Ch−¬ng I C¸c Kh¸i niÖm vµ ®Æc tr−ng c¬ b¶n 1.1. Kh¸i niÖm vµ ph©n lo¹i c¶m biÕn 1.1.1.

Kh¸i niÖm C¶m biÕn lµ thiÕt bÞ dïng ®Ó c¶m nhËn biÕn ®æi c¸c ®¹i l−îng vËt lý vµ c¸c ®¹i l−îng kh«ng cã tÝnh chÊt ®iÖn cÇn ®o thµnh c¸c ®¹i l−îng ®iÖn cã thÓ ®o vµ xö lý ®−îc. C¸c ®¹i l−îng cÇn ®o (m) th−êng kh«ng cã tÝnh chÊt ®iÖn (nh− nhiÖt ®é, ¸p suÊt ...) t¸c ®éng lªn c¶m biÕn cho ta mét ®Æc tr−ng (s) mang tÝnh chÊt ®iÖn (nh− ®iÖn tÝch, ®iÖn ¸p, dßng ®iÖn hoÆc trë kh¸ng) chøa ®ùng th«ng tin cho phÐp x¸c ®Þnh gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng ®o. §Æc tr−ng (s) lµ hµm cña ®¹i l−îng cÇn ®o (m):
s = F (m )

(1.1)

Ng−êi ta gäi (s) lµ ®¹i l−îng ®Çu ra hoÆc lµ ph¶n øng cña c¶m biÕn, (m) lµ ®¹i l−îng ®Çu vµo hay kÝch thÝch (cã nguån gèc lµ ®¹i l−îng cÇn ®o). Th«ng qua ®o ®¹c (s) cho phÐp nhËn biÕt gi¸ trÞ cña (m). 1.1.2. Ph©n lo¹i c¶m biÕn C¸c bé c¶m biÕn ®−îc ph©n lo¹i theo c¸c ®Æc tr−ng c¬ b¶n sau ®©y: - Theo nguyªn lý chuyÓn ®æi gi÷a ®¸p øng vµ kÝch thÝch (b¶ng 1.1). B¶ng 1.1 HiÖn t−îng ChuyÓn ®æi ®¸p øng vµ kÝch thÝch - NhiÖt ®iÖn - Quang ®iÖn - Quang tõ HiÖn t−îng vËt lý - §iÖn tõ - Quang ®µn håi - Tõ ®iÖn - NhiÖt tõ... - BiÕn ®æi ho¸ häc Ho¸ häc - BiÕn ®æi ®iÖn ho¸ - Ph©n tÝch phæ ... - BiÕn ®æi sinh ho¸ Sinh häc - BiÕn ®æi vËt lý - 5-

- HiÖu øng trªn c¬ thÓ sèng ... - Ph©n lo¹i theo d¹ng kÝch thÝch (b¶ng 1.2) B¶ng 1.2 - Biªn pha, ph©n cùc ¢m thanh - Phæ - Tèc ®é truyÒn sãng ... - §iÖn tÝch, dßng ®iÖn §iÖn - §iÖn thÕ, ®iÖn ¸p - §iÖn tr−êng (biªn, pha, ph©n cùc, phæ) - §iÖn dÉn, h»ng sè ®iÖn m«i ... - Tõ tr−êng (biªn, pha, ph©n cùc, phæ) Tõ - Tõ th«ng, c−êng ®é tõ tr−êng - §é tõ thÈm ... - Biªn, pha, ph©n cùc, phæ Quang - Tèc ®é truyÒn - HÖ sè ph¸t x¹, khóc x¹ - HÖ sè hÊp thô, hÖ sè bøc x¹ ... - VÞ trÝ - Lùc, ¸p suÊt - Gia tèc, vËn tèc C¬ - øng suÊt, ®é cøng - M« men - Khèi l−îng, tØ träng - VËn tèc chÊt l−u, ®é nhít ... - NhiÖt ®é NhiÖt - Th«ng l−îng - NhiÖt dung, tØ nhiÖt ... - KiÓu Bøc x¹ - N¨ng l−îng - C−êng ®é ...

- 6-

- Theo tÝnh n¨ng cña bé c¶m biÕn (b¶ng 1.3) B¶ng 1.3 - §é nh¹y - §é chÝnh x¸c - §é ph©n gi¶i - §é chän läc - §é tuyÕn tÝnh - C«ng suÊt tiªu thô - D¶i tÇn - §é trÔ - Ph©n lo¹i theo ph¹m vi sö dông ( b¶ng 1.4). B¶ng 1.4 - C«ng nghiÖp - Nghiªn cøu khoa häc - M«i tr−êng, khÝ t−îng - Th«ng tin, viÔn th«ng - N«ng nghiÖp - D©n dông - Giao th«ng - Vò trô - Qu©n sù - Ph©n lo¹i theo th«ng sè cña m« h×nh m¹ch thay thÕ : + C¶m biÕn tÝch cùc cã ®Çu ra lµ nguån ¸p hoÆc nguån dßng. + C¶m biÕn thô ®éng ®−îc ®Æc tr−ng b»ng c¸c th«ng sè R, L, C, M .... tuyÕn tÝnh hoÆc phi tuyÕn. 1.2. §−êng cong chuÈn cña c¶m biÕn 1.2.1. Kh¸i niÖm §−êng cong chuÈn c¶m biÕn lµ ®−êng cong biÓu diÔn sù phô thuéc cña ®¹i l−îng ®iÖn (s) ë ®Çu ra cña c¶m biÕn vµo gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng ®o (m) ë ®Çu vµo. - Kh¶ n¨ng qu¸ t¶i - Tèc ®é ®¸p øng - §é æn ®Þnh - Tuæi thä - §iÒu kiÖn m«i tr−êng - KÝch th−íc, träng l−îng

- 7-

®o gi¸ trÞ t−¬ng øng si cña s vµ dùng ®−êng cong chuÈn. b lµ c¸c hÖ sè. víi mét lo¹t gi¸ trÞ ®· biÕt chÝnh x¸c mi cña m. 1.1b).§−êng cong chuÈn cã thÓ biÓu diÔn b»ng biÓu thøc ®¹i sè d−íi d¹ng s = F (m ) .1 §−êng cong chuÈn c¶m biÕn a) D¹ng ®−êng cong chuÈn b) §−êng cong chuÈn cña c¶m biÕn tuyÕn tÝnh Dùa vµo ®−êng cong chuÈn cña c¶m biÕn. ta cã thÓ x¸c ®Þnh gi¸ trÞ mi ch−a biÕt cña m th«ng qua gi¸ trÞ ®o ®−îc si cña s. ng−êi ta th−êng chÕ t¹o c¶m biÕn cã sù phô thuéc tuyÕn tÝnh gi÷a ®¹i l−îng ®Çu ra vµ ®¹i l−îng ®Çu vµo.8- . khi ®ã ®−êng cong chuÈn lµ ®−êng th¼ng (h×nh 1. hoÆc b»ng ®å thÞ nh− h×nh 1. §Ó dÔ sö dông. ph−¬ng tr×nh s= F(m) cã d¹ng s = am +b víi a. Khi chuÈn c¶m biÕn.2. Ph−¬ng ph¸p chuÈn c¶m biÕn ChuÈn c¶m biÕn lµ phÐp ®o nh»m môc ®Ých x¸c lËp mèi quan hÖ gi÷a gi¸ trÞ s ®o ®−îc cña ®¹i l−îng ®iÖn ë ®Çu ra vµ gi¸ trÞ m cña ®¹i l−îng ®o cã tÝnh ®Õn c¸c yÕu tè ¶nh h−ëng. trªn c¬ së ®ã x©y dùng ®−êng cong chuÈn d−íi d¹ng t−êng minh (®å thÞ hoÆc biÓu thøc ®¹i sè).2. s s2 s1 m1 m2 m H×nh 1. s si s 0 mi m 0 m a) b) H×nh 1.2 Ph−¬ng ph¸p chuÈn c¶m biÕn a) ChuÈn ®¬n gi¶n Trong tr−êng hîp ®¹i l−îng ®o chØ cã mét ®¹i l−îng vËt lý duy nhÊt t¸c ®éng lªn mét ®¹i l−îng ®o x¸c ®Þnh vµ c¶m biÕn sö dông kh«ng nh¹y víi t¸c ®éng cña c¸c .1a.

1. Khi chuÈn nhiÒu lÇn cho phÐp x¸c ®Þnh ®−êng cong chuÈn theo c¶ hai h−íng ®o t¨ng dÇn vµ ®o gi¶m dÇn. Khi t¸c ®éng lªn hai c¶m biÕn víi cïng mét gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng ®o ta nhËn ®−îc gi¸ trÞ t−¬ng øng cña c¶m biÕn so s¸nh vµ c¶m biÕn cÇn chuÈn. ng−êi ta ¸p dông ph−¬ng ph¸p chuÈn nhiÒu lÇn vµ tiÕn hµnh nh− sau: §Æt l¹i ®iÓm 0 cña c¶m biÕn: ®¹i l−îng cÇn ®o vµ ®¹i l−îng ®Çu ra cã gi¸ trÞ §o gi¸ trÞ ®Çu ra theo mét lo¹t gi¸ trÞ t¨ng dÇn ®Õn gi¸ trÞ cùc ®¹i cña ®¹i LÆp l¹i qu¸ tr×nh ®o víi c¸c gi¸ trÞ gi¶m dÇn tõ gi¸ trÞ cùc ®¹i.3. §é nh¹y cña c¶m biÕn a) Kh¸i niÖm §èi víi c¶m biÕn tuyÕn tÝnh. Trong tr−êng hîp nh− vËy.1.®¹i l−îng ¶nh h−ëng. m=0 vµ s=0. ∆m Tr−êng hîp tæng qu¸t. t−¬ng øng víi ®iÓm gèc. ng−êi ta dïng ph−¬ng ph¸p chuÈn ®¬n gi¶n.9- . cã s½n ®−êng cong chuÈn. gi÷a biÕn thiªn ®Çu ra ∆s vµ biÕn thiªn ®Çu vµo ∆m cã sù liªn hÖ tuyÕn tÝnh: ∆s = S.∆m (1. ViÖc chuÈn ®−îc tiÕn hµnh theo hai c¸ch: ChuÈn trùc tiÕp: c¸c gi¸ trÞ kh¸c nhau cña ®¹i l−îng ®o lÊy tõ c¸c mÉu ChuÈn gi¸n tiÕp: kÕt hîp c¶m biÕn cÇn chuÈn víi mét c¶m biÕn so s¸nh ®· chuÈn hoÆc c¸c phÇn tö so s¸nh cã gi¸ trÞ biÕt tr−íc víi ®é chÝnh x¸c cao. c¶ hai ®−îc ®Æt trong cïng ®iÒu kiÖn lµm viÖc. C¸c ®Æc tr−ng c¬ b¶n 1.3. LÆp l¹i t−¬ng tù víi c¸c gi¸ trÞ kh¸c cña ®¹i l−îng ®o cho phÐp ta x©y dùng ®−îc ®−êng cong chuÈn cña c¶m biÕn cÇn chuÈn. l−îng ®o ë ®Çu vµo. biÓu thøc x¸c ®Þnh ®é nh¹y S cña c¶m biÕn xung quanh . b) ChuÈn nhiÒu lÇn Khi c¶m biÕn cã phÇn tö bÞ trÔ (trÔ c¬ hoÆc trÔ tõ). gi¸ trÞ ®o ®−îc ë ®Çu ra phô thuéc kh«ng nh÷ng vµo gi¸ trÞ tøc thêi cña ®¹i l−îng cÇn ®o ë ®Çu vµo mµ cßn phô thuéc vµo gi¸ trÞ tr−íc ®ã cña cña ®¹i l−îng nµy.2) §¹i l−îng S x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc S = ∆s ®−îc gäi lµ ®é nh¹y cña c¶m biÕn. Thùc chÊt cña chuÈn ®¬n gi¶n lµ ®o c¸c gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng ®Çu ra øng víi c¸c gi¸ x¸c ®Þnh kh«ng ®æi cña ®¹i l−îng ®o ë ®Çu vµo.

x©y dùng trªn c¬ së ®o c¸c gi¸ trÞ si ë ®Çu ra t−¬ng øng víi c¸c gi¸ trÞ kh«ng ®æi mi cña ®¹i l−îng ®o khi ®¹i l−îng nµy ®¹t ®Õn chÕ ®é lµm viÖc danh ®Þnh ®−îc gäi lµ ®Æc tr−ng tÜnh cña c¶m biÕn.5) . Trong chÕ ®é tÜnh. Gi¶ sö biÕn thiªn cña ®¹i l−îng ®o m theo thêi gian cã d¹ng: m(t ) = m 0 + m 1 cos ωt (1. ta nhËn thÊy tû sè chuyÓn ®æi tÜnh ri kh«ng phô thuéc vµo ®iÓm lµm viÖc Qi vµ chØ b»ng S khi ®Æc tr−ng tÜnh lµ ®−êng th¼ng ®i qua gèc to¹ ®é.3) chÝnh lµ ®é ®èc cña ®Æc tr−ng tÜnh ë ®iÓm lµm viÖc ®ang xÐt. §¹i l−îng ri x¸c ®Þnh bëi tû sè gi÷a gi¸ trÞ si ë ®Çu ra vµ gi¸ trÞ mi ë ®Çu vµo ®−îc gäi lµ tû sè chuyÓn ®æi tÜnh: ⎛s⎞ ri = ⎜ ⎟ ⎝ m ⎠Q (1. nghÜa lµ Ýt phô thuéc nhÊt vµo c¸c yÕu tè sau: Gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng cÇn ®o m vµ tÇn sè thay ®æi cña nã. Th«ng th−êng nhµ s¶n xuÊt cung cÊp gi¸ trÞ cña ®é nh¹y S t−¬ng øng víi nh÷ng ®iÒu kiÖn lµm viÖc nhÊt ®Þnh cña c¶m biÕn. khi thiÕt kÕ vµ sö dông c¶m biÕn cÇn lµm sao cho ®é nh¹y S cña nã kh«ng ®æi.4) i Tõ (1.si) trªn ®Æc tr−ng tÜnh x¸c ®Þnh mét ®iÓm lµm viÖc cña c¶m biÕn ë chÕ ®é tÜnh. ¶nh h−ëng cña c¸c ®¹i l−îng vËt lý kh¸c (kh«ng ph¶i lµ ®¹i l−îng ®o) cña m«i tr−êng xung quanh.4). ®é nh¹y S x¸c ®Þnh theo c«ng thøc (1.10- . Thêi gian sö dông. b) §é nh¹y trong chÕ ®é tÜnh vµ tû sè chuyÓn ®æi tÜnh §−êng chuÈn c¶m biÕn.gi¸ trÞ mi cña ®¹i l−îng ®o x¸c ®Þnh bëi tû sè gi÷a biÕn thiªn ∆s cña ®¹i l−îng ®Çu ra vµ biÕn thiªn ∆m t−¬ng øng cña ®¹i l−îng ®o ë ®Çu vµo quanh gi¸ trÞ ®ã: ⎛ ∆s ⎞ S=⎜ ⎟ ⎝ ∆m ⎠ m = m (1. c) §é nh¹y trong chÕ ®é ®éng §é nh¹y trong chÕ ®é ®éng ®−îc x¸c ®Þnh khi ®¹i l−îng ®o biÕn thiªn tuÇn hoµn theo thêi gian.3) i §Ó phÐp ®o ®¹t ®é chÝnh x¸c cao. Mét ®iÓm Qi(mi. Nh− vËy. nÕu ®Æc tr−ng tÜnh kh«ng ph¶i lµ tuyÕn tÝnh th× ®é nh¹y trong chÕ ®é tÜnh phô thuéc ®iÓm lµm viÖc.

thÓ hiÖn bëi c¸c ®o¹n th¼ng trªn ®Æc tr−ng tÜnh cña c¶m biÕn vµ ho¹t ®éng cña c¶m biÕn lµ tuyÕn tÝnh chõng nµo ®¹i l−îng ®o cßn n»m trong vïng nµy. theo c«ng thøc: ⎛s ⎞ S=⎜ 1 ⎟ ⎜m ⎟ ⎝ 1 ⎠Q 0 §é nh¹y trong chÕ ®é ®éng phô thuéc vµo tÇn sè ®¹i l−îng ®o. tøc lµ cña c¶m biÕn vµ c¸c thiÕt bÞ phô trî. S = S (f ) . chóng kh«ng thÓ cung cÊp tøc thêi tÝn hiÖu ®iÖn theo kÞp biÕn thiªn cña ®¹i l−îng ®o. Trong chÕ ®é ®éng. m1 lµ biªn ®é vµ ω tÇn sè gãc cña biÕn thiªn ®¹i l−îng ®o. §é tuyÕn tÝnh a) Kh¸i niÖm Mét c¶m biÕn ®−îc gäi lµ tuyÕn tÝnh trong mét d¶i ®o x¸c ®Þnh nÕu trong d¶i chÕ ®é ®ã.s1 lµ biªn ®é biÕn thiªn ë ®Çu ra do thµnh phÇn biÕn thiªn cña ®¹i l−îng ®o g©y nªn. nhiÖt hoÆc ®iÖn cña ®Çu ®o.3. ®é tuyÕn tÝnh bao gåm sù kh«ng phô thuéc cña ®é nh¹y ë chÕ ®é tÜnh S(0) vµo ®¹i l−îng ®o. 1. ®ång thêi c¸c th«ng sè quyÕt ®Þnh sù håi ®¸p (nh− . håi ®¸p s cã d¹ng: s(t ) = s 0 + s1 cos(ωt + ϕ) Trong ®ã: .ϕ lµ ®é lÖch pha gi÷a ®¹i l−îng ®Çu vµo vµ ®¹i l−îng ®Çu ra. ®é nh¹y kh«ng phô thuéc vµo ®¹i l−îng ®o. . Trong chÕ ®é tÜnh. . Trong chÕ ®é ®éng.2.11- . Bëi vËy khi xÐt sù håi ®¸p cã phô thuéc vµo tÇn sè cÇn ph¶i xem xÐt s¬ ®å m¹ch ®o cña c¶m biÕn mét c¸ch tæng thÓ. Sù biÕn thiªn cña ®é nh¹y theo tÇn sè cã nguån gèc lµ do qu¸n tÝnh c¬.s0 lµ gi¸ trÞ kh«ng ®æi t−¬ng øng víi m0 x¸c ®Þnh ®iÓm lµm viÖc Q0 trªn ®−êng cong chuÈn ë chÕ ®é tÜnh. ë ®Çu ra cña c¶m biÕn. ®é tuyÕn tÝnh chÝnh lµ sù kh«ng phô thuéc cña ®é nh¹y cña c¶m biÕn vµo gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng ®o. ®é nh¹y S cña c¶m biÕn ®−îc x¸c ®Þnh bëi tØ sè gi÷a biªn ®é cña biÕn thiªn ®Çu ra s1 vµ biªn ®é cña biÕn thiªn ®Çu vµo m1 øng víi ®iÓm lµm viÖc ®−îc xÐt Q0.Trong ®ã m0 lµ gi¸ trÞ kh«ng ®æi.

Sai sè vµ ®é chÝnh x¸c C¸c bé c¶m biÕn còng nh− c¸c dông cô ®o l−êng kh¸c.m i −∑ s i . 1. x¸c ®Þnh bëi ®é lÖch cùc ®¹i gi÷a ®−êng cong chuÈn vµ ®−êng th¼ng tèt nhÊt. Gi¶ sö khi chuÈn c¶m biÕn ta tiÕn hµnh víi N ®iÓm ®o. do sai sè khi ®o.∑ m i i 2 N.∑ m i N. ng−êi ta ®−a vµo m¹ch ®o c¸c thiÕt bÞ hiÖu chØnh sao cho tÝn hiÖu ®iÖn nhËn ®−îc ë ®Çu ra tØ lÖ víi sù thay ®æi cña ®¹i l−îng ®o ë ®Çu vµo.3. ®èi víi c¸c c¶m biÕn tuyÕn tÝnh.3.mi) cña ®¹i l−îng ®Çu ra vµ ®¹i l−îng ®Çu vµo. Gäi ∆x lµ ®é lÖch tuyÖt ®èi gi÷a gi¸ trÞ ®o vµ gi¸ trÞ thùc x (sai sè tuyÖt ®èi). ngoµi ®¹i l−îng cÇn ®o (c¶m nhËn) cßn chÞu t¸c ®éng cña nhiÒu ®¹i l−îng vËt lý kh¸c g©y nªn sai sè gi÷a gi¸ trÞ ®o ®−îc vµ gi¸ trÞ thùc cña ®¹i l−îng cÇn ®o. tõ kÕt qu¶ thùc nghiÖm ta nhËn ®−îc mét lo¹t ®iÓm t−¬ng øng (si. Ph−¬ng tr×nh biÓu diÔn ®−êng th¼ng tèt nhÊt ®−îc lËp b»ng ph−¬ng ph¸p b×nh ph−¬ng bÐ nhÊt.∑ m 2 − (∑ m i ) i 2 b= ∑ s i .∑ m 2 − (∑ m i ) i c) §é lÖch tuyÕn tÝnh §èi víi c¸c c¶m biÕn kh«ng hoµn toµn tuyÕn tÝnh. tÝnh b»ng % trong d¶i ®o. b) §−êng th¼ng tèt nhÊt Khi chuÈn c¶m biÕn. biÓu diÔn sù tuyÕn tÝnh cña c¶m biÕn ®−îc gäi lµ ®−êng th¼ng tèt nhÊt. si) nhËn ®−îc b»ng thùc nghiÖm th−êng kh«ng n»m trªn cïng mét ®−êng th¼ng. VÒ mÆt lý thuyÕt. ng−êi ta ®−a ra kh¸i niÖm ®é lÖch tuyÕn tÝnh.s i . Tuy nhiªn.∑ s i . c¸c ®iÓm chuÈn (mi. §−êng th¼ng ®−îc x©y dùng trªn c¬ së c¸c sè liÖu thùc nghiÖm sao cho sai sè lµ bÐ nhÊt. hÖ sè t¾t dÇn ξ còng kh«ng phô thuéc vµo ®¹i l−îng ®o.tÇn sè riªng f0 cña dao ®éng kh«ng t¾t. ph−¬ng tr×nh cã d¹ng: s = am + b Trong ®ã: a= N.∑ m 2 − ∑ m i . NÕu c¶m biÕn kh«ng tuyÕn tÝnh. sai sè t−¬ng ®èi cña bé c¶m biÕn ®−îc tÝnh b»ng: . ®−êng cong chuÈn lµ mét ®−êng th¼ng. Sù hiÖu chØnh ®ã ®−îc gäi lµ sù tuyÕn tÝnh ho¸.12- .

1.100 x [%] Sai sè cña bé c¶m biÕn mang tÝnh chÊt −íc tÝnh bëi v× kh«ng thÓ biÕt chÝnh x¸c gi¸ trÞ thùc cña ®¹i l−îng cÇn ®o. + Do gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng chuÈn kh«ng ®óng. §é nhanh tr lµ kho¶ng thêi gian tõ khi ®¹i l−îng ®o thay ®æi ®ét ngét ®Õn khi biÕn thiªn cña ®¹i l−îng ®Çu ra chØ cßn kh¸c gi¸ trÞ cuèi cïng mét l−îng giíi h¹n ε tÝnh b»ng %. Chóng ta cã thÓ gi¶m thiÓu sai sè ngÉu nhiªn b»ng mét sè biÖn ph¸p thùc nghiÖm thÝch hîp nh− b¶o vÖ c¸c m¹ch ®o tr¸nh ¶nh h−ëng cña nhiÔu.δ= ∆x .3.Sai sè ngÉu nhiªn: lµ sai sè xuÊt hiÖn cã ®é lín vµ chiÒu kh«ng x¸c ®Þnh. . tÇn sè. + Do c¸c ®¹i l−îng ¶nh h−ëng kh«ng ®−îc tÝnh ®Õn khi chuÈn c¶m biÕn. cã gi¸ trÞ kh«ng ®æi hoÆc thay ®æi chËm theo thêi gian ®o vµ thªm vµo mét ®é lÖch kh«ng ®æi gi÷a gi¸ trÞ thùc vµ gi¸ trÞ ®o ®−îc. ng−êi ta th−êng ph©n chóng thµnh hai lo¹i: sai sè hÖ thèng vµ sai sè ngÉu nhiªn.13- . +Do xö lý kÕt qu¶ ®o.4. Thêi gian håi ®¸p lµ ®¹i l−îng ®−îc sö dông ®Ó x¸c ®Þnh gi¸ trÞ sè cña ®é nhanh. tù ®éng ®iÒu chØnh ®iÖn ¸p nguån nu«i. Khi ®¸nh gi¸ sai sè cña c¶m biÕn. §é nhanh vµ thêi gian håi ®¸p §é nhanh lµ ®Æc tr−ng cña c¶m biÕn cho phÐp ®¸nh gi¸ kh¶ n¨ng theo kÞp vÒ thêi gian cña ®¹i l−îng ®Çu ra khi ®¹i l−îng ®Çu vµo biÕn thiªn. vËn hµnh ®óng chÕ ®é hoÆc thùc hiÖn phÐp ®o l−êng thèng kª. do ®iÒu kiÖn sö dông kh«ng tèt g©y ra. + Do ®iÒu kiÖn vµ chÕ ®é sö dông. + Do tÝn hiÖu nhiÔu ngÉu nhiªn.Sai sè hÖ thèng: lµ sai sè kh«ng phô thuéc vµo sè lÇn ®o. bï c¸c ¶nh h−ëng nhiÖt ®é. C¸c nguyªn nh©n g©y ra sai sè hÖ thèng cã thÓ lµ: Do nguyªn lý cña c¶m biÕn. Thêi gian håi ®¸p t−¬ng øng víi ε% x¸c ®Þnh kho¶ng thêi gian cÇn . + Do ®Æc tÝnh cña bé c¶m biÕn. Nh÷ng nguyªn nh©n g©y ra sai sè ngÉu nhiªn cã thÓ lµ: + Do sù thay ®æi ®Æc tÝnh cña thiÕt bÞ. Sai sè hÖ thèng th−êng do sù thiÕu hiÓu biÕt vÒ hÖ ®o. . Ta cã thÓ dù ®o¸n ®−îc mét sè nguyªn nh©n g©y ra sai sè ngÉu nhiªn nh−ng kh«ng thÓ dù ®o¸n ®−îc ®é lín vµ dÊu cña nã.

c¸c c¶m biÕn lu«n chÞu t¸c ®éng cña øng lùc c¬ häc.14- .1 tdm tm tdc tc t H×nh 1. Giíi h¹n sö dông cña c¶m biÕn Trong qu¸ tr×nh sö dông. Bëi vËy khi sö dông c¶m biÕn. t¸c ®éng nhiÖt. 1. tdm. khi ®¹i l−îng ®o gi¶m. Kho¶ng thêi gian trÔ khi t¨ng tdm lµ thêi gian cÇn thiÕt ®Ó ®¹i l−îng ®Çu ra t¨ng tõ gi¸ trÞ ban ®Çu cña nã ®Õn 10% cña biÕn thiªn tæng céng cña ®¹i l−îng nµy vµ kho¶ng thêi gian t¨ng tm lµ thêi gian cÇn thiÕt ®Ó ®¹i l−îng ®Çu ra t¨ng tõ 10% ®Õn 90% biÕn thiªn biÕn thiªn tæng céng cña nã. C¸c th«ng sè vÒ thêi gian tr. ng−êi sö dông cÇn ph¶i biÕt râ c¸c giíi h¹n nµy..3 X¸c ®Þnh c¸c kho¶ng thêi gian ®Æc tr−ng cho chÕ ®é qu¸ ®é T−¬ng tù. chóng sÏ lµm thay ®æi ®Æc tr−ng lµm viÖc cña c¶m biÕn.. Trong tr−êng hîp sù thay ®æi cña ®¹i l−îng ®o cã d¹ng bËc thang.thiÕt ph¶i chê ®îi sau khi cã sù biÕn thiªn cña ®¹i l−îng ®o ®Ó lÊy gi¸ trÞ cña ®Çu ra víi ®é chÝnh x¸c ®Þnh tr−íc. a) Vïng lµm viÖc danh ®Þnh . tm. m m0 t s s0 0. Khi c¸c t¸c ®éng nµy v−ît qu¸ ng−ìng cho phÐp. c¸c th«ng sè thêi gian gåm thêi gian trÔ khi t¨ng (tdm) vµ thêi gian t¨ng (tm) øng víi sù t¨ng ®ét ngét cña ®¹i l−îng ®o hoÆc thêi gian trÔ khi gi¶m (tdc) vµ thêi gian gi¶m (tc) øng víi sù gi¶m ®ét ngét cña ®¹i l−îng ®o. tc cña c¶m biÕn cho phÐp ta ®¸nh gi¸ vÒ thêi gian håi ®¸p cña nã.9 0. thêi gian trÓ khi gi¶m tdc lµ thêi gian cÇn thiÕt ®Ó ®¹i l−îng ®Çu ra gi¶m tõ gi¸ trÞ ban ®Çu cña nã ®Õn 10% biÕn thiªn tæng céng cña ®¹i l−îng nµy vµ kho¶ng thêi gian gi¶m tc lµ thêi gian cÇn thiÕt ®Ó ®¹i l−îng ®Çu ra gi¶m tõ 10% ®Õn 90% biÕn thiªn biÕn thiªn tæng cæng cña nã. Thêi gian håi ®¸p ®Æc tr−ng cho chÕ ®é qu¸ ®é cña c¶m biÕn vµ lµ hµm cña c¸c th«ng sè thêi gian x¸c ®Þnh chÕ ®é nµy.5.3. tdc.

Nguyªn lý chÕ t¹o c¸c c¶m biÕn tÝch cùc C¸c c¶m biÕn tÝch cùc ®−îc chÕ t¹o dùa trªn c¬ së øng dông c¸c hiÖu øng vËt lý biÕn ®æi mét d¹ng n¨ng l−îng nµo ®ã (nhiÖt. Giíi h¹n cña vïng lµ c¸c gi¸ trÞ ng−ìng mµ c¸c ®¹i l−îng ®o.15- . ®iÖn ¸p hay dßng. 1. D−íi ®©y m« t¶ mét c¸ch kh¸i qu¸t øng dông mét sè hiÖu øng vËt lý khi chÕ t¹o c¶m biÕn. Nguyªn lý chung chÕ t¹o c¶m biÕn C¸c c¶m biÕn ®−îc chÕ t¹o dùa trªn c¬ së c¸c hiÖn t−îng vËt lý vµ ®−îc ph©n lµm hai lo¹i: C¶m biÕn tÝch cùc: lµ c¸c c¶m biÕn ho¹t ®éng nh− mét m¸y ph¸t. Trong tr−êng hîp nµy c¶m biÕn vÉn cßn sö dông ®−îc. ®é tù c¶m hoÆc ®iÖn dung.4. b) Vïng kh«ng g©y nªn h− háng Vïng kh«ng g©y nªn h− háng lµ vïng mµ khi mµ c¸c ®¹i l−îng ®o hoÆc c¸c ®¹i l−îng vËt lý cã liªn quan vµ c¸c ®¹i l−îng ¶nh h−ëng v−ît qua ng−ìng cña vïng lµm viÖc danh ®Þnh nh−ng vÉn cßn n»m trong ph¹m vi kh«ng g©y nªn h− háng. ®¸p øng (s) lµ ®iÖn trë.1. ®¸p øng C¶m biÕn thô ®éng: lµ c¸c c¶m biÕn ho¹t ®éng nh− mét trë kh¸ng trong ®ã (s) lµ ®iÖn tÝch.4. c¸c ®Æc tr−ng cña c¶m biÕn bÞ thay ®æi vµ nh÷ng thay ®æi nµy mang tÝnh kh«ng thuËn nghÞch. c¸c ®¹i l−îng vËt lý cã liªn quan ®Õn ®¹i l−îng ®o hoÆc c¸c ®¹i l−îng ¶nh h−ëng cã thÓ th−êng xuyªn ®¹t tíi mµ kh«ng lµm thay ®æi c¸c ®Æc tr−ng lµm viÖc danh ®Þnh cña c¶m biÕn. tøc lµ khi trë vÒ vïng lµm viÖc danh ®Þnh c¸c ®Æc tr−ng cña c¶m biÕn kh«ng thÓ lÊy l¹i gi¸ trÞ ban ®Çu cña chóng. c¸c ®Æc tr−ng cña c¶m biÕn cã thÓ bÞ thay ®æi nh−ng nh÷ng thay ®æi nµy mang tÝnh thuËn nghÞch.Vïng lµm viÖc danh ®Þnh t−¬ng øng víi nh÷ng ®iÒu kiÖn sö dông b×nh th−êng cña c¶m biÕn. c) Vïng kh«ng ph¸ huû Vïng kh«ng ph¸ hñy lµ vïng mµ khi mµ c¸c ®¹i l−îng ®o hoÆc c¸c ®¹i l−îng vËt lý cã liªn quan vµ c¸c ®¹i l−îng ¶nh h−ëng v−ît qua ng−ìng cña vïng kh«ng g©y nªn h− háng nh−ng vÉn cßn n»m trong ph¹m vi kh«ng bÞ ph¸ hñy. tøc lµ khi trë vÒ vïng lµm viÖc danh ®Þnh c¸c ®Æc tr−ng cña c¶m biÕn lÊy l¹i gi¸ trÞ ban ®Çu cña chóng. nh−ng ph¶i tiÕn hµnh chuÈn l¹i c¶m biÕn. c¬ hoÆc bøc x¹) thµnh n¨ng l−îng ®iÖn. 1. .

16- .5 øng dông hiÖu øng ho¶ ®iÖn HiÖu øng ho¶ ®iÖn ®−îc øng dông ®Ó ®o th«ng l−îng cña bøc x¹ ¸nh s¸ng. HiÖu øng nhiÖt ®iÖn ®−îc øng dông ®Ó ®o nhiÖt ®é T1 khi biÕt tr−íc nhiÖt ®é T2. Φ v Φ H×nh 1. tinh thÓ hÊp thô ¸nh s¸ng vµ nhiÖt ®é cña nã t¨ng lªn. khi ®ã trong m¹ch xuÊt hiÖn mét suÊt ®iÖn ®éng e(T1. lµm xuÊt hiÖn trªn c¸c mÆt ®èi diÖn cña chóng nh÷ng ®iÖn tÝch tr¸i dÊu.4. Khi ta chiÕu mét chïm ¸nh s¸ng vµo tinh thÓ ho¶ ®iÖn. T2) mµ ®é lín cña nã phô thuéc chªnh lÖch nhiÖt ®é gi÷a T1 vµ T2. §o ®iÖn ¸p V ta cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc th«ng l−îng ¸nh s¸ng Φ. S¬ ®å hiÖu øng nhiÖt ®iÖn. b) HiÖu øng ho¶ ®iÖn Mét sè tinh thÓ gäi lµ tinh thÓ ho¶ ®iÖn (vÝ dô tinh thÓ sulfate triglycine) cã tÝnh ph©n cùc ®iÖn tù ph¸t víi ®é ph©n cùc phô thuéc vµo nhiÖt ®é. c) HiÖu øng ¸p ®iÖn Mét sè vËt liÖu gäi chung lµ vËt liÖu ¸p ®iÖn (nh− th¹ch anh ch¼ng h¹n) khi bÞ biÕn d¹ng d−íc t¸c ®éng cña lùc c¬ häc. §é lín cña ®iÖn ¸p gi÷a hai mÆt phô thuéc vµo ®é ph©n cùc cña tinh thÓ ho¶ ®iÖn. th−êng chän T2 = 0oC. lµm thay ®æi sù ph©n cùc ®iÖn cña tinh thÓ. T1 (M2) (M1) e T1 T2 (M2) H×nh 1. trªn c¸c mÆt ®èi diÖn cña tÊm vËt liÖu xuÊt . nÕu nhiÖt ®é ë hai mèi hµn lµ T1 vµ T2 kh¸c nhau.a) HiÖu øng nhiÖt ®iÖn Hai d©y dÉn (M1) vµ (M2) cã b¶n chÊt ho¸ häc kh¸c nhau ®−îc hµn l¹i víi nhau thµnh mét m¹ch ®iÖn kÝn.

6 øng dông hiÖu øng ¸p ®iÖn d) HiÖu øng c¶m øng ®iÖn tõ Khi mét d©y dÉn chuyÓn ®éng trong tõ tr−êng kh«ng ®æi. trong d©y dÉn xuÊt hiÖn mét suÊt ®iÖn ®éng tû lÖ víi tõ th«ng c¾t ngang d©y trong mét ®¬n vÞ thêi gian. .tõ Khi t¸c dông mét tõ tr−êng B vu«ng gãc víi bøc x¹ ¸nh s¸ng. e) HiÖu øng quang ®iÖn .17- . g) HiÖu øng quang . trong vËt liÖu b¸n .hiÖn nh÷ng l−îng ®iÖn tÝch b»ng nhau nh−ng tr¸i dÊu. ®−îc gäi lµ hiÖu øng ¸p ®iÖn. trong mét khung d©y ®Æt trong tõ tr−êng cã tõ th«ng biÕn thiªn còng xuÊt hiÖn mét suÊt ®iÖn ®éng tû lÖ víi tèc ®é biÕn thiªn cña tõ th«ng qua khung d©y. F V F H×nh 1.HiÖu øng quang ph¸t x¹ ®iÖn tö: (hay cßn gäi lµ hiÖu øng quang ®iÖn ngoµi) lµ hiÖn t−îng c¸c ®iÖn tö ®−îc gi¶i phãng vµ tho¸t khái bÒ mÆt vËt liÖu t¹o thµnh dßng cã thÓ thu l¹i nhê t¸c dông cña ®iÖn tr−êng.7 øng dông hiÖu øng c¶m øng ®iÖn tõ HiÖu øng c¶m øng ®iÖn tõ ®−îc øng dông ®Ó x¸c ®Þnh tèc ®é dÞch chuyÓn cña vËt th«ng qua viÖc ®o suÊt ®iÖn ®éng c¶m øng. nghÜa lµ tû lÖ víi tèc ®é dÞch chuyÓn cña d©y. T−¬ng tù nh− vËy. §o V ta cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc c−êng ®é cña lùc t¸c dông F.HiÖu øng quang dÉn: (hay cßn gäi lµ hiÖu øng quang ®iÖn néi) lµ hiÖn t−îng gi¶i phãng ra c¸c h¹t dÉn tù do trong vËt liÖu (th−êng lµ b¸n dÉn) khi chiÕu vµo chóng mét bøc x¹ ¸nh s¸ng (hoÆc bøc x¹ ®iÖn tõ nãi chung) cã b−íc sãng nhá h¬n mét ng−ìng nhÊt ®Þnh.®iÖn . B Ω e Ω H×nh 1.

hiÖu ®iÖn thÕ VH ®o ®−îc gi÷a hai c¹nh tÊm b¸n dÉn lµ hµm phô thuéc vµo vÞ trÝ cña vËt trong kh«ng gian.I. sÏ xuÊt hiÖn mét hiÖu ®iÖn thÕ VH theo h−íng vu«ng gãc víi B vµ I.18- . BiÓu thøc hiÖu ®iÖn thÕ cã d¹ng: VH = K H .9 øng dông hiÖu øng Hall HiÖu øng Hall ®−îc øng dông ®Ó x¸c ®Þnh vÞ trÝ cña mét vËt chuyÓn ®éng. vµo trong mét tõ tr−êng B cã ph−¬ng t¹o víi dßng ®iÖn I trong tÊm mét gãc θ. Φ B V Φ H×nh 1.dÉn ®−îc chiÕu s¸ng sÏ xuÊt hiÖn mét hiÖu ®iÖn thÕ theo h−íng vu«ng gãc víi tõ tr−êng B vµ h−íng bøc x¹ ¸nh s¸ng. trong ®ã cã dßng ®iÖn ch¹y qua. sin θ Trong ®ã KH lµ hÖ sè phô thuéc vµo vËt liÖu vµ kÝch th−íc h×nh häc cña tÊm vËt liÖu. N S B θ X v X H×nh 1. V× vËy.®iÖn . vÞ trÝ thanh nam ch©m x¸c ®Þnh gi¸ trÞ cña tõ tr−êng B vµ gãc θ t−¬ng øng víi tÊm b¸n dÉn máng lµm vËt trung gian.B. VËt cÇn x¸c ®Þnh vÞ trÝ liªn kÕt c¬ häc víi thanh nam ch©m.tõ h) HiÖu øng Hall Khi ®Æt mét tÊm máng vËt liÖu máng (th−êng lµ b¸n dÉn). .8 øng dông hiÖu øng quang . ë mäi thêi ®iÓm.

4. Nguyªn chÕ t¹o c¶m biÕn thô ®éng C¶m biÕn thô ®éng th−êng ®−îc chÕ t¹o tõ mét trë kh¸ng cã c¸c th«ng sè chñ yÕu nh¹y víi ®¹i l−îng cÇn ®o. cho nªn ®o trë kh¸ng cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc vÞ trÝ cña ®èi t−îng. §Ó chÕ t¹o c¶m biÕn. h»ng sè ®iÖn m«i ε)..1. Gi¸ trÞ cña trë kh¸ng phô thuéc kÝch th−íc h×nh häc. Khi ®ã cã thÓ thiÕt lËp ®−îc sù phô thuéc ®¬n trÞ gi÷a gi¸ trÞ ®¹i l−îng cÇn ®o vµ gi¸ trÞ trë kh¸ng cña c¶m biÕn.. ®é tõ thÈm µ. ¶nh h−ëng cña c¸c ®¹i l−îng kh¸c lµ kh«ng ®¸ng kÓ.). V× vËy t¸c ®éng cña ®¹i l−îng ®o cã thÓ ¶nh h−ëng riªng biÖt ®Õn kÝch th−íc h×nh häc. Si pha t¹p Hîp kim s¾t tõ VËt liÖu tõ ®iÖn trë:Bi. Cu) B¸n dÉn B¸n dÉn Hîp kim Ni. Trong c¸c c¶m biÕn cã phÇn tö chuyÓn ®éng. ¸p suÊt. Sù thay ®æi trë kh¸ng do biÕn d¹ng liªn quan ®Õn lùc t¸c ®éng.1 §¹i l−îng cÇn ®o NhiÖt ®é Bøc x¹ ¸nh s¸ng BiÕn d¹ng VÞ trÝ (nam ch©m) §Æc tr−ng nh¹y c¶m ρ ρ ρ Tõ thÈm (µ) ρ Lo¹i vËt liÖu sö dông Kim lo¹i (Pt. do ®ã liªn quan ®Õn ®¹i l−îng cÇn ®o.19- . Trªn b¶ng 1. ®é chiÕu s¸ng. Sù thay ®æi tÝnh chÊt ®iÖn cña c¶m biÕn phô thuéc vµo b¶n chÊt vËt liÖu chÕ t¹o trë kh¸ng vµ yÕu tè t¸c ®éng (nhiÖt ®é. Sù thay ®æi th«ng sè h×nh häc cña trë kh¸ng g©y ra do chuyÓn ®éng cña phÇn tö chuyÓn ®éng hoÆc phÇn tö biÕn d¹ng cña c¶m biÕn. tÝnh chÊt ®iÖn hoÆc ®ång thêi c¶ hai. mçi vÞ trÝ cña phÇn tö ®éng sÏ øng víi mét gi¸ trÞ x¸c ®Þnh cña trë kh¸ng. InSb . ng−êi ta chän sao cho tÝnh chÊt ®iÖn cña nã chØ nh¹y víi mét trong c¸c ®¹i l−îng vËt lý trªn.2. tÝnh chÊt ®iÖn cña vËt liÖu chÕ t¹o (nh− ®iÖn trë suÊt ρ. ®é Èm . Ni. sù biÕn d¹ng cña phÇn tö biÕn d¹ng d−íi t¸c ®éng cña ®¹i l−îng ®o (lùc hoÆc c¸c ®¹i l−îng g©y ra lùc) g©y ra sù thay ®æi cña trë kh¸ng cña c¶m biÕn.1 giíi thiÖu c¸c ®¹i l−îng cÇn ®o cã kh¶ n¨ng lµm thay ®æi tÝnh chÊt ®iÖn cña vËt liÖu sö dông chÕ t¹o c¶m biÕn. Trong c¶m biÕn cã phÇn tö biÕn d¹ng. X¸c ®Þnh trë kh¸ng ta cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc ®¹i l−îng cÇn ®o. B¶ng 1.

