Auger Electron Spectroscopy (AES)

LSAP del Centro de Astrobiologa (CAB, CSIC-INTA), Ctra. de Ajalvir, km 4, 28850 Torrejn de Ardoz, Madrid, Espaa
Que es?
Se trata de una tcnica de anlisis, para obtener informacin
qumica, en superficies de materiales slidos

Manipulador de precisin, XY
12.5mm, Z 155mm, (0 a 360)

Sistema de AES en Ultra Alto Vaco

Manipulador
Circuito de
refrigeracin

Fuente de Electrones
Porta muestras

e-

e- Auger

Horno
-100 C < T < 500 C

Muestra ~

Detector

1cm2

Fuente de Electrones

Objetivo de la tcnica
Determinar la composicin, de los elementos presentes en la superficie
de materiales slidos. Materiales aislantes y conductores pueden ser
analizados en superficie, en reas de unas pocas micras. Su
fundamento est en el efecto Auger, que consiste en la emisin de un
electrn de energa definida despus de la ionizacin por produccin de
un hueco en un nivel interno de un tomo.

Detector de 9 canales

Porta muestras con horno y

sistema de refrigeracin

EKin

Requisitos
EVac

La muestra a estudiar se debe encontrar en condiciones de Ultra Alto Vaco (>10-9 mbar.). Y ser expuesta en estas condiciones
frente a una fuente de electrones, que ofrezca una energa en un rango entre 1000 y 5000 eV

EFermi
E3

Funcionamiento

E2

Proceso Auger

E1

Informacin Analtica

Los electrones que provienen de una fuente, inciden contra la superficie

a analizar. En la interaccin del tomo con fotones o electrones que se
hacen incidir sobre la superficie, se produce un in, que rebaja su
energa rellenando el hueco creado por un electrn de un nivel ms alto,
con emisin de la energa sobrante. Esta puede emitirse en forma de
fotn o suministrarse como energa cintica a otro electrn menos
ligado. El segundo efecto, sin emisin de radiacin es el efecto Auger.
En la practica los espectros Auger se miden en forma diferenciada
(dN(E)/dE) ,comnmente se etiquetan las energas de las transiciones
Auger como la correspondiente a la posicin del mnimo (excursin
negativa) del pico diferenciado, que, como vemos no es la de la
verdadera transicin que esta en el mximo del pico en N(E).

Electrn
Auger

Electrn
Electrn

10 nm
muestra

Espectro Auger de Au, sobre Si, sin limpiar con Ar

Ventajas

Anlisis cuantitativo Se determina un espectro que identifica, los elementos

qumicos presentes en la superficie, en una profundidad de hasta 20 ngstrom.
Todos los elementos, excepto el hidrogeno y el helio, son detectados.

1. Gran resolucin espacial. Barrido: mapas de composicin

(lento)

Alta Resolucin del Scan Se pueden detectar concentraciones elementales muy

bajas (0.1%. ). Existen tablas con las energas de ligadura de todos los elementos
qumicos presentes en la naturaleza.
Composicin en sistemas multicomponentes Se puede identificar la
concentracin de los elementos en los espectros, y determinar el rea que ocupan
cada uno de los mximos de esos espectros. Por medio de estos patrones de
estudio, se determina la concentracin qumica de los constituyentes presentes en
la superficie.

Electrones
primarios

2. Buena resolucin para perfiles de composicin en

profundidad

3. Rpida recogida de espectros (<5 min)

Au

4. Cuantificacin mejor que el 10%

5. Gran reproducibilidad, estrecho rango de sensibilidad

6. Accesible base de datos

Desventajas

Depth profiling AES es muy utilizada combinada con la erosin por iones para
proporcionar un anlisis qumico en profundidad (depth profiling)

1. Dao por haz de electrones, artefactos y efectos de carga

SAM (Scanning Auger Microscopy) Incorporando el sistema de deteccin de

electrones Auger a un sistema de Microscopa, es posible conocer, con la precisin
que el haz incidente proporcione, la composicin lateral

2. rea de anlisis doble al tamao del spot

Especificaciones tcnicas fuente de electrones

Sensibilidad relativa electrones Auger

Energa: 100eV a 5keV

dN (E )
dE

Voltaje del Grid: 0 a 300 V

Corriente mxima: > 10A
Tipo de filamento: LaB6

Distancia de focalizacin: 15mm

Sensibilidad relativa

Longitud de la fuente: 270 mm

Au

Presin de funcionamiento: 5xE-9 mbar

Bakeout: 250C

Aplicaciones
Anlisis de contaminantes en pelculas delgadas
Medida de la composicin qumica
Nmero atmico

Cuantificacin de los perfiles

compuestos en superficies

de

concentracin

de
Salida electrones