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IWT

LFM
IfS
1
Klausurtagung SFB 747
am 24. + 25.09.2008 in Barnstorf
N. Wang (BIAS)
K. Lübke (BIMAQ)
A. Kirchheim (BIBA)
B5 Sichere Prozesse
Teilprojektleiter wiss. Mitarbeiter
C. v. Kopylow (BIAS)
G. Goch (BIMAQ)
B. Scholz-Reiter (BIBA)
IWT
LFM
IfS
2
Ziel



Qualitätsprüfung des Mikroumformprozesses

Entwicklung einer optischen Messtechnik zur schnellen
Formerfassung des Mikrobauteils (Wang)
Wechselwirkung zwischen Messunsicherheit und
Prozessfähigkeit (Lübke)
Qualitätsprüfung und Qualitätslenkung in Mikrofertigungs-
prozessen (Kirchheim)
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
3
2007 2008
2009 2010
Arbeitspakete
AP 1: Projekt-AK‚ Sichere
Prozesse (Alle)
AP 2: Holografische
Mikroskopie (Wang)
B5 Sichere Prozesse
AP 3: Implementation digitaler
Holografie (Wang)
AP 4: Gewinnung Formdaten
(Wang)
AP 5: Kalibrierung und
Validierung (Wang)
Soll
Soll
Soll
Soll
Soll
IWT
LFM
IfS
4
Ziel

Grundlegende Voruntersuchungen für den Einsatz der digitalen Holografie

Verfahrenssimulation: Geometrie  erreichbare Auflösung
Oberflächencharakteristika: Streuverhalten
Strahlquellen: Zusammenhang zwischen Wellenlänge und Rauheit

B5 Sichere Prozesse
Arbeitspaket 02
IWT
LFM
IfS
5
Arbeitspaket 02
Das zu messende Mikrobauteil
B5 Sichere Prozesse
Messungsverfahren:

•Triangulationssensoren
-spiegelnder Sensor
-diffuser Sensor
-mit Halterung

•Interferometer

•Mikroskop

IWT
LFM
IfS
6
Arbeitspaket 02
Messung mit spiegelndem Sensor
B5 Sichere Prozesse

• Ungefähr 6 Stunden
Messdauer mit 1250 x 1250
und 1 µm

• Strukturen erkennbar

• Das Oberteil kann gemessen
werden
IWT
LFM
IfS
7
Arbeitspaket 02
Messung mit diffusem Sensor
B5 Sichere Prozesse

• Ungefähr 2 Stunden
Messdauer mit 512 x 512 und
5 µm

• Form wird oben und unten
erfasst

• Der überwiegende Teil der
Kante kann nicht gemessen
werden
IWT
LFM
IfS
8
Arbeitspaket 02
Einsatz einer Halterung
B5 Sichere Prozesse
drehbar gelagert;
Einstellbare Position jeweils
in Winkelschritten von 30°
Spitze zur Aufnahme
des Napfbauteils
IWT
LFM
IfS
9
Arbeitspaket 02
Mit diffusem Sensor und Halterung
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
10
Arbeitspaket 02
Mit diffusem Sensor und Halterung
B5 Sichere Prozesse
• Ungefähr 2 St. Messdauer
für jede Messung

• Die Kante des Napfes kann
gemessen werden

• zu aufwendig

• Strukturen schwer erkennbar
IWT
LFM
IfS
11
Arbeitspaket 02
Messung mit digitaler Interferometrie
B5 Sichere Prozesse

• Zweiwellenlängenmethode
(570 nm und 575 nm)

• Messdauer ca. 10 s

• Messung der Oberfläche,
Strukturen erkennbar

• Kanten nicht messbar wegen
hoher Krümmung
IWT
LFM
IfS
12
Arbeitspaket 02
Messung mit Mikroskop (Fa. Keyence)
B5 Sichere Prozesse

IWT
LFM
IfS
13
Arbeitspaket 02
Versuchsgeometrie in Simulation
B5 Sichere Prozesse
Parameter:
Strahlengänge
•N.A.
•Winkel zwischen
Objekt- und
Referenzstrahl
•Specklegröße
•Abtasttheorem
Auflösung
IWT
LFM
IfS
14
Arbeitspaket 02
Numerische Apertur (N.A.)
B5 Sichere Prozesse
F
Linse
Objekt
α
WD
WD: Arbeitsabstand
α: Halber Öffnungswinkel
N.A.: sin(α)
IWT
LFM
IfS
15
Arbeitspaket 02
Winkel θ zwischen Objekt- und Referenzstrahl
B5 Sichere Prozesse
Blende
F F
F
F
Blende
Linse
Objekt
Objekt
Bild
Bild
θ
max
CCD
θ
max
CCD
Z
Z
IWT
LFM
IfS
16
Arbeitspaket 02
•Specklegröße S
B5 Sichere Prozesse
A
Z
S
ì
=
F
F
Blende
Objekt
Bild
θ
max
CCD
Z
•Verhältnis W zwischen Specklegröße S und Pixelgröße Δ
K
2 >
A
=
K
S
W
IWT
LFM
IfS
17
Arbeitspaket 02
erreichbare Auflösung
B5 Sichere Prozesse
GB
Z
Obj
ì
= A
'
Blende
CCD mit
Länge/
Breite B
Z
G mal vergrößertes Bild
IWT
LFM
IfS
18
Arbeitspaket 02
B5 Sichere Prozesse
Erkenntnisgewinn
• Untersuchung der Oberflächencharakteristika durch
Triangulationssensoren, Interferometrie und Mikroskop.
• Wechselwirkung zwischen Parameter der Versuchsgeometrie und
Auflösung.
• Festlegung der möglichen Geometrien nach Simulationsergebnis der
Auflösung.