µV H×nh 1. m¹ch ®o th−êng gåm nhiÒu thµnh phÇn trong ®ã cã c¸c khèi ®Ó tèi −u ho¸ viÖc thu thËp vµ xö lý d÷ liÖu.20- .5.10 S¬ ®å m¹ch ®o nhiÖt ®é b»ng cÆp nhiÖt FC (1) M¸y in D (2) PC (4) (5) ADC (6) CPU (7) PA (3) Mµn h×nh H×nh 1.1. ch¼ng h¹n m¹ch tuyÕn tÝnh ho¸ tÝn hiÖu nhËn tõ c¶m biÕn. . m¹ch khö ®iÖn dung ký sinh. ViÖc chuÈn hÖ ®o ®¶m b¶o cho mçi gi¸ trÞ cña chØ thÞ ®Çu ra t−¬ng øng víi mét gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng ®o t¸c ®éng ë ®Çu vµo cña m¹ch. tÝn hiÖu ®iÖn ®· qua xö lý ®−îc chuyÓn ®æi sang d¹ng cã thÓ ®äc ®−îc trùc tiÕp gi¸ trÞ cÇn t×m cña ®¹i l−îng ®o. vÝ dô m¹ch ®o nhiÖt ®é gåm mét cÆp nhiÖt ghÐp nèi trùc tiÕp víi mét miliv«n kÕ.5. do c¸c yªu cÇu kh¸c nhau khi ®o. M¹ch ®o 1.1. ë ®Çu vµo cña m¹ch. bé phËn biÕn ®æi tÝn hiÖu vµ thiÕt bÞ chØ thÞ. c¶m biÕn chÞu t¸c ®éng cña ®¹i l−îng cÇn ®o g©y nªn tÝn hiÖu ®iÖn mang theo th«ng tin vÒ ®¹i cÇn ®o. D¹ng ®¬n gi¶n cña m¹ch ®o gåm mét c¶m biÕn.11 M¹ch ®o ®iÖn thÕ bÒ mÆt 1) M¸y ph¸t chøc n¨ng 2) C¶m biÕn ®iÖn tÝch 3) TiÒn khuÕch ®¹i 4) So pha läc nhiÔu 5) KhuÕch ®¹i 6) ChuyÓn ®æi t−¬ng tù sè 7) M¸y tÝnh Trªn thùc tÕ. ë ®Çu ra cña m¹ch. S¬ ®å m¹ch ®o M¹ch ®o bao gåm toµn bé thiÕt bÞ ®o (trong ®ã cã c¶m biÕn) cho phÐp x¸c ®Þnh chÝnh x¸c gi¸ trÞ cña ®¹i l−îng cÇn ®o trong nh÷ng ®iÒu kiÖn tèt nhÊt cã thÓ.

mét ®Çu kh«ng ®¶o (+). cì 100.000.c¸c bé chuyÓn ®æi nhiÒu kªnh.HÖ sè suy gi¶m theo c¸ch nèi chung CMRR lµ tû sè hÖ sè khuÕch ®¹i cña bé khuÕch ®¹i thuËt to¸n ®èi víi c¸c tÝn hiÖu sai lÖch vµ hÖ sè khuÕch ®¹i theo c¸ch nèi chung cña cïng bé khuÕch ®¹i thuËt to¸n. bé so pha läc nhiÔu. bé vi xö lý.Bé khuÕch ®¹i cã hai ®Çu vµo: mét ®Çu ®¶o (-). Th«ng th−êng CMRR vµo kho¶ng 90 dB. Trªn h×nh 1. . Mét sè phÇn tö c¬ b¶n cña m¹ch ®o a) Bé khuÕch ®¹i thuËt to¸n (K§TT) Bé khuÕch ®¹i thuËt to¸n m¹ch tÝch hîp lµ bé khuÕch ®¹i dßng mét chiÒu cã hai ®Çu vµo vµ mét ®Çu ra chung.5.. bé khuÕch ®¹i.sè.12 S¬ ®å bé khuÕch ®¹i thuËt to¸n C¸c ®Æc tÝnh c¬ b¶n cña bé khuÕch ®¹i thuËt to¸n: . .21- . cì vµi nV. c¸c thiÕt bÞ hç trî.Tèc ®é t¨ng h¹n chÕ sù biÕn thiªn cùc ®¹i cña ®iÖn ¸p tÝnh b»ng V/µs. cì hµng tr¨m MΩ ®Õn GΩ.HÖ sè khuÕch ®¹i hë m¹ch rÊt lín. tô ®iÖn ghÐp nèi víi nhau..§iÖn trë ra rÊt nhá.12. . b) Bé khuÕch ®¹i ®o l−êng IA Bé khuÕch ®¹i ®o l−êng IA cã hai ®Çu vµo vµ mét ®Çu ra. .D¶i tÇn lµm viÖc réng.§iÖn ¸p lÖch ®Çu vµo rÊt nhá. TÝn hiÖu ®Çu ra tû lÖ víi hiÖu cña hai ®iÖn ¸p ®Çu vµo: U ra = A(U + − U − ) = A∆U . bé chuyÓn ®æi t−¬ng tù . cì phÇn chôc Ω. .§iÖn trë vµo rÊt lín.11 biÓu diÔn s¬ ®å khèi mét m¹ch ®iÖn ®o ®iÖn thÕ trªn bÒ mÆt mµng nh¹y quang ®−îc l¾p r¸p tõ nhiÒu phÇn tö 1. S¬ ®å bé khuÕch ®¹i thuËt to¸n biÓu diÔn trªn h×nh 1.Uvµo Ura H×nh 1. th−êng gåm hµng tr¨m tranzito vµ c¸c ®iÖn trë. .2. . − K + Ura = K.

§iÖn ¸p trªn Ra ph¶i b»ng ®iÖn ¸p vi sai ®Çu vµo ∆U vµ t¹o nªn dßng ®iÖn i = ∆U .01k §Çu vµo H×nh 1. nh−ng khi sö dông m¹ch kÝn ®iÖn ¸p nµy ®−îc khuÕch ®¹i vµ t¹o nªn ®iÖn ¸p kh¸ lín ë ®Çu ra.14.22- . C¸c ®iÖn ¸p ra tõ K§TT U1 vµ U2 ph¶i b»ng nhau vÒ Ra biªn ®é nh−ng ng−îc pha. HÖ sè khuÕch ®¹i tæng cña IA b»ng: ⎛ 2R ⎞ R 3 A = ⎜1 + ⎜ R ⎟R ⎟ ⎝ a ⎠ 1 c) Khö ®iÖn ¸p lÖch §èi víi mét bé khuÕch K§TT lý t−ëng khi hë m¹ch ph¶i cã ®iÖn ¸p ra b»ng kh«ng khi hai ®Çu vµo nèi m¸t. b»ng c¸ch ®iÒu chØnh biÕn trë R3. §Ó khö ®iÖn ¸p lÖch cã thÓ sö dông s¬ ®å h×nh 1.14 S¬ ®å m¹ch khö ®iÖn ¸p lÖch . Thùc tÕ v× c¸c ®iÖn ¸p bªn trong nªn t¹o ra mét ®iÖn ¸p nhá (®iÖn ¸p ph©n cùc) ë ®Çu vµo K§TT cì vµi mV. + 9V 7 2 3 + − 714 4 1 5 R3 10k 6 R2 100k .9V §Çu ra R1 1. §iÖn ¸p U3 cña tÇng thø hai biÕn ®æi ®Çu ra vi sai thµnh ®Çu ra ®¬n cùc.13 S¬ ®å bé khuÕch ®¹i ®o l−êng gåm ba K§TT ghÐp nèi ®iÖn trë §Çu vµo vi sai ®ãng vai trß rÊt quan träng trong viÖc khö nhiÔu ë chÕ ®é chung vµ t¨ng ®iÖn trë vµo cña K§TT.U1 − + − R2 10k R 10k Ra 1k R 10k U2 R2 10k R3 10k − U3 §Çu ra + + − + R3 190k H×nh 1.

Khi R1 = R2 vµ R3 = R4 ®é nh¹y cña cÇu lµ cùc ®¹i.23- . R1 U + R2 R4 = R(1+∆) − R3 Vra H×nh 1. M¹ch lÆp ®iÖn ¸p cã chøc n¨ng t¨ng ®iÖn trë ®Çu vµo.15.16) ho¹t ®éng nh− cÇu kh«ng c©n b»ng dùa trªn viÖc ph¸t hiÖn ®iÖn ¸p qua ®−êng chÐo cña cÇu.15 S¬ ®å m¹ch cÇu Trong m¹ch cÇu. lùc. R (1 + k )2 . ¸p suÊt. tõ tr−êng. R2.9V 6 §Çu vµo §Çu ra H×nh 1. cßn cùc ©m ®−îc nèi trùc tiÕp víi ®Çu ra. e) M¹ch cÇu CÇu Wheatstone th−êng ®−îc sö dông trong c¸c m¹ch ®o nhiÖt ®é.15 S¬ ®å m¹ch lÆp ®iÖn ¸p Trong bé lÆp ®iÖn ¸p. R3 cè ®Þnh vµ R4 thay ®æi (m¾c nh− h×nh 1. do vËy th−êng dïng ®Ó nèi gi÷a hai kh©u trong m¹ch ®o. cùc d−¬ng cña K§TT ®−îc nèi trùc tiÕp víi tÝn hiÖu vµo.d) M¹ch lÆp l¹i ®iÖn ¸p §Ó lÆp l¹i ®iÖn ¸p chÝnh x¸c.. + 9V 7 2 3 − + 714 4 . t¹o nªn ®iÖn ¸p ph¶n håi 100% do ®ã hÖ sè khuÕch ®¹i b»ng 1.. CÇu gåm bèn ®iÖn trë R1. ng−êi ta sö dông bé K§TT lµm viÖc ë chÕ ®é kh«ng ®¶o víi hÖ sè khuÕch ®¹i b»ng 1 s¬ ®å nh− h×nh 1. ®iÖn ¸p ra lµ hµm phi tuyÕn nh−ng ®èi víi biÕn ®æi nhá (∆<0. §Æt K = R1/R2 ®é nh¹y cña cÇu lµ: α= U K . Tr−êng hîp R1 >> R2 hoÆc R2 >> R1 ®iÖn ¸p ra cña cÇu gi¶m.05) cã thÓ coi lµ tuyÕn tÝnh.

24- ..

575 0. mçi h¹t mang mét n¨ng l−îng nhÊt ®Þnh.590 0. vïng ¸nh s¸ng nh×n thÊy cã b−íc sãng tõ 0.01 0.Khi m«i tr−êng lµ ch©n kh«ng : λ= v .Khi m«i tr−êng lµ vËt chÊt : λ = Trong ®ã ν lµ tÇn sè ¸nh s¸ng.1. ®−îc x¸c ®Þnh theo c«ng thøc: v= c n n . ¸nh s¸ng lµ mét d¹ng cña sãng ®iÖn tõ.Ch−¬ng II C¶m biÕn quang 2.792 km/s.1 biÓu diÔn phæ ¸nh s¸ng vµ sù ph©n chia thµnh c¸c d¶i mµu cña phæ.24 - .1.455 0.4 .4 0.1 0.chiÕt suÊt cña m«i tr−êng. ν c ν . 0.395 0.75 1.ng¾n hång ngo¹i h.2 10 30 100 tr«ng thÊy cùc tÝm h. ¸nh s¸ng gåm c¸c h¹t nhá gäi lµ photon.1.1 Phæ ¸nh s¸ng VËn tèc truyÒn ¸nh s¸ng trong ch©n kh«ng c = 299.490 0.750 vµng cùc tÝm tÝm lam lôc da cam ®á hång ngo¹i λ(µm) 0. TÝnh chÊt h¹t cña ¸nh s¸ng thÓ hiÖn qua sù t−¬ng t¸c cña ¸nh s¸ng víi vËt chÊt. ¸nh s¸ng võa cã tÝnh chÊt sãng võa cã tÝnh chÊt h¹t. TÝnh chÊt vµ ®¬n vÞ ®o ¸nh s¸ng 2. trong m«i tr−êng vËt chÊt vËn tèc truyÒn sãng gi¶m.n. TÝnh chÊt cña ¸nh s¸ng Nh− chóng ta ®· biÕt.650 0. Trªn h×nh 2. ngo¹i xa H×nh 2. Mèi quan hÖ gi÷a tÇn sè ν vµ b−íc sãng λ cña ¸nh s¸ng x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc: . n¨ng l−îng nµy chØ phô thuéc tÇn sè ν cña ¸nh s¸ng: .75 µm.0.

H×nh 2.2. C¸c ®¹i l−îng thÞ gi¸c nhËn ®−îc tõ ®¹i l−îng n¨ng l−îng t−¬ng øng th«ng qua hÖ sè tØ lÖ K. E= (2. 2.Th«ng l−îng ¸nh s¸ng (Φ): lµ c«ng suÊt ph¸t x¹. . lan truyÒn hoÆc hÊp thô ®o b»ng oat (W): Φ= dQ dt (2. C¸c ®¬n vÞ ®o quang a) §¬n vÞ ®o n¨ng l−îng . ng−îc l¹i khi b−íc sãng cµng ng¾n th× tÝnh chÊt h¹t thÓ hiÖn cµng râ. L= dI dA n (2.10-34J.2) .C−êng ®é ¸nh s¸ng (I): lµ luång n¨ng l−îng ph¸t ra theo mét h−íng cho tr−íc øng víi mét ®¬n vÞ gãc khèi.Wφ = hν (2.5) §é räi n¨ng l−îng ®o b»ng oat/m2.3) . B−íc sãng cña bøc x¹ ¸nh s¸ng cµng dµi th× tÝnh chÊt sãng thÓ hiÖn cµng râ.4) Trong ®ã dAn = dA.V(λ). .25 - . tÝnh b»ng oat/steriadian.m2.§é chãi n¨ng l−îng (L): lµ tØ sè gi÷a c−êng ®é ¸nh s¸ng ph¸t ra bëi mét phÇn tö bÒ mÆt cã diÖn tÝch dA theo mét h−íng x¸c ®Þnh vµ diÖn tÝch h×nh chiÕu dAn cña phÇn tö nµy trªn mÆt ph¼ng P vu«ng gãc víi h−íng ®ã. §é chãi n¨ng l−îng ®o b»ng oat/Steriadian. §é räi n¨ng l−îng (E): lµ tØ sè gi÷a luång n¨ng l−îng thu ®−îc bëi mét phÇn tö dΦ dA bÒ mÆt vµ diÖn tÝch cña phÇn tö ®ã.1) Trong ®ã h lµ h»ng sè Planck (h = 6.N¨ng l−îng bøc x¹ (Q): lµ n¨ng l−îng lan truyÒn hoÆc hÊp thô d−íi d¹ng bøc x¹ ®o b»ng Jun (J). b) §¬n vÞ ®o thÞ gi¸c §é nh¹y cña m¾t ng−êi ®èi víi ¸nh s¸ng cã b−íc sãng kh¸c nhau lµ kh¸c nhau.1.s).cosθ.6256. víi θ lµ gãc gi÷a P vµ mÆt ph¼ng chøa dA.2 biÓu diÔn ®é nh¹y t−¬ng ®èi cña m¾t V(λ) vµo b−íc sãng. I= dΦ dΩ (2.

5 0 0.2 §−êng cong ®é nh¹y t−¬ng ®èi cña m¾t Theo quy −íc.4 0.1.2.3 0. Do vËy luång ¸nh s¸ng ®¬n s¾c tÝnh theo ®¬n vÞ ®o thÞ gi¸c: Φ V (λ ) = 680V(λ )Φ (λ ) lumen §èi víi ¸nh s¸ng phæ liªn tôc: Φ V = 680 ∫ V(λ ) λ1 λ2 dΦ ( λ ) dλ lumen dλ T−¬ng tù nh− vËy ta cã thÓ chuyÓn ®æi t−¬ng øng c¸c ®¬n vÞ ®o n¨ng l−îng vµ ®¬n vÞ ®o thÞ gi¸c.8 λ (µm) λmax H×nh 2.s) oat(W) oat/sr(W/sr) oat/sr.s (lm.5 0.26 - . B¶ng 2.6 0. B¶ng 2.m2 (W/sr.m2) oat/m2 (W/m2) jun (j) HiÖu øng quang dÉn (hay cßn gäi lµ hiÖu øng quang ®iÖn néi) lµ hiÖn t−îng gi¶i phãng nh÷ng h¹t t¶i ®iÖn (h¹t dÉn) trong vËt liÖu d−íi t¸c dông cña ¸nh s¸ng lµm t¨ng ®é dÉn ®iÖn cña vËt liÖu. HiÖu øng quang dÉn lumen(lm) cadela(cd) cadela/m2 (cd/m2) lumen/m2 hay lux (lx) lumen.1 §¹i l−îng ®o §¬n vÞ thÞ gi¸c §¬n vÞ n¨ng l−îng Luång (th«ng l−îng) C−êng ®é §é chãi §é räi N¨ng l−îng 2.2. do ®ã K=680.1 liÖt kª c¸c ®¬n vÞ ®o quang c¬ b¶n.V(λ) 1 0. C¶m biÕn quang dÉn 2. mét luång ¸nh s¸nh cã n¨ng l−îng 1W øng víi b−íc sãng λmax t−¬ng øng víi luång ¸nh s¸ng b»ng 680 lumen. .7 0.

®iÖn tö + hν + læ trèng + læ trèng H×nh 2. Gi¶ sö cã mét tÊm b¸n dÉn ph¼ng thÓ tÝch V pha t¹p lo¹i N cã nång ®é c¸c donor Nd. ¶nh h−ëng cña b¶n chÊt vËt liÖu ®Õn h¹t dÉn ®−îc gi¶i phãng H¹t dÉn ®−îc gi¶i phãng do chiÕu s¸ng phô thuéc vµo b¶n chÊt cña vËt liÖu bÞ chiÕu s¸ng. cã møc n¨ng l−îng n»m d−íi vïng dÉn mét kho¶ng b»ng Wd ®ñ lín ®Ó ë nhiÖt ®é phßng vµ khi ë trong tèi nång ®é n0 cña c¸c donor bÞ ion ho¸ do nhiÖt lµ nhá. §èi víi tr−êng hîp b¸n dÉn pha t¹p.3.lç trèng.4.27 - . víi hÖ sè a x¸c ®Þnh theo c«ng thøc: . §èi víi c¸c chÊt b¸n dÉn tinh khiÕt c¸c h¹t dÉn lµ cÆp ®iÖn tö . TÕ bµo quang dÉn vµ sù chuyÓn møc n¨ng l−îng cña ®iÖn tö Khi ë trong tèi. Khi ®iÖn tö ®−îc gi¶i phãng khái nguyªn tö.®iÖn tö hν hν .Trong chÊt b¸n dÉn. nång ®é ®iÖn tö ®−îc gi¶i phãng trong mét ®¬n vÞ thêi gian tØ lÖ víi nång ®é c¸c t¹p chÊt ch−a bÞ ion ho¸ vµ b»ng a(Nd -no). h¹t dÉn ®−îc gi¶i phãng lµ ®iÖn tö nÕu lµ pha t¹p dono hoÆc lµ lç trèng nÕu lµ pha t¹p acxepto. . chiÕu s¸ng V A L Vïng dÉn Wd + + + Vïng ho¸ trÞ + + + + hν hν H×nh 2. c¸c ®iÖn tö liªn kÕt víi h¹t nh©n. ®Ó gi¶i phãng ®iÖn tö khái nguyªn tö cÇn cung cÊp cho nã mét n¨ng l−îng tèi thiÓu b»ng n¨ng l−îng liªn kÕt Wlk. sÏ t¹o thµnh h¹t dÉn míi trong vËt liÖu.

víi A.sè ®iÖn tö ®−îc gi¶i phãng trong thÓ tÝch V trong thêi gian mét gi©y.9) . Khi chiÕu s¸ng.L.8) Trong ®ã µ lµ ®é linh ®éng cña ®iÖn tö. c¸c photon sÏ ion ho¸ c¸c nguyªn tö donor.N d n0 = +⎜ + 2. chØ phÇn cßn l¹i míi tham gia vµo gi¶i phãng ®iÖn tö. n 0 . Φ V A. nh−ng sù t¨ng mËt ®é ®iÖn tö tù do do sù kÝch thÝch nhiÖt lín h¬n nhiÒu nªn ¶nh h−ëng cña nã lµ nh©n tè quyÕt ®Þnh ®èi víi ®é dÉn. L lµ diÖn tÝch mÆt c¹nh vµ chiÒu réng tÊm b¸n dÉn (h×nh 2. T lµ nhiÖt ®é tuyÖt ®èi cña Sè ®iÖn tö t¸i hîp víi c¸c nguyªn tö ®· bÞ ion ho¸ trong mét ®¬n vÞ thêi gian tØ lÖ víi c¸c nguyªn tö ®· bÞ ion ho¸ n0 vµ nång ®é ®iÖn tö còng chÝnh b»ng n0 vµ b»ng 2 r. mét sè bÞ ph¶n x¹ ngay ë bÒ mÆt. Tuy nhiªn kh«ng ph¶i tÊt c¶ c¸c photon ®Ëp tíi bÒ mÆt vËt liÖu ®Òu gi¶i phãng ®iÖn tö.⎛ qWd ⎞ a = exp⎜ − ⎟ ⎝ kT ⎠ khèi vËt liÖu. Do vËy. r ⎜ 4 r 2 r ⎝ σ 0 = qµn 0 (2. V=A. mét sè bÞ hÊp thô vµ chuyÓn n¨ng l−îng cho ®iÖn tö d−íi d¹ng nhiÖt n¨ng. Ph−¬ng tr×nh ®éng häc biÓu diÔn sù thay ®æi nång ®é ®iÖn tö tù do trong khèi vËt liÖu cã d¹ng: dn 0 2 = a (N d − n 0 ) − r. (2. gi¶i phãng ra c¸c ®iÖn tö.n 0 dt ë tr¹ng th¸i c©n b»ng ta cã : dn 0 =0 dt ⎞ ⎟ ⎟ ⎠ 1/ 2 Suy ra: a ⎛ a 2 a.4). k lµ h»ng sè. x¸c ®Þnh bëi c«ng thøc: g= Trong ®ã: G .28 - . G 1 η(1 − R ) = .7) §é dÉn trong tèi ®−îc biÓu diÔn bëi hÖ thøc: (2. trong ®ã r lµ hÖ sè t¸i hîp.L hν (2.6) Trong ®ã q lµ trÞ tuyÖt ®èi cña ®iÖn tÝch ®iÖn tö. ®é linh ®éng cña ®iÖn tö gi¶m. sè ®iÖn tö (g) ®−îc gi¶i phãng do bÞ chiÕu s¸ng trong mét gi©y øng víi mét ®¬n vÞ thÓ tÝch vËt liÖu. Khi nhiÖt ®é t¨ng.

n 2 dt Th«ng th−êng bøc x¹ chiÕu tíi ®ñ lín ®Ó sè ®iÖn tö ®−îc gi¶i phãng lín h¬n rÊt nhiÒu so víi ®iÖn tö ®−îc gi¶i phãng do nhiÖt: g >> a (N d − n ) vµ n>>n0 Trong ®iÒu kiÖn trªn. PbS. SbIn. PbTe.1. Ph−¬ng tr×nh ®éng häc cña t¸i hîp trong tr−êng hîp nµy cã d¹ng: dn = a (N d − n ) + g − r. Sb. b¸n dÉn riªng hoÆc b¸n dÉn pha t¹p.11) ta nhËn thÊy ®é dÉn lµ hµm kh«ng tuyÕn tÝnh cña th«ng l−îng ¸nh s¸ng.11) Tõ c«ng thøc (2.b−íc sãng ¸nh s¸ng.§¬n tinh thÓ: Ge.η . . (2. Si tinh khiÕt hoÆc pha t¹p Au.10) §é dÉn t−¬ng øng víi nång ®é ®iÖn tö ë ®iÒu kiÖn c©n b»ng: σ = qµn . 2. PIn.10) vµ (2. λ .th«ng l−îng ¸nh s¸ng.5 . In. Cu.29 - .hiÖu suÊt l−îng tö (sè ®iÖn tö hoÆc lç trèng trung b×nh ®−îc gi¶i phãng khi mét photon bÞ hÊp thô). CdTe. Vïng phæ lµm viÖc cña c¸c vËt liÖu nµy biÓu diÔn trªn h×nh 2. CdSe. TÕ bµo quang dÉn a) VËt liÖu chÕ t¹o TÕ bµo quang dÉn ®−îc chÕ t¹o c¸c b¸n dÉn ®a tinh thÓ ®ång nhÊt hoÆc ®¬n tinh thÓ. AsIn. h . nã tØ lÖ víi Φ1/2.h»ng sè Planck.§a tinh thÓ: CdS. Φ . R . PbSe.5 .2. rót ra ph−¬ng tr×nh ®éng häc cho mËt ®é ®iÖn tö ë ®iÒu kiÖn c©n b»ng d−íi t¸c dông chiÕu s¸ng: ⎛g⎞ n=⎜ ⎟ ⎝r⎠ 1/ 2 (2.2. cdHgTe. . (2. Thùc nghiÖm cho thÊy sè mò cña hµm Φ n»m trong kho¶ng 0.lµ hÖ sè ph¶n x¹ cña bÒ mÆt vËt liÖu.9).

6 lµ mét vÝ dô vÒ sù thay ®æi cña ®iÖn trë c¶m biÕn theo ®é räi s¸ng.1 1 10 100 1000 §é räi s¸ng (lx) H×nh 2. nhiÖt ®é vµ b¶n chÊt ho¸ lý cña vËt liÖu chÕ t¹o. Sù phô thuéc cña ®iÖn trë vµo ®é räi s¸ng TÕ bµo quang dÉn cã thÓ coi nh− mét m¹ch t−¬ng ®−¬ng gåm hai ®iÖn trë Rc0 vµ Rcp m¾c song song: . Vïng phæ lµm viÖc cña mét sè vËt liÖu quang dÉn b) C¸c ®Æc tr−ng .6. C¸c chÊt PbS.30 - .103 Ω ë 25oC).§iÖn trë : Gi¸ trÞ ®iÖn trë tèi RC0 cña c¸c quang ®iÖn trë phô thuéc rÊt lín vµo h×nh d¹ng h×nh häc.109 Ω ë 25oC). SbAs. trong khi ®ã SbIn.CdS CdSe CdTe PbS PbSe PbTe Ge Si GeCu SnIn AsIn CdHg 0. kÝch th−íc. §iÖn trë (Ω) 106 106 104 102 0.2 0.6 1 2 3 4 5 10 20 λ. Trªn h×nh 2. CdHgTe cã ®iÖn trë tèi t−¬ng ®èi nhá ( tõ 10 Ω .5. µm 30 H×nh 2. §iÖn trë Rc cña c¶m biÕn gi¶m rÊt nhanh khi ®é räi t¨ng lªn. CdS. CdSe cã ®iÖn trë tèi rÊt lín ( tõ 104 Ω .

®é dÉn ®iÖn cña tÕ bµo quang dÉn lµ tæng ®é dÉn trong tèi vµ ®é dÉn khi chiÕu s¸ng: G c = G co + G cp Trong ®ã: .12) Trong ®ã: Rco . ®é nh¹y nhiÖt cña tÕ bµo quang dÉn phô thuéc vµo nhiÖt ®é.1. Rcp . nhiÖt ®é. dßng ®iÖn qua m¹ch: (2. nªn cã thÓ coi Rc=Rcp. .hÖ sè cã gi¸ trÞ tõ 0.1) I = VG co + VG cp = I 0 + I P Trong ®iÒu kiÖn sö dông th«ng th−êng I0<<IP. tØ lÖ chuyÓn ®æi tÜnh: I V γ −1 = Φ Φ a Vµ ®é nh¹y: ∆I V = γ Φ γ −1 ∆Φ a Tõ hai biÓu thøc (2.hÖ sè phô thuéc vµo b¶n chÊt vËt liÖu. Khi ®Æt ®iÖn ¸p V vµo tÕ bµo quang dÉn. C«ng thøc (2. do ®ã dßng quang ®iÖn cña tÕ bµo quang dÉn x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc: IP = V γ Φ a (2. Th«ng th−êng Rcp <<Rc0.16) vµ (2. γ .16) (2.§é nh¹y: Theo s¬ ®å t−¬ng ®−¬ng cña tÕ bµo quang dÉn.17) cã thÓ thÊy: . tuy nhiªn cã thÓ tuyÕn tÝnh hãa b»ng c¸ch sö dông mét ®iÖn trë m¾c song song víi tÕ bµo quang dÉn.Gcp lµ ®iÖn trë khi chiÕu s¸ng: Gco = 1/Rcp = Φγ/a. MÆt kh¸c. a . .Gco lµ ®é dÉn trong tèi: Gco = 1/Rco.12) cho thÊy sù phô thuéc cña ®iÖn trë cña tÕ bµo quang dÉn vµo th«ng l−îng ¸nh s¸ng lµ kh«ng tuyÕn tÝnh.®iÖn trë trong tèi.31 - (2. khi ®é räi cµng lín ®é nh¹y nhiÖt cµng nhá.15) §èi víi luång bøc x¹ cã phæ x¸c ®Þnh.Rc = R co R cp R co + R cp (2.5 . phæ bøc x¹.17) .®iÖn trë khi chiÕu s¸ng: R cp = aΦ − γ .

1 -150 -100 -50 0 50 NhiÖt ®é (oC) H×nh 2.8a) 10 §é nh¹y t−¬ng ®èi 5 1 0.28) . ®é nh¹y gi¶m khi bøc x¹ t¨ng (trõ khi γ =1).7).5 0.7 ¶nh h−ëng cña nhiÖt ®é ®Õn ®é nh¹y cña tÕ bµo quang dÉn §é nh¹y t−¬ng ®èi (%) 100 50 30 §é nh¹y t−¬ng ®èi 10 5 1 10 5 3 10-1 10-2 1 1 2 3 B−íc sãng (µm) 10-3 300 400 500 NhiÖt ®é vËt ®en tuyÖt ®èi (K) a) b) H×nh 2. . ®é nh¹y phæ cña tÕ bµo quang dÉn x¸c ®Þnh nhê ®−êng cong biÓu diÔn sù phô thuéc cña håi ®¸p vµo b−íc sãng (h×nh 2. dÉn ®Õn ®é nh¹y gi¶m (h×nh 2.32 - .. ®é nh¹y tû lÖ thuËn víi ®iÖn ¸p ®Æt vµo tÕ bµo quang dÉn.TÕ bµo quang dÉn lµ mét c¶m biÕn kh«ng tuyÕn tÝnh.Khi ®iÖn ¸p ®Æt vµo ®ñ nhá. Khi ®iÖn ¸p ®Æt vµo lín. Tr−êng hîp bøc x¹ ¸nh s¸ng lµ ®¬n s¾c.8 §é nh¹y cña tÕ bµo quang dÉn a) §−êng cong phæ håi ®¸p b) Sù thay ®æi cña ®é nh¹y theo nhiÖt ®é S (λ ) = ∆I ∆Φ(λ ) (2. Ip phô thuéc vµo λ. hiÖu øng Joule lµm t¨ng nhiÖt ®é.

.3.§é nh¹y cao.9). . mét thuéc lo¹i N vµ mét thuéc lo¹i P.8b).§é nh¹y phæ cña tÕ bµo quang dÉn lµ hµm phô thuéc nhiÖt ®é nguån s¸ng. dßng Ip vµ do ®ã ®é nh¹y toµn phÇn phô thuéc phæ bøc x¹ (h×nh 2. . Khi bøc x¹ kh«ng ph¶i lµ ®¬n s¾c.Mét sè lo¹i ®ßi hái lµm nguéi. khi nhiÖt ®é t¨ng ®é nh¹y phæ t¨ng. T¹i mÆt tiÕp xóc h×nh thµnh mét vïng nghÌo h¹t dÉn v× t¹i vïng nµy tån t¹i mét ®iÖn tr−êng vµ h×nh thµnh hµng rµo thÕ Vb. tÕ bµo quang dÉn ®−îc dïng trong hai tr−êng hîp: §iÒu khiÓn r¬ le: khi cã bøc x¹ ¸nh s¸ng chiÕu lªn tÕ bµo quang dÉn.Thêi gian håi ®¸p lín.§é nh¹y phô thuéc nhiÖt ®é.9 Dïng tÕ bµo quang dÉn ®iÒu khiÓn r¬le a) §iÒu khiÓn trùc tiÕp b) §iÒu khiÓn th«ng qua tranzito khuÕch ®¹i 2. ®iÖn trë cña nã gi¶m ®¸ng kÓ. .C¸c ®Æc tr−ng kh«ng æn ®Þnh do giµ ho¸. Thu tÝn hiÖu quang: dïng tÕ bµo quang dÉn ®Ó thu vµ biÕn tÝn hiÖu quang thµnh xung ®iÖn.2. Photo®iot a) CÊu t¹o vµ nguyªn lý ho¹t ®éng XÐt hai tÊm b¸n dÉn. ®−îc sö dông trùc tiÕp hoÆc qua khuÕch ®¹i ®Ó ®ãng më r¬le (h×nh 2.33 - .Tû lÖ chuyÓn ®æi tÜnh cao. Trong thùc tÕ. ghÐp tiÕp xóc nhau. c) §Æc ®iÓm vµ øng dông §Æc ®iÓn chung cña c¸c tÕ bµo quang dÉn: . C¸c xung ¸nh s¸ng ng¾t qu¶ng ®−îc thÓ hiÖn qua xung ®iÖn. cho dßng ®iÖn ch¹y qua ®ñ lín. trªn c¬ së ®ã cã thÓ lËp c¸c m¹ch ®Õm vËt hoÆc ®o tèc ®é quay cña ®Üa. . . + + H×nh 2. .Håi ®¸p phô thuéc kh«ng tuyÕn tÝnh vµo th«ng l−îng.

chiÒu cao hµng rµo thÕ q lín ®Õn møc dßng khuÕch t¸n cña c¸c h¹t c¬ b¶n trë nªn rÊt nhá vµ cã thÓ bá qua vµ chØ cßn l¹i dßng ng−îc cña ®i«t. . Sù t¸ch cÆp ®iÖn tö .lç trèng. Dßng ®iÖn qua chuyÓn tiÕp: ⎡ qV ⎤ I = I 0 exp ⎢ d ⎥ − I 0 ⎣ kT ⎦ Khi ®iÖn ¸p ng−îc ®ñ lín (Vd<< - kT = −26 mV ë 300K).Dßng khuÕch t¸n c¸c h¹t c¬ b¶n sinh ra khi ion ho¸ c¸c t¹p chÊt (lç trong trong b¸n dÉn lo¹i P. sÏ xuÊt hiÖn thªm c¸c cÆp ®iÖn tö .lç trèng chØ xÈy ra trong vïng nghÌo nhê t¸c dông cña ®iÖn tr−êng.lç trèng.N vµ hiÖu øng quang ®iÖn trong vïng nghÌo Khi cã ®iÖn ¸p ®Æt lªn ®i«t. hµng rµo thÕ thay ®æi kÐo theo sù thay ®æi dßng h¹t c¬ b¶n vµ bÒ réng vïng nghÌo.Khi kh«ng cã ®iÖn thÕ ë ngoµi ®Æt lªn chuyÓn tiÕp (V=0). lç trèng trong b¸n dÉn N) chuyÓn ®éng d−íi t¸c dông cña ®iÖn tr−êng E trong vïng nghÌo. thùc tÕ dßng I chÝnh lµ dßng tæng céng cña hai dßng ®iÖn b»ng nhau vµ ng−îc chiÒu: .10 S¬ ®å chuyÓn tiÕp P . ®iÖn tö trong b¸n dÉn lo¹i N) do n¨ng l−îng nhiÖt cña c¸c h¹t dÉn c¬ b¶n ®ñ lín ®Ó v−ît qua hµng rµo thÕ.34 - . Khi chiÕu s¸ng ®i«t b»ng bøc x¹ cã b−íc sãng nhá h¬n b−íc sãng ng−ìng. dßmg ®iÖn ch¹y qua chuyÓn tiÕp i = 0. tøc lµ nhanh chãng t¸ch rêi cÆp ®iÖn tö .Dßng h¹t dÉn kh«ng c¬ b¶n sinh ra do kÝch thÝch nhiÖt (®iÖn tö trong b¸n dÉn P. Vïng nghÌo Vïng chuyÓn tiÕp hν Ir P E P N −+ Vïng nghÌo N − + Vb H×nh 2. §Ó c¸c h¹t dÉn nµy tham gia dÉn ®iÖn cÇn ph¶i ng¨n c¶n sù t¸i hîp cña chóng. khi ®ã i = I0. .

Th«ng l−îng ¸nh s¸ng chiÕu tíi vïng nghÌo phô thuéc ®¸ng kÓ vµo chiÒu dµy líp vËt liÖu mµ nã ®i qua: Φ = Φ 0 e − αx Trong ®ã hÖ sè α ≈ 105 cm-1. Ir Vd + − Th«ng l−îng -40 -30 -20 ES -10 0 20 40 60 Ir 50µW 100µW 150µW 200µW ES Rm VR a) b) H×nh 2.12a) gåm mét nguån Es ph©n cùc ng−îc ®i«t vµ mét ®iÖn trë Rm ®Ó ®o tÝn hiÖu. víi lo¹i ®i«t nµy chØ cÇn ®iÖn ¸p ng−îc vµi v«n cã thÓ më réng vïng nghÌo ra toµn bé líp b¸n dÉn I. Φ P I N − + H×nh 2.11 CÊu t¹o ®i«t lo¹i PIN b) ChÕ ®é ho¹t ®éng . Kh¶ n¨ng hÊp thô bøc x¹ phô thuéc rÊt lín vµo bÒ réng vïng nghÌo. §Ó t¨ng kh¶ n¨ng më réng vïng nghÌo ng−êi ta dïng ®i«t PIN. líp b¸n dÉn riªng I kÑp gi÷a hai líp b¸n dÉn P vµ N.40) .12 S¬ ®å nguyªn lý vµ chÕ ®é lµm viÖc Dßng ng−îc qua ®i«t: ⎡ qV ⎤ I r = −I 0 exp ⎢ d ⎥ + I 0 + I p ⎣ kT ⎦ (2.ChÕ ®é quang dÉn: S¬ ®å nguyªn lý (h×nh 2. §Ó t¨ng th«ng l−îng ¸nh s¸ng ®Õn vïng nghÌo ng−êi ta chÕ t¹o ®i«t víi phiÕn b¸n dÉn chiÒu dµy rÊt bÐ.35 - .Sè h¹t dÉn ®−îc gi¶i phãng phô thuéc vµo th«ng l−îng ¸nh s¸ng ®¹t tíi vïng nghÌo vµ kh¶ n¨ng hÊp thô cña vïng nµy.

§i«t lµm viÖc nh− mét bé chuyÓn ®æi n¨ng l−îng t−¬ng ®−¬ng víi mét m¸y ph¸t vµ ng−êi ta ®o thÕ hë m¹ch V0C hoÆc ®o dßng ng¾n m¹ch ISC.Trong ®ã Ip lµ dßng quang ®iÖn: Ip = qη(1 − R )λ Φ 0 exp(− αX ) hc (2. §o thÕ hë m¹ch: Khi chiÕu s¸ng.11b). ta cã: ⎣ kT ⎦ IR = I0 + IP Th«ng th−êng I0 <<IP do ®ã IR ≈ IP.41) ⎡ qV ⎤ Khi ®iÖn ¸p ng−îc Vd ®ñ lín.ChÕ ®é quang thÕ: Trong chÕ ®é nµy kh«ng cã ®iÖn ¸p ngoµi ®Æt vµo ®i«t. Ta cã: ⎡ qV ⎤ − I 0 exp ⎢ d ⎥ + I 0 + I p = 0 ⎣ kT ⎦ ∆Vb = ⎡ I ⎤ kT log ⎢1 + P ⎥ q ⎣ I0 ⎦ Rót ra: §é gi¶m chiÒu cao ∆Vb cña hµng rµo thÕ cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc th«ng qua ®o ®iÖn ¸p gi÷a hai ®Çu ®i«t khi hë m¹ch. Sù gi¶m chiÒu cao hµng rµo thÕ lµm cho dßng h¹t dÉn c¬ b¶n t¨ng lªn. khi ®¹t c©n b»ng Ir = 0. Ph−¬ng tr×nh m¹ch ®iÖn: E = VR − VD Trong ®ã VR = R m I r cho phÐp vÏ ®−êng th¼ng t¶i ∆ (h×nh 2. VR tØ lÖ víi th«ng l−îng. thµnh phÇn exp ⎢ d ⎥ → 0. VOC = ⎡ I ⎤ kT log ⎢1 + P ⎥ q ⎣ I0 ⎦ . ChÕ ®é lµm viÖc nµy lµ tuyÕn tÝnh. .36 - . dßng IP t¨ng lµm cho hµng rµo thÕ gi¶m mét l−îng ∆Vb. Dßng ®iÖn ch¹y trong m¹ch: Ir = E V + Rm Rm §iÓm lµm viÖc cña ®i«t lµ ®iÓm giao nhau gi÷a ®−îng th¼ng t¶i ∆ vµ ®−êng ®Æc tuyÕn i-V víi th«ng l−îng t−¬ng øng.

Khi chiÕu s¸ng m¹nh.1 1 10 100 Th«ng lu−îng. V 0.1 . VOC. mW H×nh 2.4 0.14): I SC = I P ISC.13 Sù phô thuéc cña thÕ hë m¹ch vµo th«ng l−îng §o dßng ng¾n m¹ch: Khi nèi ng¾n m¹ch hai ®Çu ®i«t b»ng mét ®iÖn trë nhá h¬n rd nµo ®ã.2 Th«ng l−îng. mW H×nh 2.14 Sù phô thuéc cña dßng ng¾n m¹ch vµo th«ng l−îng ¸nh s¸ng .µV 20 10 0 0.6 V) nh−ng phô thuéc vµo th«ng l−îng theo hµm logarit. q I0 Trong tr−êng hîp nµy VOC (kT/q=26mV ë 300K) nhá nh−ng phô thuéc tuyÕn tÝnh vµo th«ng l−îng.1 0.2 0 0. IP >>I0 vµ ta cã: VOC = I kT log P q I0 Trong tr−êng hîp nµy VOC cã gi¸ trÞ t−¬ng ®èi lín (cì 0. dßng ®o¶n m¹ch ISC chÝnh b»ng IP vµ tØ lÖ víi th«ng l−îng (h×nh 2.Khi chiÕu s¸ng yÕu IP <<I0: VOC = kT I P .0.37 - .

1 ∆I P qη(1 − R )exp(− αX ) = λ ∆Φ hc 0. §é nh¹y phæ x¸c ®Þnh theo c«ng thøc: S (λ ) = Víi λ ≤ λs.15 Phæ ®é nh¹y cña photodiot Ng−êi sö dông cÇn ph¶i biÕt ®é nh¹y phæ dùa trªn ®−êng cong phæ håi ®¸p S(λ)/S(λP) vµ gi¸ trÞ cña b−íc sãng λP øng víi ®é nh¹y cùc ®¹i. Th«ng th−êng S(λP) n»m trong kho¶ng 0.1 .4 0. §é nh¹y phæ phô thuéc vµo λ.8 0. c) §é nh¹y §èi víi bøc x¹ cã phæ x¸c ®Þnh.4 0.38 - . S(λ) 1.3 0. S (µA/µW) 0.0 λ (µm) T2 T1 H×nh 2.0 S(λP) 0.16 Sù phô thuéc cña ®é nh¹y vµo nhiÖt ®é .§Æc ®iÓm quan träng cña chÕ ®é nµy lµ kh«ng cã dßng tèi. hiÖu suÊt l−îng tö η.2 0.4 0.6 0.6 decad.8 1.0 A/W. hÖ sè ph¶n x¹ R vµ hÖ sè hÊp thô α.04 0.2 0.0 λP λ (µm) 1. cì 5 .9 1.3 0.4 0.1 T2>T1 0 0.2 H×nh 2.6 0.5 0.6 0. dßng quang ®iÖn IP tØ lÖ tuyÕn tÝnh víi th«ng l−îng trong mét kho¶ng t−¬ng ®èi réng.7 0. nhê vËy cã thÓ gi¶m nhiÔu vµ cho phÐp ®o ®−îc th«ng l−îng nhá.1.

S¬ ®å t¸c ®éng nhanh (h×nh 2. Tô C2 cã t¸c dông bï trõ ¶nh h−ëng cña tô kÝ sinh Cpl víi ®iÒu kiÖn R 1C pl = R 2 C 2 . HÖ sè nhiÖt cña dßng quang dÉn d) S¬ ®å øng dông photodiot 1 dI P .1%/oC.39 - . H×nh 2.S¬ ®å lµm viÖc ë chÕ ®é quang thÕ: §Æc tr−ng cña chÕ ®é quang thÕ: + Cã thÓ lµm viÖc ë chÕ ®é tuyÕn tÝnh hoÆc logarit tuú thuéc vµo t¶i. I P dT cã gi¸ trÞ kho¶ng0. .16 tr×nh bµy s¬ ®å ®o dßng ng−îc trong chÕ ®é quang dÉn. . cùc ®¹i λP cña ®−êng cong phæ dÞch chuyÓn vÒ phÝa b−íc sãng dµi. . + D¶i th«ng lín. Bé khuÕch ®¹i ë ®©y ph¶i cã dßng vµo rÊt nhá vµ sù suy gi¶m do nhiÖt còng ph¶i kh«ng ®¸ng kÓ.17 S¬ ®å m¹ch ®o dßng ng−îc trong chÕ ®é quang dÉn Khi t¨ng ®iÖn trë Rm sÏ lµm gi¶m nhiÔu.S¬ ®å lµm viÖc ë chÕ ®é quang dÉn: §Æc tr−ng cña chÕ ®é quang dÉn: +§é tuyÕn tÝnh cao. + Thêi gian håi ®¸p ng¾n. Tæng trë vµo cña m¹ch khuÕch ®¹i ph¶i lín ®Ó tr¸nh lµm gi¶m ®iÖn trë t¶i hiÖu dông cña ®i«t. S¬ ®å c¬ së (h×nh 2.Khi nhiÖt ®é t¨ng.17a): ⎡ R ⎤ V0 = R m ⎢1 + 2 ⎥ I r R1 ⎦ ⎣ ES R2 R1 CP1 Rm Ir R1 + − V0 − + Rm ES − + C2 R2 R1+R2 V0 b) a) H×nh 2.17b): V0 = (R 1 + R 2 )I r R1 + R 2 K ®iÖn trë cña ®iot nhá vµ b»ng trong ®ã K lµ hÖ sè khuÕch ®¹i ë tÇn sè lµm viÖc.

18a): ®o dßng ng¾n m¹ch Isc. S¬ ®å tuyÕn tÝnh (h×nh 2. kh«ng cã ®iÖn ¸p ®Æt lªn baz¬.4.I sc S¬ ®å logarit (h×nh 2. ®ång thêi chuyÓn tiÕp B-C ph©n cùc ng−îc.18b): ®o ®iÖn ¸p hë m¹ch Voc.40 - . §iÖn thÕ | + C B E a) b) c) H×nh 2.19 Phototranzito a) S¬ ®å m¹ch ®iÖn b) S¬ ®å t−¬ng ®−¬ng c) T¸ch cÆp ®iÖn tö lç trèng khi chiÕu s¸ng baz¬ . + D¶i th«ng nhá. Trong chÕ ®é nµy: V0 = R m . + Thêi gian håi ®¸p lín. + Nh¹y c¶m víi nhiÖt ®é ë chÕ ®é logarit.+ Ýt nhiÔu. chØ cã ®iÖn ¸p trªn C.2. Phototranzito a) CÊu t¹o vµ nguyªn lý ho¹t ®éng Phototranzito lµ c¸c tranzito mµ vïng baz¬ cã thÓ ®−îc chiÕu s¸ng. ⎡ R ⎤ V0 = ⎢1 + 2 ⎥ Voc ⎣ R1 ⎦ Rm _ + V0 R1=Rm Vco R1 R2 + _ V0 IOC a) b) H×nh 2.18 S¬ ®å m¹ch ®o ë chÕ ®é quang ¸p 2.

