferenciais não lineares.fatecsp. Infelizmente.CEP 01124-060 São Paulo . precisamos estar atentos. Muitas vezes usamos expressões matemáticas e conclusões sem antes fazermos uma verificação se são aplicáveis às situações que estamos tratando. Esta é uma característica geral tanto da ciência como da tecnologia.Este tipo de questão apresentado mostra-nos como já começamos a esbarrar em problemas cuja solução requer a intervenção de ferramentas matemáticas mais sofisticadas. temos que começar a conviver com elas e aprender a utilizáPça.SP. Comentário: Faça uma exposição clara dos raciocínios adotados. e ainda a sua solução por meio de métodos numérico-computacionais. Cel. pois é muito comum em tecnologia do vácuo e suas ramificações a utilização de unidades das mais diversas.LTV Bomba de vácuo com Sb = 100 litros / minuto Continuando. 30 . Assim. ainda na tecnologia do vácuo.br . escreva as expressões gerais e somente depois faça as simplificações e as particularizações necessárias à resolução do problema específico. Acredito que teremos que esperar alguns anos para incorporar o SI à nossa disciplina.FATEC .

Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Você pode estudar muito sobre natação. mas veja. pois é com a teoria sobre o assunto que poderemos incluir no modelo e supor como funciona aquele sistema. no caso voltados à tecnologia. bombas de vácuo. conhecer bem muitos dos aspectos importantes para aprender como obter um bom condicionamento físico. reafirmando a necessidade de sempre termos de construir modelos de sistemas físicos. quase sempre interligamos a bomba de vácuo à câmara de vácuo por meio de uma tubulação é de fundamental interesse considerar como esta tubulação intervêm quantitativamente no processo de transporte dos gases e vapores. faça! BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. Do ponto de vista do projeto.CEP 01124-060 São Paulo . Cel. A partir da exposição do estudante ou do profissional com problemas novos é que poderemos adquirir capacidade de fazer modelos. biologia. O julgamento de ser ou não ser essencial um determinado aspecto na modelagem de sistemas físicos e também em outras áreas. ser razoável diante dessas situações é a atitude mais importante. ou seja. No roteiro anterior fizemos uma discussão sobre o essencial e o supérfluo na construção de modelos.br . acredito. A aplicação dos conceitos apresentados são. sociologia é de suma importância. para determinar a bomba de vácuo necessária ao sistema de vácuo. como no caso do roteiro anterior. certamente deveremos calcular condutâncias e suas associações.LTV las! Nos projetos em tecnologia do vácuo certamente intervêm as grandezas estudadas neste roteiro. somente nossa vivência no assunto e a comparação dos resultados obtido na modelagem com os dados experimentais podem dizer se aquela modelagem foi ou não um sucesso. Assim. os mais importantes da ciência e da tecnologia do vácuo. sensores de vácuo. Certamente um ponto que sustenta tudo isso é o nosso conhecimento teórico. Fernando Prestes.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Não tem escapatória.SP.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. você vai ter que cair na piscina. Francisco Tadeu Degasperi Pça. Assim. pois a característica mais marcante dos gases em baixas pressão está ligada ao modo como se escoam em uma tubulação. e uma série de outros conhecimentos que certamente ajudarão você a se desempenhar melhor ao nadar.fatecsp. como economia. A questão toda é saber até onde podemos ir. você deverá se expor ao fato. quaisquer que sejam. qual é o grau de detalhamento que devemos atingir. Não há fórmula para esse problema. 30 . Assim. etc. Assim. nos projetos e também conceitualmente os cálculos feitos aqui serão determinantes para o desempenho dos equipamentos. Vemos em geral que ao introduzir de um detalhe a mais no modelo de um determinado sistema a sofisticação matemática cresce muito. componentes auxiliares.FATEC . Finalizamos este roteiro.

além do conhecimento detalhado das fontes gasosas e sua quantificação deveremos ter as expressões matemáticas.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Este fato será determinante para podermos dimensionar as bombas de vácuo e também escolher as mais adequadas dependendo do tipo de gás presente no processo. As bases físicas para o entendimento do que ocorre com Pça. Para poder especificar a instrumentação necessária para o bombeamento dos gases e vapores. por meio de tabelas das condutâncias e das velocidades das bombas de vácuo em função da faixa de pressão de operação. A sua solução por meio de procedimentos analíticos é bastante restrito. Fernando Prestes. A grande maioria dos casos a solução matemática do problema somente é conseguida por meio de ferramentas matemáticas do cálculo numérico. Geralmente em tecnologia do vácuo os modelos realizados são muito simplificados. em parte isto ocorre devido a falta de uma plataforma adequada para resolver matematicamente os modelos físicos que deveriam estar sendo propostos. Uma característica que encontramos nos sistemas de vácuo e presentes em outras tecnologias também é a necessidade permanente dos conceitos vistos anteriormente. 30 . Esta característica do conhecimento irá acompanhar o estudante até o final do curso e certamente continuará em sua vida profissional. Esta tarefa em geral não é simples.CEP 01124-060 São Paulo . Os problemas matemáticos referentes ao processo de bombeamento em geral recaem em uma equação diferencial ordinária.br . Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. ou ainda.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. uma vez que para cada tipo de fonte de gás há uma física específica para ela. isto quer dizer que há pouquíssimos casos cuja solução pode ser alcançada e representada em forma analítica. devemos ter bastante claro quais os tipos de fontes gasosas que participam do processo em vácuo e também a sua intensidade.LTV ROTEIRO PARA ESTUDO E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 5 Os Vários Tipos de Fontes de Gases e o Processo de Bombeamento em Tecnologia do Vácuo Uma etapa importante no trabalho de um projetista de sistemas de vácuo é a determinação e especificação das possíveis fontes de gases e vapores que podem estar presentes no sistema de vácuo sendo analisado. o vazamento virtual é completamente diferente da degaseificação. Nestes casos. Os estudantes devem estar atentos para este fato importante.fatecsp. não podemos nos descuidar de nenhum ponto da teoria visto até o momento. Para poder resolver matematicamente o problema devemos quantificar as fontes de gases e vapores. Assim.FATEC . Por exemplo. Cel.SP.

Câmara de Vácuo QVR QVap QIC Bombas de Vácuo QBV QGP QPerm QFBV Deg QVV QSub Linha de Bombeamento Desenho esquemático de um sistema de vácuo geral.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . a absorção. Apresente a equação diferencial mostrando explicitamente os termos relativos às fontes de gases e vapores importantes para a modelagem de sistemas de vácuo. Cite e caracterize fisicamente os vários tipos de fontes de gases e vapores que podem ocorrer em sistemas de vácuo. mostrando as suas partes principais: a câmara de vácuo com as possíveis fontes de gases e vapores. Pça.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. que tem origem na desorpção. e outros efeitos importante que são importantes à tecnologia 1. Temos esquematicamente mostrado abaixo um sistema de vácuo genérico com as várias fontes de gases e vapores possíveis. 30 .FATEC . simples ou complexos. a adsorção.fatecsp.LTV a degaseificação.CEP 01124-060 São Paulo . Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Fernando Prestes.br . a linha de bombeamento ou transporte de gases e o conjunto de bombas de vácuo.SP. têm suas partes conforme mostrado no esquema a seguir. Todos os sistemas de vácuo. Cel. Na questão seguinte você terá oportunidade de aprofundar o assunto relativo às fontes gasosas e também referente a origem física delas. Nós não estamos interessados no momento em resolver matematicamente a equação diferencial para os casos gerais encontrados em tecnologia do vácuo. o outgassing .

a linha de bombeamento e as bombas de vácuo. bastante elucidativas e importantes no contexto da modelagem de sistemas de vácuo e a consideração das hipóteses simplificadoras a serem sempre feitas. Compare com os livros disponíveis na biblioteca e ainda os textos disponíveis em formato eletrônico e que estão no site da Fatec-SP – Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV. . Este assunto é central em tecnologia do vácuo. Explique fisicamente os seguintes termos e conceitos dentro da tecnologia do vácuo: . 2° edição Wiley. 30 . veja a página 57 do livro A User´s Guide To Vacuum Technology.SP. Faça uma discussão detalhada sobre os seus termos e interprete-os fisicamente.Taxa de degaseificação específica de um certo material. . integre as idéias e os conceitos referentes ao processo de bombeamento com a condutância e velocidade da bomba de vácuo.Absorção. De um modo geral os sistemas de vácuo podem ser concebidos conforme mostrado na figura a seguir. Considere também as várias fontes de gases e vapores que podem existir nos sistemas de vácuo. Veja também o trabalho de mestrado do professor desta disciplina. 2.Degassing (este termo em geral é traduzido como degaseificação).CEP 01124-060 São Paulo .br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. os resultados terão um alcance bastante grande. Pça. Temos a câmara de vácuo. Há muitos outros que expõem bem o assunto sobre as possíveis formas de liberação de gases e vapores em sistemas de vácuo. O´Hanlon. Complementando esta questão. Veremos que a resolução matemática desses modelos que construiremos será muito simples.br . de John F. Este livro temos em nossa biblioteca.Outgassing (este termo não é traduzido).FATEC .SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Para mais detalhes. Vamos integrar os conceitos trabalhos nos roteiros anteriores e este presente.Sorpção. mesmo assim. Exiba a Equação Diferencial do Processo de Bombeamento de Gases e Vapores em Baixas Pressões. Cel.LTV Mais à frente resolveremos para duas situações bastante simples. .Desorpção. Obs.: Veja o catálogo da Balzers. Como tratamos anteriormente. 3. . Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Isto será tratado em detalhe.fatecsp. Fernando Prestes. não obstante. . .Adsorção.O ponto de partida para o projeto de sistemas de vácuo é a identificação da fontes gasosas pertinentes ao processo.

Fernando Prestes.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. em continuidade aos exercícios propostos acima. Cel. Comentário: Esta lista tem por objetivo fazer com que o estudante fixe os conceitos e nomenclatura utilizados em tecnologia do vácuo quando refere-se às várias fontes de gases possíveis e como estas podem ser minimizadas durante o processo de bombeamento. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. 30 . Fica aqui um convite ao estudante traduzir e certamente estudar mais esta fonte importante de informações em tecnologia do vácuo.fatecsp.CEP 01124-060 São Paulo .LTV Esquema geral de sistemas de vácuo. a linha de bombeamento e a bomba de vácuo. mostrando a câmara de vácuo. com a condutância total da linha de bombeamento e a velocidade efetiva de bombeamento. os catálogos são bons companheiro de estudo! BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. Os conceitos físicos vistos neste roteiro formalizam a construção teórica da tecnologia do vácuo no que refere à construção matemática de modelos dos sistemas de vácuo. Junto com os livros. Vemos também a relação entre a velocidade de bombeamento da bomba de vácuo.FATEC .SP.br .SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . um texto em inglês extraído do catálogo da Balzers. Francisco Tadeu Degasperi Pça. Há ainda.