Ausblick
• Streuverhalten der Mikrobauteile zu untersuchen
• Diese mögliche Geometrien am Laborsaufbau zu testen
IWT
LFM
IfS
19
B5 Sichere Prozesse
Arbeitspaket 03
Ziel

Laboraufbau zur Messung der Geometrie der Mikrobauteile zu
realisieren

• Erstellung des auf die MUM übertragbaren Laboraufbaus: Testen
unterschiedlicher Geometrien (aus AP2)
• Ermittelung der erreichbaren Auflösung und Kalibrierung
• Analyse der Messunsicherheit für unterschiedlichen Bauteile und
Aufbaugeometrien
IWT
LFM
IfS
20
Arbeitspaket 03
Laboraufbau
B5 Sichere Prozesse
Geometrie mit
bestimmten
Parameter
aus AP2
Auflösung
IWT
LFM
IfS
21
Ziele



Entwicklung einer optischen Messtechnik zur schnellen
Formerfassung des Mikrobauteils (Wang)

Bereitstellung simulierter Bauteildaten (AP 6)
Untersuchung der Unsicherheiten (AP 7)
Messunsicherheit (zufällig/systematisch)
Auswertungsalgorithmen (Approximation)
Wechselwirkung zwischen Messunsicherheit und
Prozessfähigkeit (AP 8)

Zusätzliche Überprüfung der Hologramme mit KNN (Kirchheim)
Qualitätslenkung (Kirchheim)
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
22
2007 2008
2009 2010
Arbeitspakete
AP 6: Erstellen von Bauteildaten
mittels Simulation (Lübke)
AP 7: Untersuchung der
Unsicherheit bei der Berechnung
von geometrischen Kenngrößen
(Lübke)

B5 Sichere Prozesse
AP 8: Untersuchung der Wechsel-
wirkung zwischen Messunsicherheit
und Prozessfähigkeit (Lübke)

Soll
Soll
Soll
IWT
LFM
IfS
23
Arbeitspaket 06
• Simulation von Testprofilen mit bekannten Eigenschaften
zur Überprüfung der Approximationsalgorithmen
• Simulation von Testprofilen

B5 Sichere Prozesse
Kreis
Zylinder
Extra-
punkt
IWT
LFM
IfS
24
Arbeitspaket 06
• Simulation komplettes Mikroumformbauteil mit definierten
zufälligen Unsicherheiten, zukünftig auch Welligkeiten.
B5 Sichere Prozesse
-0.5
0
0.5
-0.8
-0.6
-0.4
-0.2
0
0.2
-0.5
0
0.5
1
x-axis
y-axis
z
-
a
x
i
s
45°
Prinzip der Messung
mit digitaler Holografie
z

i
n

w
.
E
.

x in w.E.
y in w.E.
IWT
LFM
IfS
25
Arbeitspaket 06
B5 Sichere Prozesse
• Abschätzung der Messunsicherheit der digitalen Holografie
(Wang)

• In welcher Richtung wirkt sich die Messunsicherheit aus?
(Wang)

• Anpassung der simulierten Profile an die reale Messtechnik

• Wie kann man die einzelnen Geometrie-Elemente
einer Punktwolke separieren? (nicht im Antrag)
-0.5
0
0.5
-0.8
-0.6
-0.4
-0.2
0
0.2
-0.5
0
0.5
1
x-axis
y-axis
z
-
a
x
i
s
Zylinder, Torus, Ebene
IWT
LFM
IfS
26
Arbeitspaket 07
1. Anzahl (Mess-) Punkte > Freiheitsgrade der Approximation
 überbestimmtes Gleichungssystem

2. Lösen durch Minimieren der Abstände vom Element

3. Approximation nach Zielfunktion
B5 Sichere Prozesse
R
(X, Y)
d
i
Beispiel: Kreis in 2D
• Position im Raum: Mittelpunkt (X, Y)
• Element Parameter: Radius R
• d
i
: Abstand des (Mess-) Punktes mit Index i
IWT
LFM
IfS
27
. :
2
1
1
2
2
Min d Q Norm L
n
i
i G
¬
(
¸
(

¸

= ÷
¿
=
Zielfunktionen in der Geometrie-Messtechnik:
• Gauß
• Tschebyscheff
B5 Sichere Prozesse
. sup : Min d Q Norm T
i T
¬ = ÷
weitverbreitet in der
Geometrie-Messtechnik
beispielsweise Formabwei-
chungen, MI/MC Elemente
(Maß und Bezugselemente)
Arbeitspaket 07
IWT
LFM
IfS
28
Arbeitspaket 07
Approximation von
• Gauß-,
• Tschebyscheff- A
• Hüll- (Minimum Circumscribed) B
• Pferchelementen (Maximum Inscribed) C
B5 Sichere Prozesse
t
(X, Y)
(X, Y)
R
R
R
t: Rundheitsabweichung nach DIN ISO 1101
A
B
C
IWT
LFM
IfS
29
0 5 10 15 20
-10
-5
0
5
10
x-axis
y
-
a
x
i
s
Arbeitspaket 07
Tschebyscheff-Kreis
B5 Sichere Prozesse
(X,Y)
R
y

i
n

w
.
E
.