Trong tr−êng hîp tranzito NPN.7 V). dßng nµy g©y nªn trong phototranzito mét dßng I cp = (β + 1)I p . IP lµ dßng quang ®iÖn d−íi t¸c dông cña th«ng l−îng Φ0 chiÕu qua bÒ dµy X cña baz¬ (b−íc sãng λ < λS): IP = qη(1 − R )exp(−αX ) λΦ 0 hc Dßng Ir ®ãng vai trß dßng baz¬. nã ho¹t ®éng gièng nh− photo®iot ë chÕ ®é quang thÕ víi dßng ng−îc: I r = I0 + I P Trong ®ã I0 lµ dßng ng−îc trong tèi.6-0.41 - . ®iÒu nµy g©y nªn dßng ®iÖn tö IE ch¹y tõ E ®Õn B vµ khuÕch t¸n tiÕp tõ B vÒ phÝa C. c¸c ®iÖn tö bÞ kÐo vÒ phÝa colect¬ trong khi lç trèng bÞ gi÷ l¹i trong vïng baz¬ (h×nh 2. trong ®ã gi¸ trÞ cña Icp ®−îc rót ra tõ c«ng thøc cña Ip: I cp = (β + 1)qη(1 − R )exp(− αX ) λΦ hc 0 §èi víi mét th«ng l−îng Φ0 cho tr−íc.19c) t¹o thµnh dßng ®iÖn tö tõ E qua B ®Õn C. cßn tranzito cho hiÖu øng khÕch ®¹i β. ®iot baz¬-colect¬ sinh ra dßng quang ®iÖn Ip.20). HiÖn t−îng xÈy ra t−¬ng tù nh− vËy nÕu nh− lç trèng phun vµo baz¬ tõ mét nguån bªn ngoµi: ®iÖn thÕ baz¬ t¨ng lªn lµm gi¶m hµng rµo thÕ gi÷a E vµ B.19b). Khi chuyÓn tiÕp B-C ®−îc chiÕu s¸ng. ®−êng cong phæ håi ®¸p x¸c ®Þnh bëi b¶n chÊt cña ®iot B-C: vËt liÖu chÕ t¹o (th−êng lµ Si) vµ lo¹i pha t¹p (h×nh 2. b) §é nh¹y Khi nhËn ®−îc th«ng l−îng Φ0. C¸c ®iÖn tö vµ lç trèng ph¸t sinh trong vïng baz¬ (d−íi t¸c dông cña ¸nh s¸ng) sÏ bÞ ph©n chia d−íi t¸c dông cña ®iÖn tr−êng trªn chuyÓn tiÕp B . §èi víi mét b−íc sãng cho tr−íc. Phodiot cung cÊp dßng quang ®iÖn t¹i baz¬. nã g©y nªn dßng colect¬ Ic: I c = (β + 1)I r = (β + 1)I 0 + (β + 1)I p β .C.hÖ sè khuÕch ®¹i dßng cña tranzito khi ®Êu chung emit¬.§iÖn ¸p ®Æt vµo tËp trung hÇu nh− toµn bé trªn chuyÓn tiÕp B-C (ph©n cùc ng−îc) trong khi ®ã chªnh lÖch ®iÖn ¸p gi÷a E vµ B thay ®æi kh«ng ®¸ng kÓ (VBE ≈ 0. dßng colect¬ Ic kh«ng ph¶i lµ hµm tuyÕn tÝnh cña . Cã thÓ coi phototranzito nh− tæ hîp cña mét photodiot vµ mét tranzito (h×nh 2.

42 - .100A/W. hoÆc ¸nh s¸ng nhá h¬n hay lín h¬n ng−ìng. Ng−îc l¹i. c) S¬ ®å dïng phototranzito Phototranzito cã thÓ dïng lµm bé chuyÓn m¹ch.21 Photodiotzito trong chÕ ®é chuyÓn m¹ch a) R¬le b) R¬le sau khÕch ®¹i c) Cæng logic d) Thyristo .6 0. hoÆc lµm phÇn tö tuyÕn tÝnh.Phototranzito chuyÓn m¹ch: Trong tr−êng hîp nµy sö dông th«ng tin d¹ng nhÞ ph©n: cã hay kh«ng cã bøc x¹. ®iÒu khiÓn mét cæng logic hoÆc mét thyristo (h×nh 2. ë chÕ ®é chuyÓn m¹ch nã cã −u ®iÓm so víi photodiot lµ cho phÐp sö dông mét c¸ch trùc tiÕp dßng ch¹y qua t−¬ng ®èi lín.4 0. nghÜa lµ ∆I c phô thuéc vµo Φ0. ∆Φ 0 S(λ) 100 S(λp) (%) 80 60 40 20 0. ë chÕ ®é tuyÕn tÝnh. + + + + + H×nh 2.th«ng l−îng hoÆc ®é chiÕu s¸ng bëi v× hÖ sè khuÕch ®¹i β phô thuéc vµo dßng Ic (tøc lµ còng phô thuéc th«ng l−îng). Tranzito chÆn hoÆc b¶o hoµ cho phÐp ®iÒu khiÓn trùc tiÕp (hoÆc sau khi khuÕch ®¹i) nh− mét r¬le.8 1.0 λ (µm) H×nh 2.20 §−êng cong phæ håi ®¸p cña photodiot §é nh¹y phæ S(λp) ë b−íc sãng t−¬ng øng víi ®iÓm cùc ®¹i cã gi¸ trÞ n»m trong kho¶ng 1 .21). mÆc dï cho ®é khuÕch ®¹i nh−ng ng−êi ta thÝch dïng photo®iot v× nã cã ®é tuyÕn tÝnh tèt h¬n. .

+ G S D G D S a) H×nh 2. ViÖc ®iÒu khiÓn dßng m¸ng ID ®−îc thùc hiÖn th«ng qua sù thay ®æi ®iÖn ¸p VGS gi÷a cæng vµ nguån. . Trong chÕ ®é ph©n cùc ng−îc chuyÓn tiÕp P-N gi÷a cæng vµ kªnh.Φ1 (t ) 2.22 S¬ ®å nguyªn lý luxmet Phototranzito hiÖu øng tr−êng (photoFET) cã s¬ ®å t−¬ng ®−¬ng nh− h×nh 2.Tr−êng hîp thø hai: thu nhËn tÝn hiÖu thay ®æi d¹ng: Φ (t ) = Φ 0 + Φ 1 (t ) + Trong ®ã Φ1(t) lµ thµnh phÇn thay ®æi víi biªn ®é nhá ®Ó sao cho kh«ng dÉn tíi phototranzito bÞ chÆn hoÆc b¶o hoµ vµ cã thÓ coi ®é hh¹y kh«ng ®æi. ¸nh s¸ng ®−îc sö dông ®Ó lµm thay ®æi ®iÖn trë kªnh. dßng colect¬ cã d¹ng: I c (t ) = I c Φ 0 + S. ®iÖn ¸p nµy sÏ x¸c ®Þnh ®é réng cña kªnh vµ do ®ã dßng m¸ng cã d¹ng: ⎛ V I D = I DSS ⎜1 + GS ⎜ VP ⎝ ⎞ ⎟ ⎟ ⎠ 2 Víi IDS . Trong ®iÒu kiÖn ®ã. .dßng m¸ng khi VGS = 0. Phototranzito hiÖu øng tr−êng H×nh 2.23 Phototranzito hiÖu øng tr−êng a) S¬ ®å cÊu t¹o b) S¬ ®å m¹ch b) Trong phototranzito hiÖu øng tr−êng..23.2.5.43 - . .Tr−êng hîp thø nhÊt: ®o ¸nh s¸ng kh«ng ®æi (gièng nh− mét luxmet).Phototranzito trong chÕ ®é tuyÕn tÝnh: Cã hai c¸ch sö dông trong chÕ ®é tuyÕn tÝnh.

trong qu¸ tr×nh di chuyÓn. di chuyÓn cña nã trong khèi vËt liÖu mang tÝnh ngÉu nhiªn theo mäi h−íng. Khi bÞ chiÕu s¸ng.1. chuyÓn tiÕp P-N ho¹t ®éng nh− mét photodiot cho dßng ng−îc: I r = I0 + I P IP = SgΦ . Sg . C¶m biÕn quang ®iÖn ph¸t x¹ 2. sù ph¸t x¹ cña c¸c ®iÖn tö sau khi ®· ®Õn ®−îc bÒ mÆt chØ cã thÓ xÈy ra khi ®éng n¨ng cña nã ®ñ th¾ng ®−îc hµng rµo thÕ ph©n c¸ch vËt liÖu víi m«i tr−êng. .§iÖn tö võa ®−îc gi¶i phãng di chuyÓn ®Õn bÒ mÆt. .3.dßng quang ®iÖn. Khi mét ®iÖn tö hÊp thô photon vµ ®−îc gi¶i phãng. c¸c ®iÖn tö nµy cã thÓ va ch¹m víi c¸c ®iÖn tö kh¸c vµ mÊt ®i mét phÇn n¨ng l−îng do ®ã chØ mét l−îng nhá ®iÖn tö ®−îc gi¶i phãng tíi ®−îc bÒ mÆt.3. 2. HiÖu øng quang ®iÖn ph¸t x¹ HiÖu øng quang ®iÖn ph¸t x¹ hay cßn ®−îc gäi lµ hiÖu øng quang ®iÖn ngoµi lµ hiÖn t−îng c¸c ®iÖn tö ®−îc gi¶i phãng khái bÒ mÆt vËt liÖu t¹o thµnh dßng khi chiÕu vµo chóng mét bøc x¹ ¸nh s¸ng cã b−íc sãng nhá h¬n mét ng−ìng nhÊt ®Þnh vµ cã thÓ thu l¹i nhê t¸c dông cña ®iÖn tr−êng.thÕ ph©n cùc cña cæng.HÊp thô photon vµ gi¶i phãng ®iÖn tö bªn trong vËt liÖu.®é nh¹y cña ®iot cæng .kªnh. C¬ chÕ ph¸t x¹ ®iÖn tö khi chiÕu s¸ng vËt liÖu xÈy ra theo ba giai ®o¹n: . . Phototranzito hiÖu øng tr−êng ®−îc øng dông nhiÒu trong viÖc ®iÒu khiÓn ®iÖn ¸p b»ng ¸nh s¸ng. sè ®iÖn tö ph¸t x¹ trung b×nh khi mét photon bÞ hÊp thô (hiÖu suÊt l−îng tö ) th−êng nhá h¬n 10% vµ Ýt khi v−ît qu¸ 30%.®iÖn ¸p th¾t kªnh. Φ . MÆt kh¸c.th«ng l−îng ¸nh s¸ng. I0 . Víi tÊt c¶ nh÷ng ®iÒu kiÖn trªn.44 - .§iÖn tö tho¸t khái bÒ mÆt vËt liÖu. Dßng Ir ch¹y qua ®iÖn trë Rg cña m¹ch cæng x¸c ®Þnh ®iÖn thÕ VGS vµ vµ dßng m¸ng: VGS = R g (I 0 + I P ) − E g Eg . MÆt kh¸c. do ®ã chØ mét l−îng rÊt nhá h−íng tíi bÒ mÆt.dßng ®iÖn trong tèi.VP .

ng−ìng nh¹y s¸ng cña chóng n»m ë vïng hång ngo¹i (λ ~1µm). InAsxP1-x.25.37 mW K Rm 2 0. Trong èng ®Æt mét catot cã kh¶ n¨ng ph¸t x¹ khi ®−îc chiÕu s¸ng vµ mét anot.3.75 mW a) b) Vak (V) H×nh 2. ®−îc hót ch©n kh«ng (¸p suÊt ~ 10-6 . Φ K A A K A K H×nh 2. .45 - .24 S¬ ®å cÊu t¹o tÕ bµo quang ®iÖn ch©n kh«ng S¬ ®å t−¬ng ®−¬ng vµ sù thay ®æi cña dßng anot Ia phô thuéc vµo ®iÖn thÕ anot catot Vak biÓu diÔn trªn h×nh 2. .Cs2Te.25 S¬ ®å t−¬ng ®−¬ng vµ ®Æc tr−ng I . Ia (µA) A Ia 4 E 3 2.10-8 mmHg).V.30%. Ngoµi ra cßn dïng c¸c hîp chÊt cña c¸c chÊt thuéc nhãm III .Cs3Sb.VËt liÖu chÕ t¹o: Phô thuéc vµo b−íc sãng ¸nh s¸ng. (Cs)Na2KSb vµ K2CsSb: nh¹y víi ¸nh s¸ng nh×n thÊy vµ vïng tö ngo¹i.95 mW 1 0 20 40 60 80 100 120 4. hiÖu suÊt l−îng tö ®¹t tíi 30%. Ga1-xInxAs.v cña tÕ bµo quang ®iÖn ch©n kh«ng . Rb2Te vµ CsTe chØ nh¹y trong vïng tö ngo¹i. 2. HiÖu suÊt l−îng tö cña c¸c vËt liÖu trªn ~ 1 .AgOCs nh¹y ë vïng hång ngo¹i. ®ã lµ c¸c hîp chÊt GaAsxSb1-x . vËt liÖu chÕ t¹o photocatot cã thÓ chän trong c¸c lo¹i sau: . TÕ bµo quang ®iÖn ch©n kh«ng TÕ bµo quang ®iÖn ch©n kh«ng gåm mét èng h×nh trô cã mét cöa sæ trong suèt.2.

3. TÕ bµo quang ®iÖn ®−îc sö dông chñ yÕu trong vïng b¶o hoµ. nã cã thÓ ph¸t x¹ c¸c ®iÖn tö (gäi lµ ph¸t x¹ thø cÊp).5. Ia (µA) §é nh¹y t−¬ng ®èi 8 6 4 2 0 2 2. ®iÖn tö chuyÓn ®éng víi tèc ®é lín lµm ion ho¸ c¸c nguyªn tö khÝ. kÕt qu¶ lµ dßng anot t¨ng lªn tõ 5 . gi¸ trÞ cña dßng chØ phô thuéc vµo th«ng l−îng ¸nh s¸ng mµ nã nhËn ®−îc.10-2 lm 1. Khi ®iÖn ¸p cao. ®Æc tuyÕn I . th−êng lµ khÝ acgon.5.26 §Æc tr−ng vµ ®é nh¹y cña tÕ bµo quang ®iÖn d¹ng khÝ Khi ®iÖn ¸p thÊp h¬n 20V. + Vïng b¶o hoµ ®Æc tr−ng bëi sù phô thuéc kh«ng ®¸ng kÓ cña dßng vµo ®iÖn ¸p. chØ kh¸c ë chç thÓ tÝch bªn trong cña ®Ìn ®−îc ®iÒn ®Çy b»ng khÝ.10-2 lm 0 20 40 60 80 100 120 20 40 60 80 Vak (V) Vak (V) H×nh 2.3. d−íi ¸p suÊt cì 10-1 . NÕu sè ®iÖn tö ph¸t x¹ thø cÊp lín h¬n sè . 2.100 mA/W. khi ®ã nã gièng nh− mét nguån dßng. 2.3. TÕ bµo quang ®iÖn d¹ng khÝ TÕ bµo quang ®iÖn d¹ng khÝ cã cÊu t¹o t−¬ng tù tÕ bµo quang ®iÖn ch©n kh«ng.V cã hai vïng râ rÖt: + Vïng ®iÖn tÝch kh«ng gian ®Æc tr−ng bëi sù t¨ng m¹nh cña dßng khi ®iÖn ¸p t¨ng. ThiÕt bÞ nh©n quang Khi bÒ mÆt vËt r¾n bÞ b¾n ph¸ bëi c¸c ®iÖn tö cã n¨ng l−îng cao.10-2 mmHg.46 - .10 lÇn. §iÖn trë trong ρ cña tÕ bµo quang ®iÖn rÊt lín vµ cã thÓ x¸c ®Þnh tõ ®é dèc cña ®Æc tuyÕn ë vïng b¶o hoµ: 1 ⎛ dI a ⎞ ⎟ =⎜ ρ ⎜ dVak ⎟ Φ ⎝ ⎠ §é nh¹y phæ cña tÕ bµo quang ®iÖn ®−îc biÓu diÔn th«ng qua gi¸ trÞ cña dßng anot trong vïng b·o hoµ. th−êng vµo cì 10 .§Æc tr−ng I .10-2 lm 1 10-2 lm 0.V cã d¹ng gièng nh− tÕ bµo quang ®iÖn ch©n kh«ng.4.

10 vµ ηt > 90%.27 ThiÕt bÞ nh©n quang 1)b Photocatot 2) Dynode (®iÖn cùc thø cÊp) HÖ sè khuÕch ®¹i cña thiÕt bÞ nh©n quang x¸c ®Þnh theo c«ng thøc: M = ηc (η t δ ) n ηc .hÖ sè thu nhËn ®iÖn tö h÷u hiÖu cña c¸c cùc.®iÖn tö tíi th× cã kh¶ n¨ng khuÕch ®¹i tÝn hiÖu. ®iÖn thÕ cña c¸c ®iÖn cùc t¨ng dÇn sao cho c¸c ®iÖn tö sinh ra tõ ®iÖn cùc thø k sÏ bÞ hót bëi ®iÖn cùc thø (k+1). δ . Sù khuÕch ®¹i ®−îc thùc hiÖn b»ng c¸c thiÕt bÞ nh©n quang (h×nh 2.108.27). 1 2 Φ K A H×nh 2. th× M ~106 .hÖ sè ph¸t x¹ thø cÊp (sè ®iÖn tö thø cÊp ph¸t ra khi cã mét ®iÖn tö ®Ëp vµo ®iÖn cùc). Theo chiÒu ®i tõ ®iÖn cùc thø nhÊt ®Õn c¸c ®iÖn cùc tiÕp theo. ηt. C¸c ®iÖn tö tíi (®iÖn tö s¬ cÊp) ®−îc ph¸t x¹ tõ mét photocatot ®Æt trong ch©n kh«ng vµ bÞ chiÕu s¸ng. KÕt qu¶ ë ®iÖn cùc sau sè ®iÖn tö lín h¬n ë ®iÖn cùc tr−íc ®ã. BÒ mÆt c¸c ®iÖn cùc nèi tiÕp phñ b»ng vËt liÖu cã kh¶ n¨ng ph¸t x¹ ®iÖn tö thø cÊp.47 - . Víi sè ®iÖn cùc n = 5 . hÖ sè ph¸t x¹ thø cÊp δ = 5 .15. Sau ®ã chóng ®−îc tiªu tô trªn ®−îc cùc thø nhÊt cña d·y c¸c ®iÖn cùc (dynode) nèi tiÕp.hÖ sè chuyÓn t¶i h÷u hiÖu tõ ®iÖn cùc nµy sang ®iÖn cùc kh¸c. .

48 - ..

Ng−îc l¹i viÖc chän d¹ng hµm F sÏ quyÕt ®Þnh thang ®o nhiÖt ®é.1. Thang nhiÖt ®é tuyÖt ®èi ®−îc thiÕt lËp dùa vµo tÝnh chÊt cña khÝ lý t−ëng. Tuy nhiªn viÖc x¸c ®Þnh chÝnh x¸c mét nhiÖt ®é lµ mét vÊn ®Ò kh«ng ®¬n gi¶n. §Æt F(θ) = T. thÓ tÝch v vµ nhiÖt ®é cã d¹ng: p.1) D¹ng cña hµm F phô thuéc vµo thang ®o nhiÖt ®é. 3.v=G(θ) Cã thÓ chøng minh ®−îc r»ng: G(θ)=RT Trong ®ã R lµ h»ng sè khÝ lý t−ëng.Ch−¬ng III C¶m biÕn ®o nhiÖt ®é 3. Thang ®o nhiÖt ®é §Ó ®o nhiÖt ®é tr−íc hÕt ph¶i thiÕt lËp thang nhiÖt ®é.48 - . T lµ nhiÖt ®é ®éng häc tuyÖt ®èi.1.2) Trong ®ã T1 vµ T2 lµ nhiÖt ®é ®éng häc tuyÖt ®èi cña hai nguån.1. . trong c«ng nghiÖp còng nh− trong ®êi sèng hµng ngµy viÖc ®o nhiÖt ®é lµ rÊt cÇn thiÕt. khi ®ã hiÖu suÊt nhiÖt cña ®éng c¬ nhiÖt thuËn nghÞch ®−îc viÕt nh− sau: η = 1− T1 T2 (3. NhiÖt ®é lµ ®¹i l−îng chØ cã thÓ ®o gi¸n tiÕp dùa vµo sù phô thuéc cña tÝnh chÊt vËt liÖu vµo nhiÖt ®é. Theo ®Þnh lý Carnot: hiÖu suÊt η cña mét ®éng c¬ nhiÖt thuËn nghÞch ho¹t ®éng gi÷a hai nguån cã nhiÖt ®é θ1 vµ θ2 trong mét thang ®o bÊt kú chØ phô thuéc vµo θ1 vµ θ2: η= F (θ 1 ) F (θ 2 ) (3. §a sè c¸c ®¹i l−îng vËt lý ®Òu cã thÓ x¸c ®Þnh trùc tiÕp nhê so s¸nh chóng víi mét ®¹i l−îng cïng b¶n chÊt. Kh¸i niÖm c¬ b¶n NhiÖt ®é lµ mét trong sè nh÷ng ®¹i l−îng cã ¶nh h−ëng rÊt lín ®Õn tÝnh chÊt vËt chÊt. §èi víi chÊt khÝ lý t−ëng. néi n¨ng U chØ phô thuéc vµo nhiÖt ®é cña chÊt khÝ vµ ph−¬ng tr×nh ®Æc tr−ng liªn hÖ gi÷a ¸p suÊt p. Bëi vËy trong nghiªn cøu khoa häc.

1742): Thang nhiÖt ®é b¸ch ph©n. cÇn ph¶i x¸c ®Þnh ®¬n vÞ cho nhiÖt ®é.15 Celsius (oC) -273.h¬i N−íc s«i Kelvin (K) 0 273.15 K. ®¬n vÞ nhiÖt ®é lµ oC vµ mét ®é Celsius b»ng mét ®é Kelvin.15 273.n−íc ®¸ .018 212 3.273.1 Cho c¸c gi¸ trÞ t−¬ng øng cña mét sè nhiÖt ®é quan träng theo c¸c thang ®o kh¸c nhau. Thang Kelvin (Thomson Kelvin .h¬i mét gi¸ trÞ sè b»ng 273. §é chÝnh x¸c cña phÐp ®o phô thuéc vµo .16 373. do nhiÒu nguyªn nh©n.1852): Thang nhiÖt ®é ®éng häc tuyÖt ®èi.Tc nhÊt ®Þnh.2. Trong thang ®o T oC = T oF = ( ) 5 T o F − 32 9 9 o T C + 32 5 {( ) } (3.5) ( ) ( ) B¶ng 3.01 100 Fahrenheit (oF) -459. NhiÖt ®é Celsius x¸c ®Þnh qua nhiÖt ®é Kelvin theo biÓu thøc: T(oC)= T(K) .n−íc ®¸ .1706): §¬n vÞ nhiÖt ®é lµ oF.4) (3. Quan hÖ gi÷a nhiÖt ®é Fahrenheit vµ nhiÖt Celssius: (3.67 32 32.3) Thang Fahrenheit (Fahrenheit .15 nµy. nhiÖt ®é cña ®iÓm n−íc ®¸ tan lµ 32oF vµ ®iÓm n−íc s«i lµ 212oF.1.49 - . §iÒu kiÖn ®Ó ®o ®óng nhiÖt ®é lµ ph¶i cã sù c©n b»ng nhiÖt gi÷a m«i tr−êng ®o vµ c¶m biÕn. nh−ng khi ®o ta chØ nhËn ®−îc nhiÖt ®é Tc lµ nhiÖt ®é cña phÇn tö c¶m nhËn cña c¶m biÕn. nhiÖt ®é Tc gäi lµ nhiÖt ®é ®o ®−îc.n−íc ®¸ C©n b»ngn−íc .1 NhiÖ ®é §iÓm 0 tuyÖt ®èi Hçn hîp n−íc .15 0 0. Muèn vËy chØ cÇn g¸n gi¸ trÞ cho nhiÖt ®é t−¬ng øng víi mét hiÖn t−îng nµo ®ã víi ®iÒu kiÖn hiÖn t−îng nµy hoµn toµn x¸c ®Þnh vµ cã tÝnh lÆp l¹i. Tuy nhiªn. Thang Celsius (Andreas Celsius . NhiÖt ®é ®o ®−îc vµ nhiÖt ®é cÇn ®o Gi¶ sö m«i tr−êng ®o cã nhiÖt ®é thùc b»ng Tx. Trong thang ®o nµy ng−êi ta g¸n cho nhiÖt ®é cña ®iÓm c©n b»ng ba tr¹ng th¸i n−íc . ®¬n vÞ nhiÖt ®é lµ K. B¶ng 3. NhiÖt ®é Tx gäi lµ nhiÖt ®é cÇn ®o. do ®ã tån t¹i mét chªnh lÖch nhiÖt ®é Tx . nhiÖt ®é c¶m biÕn kh«ng bao giê ®¹t tíi nhiÖt ®é m«i tr−êng Tx.§Ó cã thÓ g¸n mét gi¸ trÞ sè cho T.

Trao ®æi nhiÖt cña c¶m biÕn §Ó t¨ng c−êng trao ®æi nhiÖt gi÷a m«i tr−êng cã nhiÖt ®é cÇn ®o vµ c¶m biÕn ta ph¶i dïng c¶m biÕn cã phÇn tö c¶m nhËn cã tØ nhiÖt thÊp. hiÖu sè nµy cµng bÐ. hÖ sè dÉn nhiÖt cao. Ph©n lo¹i c¶m biÕn ®o nhiÖt ®é C¸c c¶m biÕn ®o nhiÖt ®é ®−îc chia lµm hai nhãm: - C¶m biÕn tiÕp xóc: c¶m biÕn tiÕp xóc víi m«i tr−êng ®o.Tc .khèi l−îng c¶m biÕn. L−îng nhiÖt truyÒn tõ m«i tr−êng vµo bé c¶m biÕn x¸c ®Þnh theo c«ng thøc: dQ = αA(Tx − Tc )dt Víi: α .63Tx τ t H×nh 3. A . ®é chÝnh x¸c cña phÐp ®o cµng cao. T . ®Ó h¹n chÕ tæn thÊt nhiÖt tõ c¶m biÕn ra ngoµi th× c¸c tiÕp ®iÓm dÉn tõ phÇn tö c¶m nhËn ra m¹ch ®o bªn ngoµi ph¶i cã hÖ sè dÉn nhiÖt thÊp. + C¶m biÕn ®iÖn trë (nhiÖt ®iÖn trë).nhiÖt dung cña c¶m biÕn. .thêi gian trao ®æi nhiÖt.1.hÖ sè dÉn nhiÖt. L−îng nhiÖt c¶m biÕn hÊp thô: dQ = mCdTc Víi: m . Gi¶m sù trao ®æi nhiÖt gi÷a bé c¶m biÕn vµ m«i tr−êng bªn ngoµi.50 - . C . gåm: + C¶m biÕn gi¶n në (nhiÖt kÕ gi¶n në). gäi lµ h»ng sè thêi αA gian nhiÖt. Nªu bá qua tæn thÊt nhiÖt cña c¶m biÕn ra m«i tr−êng ngoµi vµ gi¸ ®ì. Muèn vËy khi ®o cÇn ph¶i: - T¨ng c−ênng sù trao ®æi nhiÖt gi÷a bé c¶m biÕn vµ m«i tr−êng ®o.diÖn tÝch bÒ mÆt trao ®æi nhiÖt. ta cã: dTc dt = Tx − Tc τ NghiÖm cña ph−¬ng tr×nh cã d¹ng: §Æt Tc = Tx − ke − t τ Tx T1 0. Chóng ta h·y kh¶o s¸t tr−êng hîp ®o b»ng c¶m biÕn tiÕp xóc.1. 3.hiÖu sè Tx . ta cã: αA(Tx − Tc )dt = mCdTc mC = τ .3.

NhiÖt kÕ lo¹i nµy cã −u ®iÓm kÕt cÊu ®¬n gi¶n.kim lo¹i b) NhiÖt kÕ kim lo¹i .1.2. kim lo¹i vµ kim lo¹i. C¶m biÕn kh«ng tiÕp xóc: ho¶ kÕ. mét ®Çu thanh gèm liªn kÕt víi èng kim lo¹i. NhiÖt kÕ gi·n në dïng chÊt láng NhiÖt kÕ gåm b×nh nhiÖt (1). 3. Khi nhiÖt ®é t¨ng.2. . chÊt láng gi·n në vµ d©ng lªn trong èng mao dÉn. thanh gèm gi·n thªm dlg víi dlk>dlg. HÖ sè gi·n në nhiÖt cña kim lo¹i vµ cña gèm lµ αk vµ αg. NhiÖt kÕ gi·n në dïng chÊt r¾n th−êng dïng ®Ó ®o nhiÖt ®é d−íi 700oC. èng mao dÉn (2) vµ chÊt láng (3).kim lo¹i a) .kim lo¹i(Dilatomet): gåm mét thanh gèm (1) ®Æt trong èng kim lo¹i (2). Do αk > αg. 3.51 - . NhiÖt kÕ gi·n në dïng chÊt r¾n Th−êng cã hai lo¹i: gèm vµ kim lo¹i. A 2 1 1 2 b) H×nh 3. khi gi·n në nhiÖt hai thanh kim lo¹i cong vÒ phÝa thanh (2).10-5/oC.kim lo¹i: gåm hai thanh kim lo¹i (1) vµ (2) cã hÖ sè gi·n në nhiÖt kh¸c nhau liªn kÕt víi nhau theo chiÒu däc. Khi ®o nhiÖt ®é.NhiÖt kÕ gèm . lµm cho thanh gèm dÞch sang ph¶i. thanh kim lo¹i gi·n thªm mét l−îng dlk.dlg do ®ã phô thuéc nhiÖt ®é.NhiÖt kÕ kim lo¹i .2 NhiÖt kÕ gi·n në a) NhiÖt kÕ gèm . ChÊt láng sö dông th−êng dïng lµ thuû ng©n cã hÖ sè gi·n në nhiÖt α =18. khi nhiÖt ®é t¨ng mét l−îng dt. Thang ®o ®−îc chia ®é trªn . Dùa vµo ®é cong cña thanh kim lo¹i ®Ó x¸c ®Þnh nhiÖt ®é.+ CÆp nhiÖt ngÉu.2. Nguyªn lý ho¹t ®éng cña nhiÖt kÕ gi·n në dùa vµo sù gi·n në cña vËt liÖu khi t¨ng nhiÖt ®é. NhiÖt kÕ gi·n në D−íi ®©y nghiªn cøu mét sè lo¹i c¶m biÕn c¬ b¶n. b×nh nhiÖt ®−îc ®Æt tiÕp xóc víi m«i tr−êng ®o. vá nhiÖt kÕ b»ng thuû tinh cã α =2. cßn ®Çu A nèi víi hÖ thèng truyÒn ®éng tíi bé phËn chØ thÞ.10-5/oC. DÞch chuyÓn cña thanh gèm phô thuéc dlk . 3. Gi¶ sö α1 > α2 . dÔ chÕ t¹o.2.

B. sù thay ®æi ®iÖn trë theo nhiÖt ®é cã d¹ng: R(T ) = R 0 . Trong tr−êng hîp tæng qu¸t. (3. ®iÖn trë silic vµ ®iÖn trë chÕ t¹o b»ng hçn hîp c¸c oxyt b¸n dÉn. C¸c hÖ sè ®−îc x¸c ®Þnh chÝnh x¸c b»ng thùc nghiÖm khi ®o nh÷ng nhiÖt ®é ®· biÕt tr−íc.6) Trong ®ã nhiÖt ®é T ®o b»ng oC.52 - . Khi ®· biÕt gi¸ trÞ c¸c hÖ sè. tõ gi¸ trÞ cña R ng−êi ta x¸c ®Þnh ®−îc nhiÖt ®é cÇn ®o.3. Khi ®é biÕn thiªn cña nhiÖt ®é ∆T (xung quanh gi¸ trÞ T) nhá. Tr−êng hîp ®iÖn trë kim lo¹i. NhiÖt kÕ ®iÖn trë 3. 3. hµm trªn cã d¹ng: R(T ) = R 0 1 + AT + BT 2 + CT 3 Tr−êng hîp ®iÖn trë lµ hçn hîp c¸c oxyt b¸n dÉn: ⎡ ⎛ 1 1 ⎞⎤ R(T ) = R 0 .3.F (T − T0 ) 2 3 1 H×nh 3. T0=0oC vµ A. C lµ c¸c hÖ sè thùc nghiÖm. D¶i nhiÖt ®é lµm viÖc tõ . HiÖn nay th−êng sö dông ba lo¹i ®iÖn trë ®o nhiÖt ®é ®ã lµ: ®iÖn trë kim lo¹i.8) Trong ®ã: αR = 1 dR R(T ) dT (3. F lµ hµm ®Æc tr−ng cho vËt liÖu vµ F = 1 khi T = T0.1. Nguyªn lý Nguyªn lý chung ®o nhiÖt ®é b»ng c¸c ®iÖn trë lµ dùa vµo sù phô thuéc ®iÖn trë suÊt cña vËt liÖu theo nhiÖt ®é. exp ⎢B⎜ − ⎟⎥ ⎟ ⎜ ⎣ ⎝ T T0 ⎠ ⎦ ( ) (3. B lµ hÖ sè thùc nghiÖm.3 NhiÖt kÕ gi¶n në dïng chÊt láng R0 lµ ®iÖn trë ë nhiÖt ®é T0.vá theo däc èng mao dÉn.9) .50 ÷ 600oC tuú theo vËt liÖu chÕ t¹o vá bäc. ®iÖn trë cã thÓ coi nh− thay ®æi theo hµm tuyÕn tÝnh: R(T + ∆T ) = R(T )(1 + α R ∆T ) (3.7) T lµ nhiÖt ®é tuyÖt ®èi.

W. ®iÖn trë kh«ng chØ thay ®æi khi nhiÖt ®é thay ®æi do sù thay ®æi ®iÖn trë suÊt mµ cßn chÞu t¸c ®éng cña sù thay ®æi kÝch th−íc h×nh häc cña nã. hÖ sè nhiÖt ®é cã d¹ng: αR = 1 dR 1 dρ 1 dl 1 ds = + − R dT ρ dT l dT s dT §Æt: αρ = 1 dρ 1 dl . NhiÖt kÕ ®iÖn trë kim lo¹i a) VËt liÖu Yªu cÇu chung ®èi víi vËt liÖu lµm ®iÖn trë: Cã ®iÖn trë suÊt ρ ®ñ lín ®Ó ®iÖn trë ban ®Çu R0 lín mµ kÝch th−íc nhiÖt kÕ HÖ sè nhiÖt ®iÖn trë cña nã tèt nhÊt lµ lu«n lu«n kh«ng ®æi dÊu.9. §é nh¹y nhiÖt phô thuéc vµo vËt liÖu vµ nhiÖt ®é. kh«ng triÖt Cã ®ñ ®é bÒn c¬. vÝ dô ë 0oC platin (Pt) cã αR=3.53 - . C¸c c¶m biÕn nhiÖt th−êng ®−îc chÕ t¹o b»ng Pt vµ Ni. ρ dT l dT αs = 1 ds s dT αR = αρ + αl − αs Víi α s = 2α l ta cã: α R = α ρ − α l Trªn thùc tÕ th−êng α ρ >> α l nªn cã thÓ coi α R = α ρ . - tiªu. vËt liÖu lµ platin th× min ∆Tmin = 2. do ®ã min min VÝ dô nÕu = 10 −6 vµ víi nh÷ng phÐp ®o quanh ®iÓm 0oC.10-3/oC. Platin : . αl = .®−îc gäi hÖ sè nhiÖt cña ®iÖn trë hay cßn gäi lµ ®é nh¹y nhiÖt ë nhiÖt ®é T. Thùc ra. 3.10 −4 oC. ChÊt l−îng thiÕt bÞ ®o x¸c ®Þnh gi¸ trÞ nhá nhÊt mµ nã cã thÓ ®o ®−îc còng x¸c ®Þnh sù thay ®æi nhá nhÊt cña nhiÖt ®é cã thÓ ph¸t hiÖn ®−îc: ∆Tmin = ∆R R0 1 ∆R αR Ro ∆R R0 . ho¸ ë nhiÖt ®é lµm viÖc. Bëi vËy ®èi víi mét ®iÖn trë d©y cã chiÒu dµi l vµ tiÕt diÖn s.3. Ngoµi ra cßn dïng Cu.2.6. - vÉn nhá. DÔ gia c«ng vµ cã kh¶ n¨ng thay lÉn.

Tuy nhiªn.10-3/oC.9 10. ho¹t tÝnh ho¸ häc cña ®ång cao nªn nhiÖt ®é lµm viÖc th−êng kh«ng v−ît qu¸ 180oC.2 Th«ng sè Tf (oC) c (JoC-1kg-1) λ (WoC-1m-1) αl x106 (oC) ρ x108 (Ωm) α x103 (oC-1) Cu 1083 400 400 16. cã thÓ lµm viÖc ë nhiÖt ®é cao h¬n.+ Cã thÓ chÕ t¹o víi ®é tinh khiÕt rÊt cao (99.9 W 3380 125 120 6 5. + §iÖn trë ë 100oC lín gÊp 1.54 - . Wonfram cã thÓ chÕ t¹o d¹ng sîi rÊt m¶nh nªn cã thÓ chÕ t¹o ®−îc c¸c ®iÖn trë cao víi kÝch th−íc nhá. + HÖ sè nhiÖt ®iÖn trë ë 0oC b»ng 3. - Nikel: + Cã ®é nh¹y nhiÖt cao. do ®ã ®Ó chÕ t¹o ®iÖn trë cã ®iÖn trë lín ph¶i t¨ng chiÒu dµi d©y lµm t¨ng kÝch th−íc ®iÖn trë.7 Pt 1769 135 73 8.385 lÇn so víi ë 0oC.7.5 b) CÊu t¹o nhiÖt kÕ ®iÖn trë §Ó tr¸nh sù lµm nãng ®Çu ®o dßng ®iÖn ch¹y qua ®iÖn trë th−êng giíi h¹n ë gi¸ trÞ mét vµi mA vµ ®iÖn trë cã ®é nh¹y nhiÖt cao th× ®iÖn trë ph¶i cã gi¸ trÞ ®ñ lín. Tuy nhiªn. + DÔ bÞ oxy ho¸ khi ë nhiÖt ®é cao lµm gi¶m tÝnh æn ®Þnh.6 3. B¶ng 3.10-3/oC.9. + §iÖn trë ë 100oC lín gÊp 1.7 1. øng suÊt d− sau khi kÐo sîi khã bÞ triÖt tiªu hoµn toµn b»ng c¸ch ñ do ®ã gi¶m tÝnh æn ®Þnh cña ®iÖn trë. + D¶i nhiÖt ®é lµm viÖc kh¸ réng tõ -200oC ÷ 1000oC.999%) do ®ã t¨ng ®é chÝnh x¸c cña c¸c tÝnh chÊt ®iÖn. §ång ®−îc sö dông trong mét sè tr−êng hîp nhê ®é tuyÕn tÝnh cao cña ®iÖn trë theo nhiÖt ®é.8 10 4.9 Ni 1453 450 90 12. b»ng 4.617 lÇn so víi ë 0oC. + Cã tÝnh tr¬ vÒ mÆt ho¸ häc vµ tÝnh æn ®Þnh cÊu tróc tinh thÓ cao do ®ã ®¶m b¶o tÝnh æn ®Þnh cao vÒ c¸c ®Æc tÝnh dÉn ®iÖn trong qu¸ tr×nh sö dông. + D¶i nhiÖt ®é lµm viÖc thÊp h¬n 250oC. §iÖn trë suÊt cña ®ång nhá. Wonfram cã ®é nh¹y nhiÖt vµ ®é tuyÕn tÝnh cao h¬n platin.72 3.52 4. .

§Ó hîp lý ng−êi ta th−êng chän ®iÖn trë R ë 0oC cã gi¸ trÞ vµo kho¶ng 100Ω. Chóng th−êng ®−îc chÕ t¹o b»ng ph−¬ng ph¸p quang ho¸ vµ sö dông vËt liÖu lµm ®iÖn trë lµ Ni.5. 500Ω vµ 1000Ω.NhiÖt kÕ c«ng nghiÖp: §Ó sö dông cho môc ®Ých c«ng nghiÖp. Trªn h×nh 3. Fe-Ni hoÆc Pt. ChiÒu dµy líp kim lo¹i cì vµi µm vµ kÝch th−íc nhiÖt kÕ cì 1cm2. 1 2 3 7 5 4 9 6 6 1 8 H×nh 3. sau khi quÊn l¹i sÏ nhËn ®−îc nhiÖt kÕ cã chiÒu dµi cì 1cm. d©y ®iÖn trë dÔ bÞ ®øt.4 lµ c¸c nhiÖt kÕ dïng trong c«ng nghiÖp b»ng ®iÖn trë kim lo¹i platin. c¸c ®iÖn trë lín th−êng ®−îc dïng ®Ó ®o ë d¶i nhiÖt ®é thÊp. viÖc t¨ng chiÒu dµi d©y l¹i lµm t¨ng kÝch th−íc ®iÖn trë.4 NhiÖt kÕ c«ng nghiÖp dïng ®iÖn trë platin 1) D©y platin 2) Gèm c¸ch ®iÖn 3) èng platin 4) D©y nèi 5) Sø c¸ch ®iÖn 6) Trôc g¸ 7) C¸ch ®iÖn 8) Vá bäc 9) Xi m¨ng . C¸c s¶n phÈm th−¬ng m¹i th−êng cã ®iÖn trë ë 0oC lµ 50Ω. H×nh 3. . khi ®ã víi ®iÖn trë platin sÏ cã ®−êng kÝnh d©y cì vµi µm vµ chiÒu dµi kho¶ng 10cm.55 - .NhiÖt kÕ bÒ mÆt: NhiÖt kÕ bÒ mÆt dïng ®Ó ®o nhiÖt ®é trªn bÒ mÆt cña vËt r¾n. c¸c nhiÖt kÕ ph¶i cã vá bäc tèt chèng ®−îc va ch¹m m¹nh vµ rung ®éng. CÊu tróc cña mét nhiÖt kÕ bÒ mÆt cã d¹ng nh− h×nh vÏ 3. Tuy nhiªn khi gi¶m tiÕt diÖn d©y ®é bÒn l¹i thÊp.5 NhiÖt kÕ bÒ mÆt .Muèn vËy ph¶i gi¶m tiÕt diÖn d©y hoÆc t¨ng chiÒu dµi d©y. ®iÖn trë kim lo¹i ®−îc cuèn vµ bao bäc trong thuû tinh hoÆc gèm vµ ®Æt trong vá b¶o vÖ b»ng thÐp.

NiO. Sù thay ®æi nhiÖt cña ®iÖn trë t−¬ng ®èi nhá nªn cã thÓ tuyÕn tÝnh ho¸ b»ng c¸ch m¾c thªm mét ®iÖn trë phô. Mn2O3.4. Fe3O4.10-3/oC ®èi víi tr−êng hîp Pt.3. -260oC ÷ 1400 oC ®èi víi Pt. hÖ sè nhiÖt ®iÖn trë ~0.6 Sù phô thuéc nhiÖt ®é cña ®iÖn trë silic 3.7%/oC ë 25oC.§é nh¹y nhiÖt : ~5. NhiÖt kÕ ®iÖn trë oxyt b¸n dÉn a) VËt liÖu chÕ t¹o NhiÖt ®iÖn trë ®−îc chÕ t¹o tõ hçn hîp oxyt b¸n dÉn ®a tinh thÓ nh−: MgO. Co2O3. §é nh¹y nhiÖt cã d¹ng: .3.11) Trong ®ã R0(Ω) lµ ®iÖn trë ë nhiÖt ®é T0(K). ZnTiO4. tuy nhiªn khi ®−îc kÝch t¹p lo¹i n th× trong kho¶ng nhiÖt ®é thÊp chóng l¹i cã hÖ sè nhiÖt ®iÖn trë d−¬ng.3. ToC H×nh 3. PhÇn tö c¶m nhËn nhiÖt cña c¶m biÕn silic ®−îc chÕ t¹o cã kÝch th−íc 500x500x240 µm ®−îc m¹ kim lo¹i ë mét phÝa cßn phÝa kia lµ bÒ mÆt tiÕp xóc.56 - . NhiÖt kÕ ®iÖn trë silic Silic tinh khiÕt hoÆc ®¬n tinh thÓ silic cã hÖ sè nhiÖt ®iÖn trë ©m. . Trong d¶i nhiÖt ®é lµm viÖc ( -55 ÷ 200oC) cã thÓ lÊy gÇn ®óng gi¸ trÞ ®iÖn trë cña c¶m biÕn theo nhiÖt ®é theo c«ng thøc: R T = R 0 1 + A(T − T0 ) + B(T − T0 ) 2400 2200 2000 1800 1600 R(Ω) [ 2 ] 1400 1200 1000 800 600 400 -50 0 50 100 Trong ®ã R0 vµ T0 lµ ®iÖn trë vµ nhiÖt ®é tuyÖt ®èi ë ®iÓm chuÈn. Sù phô thuéc cña ®iÖn trë cña nhiÖt ®iÖn trë theo nhiÖt ®é cho bëi biÓu thøc: ⎧ ⎛ 1 1 ⎞⎫ ⎡T⎤ R(T ) = R 0 ⎢ ⎥ exp ⎨β⎜ − ⎜ T T ⎟⎬ ⎟ T0 ⎦ ⎣ 0 ⎠⎭ ⎩ ⎝ 2 (3.§Æc tr−ng chÝnh cña nhiÖt kÕ bÒ mÆt: . MgAl2O4. Khi sö dông nhiÖt kÕ bÒ mÆt cÇn ®Æc biÖt l−u ý ®Õn ¶nh h−ëng biÕn d¹ng cña bÒ mÆt ®o.10-3/oC ®èi víi tr−êng hîp Ni vµ Fe-Ni ~4. 3.D¶i nhiÖt ®é sö dông: -195oC ÷ 260 oC ®èi víi Ni vµ Fe-Ni.

57 - . C¶m biÕn nhiÖt ngÉu 3. Søc ®iÖn ®éng xuÊt hiÖn do hiÖu øng nhiÖt ®iÖn gäi lµ søc ®iÖn ®éng nhiÖt ®iÖn. KÝch th−íc c¶m biÕn nhá cã thÓ ®o nhiÖt ®é t¹i tõng ®iÓm. NhiÖt dung c¶m biÕn nhá nªn thêi gian håi ®¸p nhá.12) Vµ ®é nh¹y nhiÖt: αR = − B T2 Víi B cã gi¸ trÞ trong kho¶ng 3.αR = β+b T2 V× ¶nh h−ëng cña hµm mò ®Õn ®iÖn trë chiÕm −u thÕ nªn biÓu thøc (3. NhiÖt ®iÖn trë cã ®é nh¹y nhiÖt rÊt cao nªn cã thÓ dïng ®Ó ph¸t hiÖn nh÷ng biÕn thiªn nhiÖt ®é rÊt nhá cì 10-4 -10-3K.000K.1. HiÖn t−îng trªn cã thÓ gi¶i thÝch nh− sau: . HiÖu øng nhiÖt ®iÖn Ph−¬ng ph¸p ®o nhiÖt ®é b»ng c¶m biÕn nhiÖt ngÉu dùa trªn c¬ së hiÖu øng nhiÖt ®iÖn.5. cßn ®Çu thø hai ®Ó hë th× gi÷a hai cùc xuÊt hiÖn mét hiÖu ®iÖn thÕ. NÕu mét ®Çu cña cÆp nhiÖt ngÉu hµn nèi víi nhau.4. C¸c d©y nèi kim lo¹i ®−îc hµn t¹i hai ®iÓm trªn bÒ mÆt vµ ®−îc phñ b»ng mét líp kim lo¹i.4. Ng−êi ta nhËn thÊy r»ng khi hai d©y dÉn chÕ t¹o tõ vËt liÖu cã b¶n chÊt ho¸ häc kh¸c nhau ®−îc nèi víi nhau b»ng mèi hµn thµnh mét m¹ch kÝn vµ nhiÖt ®é hai mèi hµn lµ t vµ t0 kh¸c nhau th× trong m¹ch xuÊt hiÖn mét dßng ®iÖn. Tuú thuéc thµnh phÇn chÕ t¹o.000 .7 CÊu t¹o nhiÖt ®iÖn trë cã vá bäc thuû tinh 3. H×nh 3. b) CÊu t¹o Hçn hîp bét oxyt ®−îc trén theo tØ lÖ thÝch hîp sau ®ã ®−îc nÐn ®Þnh d¹ng vµ thiªu kÕt ë nhiÖt ®é ~ 1000oC. d¶i nhiÖt ®é lµm viÖc cña c¶m biÕn nhiÖt ®iÖn trë tõ vµi ®é ®Õn kho¶ng 300oC.11) cã thÓ viÕt l¹i: ⎧ ⎛1 1 R(T ) = R 0 exp ⎨B⎜ − ⎜ ⎩ ⎝ T T0 ⎞⎫ ⎟⎬ ⎟ ⎠⎭ (3. MÆt ngoµi cã thÓ bäc bëi vá thuû tinh.