.SP. caused by faulty material or machining or wrong handing of the seals.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.Gas ballast Inlet of a controlled quantity of a gas.LTV Trabalho Adicional: Traduza e Estude o Texto a Seguir. .Leak Leaks in a vacuum system are holes or voids in the walls or at joints. . so as to prevent condensation within the pump.br .FATEC .Maximum tolerable water vapor inlet pressure pwo The maximum tolerable water vapor inlet pressure is the highest inlet pressure at which a vacuum pump can continuously pump pure water vapor under ambient conditions of 20oC and 1013mbar.Gettering Gettering means bonding of gas. 30 . . It is given in mbar. muito empregados na Tecnologia do Vácuo.Gas Gas is matter in a state of aggregation in which the mean distances between the molecules are large in comparison with their dimensions. DEFINIÇÕES E TERMOS EMPREGADOS NA TECNOLOGIA DO VÁCUO Os termos seguintes. .fatecsp. usually into the compression chamber of a positive displacement pump.CEP 01124-060 São Paulo . .Leak rate The leak rate is the throughput of a gas through a leak.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .Mean free path The mean free path is the average distance which a molecule travels between two successive collisions with other molecules. Cel. Pça. Fernando Prestes. . pressure difference and temperature. foram extraídos do Catálogo da Balzers – 88/89. and the mutual arrangement of individual molecules is constantly changing. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Gas in the stricter sense is matter in gaseous state which cannot be brought to a liquid or solid state by compression at the prevailing temperature. It is a function of the type of gas. preferably by chemical reactions. Getter (getter materials) often has large real surfaces. .Outgassing Outgassing is a spontaneous desorption.

Partial pressure The partial pressure is the pressure due to a specified gas or vapor component of a gaseous and/or vapor mixture.I.Reynolds number Nondimensional quantity Re = d. 1 Pa = 1 Nm-2 1 bar = 1000 mbar = 105 Nm-2 = 105 Pa. . . pipe diameter) n = Dynamic viscosity Re < 2300 Laminar flow Re > 4000 Turbulent flow Pça. Cel. 30 . . unit. abbreviation Pa. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.Resistance The resistance is the reciprocal of the conductance.CEP 01124-060 São Paulo .Pressure units The pressure units are Pascal as the S.fatecsp.v.g.Quantity of gas (pv value) The pv value is the product of the pressure and volume of a specified quantity of gas at the prevailing temperature.br .l / n d = Density of fluid v = Average flow velocity l = Characteristic length (e. The unit commonly used in the vacuum technology is the milibar. and bar as a special unit designation for 105 Pa.FATEC . If the pv value is to be used as a measure for the quantity of substance or gas.LTV . Fernando Prestes.SP.Pressure The pressure of a gas on a boundary surface is the normal component of the force exerted by the gas on an area divided by that area.Permeation Permeation is the passage of gas through a solid barrier or a liquid of finite thickness. Permeation involves diffusion and surface phenomena. this must be an ideal gas whose temperature must be specified.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . . . .

Standard pressure Pn = 101325 Pa = 1013.br .Standard temperature Tn = 273.FATEC .fatecsp. . . Cel. The choice of the most important terms given below is intended to contribute to their uniform use and assist the less experienced user of vacuum technology in the use of the catalog.Sorption Sorption is the taking up of gas (sorbate) by a solid or a liquid (sorbent).Ultimate pressure The ultimate pressure is the value which the pressure in a standardized test dome approaches asymptotically with normal operation of the vacuum pump and without gas inlet.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.CEP 01124-060 São Paulo .SP. Sorbents are also called sorption agents. 30 .15 K .Saturation vapor pressure The saturation vapor pressure is the pressure exerted by a vapor which is in thermodynamic equilibrium with one of its condensed phases at the prevailing temperature.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . . . .Standard reference condition The standard reference condition is the condition of a solid. divided by that time.LTV . Fernando Prestes. liquid or gaseous substance determined by the standard temperature and standard pressure.25 mbar . The PNEUROP Pça. . with a “Vacuum Technology” Committee. PNEUROP is the association of manufactures of compressors. This term is used in contexts where the shorter term “pressure” might not clearly distinguish between the individual partial pressures and their sum.Throughput The throughput is the quantity of gas (in pressure – volume units) passing through a cross – section in a given interval of time at the prevailing temperature. Distinction can be made between the ultimate pressure which is due to no condensable gases. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. and the ultimate pressure which is due to gases and vapors (ultimate total pressure). vacuum pumps and pneumatic tools from twelve European countries.Throughput of a pump The throughput of a vacuum pump is the throughput of gas pumped. Its aim is to promote international standardization of vacuum components and vacuum test methods. The terms used in descriptions and technical data for the pumps and components in the catalog are standardized.Total pressure The total pressure is the sum of all partial pressures present.

Absorption Absorption is a type of sorption in which the gas (absorbate) diffuses into the bulk of the solid or liquid (absorbent). . .Compression ratio The compression ratio is the ratio between the outlet pressure and the inlet pressure of a pump for a specific gas. In this flow range. . Great Britain and France.Absolute pressure gauge An absolute pressure gauge is a pressure gauge used to determine the pressure from the normal force exerted on a surface divided by its area. . In the case of molecular flow.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. the intrinsic conductance is the product of the conductance of the inlet port of the duct section and the transmission probability of the molecules. .Backing pressure The backing pressure is the pressure at the outlet of a pump which discharges gas to a pressure below atmospheric only. Fernando Prestes.CEP 01124-060 São Paulo . 30 .Degassing Pça. An absolute pressure gauge is independent of the gas type used. test methods and performance data for vacuum pumps.SP.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Cel. . . . it is dependent of the pressure. The PNEUROP recommendations contain the definitions.Conductance The conductance is the conductance in the special case where the orifice or duct connects two vessels on which Maxwellian velocity distribution prevails.FATEC .Concentration of molecules The concentration of molecules is the number of molecules contained in an adequately chosen volume divided by that volume. gauges and components which are binding for PNEUROP members. and the majority of them has been incorporated in the standards of the European industrial countries – for instance Germany. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.LTV proposals were submitted to ISO as a standards recommendation. The products of Balzers Aktiengesellschaft and Arthur Pfeiffer Vakuumtechnik Wetzlar GmbH conform to PNEUROP rules.br .fatecsp.Adsorption Adsorption is a type of sorption in which the gas (absorbate) is retained at the surface if the solid or liquid (absorbent).

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Laboratório de Tecnologia do Vácuo - LTV Degassing is a desorption which is accelerate by physical processes. - Desorption Desorption is the liberation of gases sorbed by a sorbent material. The liberation can be spontaneous or can be accelerate by physical processes. - Diffusion Gas diffusion is the movement of a gas in another medium due to its concentration gradient. The medium may be gaseous, liquid or solid. - Flow Viscous flow Viscous flow is the passage of a gas through a duct under conditions such that the mean free path is very small in comparison with the smallest internal dimension of a cross section of the duct. The flow is therefore dependent on the viscosity of the gas and may be laminar or turbulent. In the case of viscous flow, the resistance is a function of the pressure. Turbulent flow Turbulent flow (eddy flow) is a viscous flow with mixing motion above a critical Reynolds number (for circular cylindrical pipes Re = 2300). Laminar flow Laminar flow (parallel flow) is a viscous flow without mixing motion at small Reynolds numbers. Molecular flow Molecular flow is the passage of a gas through a duct under conditions such that the mean free path is very large in comparison with the largest internal dimensions of a cross section of the duct. In the case of molecular flow, the resistance is independent of the pressure. - Vacuum Vacuum is the state of a gas with the concentration of molecules being less than that of the atmosphere at the earth surface. Vacuum is the state of a gas with a pressure below atmospheric pressure, i.e. the air pressure prevailing at the respective location. The relationship between pressure p and concentration of molecules n (for ideal gases) is a follows: p * V= NMolecule * k * T k = 1.3807*10-23 JK-1 Boltzmann constant

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Laboratório de Tecnologia do Vácuo - LTV T = thermodynamic temperature Vacuum ranges Low vacuum (GV) Medium vacuum (FV) High vacuum (HV) Ultra-high vacuum (UHV) mbar 1000-1 1 - 10-3 10-3 – 10-7 <10-7 Molecule Concentration 2.5*1025 – 2.5*1022 m-3 2.5*1022 – 2.5*1019 m-3 2.5*1019 – 2.5*1015 m-3 <2.5*1015 m-3

The molecule concentrations refer to a temperature of 20°C. - Vapor Vapor is a substance in gas phase which is either in thermodynamic equilibrium with its liquid or solid phase (saturated vapor). Note: in vacuum technology, the word “gas” has been loosely applied to both the non-condensable gas and the vapor, if a distribution is not required. - Vapor pressure Vapor pressure is the partial pressure of a vapor. - Volume flow rate The volume flow rate is the volume of gas passing through the duct cross-section in a given interval of time at a specified temperature and pressure divided by that time. - Volume flow rate The volume flow rate S is the average volume flow from a standardized test dome through the cross section of the pump’s intake port. Unit’s for the volume flow rate are m3*s-1, l*s-1, m3*h-1. - Water vapor capacity Cwo The water vapor capacity is the maximum mass of water per unit of time which a vacuum pump can continuously take in and discharge in the form of water vapor under ambient conditions of 20°C and 1013 mbar. It is given in g*h-1. The relationship between water vapor capacity cwo and maximum tolerable water vapor inlet pressure pwo is as follows: cwo = 217 * S * pwo /T in g*h-1 S = volume flow rate, in m3*h-1, at inlet pressure pwo
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Laboratório de Tecnologia do Vácuo - LTV pwo = maximum tolerable water vapor inlet pressure, in mbar T = thermodynamic temperature of the water vapor pumped, in K. ________________________ ________________ Comentário: mais uma vez temos a oportunidade de nos depararmos com um conteúdo rico e adequado ao estudo da tecnologia do vácuo. Os catálogos são uma fonte rica de informação e auxiliar no ensino. Além de trazer o estado da arte no que se refere a instrumentação – certamente para os catálogos atuais! –, eles também trazem muitas vezes resumos teóricos e princípios de funcionamento de medidores e bombas de vácuo, e outros mais. Além dos livros, estudar com os catálogos, verificando a instrumentação e como especificá-las certamente é um complemento importante ao estudo de uma escola de tecnologia. Entender um catálogo, qualquer que seja a área que o estudante futuramente irá abraçar, é um passo importante à sua vida profissional. Assim, aproveite a oportunidade, mesmo que você não venha trabalhar com tecnologia do vácuo, aprenda a transitar em um catálogo. Certamente você fará isto no futuro em sua área de atuação. Além de tudo que dissemos, muitos catálogos estão escritos na língua inglesa, mais um bom motivo para praticarmos esta língua. Os conceitos e definições tratados neste texto são importantes, pois estão no centro da determinação de grandezas que devem ser encontradas para o projeto de sistemas de vácuo e de suas aplicações. Os catálogos que vocês têm disponíveis seja na biblioteca seja no Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV são os mesmos em qualquer lugar no mundo. Assim, junto com os livros, mãos à obra e também aos catálogos! BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi

