‫معرفی خل‬

‫• خل چیست؟‬
‫ تعریف رسمی‪ :‬فشار کم‬‫ ”کم” یک اصطلح نسبی است‪ .‬فشار کم بستگی به فشار اتمها دارد‪.‬‬‫• بنابر این‪ ...‬فشار چیست؟‬
‫فشار نیروی وارد بر واحد سطح است‪.‬‬‫پوند بر اینچ مربع‬‫نیوتن بر متر مربع‬‫• مثال ‪ :‬نیروی اعمالی به وسیله دست بر شن‬

‫معرفی خل‬
‫•فشاری که گاز بر یک محفظه بسته با دیواره های سخت‬
‫وارد می کند ناشی از برخورد مولکولهای گاز بر سطح‬
‫محفظه است‪.‬‬
‫گاز ‪ :‬حالتی از ماده است که مولکولها می توانند آزادانه در‬‫تمام جهات حرکت کنند و به طور کامل در ظرف محتوی‬
‫خود پخش شوند‪.‬‬
‫•این فشار شامل دو فاکتور است‪:‬‬
‫‪ -1‬تعداد مولکولهای گاز موجود در محفظه (چگالی مولکولی)‬
‫‪ -2‬انرژی جنبشی (حرارتی ) مولکولهای گاز‬

‫معرفی خل‬
‫• بنابراین خل ( فشار کم ) با عوامل زیر به وجود می آید ‪:‬‬
‫ کاهش تعداد مولکولهای گاز موجود در محفظه(پمپ کردن)‬‫‪-‬کاهش انرژی جنبشی مولکولهای گاز‬

‫معرفی خل‬
‫• فشار اتمسفر‪:‬‬
‫ قسمت عمده ی اتمسفر زمین از اکسیژن و نیتروژن تشکیل شده‬‫است‪.‬‬
‫ نیروی ناشی از اتمسفر بر سطح زمین برابر است با ‪7/14‬پوند بر‬‫اینچ مربع (در سطح دریا ‪ ،‬عرض جغرافیایی ‪ ،º 45‬صفر درجه‬
‫سانتی گراد )‬
‫ نیروی ‪ 7/14‬پوند ناشی از وزن موثر ستونی از مولکولهای هوا‬‫است که بالی یک اینچ مربع از زمین قرار گرفته و تا لبه ی‬
‫اتمسفر کشیده شده است‪.‬‬
‫‪ -‬چرا فشار اتمسفر با افزایش ارتفاع کاهش می یابد ؟‬

‫حداکثر ارتفاع اتمسفر‬

‫ستونی از هوا با سطح مقطع‬
‫یک اینچ مربع و ارتفاع اتمسفر‬

‫یک اینچ مربع‬
‫سطح دریا‬

‫وزن ‪14 /7‬پوند در سطح دریا‪،‬‬
‫فشار اتمسفر‪ psia 7/14‬است‪،‬‬

‫معرفی خل‬
‫•فشار اتمسفر ‪:‬‬
‫ رابطه ارتفاع و فشار اتمسفر به صورت زیر می باشد‪:‬‬‫‪− A 17000‬‬

‫‪P = 14.7 ×10‬‬

‫ = ‪p‬پوند براینچ مربع ( ‪)psia‬‬‫ =‪ A‬ارتفاع از سطح دریا بر حسب متر‬‫ فشار اتمسفر در جایی با ارتفاع ‪866‬متر از سطح دریا‬‫حدود‪ psia 1/13‬می باشد‪.‬‬
‫ در قله اورست (‪8850‬متر) فشار برابر ‪psia 3/4‬است ‪ ،‬یعنی‬‫کمتر از یک سوم سطح دریا‪.‬‬

‫اتمسفر در سطح زمین‬

‫‪pa P=101300، H=0‬‬

‫معرفی خل‬
‫•فشار خالص ‪:‬‬
‫ مولکولهای هوا به طور مداوم به دیواره محفظه برخورد وبه آن‬‫نیرووارد می کنند‪.‬‬
‫ اگر محفظه باز باشد آنگاه ‪:‬‬‫• نیروی داخل محفظه =نیروی خارج محفظه‬
‫•هیچ فشار خالصی به دیواره محفظه وارد نمی شود‬
‫اگر محفظه بسته باشد ومقداری از گاز داخل محفظه به بیرون پمپ‬‫شود‪،‬نیروی خالصی رو به درون به دیوارها وارد می شود‪.‬‬
‫• اگرنیروی خالص بزرگتر از قدرت مکانیکی محفظه باشد‪،‬محفظه‬
‫فشرده می شود ‪.‬‬