13) V× eA(t0. trong B lµ NB(t0) vµ ë nhiÖt ®é t nång ®é ®iÖn tö trong A lµ NA(t). nÕu NA(t0) > NB(t0) th× nãi chung NA(t) > NB(t). Gi÷a hai ®Çu cña mét d©y dÉn còng cã chªnh lÖch nång ®é ®iÖn tö tù do.15) gäi lµ ph−¬ng tr×nh c¬ b¶n cña cÆp nhiÖt ngÉu. nªn ta cã: E AB = e AB (t ) + e BA (t 0 ) NÕu nhiÖt ®é hai mèi hµn b»ng nhau. XÐt ®Çu lµm viÖc (nhiÖt ®é t). Th«ng th−êng khi nhiÖt ®é t¨ng. t 0 ) (3. do NA(t) > NB(t) nªn cã sù khuÕch t¸n ®iÖn tö tõ A → B vµ ë chæ tiÕp xóc xuÊt hiÖn mét hiÖu ®iÖn thÕ eAB(t) cã t¸c dông c¶n trë sù khuÕch t¸n.t0) nhá vµ ng−îc chiÒu nhau cã thÓ bá qua. nång ®é ®iÖn tö t¨ng. 8 S¬ ®å nguyªn lý cÆp nhiÖt ngÉu t 1 A B t0 2 T−¬ng tù t¹i mÆt tiÕp xóc ë ®Çu tù do (nhiÖt ®é t0) còng xuÊt hiÖn mét hiÖu ®iÖn thÕ eAB(t0).58 - (3.t) vµ eB(t. Khi ®¹t c©n b»ng eAB(t) sÏ kh«ng ®æi.t0). Gi¶ sö ë nhiÖt ®é t0 nång ®é ®iÖn tö trong A lµ NA(t0).14) Nh− vËy: E AB = e AB (t ) − e AB (t 0 ) (3. H×nh 3.15) nhËn thÊy nÕu gi÷ nhiÖt ®é t0 = const th×: E AB = e AB (t ) + C = f (t ) .16) . Søc ®iÖn ®éng tæng sinh ra do hiÖu øng nhiÖt ®iÖn x¸c ®Þnh bëi c«ng thøc sau: E AB = e AB (t ) + e BA (t 0 ) + e A (t 0 . ch¼ng h¹n b»ng t0 khi ®ã søc ®iÖn ®éng tæng: E AB = e AB (t 0 ) + e BA (t 0 ) = 0 Hay: e BA (t 0 ) = −e AB (t 0 ) (3.t0) vµ trong B lµ eB(t. Tõ ph−¬ng tr×nh (3. trong B lµ NB(t).Trong kim lo¹i lu«n lu«n tån t¹i mét nång ®é ®iÖn tö tù do nhÊt ®Þnh phô thuéc b¶n chÊt kim lo¹i vµ nhiÖt ®é. t ) + e B (t.15) Ph−¬ng tr×nh (3. do ®ã còng cã sù khuÕch t¸n ®iÖn tö vµ h×nh thµnh hiÖu ®iÖn thÕ t−¬ng øng trong A lµ eA(t.

4. ThËt vËy: .Chän nhiÖt ®é ë mét mèi hµn t0 = const biÕt tr−íc lµm nhiÖt ®é so s¸nh vµ ®o søc ®iÖn ®éng sinh ra trong m¹ch ta cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc nhiÖt ®é t ë mèi hµn thø hai.Trong tr−êng hîp a: E ABC (t. t 0 ) = e AB (t ) + e BC (t 0 ) + e CA (t 0 ) V×: e AB (t 0 ) + e BC (t 0 ) + e CA (t 0 ) = 0 Nªn: E ABC (t. t 1 . . t 0 ) = e AB (t ) − e AB (t 0 ) + e BC (t 1 ) + e CB (t 1 ) V×: e BC (t 1 ) = −e CB (t 1 ) Nªn: E ABC (t. Søc ®iÖn ®éng cña cÆp nhiÖt kh«ng thay ®æi nÕu chóng ta nèi thªm vµo m¹ch mét d©y dÉn thø ba (h×nh 3. t 0 ) = e AB (t ) − e AB (t 0 ) C t0 2 t0 3 3 A 1 t a) B A 4 t1 1 B t b) C t0 2 B t1 H×nh 3. t 0 ) = e AB (t ) − e AB (t 0 ) NÕu nhiÖt ®é hai ®Çu nèi kh¸c nhau sÏ lµm xuÊt hiÖn søc ®iÖn ®éng ký sinh.9) nÕu nhiÖt ®é hai ®Çu nèi cña d©y thø ba gièng nhau.59 - .9 S¬ ®å nèi cÆp nhiÖt víi d©y dÉn thø ba - Tr−êng hîp b: E ABC (t.2. 3. CÊu t¹o cÆp nhiÖt a) VËt liÖu chÕ t¹o §Ó chÕ t¹o cùc nhiÖt ®iÖn cã thÓ dïng nhiÒu kim lo¹i vµ hîp kim kh¸c nhau.

60 - . Gi¸ thµnh rÏ. E® =16. Cùc ©m lµ Alumen. NhiÖt ®é lµm viÖc dµi h¹n <1300oC. Cã ®ñ ®é bÒn c¬ häc vµ ho¸ häc ë nhiÖt ®é lµm viÖc. . NhiÖt ®é lµm viÖc ng¾n h¹n cho phÐp tíi 1600oC .Ro®i/Platin: Cùc d−¬ng lµ hîp kim Platin (90%) vµ r«®i (10%).300oC th× E ≈ 0.77mV. §−êng ®Æc tÝnh cã d¹ng bËc hai. H×nh 3.10 Søc ®iÖn ®éng cña mét sè vËt liÖu chÕ t¹o ®iÖn cùc 1) Telua 2) Chromel 3) S¾t 4) §ång 5) Graphit 6) Hîp kim platin-ro®i 7) Platin 8) Alumel 9) Niken 10) Constantan 11) Coben - CÆp Platin . DÔ kÐo sîi. CÆp nhiÖt Chromel/Alumel: Cùc d−¬ng lµ Chromel. Trong m«i tr−êng cã SiO2 cã thÓ háng ë nhiÖt ®é 1000 .16 mV.5 mm. trong kho¶ng nhiÖt ®é 0 . hîp kim gåm 80%Ni + 10%Cr + 10%Fe. Cã kh¶ n¨ng thay lÉn. hîp kim gåm 95%Ni + 5%(Mn + Cr+Si).Tuy nhiªn chóng ph¶i ®¶m b¶o c¸c yªu cÇu sau: - Søc ®iÖn ®éng ®ñ lín (®Ó dÏ dµng chÕ t¹o dông cô ®o thø cÊp). E® = 46. Do sai kh¸c cña c¸c cÆp nhiÖt kh¸c nhau t−¬ng ®èi nhá nªn lo¹i cÆp nhiÖt nµy th−êng ®−îc dïng lµm cÆp nhiÖt chuÈn. NhiÖt ®é lµm viÖc ng¾n h¹n ~1100oC. §−êng kÝnh ®iÖn cùc th−êng chÕ t¹o φ = 0. cùc ©m lµ platin s¹ch.10 biÓu diÔn quan hÖ gi÷a søc ®iÖn ®éng vµ nhiÖt ®é cña c¸c vËt liÖu dïng ®Ó chÕ t¹o ®iÖn cùc so víi ®iÖn cùc chuÈn platin. Ed 1 2 4 5 3 6 7 8 9 11 10 T H×nh 3.1100oC.

CÆp nhiÖt Chromel/Coben: Cùc d−¬ng lµ chromel. NhiÖt ®é lµm viÖc ng¾n h¹n 800oC. cùc ©m lµ coben.12.11 Søc ®iÖn ®éng cña mét sè cÆp nhiÖt ngÉu E-Chromel/Constantan R. NhiÖt ®é lµm viÖc dµi h¹n < 600oC. E® E J K R S B toC H×nh 3. §−êng kÝnh cùc φ = 3 mm.61 - . E® = 66 mV. NhiÖt ®é lµm viÖc dµi h¹n <300oC.12 CÊu t¹o cÆp nhiÖt 1) Vá b¶o vÖ 2) Mèi hµn 3) D©y ®iÖn cùc 4) Sø c¸ch ®iÖn 5) Bé phËn l¾p ®Æt 6) VÝt nèi d©y 7) D©y nèi 8) §Çu nèi d©y . Quan hÖ gi÷a søc ®iÖn ®éng vµ nhiÖt ®é cña mét sè cÆp nhiÖt cho ë h×nh 3.NhiÖt ®é lµm viÖc dµi h¹n < 900oC.11.Chromel/Alumel B-Platin-rodi (30%)/ Platin-rodi (6%) b) CÊu t¹o CÊu t¹o ®iÓn h×nh cña mét cÆp nhiÖt c«ng nghiÖp tr×nh bµy trªn h×nh 3. cùc ©m lµ coben lµ hîp kim gåm 56%Cu + 44% Ni.Platin-Rodi (10%)/Platin K.Platin-Rodi (13%)/Platin J. CÆp nhiÖt §ång/Coben: Cùc d−¬ng lµ ®ång s¹ch. 2 3 4 5 6 7 8 1 H×nh 3.S¾t/Constantan S. NhiÖt ®é lµm viÖc ng¾n h¹n 600oC. Lo¹i nµy ®−îc dïng nhiÒu trong thÝ nghiÖm v× dÔ chÕ t¹o.

a) S¬ ®å m¹ch ®o dïng miliv«n kÕ . §é chÝnh x¸c cña phÐp ®o søc ®iÖn ®éng cña cÆp nhiÖt ngÉu phô thuéc nhiÒu yÕu tè.13 biÓu diÔn s¬ ®å ®o th«ng dông sö dông miliv«n kÕ tõ ®iÖn. nÕu chóng kh¸c nhau th× trong m¹ch xuÊt hiÖn suÊt ®iÖn ®éng ký sinh ë c¸c mèi nèi vµ lµm sai lÖch kÕt qu¶ ®o. hµn khÝ hoÆc hµn b»ng tia ®iÖn tö. M¹ch ®o vµ dông cô thø cÊp NhiÖt ®é cÇn ®o ®−îc x¸c ®Þnh th«ng qua viÖc ®o søc ®iÖn ®éng sinh ra ë hai ®Çu d©y cña cÆp nhiÖt ngÉu. Tr−êng hîp vá b»ng thÐp mèi hµn ë ®Çu lµm viÖc cã thÓ tiÕp xóc víi vá ®Ó gi¶m thêi gian håi ®¸p.3. §Ó c¸ch ly c¸c ®iÖn cùc ng−êi ta dïng c¸c èng sø c¸ch ®iÖn (4).S¬ ®å: Trªn h×nh 3. c¸c cÆp nhiÖt cã vá b¶o vÖ (1) lµm b»ng sø chÞu nhiÖt hoÆc thÐp chÞu nhiÖt. Muèn n©ng cao ®é chÝnh x¸c cÇn ph¶i: - Gi¶m thiÓu ¶nh h−ëng cña t¸c ®éng cña m«i tr−êng ®o lªn nhiÖt ®é ®Çu tù do. §Ó b¶o vÖ c¸c ®iÖn cùc. . sø c¸ch ®iÖn ph¶i tr¬ vÒ ho¸ häc vµ ®ñ ®é bÒn c¬ vµ nhiÖt ë nhiÖt ®é lµm viÖc. mV C t0 A 1 t1 mV 2 A t0 t 1 t0 3 B 3 t0 4 B A 2 t2 H×nh 3.13 S¬ ®å m¹ch ®o H×nh3. HÖ thèng vá b¶o vÖ ph¶i cã nhiÖt dung ®ñ nhá ®Ó gi¶m bít qu¸n tÝnh nhiÖt vµ vËt liÖu chÕ t¹o vá ph¶i cã ®é dÉn nhiÖt kh«ng qu¸ nhá nh−ng còng kh«ng ®−îc qu¸ lín.§Çu lµm viÖc cña c¸c ®iÖn cùc (3) ®−îc hµn nèi víi nhau b»ng hµn v¶y. §Çu tù do nèi víi d©y nèi (7) tíi dông cô ®o nhê c¸c vÝt nèi (6) d©y ®Æt trong ®Çu nèi d©y (8).62 - . 3.14 S¬ ®å ®o vi sai Khi nhiÖt ®é hai ®Çu tù do (2) vµ (3) b»ng nhau th× søc ®iÖn ®éng trong m¹ch chÝnh lµ søc ®iÖn ®éng cña cÆp nhiÖt. Gi¶m thiÓu sù sôt ¸p do cã dßng ®iÖn ch¹y qua c¸c phÇn tö cña c¶m biÕn vµ m¹ch ®o.4.

63 - . . t 0 ) = E AB (t.§Ó ®o trùc tiÕp hiÖu nhiÖt ®é gi÷a hai ®iÓm ng−êi ta dïng s¬ ®å ®o vi sai nh− h×nh 3. t 0 ) toC H×nh 3. t 0 ) .15.Bï nhiÖt ®é ®Çu tù do: Th«ng th−êng cÆp nhiÖt ngÉu ®−îc chuÈn víi t0 = 0oC øng víi: E AB (t. c¶ hai ®Çu 1 vµ 2 cña cÆp nhiÖt lµ ®Çu lµm viÖc t−¬ng øng víi nhiÖt ®é t1 vµ t2. t 0 ) = e AB (t ) − e AB (t 0 ) NÕu nhiÖt ®é ®Çu tù do b»ng t '0 ≠ 0 th× gi¸ trÞ søc ®iÖn ®éng ®o ®−îc: E AB (t. t 0 ) Gi¸ trÞ E AB (t. t 0 ) = E AB (t. t '0 ) A B A B A B A B E AB (t '0 . Søc ®iÖn ®éng tæng cña bé m¾c nèi tiÕp b»ng nE AB (t. t '0 ) lµ l−îng hiÖu chØnh x¸c ®Þnh tõ thang chia ®é cña cÆp nhiÖt ngÉu ®· dïng theo gi¸ trÞ ®o ë nhiÖt ®é ®Çu tù do t’0. t '0 ) + e AB (t '0 ) − e AB (t 0 ) [ ] Hay: E AB (t. Dïng d©y bï: .15 S¬ ®å m¾c nèi tiÕp Tr−êng hîp nhiÖt ®é m«i tr−êng ®o kh«ng kh¸c nhiÒu nhiÖt ®é ®Çu tù do. E mV E AB (t. ®Ó t¨ng ®é nh¹y phÐp ®o cã thÓ m¾c theo s¬ ®å nèi tiÕp n cÆp nhiÖt nh− h×nh 3.16 HiÖu chØnh nhiÖt ®é ®Çu tù do H×nh 3. t '0 ) = e AB (t ) − e AB (t '0 ) Rót ra: E AB (t.14. t '0 ) + E Ab (t '0 . KÕt qu¶ ®o cho phÐp ta x¸c ®Þnh trùc tiÕp gi¸ trÞ cña hiÖu sè hai nhiÖt ®é t1. D−íi ®©y tr×nh bµy mét sè ph−¬ng ph¸p bï nhiÖt ®é ®Çu tù do. Trong s¬ ®å nµy.t2.

28. nªn: E = e AB (t ) − e AB (t 0 ) C 2 t’0 A 3 t’0 B t0 E 1 2 D 1 t 0 H×nh 3. E = e AB (t ) − e CA (t '0 ) + e BD (t '0 ) − e CD (t 0 ) Chän d©y dÉn C vµ D sao cho e CA (t '0 ) = e DB (t '0 ) ( 12 = 34 ).4%Cu.17. Ng−êi ta tÝnh to¸n sao cho ®iÖn ¸p nµy bï vµo søc ®iÖn ®éng nhiÖt mét l−îng ®óng .6%Ni) cã hÖ sè nhiÖt ®iÖn trë b»ng kh«ng. cÇu c©n b»ng UAB=0. Gi¶ sö nhiÖt ®é ®Çu tù do t¨ng lªn t’0.18 giíi thiÖu s¬ ®å dïng cÇu bï tù ®éng nhiÖt ®é ®Çu tù do.18 CÇu bï nhiÖt ®é ®Çu tù do CÇu bï gåm ®iÖn trë R1.25 ÷4. khi ®ã R® t¨ng lªn lµm xuÊt hiÖn mét ®iÖn ¸p Uc®. R3 lµm b»ng manganin (hîp kim chøa 99. cßn R® lµm b»ng ®ång cã hÖ sè nhiÖt ®iÖn trë 4.10-3oC-1 . 0.64 - .17 Bï nhiÖt ®é ®Çu tù do b»ng d©y bï 3 4 B t C A D t0 - Dïng cÇu bï: Trªn h×nh 3. khi ®ã: E = e AB (t ) − e CD (t 0 ) V× e(t0) = 0. t0 F t1 A t Bé nguån C R1 R3 mV t1 D B Rd t0 R2 H×nh 3. R2.§Ó lo¹i trõ ¶nh h−ëng cña nhiÖt ®é ®èi t−îng ®o lªn ®Çu tù do cã thÓ m¾c dông cô ®o theo s¬ ®å h×nh 3. Khi nhiÖt ®é ®Çu tù do t0 = 0.

b»ng l−îng cÇn hiÖu chØnh, nghÜa lµ Uc® = EAB(t’0,t0). Nh− vËy trªn cöa vµo cña dông cô ®o cã ®iÖn ¸p:
E AB (t, t '0 ) + U cd = E AB ( t, t 0 )

Sai sè bï cña cÇu tiªu chuÈn khi nhiÖt ®é t0 thay ®æi trong kho¶ng 0 - 50oC lµ ±3oC.
- ¶nh h−ëng cña ®iÖn trë m¹ch ®o:

XÐt m¹ch ®o dïng miliv«n kÕ ®iÖn tõ (h×nh 3.19).
t0 2 t1 A 3 t1 B Rt 1 t H×nh 3.19 ¶nh h−ëng cña ®iÖn trë m¹ch ®o Rd t0 RV

Gäi:

Rt lµ ®iÖn trë cña cÆp nhiÖt. Rd lµ ®iÖn trë d©y nèi. Rv lµ ®iÖn trë trong cña miliv«n kÕ.

Khi ®ã ®iÖn ¸p gi÷ hai ®Çu miliv«n kÕ x¸c ®Þnh bëi c«ng thøc:
Vm = E AB (t, t 0 ) Rót ra: RV Rt + Rd + R V

⎡ R + Rd ⎤ E AB (t, t 0 ) = Vm ⎢1 + t ⎥ RV ⎦ ⎣ Theo biÓu thøc (3.17) khi Rv >> Rt+Rd th×:
E AB (t, t 0 ) ≈ Vm

(3.17)

-

¶nh h−ëng cña Rt: §èi víi cÆp cromen/alumen hoÆc cÆp cromen/coben cã ®iÖn

trë Rt kh¸ nhá nªn sù thay ®æi cña nã Ýt ¶nh h−ëng tíi kÕt qu¶ ®o. §èi víi cÆp PtRd Pt cã ®iÖn trë Rt kh¸ lín (~ 15Ω) nªn sù thay ®æi cña nã ¶nh h−ëng ®¸ng kÓ tíi kÕt qu¶ ®o.

-

¶nh h−ëng cña Rd: th«ng th−êng Rd kh¸ nhá nªn Ýt ¶nh h−ëng tíi kÕt qu¶ ®o.
- 65 -

-

¶nh h−ëng cña RV : Rv = Rkd + Rf .
§iÖn trë phô Rf cña miliv«n kÕ th−êng chÕ t¹o b»ng vËt liÖu cã αR = 0 nªn

kh«ng ¶nh h−ëng, sù thay ®æi Rv khi nhiÖt ®é t¨ng chñ yÕu do sù thay ®æi cña ®iÖn trë khung d©y Rkd (chÕ t¹o b»ng ®ång αR = 4,2.10-3/oC). §Ó gi¶m sai sè nªn chän RP/Rkd lín.

b) S¬ ®å m¹ch ®o xung ®èi dïng ®iÖn thÕ kÕ
Trªn h×nh 3.20 tr×nh bµy s¬ ®å ®o b»ng ph−¬ng ph¸p xung ®èi, dùa theo nguyªn t¾c so s¸nh ®iÖn ¸p cÇn ®o víi mét ®iÖn ¸p r¬i trªn mét ®o¹n ®iÖn trë.
E R®c iC A B RG G iP EX + Rx t a) H×nh 3.20 S¬ ®å ®o b»ng ph−¬ng ph¸p bï Rd i0 EM P K D EX

E RM G R®c R

b)

Theo s¬ ®å h×nh (3.20a) ta cã:
E X = I C R AB + I P (R d + R x + R G ) IC = I0 + IP E X = (I 0 + I P )R AB + I P (R d + R x + R G ) IP = E X − I 0 R AB R AB + R d + R X + R G

NÕu Ta cã:

EX = I0RAB th× IP = 0, tøc lµ ®iÖn thÕ kÕ chØ kh«ng, khi ®ã ®iÖn ¸p r¬i trªn AB

b»ng gi¸ trÞ EX cÇn ®o.
l R L

R AB =

EX = I0

l R L
- 66 -

NÕu cè ®Þnh ®−îc I0, L, R ta cã Ex phô thuéc ®¬n trÞ vµo l tøc lµ phô thuéc vµo vÞ trÝ con ch¹y cña ®ång hå ®o. Trªn s¬ ®å h×nh (3.20b), EM lµ mét pin mÉu, RM lµ mét ®iÖn trë mÉu b»ng manganin. Khi ®ãng P vµo K th× ®iÖn ¸p r¬i trªn RM ®−îc so s¸nh víi pin mÉu. NÕu kim ®iÖn kÕ chØ kh«ng th× kh«ng cÇn ®iÒu chØnh dßng I0, nÕu kim ®iÖn kÕ lÖch khái kh«ng th× dÞch chuyÓn R®c ®Ó kim ®iÖn kÕ vÒ kh«ng. Khi ®o ®ãng P vµo D vµ xª dÞch biÕn trë R ®Ó kim ®iÖn kÕ chØ kh«ng, khi ®ã Ex = UAB.

3.5.

Ho¶ kÕ
C¸c c¶m biÕn quang thuéc lo¹i c¶m biÕn ®o nhiÖt ®é kh«ng tiÕp xóc, gåm: ho¶

kÕ bøc x¹ toµn phÇn, ho¶ kÕ quang häc.

3.5.1. Ho¶ kÕ bøc x¹ toµn phÇn
Nguyªn lý dùa trªn ®Þnh luËt: N¨ng l−îng bøc x¹ toµn phÇn cña vËt ®en tuyÖt ®èi tØ lÖ víi luü thõa bËc 4 cña nhiÖt ®é tuyÖt ®èi cña vËt.

E = σT 4 Trong ®ã: σ lµ h»ng sè, T lµ nhiÖt ®é tuyÖt ®èi cña vËt ®en tuyÖt ®èi (K).

(3.18)

Th«ng th−êng cã hai lo¹i: ho¶ kÕ bøc x¹ cã èng kÝnh héi tô, ho¶ kÕ bøc x¹ cã kÝnh ph¶n x¹.
1 2 4 1 4 3

5 a) b)

5

H×nh 3.21 Ho¶ kÕ bøc x¹ toµn phÇn a) Lo¹i cã èng kÝnh héi tô b) Lo¹i cã kÝnh ph¶n x¹ 1) Nguån bøc x¹ 2) ThÊu kÝnh héi tô 3) G−¬ng ph¶n x¹ 4) Bé ph©n thu n¨ng l−îng 5) Dông cô ®o thø cÊp

Trong s¬ ®å h×nh (3.21a): ¸nh s¸ng tõ nguån bøc x¹ (1) qua thÊu kÝnh héi tô (2) ®Ëp tíi bé phËn thu n¨ng l−îng tia bøc x¹ (4), bé phËn nµy ®−îc nèi víi dông cô ®o thø cÊp (5). Trong s¬ ®å h×nh (3.21b): ¸nh s¸ng tõ nguån bøc x¹ (1) ®Ëp tíi g−¬ng ph¶n x¹ (3) vµ héi tô tíi bé phËn thu n¨ng l−îng tia bøc x¹ (4), bé phËn nµy ®−îc nèi víi dông cô ®o thø cÊp (5).
- 67 -

Bé phËn thu n¨ng l−îngcã thÓ lµ mét vi nhiÖt kÕ ®iÖn trë hoÆc lµ mét tæ hîp cÆp nhiÖt, chóng ph¶i tho¶ m·n c¸c yªu cÇu: + Cã thÓ lµm viÖc b×nh th−êng trong kho¶ng nhiÖt ®é 100 - 150oC. + Ph¶i cã qu¸n tÝnh nhiÖt ®ñ nhá vµ æn ®Þnh sau 3 - 5 gi©y. + KÝch th−íc ®ñ nhá ®Ó tËp trung n¨ng l−îng bøc x¹ vµo ®o. Trªn h×nh 3.22 tr×nh bµy cÊu t¹o cña mét bé thu lµ tæ hîp cÆp nhiÖt. C¸c cÆp nhiÖt (1) th−êng dïng cÆp
1

cr«men/c«ben m¾c nèi tiÕp víi nhau. C¸c vÖt ®en (2) phñ b»ng bét platin. Ho¶ kÕ dïng g−¬ng ph¶n x¹ tæn thÊt n¨ng l−îng thÊp ( ~ 10%), ho¶ kÕ dïng thÊu kÝnh héi tô cã thÓ tæn thÊt tíi 30 - 40%. Tuy nhiªn lo¹i thø nhÊt l¹i cã nh−îc ®iÓm lµ khi m«i tr−êng nhiÒu bôi, g−¬ng bÞ bÈn, ®é ph¶n x¹ gi¶m do ®ã t¨ng sai sè. Khi ®o nhiÖt ®é b»ng ho¶ kÕ bøc x¹ sai sè th−êng kh«ng v−ît qu¸ 27oC, trong ®iÒu kiÖn: + VËt ®o ph¶i cã ®é den xÊp xØ b»ng 1. + TØ lÖ gi÷a ®−êng kÝnh vËt bøc x¹ vµ kho¶ng c¸ch ®o (D/L) kh«ng nhá h¬n 1/16. + NhiÖt ®é m«i tr−êng 20 ± 2oC. Trong thùc tÕ ®é ®en cña vËt ®o ε <1,
1 khi ®ã Tdo = 4 .Tdoc . Th«ng th−êng x¸c ε
∆T ε1 ε2 ε3 H×nh 3.22 Bé thu n¨ng l−îng 1) CÆp nhiÖt 2)Líp phñ platin 2

®Þnh theo c«ng thøc sau: T®o = T®äc + ∆T
Víi ∆T lµ l−îng hiÖu chØnh phô thuéc T®äc T®äc Hn×h 3.23 HiÖu chØnh nhiÖt ®é theo ®é ®en

vµ ®é ®en cña vËt ®o (h×nh 3.23). Kho¶ng c¸ch ®o tèt nhÊt lµ 1 ± 0,2 mÐt.
3.5.2. Ho¶ kÕ quang ®iÖn

Ho¶ kÕ quang ®iÖn chÕ t¹o dùa trªn ®Þnh luËt Pl¨ng:
- 68 -

24 ta nhËn thÊy sù phô thuéc gi÷a I vµ λ kh«ng ®¬n trÞ. Khi ®é s¸ng cña chóng b»ng nhau th× nhiÖt ®é cña chóng b»ng nhau. BËt c«ng t¾c K ®Ó cÊp ®iÖn nung nãng d©y tãc bãng ®Ìn mÉu (5). T3 0. vµ c¸c v¸ch ng¨n (4).65µm λ IλT T1 T2 H×nh 3. C1. ¸nh s¸ng tõ vËt bøc x¹ cÇn ®o nhiÖt ®é (1) qua vËt kÝnh (2). Tõ h×nh 3. kÝnh läc (3).25 S¬ ®å ho¶ kÕ quang häc 1) Nguån bøc x¹ 2)VËt kÝnh 3) KÝnh läc 4&6) Thµnh ng¨n 5) Bãng ®Ìn mÉu 7) KÝnh läc ¸nh s¸ng ®á 8) ThÞ kÝnh Khi ®o.24 Sù phô thuéc cña c−êng ®é ¸nh s¸ng vµo b−íc sãng vµ nhiÖt ®é 1 2 4 3 5 6 7 8 mA Rb K H×nh 3. do ®ã ng−êi ta th−êng cè ®Þnh b−íc sãng ë 0. Nguyªn t¾c ®o nhiÖt ®é b»ng ho¶ kÕ quang häc lµ so s¸nh c−êng ®é s¸ng cña vËt cÇn ®o vµ ®é s¸ng cña mét ®Ìn mÉu ë trong cïng mét b−íc sãng nhÊt ®Þnh vµ theo cïng mét h−íng. Khi ®ã T®o x¸c ®Þnh bëi c«ng thøc: .69 - .65µm. ®iÒu chØnh biÕn trë Rb ®Ó ®é s¸ng cña d©y tãc bãng ®Ìn trïng víi ®é s¸ng cña vËt cÇn ®o. Sai sè khi ®o: Sai sè do ®é ®en cña vËt ®o ε < 1.I λT = C1 ⎛ C2 ⎞ λ5 ⎜ e RT − 1⎟ ⎜ ⎟ ⎝ ⎠ (3. h−íng ho¶ kÕ vµo vËt cÇn ®o. C2 lµ c¸c h»ng sè. (6). kÝnh läc ¸nh s¸nh ®á (7) tíi thÞ kÝnh (8) vµ m¾t.19) Trong ®ã λ lµ b−íc sãng.

kÕt qu¶ ®o còng bÞ ¶nh h−ëng.70 - .1 λ 1 = ln Tdo C 2 ελ C«ng thøc hiÖu chØnh: T®o = T®äc + ∆T Gi¸ trÞ cña ∆T cho theo ®å thÞ. . Khi m«i tr−êng cã bôi lµm bÈn èng kÝnh. tuy nhiªn sai sè nµy th−êng nhá. Ngoµi ra sai sè cña phÐp ®o cßn do ¶nh h−ëng cña kho¶ng c¸ch ®o.

1. Con ch¹y ®−îc liªn kÕt c¬ häc víi vËt chuyÓn ®éng cÇn kh¶o s¸t. tõ tr−êng hoÆc ®iÖn tõ tr−êng. øng víi mét dÞch chuyÓn c¬ b¶n. ®ång thêi phÇn tö nµy cã liªn quan ®Õn vËt cÇn x¸c ®Þnh dÞch chuyÓn. Mèi liªn hÖ gi÷a vËt dÞch chuyÓn vµ c¶m biÕn ®−îc thùc hiÖn th«ng qua vai trß trung gian cña ®iÖn tr−êng. c¶m biÕn ph¸t ra mét xung. Tuy nhiªn víi c¸c ®iÖn thÕ kÕ ®iÖn trë cã con ch¹y c¬ häc cã sù cä x¸t g©y ån vµ mßn.2. c¶m biÕn quang. sè lÇn sö dông thÊp vµ chÞu ¶nh h−ëng lín cña m«i tr−êng khi cã bôi vµ Èm. trªn ®ã cã mét tiÕp xóc ®iÖn cã thÓ di chuyÓn ®−îc gäi lµ con ch¹y.1) . Nguyªn lý ®o vÞ trÝ vµ dÞch chuyÓn ViÖc x¸c ®Þnh vÞ trÝ vµ dÞch chuyÓn ®ãng vai trß rÊt quan träng trong kü thuËt. c¶m biÕn dïng sãng ®µn håi.Ch−¬ng IV C¶m biÕn ®o vÞ trÝ vµ dÞch chuyÓn 4. ¸nh s¸ng. §iÖn thÕ kÕ ®iÖn trë Lo¹i c¶m biÕn nµy cã cÊu t¹o ®¬n gi¶n. tÝn hiÖu ®o lín vµ kh«ng ®ßi hái m¹ch ®iÖn ®Æc biÖt ®Ó xö lý tÝn hiÖu.2. bé c¶m biÕn cung cÊp tÝn hiÖu lµ hµm phô thuéc vµo vÞ trÝ cña mét trong c¸c phÇn tö cña c¶m biÕn. c¶m biÕn ®iÖn dung.1. §iÖn thÕ kÕ dïng con ch¹y c¬ häc a) CÊu t¹o vµ nguyªn lý lµm viÖc C¶m biÕn gåm mét ®iÖn trë cè ®Þnh Rn. 4.71 - (4. Mét sè c¶m biÕn kh«ng ®ßi hái liªn kÕt c¬ häc gi÷a c¶m biÕn vµ vËt cÇn ®o vÞ trÝ hoÆc dÞch chuyÓn. §èi víi ®iÖn thÕ kÕ chuyÓn ®éng th¼ng (h×nh 4. HiÖn nay cã hai ph−¬ng ph¸p c¬ b¶n ®Ó x¸c ®Þnh vÞ trÝ vµ dÞch chuyÓn.1a): Rx = l Rn L . Trong ch−¬ng nµy tr×nh bµy c¸c lo¹i c¶m biÕn th«ng dông dïng ®Ó x¸c ®Þnh vÞ trÝ vµ dÞch chuyÓn cña vËt nh− ®iÖn thÕ kÕ ®iÖn trë. còng chÝnh lµ vÞ trÝ cña vËt chuyÓn ®éng. Trong ph−¬ng ph¸p thø hai. Trong ph−¬ng ph¸p thø nhÊt. Gi¸ trÞ cña ®iÖn trë Rx gi÷a con ch¹y vµ mét ®Çu cña ®iÖn trë Rn lµ hµm phô thuéc vµo vÞ trÝ con ch¹y. c¶m biÕn ®iÖn c¶m. 4. ViÖc x¸c ®Þnh vÞ trÝ vµ dÞch chuyÓn ®−îc tiÕn hµnh b»ng c¸ch ®Õm sè xung ph¸t ra.

Cr. C¸c ®iÖn trë ®−îc chÕ t¹o víi c¸c gi¸ trÞ Rn n»m trong kho¶ng 1kΩ ®Õn 100kΩ. gi÷a c¸c vßng d©y c¸ch ®iÖn b»ng emay hoÆc líp oxyt bÒ mÆt. (h×nh 4.1c) Rx.- Tr−êng hîp ®iÖn thÕ kÕ dÞch chuyÓn trßn hoÆc xo¾n: Rx = α Rn αM (4.Cr .Pd quÊn thµnh vßng xo¾n d¹ng lß xo trªn lâi c¸ch ®iÖn (b»ng thuû tinh. C¸c ®iÖn trë d¹ng cuén d©y th−êng ®−îc chÕ t¹o tõ c¸c hîp kim Ni . b) C¸c ®Æc tr−ng .72 - .1 C¸c d¹ng ®iÖn thÕ kÕ 1) §iÖn trë 2) Con ch¹y c) C¸c ®iÖn trë ®−îc chÕ t¹o cã d¹ng cuén d©y hoÆc b¨ng dÉn.Fe. C¸c con ch¹y ph¶i ®¶m b¶o tiÕp xóc ®iÖn tèt.2) Trong ®ã αM < 360o khi dÞch chuyÓn trßn (h×nh 4. ®«i khi ®¹t tíi MΩ. L a) 2 1 1 2 1 1 Rn Rα Rα 2 Rn b) H×nh 4.Kho¶ng ch¹y cã Ých cña con ch¹y: . Ni Cu . Ag . gèm hoÆc nhùa). C¸c ®iÖn trë d¹ng b¨ng dÉn ®−îc chÕ t¹o b»ng chÊt dÎo trén bét dÉn ®iÖn lµ cacbon hoÆc kim lo¹i cì h¹t ~10-2µm. Ni . l Rn. .1b) vµ αM > 360o khi dÞch chuyÓn xo¾n. ®iÖn trë tiÕp xóc ph¶i nhá vµ æn ®Þnh.

2.Th«ng th−êng ë ®Çu hoÆc cuèi ®−êng ch¹y cña con ch¹y tØ sè Rx/Rn kh«ng æn ®Þnh. Th−êng thêi gian sèng cña ®iÖn thÕ kÕ d¹ng d©y dÉn vµo cì 106 lÇn.3 §é ph©n gi¶i cña ®iÖn thÕ kÕ d¹ng d©y H×nh 4. . . Rx Cuèi ®−êng ch¹y Kho¶ng ch¹y cã Ých §Çu ®−êng ch¹y x H×nh 4. ®é ph©n gi¶i x¸c ®Þnh bëi l−îng dÞch chuyÓn cùc ®¹i cÇn thiÕt ®Ó ®−a con ch¹y tõ vÞ trÝ tiÕp xóc hiÖn t¹i sang vÞ trÝ tiÕp xóc l©n cËn tiÕp theo. ng−êi ta sö dông ®iÖn thÕ kÕ liªn kÕt quang hoÆc tõ.2 Sù phô thuéc cña ®iÖn trë ®iÖn thÕ kÕ vµo vÞ trÝ con ch¹y .73 - .2 vÞ trÝ tiÕp xóc víi hai vßng d©y.107 . §é ph©n gi¶i cña c¸c ®iÖn trë kiÓu b¨ng dÉn phô thuéc vµo kÝch th−íc h¹t. + n .N¨ng suÊt ph©n gi¶i: §èi víi ®iÖn trë d©y cuèn. cã thÓ ph©n biÖt 2n-2 vÞ trÝ kh¸c nhau vÒ ®iÖn cña con ch¹y: + n vÞ trÝ tiÕp xóc víi mét vßng d©y. 4. Nguyªn nh©n g©y ra h− háng vµ h¹n chÕ thêi gian sèng cña ®iÖn thÕ kÕ lµ sù mµi mßn con ch¹y vµ d©y ®iÖn trë trong qu¸ tr×nh lµm viÖc. §é ph©n gi¶i cña ®iÖn trë d¹ng d©y phô thuéc vµo h×nh d¹ng vµ ®−êng kÝnh cña d©y ®iÖn trë vµ vµo kho¶ng ~10µm. Gi¶ sö cuén d©y cã n vßng d©y. Kho¶ng ch¹y cã Ých lµ kho¶ng thay ®æi cña x mµ trong kho¶ng ®ã Rx lµ hµm tuyÕn tÝnh cña dÞch chuyÓn.Thêi gian sèng: Thêi gian sèng cña ®iÖn kÕ lµ sè lÇn sö dông cña ®iÖn thÕ kÕ.108 lÇn.2. ®iÖn kÕ d¹ng b¨ng dÉn vµo cì 5.1 µm. §iÖn thÕ kÕ kh«ng dïng con ch¹y c¬ häc §Ó kh¾c phôc nh−îc ®iÓm cña ®iÖn thÕ kÕ dïng con ch¹y c¬ häc. th−êng vµo cì ~ 0.

4 §iÖn thÕ kÕ quay dïng con trá quang 1) §iot ph¸t quang 2) B¨ng ®o 3) B¨ng tiÕp xóc 4) B¨ng quang dÉn Thêi gian håi ®¸p cña vËt liÖu quang dÉn cì vµi chôc ms.a) §iÖn thÕ kÕ dïng con trá quang H×nh 4. vÞ trÝ phÇn bÞ bao phñ phô thuéc gãc quay cña trôc.74 - (4. ®iÖn ¸p ®o Vm lÊy tõ ®iÓm chung (2) vµ mét trong hai ®Çu (1) hoÆc (3).4 tr×nh bµy s¬ ®å nguyªn lý cña mét ®iÖn thÕ kÕ dïng con trá quang. Khi ®ã ®iÖn ¸p ®o ®−îc x¸c ®Þnh bëi c«ng thøc: Vm = R1 R ES = 1 ES R1 + R 2 R . §iÖn thÕ kÕ trßn dïng con trá quang gåm ®iot ph¸t quang (1). B¨ng ®iÖn trë ®o ®−îc ph©n c¸ch víi b¨ng tiÕp xóc bëi mét b¨ng quang dÉn rÊt m¶nh lµm b»ng CdSe trªn ®ã cã con trá quang dÞch chuyÓn khi trôc cña ®iÖn thÕ kÕ quay. b) §iÖn thÕ kÕ dïng con trá tõ H×nh 4. b¨ng tiÕp xóc (3) vµ b¨ng quang dÉn (4). b¨ng ®o (2). §iÖn trë cña vïng quang dÉn gi¶m ®¸ng kÓ trong vïng ®−îc chiÕu s¸ng t¹o nªn sù liªn kÕt gi÷a b¨ng ®o vµ b¨ng tiÕp xóc.3) .5 tr×nh bµy s¬ ®å nguyªn lý mét ®iÖn thÕ kÕ tõ gåm hai tõ ®iÖn trë R1 vµ R2 m¾c nèi tiÕp vµ mét nam ch©m vÜnh c÷u (g¾n víi trôc quay cña ®iÖn thÕ kÕ) bao phñ lªn mét phÇn cña ®iÖn trë R1 vµ R2. 4 3 2 1 §iÖn trë ~20 ms Thêi gian H×nh 4. §iÖn ¸p nguån ES ®−îc ®Æt gi÷a hai ®iÓm (1) vµ (3).

4.5 §iÖn thÕ kÕ ®iÖn tõ 3 30% 0O 180O b) 360O Tõ h×nh 4. 4.6 C¶m biÕn tù c¶m 1) Lâi s¾t tõ 2) Cuén d©y 3) PhÇn ®éng .5b ta nhËn thÊy ®iÖn ¸p ®o chØ tuyÕn tÝnh trong mét kho¶ng ~90o ®èi víi ®iÖn kÕ quay. C¶m biÕn ®iÖn c¶m C¶m biÕn ®iÖn c¶m lµ nhãm c¸c c¶m biÕn lµm viÖc dùa trªn nguyªn lý c¶m øng ®iÖn tõ.1.3.6 tr×nh bµy s¬ ®å nguyªn lý cÊu t¹o cña mét sè lo¹i c¶m biÕn tù c¶m ®¬n.Trong ®ã R1 lµ hµm phô thuéc vÞ trÝ cña trôc quay. §èi víi ®iÖn kÕ dÞch chuyÓn th¼ng kho¶ng tuyÕn tÝnh chØ cì vµi mm.3. 1 3 XV 1 2 XV 2 R 2 δ a) 3 b) H×nh 4. vÞ trÝ nµy x¸c ®Þnh phÇn cña R1 chÞu ¶nh h−ëng cña tõ tr−êng cßn R = R1 + R2 = const. C¶m biÕn ®iÖn c¶m ®−îc chia ra: c¶m biÕn tù c¶m vµ hç c¶m.75 1 c) . 2 Vm/ES R1 R2 70% 50% 1 a) H×nh 4. C¶m biÕn tù c¶m a) C¶m biÕn tù c¶m cã khe tõ biÕn thiªn .C¶m biÕn tù c¶m ®¬n: trªn h×nh 4. VËt cÇn ®o vÞ trÝ hoÆc dÞch chuyÓn ®−îc g¾n vµo mét phÇn tö cña m¹ch tõ g©y nªn sù biÕn thiªn tõ th«ng qua cuén ®o.

C¶m biÕn tù c¶m ®¬n gåm mét cuén d©y quÊn trªn lâi thÐp cè ®Þnh (phÇn tÜnh) vµ mét lâi thÐp cã thÓ di ®éng d−íi t¸c ®éng cña ®¹i l−îng ®o (phÇn ®éng), gi÷a phÇn tÜnh vµ phÇn ®éng cã khe hë kh«ng khÝ t¹o nªn mét m¹ch tõ hë. S¬ ®å h×nh 4.6a: d−íi t¸c ®éng cña ®¹i l−îng ®o XV, phÇn øng cña c¶m biÕn di chuyÓn, khe hë kh«ng khÝ δ trong m¹ch tõ thay ®æi, lµm cho tõ trë cña m¹ch tõ biÕn thiªn, do ®ã hÖ sè tù c¶m vµ tæng trë cña cuén d©y thay ®æi theo. S¬ ®å h×nh 4.6b: khi phÇn øng quay, tiÕt diÖn khe hë kh«ng khÝ thay ®æi, lµm cho tõ trë cña m¹ch tõ biÕn thiªn, do ®ã hÖ sè tù c¶m vµ tæng trë cña cuén d©y thay ®æi theo. HÖ sè tù c¶m cña cuén d©y còng cã thÓ thay ®æi do thay ®æi tæn hao sinh ra bëi dßng ®iÖn xo¸y khi tÊm s¾t tõ dÞch chuyÓn d−íi t¸c ®éng cña ®¹i l−îng ®o Xv (h×nh 4.6c). NÕu bá qua ®iÖn trë cña cuén d©y vµ tõ trë cña lâi thÐp ta cã:
W 2 W 2µ 0s = L= δ Rδ Trong ®ã: W- sè vßng d©y.

Rδ =

δ - tõ trë cña khe hë kh«ng khÝ. µ0s

δ - chiÒu dµi khe hë kh«ng khÝ. s - tiÕt diÖn thùc cña khe hë kh«ng khÝ. Tr−êng hîp W = const ta cã:
dL = ∂L ∂L ds + dδ ∂s ∂δ

Víi l−îng thay ®æi h÷u h¹n ∆δ vµ ∆s ta cã:
∆L = W 2µ0 W 2 µ 0s0 ∆s − ∆δ δ0 (δ 0 + ∆δ)2

(4.4)

§é nh¹y cña c¶m biÕn tù c¶m khi khe hë kh«ng khÝ thay ®æi (s=const):
Sδ = ∆L =− ∆δ L0 ⎡ ⎛ ∆δ ⎞⎤ δ 0 ⎢1 + ⎜ ⎟⎥ ⎜ ⎟ ⎣ ⎝ δ 0 ⎠⎦
2

(4.5)

§é nh¹y cña c¶m biÕn tù c¶m khi thay ®æi tiÕt diÖn kh«ng khÝ (δ = const):
- 76 -

Ss =

∆L L 0 = ∆s s 0

(4.6)

Tæng trë cña c¶m biÕn:
ωW 2 µ 0 s Z = ωL = δ khe hë kh«ng khÝ s vµ phi tuyÕn víi chiÒu dµi khe hë kh«ng khÝ δ. (4.7)

Tõ c«ng thøc (4.7) ta thÊy tæng trë Z cña c¶m biÕn lµ hµm tuyÕn tÝnh víi tiÕt diÖn

Z, L L = f(∆δ) Z5000Hz = f(∆δ) Z500Hz = f(∆δ) ∆δ H×nh 4.7 Sù phô thuéc gi÷a L, Z víi chiÒu dµy khe hë kh«ng khÝ δ

§Æc tÝnh cña c¶m biÕn tù c¶m ®¬n Z = f(∆δ) lµ hµm phi tuyÕn vµ phô thuéc tÇn sè nguån kÝch thÝch, tÇn sè nguån kÝch thÝch cµng cao th× ®é nh¹y cña c¶m biÕn cµng cao (h×nh 4.7). - C¶m biÕn tù c¶m kÐp l¾p theo kiÓu vi sai: §Ó t¨ng ®é nh¹y cña c¶m biÕn vµ t¨ng ®o¹n ®Æc tÝnh tuyÕn tÝnh ng−êi ta th−êng dïng c¶m biÕn tù c¶m kÐp m¾c theo kiÓu vi sai (h×nh 4.8).
XV XV XV

a)

b) H×nh 4.8 C¶m biÕn tù c¶m kÐp m¾c theo kiÓu vi sai

c)

§Æc tÝnh cña c¶m biÕn tù c¶m kÐp vi sai cã d¹ng nh− h×nh 4.9.