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Medidores de Vácuo. Sensores Diretos e Indiretos de Pressão Total

No trabalho de um projetista de Tecnologia do Vácuo uma etapa importante é a determinação e especificação dos instrumentos a serem utilizados no sistema de vácuo. Fazem parte: a câmara de vácuo, as bombas de vácuo, os medidores de pressão, os componentes auxiliares, e muitos outros. Para isto, devemos conhecer muito bem o princípio de funcionamento dos vários instrumentos e componentes a serem comprados. Assim, devemos entre outros saber medir a pressão em toda a faixa de operação do sistema de vácuo. Também devemos conhecer bem os detalhes do processo em vácuo a fim de não expormos os sensores de pressão a atmosferas contaminantes, ou ainda, explosivas ou corrosivas. Com relação aos sensores de coluna de mercúrio, vemos que estes sensores, os mais antigos medidores de pressão, têm o seu princípio determinado a partir das leis da mecânica. Este tipo de medidor de pressão coloca muito claramente a questão do que significa medir a pressão a partir da sua definição, que é a força agindo em uma área. Além do aspecto instrutivo, este tipo de sensor é bastante usado em metrologia de pressão, uma vez que pelo fato de depender de aspectos da mecânica, e não depender do tipo do gás, o torna indicado na metrologia. Além desse medidor, estudaremos o sensor Pirani e o termopar, baseados na condução térmica dos gases. O medidor Pirani é extensamente utilizado na medição de pré-vácuo. O sensor de membrana capacitava é um medidor também baseado em princípios mecânicos, apesar dessa medição mecânica ser feita por procedimento elétrico. Os sensores de medição Penning, ou catodo frio e o sensor BayardAlpert, ou catodo quente, têm a medição de pressão em alto-vácuo baseado na condução elétrica dos gases e vapores. Neste roteiro o assunto é a medição de pressão no seu sentido mais amplo, que são os seus princípios físicos, o princípio de funcionamento dos sensores e a sua utilização. Também devemos ter claro os limites de operação dos sensores. Como ponto de partida conhecer se o processo de medição é direto ou indireto. Levar em consideração a sua instalação no sistema de vácuo, observando o efeito da condutância da conexão do sensor a parte em que está sendo feita a medição de pressão. Veja mais uma vez nos deparamos com o conceito de condutância. Este é um aspecto marcante da tecnologia do vácuo, a condutância sempre estará presente. Como exemplo, considere que o tubo de conexão do sensor devem ter
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30 . Fernando Prestes. como relacionar as pressões parciais com a pressão total? A lei de Dalton é obvia? Ela tem validade geral ou depende da suposição básica do conceito de gases perfeitos? 2. inclusive como padrão primário de medição de pressão.CEP 01124-060 São Paulo . exibindo uma lista de ambos os tipos de sensores.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Do mesmo modo devemos observar os campos magnéticos e elétricos e a temperatura circunstante ao sensor de vácuo. Cel. 3.br .FATEC . mais uma consideração. O que são sensores diretos ou absolutos e indiretos? Exemplifique. Temos aqui a oportunidade de construir um modelo físico simples e profundo. Comente sobre a posição de instalação de medidores de vácuo junto à câmara de vácuo mostrada abaixo em conjunto com as bombas de vácuo e os seus componentes auxiliares. uma vez que os certificados de qualidade exigem esta observação. aspecto tão importante no mundo industrial. Ele é ainda usado.SP. não podemos nos distanciar da calibração dos sensores. Finalmente. caso contrário corremos o risco de ter a medição de pressão adulterada.LTV o seu diâmetro e seu comprimento observado. 4. Ele expõe como nenhum outro medidor de pressão o processo físico de medição de pressão. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Vemos ainda o sistema de injeção de gases – que estudaremos mais à frente.fatecsp. o seu equacionamento responde a maioria das perguntas que fazemos sobre ele. Sistema de Alto-Vácuo mostrando a câmara de vácuo. Fale em detalhe. a linha de bombeamento e a conexão às bombas de vácuo. Explique a lei de Dalton. Por que em um manômetro de coluna de mercúrio a área transversal do tubo da coluna não intervém nos cálculos? Explique detalhadamente este manômetro. 1. Pça.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .

Gráfico esquemático mostrando os medidores de vácuo mais comuns e a sua faixa de operação. O que é condutividade térmica dos gases? Em que faixa de pressão ela é importante? Explique o medidor Pirani.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. diga qual o princípio de funcionamento do sensor de vácuo tipo membrana capacitava.FATEC .fatecsp. 30 .Há muitos outros que expõem bem o funcionamento dos medidores de vácuo. Obs. John O´Hanlon.: Esta é uma questão para uma pesquisa mais detida. Cel. Explique o princípio de funcionamento dos manômetros de ionização do tipo Penning ou também chamado de catodo frio e Bayard – Alpert ou também chamado de catodo quente. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.CEP 01124-060 São Paulo .LTV Dentro da mesma questão.br . Vá aos catálogos e veja os sensores comercializados e como são apresentados. 5.SP. Dentro da questão referente a classificação dos sensores de vácuo. Diga quais são as situações mais indicadas para o seu uso e fale dos cuidados com esse tipo de sensor.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . veja a relação abaixo e diaga quais são os diretos e indiretos. Pça. 7. Fernando Prestes. Veja em nossa biblioteca o livro A User´s Guide to Vacuum Technology. 6.

Procure ver nos catálogos os sensores estudado. Devemos saber o princípio de funcionamento dos medidores para chegarmos a esta conclusão. Cel. Fernando Prestes.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Sistema de Vácuo 1 Sistema de Vácuo 2 Sistema de Vácuo 3 Diagramas esquemáticos mostrando alguns tipos de sistemas de vácuo. e outras considerações devem ser observadas. Descreva as preocupações e cuidados na instalação dos medidores. Além disso. ruídos elétricos ou magnéticos próximos. Faça passo a passo um descritivo da manutenção preventiva que os medidores precisam ter periodicamente.LTV 8. 30 .FATEC . Um ponto importante e algumas vezes difícil no projeto dos sistemas de vácuo é a escolha da instrumentação necessária.. Comentário: nesta altura do curso.CEP 01124-060 São Paulo . Os sensores de vácuo são caros e devemos ter uma atenção especial neste caso. Discuta a instalação dos medidores nos circuitos de vácuo mostrados abaixo. começamos a estudar a instrumentação utilizada na medição de baixas pressões. Faça comentário sobre a escolha de medidores dependendo do tipo de atmosfera presente na câmara de vácuo. em sistemas de vácuo com atmosfera de vapor de óleo certamente influenciará a medição de pressão se feita com sensores Pirani.Também devemos estar atentos ao aspecto da calibração dos medidores.SP. a instalação no que se refere a sua posição. O entendimento do princípio de funcionamento é fundamental. Comente os possíveis riscos que podem correr o medidores de vácuo.br . uma vez que ele poderá determinar a escolha dos medidores. O motivo principal é Pça. Da mesma forma que certos medidores são proibitivos em atmosferas explosivas. hoje este assunto está na ordem do dia. Além de considerações técnicas entram em jogo o entendimento do processo em questão sendo realizado em vácuo. Por exemplo. como são disponíveis no mercado.fatecsp.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.

30 .CEP 01124-060 São Paulo .Estes tão em voga e tão cobiçados pela empresas na atualidade.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Francisco Tadeu Degasperi Pça.LTV que faz parte de um importante requisito para a obtenção de certificados de qualidade. Cel.br .fatecsp.SP. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.FATEC . BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. Fernando Prestes.

Fazem parte da escolha dos materiais. Muitos tipos de sistemas de vácuo têm a especificação dos materiais como um assunto bem resolvido. devemos sempre consultar as tabelas e os manuais de vácuo sobre os materiais. e outros. Sempre devemos ter presente o fato de os projetos existirem não somente no papel. passadores de tensão e corrente. No entanto. Critérios e Requisitos na sua Escolha.fatecsp.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Para isto. caso não conste. válvulas eletrônicas de potência. que do ponto de vista estrutural. Para isso. Existem vários materiais que são consagrados na construção desses sistemas.br . principalmente aqueles voltados à tecnologia de aceleradores de partículas.SP. não somente a câmara de vácuo. Fernando Prestes.CEP 01124-060 São Paulo . Cel. e outros relacionados à alta tecnologia têm esse assunto cada vez mais pesquisado. muitos outros. Este é um assunto extenso em tecnologia do vácuo e igualmente importante. microeletrônica. No trabalho dos projetistas da área de tecnologia do vácuo uma etapa importante é a escolha de materiais a serem usados na construção do sistema de vácuo. dos seus internos.FATEC . ainda. mas também na construção das bombas de vácuo. Assim. Pça. não podemos nos esquecer da pressão de vapor desses materiais. Devemos também ter sempre presente o fato dos materiais precisarem ser usinados e soldados. dos componentes auxiliares.LTV ROTEIRO PARA ESTUDO E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 7 Materiais Utilizados na Construção de Sistemas de Vácuo. também os processos construtivos devem ser de possível execução. etc. devemos conhecer muito bem o comportamento desses materiais em baixas pressões. temos que ter em mente que além das propostas dos materiais a serem usados na construção de sistemas de vácuo. ou ainda. mas devem ser tornados uma realidade. vedações. Esses assuntos não podem passar despercebidos pelos projetistas de sistemas de vácuo. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. dos medidores de pressão. 30 . precisamos chegar ao ponto de medir por exemplo a taxa de degaseificação dos materiais e junto disso nos preocuparmos com os processos de limpeza e de condicionamento.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.

quais os requisitos a serem satisfeitos pelos materiais expostos ao vácuo. soldagem.fatecsp. Sistema de alto-vácuo para metalização de faróis. Do ponto de vista estrutural. os diâmetros dos tubos referentes ao circuito de bombeamento de pré-vácuo e o do alto-vácuo.FATEC .SP. Agora. Mais uma vez temos o conceito de condutância Pça.CEP 01124-060 São Paulo . quais são as preocupações que devemos ter na escolha dos materiais utilizados na construção de sistemas de vácuo? Obs: não se esqueça que a pressão atmosférica. Fernando Prestes. O sistema de alto-vácuo a seguir é uma metalizadora de faróis.br . 2.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . ou seja. vedações. usinagem. ao nível do ar. 30 . Empresa fabricante PV-PrestVácuo Ltda. Temos também a oportunidade de identificar com uma inspeção visual. exerce uma força de aproximadamente 10 toneladas-força (aproximadamente 100. discutindo os lugares onde foram instalados. Cel. Vemos claramente a diferença entre seus diâmetros. No que refere-se a fontes de gases e pressão final. etc. Comente também os aspectos construtivos gerais do sistema de vácuo.LTV 1. análise a questão do emprego dos materiais utilizados em tecnologia do vácuo para o sistema de alto-vácuo mostrado abaixo.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.000 N) para cada metro quadrado de área. Podemos aproveitar esta mesma figura e identificar os sensores de vácuo. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. principalmente pressões abaixo de 10-6 mbar? Ainda. e para os sistemas de ultra alto-vácuo que devem ser aquecidos até 300 oC? 3.