‫معرفی خل‬
‫•فشار خالص‪:‬‬
‫مچاله شدن کانتینر در اثر چگالش بخار‬

‫معرفی خل‬
‫•خل ایده ال (کامل)چیست؟‬
‫ فضایی که هیچ ذره ای وجود ندارد‬‫فشار =‪0psia‬‬‫آیا چنین چیزی وجود دارد؟‬‫ندارد‬
‫وجود‬
‫درعمل‬
‫•‬
‫‪-20‬‬
‫•در فضاهای دور تقریباً وجود دارد(فشار کمتر از ‪)10‬‬
‫چرا درعمل چنین چیزی وجود ندارد؟‬‫•در خل واقعی فشاری کمتر از فشار اتمسفر وجود ندارد‪.‬‬

‫نیم نگاهی به تاریخ خل‬
‫‪• Evangelista Torricelli-1643‬‬
‫ ساخت یک پمپ مکشی برای خارج کردن اب ازچاه‬‫ ساخت اولین هواسنج‬‫‪ -‬واحد فشار تور (‪ )Torr‬نامگذاری شد‬

‫نیم نگاهی به تاریخ خل‬
‫• تاریخ کوتاه‪Otto von Guericke-1663:‬‬
‫ ساخت یک پمپ خل پیستونی‬‫• دو نیم کره از جنس برنز کنار هم قرار گرفتند ‪،‬هوا به‬
‫بیرون پمپ شد و دو دسته اسب نتوانستند ان ها را از هم‬
‫جدا کنند ‪.‬‬

‫نیم نگاهی به تاریخ خل‬

‫نیم نگاهی به تاریخ خل‬
‫• ‪Edison-1879‬‬
‫ از خل در اولین لمپ الکتریکی خود استفاده کرد‪.‬‬‫• اوایل دهه ی ‪1900‬‬
‫ ساخت پمپ های خل و خل سنج ها با تأمین تکنولوژی تیوپ ادامه‬‫یافت‪.‬‬
‫• دهه ی ‪1950‬‬
‫ توسعه ی پمپ های دیفوژن و یونی و خل سنج های یونی دری را‬‫بسوی خل بال و خل فوق بال گشود‪.‬‬
‫• دهه ی ‪1970‬‬
‫‪ -‬اختراع پمپ های توربومولکولی و کرایو‬

‫چرا به خل نیاز است؟‬
‫‪ -1‬برای جابجایی ذره به خط مستقیم در طول یک مسافت‬
‫طولنی‬

‫چرا به خل نیاز است؟‬
‫‪-2‬برای ایجاد یک سطح تمیز‬
‫خل بال‬

‫اتمسفر‬

‫سطح تمیز‬

‫الودگی‬
‫(معمولً اب)‬

‫چرا از خل استفاده می کنیم؟‬
‫• تمیزی ‪ :‬فشار کم => تعداد کمتری مولکول های آلوده کننده‬
‫ زمان تشکیل اکسید های طبیعی افزایش می یابد‪.‬‬‫ ایجاد ناخالصی در طول یک فرایند کاهش می یابد‪.‬‬‫• تولید پلسما‪ :‬پلسما در محیطی با فشار پایین به راحتی خلق‬
‫و نگه داشته می شود‪.‬‬
‫ برای لیه برداری‪،‬جابجایی و کاشتن یون استفاده می شود‪.‬‬‫• تداخل مولکولی کمتر‪:‬‬
‫‪ -‬افزایش مسافت آزاد میانگین برای یون ها‬

‫چرا از خل استفاده می کنیم؟‬
‫• اصطکاک کم‪:‬‬
‫ کاهش پراکندگی حرارتی مورد نیاز برای فرایند ها‬‫• عایقبندی حرارتی ‪:‬‬
‫ به عبارت دیگر فلسک‪.‬‬‫• بهبود تبخیر ‪:‬‬
‫ با کاهش فشار ماده در دماهای پایین تری بخار می شود‪.‬‬‫• کاربرد مکانیکی ‪:‬‬
‫ از اختلف فشار برای نگهداری جسم در یک مکان یا برای انتقال از‬‫یک مکان به مکان دیگر استفاده می شود‪.‬‬

