Design and Analysis of MEMS

微機電設計與分析
華梵大學機電所
李福星教授 研究生陳志雄

李福星教授研究團隊

內容大綱
• 微機電設計 -MEMS Pro
1. MEMS Pro 功能說明
2. MEMS Pro 應用
• 微機電分析 -ANSYS
1. ANSYS 功能說明
2. ANSYS 在 MEMS 上的應用
3. ANSYS 模擬分析
李福星教授研究團隊

內容大綱
• 微機電設計 -MEMS Pro
1. MEMS Pro 功能說明
2. MEMS Pro 應用
• 微機電分析 -ANSYS
1. ANSYS 功能說明
2. ANSYS 在 MEMS 上的應用
3. ANSYS 模擬分析
李福星教授研究團隊

MEMS Pro 功能說明
MEMS Pro
一套利用在設計
半導體與微機電結構
之設計、分析軟體。
可分成下列五項功能:
(Mask level)
L-Edit( 光罩、佈局
)
LVS
(Netlist level)
W-Edit( 波形處理器 )
S-Edit( 電路編輯軟體 )
T-Spice( 電路模擬器 )

李福星教授研究團隊

MEMS Pro 功能說明
TOTAL MEMS DESIGN SOLUTION
MEMS Pro V3.0
Layout

Process
emulation

System
simulation

Fabrication

李福星教授研究團隊

ANSYS
Multiphysics

MEMS Pro 功能說明
MEMS Pro L-Edit
功能說明
MEMS 例題: ElectroThermal Actuator

李福星教授研究團隊

MEMS Pro 功能說明
MEMS Pro L-Edit
功能說明
MEMS 例題: ElectroThermal Actuator

李福星教授研究團隊

MEMS Pro 功能說明
MEMS Pro L-Edit
功能說明
MEMS 例題: ElectroThermal Actuator

李福星教授研究團隊

MEMS Pro 功能說明
MEMS Pro L-Edit
功能說明
MEMS 例題: ElectroThermal Actuator

李福星教授研究團隊

內容大綱
• 微機電設計 -MEMS Pro
1. MEMS Pro 功能說明
2. MEMS Pro 應用
• 微機電分析 -ANSYS
1. ANSYS 功能說明
2. ANSYS 在 MEMS 上的應用
3. ANSYS 模擬分析
李福星教授研究團隊

MEMS Pro 應用 (1)
• Micro Rotary (Wankel)
• Micro Erickson (Planar) Engines
• Micro Gas turbines (MIT)

http://euler.me.berkeley.edu/mrcl/kelfu.html
http://www.ida.org/MEMS/pimeetingjan_2/sld018.htm

李福星教授研究團隊

MEMS Pro 應用 (2)
• Loading & Metering structures
• Blood separation
• Valving structures
• Mixing
• Electro-chemical Analysis
• High density assays
• Clinical diagnostics
• DNA analysis
www.tecan.com
www.acs.ohio-state.edu/units/research/archive/labcdvid.htm

李福星教授研究團隊

內容大綱
• 微機電設計 -MEMS Pro
1. MEMS Pro 功能說明
2. MEMS Pro 應用
• 微機電分析 -ANSYS
1. ANSYS 功能說明
2. ANSYS 在 MEMS 上的應用
3. ANSYS 模擬分析
李福星教授研究團隊

ANSYS 功能說明
ANSYS

Magnetic

一套利用在模擬
微機電結構之軟體。
1. 微結構分析
2. 電磁分析

Fluid
Electrostatic
Structural
Thermal
Electrical
HF
EMAG

李福星教授研究團隊

內容大綱
• 微機電設計 -MEMS Pro
1. MEMS Pro 功能說明
2. MEMS Pro 應用
• 微機電分析 -ANSYS
1. ANSYS 功能說明
2. ANSYS 在 MEMS 上的應用
3. ANSYS 模擬分析
李福星教授研究團隊