Agora. soldabilidade e possibilidade de vedação.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. 4. Em seguida mostramos um sistema de alto-vácuo que está em construção. Isto é devido ao fato de precisarmos de acesso à câmara de vácuo e também alta velocidade efetiva de bombeamento. 30 . isso facilita as manutenções tanto preventiva como corretiva.CEP 01124-060 São Paulo . Cel.SP. Empresa PV-PrestVácuo Ltda. Veja que mais uma vez nos deparamos com o conceito relativo à condutância. Continuando a questão. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.FATEC . identificar as bombas de vácuo e os componentes auxiliares deste importante sistema de vácuo. futuramente. Veja que o sistema de vácuo mostrado acima tem suas partes bem acessíveis. 5. Podemos também.fatecsp. Podemos agora tentar focar nossa atenção ao aspecto da manutenção.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Sistema de alto-vácuo em construção.LTV impondo a sua importância em casos reais. Este sistema Pça. Ele precisam funcionar e operar em tempos que sejam economicamente viáveis.br . Isto é decisivo para o bom desempenho dos sistemas de vácuo. Nesta fotografia podemos ver o tamanho das flanges comparadas ao tamanho da própria câmara de vácuo. Podemos ver a câmara de vácuo (à direita) e também a tubulação (à esquerda) que serão conectadas a válvula de alto-vácuo e a bomba difusora. Fernando Prestes. análise a questão do emprego dos materiais utilizados em tecnologia do vácuo do ponto de vista da usinabilidade. Este último requisito impõe alta condutância na linha de bombeamento.

não obstante. Como mencionamos. Em seguida. Como em todas as situações ligadas ao aprendizado. tanto na usinagem como na soldagem. 30 . Veja que a pressão final é função da velocidade efetiva de bombeamento mas também da taxa de degaseificação total da câmara de vácuo. o contato do vácuo com a câmara de vácuo se dá pela sua superfície.LTV apresenta expostas a questão do emprego dos materiais utilizados em tecnologia do vácuo e também na usinabilidade. e é determinante e crucial para muitos sistemas de vácuo . assim. soldabilidade e possibilidade de vedação. Cel. Assim. Fernando Prestes. do ponto de vista de desempenho de sistemas de vácuo. por exemplo. Considerando o propósito básico da disciplina de tecnologia do vácuo. o estudante pode consultar os seguintes livros: Vacuum Technology. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. Este é um dos assuntos mais importantes da área de tecnologia do vácuo. esta superfície precisa receber o tratamento adequado.fatecsp.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .FATEC . devemos considerar os processos de limpeza e condicionamento dos sistemas de vácuo.CEP 01124-060 São Paulo . além do nosso livro texto e ainda outros.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. temos que considerar um certo nível a ser imposto e esperamos que seja atingido. Sob pena de ocorrer um sério problema estrutural com a câmara de vácuo. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Comentário: Este assunto é muito extenso e demandaria um tempo muito maior do que dispomos.br . Francisco Tadeu Degasperi Pça. que é a introdução à área. por melhor que seja o material usado na fabricação da câmara de vácuo. podemos e devemos discutir os aspectos mínimos necessários para a construção de sistemas de vácuo. No caso em questão é importante que o estudante tome consciência de que o assunto referente à escolha dos materiais. de Alexander Roth e A User´s Guide To Vacuum Technology de John O´Hanlon. Para um aprofundamento há literatura disponível muito boa. Veja que os aspectos mecânicos relativos à resistência estrutural do sistema de vácuo nunca pode ser perdido. qualquer que seja seu grau de aprofundamento. processos construtivos. Além da escolha adequada dos materiais construtivos temos que nos ater também à escolha dos materiais.SP. são fundamentais para o sucesso e concretização do projeto do sistema de vácuo. o carregamento mecânico que a pressão atmosférica impõe às câmaras de vácuo e às outras partes também é muito intenso. podemos dizer que o apresentado sobre o assunto é suficiente. para as vedações. por exemplo. inclusive dos textos em formato eletrônico. devemos fazer um cálculo estrutural das partes do sistemas de vácuo.

fatecsp. de pistão. posteriormente possam expulsos deste êmbolo. Este último caso ocorre com as bombas difusora.LTV ROTEIRO PARA ESTUDOS E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 8 Bombas de Vácuo Um bom entendimento do princípio de funcionamento das bombas de vácuo é muito importante e um bom começo para um projeto de vácuo de sucesso. temos como outro modo de ocorrer o processo de bombeamento o aprisionamento de partículas. a possibilidade de manutenção das bombas de vácuo. o deslocamento de um pistão em um êmbolo faz com que parte dos gases ocupem um determinado volume e assim. Uma delas é a partir do deslocamento mecânico de partes da bomba de vácuo que se dá o bombeamento. O processo de aprisionamento tem duas origens possíveis: ligação por forças de Van der Waals. Cel. e outros. Este princípio é utilizado pelas bombas mecânica de palhetas de um ou dois estágios. por deslocamento de gases. devido a ação mecânica de parte de uma bomba de vácuo. Fernando Prestes. Temos dois tipos básicos de maneira de bombeamento de gases e vapores. por exemplo quando um copo de água gelada é Pça. vemos este efeito em nosso cotidiano. Em princípio estas bombas de vácuo podem funcionar continuamente. trazem bons frutos e um desfecho adequado ao projeto. Como por exemplo ocorre na condensação de vapores ou gases em uma superfície fria ou gelada. turbomolecular. Devemos ter presente a faixa de pressão de trabalho do processo em vácuo. estes gases ou vapores são transferidos ou para fora do sistema de vácuo ou para outra bomba de vácuo.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Por exemplo. roots. Ainda. em geral.FATEC . Em contrapartida a este tipo de processo de bombeamento. ocorra o deslocamento dos gases devido a transferência de momento linear dos átomos e moléculas que formam o gás.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . 30 . A experiência profissional aliada às consultas junto às empresas de equipamentos.SP. os gases que participarão deste processo.br .CEP 01124-060 São Paulo . no caso. Neste tipo de bomba de vácuo as partículas não são expulsas para fora do sistema de vácuo. adsorção física. mas ficam aprisionadas em uma superfície dentro da bomba de vácuo. Neste tipo de bomba de vácuo. o tipo de sistema de vácuo para conhecermos bem as características marcantes que devem ter o processo de bombeamento. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. booster de vapor.

br . Vemos abaixo um gráfico com uma classificação das bombas de vácuo conforme o seu mecanismo básico de bombeamento. Este também é um processo de bombeamento. 30 . que é uma reação química bastante estável. pois parte da água da atmosfera que estava exercendo pressão agora não estará mais. Veja que o produto da oxidação. Fernando Prestes.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . a pressão parcial do oxigênio irá diminuir. Pois parte do oxigênio da atmosfera fica agora no produto da oxidação com o ferro. é o que chamamos de “ferrugem”. No caso de um pedaço de ferro que acabou de ser serrado ou limado. Cel. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. temos que alguns dias depois aparece uma oxidação em sua superfície.SP.fatecsp.CEP 01124-060 São Paulo . está no estado sólido. Assim.FATEC . Pça. A bomba criogênica tem o seu princípio de funcionamento baseado neste efeito.LTV colocado em uma mesa e pouco tempo depois uma quantidade de água fora do copo condensase em torno dele.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. pois ficou condensado em torno do copo. Este processo é um bombeamento de vapor. ou seja. na parede externa do copo.

30 .br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. 1. Pça. Bomba de vácuo fundamental baseada no deslocamento dos gases e vapores. Considere as forças de interação entre as partículas para explicar o processo de bombeamento dos gases e vapores pelo processo de aprisionamento.fatecsp. Explique fisicamente à luz da hipótese atômica da matéria. injetora de vapor. scroll. Explique os dois grandes grupos de bombas de vácuo. sublimação de titânio.LTV Apesar de vermos uma série de possibilidades de bombas de vácuo. roots. bombas de deslocamento de gases e de aprisionamento de gases.SP. iônica e criogênica. sorpção. Bomba de vácuo fundamental baseada no aprisionamento . somente uma parte vista acima vingou comercialmente.FATEC . Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.br . turbomolecular-drag. As principais bombas de vácuo são: mecânica de palhetas de simples e duplo estágios. turbomolecular. getter.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .CEP 01124-060 São Paulo . ou seja. Cel. Fernando Prestes. na realidade. difusora. pistão.

Ainda.bomba de sublimação. .bomba de sorpção.bomba iônica.bomba criogênica. Explique o princípio de funcionamento das seguintes bombas de vácuo. Sabemos que há bombas de vácuo que precisam trabalhar com outras bombas. exiba a faixa de trabalho (em pressão) de cada uma delas. 5. 3.LTV 2. a linha de bombeamento de gases.fatecsp. O que é taxa de compressão? O que este número nos mostra? Esta grandeza depende do tipo de gás? Este conceito é fundamental. por meio de um caminhão apropriado. Fernando Prestes. Cel. Este tipo de equipamento de vácuo é levado às subestações de distribuição de eletricidade para fazer o trabalho de manutenção em transformadores de alta potência. Certamente a figura mostrada abaixo não deixa muito claro quais instrumentos e peças fazem parte do equipamento.bomba roots. Qual o critério para dimensionamento das bombas mecânicas. Pça.Bomba mecânica de palhetas. usado para o tratamento de óleo de transformadores. Assim.br . uma vez conhecida a velocidade de bombeamento das bombas de alto – vácuo? 4. . . O circuito de vácuo mostrado em seguida a fotografia exibe claramente as partes do sistema de tratamento de óleo de transformadores. No sistema de vácuo mostrado abaixo. Nas bombas de vácuo mecânica de palhetas de um ou dois estágios explique o papel da condensação dos vapores no processo de bombeamento e o efeito do gas ballast.bomba difusora.FATEC . 6. em geral. a bomba difusora precisa trabalhar com uma bomba mecânica.SP.CEP 01124-060 São Paulo . sendo esta bomba muito utilizada nos processos industriais que têm muita quantidade de gás a ser bombeada. um dos motivos para o equipamento ser compacto é o fato de ser possível de transportá-lo a longa distância. . e as outras partes. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. ou seja. . a câmara de vácuo de processo. por exemplo. diga as principais características de cada bomba de vácuo e tente comparar estas característica entre as várias bombas de vácuo: . . identifique as várias partes importantes dele.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . por exemplo. Mesmo ele sendo compacto a fotografia mostra claramente que podemos identificar à sua direita as bombas de vácuo mecânica e a roots (a bomba mecânica na parte de baixo e logo em cima dela a bomba roots).bomba turbomolecular. . as bombas de vácuo. na bomba de vácuo roots. 30 .br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.