x in w.E.
IWT
LFM
IfS
30
Arbeitspaket 07
B5 Sichere Prozesse
0 5 10 15 20
-10
-5
0
5
10
x-axis
y
-
a
x
i
s
(X,Y)
R
0 5 10 15 20
-10
-8
-6
-4
-2
0
2
4
6
8
10
x-axis
y
-
a
x
i
s
R
Pferchkreis
Hüllkreis
(X,Y)
y

i
n

w
.
E
.

x in w.E.
y

i
n

w
.
E
.

x in w.E.
IWT
LFM
IfS
31
Arbeitspaket 07
Weitere Beispiele
Pferchzylinder Hüllkugel Tschebyscheff-Ebene
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
32
Arbeitspaket 07
B5 Sichere Prozesse
• Abschätzung der Unsicherheit für Tschebyscheff-, Hüll- und
Pferchelemente  allgemeingültiger Ansatz

• Approximation von Kegel/Torus und entsprechenden Hüll-
/Pferchelementen

• Wie kann man die einzelnen Geometrie-Elemente einer
Punktwolke separieren? (nicht im Antrag)
IWT
LFM
IfS
33
Arbeitspaket 08
Jetziger Stand:
• Neue DIN ISO 21747 (2007) bietet vereinfachtes
Formelwerk für Prozessleistungsgrößen
• Neben Normalverteilung auch andere Verteilungen
• Annahme: Prozesse beherrscht
• Untersuchung große Anzahl Bauteile  MUM

B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
34
Arbeitspaket 08
Weiteres Vorgehen:
• Auftretende Unsicherheiten
• Approximation
• Messunsicherheit

• Untersuchung der stat. Methoden in GUM
(DIN V ENV 13005)
• Untersuchung der stat. Methoden in DIN ISO 21747
• Sind Auswertemethoden in GUM und DIN ISO 21747
redundant vorhanden?
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
35
Arbeitspaket 08
Weiteres Vorgehen:
• Diskussion mit IfS (Wosniok)


Ausblick
• Simulation einer Serienfertigung, beispielsweise
Durchmesser eines Näpfchens
• Auswertung
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
36
Ziel:
• Welche Mikrogeometrien sind möglich?
• Wie können Mikrobauteile gespannt werden?
• Welches Equipment bietet diese Möglichkeit?

•  Keine kurzfristige Lösung für die Messung eines
Mikronapfes auf vorhandenen Messgeräten
B5 Sichere Prozesse
Oberflächenmesstechnik Mikrobauteile
Geometrie-Messtechnik
(Maß, Form- und
Lageabweichungen)
>
>
Aktueller Stand Messung von Mikrobauteilen
oder Makrobauteilen mit Mikroeigenschaften
IWT
LFM
IfS
37
Aktueller Stand Messung von Mikrobauteilen
oder Makrobauteilen mit Mikroeigenschaften
B5 Sichere Prozesse
Mitutoyo CS-
5000H CNC
Mahr Primar MX4
Mahr PGK 120
Mahr LD 120
Leitz Ref. 10.7.6/B4
IWT
LFM
IfS
38
Aktueller Stand Messung von Mikrobauteilen
oder Makrobauteilen mit Mikroeigenschaften
Tiefziehwerkzeuge im SFB 747
B5 Sichere Prozesse
B3 B3 B3
auf Primar
MX4
> Ø 0.5mm
R
R
IWT
LFM
IfS
39
Aktueller Stand Messung von Mikrobauteilen
oder Makrobauteilen mit Mikroeigenschaften
Tiefziehstempel
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
40
Aktueller Stand Messung von Mikrobauteilen
oder Makrobauteilen mit Mikroeigenschaften
Tiefziehring
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
41
Simulation von Tiefenbildern
B5 Sichere Prozesse
Approximationsalgorithmen und
Künstliche Neuronale Netze
D <= 1mm
Qualitätsprüfung ?
Qualitätslenkung
IWT
LFM
IfS
42
Simulation von Tiefenbildern
B5 Sichere Prozesse
-0.5
0
0.5
-0.8
-0.6
-0.4
-0.2
0
0.2
-0.5
0
0.5
1
x-axis
y-axis
z
-
a
x
i
s
Approximationsalgorithmen und
Künstliche Neuronale Netze
D <= 1mm
Qualitätsprüfung ?
Qualitätslenkung
IWT
LFM
IfS
43
Simulation von Tiefenbildern
B5 Sichere Prozesse
-0.5
0
0.5
-0.8
-0.6
-0.4
-0.2
0
0.2
-0.5
0
0.5
1
x-axis
y-axis
z
-
a
x
i
s
Lübke: Simulation unsicher-
heitsbehafteter Mikronäpfe
Wang: Mesh in GeoMagic
Wang: Transformation
Mesh  Tiefenbild
x in w.E.
y in w.E.
z

i
n

w
.
E
.