‫کاربردهای خل‬
‫• خشکبار و محصولت دارویی‬
‫• اندودن عدسی های اپتیکی‬
‫• محفظه ی خل برای کند کردن ‪ ،‬فاسد شدن یا اکسیداسیون‬
‫(زنگ زدن)‬
‫• لمپ خل و لمپ اشعه کاتدی‬
‫• جارو برقی‬
‫• کاربرد مکانیکی‬

‫کاربردهای خل‪ :‬نیمه هادی‬
‫• لیه گذاری ( لیه گذاری به وسیله تبخیر شیمیایی ‪ ،‬تبخیر)‬
‫ کاهش ناخالصی‬‫ تولید پلسما‬‫ کاهش مسیر آزاد میانگین‬‫• قلم زنی‬
‫ قلم زنی به وسیله پلسما‬‫• کاشت یون (ناخالص سازی)‬

‫اندازه گیری فشار‬

‫فشارسنج‬
‫جیوه ‪13.58 :‬بار سنگین تر از آب‬
‫است‪.‬‬
‫ستون جیوه ‪ 13.58x‬کوتاهتر است‪:‬‬

‫‪29,9‬‬
‫‪in‬‬

‫‪760‬‬
‫‪mm‬‬

‫جیوه‬

‫‪10.321‬‬
‫‪mm‬‬

‫‪10321mm / 13.58 = 760‬‬
‫‪) mm )= 760 torr‬‬

‫آب‬

‫اندازه گیری فشار‬
‫• فشارسنج‬
‫ ‪ Torricelli‬یک لوله ی شیشه ای را به صورت‬‫ وارونه در تشت جیوه فرو برد‪.‬‬‫ سطح جیوه در لوله هنگامی که فشار اطراف آن‬‫ تغییر کند‪ ،‬بال و پایین می رود‪.‬‬‫ در سطح دریا فشار اتمسفر ‪ ،‬ارتفاع ستون جیوه‬‫ را در ‪mm 760‬ثابت نگه می دارد‪.‬‬‫‪ -‬فشار اتمسفر ‪= 760/1mmHg 1 Torr =1‬‬

‫فشار استاندارد اتمسفر‬
‫در سطح دریا ‪ ،‬صفر درجه سانتیگراد و عرض جغرافیایی‬
‫‪ 45‬درجه‬
‫‪CGS →P=dyne/cm2=bar‬‬
‫‪P=ρgh=13.6×98× 76=1012928bar≈10‬‬
‫‪6bar ≈ 1013 mbar‬‬
‫‪MKS →P=N/m2 =pascal‬‬
‫‪P=13600× 9.8× .76=101292.8 ≈105‬‬
‫‪pascal‬‬
‫‪pascal=1 mbar=.76 Torr 100‬‬

‫معادل های فشار‬
:‫فشار جزئی گازها با حجم نسبی آنها مرتبط است‬
‫گاز‬
Nitrogen
Oxygen
Argon
Carbon Dioxide
Neon
Helium
Krypton
Hydrogen
Xenon
Water