Fernando Prestes.CEP 01124-060 São Paulo . Cel. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. as bombas de vácuo. Pça.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. a câmara de vácuo com o óleo (quase no centro) e o circuito hidráulico para entrada.SP.br . Podemos identificar. Além dessa fotografia. Vemos a câmara de vácuo. Mais uma vez vemos a importância do conceito da condutância. a remoção da umidade por meio do vácuo seria muito demorada.FATEC . 30 . que nem todas fazem parte do sistema de vácuo. Por isso agitamos o óleo para ficar mais fácil a exposição da umidade à superfície a baixa pressão e em seguida a possibilidade do bombeamento. devido a dificuldade das moléculas de água precisarem percorrer toda extensão do tanque de óleo até chegar à superfície e ter a chance de ser bombeada. grosso modo. Se deixássemos o óleo parado. circulação e saída do óleo (à direita). a linha de bombeamento e ainda partes relativas ao sistema de circulação de óleo para uma maior eficiência na remoção de umidade. na qual podemos ver inúmeras peças. No diagrama a seguir vemos o circuito de vácuo para o tratamento do óleo do transformador e também o circuito de circulação do óleo para uma mais eficiente remoção de umidade.fatecsp. três partes do sistema de tratamento de óleo: o sistema de vácuo (à esquerda).LTV Sistema de vácuo para tratamento de óleo de transformadores elétricos de potência.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .

CEP 01124-060 São Paulo .fatecsp.FATEC .br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Comentário: Esta lista é tão importante como trabalhosa.br . que os conceitos básicos são fundamentais para podermos entender o princípio de funcionamento das bombas de vácuo.LTV Circuito geral de vácuo e de óleo do sistema de tratamento de óleo isolante de transformadores elétricos de potência assistido a vácuo. Temos vários livros sobre este assunto em nossa biblioteca e há também os catálogos. como mencionado em várias oportunidades. Com ela vemos cada vez mais que estamos tomando contato com a instrumentação da área da tecnologia do vácuo.SP. As bombas de vácuo são responsáveis pela remoção dos gases e vapores da câmara de vácuo. que acompanhados dos livros são um complemento ao assunto. Francisco Tadeu Degasperi Pça. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Cel. mas veja os átomos e moléculas precisam chegar às bombas de vácuo! Vemos também. Fernando Prestes. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. 30 .SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .

SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Temos que ter em mente que os sistemas de vácuo em geral são caros.SP. 30 . passadores de tensão e corrente.CEP 01124-060 São Paulo . Cel.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Devemos ficar atentos para o fato de que o aumento da temperatura reduz a resistência dos metais. Fernando Prestes. introduzindo válvulas. além de fluidos refrigerantes. também são os tubos e conexões em geral. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Basta uma peça que compõe um componente de má qualidade para poder comprometer todo o desempenho do sistema de vácuo. são peças que trazem uma melhoria na “qualidade” do acesso ao sistema de vácuo construído. Em geral.FATEC .fatecsp. desempenham papel importante na tecnologia do vácuo. Assim. estes são os sensores. Também devemos considerar a utilização da cerâmica em vez do vidro dependendo da temperatura. no cálculo estrutural da câmara de vácuo devemos considerar na temperatura de trabalho aquela que produz as menores resistências dos materiais empregados. Temos também as flanges. vedações. e também faz com que possamos ligar as várias partes que compõem o sistema de vácuo. borrachas. estes são as bombas de vácuo. e assim por diante. Pça.LTV ROTEIRO PARA ESTUDOS E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 9 Componentes Auxiliares dos Sistemas de Vácuo. seguro e confiável. Componentes auxiliares significam que eles não são aqueles para fazer o vácuo. Devemos sempre nos certificar da faixa de temperatura de operação do sistema de vácuo. também não para medir o vácuo. assim. os filtros e uma série e outros dispositivos e peças que tornam o sistema de vácuo mais acessível. a escolha de um determinado componente auxiliar deve ser da mesma qualidade das partes principais. Significa que são partes do sistemas de vácuo que auxiliam o nosso acesso ao sistema de vácuo. óleos e graxas em geral no sistema de vácuo.br . apesar de serem qualificados de auxiliares. No caso de temperaturas altas devemos ter atenção no que se refere as vedações e a utilização de elastanos. O nome auxiliar de forma alguma deve ser entendido como sendo de menor importância. Os componentes auxiliares dos sistemas de vácuo.

Pça. Como estes conectam-se às bombas de vácuo. Quais os principais tipos de válvulas de vácuo. . Pesquise nos catálogos e diga as faixas de trabalho (em pressão) e os critérios de escolha. Desenho de um sistema de alto-vácuo com bomba difusora e anteparo.FATEC . Quais as suas aplicações na área.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . O que são e como funcionam os seguintes componentes: . Fale sobre o processo de vedação.LTV 1. 3. 2.fatecsp. Vemos os componentes auxiliares tanto da parte de alto-vácuo como da parte de pré-vacuo.SP.Filtro para bombas mecânicas. Verifique os preços.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.Anteparo e armadilha para bombas difusoras. Fernando Prestes. Cel. Exiba os principais tipos de flange existentes na área da tecnologia do vácuo.br .CEP 01124-060 São Paulo . 30 . qual a posição no circuito de bombeamento. ou seja.

Aproveite a oportunidade e aponte e diga quais são as bombas de vácuo do circuito.fatecsp. O catálogo da MDC é muito bom para esse assunto e em geral dos componentes auxiliares.br . Fernando Prestes. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Também fale sobre as flanges e vedações. a linha de bombeamento e as bombas de vácuo. 6. Veja também os passadores de fluidos. Veja nos catálogos os passadores de tensão e corrente .SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Vemos que além da bombas de vácuo roots e mecânica de palhetas temos condensadores.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.SP. Sistema de alto-vácuo mostrando a câmara de vácuo aberta e alguns dos seus internos. Isto se faz necessário para que o transformadores possam operar com altas tensões elétricas. No desenho seguinte vemos um circuito de vácuo construído para o bombeamento de gases e vapores voltados à remoção de umidade de transformadores elétricos de alta tensão.LTV 4. que também são bombas de Pça. Cel. 5. 30 . Discuta sobre os vários componentes auxiliares que você identifica no sistema de alto-vácuo mostrado abaixo.FATEC .CEP 01124-060 São Paulo .

Procure ver os sistemas de secagem de transformadores de potência.SP. condensadores e todos os componentes auxiliares envolvidos no módulo de bombeamento.FATEC . Sistema de pré-vácuo de alta velocidade de bombeamento para gases e vapores. Identifique as bombas de vácuo. Comentário: Apesar de os livros trazerem este tópico. veja nos catálogos maiores informações sobre o processo de bombeamento de vapores. 30 . Francisco Tadeu Degasperi Pça.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.CEP 01124-060 São Paulo . BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof.fatecsp.br . Fernando Prestes. Cel.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . sendo uma boa oportunidade de pesquisar na rede eletrônica. Vemos os vários componentes auxiliares necessários para um eficiente funcionamento do módulo de bombeamento. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Certamente você deverá fazer uma pesquisa.LTV vácuo para vapores.

Mas na vida profissional. calcular a velocidade de bombeamento das bombas de vácuo necessárias para poder atingir a pressão de operação do sistema de vácuo. Com isso queremos dizer que precisamos saber integrar as várias partes para formar o sistema de vácuo.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . assim um sistema de vácuo para empacotamento de alimentos a vácuo é bem diferente de um sistema de vácuo para um microscópio eletrônico. cálculo da quantidade de gás envolvida no processo a ser realizado em vácuo e os outros gases envolvidos. as válvulas.LTV ROTEIRO PARA ESTUDO E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 10 Sistemas de Vácuo de Aplicação Geral e sua Operação Devemos certamente conhecer bem as várias partes que compõem os sistemas de vácuo. Pça.CEP 01124-060 São Paulo .000. Cel. os medidores de vácuo.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Os sistemas de vácuo são muito diferentes entre si. um módulo de bombeamento com bomba turbomolecular com uns 500 litros/segundo de velocidade de bombeamento custa uns US$ 20. Certamente há limites. desde a câmara de vácuo. para um sistema de vácuo de um microscópio eletrônico a questão referente a pressão final na região do início do ultra alto-vácuo de estar presente. etc. Mas. desta forma deveremos levar em conta a degaseificação. Principalmente se os recursos não são poucos. isto é. neste último caso será altamente dependente o sistema de vácuo do seu desempenho junto ao bombeamento de vapor de d’água. na vida de fato.FATEC . um projeto de verdade. Os seu projetos também são muito diferentes entre si. Assim. de sucesso. pois veja. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. passadores de tensão e corrente.fatecsp. Também. Em geral é possível fazer um projeto sabendo-se de antemão os recursos disponíveis. somente tem sentido se for possível realizá-lo com os recursos disponíveis. deveremos nos envolver com a especificação da instrumentação necessária e para isso certamente nos interessará saber os preços dos vários componentes. como estudante não estamos preocupados se um determinado projeto será caro ou barato de ser realizado. Assim. isto faz com que o projetista tenha uma participação mais atuante e realística. isto é algo que não ocorrerá com o sistema de vácuo para empacotamento de alimentos. as flanges. 30 . além de nos envolvermos com os cálculos do sistema de vácuo.br . por exemplo. que são: as bombas de vácuo. cálculo estrutural da câmara de vácuo e das outras partes. o todo é mais que a soma das partes. muito mais. até os componentes mais simples.SP. Por outro lado. Fernando Prestes. Deveremos ter claro se determinados componentes auxiliares serão mesmo necessários para formar o conjunto.

Cel. Descreva o sistema de vácuo esquematizado abaixo. O sistema de vácuo 2 mostra um sistema de pré-vácuo com apenas uma bomba mecânica. Sistema de alto-vácuo com bomba difusora.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Discuta a operação dos seguintes sistemas de vácuo esquematizados a seguir. 2. Diga também como devemos proceder para desligar as bombas de vácuo. é mostrado à direita do sistema de vácuo.fatecsp. No sistema de vácuo 1 temos uma bomba turbomolecular. Fernando Prestes.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .CEP 01124-060 São Paulo . no sistema de vácuo 4 temos um sistema de pré-vácuo com bomba roots . Mostrada também a bomba de pré-vácuo e os componentes auxiliares. Vemos quatro circuitos de vácuo. Finalmente. Veja que foi feito um teste de vazamento no sistema de alto-vácuo. Faça em detalhe passo a passo um descritivo de sua operação. Como podemos colocar em operação este sistema de vácuo? Discuta sobre o tempo que a bomba difusora pode ficar sem bombeamento de pré-vácuo enquanto a bomba difusora estiver isolada da câmara de vácuo.br . Esta questão é uma boa oportunidade para recordar as características principais da importante bomba de vácuo difusora. Vemos neste sistema de vácuo a possibilidade de injeção de gases de processo. Depois do teste de vazamentos. 30 . Fale Pça. Este circuito de vácuo usaremos ao falarmos de detecção de vazamentos.FATEC . Diga passo a passo como operamos estes sistemas de vácuo.LTV 1. No sistema de vácuo 3 temos um sistema de altovácuo com bomba difusora sem anteparo e armadilha gelada. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. com gabinete branco.SP. cujo detetor de vazamentos. tendo como bomba de alto-vácuo uma bomba difusora.

SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. considere as mesmas questões para os circuitos de vácuo mostrados a seguir. 30 . eles novos.CEP 01124-060 São Paulo .fatecsp. Ainda. ao receber os sistemas de vácuo.LTV sobre os cuidados relativos à manutenção preventiva e ao procedimento caso a pressão de trabalho não seja atingida. Cel. Sistema de Vácuo 3 Sistema de Vácuo 4 Pça.SP.br . Como podemos fazer testes simples. Sistema de Vácuo 1 Sistema de Vácuo 2 Continuando.FATEC . como podemos levantar as curvas de pressão final e seus tempos de operação. Fernando Prestes. Discuta as questões.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.

Cel. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Agora. com bomba turbomolecular. Faça um esquema do circuito de vácuo deste sistema. Identifique os vários componentes auxiliares possíveis de serem vistos e diga quais bombas de pré-vácuo você consegue identificar. Fernando Prestes.FATEC . usando vedações com material VITONTM. como operá-lo? Quais os cuidados no que refere-se à contaminação? Sistema de alto-vácuo com bomba turbomolecular e mostrando ainda a bomba de pré-vácuo. 30 .LTV 3.br . qual a temperatura máxima? Diga o que deveria ser feito se as vedações a serem utilizadas fossem do tipo metálico.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. No sistema de vácuo mostrado abaixo.fatecsp. é possível identifica a câmara de vácuo ao fundo e em primeiro plano a bomba de alto-vácuo difusora com sua válvula tipo prato acima dela. Pça. Agora o circuito de alto-vácuo mostrado abaixo. digamos flanges ConflatTM. Vemos as bombas de pré-vácuo à direita na fotografia.SP.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Você consegue identificar o sistema de vácuo como um todo.CEP 01124-060 São Paulo . a câmara de vácuo e os componentes auxiliares. 4.

30 .FATEC . Pça. exiba as equações relevantes para a determinação das fontes gasosas e velocidades de bombeamento e condutância.SP. Esquema geral de um sistema de vácuo.br . Discuta o assunto em detalhe. Conforme esquema mostrado abaixo. Vale a pena retomarmos os conceitos relativos ao processo de bombeamento de gases e vapores em vácuo. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Ainda dentro desta questão.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . a câmara de vácuo ao fundo e vários componentes auxiliares.LTV Sistema de alto-vácuo com bomba difusora e mostrando ainda as bombas de pré-vácuo.fatecsp. Cel. Fernando Prestes.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.CEP 01124-060 São Paulo .

pois estamos ”juntando” as partes. Veremos em roteiros futuros como poderemos fazer para alguns casos de interesse modelos factíveis e obter resultados de forma simples e confiáveis.CEP 01124-060 São Paulo .LTV Comentário: Temos a oportunidade de verificar quase todos os assuntos e instrumentos vistos no curso. estamos entrando no mundo de fato. Essa lista é de máxima importância.fatecsp. Cel.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Quando falamos de construção de modelos para tratar sistemas físicos voltados à tecnologia tínhamos em mente considerar o cálculo de sistemas de vácuo como estes. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof.br . Fernando Prestes.SP. Francisco Tadeu Degasperi Pça.FATEC . 30 . Deposite muito carinho e empenho nesta lista.

Com relação ao bombeamento de gases corrosivos e explosivos temos a importantíssima indústria de microeletrônica. Cel. as questões referentes ao bombeamento de altas quantidades de gases e principalmente vapores.br . bombas de vácuo. Os estudantes também podem consultar os catálogos dos sistemas de vácuo especiais.FATEC . 1. Nestes casos os sistemas de vácuo devem incorporar aspectos e particularidades capazes de enfrentar estas situações adversas e incomuns para a maioria dos sistemas de vácuo tradicionais. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .CEP 01124-060 São Paulo . disponível em nossa biblioteca.LTV ROTEIRO PARA ESTUDOS E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 11 Sistemas de Vácuo para Altas Vazões e Gases Corrosivos Com a crescente aplicação da tecnologia do vácuo em processos industriais.SP. como foram as atividades de aceleradores de partículas e máquinas para o estudo da fusão nuclear controlada nas décadas de 70 e 80 do século XX. Cabe mencionar que grande parte das bombas de pré-vácuo tem operando junto a elas uma unidade de trabalho em linha do seu óleo de operação. medidores de pressão e fluxo de gases e vapores têm sido desenvolvidos para atender a indústria de microeletrônica. Neste caso temos os lavadores de gases e vapores. Além dos equipamentos específicos de vácuo uma atenção especial tem sido dada ao tratamento dos gases e vapores após o seu consumo nos reatores de processos assistidos a vácuo. Em particular estas duas últimas publicações são bastante interessantes também para sistemas de vácuo convencionais. 30 . Fernando Prestes. Muitos equipamentos especiais. uma vez que atividades em ramos da indústria de alimentos. os chamados scrubbers.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Estas unidades são fundamentais para manter operando as bombas de prévácuo em atmosfera altamente corrosiva. O que é e como funciona um “scrubber”? Como conectá-lo ao sistema de vácuo? Pça.fatecsp. Nesta disciplina de tecnologia do vácuo não iremos aprofundar esta questão. Fundamentais para tornar inócuos os gases e vapores após a sua utilização. as revistas especializadas Semiconductor International e Solid States Technology. em especial o vapor d´água. apenas iremos considerar algumas situações comumente encontradas no que se refere ao bombeamento de vapor d´água. uma vez que trazem muitas informações bastante atualizadas. têm estado na pauta dos grandes desenvolvimentos em tecnologia do vácuo. As questões que seguem devem ser respondidas consultando o excelente livro High Vacuum Production in Microelectronics Industry de Pierre Duval. Temos também os sistemas de vácuo que precisam operar em atmosferas corrosivas e com gases explosivos. fármacos e outras correlatas usam muito a tecnologia do vácuo com bombeamento de muitos tipos de vapores. Esta indústria está sendo uma grande propulsora da tecnologia do vácuo.

FATEC . Note a instalação do lavador de gases e vapores. Veja também os medidores de pressão.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . na verdade dois sistemas de vácuo. Veja o sistema de vácuo mostrado abaixo. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.SP. Fernando Prestes. Descreva estes sistemas de vácuo dando atenção especial ao circuito de injeção de gases e vapores e a sua exaustão segura.br .CEP 01124-060 São Paulo . 30 . Sistema de vácuo utilizado na indústria de microeletrônica. Pça. Cel.fatecsp. Digamos que devemos operar um sistema de vácuo em região de 10-4mbar. Como você pensaria na questão: Utilizaria Bomba Turbomolecular ou Bomba Roots? 3. um à direita e o outro à esquerda do diagrama.LTV 2.

CEP 01124-060 São Paulo . Assim. Mais uma vez vemos o conceito da condutância assumindo um papel central junto com o conceito de condensação de vapores.br . 30 .fatecsp.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.LTV 4. Este sistema de vácuo deve bombear tanto gases e vapores. responda: Por que o circuito de vácuo da esquerda não é recomendado enquanto o circuito de vácuo da direita é recomendado. sendo muito importante para a qualidade do processo uma baixa quantidade de vapores. alimentos e outras relacionadas com a biotecnologia e correlato. Comentário: Com o advento da indústria de microeletrônica. o assunto tratado neste roteiro está entre os sistemas de vácuo mais importantes e que têm movimentado o desenvolvimento desta tecnologia. Sistema de vácuo para bombeamento de gases e vapores eficientemente bombeados. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Francisco Tadeu Degasperi Pça.FATEC . Fernando Prestes.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .SP. Veja o diagrama bastante simplificado do sistema de vácuo mostrado abaixo. Além de ser também bastante utilizado muitos dos desenvolvimentos na indústria de fármacos. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. Cel.

Fernando Prestes. Para um proveito à altura da sofisticação. Desta forma.LTV ROTEIRO PARA ESTUDO E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 12 Sensores de Pressão Parcial e Análise de Gases Residuais Nos processo tecnológicos atuais cada vez mais o controle das variáveis envolvidas são de importância crescente. Pça. devemos saber operá-los e interpretar os dados extraídos deles. em condições de início de alto-vácuo. sua relação carga-massa será 1 para 1. os instrumentos de análise estão cada vez mais sofisticados e precisos. mas uma análise mais profunda mostra que os níveis de pressão parcial de água é excessivo para tal processo. Desta forma. intrínseca ao processo de análise. na maior parte das aplicações o conhecimento da ordem de grandeza é o suficiente. se ele for ionizado.CEP 01124-060 São Paulo . temos a necessidade do conhecimento dos tipos de gases presentes no sistema de vácuo. expliquemos com mais detalhe.fatecsp. Apesar desta limitação. Neste sentido precisaremos de uma instrumentação adequada para fazer a análise dos tipos de gases e vapores presentes na câmara de vácuo. além do valor da pressão total. para tanto. este método de separação não conseguirá separar as duas situações.FATEC . pode ocorrer que para um determinado processo o valor de pressão atingido na câmara de vácuo é suficiente para a realização dele. Cel. Seja um átomo de hidrogênio.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Estamos adotando estas unidades tanto de carga como de massa.br . um deles é o fato de na câmara de ionização haver um filamento e este precisa estar em baixas pressões para não danificar. Verificamos que em muitos processos que ocorrem em vácuo o valor da pressão é fundamental. muitos resultados podem ser obtidos e em geral são extremamente úteis a muitos processos que ocorrem em vácuo. 30 . Em linhas gerais a idéia é ionizarmos os átomos e moléculas que estamos detectar e quantificar a sua presença e em seguida acelerar estas partículas por uma combinação de campos elétricos e magnéticos.SP. Em tecnologia do vácuo. Este tipo de procedimento é crucial para uma série de aplicações e processos em vácuo. de partida um conhecimento do seu princípio do funcionamento é fundamental. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. a faixa de pressão.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. ou melhor. Em muitos processos assistidos a vácuo. Por exemplo. Em linhas gerais o princípio físico é bastante simples para poder fazer a separação das moléculas e assim determinar qualitativa e quantitativamente a presença delas. o valor da pressão nem sempre tem importância central. Se agora tivermos uma molécula de hidrogênio – H2 – e tivermos dupla ionização a relação carga-massa será 2 para 2 que o mesmo 1 para 1. Veja que falamos da relação carga-massa. aproximadamente ao redor de 10-4 mbar. A física envolvida é simples e acabaremos por encontrar uma relação carga-massa para as partículas com uma determinada órbita a ser satisfeita. esta é uma limitação intrínseca ao processo de seleção de partículas por meio de uma combinação de campos elétricos e magnéticos. e o outro motivo é que a pressão precisa ser baixa o suficiente para o livre caminho médio ser grande a ponto de não desviar a órbita dos átomos ou moléculas. Há dois motivos. Um outro aspecto que devemos considerar é o fato da necessidade desses equipamentos precisarem operar. no mínimo de pressão.