ANSYS 在 MEMS 上的應用

• Inertial Devices

• Comb & thermal Actuators

Electromagnetic

• Pressure Transducers
Fluid

Electrostatic
Structural

• RF Filters – Resonators(ANSYS7.0)
Thermal

• Lab-on-a-chip
• Ink Jet printer technology
• Micromirror technology

Electrical

李福星教授研究團隊

ANSYS 在 MEMS 上的應用 (1)
Inertial Sensor - Accelerometer

李福星教授研究團隊

ANSYS 在 MEMS 上的應用 (2)
Electro-thermal actuator

李福星教授研究團隊

SEM Image courtesy of Victor
Bright, U Col. Boulder.

ANSYS 在 MEMS 上的應用 (2)
Electro-thermal actuator

Voltage contours & displacement

李福星教授研究團隊

SEM Image courtesy of Victor
Bright, U Col. Boulder.

ANSYS 在 MEMS 上的應用 (3)
Electrostatic Micro Mirror

李福星教授研究團隊

內容大綱
• 微機電設計 -MEMS Pro
1. MEMS Pro 功能說明
2. MEMS Pro 應用
• 微機電分析 -ANSYS
1. ANSYS 功能說明
2. ANSYS 在 MEMS 上的應用
3. ANSYS 模擬分析
李福星教授研究團隊

ANSYS 模擬分析 - 微結構分析
結構:長 x 寬 =1000x500
第一層聚亞醯胺( polyimide,
PI )
厚度: 25
第二層厚膜光阻( SU8 )
厚度: 50
第三層矽基材( Si-substrate )
厚度: 100
單位: micrometer

李福星教授研究團隊

ANSYS 模擬分析 - 微結構分析
• 材料參數
楊氏係數
(E)

浦松比(
ν)

最大應力(
σ)
max

密度(
kg)
/ m3

矽基材
(Si-Substrate)

169GPa

0.22

X

X

厚膜光阻
(SU8)

4.4GPa

0.22

34MPa

X

聚亞醯胺
(Polyimide,
PI)

2.5GPa

0.34

231MPa

1.42

李福星教授研究團隊

ANSYS 模擬分析 - 微結構分析
• 上層:薄膜分析

薄膜應變分佈圖

薄膜應力分佈圖

李福星教授研究團隊

ANSYS 模擬分析 - 微結構分析
• 中層: SU8 厚膜光

厚膜光阻應變分佈圖

厚膜光阻應力分佈圖

李福星教授研究團隊

ANSYS 模擬分析 - 微結構分析
• 下層:矽基材

矽基材應變分佈圖

矽基材應力分佈圖

李福星教授研究團隊

ANSYS 模擬分析 - 微結構分析結果

Displacement

李福星教授研究團隊

ANSYS 模擬分析 - 電磁分析
• 平面線圈
設計模擬之電磁致動器架
構如圖所示,可分為平面線
圈、線圈鐵心、可動之微結
構及微結構上之導磁塊。

李福星教授研究團隊

ANSYS 模擬分析 - 電磁分析
• 磁場分析結構圖
c=100
ts=25
w=25
wd=25
tc=25
s=800
tn=20
d=100
n=12 (匣)
單位: micrometer

李福星教授研究團隊

ANSYS 模擬分析 - 電磁分析
在分析上,採用 ANSYS
軟體作結構與電磁場分
析。磁場分析之結構圖
如右所示。

李福星教授研究團隊

ANSYS 模擬分析 - 電磁分析
• 材料參數
相對導磁係數
銅 (Cu)

1.0

NiFe

300

空氣 (air)

1.0

李福星教授研究團隊

ANSYS 模擬分析 - 電磁分析結

• 平面線圈所產
生的磁力線分

李福星教授研究團隊

ANSYS 模擬分析 - 電磁分析結

• 平面線圈所產
生的磁場強度
分佈圖

李福星教授研究團隊

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