IWT
LFM
IfS
44
Auswertung von Tiefenbildern
B5 Sichere Prozesse
• Auswertung im „Fringe Processor“ (BIAS)
• Zufällige Unsicherheit 1µm
-
0
. 5
0
0
. 5
-
0
. 8
-
0
. 6
-
0
. 4
-
0
. 2
0
0
. 2
-
0
. 5
0
0
. 5
1
x
-
a
x
i
s
y
-
a
x
i
s
z
-
a
x
i
s
IWT
LFM
IfS
45 45
2007 2008
2009 2010
Arbeitspakete
AP 9: Logistische
Qualitätsplanung
AP 10: Methodik zur
automatisierten, intelligenten
Klassifikation von
Qualitätsabweichung

B5 Sichere Prozesse
AP 11: Übergeordnete
logistikorientierte Qualitätslenkung
Soll
Soll Soll
Soll
IWT
LFM
IfS
46 46
Arbeitspaket 09: Logistische Qualitätsplanung
Ziel:
Durchführung einer Qualitätsplanung

Qualitätsplanung: Teil des Qualitätsmanagements, der auf
das Festlegen der Qualitätsziele und der notwendigen
Ausführungsprozesse sowie der zugehörigen Ressourcen
zum Erreichen der Qualitätsziele gerichtet ist
[DIN ISO 9001:2005]
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
47 47
Arbeitspaket 09: Logistische Qualitätsplanung
Vorgehen:
•Festlegung des zu betrachtenden Umfeldes
•Untersuchung von Mikrobauteilen
•Festlegung von Qualitätsabweichungen
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
48 48
Ergebnisse
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
49
B5 Sichere Prozesse
Festlegung von Schnittstellen:
• XML Schnittstelle zum BIMAQ
• .flt (float Daten) für die Tiefenbilder des bias

49
bottomplane
topplane
cylinder
bottomtorus
toptorus
IWT
LFM
IfS
50
B5 Sichere Prozesse
Untersuchung von Mikrobauteilen (45 Stk.)
• Falten (21,43%)
• Risse (14,29%)
• abgelöster Deckel (2,38%)
• Deformationen (35,71%)

50
500µm 500µm
IWT
LFM
IfS
51 51
Arbeitspaket 10: Methodik zur automati-
sierten, intelligenten Klassifikation von
Qualitätsabweichung
Ziel:
Entwicklung eines Verfahrens zur Prüfung von Mikrobauteilen
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
52 52
Arbeitspaket 10: Methodik zur automati-
sierten, intelligenten Klassifikation von
Qualitätsabweichung
Vorgehen:
• Auswahl von Merkmale auf den Tiefendaten
• Wahl von geeigneten Datensätzen
• Auswahl von neuronalen Netzen (& weiteren Verfahren)
Schwierigkeiten:
• Keine realen Tiefenbilder vorhanden
• Eigene Simulation von Bildern
• Datensätze mit Hilfe alternativer Messverfahren
• Simulation von Tiefenbildern (Lübke, Wang)
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
53
B5 Sichere Prozesse
Tätigkeiten:
• Simulation eigener Datensätze
• Einarbeitung in den Fringe Processor
– Programmierumgebung
– Einrichtung der ersten Funktionen
– Überblick bestehender Funktionen beschafft
53
IWT
LFM
IfS
54 54
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
55 55
Arbeitspaket 11: Übergeordnete
logistikorientierte Qualitätslenkung
Ziel:
• Konzept für eine Qualitätslenkung im Mikrobereich

Qualitätslenkung:
Teil des Qualitätsmanagements, der auf die Erfüllung
von Qualitätsanforderungen gerichtet ist.
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
56 56
Arbeitspaket 11: Übergeordnete
logistikorientierte Qualitätslenkung
Vorgehen:
• Exemplarische Prozesse der Mikrofertigung aufnehmen
• Identifikation von Schwachstellen bei der Qualitätslenkung
B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
57 57
Arbeitspaket 11: Übergeordnete
logistikorientierte Qualitätslenkung
Ergebnisse:
• Aus dem IVAM ca. 30 Unternehmen ausgewählt
• Fragebogen entwickelt
• Unternehmen kontaktiert

B5 Sichere Prozesse
IWT
LFM
IfS
58
B5 Sichere Prozesse
Ausblick und gemeinsames Ziel:

Bis Ende 2008 ist der vollständige Prozess
bestehend aus dem Gewinnen von
Messdaten, Übergabe an Kirchheim und
Lübke sowie Auswertung der Daten
durchlaufen.
58
IWT
LFM
IfS
59
B5 Sichere Prozesse
Vielen Dank für Ihre Aufmerksamkeit
IWT
LFM
IfS
60

IWT
LFM
IfS
61
50 100 150 200 250 300 350
0.97
0.98
0.99
1
1.01
1.02
1.03
1.04
1.05
1.06
exponent p
Q
T

i
n

m
m
Einschließung der Approximation
• Jensensche Ungleichung
p
n
i
p
i
p
d
n
lb
1
1
1
1
|
.
|

\
|
·
|
.
|

\
|
=
¿
=
p
n
i
p
i
d ub
1
1
|
.
|

\
|
=
¿
=
n: number of points
Q
p

Quelle: Goch, G.,
Annals of the CIRP
39/1:553-556 and
41/1:597-600
1 =
T
Q
. lim sup
1
1
Min d Q d Q
p
n
i
p
i
p
p i T
¬
(
¸
(

¸

= ~ =
¿
=
· ÷
 hier Exponent p:
50 < p < 100
Exponent p

IWT
LFM
IfS
62
Ausblick
Weiteres Vorgehen
• Simulation unsicherheitsbehafteter Mikroumformbauteile zur
Generierung simulierter Hologramme
• Kontinuierliche Anpassung der simulierten Punktwolken an die realen
Gegebenheiten der Digitalen Holografie
• Prüfen des Durchlaufs eines kompletten Prozesses bis Ende 2008
• Bestimmung und Darstellung der Unsicherheit von Approximations-
algorithmen
• Wechselwirkung zwischen Unsicherheiten und Prozessfähigkeit
aufbauend auf µ-EWMA Karte (Universität Karlsruhe)