‫نماد‬
N2
O2
A
CO2
Ne
He
Kr
H2
X
H2 O

‫درصد حجم‬
78
21
0.93
0.03
0.0018
0.0005
0.0001
0.00005
0.0000087
Variable

TORR

‫فشار جزئی‬

593
158
7.1
0.25
1.4 x 10-2
4.0 x 10-3
8.7 x 10-4
4.0 x 10-4
6.6 x 10-5
5 to 50

PASCAL

79,000
21,000
940
33
1.8
5.3 x 10-1
1.1 x 10-1
5.1 x 10-2
8.7 x 10-3
665 to 6650

‫فشار بخار آب در دماهای مختلف‪:‬‬
‫)‪P (mbar‬‬
‫‪1013‬‬

‫)‪T (O C‬‬
‫)(جوش‬

‫‪32‬‬
‫‪6.4‬‬

‫‪25‬‬
‫انجماد((‬

‫‪0.13‬‬
‫‪6.6 x 10 -4‬‬
‫‪10 -24‬‬

‫‪100‬‬

‫‪0‬‬
‫‪-40‬‬

‫) خشک ) یخ‬

‫‪-78.5‬‬

‫(نیتروژن مایع )‬

‫‪-196‬‬

‫اندازه گیری فشار‬
‫• واحدهای دیگر فشار‬
‫ اینچ آب‪ ،‬پاسکال‪ ،‬بار‪ ،‬اتمسفر و پوند بر اینچ مربع‬‫ پاسکال و بار در اروپا استفاده می شوند‪.‬‬‫ در ایالت متحده آمریکا اغلب تور برای نمادگذاری علمی به کار می رود‪.‬‬‫• تبدیلت مهم ‪ ،‬فشار اتمسفر ‪:‬‬
‫‪atm. = 760 torr = 760 mm Hg = 406.8 in. H 12 = O‬‬
‫‪pounds/in 14.72 = 1.013 bar = 101,325 Pa‬‬

‫نکته ‪:‬‬
‫خل بال = فشار کم‬

‫خل پایین = فشار بال‬

‫اندازه گیری فشار‬
‫مقیاس های خل ( وابسته به محفظه می باشد )‬
‫خل تقریبی‬

‫•‬

‫‪102 103‬‬

‫خل متوسط‬
‫‪100‬‬

‫‪10-2‬‬

‫خل بال‬
‫‪10-4‬‬

‫خل فوق بال‬
‫‪10-6‬‬

‫‪10-8‬‬

‫‪10-10‬‬

‫‪10-12‬‬

‫‪10-14‬‬

‫)فشار (تور‬
‫‪1019‬‬

‫‪1017‬‬

‫‪1015‬‬

‫‪1013‬‬

‫‪1011‬‬

‫‪109‬‬

‫‪107‬‬

‫‪105‬‬

‫‪103‬‬

‫)چگالی مولکولی در هر متر مکعب (در ‪ 25‬درجه سانتیگراد‬
‫‪10-7‬‬

‫‪10-5‬‬

‫‪10-3‬‬

‫‪10-1‬‬

‫‪101‬‬

‫‪103‬‬

‫‪105‬‬

‫سانتیگراد) مسافت آزاد میانگین بر حسب متر (در ‪ 25‬درجه‬

‫‪107‬‬

‫‪109‬‬

‫مقیاس های خل‬
‫• خل پایین (تقریبی) ‪:‬‬
‫ اتمسفر تا ‪ 1‬تور کاهش می یابد‬‫ چسباندن ‪ ،‬کاربرد های غیر صنعتی‬‫• خل متوسط ‪:‬‬
‫ ‪ 1‬تا ‪10‬‬‫ ‪ ،CVD‬قلم زنی به وسیله پلسما‬‫• خل بال‪:‬‬
‫‪ -3‬تور‬

‫‪ -310 -3‬تا ‪ -810‬تور‬‫ کاشت یون‪ ،‬تبخیر کردن‬‫• خل فوق بال ‪:‬‬
‫‬‫‪-‬‬

‫کمتر از تور‬
‫رو نشست پرتو مولکولی ‪ ،‬ابزار تحقیقاتی‬

‫اصطلحات دیگر خل‬
‫• چگالی مولکولی ‪ :‬تعداد ذرات در واحد حجم گاز‬
‫ چگالی مولکولی برای رسیدن به خل ایده آل چقدر است؟‬‫• مسیر آزاد میانگین ‪ :‬مسافت متوسطی که یک مولکول گاز‬
‫در یک مسیر مستقیم قبل از برخورد به مولکول دیگر یا‬
‫دیواره ی محفظه می پیماید‪.‬‬
‫ مسافت آزاد میانگین برای رسیدن به خل ایده آل چقدر‬‫است؟‬

‫اصطلح خل‬
‫• فشار مبنا (نهایی) ‪ :‬کمترین فشاری که یک سیستم خل می تواند به‬
‫آن برسد‪.‬‬
‫ هیچ گازی در سیستم خل جریان ندارد‬‫ در ابتدای فرایند برای جا به جا کردن ناخالصی به کار می رود‪.‬‬‫ چه چیزی ممکن است فشار مبنای سیستم را محدود کند؟‬‫• فشار فرایند ‪ :‬فشار یک سیستم که گازهای درون آن در تعادلند‪.‬‬
‫‪ -‬آیا فشار فرایند بالتر یا پایین تر از فشار پایه است؟‬