- 77 -

L L1 = f(δ) L1 - L2 = f(δ) δ L2 = f(δ) H×nh 4.9 §Æc tÝnh cña c¶m biÕn tù c¶m kÐp l¾p vi sai

b) C¶m biÕn tù c¶m cã lâi tõ di ®éng
C¶m biÕn gåm mét cuén d©y bªn trong cã lâi tõ di ®éng ®−îc (h×nh 4.10).
1 2

XV

l0 l

lf

H×nh 4.10 S¬ ®å nguyªn lý c¶m biÕn tù c¶m cã lâi tõ 1) Cuén d©y 2) Lâi tõ

D−íi t¸c ®éng cña ®¹i l−îng ®o XV, lâi tõ dÞch chuyÓn lµm cho ®é dµi lf cña lâi tõ n»m trong cuén d©y thay ®æi, kÐo theo sù thay ®æi hÖ sè tù c¶m L cña cuén d©y. Sù phô thuéc cña L vµo lf lµ hµm kh«ng tuyÕn tÝnh, tuy nhiªn cã thÓ c¶i thiÖn b»ng c¸ch ghÐp hai cuén d©y ®ång d¹ng vµo hai nh¸nh kÒ s¸t nhau cña mét cÇu ®iÖn trë cã chung mét lâi s¾t.

4.3.2. C¶m biÕn hç c¶m
CÊu t¹o cña c¶m biÕn hç c¶m t−¬ng tù c¶m biÕn tù c¶m chØ kh¸c ë chç cã thªm mét cuén d©y ®o (h×nh 4.11). Trong c¸c c¶m biÕn ®¬n khi chiÒu dµi khe hë kh«ng khÝ (h×nh 4.11a) hoÆc tiÕt diÖn khe kh«ng khÝ thay ®æi (h×nh 4.11b) hoÆc tæn hao do dßng ®iÖn xo¸y thay ®æi (h×nh 4.11c) sÏ lµm cho tõ th«ng cña m¹ch tõ biÕn thiªn kÐo theo suÊt ®iÖn ®éng e trong cuén ®o thay ®æi. - C¶m biÕn ®¬n cã khe hë kh«ng khÝ:

- 78 -

k = W2 W1µ 0 ωI . ta cã: e=− W2 W1µ 0 s ωI m cos ωt δ W2 W1µ 0 s s ωI = k δ δ vµ gi¸ trÞ hiÖu dông cña suÊt ®iÖn ®éng: E=− I . W1. ta cã: dE = ∂E ∂E ds + dδ ∂s ∂δ . dt δ dt W2 .11 C¶m biÕn hç c¶m 1) Cuén s¬ cÊp 2) G«ng tõ 3) lâi tõ di ®éng 4) Cuén thø cÊp (cuén ®o) Søc ®iÖn ®éng c¶m øng trong cuén d©y ®o W2: e = − W2 dΦ t W W µ s di =− 2 1 0 . Khi lµm viÖc víi dßng xoay chiÒu i = I m sin ωt .Tõ th«ng tøc thêi: Φt = iW1 iW1µ 0 s = δ Rδ i .gi¸ trÞ dßng ®iÖn tøc thêi trong cuén d©y kÝch thÝch W1. ~ 1 XV 4 3 1 3 3 4 2 XV 1 2 4 4 a) ~ b) ~ XV XV XV ~ c) φ1 φ2 ~ d) ®) ~ e) ~ H×nh 4.gi¸ trÞ hiÖu dông cña dßng ®iÖn. Víi c¸c gi¸ trÞ W2. µ0.sè vßng d©y cña cuén d©y ®o.79 - . ω vµ I lµ h»ng sè.

®iÖn ¸p ®o Vm ë ®Çu ra hai cuén thø cÊp b»ng kh«ng. lµm thay ®æi mèi quan hÖ gi÷a cuén s¬ cÊp víi c¸c cuén thø cÊp.11d.søc ®iÖn ®éng hç c¶m ban ®Çu trong cuén ®o W2 khi XV = 0.C¶m biÕn vi sai: ®Ó t¨ng ®é nh¹y vµ ®é tuyÕn tÝnh cña ®Æc tÝnh c¶m biÕn ng−êi ta m¾c c¶m biÕn theo s¬ ®å vi sai (h×nh 4.e). 2 2 3 1 ~ ~ H×nh 4. δ0 Ta nhËn thÊy c«ng thøc x¸c ®Þnh ®é nh¹y cña c¶m biÕn hç c¶m cã d¹ng t−¬ng tù nh− c¶m biÕn tù c¶m chØ kh¸c nhau ë gi¸ trÞ cña E0 vµ L0.80 - . C¸c cuén thø cÊp ®−îc nèi ng−îc víi nhau sao cho suÊt ®iÖn ®éng trong chóng triÖt tiªu lÉn nhau. khi lâi tõ ë vÞ trÝ trung gian. bªn trong cã lâi tõ di ®éng ®−îc (h×nh 4. tøc lµ lµm thay ®æi hÖ sè hç c¶m gi÷a cuén s¬ cÊp víi c¸c . Khi m¾c vi sai ®é nh¹y cña c¶m biÕn t¨ng gÊp ®«i vµ ph¹m vi lµm viÖc tuyÕn tÝnh më réng ®¸ng kÓ. . Khi lâi tõ dÞch chuyÓn.®.Hay ∆E = k ∆δ ∆s − ks ∂0 (δ 0 + ∆δ)2 (4.12).12 C¶m biÕn hç c¶m vi sai 1) Cuén s¬ cÊp 2) Cuén thø cÊp 3) Lâi tõ VÒ nguyªn t¾c.8) §é nh¹y cña c¶m biÕn víi sù thay ®æi cña chiÒu dµi khe hë kh«ng khÝ δ (s = const): Sδ = ∆E =− ∆δ ks ∆δ ⎞ 2⎛ ⎟ δ 0 ⎜1 + ⎜ δ0 ⎟ ⎝ ⎠ 2 = E0 ⎛ ∆δ ⎞ ⎟ δ 0 ⎜1 + ⎜ δ0 ⎟ ⎝ ⎠ 2 (4.BiÕn thÕ vi sai cã lâi tõ: gåm bèn cuén d©y ghÐp ®ång trôc t¹o thµnh hai c¶m biÕn ®¬n ®èi xøng.9) Cßn ®é nh¹y khi tiÕt diÖn khe hë kh«ng khÝ s thay ®æi (δ = const): SS = E0 = ∆E k E 0 = = ∆s δ 0 s 0 (4.10) ks 0 . §é nh¹y cña c¶m biÕn hç c¶m Sδ vµ SS còng t¨ng khi tÇn sè nguån cung cÊp t¨ng. .

s .diÖn tÝch n»m gi÷a hai ®iÖn cùc. C¶m biÕn ®iÖn dung 4. Khi ®iÖn trë cña thiÕt bÞ ®o ®ñ lín. δ .13a: d−íi t¸c ®éng cña ®¹i l−îng ®o XV. C= εε 0 s δ ε . kÐo theo ®iÖn dung tô ®iÖn biÕn thiªn.kho¶ng c¸ch gi÷a hai b¶n cùc.4. - §èi víi c¶m biÕn h×nh 4. C¶m biÕn tô ®iÖn ®¬n C¸c c¶m biÕn tô ®iÖn ®¬n lµ mét tô ®iÖn ph¼ng hoÆc h×nh trô cã mét b¶n cùc g¾n cè ®Þnh (b¶n cùc tÜnh) vµ mét b¶n cùc di chuyÓn (b¶n cùc ®éng) liªn kÕt víi vËt cÇn ®o.13 C¶m biÕn tô ®iÖn ®¬n c) - §èi víi c¶m biÕn h×nh 4. kho¶ng c¸c gi÷a c¸c b¶n cùc thay ®æi. b¶n cùc ®éng di chuyÓn quay. 4. δ XV XV α XV a) b) H×nh 4. kÐo theo sù thay ®æi cña ®iÖn dung tô ®iÖn.81 - .h»ng sè ®iÖn m«i cña m«i tr−êng.13b: d−íi t¸c ®éng cña ®¹i l−îng ®o XV. ®iÖn ¸p ®o Vm gÇn nh− tuyÕn tÝnh víi hiÖu sè c¸c hÖ sè hç c¶m cña hai cuén thø cÊp. b¶n cùc ®éng di chuyÓn.h»ng sè ®iÖn m«i cña ch©n kh«ng. diÖn tÝch gi÷a c¸c b¶n cùc thay ®æi.α = 360δ δ (4.1. .4. ε0 . C= ε 0 s ε 0 πr 2 .gãc øng víi phÇn hai b¶n cùc ®èi diÖn nhau.cuén thø cÊp. Khi b¶n cùc ®éng di chuyÓn sÏ kÐo theo sù thay ®æi ®iÖn dung cña tô ®iÖn.11) α .

ta cã: C= dC = §−a vÒ d¹ng sai ph©n ta cã: ∆C = (4.13c: d−íi t¸c ®éng cña ®¹i l−îng ®o XV.13) Khi kho¶ng c¸ch gi÷a hai b¶n cùc thay ®æi ( ε = const vµ s=const).15) Khi h»ng sè ®iÖn m«i thay ®æi ( s = const vµ δ = const). ®é nh¹y cña c¶m biÕn: SCε = ∆C s 0 = ∆ε δ 0 (4. ®é nh¹y cña c¶m biÕn: SCS = ∆C ε 0 = ∆s δ 0 (4. kÐo theo sù thay ®æi cña ®iÖn dung. diÖn tÝch gi÷a c¸c b¶n cùc thay ®æi.82 - .16) NÕu xÐt ®Õn dung kh¸ng: Z= δ 1 = ωC ωεs dZ = §−a vÒ d¹ng sai ph©n: ∆Z = − ∂Z ∂Z ∂Z dε + ds + dδ ∂ε ∂s ∂δ δ0 δ0 ωs 0 (ε 0 + ∆ε ) 2 ∆ε − ωε 0 (s 0 + ∆s ) 2 ∆s + 1 ∆δ ωε 0 s 0 T−¬ng tù trªn ta cã ®é nh¹y cña c¶m biÕn theo dung kh¸ng: .12) XÐt tr−êng hîp tô ®iÖn ph¼ng.l log( r2 / r1 ) εs δ ∂C ∂C ∂C dε + ds + dδ ∂ε ∂s ∂δ s0 ε ε 0s0 ∆ε + 0 ∆s − ∆δ δ0 δ0 (δ 0 + ∆δ )2 (4.§èi víi c¶m biÕn h×nh 4. ®é nh¹y cña c¶m biÕn: SCδ = ε0s0 ∆C =− ∆δ (δ 0 + ∆δ )2 (4. b¶n cùc ®éng di chuyÓn th¼ng däc trôc. C= 2 πε 0 .14) Khi diÖn tÝch cña b¶n cùc thay ®æi ( ε = const vµ δ = const).

14 C¶m biÕn tô kÐp vi sai c) Tô kÐp vi sai cã kho¶ng c¸ch gi÷a c¸c b¶n cùc biÕn thiªn dÞch chuyÓn th¼ng (h×nh 4.4.18) S Zδ = 1 ωε 0 s 0 (4.14b) vµ dÞch chuyÓn th¼ng (h×nh 4.14a) hoÆc cã diÖn tÝch b¶n cùc biÕn thiªn dÞch chuyÓn quay (h×nh 4. - BiÕn thiªn dung kh¸ng cña c¶m biÕn tô ®iÖn lµ hµm tuyÕn tÝnh khi kho¶ng c¸ch gi÷a hai b¶n cùc thay ®æi nh−ng phi tuyÕn khi diÖn tÝch b¶n cùc vµ h»ng sè ®iÖn m«i thay ®æi. B¶n cùc ®éng A1 dÞch chuyÓn gi÷a hai b¶n cùc cè ®Þnh A2 vµ A3 t¹o thµnh cïng víi hai b¶n cùc nµy hai tô ®iÖn cã ®iÖn dung C21 vµ C31 biÕn thiªn ng−îc chiÒu nhau. 4. lùc nµy cÇn ph¶i nhá h¬n ®¹i l−îng ®o. §é nh¹y vµ ®é tuyÕn tÝnh cña tô kÐp vi sai cao h¬n tô ®¬n vµ lùc t−¬ng hç gi÷a c¸c b¶n cùc triÖt tiªu lÉn nhau do ng−îc chiÒu nhau.14c) gåm ba b¶n cùc. C¶m biÕn tô kÐp vi sai XV A2 A 1 A3 XV A1 α A2 A3 A2 A1 A3 XV δ a) b) H×nh 4.S Zε = − S Zs = − ωs 0 (ε 0 + ∆ε ) ωε 0 (s 0 + ∆s ) δ0 δ0 2 (4. .83 - .17) 2 (4.2. Ngoµi ra gi÷a hai b¶n cùc khi cã ®iÖn ¸p ®Æt vµo sÏ ph¸t sinh lùc hót.19) Tõ c¸c biÓu thøc trªn cã thÓ rót ra: - BiÕn thiªn ®iÖn dung cña c¶m biÕn tô ®iÖn lµ hµm tuyÕn tÝnh khi diÖn tÝch b¶n cùc vµ h»ng sè ®iÖn m«i thay ®æi nh−ng phi tuyÕn khi kho¶ng c¸ch gi÷a hai b¶n cùc thay ®æi.

Kh«ng ®−îc m¾c c¸c ®iÖn trë song song víi c¶m biÕn. M¹ch ®o cÇn tho¶ m·n c¸c yªu cÇu sau: . H×nh 4. . . c¸c c¶m biÕn ®−îc chia ra: C¶m biÕn quang ph¶n x¹.16) ho¹t ®éng theo nguyªn t¾c däi ph¶n quang: ®Çu thu quang ®Æt cïng phÝa víi nguån ph¸t. C¶m biÕn quang ph¶n x¹ C¶m biÕn quang ph¶n x¹ (h×nh 4.5. Cx R eS ~ A2 A1 A3 Ura R a) b) eS ~ C0 Ura H×nh 4. 4.84 - . trªn th−íc cã nh÷ng v¹ch chia ph¶n quang vµ kh«ng ph¶n quang kÕ tiÕp nhau. .1. . Tia s¸ng tõ nguån ph¸t qua thÊu kÝnh héi tô ®Ëp tíi mét th−íc ®o chuyÓn ®éng cïng vËt kh¶o s¸t.15 M¹ch ®o th−êng dïng víi c¶m biÕn tô ®iÖn 4.15a lµ s¬ ®å m¹ch cÇu dïng cho c¶m biÕn tô kÐp vi sai víi hai ®iÖn trë. C¶m biÕn quang C¸c c¶m biÕn ®o vÞ trÝ vµ dÞch chuyÓn theo ph−¬ng ph¸p quang häc gåm nguån ph¸t ¸nh s¸ng kÕt hîp víi mét ®Çu thu quang (th−êng lµ tÕ bµo quang ®iÖn). nguån ph¸t vµ th−íc ®o (hoÆc ®èi t−îng ®o). H×nh 4.5.3.4. Cung cÊp cho m¹ch cÇu lµ mét m¸y ph¸t tÇn sè cao.4.Chèng Èm tèt. Tuú theo c¸ch bè trÝ ®Çu thu quang. M¹ch ®o Th«ng th−êng m¹ch ®o dïng víi c¶m biÕn ®iÖn dung lµ c¸c m¹ch cÇu kh«ng c©n b»ng cung cÊp b»ng dßng xoay chiÒu.C¸c d©y dÉn ph¶i ®−îc bäc kim lo¹i ®Ó tr¸nh ¶nh h−ëng cña ®iÖn tr−êng ngoµi.15b lµ s¬ ®å m¹ch mÆch cÇu biÕn ¸p víi hai nh¸nh tô ®iÖn.Tæng trë ®Çu vµo tøc lµ tæng trë cña ®−êng chÐo cÇu ph¶i thËt lín. C¶m biÕn quang soi thÊu. khi tia s¸ng gÆp ph¶i v¹ch chia ph¶n quang sÏ bÞ ph¶n x¹ trë l¹i ®Çu thu quang.

.17 a) S¬ ®å cÊu t¹o c¶m biÕn quang soi thÊu b) TÝn hiÖu ra 1) Nguån s¸ng 2) ThÊu kÝnh héi tô 3) Th−íc ®o 4) L−íi chia 5) TÕ bµo quang ®iÖn 6) M· chuÈn Khi th−íc ®o (g¾n víi ®èi t−îng kh¶o s¸t. C¶m biÕn gåm mét nguån ph¸t ¸nh s¸ng.2.85 - . mét l−íi chia kÝch quang vµ c¸c phÇn tö thu quang (th−êng lµ tÕ bµo quang ®iÖn). C¸c tÝn hiÖu ®Çu ra cña c¶m biÕn ®−îc khuÕch ®¹i trong mét bé t¹o xung ®iÖn tö t¹o thµnh tÝn hiÖu xung d¹ng ch÷ nhËt. kh«ng cÇn d©y nèi qua vïng c¶m nhËn nh−ng cù ly c¶m nhËn thÊp vµ chÞu ¶nh h−ëng cña ¸nh s¸ng tõ nguån s¸ng kh¸c.16 C¶m biÕn quang ph¶n x¹ 1) Nguån ph¸t 2) Th−íc ®o 3) §Çu thu quang C¶m biÕn lo¹i däi ph¶n quang. C¶m biÕn quang soi thÊu S¬ ®å cÊu tróc cña mét c¶m biÕn ®o vÞ trÝ vµ dÞch chuyÓn theo nguyªn t¾c soi thÊu tr×nh bµy trªn h×nh 4.17a. TÝn hiÖu nµy ®−îc thu bëi c¸c tÕ bµo quang ®iÖn ®Æt sau l−íi chia. 4. ch¹y gi÷a thÊu kÝnh héi tô vµ l−íi chia) cã chuyÓn ®éng t−¬ng ®èi so víi nguån s¸ng sÏ lµm xuÊt hiÖn mét tÝn hiÖu ¸nh s¸ng h×nh sin. mét thÊu kÝnh héi tô.1 2 3 H×nh 4.5. TÝn hiÖu ra Chu kú chia 3 1 2 5 Vr1 Vr2 TÝn hiÖu chuÈn 6 a) 4 b) H×nh 4.

4. Thêi gian truyÒn sãng tP tõ khi tÝn hiÖu xuÊt hiÖn ë m¸y ph¸t ®Õn khi nã ®−îc tiÕp nhËn ë m¸y thu ®−îc ®o b»ng m¸y ®Õm xung. ta cã: t P = Nt H . Nguyªn lý ®o dÞch chuyÓn b»ng sãng ®µn håi Tèc ®é truyÒn sãng ®µn håi v trong chÊt r¾n ~ 103m/s.17b).18.6. tuy nhiªn cã h¹n chÕ lµ khã bè trÝ vµ chØnh th¼ng hµng nguån ph¸t vµ ®Çu thu. §Ó kh«i phôc ®iÓm gèc trong tr−êng hîp mÊt ®iÖn nguån ng−êi ta trang bÞ thªm mèc ®o chuÈn trªn th−íc ®o. nhê ®ã kh«ng nh÷ng x¸c ®Þnh ®−îc ®é dÞch chuyÓn mµ cßn cã thÓ nhËn biÕt ®−îc c¶ chiÒu chuyÓn ®éng. C¶m biÕn ®o dÞch chuyÓn b»ng sãng ®µn håi 4.C¸c tÕ bµo quang ®iÖn bè trÝ thµnh hai d·y vµ ®Æt lÖch nhau mét phÇn t− ®é chia nªn ta nhËn ®−îc hai tÝn hiÖu lÖch pha 90o (h×nh 4.6. Thêi gian truyÒn sãng gi÷a hai ®iÓm trong vËt r¾n c¸ch nhau mét kho¶ng l x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc: tP = l v BiÕt tèc ®é truyÒn sãng v vµ ®o thêi gian truyÒn sãng tP ta cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc kho¶ng c¸ch l cÇn ®o: l = vt P S¬ ®å khèi cña mét thiÕt bÞ ®o dÞch chuyÓn b»ng sãng ®µn håi biÓu diÔn trªn h×nh 4. −u ®iÓm cña c¸c c¶m biÕn soi thÊu lµ cù ly c¶m nhËn xa.18 S¬ ®å khèi cña mét thiÕt bÞ ®o dÞch chuyÓn b»ng sãng ®µn håi Gäi sè xung ®Õm ®−îc lµ N vµ chu kú cña xung ®Õm lµ tH. cã kh¶ n¨ng thu ®−îc tÝn hiÖu m¹nh vµ tØ sè ®é t−¬ng ph¶n s¸ng tèi lín. §ång hå M¸y ®Õm M¸y thu l M¸y ph¸t H×nh 4.86 - . M¸y ®Õm ho¹t ®éng khi b¾t ®Çu ph¸t sãng vµ ®ãng l¹i khi tÝn hiÖu ®Õn ®−îc m¸y thu.1.

19b). t¹o ra chuyÓn ®éng tr−ît t−¬ng ®èi gi÷a c¸c líp cña vËt r¾n.Sãng khèi: däc vµ ngang. HiÖu øng ¸p ®iÖn lµ hiÖn t−îng khi mét tÊm vËt liÖu ¸p ®iÖn (thÝ dô th¹ch anh) bÞ biÕn d¹ng d−íi t¸c dông cña mét lùc c¬ häc cã chiÒu nhÊt ®Þnh. sãng ®µn håi ®−îc ph¸t vµ thu nhê sö dông hiÖu øng ¸p ®iÖn. Sãng nµy ®−îc kÝch thÝch b»ng mét phÇn tö ¸p ®iÖn rung theo mÆt c¾t (h×nh 4. C¶m biÕn sö dông phÇn tö ¸p ®iÖn Trong c¸c c¶m biÕn ¸p ®iÖn. Sãng khèi däc truyÒn cho c¸c phÇn tö cña vËt r¾n dÞch chuyÓn däc theo ph−¬ng truyÒn sãng t¹o nªn sù nÐn råi l¹i gi·n në cña c¸c líp cña vËt r¾n.6.20) 4. trªn c¸c mÆt ®èi diÖn cña tÊm xuÊt hiÖn mét l−îng ®iÖn tÝch b»ng nhau nh−ng tr¸i dÊu. Sãng nµy ®−îc kÝch thÝch b»ng phÇn tö ¸p ®iÖn rung theo bÒ dµy (h×nh 4. Nguån kÝch thÝch sãng bÒ mÆt lµ mét hÖ ®iÖn cùc kiÓu . §Ó ®o dÞch chuyÓn ta cã thÓ sö dông hai d¹ng sãng ®µn håi: . biªn ®é cña chóng hÇu nh− b»ng kh«ng ë ®é s©u 2λ d−íi bÒ mÆt. .2.Sãng bÒ mÆt. tÊm vËt liÖu ¸p ®iÖn bÞ biÕn d¹ng. ng−îc l¹i d−íi t¸c ®éng cña ®iÖn tr−êng cã chiÒu thÝch hîp. Ph−¬ng truyÒn sãng Ph−¬ng truyÒn sãng V a) V V λ b) c) H×nh 4. Sãng khèi ngang g©y nªn dÞch chuyÓn vu«ng gãc víi ph−¬ng truyÒn sãng.Khi ®ã: l = vNt H (4.19a).87 - .19 C¸c d¹ng sãng ®µn håi a) Sãng däc b) Sãng ngang c) Sãng bÒ mÆt vµ d¹ng ®iÖn cùc kÝch thÝch Sãng bÒ mÆt truyÒn trong líp bÒ mÆt cña vËt r¾n. Sãng bÒ mÆt gåm mét thµnh phÇn sãng däc vµ mét thµnh phÇn sãng ngang.

20.3. tõ tr−êng do nã sinh ra cã ®−êng søc lµ ®−êng trßn ®ång t©m víi trôc èng.19c).88 - . sù kÕt hîp cña hai tõ tr−êng lµm cho èng bÞ xo¾n côc bé. M¸y thu sãng bÒ mÆt còng cã cÊu t¹o t−¬ng tù nh− m¸y ph¸t ®−îc g¾n cè ®Þnh vµo bÒ mÆt vËt r¾n. CÊu t¹o cña c¶m biÕn gåm èng s¾t tõ (1). 4. . Khi sãng ®iÖn tõ truyÒn ®Õn vÞ trÝ nam ch©m (2).6.r¨ng l−îc cµi nhau phñ lªn bÒ mÆt vËt liÖu ¸p ®iÖn (h×nh 4. c¸c r¨ng cña ®iÖn cùc lµm biÕn d¹ng bÒ mÆt vËt r¾n vµ g©y nªn ®iÖn ¸p do hiÖu øng ¸p ®iÖn.20 S¬ ®å nguyªn lý c¶m biÕn ©m tõ 1) èng s¾t tõ 2) Nam ch©m 3) D©y dÉn 4) M¸y ph¸t xung 5) §Çu thu Nguyªn lý ho¹t ®éng cña c¶m biÕn: M¸y ph¸t (4) cung cÊp mét xung ®iÖn truyÒn qua d©y dÉn (3). Kho¶ng c¸ch gi÷a hai r¨ng kÒ nhau cña c¸c ®iÖn cùc ph¶i b»ng λ ®Ó cã thÓ g©y ra biÕn d¹ng khi cã ®iÖn ¸p V cïng pha ®Æt vµo vµ ®Ó t¨ng hiÖu øng cña chóng. 1 2 3 §Çu thu 5 l M¸y ph¸t xung 4 H×nh 4. xo¾n côc bé nµy truyÒn ®i trong èng d−íi d¹ng sãng ®µn håi víi vËn tèc v. khi cã sãng bÒ mÆt ®i qua. S¬ ®å nguyªn lý vµ cÊu t¹o cña c¶m biÕn ©m tõ tr×nh bµy trªn h×nh 4. Khi sãng ®µn håi ®Õn m¸y thu (5) nã lµm thay ®æi ®é tõ ho¸ g©y nªn tÝn hiÖu håi ®¸p. C¶m biÕn ©m tõ Sãng ®µn håi ph¸t ra nhê sö dông hiÖu øng Wiedemam: hiÖn t−îng xo¾n mét èng trô s¾t tõ khi nã chÞu t¸c dông ®ång thêi cña mét tõ tr−êng däc vµ mét tõ tr−êng ngang. nam ch©m di ®éng (2) tr−ît däc èng g¾n víi vËt cÇn x¸c ®Þnh vÞ trÝ. D©y dÉn (3) n»m gi÷a trôc èng vµ ®−îc nèi víi m¸y ph¸t xung (4). xung nµy truyÒn víi vËn tèc ¸nh s¸ng (c). M¸y thu (5) cã lâi tõ nèi c¬ häc víi èng. Sãng ®µn håi ®−îc thu trªn c¬ së sö dông hiÖu øng Vilari: søc c¨ng c¬ häc lµm thay ®æi kh¶ n¨ng tõ ho¸ vµ ®é tõ thÈm cña vËt liÖu s¾t tõ.

Gäi tP lµ thêi gian tõ khi ph¸t xung hái ®Õn khi nhËn ®−îc xung håi ®¸p. tP ®−îc ®o b»ng ph−¬ng ph¸p ®Õm xung.89 - . do v << c ta cã: tP = l v (4. .21) Trong ®ã l lµ kho¶ng c¸ch tõ nam ch©m ®Õn ®Çu thu.

1.90 - . BiÕn d¹ng vµ ph−¬ng ph¸p ®o 5. - Giíi h¹n ®µn håi: lµ øng lùc tèi ®a kh«ng g©y nªn biÕn d¹ng dÎo v−ît qu¸ 2%. VÝ dô giíi h¹n ®µn håi cña thÐp ~20 . σ .1) BiÕn d¹ng gäi lµ ®µn håi khi mµ øng lùc mÊt ®i th× biÕn d¹ng còng mÊt theo.tiÕt diÖn chÞu lùc. trong m«i tr−êng chÞu øng lùc xuÊt hiÖn biÕn d¹ng. MÆt kh¸c gi÷a øng lùc vµ biÕn d¹ng cã mèi quan hÖ víi nhau. BiÕn d¹ng mµ cßn tån t¹i ngay c¶ sau khi øng lùc mÊt ®i ®−îc gäi lµ biÕn d¹ng d−. §¬n vÞ ®o mo®un Young lµ kG/mm2.3) Trong vïng biÕn d¹ng ®µn håi ν ≈ 0. §Þng nghÜa mét sè ®¹i l−îng c¬ häc BiÕn d¹ng ε: lµ tØ sè gi÷a ®é biÕn thiªn kÝch th−íc (∆l) vµ kÝch th−íc ban ®Çu (l). mm2. (5. . kG.3.80 kG/mm2. dùa vµo mèi quan hÖ ®ã ng−êi ta cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc øng lùc khi ®o biÕn d¹ng do nã g©y ra. - HÖ sè poison ν: hÖ sè x¸c ®Þnh biÕn d¹ng theo ph−¬ng vu«ng gãc víi lùc t¸c ε ⊥ = −νε || dông.1.Ch−¬ng V C¶m biÕn ®o biÕn d¹ng D−íi t¸c ®éng cña øng lùc c¬ häc. 5. Mo®un Young cña thÐp ~ 18.2) F .1. Bëi vËy ®o biÕn d¹ng lµ mét vÊn ®Ò ®−îc quan t©m nhiÒu trong kü thuËt.øng lùc. σ =F/S. Sù biÕn d¹ng cña c¸c cÊu tróc ¶nh h−ëng rÊt lín tíi kh¶ n¨ng lµm viÖc còng nh− ®é an toµn khi lµm viÖc cña kÕt cÊu chÞu lùc. S .000 kG/mm2. (5. ε || = 1 F 1 = σ YS Y tÝnh b»ng kG/mm2.lùc t¸c dông. M«®un Young (Y): x¸c ®Þnh biÕn d¹ng theo ph−¬ng cña øng lùc. ε= ∆l l (5.000 29.

víi kÝch th−íc nhá tõ vµi mm ®Õn vµi cm. HiÖn nay sö dông phæ biÕn hai lo¹i ®Çu ®o biÕn d¹ng: - §Çu ®o ®iÖn trë: ®©y lµ lo¹i ®Çu ®o dïng phæ biÕn nhÊt.2.¸p ®iÖn trë.1a). tÇn sè nµy thay ®æi khi kho¶ng c¸ch hai ®iÓm nèi thay ®æi. 5. TÇn sè cña d©y rung lµ hµm cña søc c¨ng c¬ häc.1b). b»ng c¸ch ®o biÕn d¹ng ta cã thÓ tÝnh ®−îc øng lùc t¸c ®éng lªn kÕt cÊu. Trong ch−¬ng nµy ®Ò cËp ®Õn c¸c ®Çu ®o biÕn d¹ng th−êng dïng trong c«ng nghiÖp nh− ®Çu ®o ®iÖn trë kim lo¹i. - §Çu ®o d¹ng d©y rung ®−îc dïng trong ngµnh x©y dùng. Gi÷a biÕn d¹ng vµ øng lùc cã quan hÖ chÆt chÏ víi nhau. ph−¬ng ph¸p ®o biÕn d¹ng T¸c ®éng cña øng lùc g©y ra sù biÕn d¹ng trong kÕt cÊu chÞu øng lùc. a) b) H×nh 5. øng suÊt kÕ d©y rung vµ c¸c ®Çu ®o trong chÕ ®é ®éng.1 mm lµm b»ng giÊy hoÆc ~ 0.20 nh¸nh. CÊu t¹o vµ nguyªn lý ho¹t ®éng §Çu ®o ®iÖn trë kim lo¹i cã cÊu t¹o d¹ng l−íi.1.2.2.03 mm lµm b»ng chÊt dÎo (polyimide.1). §èi víi ®Çu ®o d¹ng l−íi d©y. §Çu ®o d¹ng l−íi mµng chÕ t¹o b»ng ph−¬ng ph¸p m¹ch in (h×nh 5. Chóng ®−îc chÕ t¹o tõ vËt liÖu cã ®iÖn trë biÕn thiªn theo møc ®é biÕn d¹ng. ®Çu ®o ®iÖn trë b¸n dÉn . khi ®o chóng ®−îc d¸n trùc tiÕp lªn cÊu tróc biÕn d¹ng.5.1. §Çu ®o ®iÖn trë kim lo¹i 5. ®−îc lµm b»ng d©y ®iÖn trë cã tiÕt diÖn trßn (®−êng kÝnh d ≈ 20 µm) hoÆc tiÕt diÖn ch÷ nhËt axb (h×nh 5. VËt liÖu lµm ®iÖn trë th−êng thuéc hä hîp kim Ni ( b¶ng 5.1 S¬ ®å cÊu t¹o cña ®Çu ®o kim lo¹i a) §Çu ®o dïng d©y quÊn b) §Çu ®o dïng l−íi mµng C¶m biÕn ®−îc cè ®Þnh trªn ®Õ c¸ch ®iÖn máng bÒ dµy ~ 0. §Çu ®o ®−îc lµm b»ng mét sîi d©y kim lo¹i c¨ng gi÷a hai ®iÓm cña cÊu tróc cÇn ®o biÕn d¹ng. . Sè nh¸nh n cña c¶m biÕn th−êng tõ 10 . §Ó ®o biÕn d¹ng ng−êi ta sö dông c¸c c¶m biÕn biÕn d¹ng hay cßn gäi lµ ®Çu ®o biÕn d¹ng. epoxy).91 - .

55%Cu 52%Fe.4) Ph−¬ng tr×nh sai ph©n: ∆R ∆l ∆S ∆ρ = − + R l S ρ BiÕn d¹ng däc ∆ l cña d©y kÐo theo biÕn d¹ng ngang cña tiÕt diÖn.B¶ng 5. 20%Cr 92%Pt. 8%Cr.92 - . kÕt qu¶ lµ c¶m biÕn còng chÞu mét biÕn d¹ng nh− biÕn d¹ng cña cÊu tróc.1 Hîp kim Constantan Isoelastic Karma Nicrome V B¹ch kim . 4%(Mn+Mo) 74%Ni. 8%W HÖ sè ®Çu ®o K 2.5 2.2).1 Khi ®o c¶m biÕn ®−îc g¾n vµo bÒ mÆt cña cÊu tróc cÇn kh¶o s¸t (h×nh 5. 3%Cu.vonfram Thµnh phÇn 45%Ni. ta cã: ∆S ∆l = −2ν S l MÆt kh¸c. 3%Fe 80%Ni. 20%Cr.5 4.2 C¸ch cè ®Þnh ®Çu ®o trªn bÒ mÆt kh¶o s¸t 1) BÒ mÆt kh¶o s¸t 2) C¶m biÕn 3)Líp b¶o vÖ 4) Mèi hµn 5) D©y dÉn 6) C¸p ®iÖn 7) Keo d¸n §iÖn trë cña c¶m biÕn x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc : R= ρl S (5. 36%Ni.1 3. quan hÖ gi÷a biÕn d¹ng ngang vµ biÕn d¹ng däc cã d¹ng: ∆a ∆b ∆d ∆l = = = −ν a b d l TiÕt diÖn ngang cña d©y S = ab hoÆc S = πd2/4. ®èi víi ®Çu ®o kim lo¹i: ∆ρ ∆V =C ρ V . 1 2 3 4 5 7 6 H×nh 5.1 2.

93 - .5) HÖ sè K ®−îc gäi lµ hÖ sè ®Çu ®o.1. ngo¹i trõ isoelastic. - HÖ sè ®Çu ®o: th«ng th−êng K = 2 . Ngoµi giíi h¹n ®µn håi. gi¸ trÞ x¸c ®Þnh theo biÓu thøc: K = 1 + 2ν + C (1 − 2ν ) (5. nªn ®Çu ®o kim lo¹i cã K ≈ 2.5 vµ platin- vonfram K = 4. khi ∆l/l > 0.2. ngo¹i trõ isoelastic cã K = 3. (5. hÖ sè ®Çu ®o kh«ng ®æi do quan hÖ tuyÕn tÝnh gi÷a ®iÖn trë vµ biÕn d¹ng. hÖ sè ®Çu ®o K ≈ 2.thÓ tÝch d©y. V× V = S. Víi Nichrome V th× αK = -0. Trong kho¶ng nhiÖt ®é tõ . 5. constantan αK = +0.6) V× ν ≈ 0.04%/oC. - ¶nh h−ëng cña lùc ®Õn ®é tuyÕn tÝnh: trong giíi h¹n ®µn håi.20% tuú theo vËt liÖu. C ≈ 1.hÖ sè.3.h»ng sè Bridman.hÖ sè ®Çu ®o ë nhiÖt ®é chuÈn T0 (th−êng T0 = 25oC). - ¶nh h−ëng cña nhiÖt ®é: nãi chung K Ýt chÞu ¶nh h−ëng cña nhiÖt ®é.C . ta cã: ∆V ∆l = (1 − 2ν) V l Vµ: ∆ρ ∆l = C (1 − 2ν) ρ l VËy ta cã: ∆R ∆l ∆l = {(1 + 2ν ) + C (1 − 2ν )} = K. R l l (5. do ®ã ®iÖn trë tæng céng cña c¶m biÕn .l.100oC ÷ 300oC sù thay ®æi cña hÖ sè ®Çu ®o K theo nhiÖt ®é cã thÓ biÓu diÔn bëi biÓu thøc: K (T ) = K 0 { + α K (T − T0 )} 1 K0 .3. V . ®iÖn trë Rt.7) αK . C¸c ®Æc tr−ng chñ yÕu §iÖn trë suÊt : ®iÖn trë cña vËt liÖu lµm d©y ph¶i ®ñ lín ®Ó d©y kh«ng qu¸ dµi lµm t¨ng kÝch th−íc c¶m biÕn vµ tiÕt diÖn d©y kh«ng qu¸ bÐ lµm gi¶m dßng ®o dÉn ®Õn lµm gi¶m ®é nh¹y.01%/oC §é nh¹y ngang: ngoµi c¸c nh¸nh däc cã ®iÖn trë RL c¶m biÕn cßn cã c¸c ®o¹n nh¸nh ngang cã tæng ®é dµi lt . phô thuéc vËt liÖu.2.5% .

3. MÉu c¾t cã chiÒu dµi tõ 0. Rt thay ®æi còng lµm cho R thay ®æi. cßn ®iÖn trë lo¹i P khuÕch t¸n t¹p chÊt thuéc nhãm III (nh− Ga.1 mm ®Õn vµi mm vµ chiÒu dµy cì 10-2mm. Trong qu¸ tr×nh biÕn d¹ng c¸c ®o¹n ngang còng bÞ biÕn d¹ng.4 §Çu ®o lo¹i khuÕch t¸n §iÖn trë lo¹i N nhËn ®−îc b»ng c¸ch khuÕch t¸n vµo ®Õ silic lo¹i P mét t¹p chÊt thuéc nhãm V trong b¶ng tuÇn hoµn (nh− P.b»ng R = RL + Rt. Sb). ¶nh h−ëng cña biÕn d¹ng ngang còng kh«ng lín. 5. SiO2 Si-N Si-P H×nh 5.1.3. S¬ ®å cÊu t¹o cña lo¹i nµy tr×nh bµy trªn h×nh 5.3 §Çu ®o chÕ t¹o b»ng c¸c mÉu c¾t §Çu ®o khuÕch t¸n: ®iÖn trë cña ®Çu ®o chÕ t¹o b»ng c¸ch khuÕch t¸n t¹p chÊt vµo mét tÊm ®Õ ®¬n tinh thÓ silic pha t¹p. C¶m biÕn ¸p trë silic 5. CÊu t¹o cña chóng phô thuéc c¸c chÕ t¹o.94 - .4. In) vµo ®Õ silic lo¹i N. Tuy nhiªn do Rt << RL. §Çu ®o lo¹i c¾t: chÕ t¹o b»ng c¸c mÈu c¾t tõ tÊm ®¬n tinh thÓ silic pha t¹p cã s¬ ®å cÊu t¹o nh− h×nh 5. CÊu t¹o vµ nguyªn lý ho¹t ®éng §Çu ®o b¸n dÉn ®−îc lµm b»ng ®¬n tinh thÓ silic pha t¹p. C¸c mÉu c¾t ®¬n tinh thÓ ®−îc lÊy song song víi ®−êng chÐo cña tinh thÓ lËp ph−¬ng ®èi víi silic lo¹i P vµ song song víi c¹nh lËp ph−¬ng nÕu lµ silic lo¹i N. . C¸c mÉu c¾t ®−îc d¸n trªn ®Õ c¸ch ®iÖn b»ng nhùa.3. P N P N N H×nh 5. ChuyÓn tiÕp gi÷a ®Õ vµ vïng khuÕch t¸n t¹o nªn mét ®iot vµ lu«n ®−îc ph©n cùc ng−îc (vïng P ©m h¬n vïng N) ®Ó cho ®iÖn trë cña c¶m biÕn c¸ch biÖt víi ®Õ silic.

®é pha t¹p lµ yÕu tè quyÕt ®Þnh ®Õn c¸c ®Æc tr−ng cña chóng.mËt ®é ®iÖn tö vµ lç trèng tù do.95 - .§iÖn trë: ¶nh h−ëng cña ®é pha t¹p: khi t¨ng ®é pha t¹p. biÕn thiªn ®iÖn trë suÊt do t¸c dông cña øng lùc cã d¹ng: ∆ρ ∆l = πσ = πY ρ l Trong ®ã π lµ hÖ sè ¸p ®iÖn trë.200. . ρ (Ωcm) ρ (Ωcm) 1 10-1 10-2 10-3 1014 7 6 5 4 3 2 1014 1016 101 1020 0 100 200 300 400 500 ToC 1015 1016 1017 1018 1019 Nång ®é t¹p chÊt/cm3 -100 H×nh 5.5 Sù phô thuéc cña ®iÖn trë suÊt vµo nång ®é pha t¹p vµ nhiÖt ®é . BiÓu thøc chung cña ®iÖn trë suÊt cã d¹ng: ρ= 1 q (µ n n + µ p p ) q .3. n. 5.®é linh ®éng cña ®iÖn tö vµ lç trèng. µp . C¸c ®Æc tr−ng chñ yÕu §èi víi ®Çu ®o b¸n dÉn. mËt ®é h¹t dÉn trong vËt liÖu t¨ng lªnvµ ®iÖn trë suÊt cña nã gi¶m xuèng. p . µn.gi¸ trÞ tuyÖt ®èi cña ®iÖn tÝch ®iÖn trë hoÆc lç trèng.9) Th«ng th−êng K = 100 . σ lµ øng lùc t¸c dông. VËy: ∆l ∆R = {(1 + 2ν ) + πY} R l (5.8) vµ hÖ sè ®Çu ®o: K = 1 + 2ν + πY (5.2.BiÕn thiªn ®iÖn trë cña ®Çu ®o b¸n dÉn x¸c ®Þnh bëi c«ng thøc t−¬ng tù ®Çu ®o kim lo¹i: ∆R ∆l ∆S ∆ρ = − + ρ R l S §èi víi ®Çu ®o b¸n dÉn.

tuy nhiªn khi ®é pha t¹p lín (cì Nd = 1020cm-3) hÖ sè ®Çu ®o Ýt phô thuéc nhiÖt ®é. giíi h¹n mái. Tuy nhiªn tÇn sè lµm viÖc l¹i phô thuéc vµo ph−¬ng ph¸p g¾n ®Çu ®o vµ kÝch th−íc cña nã.4.HÖ sè ®Çu ®o K: ¶nh h−ëng cña ®é pha t¹p: HÖ sè 1017/cm3 ®Çu ®o phô thuéc vµo ®é pha t¹p. silic cã thÓ truyÒn kh«ng suy gi¶m c¸c dao ®éng víi tÇn sè lín h¬n 106 Hz.10) Trong ®ã v lµ vËn tèc truyÒn sãng vµ f lµ tÇn sè dao ®éng.1λ ChiÒu dµi b−íc sãng λ cña dao ®éng c¬ häc ®−îc x¸c ®Þnh bëi c«ng thøc: λ= v f (5.4.¶nh h−ëng cña nhiÖt ®é: khi nhiÖt ®é nhá h¬n 120oC hÖ sè nhiÖt ®iÖn trë cã gi¸ trÞ d−¬ng vµ gi¶m dÇn khi ®é pha t¹p t¨ng lªn. H×nh 5.1019 1020 ®iÖn trë cã gi¸ trÞ ©m vµ kh«ng phô thuéc vµo ®é pha t¹p. 5.6 Sù phô thuéc cña K vµo ®é pha t¹p ¶nh h−ëng cña ®é biÕn d¹ng: HÖ sè ®Çu ®o phô thuéc vµo ®é biÕn d¹ng. hÖ sè ®Çu ®o gi¶m (h×nh 5.1. §Ó cho c¸c biÕn d¹ng ®o ®−îc gÇn nh− ®ång bé trong ph¹m vi cña ®Çu ®o. -100 0 100 200 300 400 500 600 ToC khi ®é pha t¹p t¨ng lªn. ë nhiÖt ®é cao hÖ sè nhiÖt K 240 200 180 160 120 80 40 5. ¶nh h−ëng cña nhiÖt ®é: Khi nhiÖt ®é t¨ng hÖ sè ®Çu ®o gi¶m.96 - . ®Çu ®o ph¶i tho¶ m·n mét sè yªu cÇu nhÊt ®Þnh nh− tÇn sè sö dông tèi ®a.1018 3. Quan hÖ gi÷a kÝch th−íc l vµ chiÒu dµi b−íc sãng ph¶i tho¶ m·n ®iÒu kiÖn: l ≤ 0. . . chiÒu dµi l cña c¸c nh¸nh ph¶i nhá h¬n nhiÒu lÇn b−íc sãng λ cña dao ®éng c¬ häc. §Çu ®o trong chÕ ®é ®éng Khi ®o biÕn d¹ng trong chÕ ®é ®éng. quan hÖ cã d¹ng: K = K1 + K 2 ε + K 2 ε 2 Tuy nhiªn víi ®é biÕn d¹ng d−íi mét gi¸ trÞ cùc ®¹i nµo ®ã cã thÓ coi K kh«ng ®æi.6). TÇn sè sö dông tèi ®a TÇn sè cña ®Çu ®o kh«ng phô thuéc vµo vËt liÖu chÕ t¹o. 5.

träng l−îng riªng vËt liÖu chÕ t¹o d©y. hiÖu øng nµy cµng lín khi biªn ®é biÕn d¹ng cµng lín. TÇn sè dao ®éng cña sîi d©y x¸c ®Þnh theo c«ng thøc: N= 1 F 2 l Sd (5. CÊu t¹o cña øng suÊt kÕ d©y rung gåm mét d©y thÐp c¨ng gi÷a hai gi¸ g¾n vµo cÊu tróc cÇn nghiªn cøu biÕn d¹ng. ®é dµi d©y biÕn thiªn mét l−îng ∆l x¸c ®Þnh tõ biÓu thøc: ∆l 1 F = l YS . Khi cã biÕn d¹ng. øng suÊt kÕ d©y rung øng suÊt kÕ d©y rung ®−îc dïng ®Ó theo dâi kiÓm tra c¸c c«ng tr×nh x©y dùng nh− ®Ëp.v= Y 1− ν .lµ m«®un Young.. d . cÇu. ν . §èi víi biªn ®é biÕn d¹ng cì ±2. F . D−íi t¸c dông cña lùc F. ®−êng hÇm .kho¶ng c¸ch gi÷a hai ®iÓm c¨ng d©y.l 5. d . 5. d (1 + ν )(1 − 2ν ) Y .lùc t¸c dông.97 (5. VËy tÇn sè cùc ®¹i fmax cña dao ®éng khi chiÒu dµi nh¸nh cña ®Çu ®o lµ l b»ng: fmax = v 10. S .11) l .10-3 giíi h¹n mái n»m trong kho¶ng tõ 104 (constantan) ®Õn 108(isoelastic) chu kú.khèi l−îng riªng cña vËt liÖu chÕ t¹od©y. b»ng c¸ch ®o tÇn sè dao ®éng cña d©y cã thÓ biÕt ®−îc ®é lín cña biÕn d¹ng.12) . Giíi h¹n mái ®−îc x¸c ®Þnh bëi sè chu kú biÕn d¹ng N víi biªn ®é cho tr−íc g©y nªn biÕn thiªn ®iÖn trë b»ng 10-4 øng víi chu kú biÕn d¹ng gi¶ ®Þnh. sù c¨ng c¬ häc cña d©y kÐo theo sù thay ®æi tÇn sè dao ®éng N cña d©y..tiÕt diÖn d©y.2. Giíi h¹n mái BiÕn d¹ng nhiÒu lÇn lµm t¨ng ®iÖn trë ®Çu ®o do hiÖu øng mái.hÖ sè poisson.5.4.

ta cã: ∆l1 2 = K .14) §o N0 vµ N1 ta cã thÓ tÝnh ®−îc biÕn d¹ng cña cÊu tróc. .N 1 l V× ®é kÐo dµi do biÕn d¹ng ∆l = ∆l1 .13) Gi¶ sö ∆l0 lµ ®é kÐo dµi ban ®Çu vµ N0 lµ tÇn sè t−¬ng øng khi ch−a cã biÕn d¹ng: Khi cã biÕn d¹ng.N 2 l Y ∆l 0 2 = K .∆l0.N 0 l (5.Do ®ã tÇn sè dao ®éng cña d©y: N= 1 Y ∆l 2l d l Suy ra: ∆l 4 l 2 d 2 = N = K. suy ra: ∆l 2 2 = K N1 − N 0 l ( ) (5. ®é kÐo dµi tæng céng cña d©y lµ ∆l1 vµ tÇn sè lµ N1.98 - .