• Extra: Messen der rechteckigen Mikroumformwerkzeuge
IWT
LFM
IfS
63
Hüllkreis
) max(
i fix MCC
d R R + =
(X,Y)
R
fix
max(d
i
)
R
MCC
• Modified Tschebyscheff-Approximation without parameter R
 only center-point (X, Y) is calculated
• Set R to a fix value R
fix
(all points outside of the initial solution)
• Approximate spatial position X and Y

by T-Norm
• The position of center-point (X, Y) is influenced by the maximum
distances
 touching points of the MCCircle
IWT
LFM
IfS
64
Veröffentlichungen
• Lübke, K; von Freyberg, A.; Goch, G.: Approximation von
Tschebyscheff-Kreisen zur Berechnung von Hüll-/Pferchkreisen und
Rundheitsabweichungen. Tagungsband XXI. Messtechnisches
Symposium des Arbeitskreises der Hochschullehrer für Messtechnik
e.V., Paderborn, 2007, S. 93-102.

• Goch, G.; Lübke, K.: Tschebyscheff Approximation for the Calculation
of Maximum Inscribed/Minimum Circumscribed Geometry Elements
and Form Deviations. Annals of the CIRP, 2008, 57/1:517-520.

B5 Sichere Prozesse

Ziel
Qualitätsprüfung des Mikroumformprozesses
Entwicklung einer optischen Messtechnik zur schnellen Formerfassung des Mikrobauteils (Wang) Wechselwirkung zwischen Messunsicherheit und Prozessfähigkeit (Lübke) Qualitätsprüfung und Qualitätslenkung in Mikrofertigungsprozessen (Kirchheim)

LFM

IWT

IfS

2

B5 Sichere Prozesse

Arbeitspakete
AP 1: Projekt-AK‚ Sichere Prozesse (Alle) AP 2: Holografische Mikroskopie (Wang) AP 3: Implementation digitaler Holografie (Wang)

2007

2008
Soll

2009

2010

Soll

Soll

AP 4: Gewinnung Formdaten (Wang) AP 5: Kalibrierung und Validierung (Wang)

Soll

Soll

LFM

IWT

IfS

3

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 02 Ziel Grundlegende Voruntersuchungen für den Einsatz der digitalen Holografie Verfahrenssimulation: Geometrie  erreichbare Auflösung Oberflächencharakteristika: Streuverhalten Strahlquellen: Zusammenhang zwischen Wellenlänge und Rauheit LFM IWT IfS 4 .

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 02 Das zu messende Mikrobauteil Messungsverfahren: •Triangulationssensoren -spiegelnder Sensor -diffuser Sensor -mit Halterung •Interferometer •Mikroskop LFM IWT IfS 5 .

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 02 Messung mit spiegelndem Sensor • Ungefähr 6 Stunden Messdauer mit 1250 x 1250 und 1 µm • Strukturen erkennbar • Das Oberteil kann gemessen werden LFM IWT IfS 6 .

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 02 Messung mit diffusem Sensor • Ungefähr 2 Stunden Messdauer mit 512 x 512 und 5 µm • Form wird oben und unten erfasst • Der überwiegende Teil der Kante kann nicht gemessen werden 7 LFM IWT IfS .

B5 Sichere Prozesse

Arbeitspaket 02
Einsatz einer Halterung

drehbar gelagert; Einstellbare Position jeweils in Winkelschritten von 30°

Spitze zur Aufnahme des Napfbauteils

LFM

IWT

IfS

8

B5 Sichere Prozesse

Arbeitspaket 02
Mit diffusem Sensor und Halterung

LFM

IWT

IfS

9

B5 Sichere Prozesse

Arbeitspaket 02
Mit diffusem Sensor und Halterung
• • • •

Ungefähr 2 St. Messdauer für jede Messung Die Kante des Napfes kann gemessen werden zu aufwendig Strukturen schwer erkennbar

LFM

IWT

IfS

10

Strukturen erkennbar Kanten nicht messbar wegen hoher Krümmung 11 • • • LFM IWT IfS .B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 02 Messung mit digitaler Interferometrie • Zweiwellenlängenmethode (570 nm und 575 nm) Messdauer ca. 10 s Messung der Oberfläche.

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 02 Messung mit Mikroskop (Fa. Keyence) LFM IWT IfS 12 .

•Winkel zwischen Objekt.und Referenzstrahl •Specklegröße •Abtasttheorem Auflösung LFM IWT IfS 13 .A.B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 02 Versuchsgeometrie in Simulation Parameter: Strahlengänge •N.

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 02 Numerische Apertur (N.A.: sin(α) WD LFM IWT IfS 14 .A.) Linse Objekt F α WD: Arbeitsabstand α: Halber Öffnungswinkel N.

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 02 Winkel θ zwischen Objekt.und Referenzstrahl Blende Linse Objekt F F θmax CCD Z Bild Z CCD Blende Objekt Bild F F θmax LFM IWT IfS 15 .

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 02 •Specklegröße S Z S A Blende Objekt Bild F F θmax Z CCD •Verhältnis W zwischen Specklegröße S und Pixelgröße ΔK W S 2 K IfS 16 LFM IWT .

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 02 erreichbare Auflösung Blende G mal vergrößertes Bild Z CCD mit Länge/ Breite B  Obj'  Z GB LFM IWT IfS 17 .

