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真直度、真平度量測

教授:范光照

真直度、真平度 Precision Metrology Lab.


真直度之量測

 真直度 (straightness) 在機件組合、機器台面


等均極為重要,影響到單一機件之平行度、
真平度及機件組合之精度,如平板之真平度
和工具機轉軸之真直度等皆是。因此真直度
之量測不可忽視。

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Straightness measurement by
straightedge

 應用直規 (Straightedges) 量測
 常用直規為鑄鐵、工具鋼和花崗石材料製成。應用其
作標準而量測平台或機械台之真平度如下圖所示:

  

    

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應用直規量測
 量測前需將 上兩等高之組合塊規,支點需置於貝塞爾
(Bessel) 點之位置 ( 即兩 支點距離約為直規全長之
0.5594 處 ) 。
 量測時僅以塊規在不同位置作對比,以觀察檢驗塊規和
直規間之間隙大小。此法僅觀察或感覺,並不十分方便。
因此改用量錶會得到較佳效果,甚至可採用電子量錶
( 比測儀 ) 並與電腦連線。
 量測時,探針接觸到直規並將支點探針之台座依待測方
向做直線運動,不同位位置之量錶讀數即是各點之偏差
量。

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Straightness measurement by knife edge

 應用刀邊直規 (Knife
edge straightedges)
刀邊直規常稱為刀口平 外形
尺,因為他有真直度極佳之
邊緣。量測時以其穿透餘隙
光檢查待測物件之真直度。
此法想要達到高精度是相當
困難的,但是判斷平面真直
度為最有效且最迅速之法。 應用情形
           
 

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應用刀邊直規
 另一種直規其形狀為三角形或四邊形,同樣應
用其中任一邊以作為畫線、檢驗直邊或檢驗 V
字型導槽等工作。

外形 應用情形

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電子水平儀 (Electronic Level)

電容式 (Capacitance
type)
擺錘兩邊設有電
極,若受待測工件影
響導致間隙不同即產
生的電容不同,形成
角度的差異。

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電子水平儀 (Electronic Level)

電感式 (Inductance type)


當基座因待測工件而傾
斜時,內部擺錘因移動造成
感應線圈電壓的變化。

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Straightness measurement by
electronic level

 應用水平儀量測
因水平儀測 為角度,故需轉換成真直度,其量測原理如圖
示。水平儀必須沿著待測物表面作直線移動,和以水平儀基座的
長度做等距移動。此外,量測前須先將水平儀放在待測物的中央
部位且略保水平。

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Straightness measurement by
autocollimator

 應用自動視準儀量測
  方式與水平儀量測方式極為相
似,當自動視準儀固定後,將
反射鏡置於待測物之機械平台
A 處,量測時反射鏡必須沿著
直規或平行塊作導引,然後反
射鏡移到 B 處,此時必須注意
AB 距離等於反射鏡基座之長
度。所有量測數據均以斜線直
表示,最後可得一曲線,由此
曲線可計算出真直度誤差大小
  
  

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Straightness measurement by laser
& four-quadrant detector

Laser Couple Optical Beam 4-Quadrant


Diode Lens Fiber Head Detector

Data
LD Power Analog Signal
Acquisition
Supplier Processor
&Processor

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Straightness measurement

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Straightness Alignment

Aligning lathe Aligning multi work


pieces in a machine

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Straightness analysis(1):
linking end points

 簡易法評估真直度
 這種評量方式是以待測直線隻首尾兩點為基準,以水平儀原理之
圖為例,首點為 0 ,尾點為 +12μm ,中間各點以首尾點連線之距
離計算出來即可,如下所示,其真直度誤差為 14μm 。

  

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Straightness analysis(2):
Least squares method

 最小平方和法 (Least square method)


 為目前最常用之方法,數學原理為要找到穿越量測點
群和各點距離的平方合為最小的直線方程式:
  Y=ax+b

n ∑( xy ) − (∑ x)(∑ y ) (∑ y )(∑ x 2 ) − (∑ x)(∑ xy )


a= b=
n ∑ x 2 − (∑ x) 2 n ∑ x 2 − (∑ x) 2

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Straightness analysis (3):
Minimum zone method

 最小區間法 (Minimum zone method)


 這種評估方式是以符合最小偏差的理想直線作為基準。下圖為兩
條平行線 l1 、 l2 可以包含所有量測的點且兩線間的距離為最小。
此法為 ISO R1101 標準中所規定的評估法,解法較複雜。

  

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Flatness
 應用在平板、工具機
和三次元量床床台方
面,因這些表面常被
當成量測時之基準面
,若基準面之真
平度不佳,將會影響
量測品質 ( 如右
圖)。

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Flats
 Large Metrology plate
 Small Optical flat

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Flatness measurement
by straightedge

量測前需將量錶觸及直規,並調整支持架使直規
之各量測點均在量錶可量測範圍。完成三條路徑之量
測,下圖為量測情形:

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Flatness measurement
by electronic level

 應用水平儀量測
為量測真直度延伸,真平度之量測乃將待測平面作
數條真直度之量測如下圖,並將各量測路徑所得之數
據作適當的調整使相同號碼的數值需相同,再經分析
後即可得到真平度的誤差大小。

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Flatness measurement by
autocollimator & laser interferometer

 應用自動視準儀量測
其量測方式與水平儀
相同,其角度最小數可
達 0.2 秒。
 應用雷射量測儀量測
對準工作較繁,雷射
干涉儀與電腦連線使用
、數值分析均方便。

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平 板 (Surface plates)
 平板是機械工廠和精密量測室一種不可或缺的量具。
 精確度極佳可作為校正量具及檢驗機械或畫線等之輔
助工具。
 以鑄鐵或花崗石為材料,經刮光或精密研磨成型。
 鑄鐵平板其下方有肋條以減輕重量和加強其強度,鑄
鐵經定性、消除內應力後,再加工磨平及刮花等工作
而完成。
 花崗石平板目前廣被採用,效果媲美於鑄鐵平板,但
吸震效果不佳。 

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花崗石平板之優點
 不變形  不起黏著作用
 使用壽命長  表面不反光可消除眼
 有鑄鐵 7.5 倍的耐久性 睛疲勞
 受溫度變化影響較少  不感磁性
 不起毛邊  易清洗
 抗腐蝕性高  維護費用節省

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平板等級及支點 (1)
 平板得精度通常依其表面加工後的真平度區
分,可分為安 0 級、 1 級、 2 級三種。
 平板安裝時其支點甚為重要,為了維持精密機
械或設備的穩定性,必須做水平檢查外,尚須
注意其支點的位置和數量。
 支點分 依據貝塞爾點之原則如下圖,以減少
其變形,支點由三點作為水平位置調整,亦可
增加兩個支點作為輔助。

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平板等級及支點 (2)

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真平度誤差之分析 (1)
 最小平方和法
取樣方法有米字型及
方格型兩種。應用線性
迴歸方式尋找出一個參
考平面,以此平面與各
量測點之高度平方和最
小,而真平度之大小為
相對此參考平面最高點
與最低點之差異。

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真平度誤差之分析 (2)
 最小區間法評 平度
以符合最小偏差的理想平面作為基準。下圖為兩平行面 Pu 、
Pl 間,包含所有量測點且兩平面間的距離最小。此法為 ISO
R1101 中所規定的評估法較複雜,在此不詳述。

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