Theo ®Þnh luËt c¬ b¶n cña ®éng lùc häc.99 - . khi mét lùc cã c−êng ®é F (N) t¸c ®éng vµo mét vËt cã khèi l−îng M (kg) sÏ g©y ra gia tèc a (m/s2). BiÕn d¹ng cña vËt trung gian lµ nguyªn nh©n g©y ra lùc ®èi kh¸ng vµ trong giíi h¹n ®µn håi biÕn d¹ng tØ lÖ víi lùc ®èi kh¸ng. Nguyªn t¾c ®o lùc lµ lµm c©n b»ng lùc cÇn ®o víi mét lùc ®èi kh¸ng sao cho lùc tæng céng vµ momen tæng cña chóng b»ng kh«ng. c¶m biÕn tõ gi¶o. §©y chÝnh lµ nguyªn t¾c chuÈn c¶m biÕn b»ng m¸y ®o cã khèi l−îng treo. Theo c«ng thøc x¸c ®Þnh träng lùc cña mét vËt trong träng tr−êng tr¸i ®Êt: P = Mg Trong m«i tr−êng cã g biÕt tr−íc.1. Trong c¸c c¶m biÕn ®o lùc th−êng cã mét vËt trung gian chÞu t¸c ®éng cña lùc cÇn ®o vµ biÕn d¹ng. Trong ch−¬ng nµy nghiªn cøu c¸c bé c¶m biÕn ®o lùc phæ biÕn nh− c¶m biÕn ¸p ®iÖn. a .khèi l−îng cña vËt (kg).gia tèc cña vËt (m/s2). M . Nguyªn lý ®o lùc X¸c ®Þnh øng lùc c¬ häc t¸c ®éng lªn c¸c cÊu tróc trong nh÷ng ®iÒu kiÖn x¸c ®Þnh lµ vÊn ®Ò hµng ®Çu trong viÖc ®¸nh gi¸ ®é an toµn cho ho¹t ®éng cña m¸y mãc.Ch−¬ng VI C¶m biÕn ®o lùc 6. ng−îc l¹i nÕu sö dông mét vËt cã khèi l−îng ®· biÕt sÏ cã ®−îc mét lùc x¸c ®Þnh. c©n khèi l−îng M cña vËt ta cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc träng lùc cña vËt ®ã.lùc t¸c dông (N). Ta còng cã thÓ x¸c ®Þnh mét lùc b»ng c¸ch c©n b»ng nã víi mét lùc ®· biÕt. thiÕt bÞ. Theo c«ng thøc (6. c¶m biÕn dùa trªn phÐp ®o dÞch chuyÓn. c¶m biÕn xóc gi¸c.1). hoÆc ®o gi¸n tiÕp nÕu mét trong nh÷ng tÝnh chÊt ®iÖn cña vËt liÖu chÕ t¹o vËt trung gian phô thuéc vµo biÕn d¹ng. lùc ®−îc x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc: F = Ma (6. .1) Trong ®ã: F . BiÕn d¹ng vµ lùc g©y ra biÕn d¹ng cã thÓ ®o trùc tiÕp b»ng c¶m biÕn biÕn d¹ng.

1.m-2) Y11=80 Y11=19.5 ε11=350 §iÖn trë suÊt (Ω.1 C¸c d¹ng biÕn d¹ng c¬ b¶n a) Theo chiÒu däc b) Theo chiÒu ngang c) C¾t theo bÒ dµy d) C¾t theo bÒ mÆt . PZT5A ε11=5.m-2) 10 NhiÖt ®é lµm viÖc Tmax (oC) 550 45 75 365 1. tÊm ¸p ®iÖn bÞ biÕn d¹ng.1.2. PhÇn tö c¬ b¶n cña mét c¶m biÕn ¸p ®iÖn cã cÊu t¹o t−¬ng tù mét tô ®iÖn ®−îc chÕ t¹o b»ng c¸ch phñ hai b¶n cùc lªn hai mÆt ®èi diÖn cña mét phiÕn vËt liÖu ¸p ®iÖn máng. Ýt chÞu ¶nh h−ëng cña ®iÖn tr−êng ký sinh.2. Trªn h×nh 6. Tuy nhiªn hiÖn nay vËt liÖu gèm (vÝ dô gèm PZT) do cã −u ®iÓm ®é bÒn vµ ®é nh¹y cao. §Æc tr−ng vËt lý cña mét sè vËt liÖu ¸p ®iÖn ®−îc tr×nh bµy trªn b¶ng 6.6 ε11=1. C¶m biÕn ¸p ®iÖn 6. C¸c biÕn d¹ng c¬ b¶n x¸c ®Þnh chÕ ®é lµm viÖc cña b¶n ¸p ®iÖn. CÊu t¹o vµ nguyªn lý ho¹t ®éng C¶m biÕn ¸p ®iÖn ho¹t ®éng dùa trªn nguyªn lý cña hiÖu øng ¸p ®iÖn.6. VËt liÖu ¸p ®iÖn th−êng dïng lµ th¹ch anh v× nã cã tÝnh æn ®Þnh vµ ®é cøng cao.1 VËt liÖu Th¹ch anh Muèi seignette L.4 1.m) 1012 >1010 >1010 1011 Modun Young (109 N.700 §é thÈm thÊu ε11=4.H.1 biÓu diÔn c¸c biÕn d¹ng c¬ b¶n cña b¶n ¸p ®iÖn. + − a) − + + − b) + − c) d) H×nh 6.100 - . ®iÖn dung lín. B¶ng 6.5 7-8 D−íi t¸c dông cña lùc c¬ häc. dÔ s¶n xuÊt vµ gi¸ thµnh chÕ t¹o thÊp còng ®−îc sö dông ®¸ng kÓ. HiÖu ®iÖn thÕ xuÊt hiÖn gi÷a hai b¶n cùc tØ lÖ víi lùc t¸c dông. lµm xuÊt hiÖn trªn hai b¶n cùc c¸c ®iÖn tÝch tr¸i dÊu.3 Y22=30 46 Y33=53 øng lùc cùc ®¹i (107 N.

khi ®ã ®é nh¹y gi¶m 5 .2. Ng−êi ta còng cã thÓ dïng c¶m biÕn lo¹i nµy ®Ó ®o lùc kÐo b»ng c¸ch t¹o lùc nÐn ®Æt tr−íc (dïng c¸c bul«ng xiÕt chÆt c¸c vßng ®Öm). ®iÖn dung cña c¶m biÕn t¨ng gÊp ®«i so víi tr−êng hîp mét b¶n ¸p ®iÖn. 2 1 3 H×nh 6. C¶m biÕn th¹ch anh kiÓu vßng ®Öm C¸c c¶m biÕn th¹ch anh kiÓu vßng ®Öm cã cÊu t¹o nh− h×nh 6.3. chóng gåm c¸c phiÕn c¾t h×nh vßng ®Öm ghÐp víi nhau vµ chØ nh¹y víi lùc nÐn t¸c dông däc theo trôc.Trong nhiÒu tr−êng hîp c¸c b¶n ¸p ®iÖn ®−îc ghÐp thµnh bé theo c¸ch ghÐp nèi tiÕp hoÆc song song. khi ®ã lùc kÐo ®−îc ®o nh− sù sôt gi¶m cña lùc nÐn.2a).10%. Khi ghÐp nèi tiÕp (h×nh 6. Nh÷ng nguyªn t¾c trªn ¸p dông cho c¶ tr−êng hîp ghÐp nhiÒu b¶n ¸p ®iÖn víi nhau nh− biÓu diÔn trªn h×nh 6. + − − + + − − + + − − + + − − + + − − + + a) + − + − − b) + − + c) − H×nh 6.2b) ®iÖn ¸p hë m¹ch vµ trë kh¸ng trong t¨ng gÊp ®«i nh−ng ®iÖn dung gi¶m xuèng cßn mét nöa.2c. 6.3 CÊu t¹o cña c¶m biÕn vßng ®Öm th¹ch anh 1) C¸c vßng ®Öm 2) C¸c tÊm ®Õ 3) §Çu nèi d©y Giíi h¹n trªn cña d¶i ®o phô thuéc vµo diÖn tÝch bÒ mÆt cña c¸c vßng ®Öm.2 C¸ch ghÐp c¸c phÇn tö ¸p ®iÖn a) Hai phÇn tö song song b) Hai phÇn tö nèi tiÕp c) NhiÒu phÇn tö song song Tr−êng hîp ghÐp song song hai b¶n ¸p ®iÖn (h×nh 6. cì tõ vµi kN (víi ®−êng kÝnh ~ 1 cm) ®Õn 103 kN ( víi ®−êng kÝnh ~ 10 cm).2.101 - . Tuy nhiªn. .

z y x a) b) c) H×nh 6. mét vßng ®Öm c¾t theo ph−¬ng Y chØ nh¹y víi lùc c¾t theo bÒ dµy (v× cã d26) vµ b»ng c¸ch l¾p ghÐp hîp lý cã thÓ lo¹i trõ hiÖu øng cña c¸c øng lùc liªn quan ®Õn d25 (c¾t theo mÆt). d12. Trªn h×nh 6. d26. S¬ ®å m¹ch ®o a) S¬ ®å t−¬ng ®−¬ng cña c¶m biÕn ρ dQ dt λ γ Rg Cg dQ dt Rg Cg dQ dt RS CS a) b) c) 1 1 1 = + R s R g R1 C S = C g + C1 H×nh 6. c¸c lùc ký sinh t¸c ®éng theo c¹nh bªn ®Òu kh«ng g©y nªn hiÖu øng víi vßng ®Öm vµ c¸c øng lùc mµ hiÖu øng cña chóng liªn quan ®Õn d12. c¸c vßng ®Öm th¹ch anh ®−îc c¾t theo c¸c h−íng kh¸c nhau. do ®ã mét vßng ®Öm c¾t theo ph−¬ng cña trôc X chØ nh¹y víi lùc nÐn (v× cã d11).3.2.6. d14. 6.4. chóng ®−îc sö dông ®Ó chÕ t¹o c¸c c¶m biÕn th¹ch anh nhiÒu thµnh phÇn.5 S¬ ®å t−¬ng ®−¬ng cña c¶m biÕn ¸p ®iÖn a) Trong d¶i th«ng réng b) Trong d¶i th«ng cã Ých c) Nèi víi m¹ch ngoµi . Hai mÆt c¾t ®Æc biÖt nµy biÓu diÔn trªn h×nh 6. d25.4b.4c biÓu diÔn mét c¶m biÕn ba thµnh phÇn vu«ng gãc gåm ba cÆp vßng trßn ghÐp víi nhau. T−¬ng tù nh− vËy.102 - . mét cÆp nh¹y víi lùc nÐn Fx. khi ®ã chóng chØ nh¹y víi mét h−íng x¸c ®Þnh cña lùc. C¶m biÕn th¹ch anh nhiÒu thµnh phÇn Trong c¶m biÕn lo¹i nµy. hai mÆt cßn l¹i nh¹y víi lùc c¾t Fy vµ Fz vu«ng gãc víi Fx.2.4 C¶m biÕn th¹ch anh nhiÒu thµnh phÇn a) Ký hiÖu c¸c trôc b) C¸c phiÕn c¾t ®Æc biÖt c) C¶m biÕn ba thµnh phÇn vu«ng gãc Th¹ch anh cã n¨m hÖ sè ®iÖn ¸p d11. d14 sÏ kh«ng cã mÆt.

sù di chuyÓn cña ®iÖn tÝch ë lèi vµo sÏ g©y nªn ë lèi ra mét ®iÖn ¸p tØ lÖ víi ®iÖn tÝch ®Çu vµo. ng−êi ta dïng m¹ch t−¬ng ®−¬ng biÓu diÔn ë h×nh 6. γ ®Æc tr−ng cho céng h−ëng ®iÖn c¬ thø nhÊt ë tÇn sè cao n»m ngoµi d¶i th«ng cña c¶m biÕn. khi ®ã m¹ch t−¬ng ®−¬ng cã d¹ng h×nh 6. λ.103 - . mét bé läc trung gian vµ mét sè tÇng khuÕch ®¹i ë ®Çu ra ®Ó cung cÊp tÝn hiÖu ra (h×nh 6. C q 1 + R eq C eq P c) S¬ ®å khuÕch ®¹i ®iÖn tÝch Trong m¹ch khuÕch ®¹i ®iÖn tÝch. mét tÇng chuÈn ®é nh¹y. khi ë tÇn sè thÊp nã trë thµnh trë kh¸ng trong cña c¶m biÕn.5b.6 S¬ ®å t−¬ng ®−¬ng cña c¶m biÕn m¾c nèi tiÕp víi bé khuÕch ®¹i ®iÖn thÕ §iÖn ¸p ë lèi vµo cña khuÕch ®¹i x¸c ®Þnh bëi c«ng thøc: Vm = Q R eq C eq P .Trong d¶i th«ng réng. §iÖn trë trong Rg lµ ®iÖn trë c¸ch ®iÖn cña vËt liÖu ¸p ®iÖn. Khi nèi c¶m biÕn víi m¹ch ngoµi b»ng c¸p dÉn. c¶m biÕn t−¬ng ®−¬ng víi mét nguån dßng m¾c song song víi trë kh¸ng trong (gåm ba nh¸nh) cña c¶m biÕn (h×nh6.5c. trë kh¸ng cña c¸p dÉn t−¬ng ®−¬ng ®iÖn trë R1 vµ tô ®iÖn C1 m¾c song song víi c¶m biÕn. Tô ®iÖn Cg lµ ®iÖn dung cña nguån ph¸t ®iÖn tÝch. Trªn thùc tÕ ë d¶i th«ng th−êng sö dông.7a). b) S¬ ®å khuÕch ®¹i ®iÖn ¸p Trë kh¸ng vµo cña bé khuÕch ®¹i ®iÖn ¸p t−¬ng ®−¬ng víi mét ®iÖn trë Re m¾c song song víi mét tô Ce. dQ dt RS CS Vm Re Ce dQ dt Req Ceq Vm 1 1 1 = + R eq R S R e C¶m biÕn vµ c¸p nèi Trë kh¸ng vµo vµ khuÕc ®¹i ®iÖn thÕ C eq = C S + C e H×nh 6. Nh¸nh ρ. . khi ë tÇn sè trung b×nh vµ cao nã trë thµnh trë kh¸ng cña c¶m biÕn.6.®iÖn ¸p ®Çu vµo.5a). Bé khuÕch ®¹i ®iÖn tÝch gåm mét bé biÕn ®æi ®iÖn tÝch . khi ®ã m¹ch t−¬ng ®−¬ng cã d¹ng h×nh 6.

HiÖu øng tõ gi¶o D−íi t¸c ®éng cña tõ tr−êng. .104 - . khi ®ã dùa vµo sù thay ®æi cña ®é tõ thÈm hoÆc tõ d− cã thÓ x¸c ®Þnh®−îc ®é lín cña lùc t¸c dông. H−íng chung nµy ®Þnh h−íng theo mét sè h−íng −u tiªn cña m¹ng tinh thÓ gäi lµ h−íng dÔ tõ ho¸. sù ®Þnh h−íng cña m« men tõ trong mét domen theo mét h−íng chung t¨ng dÇn. Khi cã tõ tr−êng ngoµi H t¸c ®éng. c¸c v¸ch domen tõ dÞch chuyÓn . Bé chuyÓn ®æi ®iÖn tÝch ChuÈn ®é nh¹y vµ khuÕch ®¹i vi sai Bé läc Bé khuÕch ®¹i ®Çu ra §Çu vµo (®iÖn tÝch) a) §Çu ra (®iÖn ¸p) Cr +Q −Q dQ dt RS CS Vε V0 b) H×nh 6. §©y lµ hiÖu øng tõ gi¶o nghÞch. HiÖn t−îng nµy ®−îc gäi lµ hiÖu øng tõ gi¶o. §Ó gi¶m thiÓu n¨ng l−îng tæng céng. momen tõ cña c¸c nguyªn tö trong cïng mét miÒn tõ ho¸ tù nhiªn (domen) ph¶i h−íng theo mét h−íng chung.3.®iÖn tÝch tr×nh bµy trªn h×nh 6. mçi nguyªn tö ®−îc ®Æc tr−ng bëi mét m«men tõ.1.®iÖn ¸p 6.C¬ chÕ tõ ho¸: Nh− chóng ta ®· biÕt trong vËt liÖu s¾t tõ.7b. mét sè vËt liÖu s¾t tõ thay ®æi tÝnh chÊt h×nh häc hoÆc tÝnh chÊt c¬ häc (hÖ sè Young).3. Khi H nhá.S¬ ®å m¹ch ghÐp nèi c¶m biÕn víi bé chuyÓn ®æi ®iÖn ¸p . Khi cã t¸c dông cña lùc c¬ häc g©y ra øng lùc trong vËt liÖu s¾t tõ lµm thay ®æi ®−êng cong tõ ho¸ cña chóng. H−íng cña c¸c m«men tõ trong c¸c domen c¹nh nhau kh«ng trïng nhau.7 S¬ ®å khuÕch ®¹i ®iÖn tÝch a) S¬ ®å khèi b) S¬ ®å ghÐp nèi c¶m biÕn vµ bé chuyÓn ®æi ®iÖn tÝch . C¶m biÕn tõ gi¶o 6.

C¶m biÕn tõ thÈm biÕn thiªn CÊu t¹o cña c¶m biÕn gåm mét cuén d©y cã lâi tõ hîp víi mét khung s¾t tõ t¹o thµnh mét m¹ch tõ kÝn (h×nh 6.105 - .9 Sù biÕn d¹ng cña ®−êng cong tõ ho¸ d−íi t¸c dông cña lùc kÐo 6. Khi tõ tr−êng ngoµi t¨ng lªn ®Õn møc nµo ®ã x¶y ra hiÖn t−îng ®¶o h−íng cña c¸c domen theo h−íng tõ tr−êng ngoµi.2. c¸c h−íng dÔ tõ ho¸ thay ®æi dÉn ®Õn lµm thay ®æi ®Þnh h−íng cña c¸c domen. . D−íi t¸c dông cña lùc F. lâi tõ bÞ biÕn d¹ng kÐo .8a). Khi tõ tr−êng ngoµi ®ñ m¹nh sÏ lµm quay h−íng dÔ tõ ho¸ cña c¸c domen tõ theo h−íng tõ tr−êng ngoµi dÉn ®Õn b¶o hoµ (hinhd 6. kÝch th−íc m¹ng tinh thÓ thay ®æi. nÕu vÉn gi÷ nguyªn ph−¬ng tõ tr−êng vµ thùc hiÖn mét chu tr×nh khÐp kÝn (Hm.0. Trªn h×nh 6. B B Br Hc H H a) b) H×nh 6.10). B(Wb/m2) σ=20N/mm2 σ=0 H (A/m) H×nh 6.8b gäi lµ ®−êng cong tõ trÓ víi ®é tõ d− Br lµ kh¸ng tõ Hc.0) ta nhËn ®−îc ®−êng cong tõ ho¸ nh− h×nh 6. HiÖn t−îng nµy gäi lµ hiÖu øng tõ gi¶o nghÞch.vµ kÝch th−íc cña c¸c domen tõ cã h−íng tõ ho¸ thuËn lîi trïng víi h−íng cña tõ tr−êng bªn ngoµi t¨ng lªn.3.8 §−êng cong tõ ho¸ a) Tõ ho¸ lÇn ®Çu b) Chu tr×nh tõ trÔ Khi trong vËt liÖu s¾t tõ cã øng lùc.9 biÓu diÔn ¶nh h−ëng cña øng lùc ®Õn ®−êng cong tõ ho¸ cña permalloy 68.Hm.HiÖn t−îng tõ trÓ: Sau khi tõ ho¸ lÇn ®Çu ®Õn b¶o hoµ (H = Hm)..

3.σ µ R L F F H×nh 6.10 −9 dσ N. Sù thay ®æi kÝch th−íc ®−îc ®o b»ng mét c¶m biÕn dÞch chuyÓn.Vm/∆l gäi lµ tØ sè truyÒn ®¹t cña c¶m biÕn.m −2 Sù thay ®æi cña tõ th«ng sÏ lµm xuÊt hiÖn trong cuén d©y mét suÊt ®iÖn ®éng tØ lÖ víi dBr/dt. 6. BiÓu thøc cña ®iÖn ¸p hë m¹ch cã d¹ng: Vm = K dB r dB dσ =K r dt dσ dt Trong ®ã K lµ hÖ sè tØ lÖ víi sè vßng d©y vµ tiÕt diÖn vßng d©y. tøc lµ víi lùc cÇn ®o F: ∆µ ∆R ∆L = = = K. D−íi t¸c dông cña lùc cÇn ®o. lµm cho tõ trë m¹ch tõ thay ®æi do ®ã ®é tù c¶m cña cuén d©y còng thay ®æi.106 - . .5.theo sù thay ®æi ®é tõ thÈm µ.∆l/F gäi lµ ®é mÒm cña vËt trung gian. . lùc cÇn ®o t¸c dông lªn vËt trung gian vµ g©y nªn sù thay ®æi kÝch th−íc ∆l cña nã. Khi ®ã tÝn hiÖu ra Vm vµ lùc t¸c dông ®−îc biÓu diÔn b»ng biÓu thøc: Vm Vm ∆l = F ∆l F Trong ®ã: . C¶m biÕn tõ d− biÕn thiªn PhÇn tö c¬ b¶n cña c¶m biÕn tõ d− biÕn thiªn lµ mét lâi tõ lµm b»ng Ni tinh khiÕt cao. cã tõ d− Br. Sù thay ®æi t−¬ng ®èi cña L. R hoÆc µ tØ lÖ víi øng lùc σ. C¶m biÕn ®o lùc dùa trªn phÐp ®o dÞch chuyÓn Trong c¶m biÕn lo¹i nµy.4.m −2 = −1.10 C¶m biÕn tõ gi¶o cã tõ thÈm biÕn thiªn 6. Br t¨ng lªn: dB r Wb. thÝ dô lùc nÐn (dσ < 0).3.

Khi cã lùc nÐn t¸c dông lªn mét phÇn nµo ®ã cña tÊm cao su. c¸c ®iÖn cùc nµy nèi víi ®Êt th«ng qua m¹ch ®o dßng. X2.. To¹ ®é cña vïng cã dßng ®iÖn t¨ng lªn sÏ x¸c ®Þnh vÞ trÝ cña lùc t¸c dông vµ gi¸ trÞ cña nã x¸c ®Þnh gi¸ trÞ cña lùc.107 - .§iÖn thÕ kÕ ®iÖn trë.11a) ®−îc ®Æt d−íi ®iÖn ¸p V. 6.) vu«ng gãc víi nhau t¹o thµnh nh÷ng « vu«ng nhá. ®iÖn trë gi¶m xuèng. Y2.. F I0 I0 I1 I2 I0 a) b) H×nh 6..) vµ (Y1. MÆt trªn cña hÖ thèng ®−îc phñ cao su cã pha c¸c h¹t dÉn ®iÖn..VËt trung gian lµ vßng ®o lùc. kho¶ng c¸ch gi÷a c¸c h¹t dÉn ®iÖn ë phÇn ®ã ng¾n l¹i. mçi « vu«ng nhá ®Òu cã mét ®iÖn cùc ®−îc c¸ch ®iÖn víi d©y dÉn cña l−íi bao quanh nã. dßng ®iÖn t¨ng lªn (h×nh 6.11 C¶m biÕn xóc t¸c a) HÖ thèng cùc ®o b) T¸c dông cña lùc lªn ®iÖn cùc .. . C¶m biÕn xóc gi¸c PhÇn chÝnh cña c¶m biÕn lµ mét ®Õ c¸ch ®iÖn trªn ®ã cã mét l−íi dÉn ®iÖn (h×nh 6. L−íi ®iÖn gåm hai hÖ thèng d©y dÉn (X1. c¸c dÇm d¹ng console hoÆc lß xo.C¶m biÕn tô ®iÖn.11b).5..C¶m biÕn tõ trë biÕn thiªn. Tuú theo ®iÒu kiÖn sö dông cã thÓ sö dông nhiÒu lo¹i c¶m biÕn dÞch chuyÓn kh¸c nhau nh−: . .

Bëi vËy. 7. Trong tr−êng hîp chuyÓn ®éng th¼ng. xung ®iÖn lÊy tõ ®Çu thu quang cã tÇn sè tØ lÖ víi vËn tèc quay cÇn ®o. Khi cã chuyÓn ®éng t−¬ng ®èi gi÷a phÇn c¶m vµ phÇn øng. vÝ dô chuyÓn ®éng quay. Cho chïm s¸ng chiÕu qua ®Üa ®Õn mét ®Çu thu quang. Tèc ®é kÕ ®iÖn tõ a) Tèc ®é kÕ ®iÖn tõ ®o vËn tèc gãc .2. Nguyªn lý ®o vËn tèc Trong c«ng nghiÖp. §é an toµn còng nh− chÕ ®é lµm viÖc cña m¸y phô thuéc rÊt lín vµo tèc ®é quay.1.1.1. §Ó ®o vËn tèc gãc th−êng øng dông c¸c ph−¬ng ph¸p sau ®©y: Sö dông tèc ®é kÕ vßng kiÓu ®iÖn tõ: nguyªn lý ho¹t ®éng dùa trªn hiÖn t−îng c¶m øng ®iÖn tõ.Ch−¬ng VII c¶m biÕn vËn tèc. c¸c c¶m biÕn ®o vËn tèc gãc ®ãng vai trß quan träng trong viÖc ®o vËn tèc. C¶m biÕn gåm cã hai phÇn: phÇn c¶m (nguån tõ th«ng) vµ phÇn øng (phÇn cã tõ th«ng ®i qua). phÇn lín tr−êng hîp ®o vËn tèc lµ ®o tèc ®é quay cña m¸y. tõ th«ng ®i qua phÇn øng biÕn thiªn. C¶m biÕn lo¹i nµy th−êng cã mét ®Üa ®−îc m· ho¸ g¾n víi trôc quay. C¶m biÕn ®o vËn tèc 7.108 - . ch¼ng h¹n gåm c¸c phÇn trong suèt xen kÏ c¸c phÇn kh«ng trong suèt. trong nã xuÊt hiÖn suÊt ®iÖn ®éng c¶m øng x¸c ®Þnh theo c«ng thøc: e=− dΦ dt Th«ng th−êng tõ th«ng qua phÇn øng cã d¹ng: Φ (x ) = Φ 0 F (x ) Trong ®ã x lµ biÕn sè cña vÞ trÝ thay ®æi theo vÞ trÝ gãc quay hoÆc theo ®−êng th¼ng. viÖc ®o vËn tèc dµi còng th−êng ®−îc chuyÓn vÒ ®o tèc ®é quay.1. Sö dông tèc ®é kÕ vßng lo¹i xung: lµm viÖc theo nguyªn t¾c ®o tÇn sè chuyÓn ®éng cña phÇn tö chuyÓn ®éng tuÇn hoµn. khi ®ã suÊt ®iÖn ®éng e xuÊt hiÖn trong phÇn øng cã d¹ng: e = −Φ 0 dF(x) dx dx dt SuÊt ®iÖn ®éng nµy tØ lÖ víi vËn tèc cÇn ®o. gia tèc vµ rung 7.

vËn tèc dµi cña d©y. BiÓu thøc cña suÊt ®iÖn ®éng xuÊt hiÖn trong mét d©y: e i = −ωrlB iN . Trong c¸c r·nh ®Æt c¸c d©y dÉn b»ng ®ång gäi lµ d©y chÝnh. r .1 S¬ ®å cÊu t¹o cña m¸y ph¸t dßng mét chiÒu 1) Stato 2) R«to 3) Cæ gãp 4) Chæi quÐt Stato (phÇn c¶m) lµ mét nam ch©m ®iÖn hoÆc nam ch©m vÜnh cöu.. suÊt ®iÖn ®éng xuÊt hiÖn trong mét d©y dÉn x¸c ®Þnh theo biÓu thøc: ei = − dφ i dt Trong ®ã dφi lµ tõ th«ng mµ d©y dÉn c¾t qua trong thêi gian dt: dφ i = dS c d B i = dS c B iN dSc lµ tiÕt diÖn bÞ c¾t trong kho¶ng thêi gian dt: dS c = lvdt = lωrdt Trong ®ã: l . 1 N 2 S 4 3 H×nh 7. Hai chæi quÐt Ðp s¸t vµo cæ gãp ®−îc bè trÝ sao cho t¹i mét thêi ®iÓm chóng lu«n tiÕp xóc víi hai l¸ ®ång ®èi diÖn nhau.chiÒu dµi d©y dÉn. Khi r« to quay. Cæ gãp lµ mét h×nh trô trªn mÆt cã g¾n c¸c l¸ ®ång c¸ch ®iÖn víi nhau.Tèc ®é kÕ dßng mét chiÒu: S¬ ®å cÊu t¹o cña mét tèc ®é kÕ dßng mét chiÒu biÓu diÔn trªn h×nh 7. roto (phÇn øng) lµ mét trôc s¾t gåm nhiÒu líp ghÐp l¹i.b¸n kÝnh quay cña d©y.vËn tèc gãc cña d©y.1. c¸c d©y chÝnh ®−îc nèi víi nhau tõng ®«i mét b»ng c¸c d©y phô. trªn mÆt ngoµi roto xÏ c¸c r·nh song song víi trôc quay vµ c¸ch ®Òu nhau. v .109 - . ω . mçi l¸ nèi víi mét d©y chÝnh cña roto.

1) Nguyªn t¾c nèi d©y lµ nèi thµnh hai côm. φ0 .110 - .2) Trong ®ã E = K 1ω .M¸y ph¸t ®ång bé: S¬ ®å cÊu t¹o cña mét tèc ®é kÕ dßng xoay chiÒu kiÓu m¸y ph¸t ®ång bé biÓu diÔn trªn h×nh 7. Ω = K 2 ω . PhÇn øng gåm c¸c cuén d©y bè trÝ c¸ch ®Òu trªn mÆt trong cña stato lµ n¬i cung cÊp suÊt ®iÖn ®éng c¶m øng h×nh sin cã biªn ®é tØ lÖ víi tèc ®é quay cña roto.2.X¸c ®Þnh ω tõ biªn ®é suÊt ®iÖn ®éng: Cuén c¶m øng cã trë kh¸ng trong: Z i = R i + jL i Ω .SuÊt ®iÖn ®éng øng víi mét nöa sè d©y ë bªn ph¶i ®−êng trung tÝnh: Ep = − ω Nφ 0 = − nNφ 0 2π N . n . K1 vµ K2 lµ c¸c th«ng sè ®Æc tr−ng cho m¸y ph¸t.lµ tõ th«ng xuÊt ph¸t tõ cùc nam ch©m.tæng sè d©y chÝnh trªn roto.sè vßng quay trong mét gi©y. Thùc chÊt ®©y lµ mét m¸y ph¸t ®iÖn xoay chiÒu nhá. Roto (phÇm c¶m) cña m¸y ph¸t lµ mét nam ch©m hoÆc tæ hîp cña nhiÒu nam ch©m nhá. cßn hai côm th× m¾c ng−îc pha nhau. T−¬ng tù tÝnh ®−îc suÊt ®iÖn ®éng øng víi mét nöa sè d©y ë bªn tr¸i: E t = nNφ0 (7. . trong mçi côm c¸c d©y m¾c nèi tiÕp víi nhau.2 S¬ ®å cÊu t¹o cña m¸y ph¸t ®ång bé 1) Stato 2) R«to Gi¸ trÞ cña ω cã thÓ tÝnh ®−îc theo E hoÆc Ω. e = E sin Ωt (7. b) Tèc ®é kÕ dßng xoay chiÒu . N 2 1 N S S N 1 S 2 H×nh 7.

. .Trong ®ã Ri. 2 3 ω em Ve 2 H×nh 7. §iÒu kiÖn ®Ó sö dông m¸y ph¸t nh− mét c¶m biÕn vËn tèc lµ R>>Zi ®Ó sao cho cã thÓ coi U ≈ E.3). Roto lµ mét ®Üa h×nh trô kim lo¹i máng vµ dÞ tõ quay cïng tèc ®é víi trôc cÇn ®o. Stato lµm b»ng thÐp tõ tÝnh. MÆt kh¸c. ®iÖn ¸p nµy kh«ng phô thuéc chiÒu quay vµ hiÖu suÊt läc gi¶m khi tÇn sè thÊp. trªn ®ã bè trÝ hai cuén d©y. Gi÷a hai ®Çu ra cña cuén nµy xuÊt hiÖn mét suÊt ®iÖn ®éng em cã biªn ®é tØ lÖ víi tèc ®é gãc cÇn ®o: e m = E m cos(ωe t + ϕ) = kωVe cos(ωe t + ϕ) .M¸y ph¸t kh«ng ®ång bé: CÊu t¹o cña m¸y ph¸t kh«ng ®ång bé t−¬ng tù nh− ®éng c¬ kh«ng ®ång bé hai pha (h×nh 7. mét cuén lµ cuén kÝch thÝch ®−îc cung cÊp ®iÖn ¸p Vc cã biªn ®é Ve vµ tÇn sè ωe æn ®Þnh Vc = Ve cos ωe t . khèi l−îng vµ qu¸n tÝnh cña nã kh«ng ®¸ng kÓ.X¸c ®Þnh b»ng c¸ch ®o tÇn sè cña suÊt ®iÖn ®éng: ph−¬ng ph¸p nµy cã −u ®iÓm lµ tÝn hiÖu cã thÓ truyÒn ®i xa mµ sù suy gi¶m tÝn hiÖu kh«ng ¶nh h−ëng tíi ®é chÝnh x¸c cña phÐp ®o. ta thÊy ®iÖn ¸p U kh«ng ph¶i lµ hµm tuyÕn tÝnh cña tèc ®é quay ω.111 - .3) Tõ biÓu thøc (7. §iÖn ¸p ë ®Çu ra ®−îc chØnh l−u thµnh ®iÖn ¸p mét chiÒu. Li lµ ®iÖn trë vµ tù c¶m cña cuén d©y. sù cã mÆt cña bé läc lµm t¨ng thêi gian håi ®¸p cña c¶m biÕn.3 S¬ ®å cÊu t¹o m¸y ph¸t kh«ng ®ång bé 1) Cuén kÝch 2) R«to 3) Cuén ®o Cuén d©y thø hai lµ cuén d©y ®o.3). §iÖn ¸p ë hai ®Çu cuén øng víi t¶i R cã gi¸ trÞ: U= RE RK 1ω (R + R i )2 + (L i Ω )2 = (R + R i )2 + (K 2 L i ω)2 (7.

112 - . C¶m biÕn gåm mét nam ch©m di chuyÓn däc trôc cña hai cuén d©y quÊn ng−îc chiÒu nhau vµ m¾c nèi tiÕp. Hai cuén d©y ®−îc m¾c nèi tiÕp vµ quÊn ng−îc chiÒu nªn nhËn ®−îc suÊt ®iÖn ®éng ë ®Çu ra kh¸c kh«ng. r . Khi nam ch©m di chuyÓn.4. Tr−êng hîp ®o vËn tèc cña dÞch chuyÓn th¼ng nhá cã thÓ dïng c¶m biÕn vËn tèc dµi gåm hai phÇn tö c¬ b¶n: mét nam ch©m vµ mét cuén d©y. víi ®é dÞch chuyÓn lín cña vËt kh¶o s¸t (> 1m) th−êng chuyÓn thµnh ®o vËn tèc gãc. phÇn tö thø hai liªn kÕt víi vËt chuyÓn ®éng.Trong ®ã k lµ h»ng sè phô thuéc vµo kÕt cÊu cña m¸y. Khi ®é dÞch chuyÓn lín h¬n (tíi 0.5 m) ng−êi ta dïng tèc ®é kÕ cã nam ch©m di ®éng (h×nh 7. l . ChuyÓn ®éng t−¬ng ®èi gi÷a cuén d©y vµ nam ch©m lµm xuÊt hiÖn trong cuén d©y mét suÊt ®iÖn ®éng tØ lÖ víi vËn tèc cÇn ®o.4 C¶m biÕn dïng cuén d©y di ®éng 1) Nam ch©m 2) Cuén d©y SuÊt ®iÖn ®éng xuÊt hiÖn trong cuén d©y cã d¹ng: e = 2 πrNBv = lBv N . v . Tèc ®é kÕ lo¹i nµy ®o ®−îc ®é dÞch chuyÓn vµi mm víi ®é nh¹y ~ 1V/m.b¸n kÝnh vßng d©y. suÊt ®iÖn ®éng xuÊt hiÖn trong tõng cuén d©y tØ lÖ víi tèc ®é cña nam ch©m nh−ng ng−îc chiÒu nhau.5).tæng chiÒu dµi cña d©y.gi¸ trÞ cña c¶m øng tõ. B . v N S 2 S 1 H×nh 7. c) Tèc ®é kÕ ®iÖn tõ ®o vËn tèc dµi Khi ®o vËn tèc dµi. Khi ®o. . S¬ ®å c¶m biÕn cã cuén d©y di ®éng biÓu diÔn trªn h×nh 7.s. ϕ lµ ®é lÖch pha. mét phÇn tö ®−îc gi÷ cè ®Þnh.tèc ®é dÞch chuyÓn cña vßng d©y.sè vßng d©y.

tõ trë cña m¹ch tõ biÕn thiªn mét c¸ch tuÇn hoµn lµm cho tõ th«ng qua cuén d©y biªn thiªn. .113 - . ®−êng v¸t.3.6 S¬ ®å cÊu t¹o cña c¶m biÕn tõ trë biÕn thiªn 1) §Üa quay (b¸nh r¨ng) 2) Cuén d©y 3) Nam ch©m vÜnh cöu . C¶m biÕn quang cïng víi nguån s¸ng: sö dông khi trªn vËt quay cã c¸c lç. mÆt ph¶n x¹. Tèc ®é kÕ xung Tèc ®é kÕ xung th−êng cã cÊu t¹o ®¬n gi¶n. Khi ®Üa quay. . kh¶ n¨ng chèng nhiÔu vµ chèng suy gi¶m tÝn hiÖu cao.1 2 v a) H×nh 7. ch¾c ch¾n. a) Tèc ®é kÕ tõ trë biÕn thiªn CÊu t¹o cña c¶m biÕn tõ trë biÕn thiªn gåm mét cuén d©y cã lâi s¾t tõ chÞu t¸c ®éng cña mét nam ch©m vÜnh cöu ®Æt ®èi diÖn víi mét ®Üa quay lµm b»ng vËt liÖu s¾t tõ trªn ®ã cã khÝa r¨ng. Tuú thuéc vµo b¶n chÊt cña vËt quay vµ dÊu hiÖu m· ho¸ trªn vËt quay. dÔ biÕn ®æi tÝn hiÖu sang d¹ng sè.C¶m biÕn tõ ®iÖn trë: sö dông khi vËt quay lµ mét hay nhiÒu nam ch©m nhá. chÞu ®ùng tèt trong m«i tr−êng ®éc h¹i.5 C¶m biÕn cã lâi tõ di déng a) CÊu t¹o b) S¬ ®å nguyªn lý 1) Nam ch©m 2) Cuén d©y b) 7. ng−êi ta sö dông lo¹i c¶m biÕn thÝch hîp. 3 2 Khe tõ 1 H×nh 7. trong cuén d©y xuÊt hiÖn mét suÊt ®iÖn ®éng c¶m øng cã tÇn sè tØ lÖ víi tèc ®é quay.1.C¶m biÕn tõ trë biÕn thiªn: sö dông khi vËt quay lµ s¾t tõ.

®Çu thu quang nhËn ®−îc mét th«ng l−îng ¸nh s¸ng biÕn ®iÖu vµ ph¸t tÝn hiÖu cã tÇn sè tØ lÖ víi tèc ®é quay nh−ng biªn ®é kh«ng phô thuéc tèc ®é quay. b) Tèc ®é kÕ quang H×nh 7. Khi p nhá.500 vßng/phót. 4 1 2 3 H×nh 7. tèc ®é nmin ®o ®−îc cã gi¸ trÞ bÐ. . ®Çu thu chØ chuyÓn m¹ch khi nguån s¸ng.Tèc ®é quay: Tèc ®é quay cµng lín. . §Çu thu lµ mét photodiode hoÆc phototranzitor. n . tèc ®é nmax ®o ®−îc sÏ lín. E cµng lín. D¶i ®o cña c¶m biÕn phô thuéc vµo sè r¨ng cña ®Üa. biªn ®é E rÊt bÐ vµ khã ph¸t hiÖn. ng−êi ta gäi vïng nµy lµ vïng chÕt. cßn víi p =15 r¨ng d¶i tèc ®é ®o ®−îc 500 10. d¶i tèc ®é ®o ®−îc n = 50 .000 vßng/phót. KÕt qu¶ lµ khi ®Üa quay. §Üa quay.7 tr×nh bµy s¬ ®å nguyªn lý cña mét tèc ®é kÕ quang ®o tèc ®é quay. Khi ®Üa quay. do vËy tån t¹i mét vïng tèc ®é quay kh«ng thÓ ®o ®−îc.Kho¶ng c¸ch gi÷a cuén d©y vµ ®Üa quay: kho¶ng c¸ch cµng lín E cµng nhá. ®Æt gi÷a nguån s¸ng vµ ®Çu thu. ng−êi ta còng cã thÓ dïng ®Üa quay cã c¸c vïng ph¶n x¹ ¸nh s¸ng bè trÝ tuÇn hoµn trªn mét vßng trßn ®Ó ph¶n x¹ ¸nh s¸ng tíi ®Çu thu quang. cã c¸c lç bè trÝ c¸ch ®Òu trªn mét vßng trßn.TÇn sè cña suÊt ®iÖn ®éng trong cuén d©y x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc: f = pn p .7 S¬ ®å nguyªn lý cña tèc ®é kÕ quang 1) Nguån s¸ng 2) ThÊu kÝnh héi tô 3) §Üa quay 4) §Çu thu quang Trong c¸c c¶m biÕn quang ®o tèc ®é.sè vßng quay cña ®Üa trong mét gi©y.sè l−îng r¨ng trªn ®Üa. nguån ph¸t s¸ng th¼ng hµng. Nguån s¸ng ph¸t tia hång ngo¹i lµ mét diot ph¸t quang (LED). Khi tèc ®é quay nhá.114 - . Biªn ®é E cña suÊt ®iÖn ®éng trong cuén d©y phô thuéc hai yÕu tè: . lç. ThÝ dô víi p = 60 r¨ng. Khi p lín.