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 02 Erkenntnisgewinn • Untersuchung der Oberflächencharakteristika durch Triangulationssensoren. • Wechselwirkung zwischen Parameter der Versuchsgeometrie und Auflösung. Interferometrie und Mikroskop. Ausblick • Streuverhalten der Mikrobauteile zu untersuchen • Diese mögliche Geometrien am Laborsaufbau zu testen LFM IWT IfS 18 . • Festlegung der möglichen Geometrien nach Simulationsergebnis der Auflösung.

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 03 Ziel Laboraufbau zur Messung der Geometrie der Mikrobauteile zu realisieren • Erstellung des auf die MUM übertragbaren Laboraufbaus: Testen unterschiedlicher Geometrien (aus AP2) • Ermittelung der erreichbaren Auflösung und Kalibrierung • Analyse der Messunsicherheit für unterschiedlichen Bauteile und Aufbaugeometrien LFM IWT IfS 19 .

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 03 Laboraufbau Geometrie mit bestimmten Parameter aus AP2 Auflösung LFM IWT IfS 20 .

B5 Sichere Prozesse Ziele Entwicklung einer optischen Messtechnik zur schnellen Formerfassung des Mikrobauteils (Wang) Bereitstellung simulierter Bauteildaten (AP 6) Untersuchung der Unsicherheiten (AP 7) Messunsicherheit (zufällig/systematisch) Auswertungsalgorithmen (Approximation) Wechselwirkung zwischen Messunsicherheit und Prozessfähigkeit (AP 8) Zusätzliche Überprüfung der Hologramme mit KNN (Kirchheim) Qualitätslenkung (Kirchheim) IfS 21 LFM IWT .

B5 Sichere Prozesse Arbeitspakete AP 6: Erstellen von Bauteildaten mittels Simulation (Lübke) AP 7: Untersuchung der Unsicherheit bei der Berechnung von geometrischen Kenngrößen (Lübke) AP 8: Untersuchung der Wechselwirkung zwischen Messunsicherheit und Prozessfähigkeit (Lübke) 2007 Soll 2008 2009 2010 Soll Soll LFM IWT IfS 22 .

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 06 • Simulation von Testprofilen mit bekannten Eigenschaften zur Überprüfung der Approximationsalgorithmen • Simulation von Testprofilen Extrapunkt Kreis Zylinder LFM IWT IfS 23 .

8-0. x-axis LFM IWT Prinzip der Messung mit digitaler Holografie IfS 24 .B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 06 • Simulation komplettes Mikroumformbauteil mit definierten zufälligen Unsicherheiten. 1 in w.E. zz-axis 0. x in w.5 y iny-axis w.5 -0.2 0 0.5 45° 0 -0. zukünftig auch Welligkeiten.2 0.6 -0.4-0.E.5 0 -0.E.

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 06 • Abschätzung der Messunsicherheit der digitalen Holografie (Wang) • In welcher Richtung wirkt sich die Messunsicherheit aus? (Wang) • Anpassung der simulierten Profile an die reale Messtechnik 1 • Wie kann man die einzelnen Geometrie-Elemente einer Punktwolke separieren? (nicht im Antrag) z-axis 0.5 0 25 x-axis .4-0. Torus.2 0.6 -0.5 -0.2 0 0. Ebene LFM IWT IfS -0.5 0 Zylinder.8-0.

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 07 1. Y) di 26 LFM IWT . Lösen durch Minimieren der Abstände vom Element 3. Anzahl (Mess-) Punkte > Freiheitsgrade der Approximation  überbestimmtes Gleichungssystem 2. Approximation nach Zielfunktion R Beispiel: Kreis in 2D • Position im Raum: Mittelpunkt (X. Y) • Element Parameter: Radius R • di: Abstand des (Mess-) Punktes mit Index i IfS (X.

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 07 Zielfunktionen in der Geometrie-Messtechnik: • Gauß • Tschebyscheff  n 2 L2  Norm : QG   di   Min. beispielsweise Formabweichungen.  i 1  1 2 weitverbreitet in der Geometrie-Messtechnik T  Norm : QT  sup di  Min. MI/MC Elemente (Maß und Bezugselemente) 27 LFM IWT IfS .

Y) IfS 28 . • Tschebyscheff.B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 07 Approximation von • Gauß-. Y) t: Rundheitsabweichung nach DIN ISO 1101 LFM IWT (X.A • Hüll.(Minimum Circumscribed) B • Pferchelementen (Maximum Inscribed) C A t R B R C R (X.

y y-axis 10 5 R 0 (X.Y) -5 -10 0 5 10 15 20 x in w. x-axis LFM IWT IfS 29 .B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 07 Tschebyscheff-Kreis in w.E.E.

Y) R 0 (X.E. IfS 30 .E.E. y-axis y in w.B5 Sichere Prozesse 10 8 6 Arbeitspaket 07 10 5 4 y-axis y in w.Y) -5 Pferchkreis -10 Hüllkreis -10 0 5 10 15 20 0 5 10 15 20 x x-axis in w. 2 0 -2 -4 -6 -8 R (X.E. LFM IWT xx-axis in w.

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 07 Weitere Beispiele Pferchzylinder Hüllkugel Tschebyscheff-Ebene LFM IWT IfS 31 .