linha de bombeamento. Esquema geral de sistema de vácuo com analisador de gases residuais. defina de forma clara o que é pressão total e pressão parcial de uma determinada mistura gasosa.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Veja o esquema de um circuito de sistema de vácuo com a presença da câmara de vácuo.LTV 1. 30 . com possibilidade de injeção controlada de gases (veremos este assunto próximo roteiro) e um analisador de gases e vapores. Expresse a lei de Dalton das pressões parciais e total. Cel. Comente o sistema de vácuo no que se refere ao processo de bombeamento. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. aquele devido ao bombeamento e por fim aquele devido às fontes de gases e vapores. ou seja.br . Neste sentido. medidores de pressão total. cujo valor de pressão é devido a presença de todos os tipos de átomos e moléculas.CEP 01124-060 São Paulo . bombas de vácuo. e como podemos entender a idéia de medição de pressão parcial de um determinado tipo do gás. aquele devido a variação de pressão na câmara de vácuo.SP.FATEC . A lei de Dalton é óbvia? Quais são as suas limitações.fatecsp. 2. Qual o pressuposto básico para que ela seja válida? Pça. A figura abaixo mostra de forma esquemática como podemos entender a idéia de medição de pressão total. Fernando Prestes. considerando os três termos importantes.

FATEC . Pça.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Nos circuitos dos sistemas de vácuo mostrados abaixo localize as suas várias partes e mostre o as posições de instalação dos medidores de pressão parcial. Sistemas de vácuo com analisadores de gases residuais.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .SP. Vemos também nesses sistemas de vácuo a instrumentação para a injeção controlada de gases e vapores.LTV Concepção básica da tarefa a ser realizada por um medidor de pressão parcial. Fernando Prestes.CEP 01124-060 São Paulo . Podemos também identificar as câmaras de vácuo com as bombas de vácuo e suas respectivas linhas de bombeamento. Cel. 3.fatecsp.br . 30 . Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.

Esquema básico de espectrômetro de massa. tanto do ponto de vista mecânico como eletrônico. está baseado somente em campos elétricos. O esquema básico do arranjo. Consulte os livros e diga em linhas gerais como funciona este instrumento bastante sofisticado.SP.CEP 01124-060 São Paulo . Seu nome é espectrômetro de massa quadrupolar.FATEC . O método mais simples que podermos ter para identificar átomos e moléculas é aquele baseado no princípio de ionizarmos estes átomos e moléculas. mais difícil de entender que aquele espectrômetro de massa mostrado na questão anterior. Este tipo de espectrômetro é Pça. cuja concepção geométrica básica está mostrada na figura a seguir. em seguida acelerados por meio de um campo elétrico constante e posteriormente desviar o feixe de partículas eletricamente carregadas por meio de um campo magnético uniforme e constante.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . chamado de espectrômetro de massa está mostrado abaixo. Um tipo de espectrômetro de massa cujo princípio físico.LTV 4.br . Monte as equações de movimento e discuta o arranjo. Um método mais sofisticado para a análise de gases residuais consiste de um filtro de massa. Fernando Prestes. Cel. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.fatecsp. 5.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. 30 .

Infelizmente nos livros de tecnologia do vácuo temos duas situações sobre este assunto no que se refere à exposição dos princípios físicos do espectrômetro de massa quadrupolar. Esquema básico de um espectrômetro de massa quadrupolar.FATEC . Não obstante. sendo uma das características básicas o fato de não ter eletroimã e nem imã permanente. Comentário: O assunto tratado neste roteiro está cada vez mais presente em diversos sistemas de vácuo. Cel.SP. ou são muito pouco profundos ou poucos livros são extremamente profundos.CEP 01124-060 São Paulo . técnicas e instrumentos de espectrometria de massa. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Francisco Tadeu Degasperi Pça.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.fatecsp. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Desde então estes equipamentos estão sendo mais usados e constituem um instrumento bastante útil para analisar as condições de vácuo em inúmeras aplicações. 30 .LTV o mais utilizado em tecnologia do vácuo.br . devemos encontrar muitas informações nos catálogos e para um estudo mais profundo podemos obter informações em livros específicos sobre princípios. Até uns 20 anos atrás os analisadores de gases residuais eram pouco utilizados em tecnologia do vácuo devido ao seu alto custo. Além dos livros. podemos ter um mínimo de entendimento sobre os instrumentos e suas técnicas de análise e interpretação de dados. Fernando Prestes. isso o torna leve e compacto.

Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.litro. e no caso da segunda unidade. esta mesma quantidade de gás entra no sistema de vácuo em um segundo. Em tecnologia do vácuo há essencialmente dois tipos de medidores de fluxo de gases.fatecsp.s-1. Em tecnologia do vácuo a quantidade de gás é em geral dada em termos de throughput. Com os rotâmetros podemos fazer determinação de fluxo de gás. estamos novamente diante de uma instrumentação relativa nova dentro da tecnologia do vácuo.SP. temos que injetar um determinado gás ou vapor para que o processo possa ser realizado. após ter atingido uma certa faixa de pressão. ou em inglês. Estas unidades significam.m3. standard cubic centimeter per second. assim temos pela frente uma tarefa relativa em determinar qual a quantidade de gás ou vapor que deve ser injetada no sistema de vácuo e em seguida determinar experimentalmente este valor de quantidade de gás. Tanto os rotâmetros como os medidores de fluxo de massa térmico são medidores fáceis de serem entendidos em seus princípios.segundo-1. Nos processos em vácuo encontramos inúmeras situações que após a pressão ter atingido um determinado valor de pressão. Já com os medidores de fluxo de massa térmico é possível determinar um certo throughput e a eletrônica de controle do medidor ajusta internamente a posição da sua válvula ajustando a quantidade de gás. Além dessas unidades há outras duas unidades bastante utilizadas que são o SCCM e o SCCS. mass flow meter. O primeiro significa standard cubic centimeter per minute e o segundo. desde a pressão bem próxima da pressão atmosférica e podendo atingir a região de alto-vácuo.segundo-1 e o corretamente em acordo com o Sistema Internacional de Unidades – SI – Pa.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . no caso da primeira que em um minuto um centímetro cúbico de gás estando a pressão de uma atmosfera e 293 K entra no sistema de vácuo. os rotâmetros e os medidores de fluxo de massa térmico.FATEC . torr. Pça.br . Fernando Prestes.LTV ROTEIRO PARA ESTUDO E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 13 Medidores e Controladores de Fluxo de Gases e Vapores Como no caso do roteiro anterior. mas não podemos fazer o controle de gás de forma rápida e precisa. Devemos ficar atendo pois algumas vezes temos a definição dessas últimas unidades feitas em uma temperatura ligeiramente diferente da apresentada. 30 .CEP 01124-060 São Paulo . ou melhor. Cel. Há sistemas de vácuo que encontramos a injeção controlada de gases podendo variar em extensas faixas de pressão. As unidades mais usadas são o mbar. Há também casos em que uma mistura de gases e vapores participa do processo assistido a vácuo.litro.

Apresente as unidades para esta grandeza. Pça. Cel. Desenho esquemático do rotâmetro e detalhando o seu flutuador. Explique como funciona o rotâmetro. No circuito de vácuo mostrado abaixo identifique os medidores de fluxo de gás.LTV 1.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .fatecsp. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. 2.FATEC . Monte a equação de equilíbrio do flutuador a partir das leis de Newton.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.SP. Sistema de vácuo com medidores e controladores de fluxo de gás. 30 .br . Fernando Prestes.CEP 01124-060 São Paulo . definindo e interpretando ainda SCCM e SCCS. Veja um catálogo deste produto e apresente aquele que mede o menor fluxo de gás.

Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Cel. 30 . Fernando Prestes.SP. 3. Como funciona o medidor de fluxo de massa térmico (mass flow meter).LTV Desenho em detalhe e figura mostrando rotâmetros com vários tipos de flutuadores. Faça uma busca na rede Internet. Explique como ele funciona a partir de primeiros princípios.br .fatecsp.FATEC . Veja além dos livro indicados os catálogos da empresas fabricantes. Diagrama esquemático de um medidor de fluxo de massa térmico Pça.CEP 01124-060 São Paulo .SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.

muito utilizados na indústria de microeletrônica.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Cel. Fernando Prestes. Pça.FATEC .br . 30 . Sistemas de vácuo utilizados na indústria de microeletrônica.LTV 4. Continuando na mesma questão. Identifique os instrumentos relacionados a injeção controlada de gases. Discuta o circuito de injeção de gases e identifique os medidores e as outras partes.fatecsp. Na figura a seguir vemos uma montagem típica de medidores de fluxo de massa térmico.CEP 01124-060 São Paulo .SP. válvulas e outros componentes auxiliares em aço inoxidável da linha de injeção controlada de gás. veja os circuitos de vácuo mostrados a seguir.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Montagem com medidores e controladores de fluxo de massa térmico e os tubos.

fatecsp. linha de bombeamento e ao sensor de pressão. injeção controlada de gases utilizando um medidor de fluxo de massa térmico. Fernando Prestes. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. medição de pressão total. Veja que há um compromisso entre a velocidade de bombeamento efetiva na câmara de vácuo e a injeção controlada de gás. Mis uma vez o conceito de condutância é fundamental para estabelecermos uma velocidade efetiva de bombeamento compatível com as necessidades do processo. Temos a seguir um sistema de alto-vácuo mostrando todos os equipamentos necessários à produção. Cel.FATEC . Tudo isso acontecendo a uma certa pressão determinada de partida. Sistema de alto-vácuo com injeção controlada de gás integrada à bomba de vácuo.LTV 5.SP.CEP 01124-060 São Paulo . 30 .br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.br . Pça. Explique como podemos conceber um sistema integrado entre essas partes com o propósito de estabelecermos uma injeção de gás de forma que a pressão fique dentro de uma faixa de valores pré-determinada.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Veja que podemos ter um dispositivo colocado entre a válvula gaveta de alto-vácuo e a bomba de alto-vácuo a fim de proporcionar a escolha da velocidade efetiva de bombeamento e desta forma introduzirmos uma quantidade de gás necessária ao processo ocorrendo na câmara de vácuo com um certo tempo de residência do gás de processo.

SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Cel. Poderemos encontrar informações mais precisas e atualizadas nos catálogos das empresas fabricantes dos rotâmetros e dos medidores de fluxo de massa térmico. Fernando Prestes. podemos ter um mínimo de entendimento sobre ele. Há também informação disponível em revistas e periódicos da área de fabricação de circuitos integrados.fatecsp.CEP 01124-060 São Paulo . procedimentos e técnica na área da tecnologia do vácuo em geral. Sistema de vácuo utilizado na indústria de microeletrônica com a injeção controlada de vapor. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.SP. o medidor de pressão e a injeção controlada de vapor. A seguir vemos um sistema de vácuo com injeção de vapores.LTV 6. ou seja. 30 .FATEC .br . BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. Francisco Tadeu Degasperi Pça. na área de microeletrônica. a bomba de vácuo conectada à linha de bombeamento. Qual a preocupação básica que deveremos ter na injeção de vapor em relação à injeção de gás. Ele ainda não está devidamente sendo tratado nos livros da área. Comentário: O assunto exposto neste roteiro é um tópico que podemos dizer que é um refinamento dentro da tecnologia do vácuo. Veja que mais uma vez o fenômeno de pressão de vapor está presente.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Apesar de termos iniciado o assunto. Identifique no esquema as partes do sistema de vácuo: a câmara de vácuo. Ainda cabe mencionar que revistas nesta área trazem muita informação em geral de equipamentos.

nuclear. pois estes podem tapar os possíveis vazamentos. Desta forma estaremos verificando o instrumento e também a nós mesmos. removendo óleos e graxas. Uma boa prática antes de começar a trabalhar com o detetor de vazamentos é sempre ter a mão uma peça que sabemos que há vazamento e proceder na sua busca. Pça. Esta combinação em geral torna a tarefa de detectar vazamentos extremamente árdua. talvez o mais importante seja o elemento humano. metodologia e elemento humano. como por exemplo: indústrias alimentícia. O fato está na dificuldade muitas vezes de determinar a posição de um certo vazamento.fatecsp. trocadores de calor. Os três ponto são importantes. A detecção de vazamentos talvez seja a tarefa mais ingrata dentro da tecnologia do vácuo.CEP 01124-060 São Paulo . Fernando Prestes. Este assunto tem experimentado grande evolução dentro da Tecnologia do Vácuo tanto no que se refere a instrumentação como nas práticas de trabalho automatizadas.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Também devemos nos preocupar em ter as peças limpas antes de fazermos os testes de vazamentos. Neste último caso usamos um espectrômetro de massa posicionado para detectar um determinado tipo gás a ser usado como gás de busca. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. ou até mesmo de decidir se ele existe ou não. De nada nos serve se temos um excelente detetor de vazamentos e não dominamos as técnicas de detecção de vazamentos. 30 . refrigeração. Os motivos principais para este assunto ser bastante importante na tecnologia do vácuo é que vazamentos em geral limitam ou até mesmo impede um bom desempenho dos sistemas de vácuo e também o fato da instrumentação mais sensível existente para a detecção de vazamentos operar em vácuo. Principalmente se os equipamentos forem de grande porte e os vazamentos pequenos. Desta forma devemos ter sempre presente que além de conhecer o princípio de funcionamento dos detetores de vazamentos de deveremos conhecer as formas de utilizá-lo e certamente como interpretar os resultados. As técnicas desenvolvidas aplicáveis a todos os ramos da tecnologia onde há a exigência de recipientes estanques. combustível. e muitas outras.FATEC . Sem uma dessas pernas a mesa não se sustenta.SP. Muitas vezes podemos passar horas na busca de um vazamento.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .br .LTV ROTEIRO PARA ESTUDOS E EXERCÍCIOS DE FIXAÇÃO – 14 Detecção de Vazamentos Entre os assuntos mais importantes da Tecnologia do Vácuo está sem dúvida alguma a detecção de vazamentos. Devemos ter sempre em mente que o sucesso da tarefa de detectar vazamentos depende do seguinte tripé: instrumentação. Cel. farmacêutica.

além de termos um acompanhamento da evolução da pressão e sua composição gasosa no sistema de vácuo. Não despreze este teste. Pça. arcondicionados e outros equipamentos do tipo. assim. Fale da sensibilidade deste teste. Teste de vazamentos pela imersão da peça pressurizada em um tanque com água. Fernando Prestes. A mesma teoria e princípios físicos utilizados neste método de detecção de vazamentos é a base física para outros tipos de testes de vazamentos muito utilizados na indústria. conforme esquematizado abaixo. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Explique o funcionamento de funcionamento do espectrômetro de massa tipo setor magnético. em algumas atividades industriais este teste de detecção de vazamentos é bastante utilizado.br .SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . 2. Por exemplo.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Uma vantagem é que os analisadores de gases residuais estão sempre conectados aos sistemas de vácuo. O que significa ter um gás de busca? Como podemos detectar um vazamento considerando as duas partes anteriores desta questão? Veja que já iniciamos o estudo de espectrômetro de massa quando estudamos os analisadores de gases residuais. No caso do teste acima a ser trabalhado é intensamente utilizado na indústria de compressores para geladeiras. poderemos quando necessário utilizá-lo como detetor de vazamentos. Explique o princípio de funcionamento do teste de vazamento do borracheiro.LTV 1.FATEC .fatecsp. Apesar da sua extrema simplicidade podemos conseguir muito com ele. Você pode fazer o modelo utilizando conceitos físicos vistos no conteúdo teórico desta disciplina. 30 .SP. Faça um modelo físico dele.CEP 01124-060 São Paulo . Cel. Na verdade esses equipamentos são também utilizados como detetores de vazamentos.

br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.fatecsp. Pça. 3. Necessariamente deveremos manter o espectrômetro de massa em pressões em torno de 10-4 mbar na pior das hipóteses. Descreva em detalhe qual a seqüência de operação do detetor de vazamentos considerando o desenho mostrado a seguir. Pense no seguinte problema: Quando temos um sistema de vácuo de grande porte. caso contrário poderemos ter o seu filamento queimado. e precisamos fazer um teste de vazamentos.FATEC .br . Como funciona o detetor de vazamentos como um todo. Vemos a seguir um do tipo de gabinete grande. Diga como é o princípio de funcionamento do detetor de vazamentos de fluxo direto e contra-fluxo.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . com a bomba de pré-vácuo. Veja que os detetores de vazamentos baseados em espectrômetros de massa são sistemas de alto-vácuo.SP. para inicialmente bombear a peça a ser testada e em seguida a bomba de alto-vácuo que bombeará tanto o espectrômetro de massa como a peça em teste. como devemos proceder.CEP 01124-060 São Paulo . Discutiremos em mais profundidade a seguir este assunto. Cel. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Fernando Prestes. Vemos um sistema de vácuo completo. 30 . Veja que se usarmos as bombas de vácuo do próprio detetor de vazamentos a tarefa pode ficar quase impossível de ser realizada.LTV Esquema de um espectrômetro de massa como o elemento principal de um detetor de vazamentos.

CEP 01124-060 São Paulo .SP.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . Fernando Prestes.LTV Detetor de vazamentos com espectrômetro de massa.fatecsp. A peça pressurizada com uma mistura com o gás hélio. 4. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www.br . Faça um esquema de trabalho para fazer a detecção de vazamentos das situações mostradas. Cel. Pça.br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.FATEC . Método sniffer. 30 .

br Fax: (011) 3315-0383 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp.br . Vamos desenvolver a questão. 5. Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. em deles a peça a ser testada a sua estanqueidade está sob vácuo e no outro a peça está pressurizada. Sistema de alto-vácuo industrial. Com relação ao sistema de alto-vácuo mostrado na figura a seguir.LTV A peça sendo detectado vazamentos sob vácuo. Fernando Prestes.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo .fatecsp. Método de detecção sob vácuo.FATEC .CEP 01124-060 São Paulo . 30 . ou seja. Cel. Pça.SP. Estes são os dois métodos básicos de detecção de vazamentos.

O sistema de bombeamento do detetor de vazamentos é insuficiente para fazermos vácuo na câmara de vácuo e suas partes periféricas. Anotar a seqüência de verificação das partes suspeitas de vazamentos. Aponte produtos em seu cotidiano cuja detecção de vazamentos você acredita ser importante para a qualidade desses produtos. Este procedimento é muito utilizado em equipamentos de médio e de grande porte. Francisco Tadeu Degasperi São Paulo .LTV Veja que temos como tarefa detectar vazamentos deste sistema de alto-vácuo de médio porte.br Fax: (011) 3315-0383 Pça. BOM TRABALHO!!! Disciplina de Tecnologia do Vácuo – Curso MPCE Prof. mas não muita para não haver confusão na interpretação dos resultados. vedações das flanges. por exemplo. Considere a calibração do detetor de vazamentos.br . Brasil Tel: (011) 3322-2217 www. Cel. mas de outras áreas também. métodos de utilização e interpretação de resultados.CEP 01124-060 Laboratório de Tecnologia do Vácuo – LTV ftd@fatecsp. Neste caso usamos o próprio sistema de bombeamento da câmara de vácuo para atingir pressões da ordem de 10-3 ou 10-4 mbar e conectamos o detetor de vazamentos entre a bomba de difusão e bomba mecânica do sistema de vácuo em teste. No caso devemos borrifar o hélio iniciando de cima para baixo. O ideal é ter alguma para não acumular hélio no ambiente. Fernando Prestes. Faça uma exposição dos passos para fazer o teste de vazamento. interpretaremos errado os resultados. principalmente. e outras partes. Poderemos encontrar muitas informações atualizadas nos catálogos das empresas fabricantes dos detetores de vazamentos e também resumos de seus princípio de funcionamento. Devemos ter presente que necessitamos de uma boa instrumentação. A detecção de vazamentos talvez seja a tarefa mais trabalhosa a ser realizada em tecnologia do vácuo.FATEC . Com isso.fatecsp. soldas. Comentário: O assunto exposto neste roteiro é um tópico de muita importância em inúmeras aplicações não somente da tecnologia do vácuo. 30 . Fale da importância dos testes de vazamento para as muitas atividades industriais e tecnologia em geral. mas a habilidade do profissional e sua organização e sistemática são fundamentais para uma realização da tarefa com sucesso. precisamos ter muita organização e sistematização nos testes de vazamento. Veja que o deslocamento de ar pode carregar hélio de um lugar que não há vazamento para um lugar onde há vazamento. como devemos fazêla? Nos sistemas de vácuo de médio e grande portes. 6.SP.SP Faculdade de Tecnologia de São Paulo Laboratório de Tecnologia do Vácuo . ver se há muita ventilação.

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