8b). §é ph©n gi¶i cña ph−¬ng ph¸p nµy phô thuéc vµo th«ng sè cña m¹ch ®iÒu chØnh. khi ®ã tÇn sè ng¾t cña m¹ch ®iÖn x¸c ®Þnh tèc ®é cùc ®¹i cã thÓ ®o ®−îc.1.8 S¬ ®å nguyªn lý m¸y ®o gãc tuyÖt ®èi Khi trôc quay.106 vßng/phót) ph¶i sö dông ®Üa quay chØ mét lç. C¸ch thø nhÊt lµ hiÖu chØnh söa sai gãc thu ®−îc ®−îc trªn c¬ së so s¸nh gãc víi mét sè vi m¹ch s½n cã.000 lç).Ph¹m vi tèc ®é ®o ®−îc phô thuéc vµo hai yÕu tè chÝnh: Sè l−îng lç trªn ®Üa. Cã hai c¸ch xö lý th«ng tin thu ®−îc. PhÇn tÜnh cã hai d©y quÊn thø cÊp (cuén sin vµ cuén cos) ®Æt lÖch nhau 90o. 7. §Ó ®o tèc ®é nhá (~ 0. C¸c vi m¹ch nµy cho tÝn hiÖu gãc d¹ng sè víi ®é ph©n gi¶i 10 .115 - .16 bit/1vßng vµ mét tèc ®é quay d¹ng t−¬ng tù. sin sin cos t U0sinωt UU0sinωtsinθ θ cos t UU0sinωtcosθ a) b) H×nh 7. .1 vßng/phót) ph¶i dïng ®Üa cã sè l−îng lç lín (500 1.10 kHz qua m¸y biÕn ¸p quay (h×nh 7. Trong tr−êng hîp ®o tèc ®é lín ( ~ 105 . §−êng bao cña biªn ®é kªnh tÝn hiÖu ra chøa th«ng tin vÒ vÞ trÝ tuyÖt ®èi (gãc θ) cña roto m¸y ®o tøc lµ vÞ trÝ tuyÖt ®èi cña trôc quay. M¸y ®o gãc tuyÖt ®èi M¸y ®o gãc tuyÖt ®èi gåm hai phÇn: phÇn ®éng g¾n liÒn víi trôc quay chøa cuén s¬ cÊp ®−îc kÝch thÝch b»ng sãng mang cã tÇn sè 2 .8a).4. ë ®Çu ra cña hai d©y quÊn thø cÊp ta thu ®−îc hai tÝn hiÖu ®iÒu biªn UU0sinωtsinθ vµ UU0sinωtcosθ (h×nh 7. D¶i th«ng cña ®Çu thu quang vµ cña m¹ch ®iÖn tö.

a) §æi h−íng kÕ dïng con quay håi chuyÓn Con quay håi chuyÓn gåm mét roto l¾p trªn mét khung ®éng vµ ®−îc quay quanh trôc Y’Y víi tèc ®é lín (~104vßng/phót) nhê mét ®éng c¬. ë tr¹ng th¸i c©n b»ng: .1.10 kHz sau ®ã dïng bé läc ®Ó chuyÓn xung h×nh ch÷ nhËt thµnh tÝn hiÖu kÝch thÝch h×nh sin.C¸ch thø hai. ®æi h−íng kÕ quang dïng laze vµ c¸p quang dùa trªn hiÖn t−îng truyÒn sãng ¸nh s¸ng.sè ®Ó lÊy mÉu trùc tiÕp tõ ®Ønh tÝn hiÖu ®iÒu chÕ. 1 Y’ Z’ X 4 3 X’ ω Z Y 2 H×nh 7. §é ph©n gi¶i cña phÐp ®o dïng m¸y ®o gãc tuyÖt ®èi hoµn toµn phô thuéc vµo ®é ph©n gi¶i cña bé chuyÓn ®æi t−¬ng tù sè. cã chÊt l−îng cao h¬n. Trong tr−êng hîp nµy cÇn ®ång bé chÆt chÏ gi÷a thêi ®iÓm lÊy mÉu vµ kh©u t¹o tÝn hiÖu kÝch thÝch 2 . lÊy ®¹o hµm ta nhËn ®−îc tèc ®é gãc ω cÇn ®o.5. lµ dïng hai bé chuyÓn ®æi t−¬ng tù .9 S¬ ®å nguyªn lý ®æi h−íng kÕ dïng con quay håi chuyÓn 1) Con quay håi chuyÓn 2) Khung ®éng 3) Lß xo 4) §iÖn thÕ kÕ Tèc ®é quay ω cÇn ®o theo trôc Z’Z vu«ng gãc víi trôc Y’Y lµm xuÊt hiÖn mét ngÉu lùc Cg tØ lÖ víi ω theo h−íng X’X vu«ng gãc víi hai trôc Y’Y vµ Z’Z cã xu h−íng lµm cho khung ®éng cña con quay håi chuyÓn quay theo. Hai d¹ng ®æi h−íng kÕ th−êng dïng lµ: ®æi h−íng kÕ c¬ häc dïng con quay håi chuyÓn. NgÉu lùc Cg ®−îc c©n b»ng bëi ngÉu lùc ®µn håi Cr cña hai lß xo g©y nªn cã gi¸ trÞ tØ lÖ víi gãc quay α cña khung. 7. §æi h−íng kÕ §æi h−íng kÕ ®−îc g¾n vµo vËt chuyÓn ®éng ®Ó ®o tèc ®é gãc cña vËt. Khi biÕt gãc quay tuyÖt ®èi θ.116 - .

6) λ .5) Gãc quay α cña khung ®éng cña con quay håi chuyÓn tØ lÖ víi vËn tèc gãc ω cÇn ®o.10 S¬ ®å nguyªn lý ®æi h−íng kÕ quang dïng laze vµ c¸p quang 1) Nguån ph¸t laze 2) C¸p quang 3) B¶n ph©n t¸ch 4) §Çu thu Chïm tia xuÊt ph¸t tõ nguån ph¸t (1) qua b¶n ph©n t¸ch (3) t¹o thµnh hai chïm tia truyÒn theo hai h−íng ng−îc nhau trong sîi c¸p quang. víi Cr = kα (k lµ hÖ sè ®µn håi cña lß xo) vµ Cg = ωH ( H lµ m«men ®éng häc cña r«to). . hai tia lÖch pha nhau.D¶i ®o tõ ± 7o/s ®Õn ± 360o/s.117 - . Thay c¸c gi¸ trÞ vµo c«ng thøc (7. cuén d©y sîi quang (2) cã chiÒu dµi L quÊn thµnh vßng b¸n kÝnh R quay víi cïng vËn tèc gãc ω víi vËt quay. C¸c th«ng sè cña m¸y ®o nh− sau: . b) §æi h−íng kÕ quang §æi h−íng kÕ quang gåm nguån ph¸t chïm tia laze (1).5% cña d¶i ®o.Sai lÖch khái ®é tuyÕn tÝnh <± 1. gãc quay α ®−îc chuyÓn ®æi thµnh tÝn hiÖu ®iÖn nhê mét ®iÖn thÕ kÕ. Khi ra khái c¸p. 4 3 1 2 H×nh 7.4).4) ta cã c«ng thøc x¸c ®Þnh gãc α: α=ω H k (7. §Ó tiÖn cho xö lý. . do qu¶ng ®−êng truyÒn sãng kh¸c nhau. ®é lÖch pha gi÷a hai chïm tia b»ng: ∆Φ = 4 πRLω λc (7.Cg = Cr (7.b−íc sãng tia laze.

thay ®æi gia tèc cã d¹ng xung. C¶m biÕn gia tèc th−êng dïng lµ c¶m biÕn tõ trë biÕn thiªn.1. b) ChuyÓn ®éng rung vµ ph−¬ng ph¸p ®o §o ®é rung trong c«ng nghiÖp cã tÇm quan träng ®Æc biÖt v× c¸c lý do: - Nh»m khèng chÕ biªn ®é rung ®Ó tr¸nh g©y tiÕn ån cã h¹i cho søc khoÎ. . C¸c c¶m biÕn th−êng dïng lµ c¸c c¶m biÕn gia tèc ®o dÞch chuyÓn vµ c¶m biÕn gia tèc ®o biÕn d¹ng. PhÐp ®o gia tèc cã thÓ thùc hiÖn qua viÖc ®o lùc (c¶m biÕn ¸p ®iÖn. gi¸ trÞ cña gia tèc nhá. C¶m biÕn gia tèc sö dông lµ lo¹i ¸p trë hoÆc ¸p ®iÖn. gia tèc lµ ®¹i l−îng vËt lý thÓ hiÖn mèi quan hÖ gi÷a lùc vµ khèi l−îng. Kh¸i niÖm c¬ b¶n a) D¶i gia tèc vµ ph−¬ng ph¸p ®o gia tèc Theo nguyªn lý c¬ b¶n cña c¬ häc. - §o gia tèc rung cña c¸c cÊu tróc cøng hoÆc cÊu tróc cã khèi l−îng lín. dông lµ c¸c lo¹i cã d¶i th«ng réng vÒ c¶ hai phÝa tÇn sè thÊp vµ tÇn sè cao. B»ng c¸ch ®Õm sè v©n giao thoa ∆Z bÞ dÞch chuyÓn do c¸p quang quay. tÇn sè rung ®¹t tíi hµng tr¨m Hz.c . Trªn ®Çu thu (4) ta thu ®−îc hÖ v©n giao thoa cña hai chïm tia.vËn tèc ¸nh s¸ng.2. C¶m biÕn gia tèc sö gÆp khi vËt cã khèi l−îng nhá. C¶m biÕn ®o gia tèc lµ c¶m biÕn chuyÓn ®éng kh«ng cÇn cã ®iÓm mèc.7) 7. C¶m biÕn rung vµ gia tèc 7.2. c¶m biÕn c©n b»ng ngÉu lùc) hoÆc ®o gi¸n tiÕp th«ng qua sù biÕn d¹ng hay di chuyÓn cña vËt trung gian. chóng kh¸c víi c¸c c¶m biÕn dÞch chuyÓn bëi v× khi ®o dÞch chuyÓn cña mét vËt ng−êi ta ph¶i ®o chuyÓn ®éng t−¬ng ®èi cña vËt ®ã so víi mét vËt kh¸c cè ®Þnh lÊy lµm mèc. ta cã thÓ tÝnh ®−îc tèc ®é quay theo c«ng thøc: ∆Z = 2 LRω λc (7.118 - . th−êng §o gia tèc khi va ®Ëp. ®Çu ®o biÕn d¹ng kim lo¹i hoÆc ¸p ®iÖn trë. Tuú theo møc gia tèc vµ d¶i tÇn cña hiÖn t−îng kh¶o s¸t ng−êi ta ph©n biÖt c¸c d¶i gia tèc sau: - §o gia tèc chuyÓn ®éng cña mét khèi l−îng nµo ®ã. - §o gia tèc rung møc trung b×nh vµ d¶i tÇn t−¬ng ®èi cao (~10kHz). trong ®ã chuyÓn ®éng cña träng t©m lu«n gi÷ ë tÇn sè t−¬ng ®èi thÊp (tõ 0 ®Õn vµi chôc Hz).

- trong m¸y mãc. Bëi vËy khi ®o rung ®éng ng−êi ta ®o mét trong nh÷ng ®Æc tr−ng trªn.11. C¶m biÕn rung cã thÓ lµ c¶m biÕn dÞch chuyÓn.. Khi kh«ng cã gia tèc t¸c ®éng lªn vá hép tung ®é cña a vµ b b»ng nhau. 4 M z b’ b a 2 1 h h0 3 H×nh 7. F dz . §é rung ®−îc ®Æc tr−ng bëi ®é dÞch chuyÓn. tèc ®é hoÆc gia tèc ë c¸c ®iÓm trªn vËt rung.119 - . c¶m biÕn tèc ®é hoÆc c¶m biÕn gia tèc nh−ng cã thÓ m« t¶ nguyªn lý ho¹t ®éng cña chóng b»ng m« h×nh hÖ c¬ häc cã mét bËc tù do nh− tr×nh bµy ë h×nh 7. ) nèi víi mét khèi l−îng rung vµ ®−îc ®Æt chung trong mét vá hép. §o ®é rung gióp cho ng−êi qu¶n lý n¾m ®−îc t×nh tr¹ng mßn cña chi tiÕt tõ ®ã cã kÕ ho¹ch b¶o d−ìng. dt (7. tinh thÓ ¸p ®iÖn. ChuyÓn ®éng rung cña khèi l−îng M t¸c ®éng lªn phÇn tö nh¹y c¶m cña c¶m biÕn vµ ®−îc chuyÓn thµnh tÝn hiÖu ®iÖn ë ®Çu ra. söa ch÷a kÞp thêi.8) . C¶m biÕn gåm mét phÇn tö nh¹y c¶m (lß xo. DÞch chuyÓn t−¬ng ®èi cña khèi l−îng M so víi vá hép x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc: z = h − h0 Khi ®ã ph−¬ng tr×nh c©n b»ng lùc cã d¹ng: d2h dz M 2 = − F − Cz dt dt Cz ..- H¹n chÕ møc rung ë giíi h¹n cho phÐp ®Ó ®¶m b¶o ®é an toµn cho c«ng Rung ®éng liªn quan ®Õn tr¹ng th¸i mµi mßn vµ bÒn mái cña chi tiÕt c¬ khÝ tr×nh.11 S¬ ®å nguyªn lý c¶m biÕn ®o gia tèc vµ rung 1) Khèi rung 2) Vá hép 3) PhÇn tö nh¹y c¶m 4) Gi¶m chÊn Gäi h0 lµ tung ®é cña ®iÓm a cña vá hép.ph¶n lùc cña lß xo. h lµ tung ®é ®iÓm b cña khèi l−îng rung.lùc ma s¸t nhít.

S 2 m1 m1 m 2 Trong ®ã: . C¶m biÕn ®o tèc ®é t−¬ng ®èi. Trªn thùc tÕ c¶m biÕn thø cÊp th−êng sö dông lµ: - C¶m biÕn ®o vÞ trÝ t−¬ng ®èi cña khèi l−îng rung M so víi vá hép. vËn tèc dh0/dt hoÆc gia tèc d2h0/dt2) phô thuéc vµo ®¹i l−îng ®−îc chän ®Ó lµm ®¹i l−îng ®o thø cÊp m2 (z.lùc do gia tèc cña khèi M g©y nªn. = S 1 . Dïng to¸n tö laplace (p) cã thÓ m« t¶ ho¹t ®éng cña c¶m biÕn rung b»ng biÓu thøc sau: − Mp 2 h 0 = Mp 2 z + Fpz + Cz HoÆc: 2 − p 2 ω0 z = h0 p2 p + 2ξ +1 2 ω0 ω0 Víi: ω0 = ξ= C = 2πf0 lµ tÇn sè riªng cña M trªn lß xo cã ®é cøng C.M Hay: d2h . 2 CM §é nh¹y cña c¶m biÕn cã thÓ tÝnh b»ng tØ sè gi÷a ®¹i l−îng ®iÖn ®Çu ra s vµ ®¹i l−îng ®o s¬ cÊp m1. dz/dt hoÆc d2z/dt2) vµ d¶i tÇn sè lµm viÖc. D¶i tÇn sè lµm viÖc quyÕt ®Þnh sè h¹ng nµo trong vÕ ph¶i ph−¬ng tr×nh chiÕm −u thÕ (Cz. Fdz/dt hoÆc Md2z/dt2). ta nhËn thÊy cÊu t¹o cña c¶m biÕn ®Ó ®o ®¹i l−îng s¬ cÊp m1 (®é dÞch chuyÓn h0.9) Tõ c«ng thøc (7.120 - . dt 2 d2h0 d2z dz = M 2 + F + Cz 2 dt dt dt −M (7. S= m s s = 2.9). M F lµ hÖ sè t¾t dÇn. C¶m biÕn ®o lùc hoÆc c¶m biÕn ®o biÕn d¹ng.

m1 s lµ ®é nh¹y cña c¶m biÕn thø cÊp. m2 7. lâi nam ch©m ®Æt bªn trong cuén d©y vµ g¾n víi vá c¶m biÕn. §é nh¹y s¬ cÊp S1 x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc: S1 = 2 m2 − p / ω0 z = = 2 m1 ph 0 p p + 2ξ +1 2 ω0 ω0 §Ó tiÖn lîi trong sö dông. ®¹i l−îng ®o s¬ cÊp m1 lµ tèc ®é rung dh0/dt. Cuén d©y g¾n víi khèi l−îng rung.12 S¬ ®å nguyªn lý c¶m biÕn ®o vËn tèc rung 1) Vá hép 2) Khèi rung 3) Lâi nam ch©m 4) Cuén d©y 5) Lß xo 6) Gi¶m chÊn Trong c¶m biÕn lo¹i nµy.S1 = S2 = m2 lµ ®é nh¹y c¬ cña ®¹i l−îng ®o s¬ cÊp. 1 2 3 4 5 M b b 6 H×nh 7. ViÖc chuyÓn ®æi tèc ®é t−¬ng ®èi cña khèi l−îng rung so víi vá hép thµnh tÝn hiÖu ®iÖn thùc hiÖn bëi mét c¶m biÕn vÞ trÝ t−¬ng ®èi kiÓu ®iÖn tõ gåm mét cuén d©y vµ mét lâi nam ch©m. ng−êi ta còng sö dông ®¹i l−îng ®o thø cÊp m2 lµ tèc ®é dÞch chuyÓn t−¬ng ®èi dz/dt.i t¸c ®éng lªn cuén d©y khi cuén d©y chuyÓn ®éng trong tõ tr−êng c¶m øng .2.121 - . B»ng c¸ch ®o suÊt ®iÖn ®éng cña cuén d©y cã thÕ ®¸nh gi¸ ®−îc tèc ®é rung cÇn ®o. Mét ®iÒu cÇn quan t©m khi sö dông c¶m biÕn lo¹i nµy ®ã lµ ph¶n øng cña c¶m biÕn thø cÊp ®èi víi chuyÓn ®éng cña khèi l−îng rung thÓ hiÖn th«ng qua ph¶n lùc f = B.12. C¶m biÕn ®o tèc ®é rung S¬ ®å c¶m biÕn ®o tèc ®é rung tr×nh bµy trªn h×nh 7.2. ®¹i l−îng ®o thø cÊp m2 lµ dÞch chuyÓn t−¬ng ®èi z.l.

vµ toµn bé ®−îc ®Æt trong mét vá hép kÝn. nh¹y víi øng lùc cña ®Õ. Th«ng th−êng cÇn ph¶i ®o gia tèc theo hai h−íng däc theo trôc nh¹y c¶m. kÕt cÊu ch¾c ch¾n. Gi¶ thiÕt bá qua trë kh¸ng cña cuén d©y Lω. Gia tèc kÕ ¸p ®iÖn a) CÊu t¹o vµ nguyªn lý ho¹t ®éng CÊu t¹o chung cña gia tèc kÕ ¸p ®iÖn gåm mét khèi l−îng rung M vµ mét phÇn tö ¸p ®iÖn ®Æt trªn gi¸ ®ì cøng. C¶m biÕn lo¹i nµy cho ®é nh¹y rÊt cao nh−ng tÇn sè vµ gia tèc rung ®o ®−îc bÞ h¹n chÕ. . PhÇn tö ¸p ®iÖn cña c¶m biÕn gåm hai phiÕn ¸p ®iÖn máng d¸n víi nhau. Tuú thuéc vµo b¶n chÊt lùc t¸c dông (nÐn. S¬ ®å cÊu t¹o cña gia tèc kÕ kiÓu uèn cong tr×nh bµy trªn h×nh 7. mét ®Çu g¾n víi khèi l−îng rung.3. mét ®Çu g¾n cè ®Þnh lªn vá hép c¶m biÕn.14. 7.2. lµm thay ®æi hÖ sè t¾t dÇn cña chuyÓn ®éng. kÐo hoÆc c¾t) trong bé c¶m biÕn ph¶i cã bé phËn c¬ khÝ t¹o øng lùc c¬ häc ®Æt tr−íc lªn phÇn tö ¸p ®iÖn ®Ó më réng d¶i ®o gia tèc theo hai chiÒu. 5 3 1 2 4 H×nh 7.122 - .13 tr×nh bµy s¬ ®å cÊu t¹o cña c¸c gia tèc kÕ ¸p ®iÖn kiÓu nÐn.B.13 S¬ ®å cÊu t¹o gia tèc kÕ ¸p ®iÖn kiÓu nÐn 1) Khèi l−îng rung 2) PhiÕn ¸p ®iÖn 3) §ai èc 4) §Õ 5) Vá hép C¶m biÕn lo¹i nµy cã tÇn sè céng h−ëng cao. Trªn h×nh 7. khi ®ã ph¶n lùc f tØ lÖ víi tèc ®é t−¬ng ®èi: f = (Bl ) 2 1 dz R dt Lùc nµy chèng l¹i chuyÓn ®éng cña khèi l−îng rung.

3 2 M 1 H×nh 7.®é nh¹y ®iÖn cña c¶m biÕn. S1 .4.14 S¬ ®å cÊu t¹o gia tèc kÕ ¸p ®iÖn kiÓu uèn cong 1) Khèi l−îng rung 2) PhiÕn ¸p ®iÖn 3) Vá hép b) §Æc tr−ng cña c¶m biÕn §é nh¹y ®−îc biÓu diÔn bëi biÓu thøc: S= Trong ®ã: a . c . Gia tèc kÕ ¸p trë CÊu t¹o chung cña mét gia tèc kÕ ¸p trë gåm mét tÊm máng ®µn håi mét ®Çu g¾n víi gi¸ ®ì.123 - .2.h»ng sè ®iÖn m«i.m¹ch ®o. Gi¸ trÞ cña S1 vµ S2 x¸c ®Þnh nh− sau: S1 = z = a 1 2 ω0 Q = S 1S 2 a ⎛ ω2 ⎞ ⎛ ⎞ ⎜1 − ⎟ + ⎜ 2ξ ω ⎟ 2 ⎟ ⎜ ⎜ ω ω0 ⎟ ⎠ 0 ⎠ ⎝ ⎝ 1 ⎛ω ⎞ 1+ ⎜ 0 ⎟ ⎝ ω⎠ 2 2 S2 = Q = dC z Trong ®ã: d .tÇn sè t¾t d−íi cña hÖ thèng c¶m biÕn .®é cøng cña phÇn tö nh¹y c¶m.®iÖn tÝch ®−îc t¹o ra khi c¶m biÕn rung víi gia tèc a.®é nh¹y c¬ cña hÖ thèng khèi l−îng rung. Q . trªn ®ã cã g¾n tõ 2 ®Õn 4 ¸p trë . S2 . mét ®Çu g¾n víi khèi l−îng rung. τ 7. ω= 1 .gia tèc cña c¶m biÕn.

.124 - .15 S¬ ®å nguyªn lý cña c¶m biÕn gia tèc ¸p trë 1) Khèi rung 2) TÊm ®µn håi 3) ¸p trë 4) §Õ §é nh¹y cña c¶m biÕn ®−îc biÓu diÔn b»ng biÓu thøc: ε V S = S 1S 2 = . K . Trªn h×nh 7.15: .®iÖn trë mét ®Çu ®o.§é nh¹y c¬ S1 cña hÖ thèng c¬ khÝ x¸c ®Þnh theo biÓu thøc: S1 = A 2 ω0 1 ⎛ ω2 ⎞ ⎞ ⎛ ⎜1 − ⎟ + ⎜ 2ξ ω ⎟ ⎜ ω ⎟ 2 ⎟ ⎜ ω 0 ⎠ ⎝ 0 ⎠ ⎝ 2 Gi¸ trÞ cña A vµ ω0 phô thuéc vµo kÕt cÊu cña hÖ chÞu uèn. 3 2 M G 1 F e b L 4 H×nh 7.m¾c trong mét m¹ch cÇu Wheatstone. D−íi t¸c dông cña gia tèc. g©y nªn biÕn d¹ng trong ®Çu ®o mét c¸ch trùc tiÕp hoÆc gi¸n tiÕp qua bé khuÕch ®¹i c¬. vÝ dô víi c¶m biÕn cho ë h×nh 7.hÖ sè ®Çu ®o ¸p trë.15 V). tÊm ®µn håi bÞ uèn cong. R .§é nh¹y ®iÖn cña cÇu Wheatstone S1: v× 4 ®Çu ®o ®Òu cã cïng mét biÕn d¹ng ε nªn ®iÖn ¸p ra Vm cña ®Çu ®o b»ng: Vm = e s ∆R = e s Kε R Suy ra: S 2 = Ke s Trong ®ã: es .®iÖn ¸p nu«i cÇu (10 .15 giíi thiÖu s¬ ®å nguyªn lý cña mét c¶m biÕn gia tèc ¸p trë. m a ε .

125 - .ω0 = A = 1. .5 Yle 3 4 L3 M be L3 Trong ®ã Y lµ m«®un Young.

02 mmHg 0.126 - .1) §èi víi c¸c chÊt láng.Ch−¬ng VIII C¶m biÕn ®o ¸p suÊt CHÊT l−u 8.013 9.013.987 0.1.3 100 bar (b) 10-5 1 0.02.36.104 104 1. Trong hÖ ®¬n vÞ quèc tÕ (SI) ®¬n vÞ ¸p suÊt lµ pascal (Pa): 1 Pa lµ ¸p suÊt t¹o bëi mét lùc cã ®é lín b»ng 1N ph©n bè ®ång ®Òu trªn mét diÖn tÝch 1m2 theo h−íng ph¸p tuyÕn.02.0735 1 0.1 §¬n vÞ ¸p suÊt 1Pascal 1 bar 1 kg/cm2 1 atm 1mmH2O 1mmHg 1mbar pascal (Pa) 1 105 9.10-1 1.10-5 13. ¸p suÊt vµ ®¬n vÞ ®o ¸p suÊt lµ ®¹i l−îng cã gi¸ trÞ b»ng tØ sè gi÷a lùc t¸c dông vu«ng gãc lªn mét mÆt víi diÖn tÝch cña nã: p= dF ds (8.10-3 1.1.1 tr×nh bµy c¸c ®¬n vÞ ®o ¸p suÊt vµ hÖ sè chuyÓn ®æi gi÷a chóng. Trong c«ng nghiÖp.104 1. ¸p suÊt vµ nguyªn lý ®o ¸p suÊt 8.987.750 mbar 10-2 103 9.33.75.10-2 750 735 760 0.033.987.315.103 0. B¶ng 8. viÖc ®o ¸p suÊt chÊt l−u cã ý nghÜa rÊt lín trong viÖc ®¶m b¶o an toµn cho thiÕt bÞ còng nh− gióp cho viÖc kiÓm tra vµ ®iÒu khiÓn ho¹t ®éng cña m¸y mãc thiÕt bÞ cã sö dông chÊt l−u.10-4 10-3 kg/cm2 1.098 1.8 133.80.104 1 136 1. §¬n vÞ Pa t−¬ng ®èi nhá nªn trong c«ng nghiÖp ng−êi ta cßn dïng ®¬n vÞ ¸p suÊt lµ bar (1 bar = 105 Pa) vµ mét sè ®¬n vÞ kh¸c.102 1.980 1.02 1 1.10-4 1.10-5 0. B¶ng 8.1.02. khÝ hoÆc h¬i (gäi chung lµ chÊt l−u).986 1 0.968.8.10-3 0.10-3 mmH2O 1.013.33 1 .10-5 1.02.105 9. ¸p suÊt lµ mét th«ng sè quan träng x¸c ®Þnh tr¹ng th¸i nhiÖt ®éng häc cña chóng.8.033 10-3 1.10-3 atmotsphe (atm) 0.

g.4) ¸p suÊt tÜnh t−¬ng øng víi ¸p suÊt g©y nªn khi chÊt láng kh«ng chuyÓn ®éng. . §Ó ®o ¸p suÊt tÜnh cã thÓ tiÕn hµnh b»ng c¸c ph−¬ng ph¸p sau: . Khi sö dông vËt trung gian ®Ó ®o ¸p suÊt. ng−êi ta g¾n lªn thµnh b×nh c¸c c¶m biÕn ®o øng suÊt ®Ó ®o biÕn d¹ng cña thµnh b×nh. §èi víi chÊt l−u kh«ng chuyÓn ®éng chøa trong mét èng hë ®Æt th¼ng ®øng.5) .¸p suÊt khÝ quyÓn.2) Do vËy ®o ¸p suÊt chÊt l−u thùc chÊt lµ x¸c ®Þnh lùc t¸c dông lªn mét diÖn tÝch thµnh b×nh. Trong tr−êng hîp nµy.§o ¸p suÊt chÊt l−u lÊy qua mét lç ®−îc khoan trªn thµnh b×nh nhê c¶m biÕn thÝch hîp. ®−îc ®o b»ng mét trong c¸c ph−¬ng ph¸p tr×nh bµy ë trªn.127 - (8.khèi l−îng riªng chÊt l−u. ¸p suÊt tÜnh t¹i mét ®iÓm M c¸ch bÒ mÆt tù do mét kho¶ng (h) x¸c ®Þnh theo c«ng thøc sau: p = p 0 + ρgh (8. BiÕn d¹ng nµy lµ hµm cña ¸p suÊt. Nguyªn lý ®o ¸p suÊt §èi víi chÊt l−u kh«ng chuyÓn ®éng. ¸p suÊt chÊt l−u (p) lµ tæng ¸p suÊt tÜnh (pt) vµ ¸p suÊt ®éng (p®) : p = pt + pd (8. ¸p suÊt chÊt l−u lµ ¸p suÊt tÜnh (pt): p = pt (8. thÓ tÝch chÕt cña kªnh dÉn vµ c¶m biÕn ph¶i kh«ng ®¸ng kÓ so víi thÓ tÝch tæng céng cña chÊt l−u cÇn ®o ¸p suÊt.gia tèc träng tr−êng.3) Trong ®ã: p0 . §èi víi chÊt l−u chuyÓn ®éng.1. ¸p suÊt cÇn ®o ®−îc c©n b»ng víi ¸p suÊt thuû tØnh do cét chÊt láng mÉu t¹o nªn hoÆc t¸c ®éng lªn mét vËt trung gian cã phÇn tö nh¹y c¶m víi lùc do ¸p suÊt g©y ra. ph¶i sö dông mét c¶m biÕn ®Æt s¸t thµnh b×nh. Trong c¸ch ®o thø nhÊt. Trong c¸ch ®o thø hai. ¸p suÊt ®éng do chÊt l−u chuyÓn ®éng g©y nªn vµ cã gi¸ trÞ tØ lÖ víi b×nh ph−¬ng vËn tèc chÊt l−u: pd = ρv 2 2 .8. §Ó sai sè ®o nhá.2. ρ .§o trùc tiÕp biÕn d¹ng cña thµnh b×nh do ¸p suÊt g©y nªn. c¶m biÕn th−êng trang bÞ thªm bé phËn chuyÓn ®æi ®iÖn.

¸p kÕ vi sai dùa trªn nguyªn t¾c c©n b»ng thuû tÜnh Nguyªn lý chung cña ph−¬ng ph¸p dùa trªn nguyªn t¾c c©n b»ng ¸p suÊt chÊt l−u víi ¸p suÊt thuû tÜnh cña chÊt láng lµm viÖc trong ¸p kÕ.3). ta cã: p1 − p 2 = g(ρ m − ρ )(h1 + h 2 ) . ¸p kÕ vi sai kiÓu phao ¸p kÕ vi sai kiÓu phao gåm hai b×nh th«ng nhau. nh− vËy tÝn hiÖu do c¶m biÕn cung cÊp chÝnh lµ chªnh lÖch gi÷a ¸p suÊt tæng vµ ¸p suÊt tÜnh.1. Khi dßng ch¶y va ®Ëp vu«ng gãc víi mét mÆt ph¼ng. 8. Khi ®o. Th«ng th−êng viÖc ®o hiÖu (p .2). ¸p suÊt ®éng ®−îc ®o th«ng qua ®o chªnh lÖch gi÷a ¸p suÊt tæng vµ ¸p suÊt tÜnh.1 §o ¸p suÊt ®éng b»ng èng Pitot Cã thÓ ®o ¸p suÊt ®éng b»ng c¸ch ®Æt ¸p suÊt tæng lªn mÆt tr−íc vµ ¸p suÊt tÜnh lªn mÆt sau cña mét mµng ®o (h×nh 8.2 §o ¸p suÊt ®éng b»ng mµng 1) Mµng ®o 2) PhÇn tö ¸p ®iÖn 8. ¸p suÊt t¸c dông lªn mÆt ph¼ng lµ ¸p suÊt tæng. b×nh lín cã tiÕt diÖn F vµ b×nh nhá cã tiÕt diÖn f (h×nh 8.Trong ®ã ρ lµ khèi l−îng riªng chÊt l−u.2.pt) thùc hiÖn nhê hai c¶m biÕn nèi víi hai ®Çu ra cña mét èng Pitot. ¸p suÊt lín (p1) ®−îc ®−a vµo b×nh lín.2. trong ®ã c¶m biÕn (1) ®o ¸p suÊt tæng cßn c¶m biÕn (2) ®o ¸p suÊt tÜnh. Do vËy. 1 p 2 pt H×nh 8. Khi ®¹t sù c©n b»ng ¸p suÊt. §Ó tr¸nh chÊt láng lµm viÖc phun ra ngoµi khi cho ¸p suÊt t¸c ®éng vÒ mét phÝa ng−êi ta më van (4) vµ khi ¸p suÊt hai bªn c©n b»ng van (4) ®−îc kho¸ l¹i. ¸p suÊt ®éng chuyÓn thµnh ¸p suÊt tÜnh.128 - . c¶m biÕn 2 c¶m biÕn 1 H×nh 8. ChÊt láng lµm viÖc lµ thuû ng©n hay dÇu biÕn ¸p. ¸p suÊt bÐ (p2) ®−îc ®−a vµo b×nh nhá.

träng l−îng riªng cña chÊt láng lµm viÖc.4 ¸p kÕ vi sai kiÓu chu«ng 1) Chu«ng 2) B×nh chøa 3) ChØ thÞ . 8. phao cña ¸p kÕ dÞch chuyÓn vµ qua c¬ cÊu liªn kÕt lµm quay kim chØ thÞ trªn ®ång hå ®o.129 - . 3 3 p2 A B 2 1 dx dy p1 p2 dH p1 a) b) H×nh 8. MÆt kh¸c tõ c©n b»ng thÓ tÝch ta cã: F.6) (1 + F / f )(ρ m − ρ)g 1 2 Khi møc chÊt láng trong b×nh lín thay ®æi (h1 thay ®æi). ¸p kÕ vi sai kiÓu chu«ng CÊu t¹o cña ¸p kÕ vi sai kiÓu chu«ng gåm chu«ng (1) nhóng trong chÊt láng lµm viÖc chøa trong b×nh (2). ρ .h1 = f .h 2 p1 5 p2 6 4 Suy ra: h1 = 1 . ¸p kÕ vi sai kiÓu phao ¸p kÕ vi sai kiÓu phao dïng ®Ó ®o ¸p suÊt tÜnh kh«ng lín h¬n 25MPa. Khi thay ®æi tØ sè F/f (b»ng c¸ch thay èng nhá) ta cã thÓ thay ®æi ®−îc ph¹m vi ®o. ρm . BiÓu thøc (8. 1.2.5) nh−ng chøa chÊt láng ®éc h¹i mµ khi ¸p suÊt thay ®æi ®ét ngét cã thÓ ¶nh h−ëng ®Õn ®èi t−îng ®o vµ m«i tr−êng.6) lµ ph−¬ng tr×nh ®Æc tÝnh tÜnh cña ¸p kÕ vi sai kiÓu phao.2.3. 3 2 1 7 h2 h1 H×nh 8. CÊp chÝnh x¸c cña ¸p suÊt kÕ lo¹i nµy cao (1.träng l−îng riªng cña chÊt láng hoÆc khÝ cÇn ®o.gia tèc träng tr−êng.Trong ®ã: g .(p − p ) (8.

®é dÞch chuyÓn cña møc chÊt láng ngoµi chu«ng.diÖn tÝch tiÕt diÖn trong cña chu«ng.8) d(p1 − p 2 ) = dh(ρ m − ρ )g fdy = ∆f . khi cã biÕn thiªn ®é chªnh ¸p d(p1-p2) >0 th× chu«ng ®−îc n©ng lªn (h×nh 8.®é dÞch chuyÓn cña møc chÊt láng trong chu«ng. C¶m biÕn ¸p suÊt dùa trªn phÐp ®o biÕn d¹ng Nguyªn lý chung cña c¶m biÕn ¸p suÊt lo¹i nµy dùa trªn c¬ së sù biÕn d¹ng ®µn håi cña phÇn tö nh¹y c¶m víi t¸c dông cña ¸p suÊt.tiÕt diÖn ngoµi cña chu«ng. ∆f . Khi ®¹t c©n b»ng ta cã: d(p1 − p 2 ). dy .Khi ¸p suÊt trong buång (A) vµ (B) b»ng nhau th× n¾p chu«ng (1) ë vÞ trÝ c©n b»ng (h×nh8.130 - . dh .4a). Φ .4b). C¸c phÇn tö biÕn d¹ng th−êng dïng lµ èng trô.g(ρ m − ρ ) LÊy tÝch ph©n giíi h¹n tõ 0 ®Õn (p1 .9) ¸p kÕ vi sai cã ®é chÝnh x¸c cao cã thÓ ®o ®−îc ¸p suÊt thÊp vµ ¸p suÊt ch©n kh«ng. dx . .F = (dH + dy )∆f .diÖn tÝch tiÕt diÖn trong cña b×nh lín. f .chªnh lÖch møc chÊt láng ë ngoµi vµ trong chu«ng. dH .®é di chuyÓn cña chu«ng.dH + (Φ − F )dx Trong ®ã: F .3.g(ρ m − ρ ) Víi: dh = dx + dy (8.diÖn tÝch tiÕt diÖn thµnh chu«ng. 8. Gi¶i c¸c ph−¬ng tr×nh trªn ta cã: dH = f d(p1 − p 2 ) ∆f . lß xo èng.g(ρ m − ρ) (8. xi ph«ng vµ mµng máng.p2) nhËn ®−îc ph−¬ng tr×nh ®Æc tÝnh tÜnh cña ¸p kÕ vi sai kiÓu chu«ng: H= f (p1 − p 2 ) ∆f .

ν . mét ®Çu bÞt kÝn. èng cã d¹ng h×nh trô. e . ¸p suÊt t¸c dông lªn thµnh èng lµm cho èng bÞ biÕn d¹ng vµ ®Çu tù do dÞch chuyÓn.3. Y .1.hÖ sè poisson. PhÇn tö biÕn d¹ng a) èng trô S¬ ®å cÊu t¹o cña phÇn tö biÕn d¹ng h×nh èng trô tr×nh bµy trªn h×nh 8. r . khi ¸p suÊt chÊt l−u t¸c ®éng lªn thµnh èng lµm cho èng biÕn d¹ng.chiÒu dµy thµnh èng. b) Lß xo èng CÊu t¹o cña c¸c lß xo èng dïng trong c¶m biÕn ¸p suÊt tr×nh bµy trªn h×nh 8. biÕn d¹ng ngang (ε1) vµ biÕn d¹ng däc (ε2) cña èng x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc: ⎛ ν⎞ p r ε1 = ⎜ 1 − ⎟ = k1p ⎝ 2⎠Y e ⎛1 ⎞p r ε1 = ⎜ − ν ⎟ = k2p ⎝2 ⎠Y e Trong ®ã: p .5 PhÇn tö biÕn d¹ng kiÓu èng h×nh trô a) S¬ ®å cÊu t¹o b) VÞ trÝ g¾n c¶m biÕn §èi víi èng dµi (L>>r).¸p suÊt.b¸n kÝnh trong cña èng. e ε1 J1 J2 J4 J3 ε2 a) r b) H×nh 8. thµnh máng.5.131 - . mét ®Çu gi÷ cè ®Þnh cßn mét ®Çu ®Ó tù do. §Ó chuyÓn tÝn hiÖu c¬ (biÕn d¹ng) thµnh tÝn hiÖu ®iÖn ng−êi ta dïng bé chuyÓn ®æi ®iÖn (thÝ dô c¶m biÕn lùc).m« ®un Young.6.8. Lß xo lµ mét èng kim lo¹i uèn cong. Khi ®−a chÊt l−u vµo trong èng. ®−îc chÕ t¹o b»ng kim lo¹i. .

tiÕt diÖn ngang cña èng h×nh tr¸i xoan. D−íi t¸c dông cña ¸p suÊt d− trong èng. x = Rh/a2 .Trªn h×nh (8.6a) lµ s¬ ®å lß xo èng mét vßng. Lùc thµnh phÇn theo h−íng tiÕp tuyÕn víi trôc èng (èng thµnh máng h/b = 0.bÒ dµy thµnh èng.hÖ sè poisson. a. h . R . N1 N A 2b 2a p p a) b) c) γ Nr R A H×nh 8. cos γ = k 1 p ⎝ ⎠ (8.10) Trong ®ã: ν .c¸c b¸n trôc cña tiÕt diÖn «van. Y bh ⎛ b2 ⎜1 − ⎜ a2 ⎝ ⎞ α ⎟ ⎟ β + x2 ⎠ (8.b¸n kÝnh cong.m« ®un Young. .6 . 3γ − 4 sin γ + sin γ. cos γ = k 2 p ⎝ ⎠ (8. cßn d−íi t¸c dông cña ¸p suÊt thÊp nã sÏ co l¹i. β . lß xo sÏ gi·n ra.0. 2 ⎜ a ⎟ ε + x γ − sin γ.12) Trong ®ã s vµ ε c¸c hÖ sè phô thuéc vµo tØ sè b/a.c¸c hÖ sè phô thuéc vµo h×nh d¸ng tiÕt diÖn ngang cña èng.11) Lùc h−íng kÝnh: ⎛ b 2 ⎞ 48s γ − cos γ N r = pab⎜1 − 2 ⎟ . Y .132 - . b .tham sè chÝnh cña èng.6 Lß xo èng §èi víi c¸c lß xo èng thµnh máng biÕn thiªn gãc ë t©m (γ) d−íi t¸c dông cña ¸p suÊt (p) x¸c ®Þnh bëi c«ng thøc: ∆γ = pγ 1 − ν2 R2 .7) ë ®Çu tù do x¸c ®Þnh theo theo biÓu thøc: ⎛ b 2 ⎞ 48s γ − sin γ N t = pab⎜1 − 2 ⎟ ⎜ a ⎟ ε + x 2 . α.

§èi víi lß xo èng d¹ng vßng th−êng ph¶i sö dông thªm c¸c c¬ cÊu truyÒn ®éng ®Ó t¨ng gãc quay. γ ) .p = kp 2 2 Víi k = k 1 + k 2 = f(a.7.60o. tØ sè gi÷a lùc t¸c dông vµ biÕn d¹ng cña xiph«ng lµ kh«ng ®æi vµ ®−îc gäi lµ ®é cøng cña xiph«ng.6b).100mm. γ ta cã thÓ thay ®æi ®−îc gi¸ trÞ cña ∆γ . k2 lµ h»ng sè ®èi víi mçi lß xo èng nªn ta cã thÓ viÕt ®−îc biÓu thøc x¸c ®Þnh lùc tæng hîp: 2 N = k 1 + k 2 . R. b. chiÒu dµy thµnh 0. h. cßn trªn 1. ®Ó t¨ng gãc quay ng−êi ta dïng lß xo èng nhiÒu vßng cã cÊu t¹o nh− h×nh (8. c) Xiph«ng CÊu t¹o cña xiph«ng tr×nh bµy trªn h×nh 8.1 0.6c. do ®ã kim chØ thÞ cã thÓ g¾n trùc tiÕp trªn ®Çu tù do cña lß xo.Gi¸ trÞ cña k1. p r α 2Rb 2Rng H×nh 8.3 mm. thÐp hîp kim . hîp kim nhÑ hoÆc thÐp d−íi 1. §Ó t¨ng ®é cøng th−êng ng−êi ta ®Æt thªm vµo trong èng mét lß xo..000 MPa.13) B»ng c¸ch thay ®æi tØ sè a/b vµ gi¸ trÞ cña R. §Ó t¹o ra gãc quay lín ng−êi ta dïng lß xo xo¾n cã tiÕt diÖn « van hoÆc h×nh r¨ng khÝa nh− h×nh 8. gãc quay th−êng tõ 40 . Lß xo èng mét vßng cã gãc quay nhá. §−êng kÝnh xiph«ng tõ 8 . h.. Lß xo èng chÕ t¹o b»ng ®ång thau cã thÓ ®o ¸p suÊt d−íi 5 MPa. 2 (8. VËt liÖu chÕ t¹o lµ ®ång.133 - .7 S¬ ®å cÊu t¹o èng xiph«ng èng xiph«ng lµ mét èng h×nh trô xÕp nÕp cã kh¶ n¨ng biÕn d¹ng ®¸ng kÓ d−íi t¸c dông cña ¸p suÊt. thÐp cacbon. §é dÞch chuyÓn (δ) cña ®¸y d−íi t¸c dông cña lùc chiÒu trôc (N) x¸c ®Þnh theo c«ng thøc: .000 MPa ph¶i dïng thÐp giã. N vµ ®é nh¹y cña phÐp ®o. Trong giíi h¹n tuyÕn tÝnh.

14) Trong ®ã: h0 .15) d) Mµng Mµng dïng ®Ó ®o ¸p suÊt ®−îc chia ra mµng ®µn håi vµ mµng dÎo. A1. B0 .hÖ sè poisson. do ®ã th−êng chØ sö dông trong mét ph¹m vi hÑp cña ®é dÞch chuyÓn cña mµng. ν .δ = N.134 - . D D p h p H×nh 8.sè nÕp lµm viÖc.8 S¬ ®å mµng ®o ¸p suÊt Khi ¸p suÊt t¸c dông lªn hai mÆt cña mµng kh¸c nhau g©y ra lùc t¸c ®éng lªn mµng lµm cho nã biÕn d¹ng. Lùc chiÒu trôc t¸c dông lªn ®¸y x¸c ®Þnh theo c«ng thøc: N= π (R ng +R tr )2 ∆p 5 (8.b¸n kÝnh ngoµi vµ b¸n kÝnh trong cña xi ph«ng.chiÒu dµy thµnh èng xiph«ng. ®é phi tuyÕn kh¸ lín khi ®é vâng lín.c¸c hÖ sè phô thuéc Rng/Rtr. Víi mµng ph¼ng. α . r . BiÕn d¹ng cña mµng lµ hµm phi tuyÕn cña ¸p suÊt vµ kh¸c nhau tuú thuéc ®iÓm kh¶o s¸t. §é vâng cña t©m mµng ph¼ng d−íi t¸c dông cña ¸p suÊt t¸c dông lªn mµng x¸c ®Þnh theo c«ng thøc sau: δ= 3 pR 4 1 − ν2 16 Yh 3 ( ) (8. r/R+r. 1 − ν2 n − 2 Yh 0 A 0 − αA 1 + α A 2 + B 0 h / R 2 b (8.b¸n kÝnh cong cña nÕp uèn. n . Mµng ®µn håi cã d¹ng trßn ph¼ng hoÆc cã uèn nÕp ®−îc chÕ t¹o b»ng thÐp. A0.16) . Rtr .gãc bÞt kÝn. Rng.

H×nh 8.p 12 (8.3.. 8.20) Víi D lµ ®−êng kÝnh mµng. d lµ d−êng kÝnh ®Üa cøng. Khi ®o ¸p suÊt nhá ng−êi ta dïng mµng dÎo h×nh trßn ph¼ng hoÆc uèn nÕp. Trong mét sè tr−êng hîp ng−êi ta dïng mµng dÎo cã t©m cøng. §é vâng cña t©m mµng uèn nÕp x¸c ®Þnh theo c«ng thøc: a= δ bδ 3 pR 4 + = h h3 Yh 4 (8. b lµ c¸c hÖ sè phô thuéc h×nh d¹ng vµ bÒ dµy cña mµng.17) Víi a. ®iÖn dung. biÕn ¸p vi sai. lùc di chuyÓn t¹o nªn ë t©m mµng x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc: N= π D 2 + Dd + d 2 .. ®iÖn trë. khi ®ã ë t©m mµng ®−îc kÑp cøng gi÷a hai tÊm kim lo¹i. lùc di chuyÓn t¹o nªn ë t©m mµng x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc: πD 2 N= .Mµng uèn nÕp cã ®Æc tÝnh phi tuyÕn nhá h¬n mµng ph¼ng nªn cã thÓ sö dông víi ®é vâng lín h¬n mµng ph¼ng.p 12 Víi D lµ ®−êng kÝnh æ ®ì mµng. C¸c bé chuyÓn ®æi ®iÖn Khi sö dông c¶m biÕn ®o ¸p suÊt b»ng phÇn tö biÕn d¹ng. chÕ t¹o tõ v¶i cao su.2. .19) ( ) (8. ®Ó chuyÓn ®æi tÝn hiÖu c¬ trung gian thµnh tÝn hiÖu ®iÖn ng−êi ta dïng c¸c bé chuyÓn ®æi. §èi víi mµng dÎo t©m cøng.135 - . C¸c chuyÓn ®æi lo¹i nµy th−êng dïng lµ: cuén c¶m. Theo c¸ch chuyÓn ®æi ng−êi ta chia c¸c bé chuyÓn ®æi thµnh hai lo¹i: BiÕn ®æi sù dÞch chuyÓn cña phÇn tö biÕn d¹ng thµnh tÝn hiÖu ®o.9 S¬ ®å cÊu t¹o mµng dÎo cã t©m cøng §èi víi mµng dÎo th−êng.