Hüll.B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 07 • Abschätzung der Unsicherheit für Tschebyscheff-.und Pferchelemente  allgemeingültiger Ansatz • Approximation von Kegel/Torus und entsprechenden Hüll/Pferchelementen • Wie kann man die einzelnen Geometrie-Elemente einer Punktwolke separieren? (nicht im Antrag) LFM IWT IfS 32 .

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 08 Jetziger Stand: • Neue DIN ISO 21747 (2007) bietet vereinfachtes Formelwerk für Prozessleistungsgrößen • Neben Normalverteilung auch andere Verteilungen • Annahme: Prozesse beherrscht • Untersuchung große Anzahl Bauteile  MUM LFM IWT IfS 33 .

Methoden in DIN ISO 21747 • Sind Auswertemethoden in GUM und DIN ISO 21747 redundant vorhanden? LFM IWT IfS 34 .B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 08 Weiteres Vorgehen: • Auftretende Unsicherheiten • Approximation • Messunsicherheit • Untersuchung der stat. Methoden in GUM (DIN V ENV 13005) • Untersuchung der stat.

beispielsweise Durchmesser eines Näpfchens • Auswertung LFM IWT IfS 35 .B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 08 Weiteres Vorgehen: • Diskussion mit IfS (Wosniok) Ausblick • Simulation einer Serienfertigung.

Form.und Lageabweichungen) > Mikrobauteile > Oberflächenmesstechnik IfS 36 LFM IWT .B5 Sichere Prozesse Aktueller Stand Messung von Mikrobauteilen oder Makrobauteilen mit Mikroeigenschaften Ziel: • Welche Mikrogeometrien sind möglich? • Wie können Mikrobauteile gespannt werden? • Welches Equipment bietet diese Möglichkeit? •  Keine kurzfristige Lösung für die Messung eines Mikronapfes auf vorhandenen Messgeräten Geometrie-Messtechnik (Maß.

10.B5 Sichere Prozesse Aktueller Stand Messung von Mikrobauteilen oder Makrobauteilen mit Mikroeigenschaften Mahr Primar MX4 Mitutoyo CS5000H CNC Leitz Ref.7.6/B4 Mahr PGK 120 Mahr LD 120 LFM IWT IfS 37 .

B5 Sichere Prozesse Aktueller Stand Messung von Mikrobauteilen oder Makrobauteilen mit Mikroeigenschaften Tiefziehwerkzeuge im SFB 747 B3 B3 B3 R R > Ø 0.5mm auf Primar MX4 IfS 38 LFM IWT .

B5 Sichere Prozesse Aktueller Stand Messung von Mikrobauteilen oder Makrobauteilen mit Mikroeigenschaften Tiefziehstempel LFM IWT IfS 39 .

B5 Sichere Prozesse Aktueller Stand Messung von Mikrobauteilen oder Makrobauteilen mit Mikroeigenschaften Tiefziehring LFM IWT IfS 40 .

B5 Sichere Prozesse Simulation von Tiefenbildern D <= 1mm Approximationsalgorithmen und Künstliche Neuronale Netze Qualitätslenkung Qualitätsprüfung IfS ? 41 LFM IWT .

4-0.B5 Sichere Prozesse Simulation von Tiefenbildern 1 z-axis 0.2 0 0.2 0.8-0.5 0 -0.6 -0.5 D <= 1mm-0.5 0 -0.5 y-axis x-axis Approximationsalgorithmen und Künstliche Neuronale Netze Qualitätslenkung Qualitätsprüfung IfS ? 42 LFM IWT .

5 0 -0.8-0.5 -0.5 y in w.2 0 0.E.4-0. 0.B5 Sichere Prozesse Simulation von Tiefenbildern Lübke: Simulation unsicherheitsbehafteter Mikronäpfe 1 Wang: Mesh in GeoMagic Wang: Transformation Mesh  Tiefenbild z-axis z in w. y-axis xx-axis in w.E.5 0 -0. LFM IWT IfS 43 .6 -0.2 0.E.

5 0. 5 xis . 2 s 0 0.5 x-a xis 0 -0.2 Auswertung von Tiefenbildern 1 0.B5 Sichere Prozesse • Auswertung im „Fringe Processor“ (BIAS) • Zufällige Unsicherheit 1µm LFM IWT IfS 44 -0.

intelligenten Klassifikation von Qualitätsabweichung AP 11: Übergeordnete logistikorientierte Qualitätslenkung 2007 Soll 2008 2009 2010 Soll Soll Soll LFM IWT IfS 45 .B5 Sichere Prozesse Arbeitspakete AP 9: Logistische Qualitätsplanung AP 10: Methodik zur automatisierten.

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 09: Logistische Qualitätsplanung Ziel: Durchführung einer Qualitätsplanung Qualitätsplanung: Teil des Qualitätsmanagements. der auf das Festlegen der Qualitätsziele und der notwendigen Ausführungsprozesse sowie der zugehörigen Ressourcen zum Erreichen der Qualitätsziele gerichtet ist [DIN ISO 9001:2005] LFM IWT IfS 46 .

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 09: Logistische Qualitätsplanung Vorgehen: •Festlegung des zu betrachtenden Umfeldes •Untersuchung von Mikrobauteilen •Festlegung von Qualitätsabweichungen LFM IWT IfS 47 .

B5 Sichere Prozesse Ergebnisse LFM IWT IfS 48 .

B5 Sichere Prozesse Festlegung von Schnittstellen: • XML Schnittstelle zum BIMAQ • .flt (float Daten) für die Tiefenbilder des bias topplane toptorus cylinder bottomtorus bottomplane LFM IWT IfS 49 .

