精密機械精度檢測

台灣大學機械系
范光照 教授
2007. 11. 29
1

精密機械的組成
精密機械是由精密運動軸 ( 線性 + 角度 ) 與
功能機械 ( 加工、搬運、檢測 ) 所組成。
種 類 (例 )

運動軸

功能機 械

精密工具機

X, Y, Z, α, β, γ

切削、成型

半導體製程設備

X, Y, Z, α

曝光、濺鍍、研磨、切割、
銲線……

平面顯示器製程設備

X, Y, Z, α

鍍膜、搬運、貼合、滴注、
切割…

精密量測儀器

X, Y, Z, α, β

探頭、光學、物性、化性…

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精密量測實驗室

機械工程研究所

2

超精密定位平台的組成

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3

精密機械精度檢測
主要檢測各運動軸的精度 ( 準確度 + 重覆性
) 常見的運動平台結構

常見的工具結構機

功能頭
線性滑軌

導螺桿

光學尺

直角座標運動系
發展背景成熟 , 控制容

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4

純並聯式機台
1. 工作空間狹窄
2. 運動模型數學式複雜
3. 高剛性 高運動彈性
4. 尚在實驗室階段 , 離

熟商品尚有差距

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5

串並聯工具機之並聯式主軸機構

1. 工研院機械所研發中
2. 工作台為傳統 X-Y 軸串聯機

3. 工作空間較大 , 機台剛性大
4. 具五軸加工能力 , 價格卻便

許多
5. 運動模型也較純並聯式簡單

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6

精密機械誤差種類

靜態幾何誤差

動態循跡誤差

熱變形誤差

工作範圍體積誤差

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7

Geometric Errors

E z (x)

δ y (x)

δ x (x)

δ z (x)
E y (x)

+Z

+X
E x (x)

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+Y

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8

三軸共 21 項靜態幾何誤差
z-axis
vertical straightness
of x-axis
yaw

pitch

y-axis

horizontal
straightness of x-axis

roll
Z
Sxz

X′

Z′

x-axis

S yz

linear
displacement

Sxy

Y

X
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9

靜態幾何誤差

三軸向共三個定位誤差分量

三軸向共六個直度誤差分量

三軸向共九個角度誤差分量

三軸向彼此間共三個垂直度誤差分量

總共二十一項誤差

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10

幾何誤差的方向定意

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11

幾何誤差-定位、直度、角度、垂直、體積

阿貝誤差 (Abbé Error)
運動軸與位置回饋軸(感測器軸)不同軸

Abbe Error
L+ δ L

θ/2
Moving

L

Abbe offset

Guide

Abbe Error ( δ L ) = L * θ
14

各軸幾何誤差造成的空間
體積誤差

運動平台幾何誤差

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16

運動平台空間面誤差
面誤差

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17

工具機空間體積誤差

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18

Accuracy & Precision
True value

Precision

Accuracy
mean of
observed value

19

幾何誤差檢測原理
1. 使用更高精度的量測儀器 : 如雷射干涉儀
2. 使用更高精度的標準件 : 2D or 3D Artefact
3. 直接加工並量測一標準件

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20

2D 標準片例子
十字光罩標準片
十字光罩中心位置的求解
pixel 跟實際尺寸的換算
228

5

14

14

5

5

228

5

14

14

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21

2D 標準片應用 ( 量測與補償 )

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22

2D 標準片量測與補償範例
自動化光學檢測機台
T 公司

C 公司

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23

雷射干涉儀定位誤差量測

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24

雷射干涉儀測距技術
 雷射光在經過一段距離之後仍會維持細小的光束
,不像一般光源會散開,同時具有極高的亮度,
以及穩定性與精確性良好的波長,再加上干涉現
象容易觀測,這些特性使得雷射光成為工業上對
準與量測的主要工具。
優點:量程長、高解析度、高穩定性、反應快
速、簡便

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25

雷射干涉儀
 現今所使用的雷射干涉儀可以分為兩大類,
雙頻雷射干涉儀( Hetrodyne Interferometer )
單頻雷射干涉儀( Homodyne Interferometer )
 目前商用雷射干涉儀大多數使用雙頻雷射光源,
因為是利用量測干涉訊號之頻率,以求得物體之
位移量,位移訊號是載於 AC 訊號之上,所以較
不受低頻雜訊干擾,可量測距離較長,因此適合
發展成通用型雷射干涉儀。

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26

單頻 (Homodyne) 雷射干涉

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27

雙頻 (Heterodyne) 雷射干涉儀

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28

雷射干涉儀定位精度檢測程序
• Warm up for each line or axis
– To simulate normal operational condition

• Measurement interval <= ( L/10 )
– Random interval
– Avoid cyclic error

• 3~5 complete measurement cycles for
each axis

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29

ISO 230-2 :
2002

Linear Cycle

Deadpath Error
Fixed
Moving

Dead Path
L1

L2
Zero

31

Cosine Error
L
Moving
Machine Axis

θ

Laser Axis
L+ δ L

∆L = L'− L= L × (1 / cosθ − 1) = 1 / 2 Lθ

2

32

Analysis of Errors
20
Psj

Error(um)

15

5

Uj/2

Uj

10

P
average
*Forward
*Backward
avg(x)- 3s
avg(x)+3s

Pa

0

-5

- 10
100

200

300

400
500
Position

600

700

800

900

33

雷射干涉儀之運用

雷射及其量測 -5

直度誤差量測

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35

角度誤差量測

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36

垂直度誤差量測

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37

定位精度結果

38

定位誤差補償

39

旋轉誤差檢驗--偏心旋轉、軸向滑移’ 偏擺旋轉

Spindle Ru n-ou t

Spindle T ilt

Ax ial S li p

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熱變形誤差量測

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