µ 0 S0 kp (8. .10 Bé chuyÓn ®æi kiÓu c¶m øng 1) TÊm s¾t tõ 2) Lâi s¾t tõ 3) Cuén d©y W2 L= l tb / (µS tb ) + δ / (µ 0 S 0 ) Trong ®ã: W . (8.µ 0 S0 δ Víi δ = kp.®é tõ thÈm cña lâi tõ vµ kh«ng khÝ. NÕu bá qua ®iÖn trë cuén d©y. D−íi t¸c dông cña ¸p suÊt ®o. mµng (1) dÞch chuyÓn lµm thay ®æi khe hë tõ (δ) gi÷a tÊm s¾t tõ vµ lâi tõ cña nam ch©m ®iÖn. µ.22) §Ó ®o ®é tù c¶m L ng−êi ta dïng cÇu ®o xoay chiÒu hoÆc m¹ch céng h−ëng LC. ltb. δ. ta cã ph−¬ng tr×nh ®Æc tÝnh tÜnh cña c¶m biÕn ¸p suÊt dïng bé biÕn ®æi c¶m øng: L = W 2 .- BiÕn ®æi øng suÊt thµnh tÝn hiÖu ®o. a) Bé biÕn ®æi ®o ¸p suÊt kiÓu ®iÖn c¶m CÊu t¹o cña bé chuyÓn ®æi kiÓu ®iÖn c¶m biÓu diÔn trªn h×nh 8.136 - . do ®ã thay ®æi ®é tù c¶m cña cuén d©y.10.chiÒu dµi vµ tiÕt diÖn khe hë kh«ng khÝ . S0 . do ®ã cã thÓ tÝnh L theo c«ng thøc gÇn ®óng: L = W 2 . tõ th«ng t¶n vµ tæn hao trong lâi tõ th× ®é tù c¶m cña bé biÕn ®æi x¸c ®Þnh bëi c«ng thøc sau: δ p 1 2 3 H×nh 8. Stb: chiÒu dµi vµ diÖn tÝch trung b×nh cña lâi tõ.21) Th«ng th−êng ltb/(µStb) << δ/(µ0S0). Bé chuyÓn ®æi gåm tÊm s¾t tõ ®éng g¾n trªn mµng (1) vµ nam ch©m ®iÖn cã lâi s¾t (2) vµ cuén d©y (3). µ0 . C¸c bé chuyÓn ®æi lµ c¸c phÇn tö ¸p ®iÖn hoÆc ¸p trë.sè vßng d©y cña cuén d©y.

23) §èi víi phÇn tö biÕn ®æi chuÈn cã ®iÖn trë cöa ra R1 vµ R2 th× ®iÖn ¸p ra cña bé biÕn (8. Hai nöa cuén d©y ®Êu ng−îc chiÒu nhau. PhÇn tö biÕn ®æi gåm mét khung c¸ch ®iÖn trªn ®ã quÊn cuén s¬ cÊp (7).I1M 2 Trong ®ã M1 vµ M2 lµ hç c¶m gi÷a cuén s¬ cÊp vµ c¸c nöa cuén thø cÊp.I1M1 e 2 = 2 πf . lµm xuÊt hiÖn trong hai nöa cuén d©y nµy c¸c suÊt ®iÖn ®éng c¶m øng e1 vµ e2: e1 = 2 πf .b) Bé biÕn ®æi kiÓu biÕn ¸p vi sai Bé biÕn ®æi ¸p suÊt kiÓu biÕn ¸p vi sai (h×nh 8. Lâi thÐp di ®éng nèi víi lß xo (1).11 S¬ ®å cÊu t¹o nguyªn lý cña bé biÕn ®æi kiÓu biÕn ¸p vi sai 1) Lß xo vßng 2) PhÇn tö biÕn ®æi 3&4) Cuén thø cÊp 5) Lâi thÐp 6) Cuén s¬ cÊp Nguyªn lý lµm viÖc: dßng ®iÖn I1 ch¹y trong cuén s¬ cÊp sinh ra tõ th«ng biÕn thiªn trong hai nöa cuén thø cÊp. Cuén thø cÊp gåm hai cuén d©y (4) vµ (5) quÊn ng−îc chiÒu nhau. .11) gåm mét lß xo vßng (1) vµ phÇn tö biÕn ®æi (2). §Çu ra cña cuén thø cÊp nèi víi ®iÖn trë R1. cho phÐp ®iÒu chØnh giíi h¹n ®o trong ph¹m vi ±25%.24) Trong ®ã Mmax lµ hç c¶m lín nhÊt cña cuén s¬ cÊp vµ cuén thø cÊp øng víi ®é dÞch chuyÓn lín nhÊt cña lâi thÐp. 1 2 3 I1 R1 E p 5 4 R2 Ur 6 H×nh 8.137 - . do ®ã suÊt ®iÖn ®éng trong cuén thø cÊp: E = e1 − e 2 = 2πfI1 (M1 − M 2 ) = 2πfI1M ®æi x¸c ®Þnh bëi c«ng thøc: Vra = 2 πfI1M ra Gi¸ trÞ hç c¶m Mra phô thuéc ®é dÞch chuyÓn cña lâi thÐp: M ra = M max δ δ max (8.

12b lµ mét bé biÕn ®æi ®iÖn dung kiÓu vi sai gåm hai b¶n cùc tÜnh (2) vµ (3) g¾n víi chÊt ®iÖn m«i cøng (4). lµm mµng dÞch chuyÓn gi÷a hai b¶n cùc tÜnh vµ t¹o ra tÝn hiÖu im (cung cÊp bëi nguån nu«i) tØ lÖ víi ¸p suÊt gi÷a hai m«i tr−êng: i m = K1 C1 − C 2 = K( p1 − p 2 ) C1 + C 2 s δ + δ0 (8.12 Bé chuyÓn ®æi kiÓu ®iÖn dung 1) B¶n cùc ®éng 2&3) B¶n cùc tÜnh 4) C¸ch diÖn 4) DÇu silicon H×nh 8. δ0 .138 - . C¸c ¸p suÊt p1 vµ p2 cña hai m«i tr−êng ®o t¸c ®éng lªn mµng.23) vµ (8. t×m ®−îc ®iÖn ¸p ra cña bé biÕn ®æi: Vra = 2πfI1M max δ δ max (8. vµ b¶n cùc tÜnh (2) g¾n víi ®Õ b»ng c¸ch ®iÖn th¹ch anh (4).kho¶ng c¸ch gi÷a c¸c ®iÖn cùc khi ¸p suÊt b»ng 0.27) .®é dÞch chuyÓn cña mµng.26) (8. Sù phô thuéc cña ®iÖn dung C vµo ®é dÞch chuyÓn cña mµng cã d¹ng: C=ε Trong ®ã: ε . δ .25) c) Bé biÕn ®æi kiÓu ®iÖn dung S¬ ®å c¶m biÕn kiÓu ®iÖn dung tr×nh bµy trªn h×nh 8.Tõ ph−¬ng tr×nh (8.12a tr×nh bµy cÊu t¹o mét bé biÕn ®æi kiÓu ®iÖn dung gåm b¶n cùc ®éng lµ mµng kim lo¹i (1).24).h»ng sè ®iÖn m«i cña c¸ch ®iÖn gi÷a hai b¶n cùc. Kho¶ng trèng gi÷a c¸c b¶n cùc vµ mµng ®iÒn ®Çy bëi dÇu silicon (5).12 2 4 1 2 p1 3 1 p2 4 p a) 5 b) H×nh 8. H×nh 8. kÕt hîp víi mµng (1) n»m gi÷a hai b¶n cùc ®Ó t¹o thµnh hai tô ®iÖn C12 vµ C13.

139 - . 3 R1 R3 R2 2 1 JT R4 60o a) b) H×nh 8.13b lµ tr−êng hîp mµng ®Þnh h−íng (100) cã g¾n 4 c¶m biÕn ¸p trë. sai sè ± (0. khi ®ã biÓu thøc ®iÖn ¸p cã d¹ng: Vm = πIR 0 σ (8.13a. mÆt trªn ®−îc bäc c¸ch ®iÖn vµ cã hai tiÕp xóc kim lo¹i ®Ó nèi d©y dÉn (3). Bé c¶m biÕn kiÓu ®iÖn dung ®o ®−îc ¸p suÊt ®Õn 120 MPa.28) . th−êng dïng m¹ch cÇu xoay chiÒu hoÆc m¹ch vßng céng h−ëng LC. C¶m biÕn ¸p trë gåm ®Õ silic lo¹i N (1) trªn ®ã cã khuÕch t¸n t¹p chÊt t¹o thµnh líp b¸n dÉn lo¹i P (2) .§Ó biÕn ®æi biÕn thiªn ®iÖn dung C thµnh tÝn hiÖu ®o l−êng.2.4.10-10 m2/N). khi ®ã ë hai ®Çu ®−êng chÐo cÇu ®−îc nu«i b»ng dßng mét chiÒu sÏ lµ: Vm = I (∆R1 − ∆R 2 + ∆R 3 − ∆R 4 ) = I∆R 4 Sù thay ®æi t−¬ng ®èi cña trë kh¸ng theo øng lùc σ tÝnh x¸c ®Þnh theo biÓu thøc: ∆R = πσ R0 Trong ®ã π lµ hÖ sè ¸p trë cña tinh thÓ (~ 4. Víi c¸ch ®Æt nh− vËy.2 . Bé biÕn ®æi kiÓu ¸p trë CÊu t¹o cña phÇn tö biÕn ®æi ¸p trë biÓu diÔn trªn h×nh 8. trong ®ã cã hai c¶m biÕn ®Æt ë t©m theo h−íng (110) vµ hai c¶m biÕn ®Æt ë biªn t¹o thµnh víi h−íng (100) mét gãc 60o.13. S¬ ®å nguyªn lý c¶m biÕn ¸p trë a) S¬ ®å cÊu t¹o b) VÞ trÝ ®Æt trªn mµng 1) §Õ silic-N 2) B¸n dÉn P 3) D©y dÉn Trªn h×nh 8.5)%. 3. biÕn thiªn ®iÖn trë cña hai cÆp c¶m biÕn khi cã øng suÊt néi sÏ b»ng nhau nh−ng tr¸i dÊu: ∆R1 = ∆R 3 = − ∆R 2 = − ∆R 4 = ∆R §Ó ®o biÕn thiªn ®iÖn trë ng−êi ta dïng m¹ch cÇu.

trong tr−êng hîp th¹ch anh k = 2. Ng−êi ta còng cã thÓ bï trõ ¶nh h−ëng cña nhiÖt ®é b»ng c¸ch ®−a thªm vµo bé chuyÓn ®æi mét bé phËn hiÖu chØnh ®−îc ®iÒu khiÓn qua ®Çu ®o nhiÖt ®é JT.S. S .diÖn tÝch h÷u Ých cña mµng. d) Bé chuyÓn ®æi kiÓu ¸p ®iÖn Bé chuyÓn ®æi kiÓu ¸p ®iÖn.Bé chuyÓn ®æi kiÓu ¸p trë lµm viÖc trong d¶i nhiÖt ®é tõ . ®iÖn tÝch trªn c¸c b¶n cùc x¸c ®Þnh theo c«ng thøc: Q = kF 4dh D − d2 2 (8. §Ó t¨ng ®iÖn tÝch Q ng−êi ta ghÐp song song mét sè b¶n cùc víi nhau. d . do ®ã: Q = kpS Trong ®ã: k . cho phÐp biÕn ®æi trùc tiÕp øng lùc d−íi t¸c ®éng cña lùc F do ¸p suÊt g©y nªn thµnh tÝn hiÖu ®iÖn.10-12 C/N.14 C¶m biÕn kiÓu ¸p trë a) PhÇn tö ¸p ®iÖn d¹ng tÊm b) PhÇn tö ¸p ®iÖn d¹ng èng ¸p suÊt (p) g©y nªn lùc F t¸c ®éng lªn c¸c b¶n ¸p ®iÖn.chiÒu cao phÇn phñ kim lo¹i.®−êng kÝnh ngoµi vµ ®−êng kÝnh trong cña phÇn tö ¸p ®iÖn.h»ng sè ¸p ®iÖn.29) Trong ®ã: D.40oC ®Õn 125oC phô thuéc vµo ®é pha t¹p.140 - . dïng phÇn tö biÕn ®æi lµ phÇn tö ¸p ®iÖn.22. . lµm xuÊt hiÖn trªn hai mÆt cña b¶n ¸p ®iÖn mét®iÖn tÝch Q tØ lÖ víi lùc t¸c dông: Q = kF Víi F = p. §èi víi phÇn tö ¸p ®iÖn d¹ng èng. h . D d Trôc ®iÖn p a) Trôc quang b) H×nh 8.

141 - . tuy nhiªn chóng cã nh−îc ®iÓm lµ nh¹y c¶m víi sù thay ®æi nhiÖt ®é. cÊp chÝnh x¸c 1.100 MPa. Bé biÕn ®æi ¸p ®iÖn cã håi ®¸p tÇn sè rÊt tèt nªn th−êng dïng ®Ó ®o ¸p suÊt thay ®æi nhanh.2.5 . .5.Giíi h¹n trªn cña c¶m biÕn ¸p suÊt dïng bé biÕn ®æi ¸p ®iÖn tõ 2.

2) §Ó ®o l−u l−îng ng−êi ta dïng c¸c l−u l−îng kÕ. §o vËn tèc chÊt l−u ch¶y qua c«ng t¬ khi l−u l−îng lµ hµm cña vËn tèc.1. Tuú thuéc vµo tÝnh chÊt chÊt l−u. L−u l−îng vµ ®¬n vÞ ®o L−u l−îng chÊt l−u lµ l−îng chÊt l−u ch¶y qua tiÕt diÖn ngang cña èng trong mét ®¬n vÞ thêi gian.2.1.. . S¬ ®å nguyªn lý cña c«ng t¬ thÓ tÝch kiÓu b¸nh r¨ng h×nh «van tr×nh bµy trªn h×nh 9.. m3/giê . ∆m lµ thÓ tÝch vµ khèi l−îng chÊt l−u ch¶y qua èng trong thêi kho¶ng gian kh¶o s¸t.1.L−u l−îng thÓ tÝch (Q) tÝnh b»ng m3/s. .1.. C«ng t¬ thÓ tÝch C«ng t¬ thÓ tÝch ®o thÓ tÝch chÊt l−u ch¶y qua c«ng t¬ b»ng c¸c ®Õm trùc tiÕp l−îng thÓ tÝch ®i qua buång chøa cã thÓ tÝch x¸c ®Þnh cña c«ng t¬..1. Tuú theo ®¬n vÞ tÝnh l−îng chÊt l−u (theo thÓ tÝch hoÆc khèi l−îng) ng−êi ta ph©n biÖt: .t1 x¸c ®Þnh bëi biÓu thøc: Q tb = ∆m ∆V hoÆc G tb = ∆t ∆t (9. L−u l−îng trung b×nh trong kho¶ng thêi gian ∆t = t2 . Nguyªn lý ho¹t ®éng cña c¸c l−u l−îng kÕ dùa trªn c¬ së: §Õm trùc tiÕp thÓ tÝch chÊt l−u ch¶y qua c«ng t¬ trong mét kho¶ng thêi gian x¸c ®Þnh ∆t. kg/giê . yªu cÇu c«ng nghÖ.142 - . C¶m biÕn ®o l−u l−îng 9. 9. ng−êi ta sö dông c¸c l−u l−îng kÕ kh¸c nhau.1) Trong ®ã ∆V.L−u l−îng khèi (G) tÝnh b»ng kg/s. l−u l−îng lµ hµm phô thuéc ®é gi¶m ¸p.Ch−¬ng IX C¶m biÕn ®o l−u l−îng Vµ MøC CHÊT l−u 9. §o ®é gi¶m ¸p qua tiÕt diÖn thu hÑp trªn dßng ch¶y. L−u l−îng tøc thêi x¸c ®Þnh theo c«ng thøc: Q= dV dt dm dt hoÆc G= (9. TÝn hiÖu ®o biÕn ®æi trùc tiÕp thµnh tÝn hiÖu ®iÖn hoÆc nhê bé chuyÓn ®æi ®iÖn thÝch hîp.

b¸nh r¨ng (1) n»m ngang. Nc1.1a).143 - . N1.5) L−u l−îng tøc thêi: . thÓ tÝch chÊt láng trong buång V2 ®−îc ®Èy sang cöa ra.sè trªn chØ thÞ c«ng t¬ t¹i thêi ®iÓm t1 vµ t2. b¸nh r¨ng (2) quay vµ truyÒn chuyÓn ®éng tíi b¸nh r¨ng (1) (h×nh 9. Th«ng th−êng thÓ tÝch chÊt l−u ch¶y qua c«ng t¬ ®−îc biÓu diÔn d−íi d¹ng: ∆V = q c (N c 2 − N c1 ) (9.C«ngt¬ gåm hai b¸nh r¨ng h×nh «van (1) vµ (2) truyÒn ®éng ¨n khíp víi nhau (h×nh 9.1 S¬ ®å nguyªn lý c«ng t¬ thÓ tÝch c) ThÓ tÝch chÊt l−u ch¶y qua c«ngt¬ trong thêi gian ∆t = t2 . L−u l−îng trung b×nh: Q tb = ∆V q v (N 2 − N 1 ) = ∆t t 2 − t1 (9.hÖ sè c«ng t¬ (thÓ tÝch chÊt l−u ch¶y qua c«ng t¬ øng víi mét ®¬n vÞ chØ thÞ trªn c«ng t¬).3) Trong ®ã: qV .t1 tØ lÖ víi sè vßng quay x¸c ®Þnh bëi c«ng thøc: ∆V = q v (N 2 − N 1 ) (9. Trong mét vßng quay cña c«ngt¬ thÓ tÝch chÊt láng qua c«ngt¬ b»ng bèn lÇn thÓ tÝch V0 (b»ng V1 hoÆc V2). D−íi t¸c ®éng cña dßng chÊt láng.tæng sè vßng quay cña c«ng t¬ t¹i thêi ®iÓm t1 vµ t2. ChÊt láng trong thÓ tÝch V1 ®−îc ®Èy sang cöa ra. 1 V2 2 V1 a) b) H×nh 9. N2 . Trôc cña mét trong hai b¸nh r¨ng liªn kÕt víi c¬ cÊu ®Õm ®Æt ngoµi c«ngt¬.4) qc . Sau ®ã b¸nh r¨ng (1) quay vµ qu¸ tr×nh t−¬ng tù lÆp l¹i. Nc2 .1b) cho ®Õn lóc b¸nh r¨ng (2) ë vÞ trÝ th¼ng ®øng.thÓ tÝch chÊt l−u ch¶y qua c«ng t¬ øng víi mét vßng quay.

¸p suÊt chÊt khÝ t¸c ®éng lªn c¸nh lµm cho tang (3) quay.8).1. Dïng m¹ch ®o thÝch hîp ®Ó ®o tÇn sè hoÆc ®iÖn ¸p.6) dN lµ tèc ®é quay trªn trôc c«ng t¬. 9. C«ng t¬ tèc ®é 7 4 6 5 8 1 2 3 H×nh 9. Tr−íc tuabin cã ®Æt bé chØnh dßng ch¶y (1) ®Ó san ph¼ng dßng rèi vµ lo¹i bá xo¸y. Dïng tèc ®é kÕ quang. . Bé phËn chÝnh cña c«ng t¬ lµ mét tuabin h−íng trôc nhá (2) ®Æt theo chiÒu chuyÓn ®éng cña dßng ch¶y. tæn thÊt ¸p suÊt nhá nh−ng cã nh−îc ®iÓm lµ chÊt láng ®o ph¶i ®−îc läc tèt vµ g©y ån khi lµm viÖc.144 - .300 m3/giê.2) gåm vá h×nh trô (1). Trong mét vßng quay thÓ tÝch chÊt khÝ b»ng thÓ tÝch vµnh chÊt khÝ gi÷a vá vµ tang. ChuyÓn ®éng quay cña tang ®−îc truyÒn ®Õn c¬ cÊu ®Õm ®Æt bªn ngoµi vá c«ng t¬. C«ng t¬ khÝ kiÓu quay cã thÓ ®o l−u l−îng ®Õn 100 . cÊp chÝnh x¸c 0.Q= Víi n = dV dN = qv = qvn dt dt (9. c¸c c¸nh (2.3 tr×nh bµy s¬ ®å cÊu t¹o cña mét c«ng t¬ tèc ®é tuabin h−íng trôc. 0. khi nam ch©m ®i qua mét cuén d©y ®Æt cè ®Þnh sÏ t¹o ra xung ®iÖn.7. ChuyÓn ®éng quay cña tuabin qua bé b¸nh r¨ng trôc vÝt (3) truyÒn tíi thiÕt bÞ ®Õm (4). §Õm sè xung ®iÖn theo thêi gian sÏ tÝnh ®−îc tèc ®é quay cña trôc c«ng t¬.7&8) C¸nh 3) Tang quay 5) Con l¨n 6) Cam H×nh 9.5 1)%. Giíi h¹n ®o cña c«ng t¬ lo¹i nµy tõ 0.5. tang quay (3) vµ cam (6). §Ó ®o l−u l−îng dßng khÝ ng−êi ta sö dông c«ng t¬ khÝ kiÓu quay. Khi c¸nh (4) ë vÞ trÝ nh− h×nh vÏ .2 C«ng t¬ khÝ kiÓu quay 1) Vá 2.250 m3/giê. ®é chÝnh x¸c cao ±(0.3. dt §Ó ®Õm sè vßng quay vµ chuyÓn thµnh tÝn hiÖu ®iÖn ng−êi ta dïng mét trong ba c¸ch d−íi ®©y: Dïng mét nam ch©m nhá g¾n trªn trôc quay cña cña c«ng t¬. C«ng t¬ (h×nh 9.25. 4. Trong qu¸ tr×nh quay c¸c c¸nh lu«n tiÕp xóc víi mÆt ngoµi cam (6) nhê c¸c con l¨n (5).01 .4.

4 2

1

3

H×nh 9.3 S¬ ®å cÊu t¹o c«ng t¬ tèc ®é tuabin h−íng trôc 1) Bé chØnh dßng ch¶y 2) Tuabin 3) Bé truyÒn b¸nh r¨ng-trôc vÝt 4) ThiÕt bÞ ®Õm

Tèc ®é quay cña c«ng t¬ tØ lÖ víi tèc ®é dßng ch¶y:
n = kW

Trong ®ã: k - hÖ sè tØ lÖ phô thuéc cÊu t¹o c«ng t¬. W- tèc ®é dßng ch¶y. L−u l−îng thÓ tÝch chÊt l−u ch¶y qua c«ng t¬:
Q = WF = F n k

(9.7)

Víi: F - tiÕt diÖn dßng ch¶y. n - tèc ®é quay cña tuabin (sè vßng quay trong mét gi©y). NÕu dïng c¬ cÊu ®Õm ®Ó ®Õm tæng sè vßng quay cña c«ng t¬ trong mét kho¶ng thêi gian tõ t1 ®Õn t2 sÏ nhËn ®−îc thÓ tÝch chÊt láng ch¶y qua c«ng t¬:
dV = dQdt = F ndt k

V=

F t2 ∫ ndt k t1
F (N 2 − N1 ) k F t2 ∫ ndt k t1

Hay:
V=

(9.8)

Víi N 2 − N1 =

- 145 -

C«ng t¬ tèc ®é tuabin h−íng trôc víi ®−êng kÝnh tuabin tõ 50 - 300 mm cã ph¹m vi ®o tõ 50 - 300 m3/giê, cÊp chÝnh x¸c 1; 1,5; 2. §Ó ®o l−u l−îng nhá ng−êi ta dïng c«ng t¬ tèc ®é kiÓu tiÕp tuyÕn cã s¬ ®å cÊu t¹o nh− h×nh 9.4. Tuabin c«ng t¬ (1) ®Æt trªn trôc quay vu«ng gãc víi dßng ch¶y. ChÊt l−u qua mµng läc (2) qua èng dÉn (3) vµo c«ng t¬ theo h−íng tiÕp tuyÕn víi tuabin lµm quay tuabin. C¬ cÊu ®Õm liªn kÕt víi trôc tuabin ®Ó ®−a tÝn hiÖu ®Õn m¹ch ®o.
1 3

2

H×nh 9.4 C«ng t¬ tèc ®é kiÓu tuabin tiÕp tuyÕn 1) Tuabin 2) Mµng läc 3) èng dÉn

C«ng t¬ kiÓu tiÕp tuyÕn víi ®−êng kÝnh tuabin tõ 15 - 40 mm cã ph¹m vi ®o tõ 3 - 20 m3/giê, cÊp chÝnh x¸c 2; 3.

9.1.4. L−u l−îng kÕ mµng ch¾n a) Nguyªn lý ®o
C¸c c¶m biÕn lo¹i nµy ho¹t ®éng dùa trªn nguyªn t¾c ®o ®é gi¶m ¸p suÊt cña dßng ch¶y khi ®i qua mµng ng¨n cã lç thu hÑp. Trªn h×nh 9.5 tr×nh bµy s¬ ®å nguyªn lý ®o l−u l−îng dïng mµng ng¨n tiªu chuÈn. Khi ch¶y qua lç thu hÑp cña mµng ng¨n, vËn tèc chÊt l−u t¨ng lªn vµ ®¹t cùc ®¹i (W2) t¹i tiÕt diÖn B-B, do ®ã t¹o ra sù chªnh ¸p tr−íc vµ sau lç thu hÑp. Sö dông mét ¸p kÕ vi sai ®o ®é chªnh ¸p nµy cã thÓ x¸c ®Þnh ®−îc l−u l−îng cña dßng ch¶y. Gi¶ sö chÊt láng kh«ng bÞ nÐn, vµ dßng ch¶y lµ liªn tôc, vËn tèc cùc ®¹i cña dßng ch¶y t¹i tiÕt diÖn B-B ®−îc x¸c ®Þnh theo biÓu thøc:
W2 = 1 ξ−µ m
2 2

2 (p1 − p 2 ) ρ

Trong ®ã: p1’, p2’ - ¸p suÊt tÜnh t¹i tiÕt diÖn A-A vµ B-B. ρ - tØ träng chÊt l−u.
- 146 -

ξ - hÖ sè tæn thÊt thuû lùc. m - tØ sè thu hÑp cña mµng ng¨n, m = F0/F1. µ - hÖ sè thu hÑp dßng ch¶y, µ = F2/F0.
F1 A
W1

F0

B F2
W2

C

p’1

p’2

p’1 p1 p2

∆p
p’2

δp
p3’

w1

w2

w3

H×nh 9.5 Ph©n bè v©n tèc vµ ¸p suÊt cña mét dßng ch¶y lý t−ëng qua lç thu hÑp

Th−êng ng−êi ta kh«ng ®o ®é gi¶m ¸p ∆p’ = p’1 - p’2 ë tiÕt diÖn A-A vµ B-B, mµ ®o ®é gi¶m ¸p ∆p = p1 - p2 ngay tr−íc vµ sau lç thu hÑp. Quan hÖ gi÷a ∆p’ vµ ∆p cã d¹ng:
' p 1 − p '2 = ψ p 1 − p 2

Khi ®ã:
W2 = ψ ξ − µ2 m 2 2 (p1 − p 2 ) ρ

vµ l−u l−îng khèi l−îng cña chÊt l−u:
G = W2 F2 ρ = W2 µF0 ρ = µψ ξ−µ m
2 2

F0 2ρ(p 1 − p 2 )

Hay:
G = αF0 2ρ(p 1 − p 2 )

(9.9)

Víi α =

µψ ξ−µ m
2 2

gäi lµ hÖ sè l−u l−îng.

- 147 -

a) b) c) H×nh 9. khi ®o kh«ng thÓ dïng mµng ng¨n lç thu hÑp tiªu chuÈn v× khi ®ã hÖ sè l−u l−îng kh«ng ph¶i lµ h»ng sè. do ®ã ph¶i ®−a thªm vµo hÖ sè hiÖu chØnh ε (ε < 1). lµm t¨ng tèc ®é dßng ch¶y so víi khi kh«ng chÞu nÐn. Trong tr−êng hîp nµy. gicl¬ cong (h×nh 9.10) (9.6 CÊu t¹o mµng ng¨n lç thu hÑp ®Æc biÖt dïng ®Ó ®o l−u l−îng dßng ch¶y chÊt l−u cã sè Reynol nhá . §èi víi c¸c dßng chÊt l−u cã trÞ sè Reynol nhá h¬n gi¸ trÞ tíi h¹n. ( ) ρ .148 - ..tØ träng chÊt l−u t¹i cöa vµo cña lç thu hÑp.12) (9. chÊt l−u gi¶n në. ta nhËn ®−îc c«ng thøc x¸c ®Þnh l−u l−îng khèi (G) vµ l−u l−îng thÓ tÝch (Q) cña dßng chÊt l−u: G=α Q=α πd 2 2ρ(p 1 − p 2 ) 4 πd 2 4 2 (p1 − p 2 ) ρ (9.6c) .6b).13) Q = cαε 1 (p1 − p 2 ) ρ ë ®©y: c = π 2 / 4 lµ h»ng sè.Tõ c¸c biÓu thøc trªn vµ F0 = πd2/4. Trªn c¬ së thùc nghiÖm ng−êi ta x¸c ®Þnh hÖ sè l−u l−îng cho mçi lç thu hÑp vµ xem nh− kh«ng ®æi trong ph¹m vi sè Reynol giíi h¹n.6a). ng−êi ta dïng c¸c mµng ng¨n cã lç thu hÑp ®Æc biÖt nh− mµng ng¨n cã lç c«n (h×nh 9. th× khi ¸p suÊt gi¶m. gicl¬ h×nh trô (h×nh 9.11) Trong tr−êng hîp m«i tr−êng chÊt l−u chÞu nÐn. khi ®ã c¸c ph−¬ng tr×nh trªn cã d¹ng: G = cαε ρ(p 1 − p 2 ) (9..

1 Q Q 1 Q 1 2 5 4 3 8 7 3 4 6 a) 1 Q b) c) 1 Q 9 10 11 7 3 4 6 9 12 7 3 4 6 d) ®) H×nh 9. ng−êi ta cã thÓ sö dông hÖ thèng ®o thÝch hîp.7 tr×nh bµy s¬ ®å khèi cña mét sè hÖ thèng ®o dïng mµng ch¾n.8.7 S¬ ®å hÖ thèng ®o l−u l−îng dïng mµng ng¨n 1) Mµng ng¨n 2) L−u l−îng kÕ vi sai 3) Bé biÕn ®æi ®é gi¶m ¸p 4) Dông cô ®o thø cÊp 5) Bé tÝch ph©n l−u l−îng 6) Dông cô tÝnh khèi l−îng chÊt l−u 7) ThiÕt bÞ tÝnh to¸n 8) BiÕn ®æi tØ träng chÊt l−u trong ®iÒu kiÖn lµm viÖc 9) Bé biÕn ®æi nhiÖt ®é 10) Bé biÕn ®æi ¸p suÊt 11) Bé biÕn ®æi tØ träng trong ®iÒu kiÖn ®Þnh møc 12) Bé biÕn ®æi tØ träng chÊt l−u ë 20oC 9.8 S¬ ®å l−u l−îng kÕ ®iÖn tõ 1 & 2) §iÖn cùc 3) èng kim lo¹i 4) Miliv«n kÕ 5) Nam ch©m .b) S¬ ®å hÖ thèng ®o Tuú theo yªu cÇu sö dông. Trªn h×nh 9. L−u l−îng kÕ ®iÖn tõ Nguyªn lý cña l−u l−îng kÕ ®iÖn tõ dùa trªn ®Þnh luËt c¶m øng ®iÖn tõ: khi cã mét d©y dÉn chuyÓn ®éng trong tõ tr−êng.149 - .5. c¾t c¸c ®−êng søc cña tõ tr−êng th× trong d©y dÉn xuÊt hiÖn mét suÊt ®iÖn ®éng c¶m øng tØ lÖ víi tèc ®é chuyÓn ®éng cña d©y dÉn.1. S¬ ®å nguyªn lý cña l−u l−îng kÕ ®iÖn tõ biÓu diÔn trªn h×nh 9. 5 2 N S 3 1 4 H×nh 9.

L−u l−îng kÕ ®iÖn tõ víi tõ tr−êng kh«ng ®æi cã nh−îc ®iÓm lµ trªn c¸c cùc xuÊt hiÖn c¸c søc ®iÖn ®éng phô (do ph©n cùc) lµm sai lÖch kÕt qu¶ ®o. trong chÊt l−u xuÊt hiÖn mét suÊt ®iÖn ®éng c¶m øng (E) : E = BWD = 4B Q πD (9. C¶m biÕn ®o vµ ph¸t hiÖn møc chÊt l−u 9.1.500 m3/giê víi vËn tèc dßng ch¶y tõ 0. Q . D . thuû tinh h÷u c¬) ®Æt gi÷a hai cùc cña mét nam ch©m (5) sao cho trôc èng vu«ng gãc víi ®−êng søc cña tõ tr−êng.c−êng ®é tõ tr−êng. ng−êi ta dïng l−u l−îng kÕ ®iÖn tõ dïng nam ch©m ®iÖn xoay chiÒu.tèc ®é trung b×nh cña dßng ch¶y.. cã hai ®iÖn cùc (1) vµ (2) ®−îc nèi víi miliv«n kÕ (4). W.10-6 Simen/m. . .10 m/s víi cÊp chÝnh x¸c 1.14) Trong ®ã: B . Trong mÆt ph¼ng vu«ng gãc víi ®−êng søc. Khi chÊt l−u cã tÝnh dÉn ®iÖn ch¶y qua èng.1.2. Cã hai d¹ng ®o: ®o liªn tôc vµ x¸c ®Þnh theo ng−ìng. tuy nhiªn tõ tr−êng xoay chiÒu l¹i lµm mÐo tÝn hiÖu ra. §Ó kh¾c phôc nh−îc ®iÓm trªn..L−u l−îng kÕ gåm èng kim lo¹i kh«ng tõ tÝnh (3) bªn trong cã phñ líp vËt liÖu c¸ch ®iÖn (s¬n ªmay.5. L−u l−îng kÕ ®iÖn tõ ®−îc dïng ®Ó ®o l−u l−îng cña chÊt láng cã ®é dÉn ®iÖn kh«ng nhá h¬n 10-5 . ¸p suÊt.6 .l−u l−îng thÓ tÝch cña chÊt l−u.) nÕu chóng kh«ng lµm thay ®æi ®é dÉn ®iÖn cña chÊt l−u sÏ kh«ng ¶nh h−ëng ®Õn kÕt qu¶ ®o. Chóng cã −u ®iÓm: ®o l−u l−îng kh«ng cÇn ph¶i ®o tØ träng chÊt láng. 9. Khi B = const th× E søc ®iÖn ®éng c¶m øng tØ lÖ víi l−u l−îng thÓ tÝch Q.2. bät khÝ vµ t¸c ®éng cña m«i tr−êng (nh− nhiÖt ®é.000 mm cã thÓ ®o l−u l−îng trong tõ 1 .2.®−êng kÝnh trong cña èng. c¸c phÇn tö h¹t. 2. Môc ®Ých vµ ph−¬ng ph¸p ®o Môc ®Ých viÖc ®o vµ phÊt hiÖn møc chÊt l−u lµ x¸c ®Þnh møc ®é hoÆc khèi l−îng chÊt l−u trong b×nh chøa.150 - . L−u l−îng kÕ ®iÖn tõ víi ®−êng kÝnh èng tõ 10 .

2. phao h×nh trô (1) nhóng ch×m trong chÊt l−u. h . phÝa trªn ®−îc treo bëi mét c¶m biÕn ®o lùc (2). c¶m biÕn chÞu t¸c ®éng cña mét lùc F tØ lÖ víi chiÒu cao chÊt l−u: F = P − ρgSh Trong ®ã: P .9 giíi thiÖu mét sè s¬ ®å ®o møc b»ng ph−¬ng ph¸p thuû tÜnh.9b. Ph−¬ng ph¸p thuû tÜnh Ph−¬ng ph¸p thuû tÜnh dïng ®Ó ®o møc chÊt l−u trong b×nh chøa. phao (1) n©ng lªn hoÆc h¹ xuèng lµm quay rßng räc (4). 2 3 4 6 2 p0 h 1 5 1 h 1 H×nh 9.chiÒu cao phÇn ngËp trong chÊt l−u cña phao. Khi møc chÊt l−u thay ®æi. S . c¶m biÕn ®−a ra tÝn hiÖu d¹ng nhÞ ph©n cho biÕt th«ng tin vÒ t×nh tr¹ng hiÖn t¹i møc ng−ìng cã ®¹t hay kh«ng. Trªn h×nh 9. ρ .151 - .tiÕt diÖn mÆt c¾t ngang cña phao.9a. Ph−¬ng ph¸p bøc x¹ dùa trªn sù t−¬ng t¸c gi÷a bøc x¹ vµ chÊt l−u. phao (1) næi trªn mÆt chÊt l−u ®−îc nèi víi ®èi träng (5) b»ng d©y mÒm (2) qua c¸c rßng räc (3). Trong s¬ ®å h×nh 9. (4).khèi l−îng riªng cña chÊt l−u. Cã ba ph−¬ng ph¸p hay dïng trong kü thuËt ®o vµ ph¸t hiÖn møc chÊt l−u: Ph−¬ng ph¸p thuû tÜnh dïng biÕn ®æi ®iÖn.träng l−îng phao.9 S¬ ®å ®o møc theo ph−¬ng ph¸p thuû tÜnh a) Dïng phao cÇu b) Dïng phao trô c) Dïng c¶m biÕn ¸p suÊt vi sai Trong s¬ ®å h×nh 9.Khi ®o liªn tôc biªn ®é hoÆc tÇn sè cña tÝn hiÖu ®o cho biÕt thÓ tÝch chÊt l−u cßn l¹i trong b×nh chøa. . 9. Trong qu¸ tr×nh ®o. mét c¶m biÕn vÞ trÝ g¾n víi trôc quay cña rßng räc sÏ cho tÝn hiÖu tØ lÖ víi møc chÊt l−u. Khi x¸c ®Þnh theo ng−ìng.2. Ph−¬ng ph¸p ®iÖn dùa trªn tÝnh chÊt ®iÖn cña chÊt l−u.

Trªn s¬ ®å h×nh 9. C¸c c¶m biÕn th−êng dïng lµ c¶m biÕn dé dÉn vµ c¶m biÕn ®iÖn dung.9c. 9. Trong chÕ ®é ®o liªn tôc. a) C¶m biÕn ®é dÉn C¸c c¶m biÕn lo¹i nµy dïng ®Ó ®o møc c¸c chÊt l−u cã tÝnh dÉn ®iÖn (®é dÉn ®iÖn ~ 50µScm-1).p0 sinh ra lùc t¸c dông lªn mµng cña c¶m biÕn lµm nã biÕn d¹ng.g .152 - .10 C¶m biÕn ®é dÉn a) C¶m biÕn hai ®iÖn cùc b) C¶m biÕn mét ®iÖn cùc c) C¶m biÕn ph¸t hiÖn møc S¬ ®å c¶m biÕn h×nh 9. Trªn h×nh 9. Ph−¬ng ph¸p ®iÖn C¸c c¶m biÕn ®o møc b»ng ph−¬ng ph¸p ®iÖn ho¹t ®éng theo nguyªn t¾c chuyÓn ®æi trùc tiÕp biÕn thiªn møc chÊt láng thµnh tÝn hiÖu ®iÖn dùa vµo tÝnh chÊt ®iÖn cña chÊt l−u.10b chØ sö dông mét ®iÖn cùc.2.10a gåm hai ®iÖn cùc h×nh trô nhóng trong chÊt láng dÉn ®iÖn. Chªnh lÖch ¸p suÊt p . c¸c ®iÖn cùc ®−îc nèi víi nguån nu«i xoay chiÒu ~ 10V (®Ó tr¸nh hiÖn t−îng ph©n cùc cña c¸c ®iÖn cùc). . h h hmin a) b) c) H×nh 9. Dßng ®iÖn ch¹y qua c¸c ®iÖn cùc cã biªn ®é tØ lÖ víi chiÒu dµi cña phÇn ®iÖn cùc nhóng ch×m trong chÊt láng. BiÕn d¹ng cña mµng tØ lÖ víi chiÒu cao h cña chÊt l−u trong b×nh chøa.3. sö dông mét c¶m biÕn ¸p suÊt vi sai d¹ng mµng (1) ®Æt s¸t ®¸y b×nh chøa.gia tèc träng tr−êng. ®iÖn cùc thø hai lµ b×nh chøa b»ng kim lo¹i. ®−îc chuyÓn ®æi thµnh tÝn hiÖu ®iÖn nhê c¸c bé biÕn ®æi ®iÖn thÝch hîp. Mét mÆt cña mµng c¶m biÕn chÞu ¸p suÊt chÊt l−u g©y ra: p = p 0 + ρgh MÆt kh¸c cña mµng c¶m biÕn chÞu t¸c ®éng cña ¸p suÊt p0 b»ng ¸p suÊt ë ®Ønh b×nh chøa. S¬ ®å c¶m biÕn h×nh 9.10 giíi thiÖu mét sè c¶m biÕn ®é dÉn ®o møc th«ng dông.

§iÒu kiÖn ®Ó ¸p dông ph−¬ng ph¸p nµy h»ng sè ®iÖn m«i cña chÊt láng ph¶i lín h¬n ®¸ng kÓ h»ng sè ®iÖn m«i cña kh«ng khÝ (th−êng lµ gÊp ®«i).2. cã thÓ t¹o tô ®iÖn b»ng hai ®iÖn cùc h×nh trô nhóng trong chÊt láng hoÆc mét ®iÖn cùc kÕt hîp víi ®iÖn cùc thø hai lµ thµnh b×nh chøa nÕu thµnh b×nh lµm b»ng kim lo¹i. Khi møc chÊt láng ®¹t tíi ®iÖn cùc. nguån ph¸t vµ bé thu ®Æt ®èi diÖn nhau ë vÞ trÝ ngang møc ng−ìng cÇn ph¸t hiÖn. Trong tr−êng hîp chÊt l−u lµ chÊt dÉn ®iÖn. Ph−¬ng ph¸p bøc x¹ C¶m biÕn bøc x¹ cho phÐp ®o møc chÊt l−u mµ kh«ng cÇn tiÕp xóc víi m«i tr−êng ®o. ®Ó t¹o tô ®iÖn ng−êi ta dïng mét ®iÖn cùc kim lo¹i bªn ngoµi cã phñ c¸ch ®iÖn. líp phñ ®ãng vai trß chÊt ®iÖn m«i cßn chÊt l−u ®ãng vai trß ®iÖn cùc thø hai. b) C¶m biÕn tô ®iÖn Khi chÊt láng lµ chÊt c¸ch ®iÖn. ChÊt ®iÖn m«i gi÷a hai ®iÖn cùc chÝnh lµ chÊt láng ë phÇn ®iÖn cùc bÞ ngËp vµ kh«ng khÝ ë phÇn kh«ng cã chÊt láng. ViÖc ®o møc chÊt l−u ®−îc chuyÓn thµnh ®o ®iÖn dung cña tô ®iÖn. . chïm tia cña nguån ph¸t m¶nh vµ gÇn nh− song song. bé thu lµ mét buång ion ho¸. ë chÕ ®é ph¸t hiÖn møc ng−ìng(h×nh 9. nguån ph¸t (1) ph¸t ra chïm tia víi mét gãc më réng quÐt lªn toµn bé chiÒu cao cña møc chÊt l−u cÇn kiÓm travµ bé thu.11a).153 - .11b).10c dïng ®Ó ph¸t hiÖn ng−ìng. ®iÖn cùc cßn l¹i nèi víi thµnh b×nh kim lo¹i.4. Tuú thuéc vµo møc chÊt l−u (3) cao h¬n hay thÊp h¬n møc ng−ìng mµ chïm tia ®Õn bé thu sÏ bÞ suy gi¶m hoÆc kh«ng. −u ®iÓm nµy rÊt thÝch hîp khi ®o møc ë ®iÒu kiÖn m«i tr−êng ®o cã nhiÖt ®é. Trong ph−¬ng ph¸p nµy c¶m biÕn gåm mét nguån ph¸t tia (1) vµ bé thu (2) ®Æt ë hai phÝa cña b×nh chøa. ¸p suÊt cao hoÆc m«i tr−êng cã tÝnh ¨n mßn m¹nh. Nguån ph¸t th−êng lµ mét nguån bøc x¹ tia γ (nguån 60 Co hoÆc 137Cs). gåm hai ®iÖn cùc ng¾n ®Æt theo ph−¬ng ngang. ®iÖn dung nµy thay ®æi theo møc chÊt láng trong b×nh chøa. ë chÕ ®é ®o møc liªn tôc (h×nh 9.vÞ trÝ mçi ®iÖn cùc ng¾n øng víi mét møc ng−ìng. bé thu sÏ ph¸t ra tÝn hiÖu t−¬ng øng víi c¸c tr¹ng th¸i so víi møc ng−ìng. dßng ®iÖn trong m¹ch thay ®æi m¹nh vÒ biªn ®é.S¬ ®å c¶m biÕn h×nh 9. 9.

154 - . chïm tia ®Õn bé thu (2) sÏ bÞ suy gi¶m.1 1 2 2 3 3 h a) b) H×nh 9. do ®ã tÝn hiÖu ra tõ bé thu gi¶m theo.11 C¶m biÕn ®o møc b»ng tia bøc x¹ a) C¶m biÕn ph¸t hiÖn ng−ìng b) C¶m biÕn ®o møc liªn tôc 1) Nguån ph¸t tia bøc x¹ 2) Bé thu 3) ChÊt l−u Khi møc chÊt l−u (3) t¨ng do sù hÊp thô cña chÊt l−u t¨ng. Møc ®é suy gi¶m cña chïm tia bøc x¹ tØ lÖ víi møc chÊt l−u trong b×nh chøa .

Sign up to vote on this title
UsefulNot useful