43%) Risse (14.71%) 500µm LFM IWT 500µm 50 IfS .) • • • • Falten (21.29%) abgelöster Deckel (2.B5 Sichere Prozesse Untersuchung von Mikrobauteilen (45 Stk.38%) Deformationen (35.

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 10: Methodik zur automatisierten. intelligenten Klassifikation von Qualitätsabweichung Ziel: Entwicklung eines Verfahrens zur Prüfung von Mikrobauteilen LFM IWT IfS 51 .

Wang) LFM IWT IfS 52 . intelligenten Klassifikation von Qualitätsabweichung Vorgehen: • Auswahl von Merkmale auf den Tiefendaten • Wahl von geeigneten Datensätzen • Auswahl von neuronalen Netzen (& weiteren Verfahren) Schwierigkeiten: • Keine realen Tiefenbilder vorhanden • Eigene Simulation von Bildern • Datensätze mit Hilfe alternativer Messverfahren • Simulation von Tiefenbildern (Lübke.B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 10: Methodik zur automatisierten.

B5 Sichere Prozesse Tätigkeiten: • Simulation eigener Datensätze • Einarbeitung in den Fringe Processor – Programmierumgebung – Einrichtung der ersten Funktionen – Überblick bestehender Funktionen beschafft LFM IWT IfS 53 .

B5 Sichere Prozesse LFM IWT IfS 54 .

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 11: Übergeordnete logistikorientierte Qualitätslenkung Ziel: • Konzept für eine Qualitätslenkung im Mikrobereich Qualitätslenkung: Teil des Qualitätsmanagements. der auf die Erfüllung von Qualitätsanforderungen gerichtet ist. LFM IWT IfS 55 .

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 11: Übergeordnete logistikorientierte Qualitätslenkung Vorgehen: • Exemplarische Prozesse der Mikrofertigung aufnehmen • Identifikation von Schwachstellen bei der Qualitätslenkung LFM IWT IfS 56 .

B5 Sichere Prozesse Arbeitspaket 11: Übergeordnete logistikorientierte Qualitätslenkung Ergebnisse: • Aus dem IVAM ca. 30 Unternehmen ausgewählt • Fragebogen entwickelt • Unternehmen kontaktiert LFM IWT IfS 57 .

LFM IWT IfS 58 .B5 Sichere Prozesse Ausblick und gemeinsames Ziel: Bis Ende 2008 ist der vollständige Prozess bestehend aus dem Gewinnen von Messdaten. Übergabe an Kirchheim und Lübke sowie Auswertung der Daten durchlaufen.

B5 Sichere Prozesse Vielen Dank für Ihre Aufmerksamkeit LFM IWT IfS 59 .

LFM IWT IfS 60 .

.97 50 100  n p ub    di   i 1  1 p 1  n p lb       di   n   i 1  1 p 1 p QT  1 150 200 250 300 350 n: number of points exponent p Exponent p LFM IWT Quelle: Goch. Annals of the CIRP 39/1:553-556 and 41/1:597-600 IfS 61 .99 0.98 0.02 1.05 1.03 1. G.Einschließung der Approximation • Jensensche Ungleichung n p QT  sup di  Qp  lim  di   Min. p   i 1  1.01 1 0.06 1.04 1 p  hier Exponent p: 50 < p < 100 QQT in mm p 1.

Ausblick Weiteres Vorgehen • • • • • • Simulation unsicherheitsbehafteter Mikroumformbauteile zur Generierung simulierter Hologramme Kontinuierliche Anpassung der simulierten Punktwolken an die realen Gegebenheiten der Digitalen Holografie Prüfen des Durchlaufs eines kompletten Prozesses bis Ende 2008 Bestimmung und Darstellung der Unsicherheit von Approximationsalgorithmen Wechselwirkung zwischen Unsicherheiten und Prozessfähigkeit aufbauend auf µ-EWMA Karte (Universität Karlsruhe) Extra: Messen der rechteckigen Mikroumformwerkzeuge LFM IWT IfS 62 .

Y) is influenced by the maximum distances  touching points of the MCCircle max(di) Rfix RMCC (X.Hüllkreis • Modified Tschebyscheff-Approximation without parameter R  only center-point (X.Y) IfS RMCC  R fix  max( d i ) 63 LFM IWT . Y) is calculated • Set R to a fix value Rfix (all points outside of the initial solution) • Approximate spatial position X and Y by T-Norm • The position of center-point (X.

von Freyberg. Goch. • LFM IWT IfS 64 . K. Goch.. Tagungsband XXI.: Approximation von Tschebyscheff-Kreisen zur Berechnung von Hüll-/Pferchkreisen und Rundheitsabweichungen. G. 57/1:517-520. Messtechnisches Symposium des Arbeitskreises der Hochschullehrer für Messtechnik e. 2008. S. 93-102. K.: Tschebyscheff Approximation for the Calculation of Maximum Inscribed/Minimum Circumscribed Geometry Elements and Form Deviations.Veröffentlichungen • Lübke. Annals of the CIRP. 2007.V. A. Paderborn.. Lübke.. G.

 % 1$  .

0Y:3/0755742.   33.84190#! .0&30.943 W 038038. 3 c / 5   33:2-074154398 "%       05430395 5430395  % ":004.38.    5 / 5 ""%322 5               .:3 3 "%  8:5 /   " 5  2       5 FC /   5  5 3 075430395  5  5 3  5 3 :.

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