‫فشار بخار‬
‫• واژه شناسی‪:‬‬
‫ تبخیر ‪ :‬تبدیل شدن مایع به گاز‬‫ تصعید‪ :‬تبدیل جاد به گاز‬‫ بخار‪ :‬گاز حاصل از تبخیر مایع یا جامد‬‫ چگالش ‪ :‬تبدیل بخار به مایع یا تبدیل مجدد آن به جامد ( فاز چگالیده‬‫)‬
‫ تعادل ‪ :‬حالتی از سیستم که نیروهای مخالف با هم برابرند‬‫ فرّار‪ :‬مایعاتی که به آسانی تبخیر می شوند و دارای فشار بخار‬‫بالیی می باشند‪.‬‬

‫فشار بخار‬

‫• تبخیر وقتی اتفاق می افتد که‪:‬‬
‫ دمای ماده افزایش یابد‪.‬‬‫ فشار سطح ماده کاهش یابد‪.‬‬‫• فشار بخار‪ :‬فشاری که مایع یا جامد در دمایی معین به گاز تبدیل می شوند‪.‬‬
‫ اگر دما کاهش یابد‪،‬فشار بخار چه تغییری می کند؟‬‫‪ : out gassing‬هنگامی که ماده در سیستم‬
‫خل در حالت تراکم وفشار پایین به بخار تبدیل می شود‪.‬‬
‫ به طور کلی مقدار کمی آب‪،‬حلل ویا اثر انگشت باقیمانده درون محفظه‬‫شود و زمان لزم برای پمپ کردن سیستم را ‪ Out gass‬می تواند‬
‫افزایش دهد‪.‬‬

‫فشار بخار‬
‫مایع درون یک محفظه بسته تا زمانی بخار می شود که‪:‬‬
‫‪-‬فشار جزئی هوای بالی سطح مایع=فشار بخار مایع‬

‫بخار اشباع‬

‫بخار‬

‫فشار بخار‬
‫دما(‪)c‬‬

‫نقطه جوش‬

‫فشار‬
‫بخار‬
‫(‪)torr‬‬

‫دما(‪)k‬‬
‫فشار بخار گاز های متداول‬

‫فشار بخار آب در دماهای مختلف‬
‫)‪P (mbar‬‬
‫‪1013‬‬

‫)‪T (O C‬‬
‫)جوش)‬

‫‪32‬‬
‫‪6.4‬‬

‫‪100‬‬
‫‪25‬‬

‫)انجماد)‬

‫‪0.13‬‬

‫‪0‬‬
‫‪-40‬‬

‫‪6.6 x 10 -4‬‬

‫)یخ خشک)‬

‫‪-78.5‬‬

‫‪10 -24‬‬

‫)نیتروژن مایع)‬

‫‪-196‬‬

‫فشار بخار آب در دماهای مختلف‬
‫)‪P (mbar‬‬
‫‪1013‬‬

‫)‪T (O C‬‬
‫)جوش)‬

‫‪32‬‬
‫‪6.4‬‬

‫‪100‬‬
‫‪25‬‬

‫)انجماد)‬

‫‪0.13‬‬

‫‪0‬‬
‫‪-40‬‬

‫‪6.6 x 10 -4‬‬

‫)یخ خشک)‬

‫‪-78.5‬‬

‫‪10 -24‬‬

‫)نیتروژن مایع)‬

‫‪-196‬‬

‫فشار بخار‬
‫نمودارهای فاز‪• :‬‬
‫ حالت ماده را در دما وفشار مشخص تعیین می کند‪.‬‬‫ مثال‪:‬آب‬‫نمودار حالت برای آب‬
‫آب‬

‫فشار‬

‫بخار آب‬

‫نقطه بحرانی‬
‫نقاط جوش‬
‫دما‬

‫نقاط ذوب‬

‫یخ‬

‫نقاط تصعید‬

‫نقطه سه گانه‬
‫نقاط جوش و ذوب متداول‬
‫فشار‬
‫اب‬
‫بخار آب‬
‫یخ‬

‫دما‬

‫‪760mm‬‬

‫فشار بخار‬
‫مثال ها‪:‬‬
‫ آبی که فشار آن به یک تور کاهش یافته در چه دمایی به جوش می‬‫آید؟‬
‫ فاز چگالیده در سمت چپ خطوط قرار دارد و یا راست آنها؟‬‫اگر یک سیستم‪ CVD‬در فشار یک میلی تور و دمای ‪ 500‬درجه‬
‫سانتی گرادباشد‪،‬چه ماده ای برای ساختن محفظه نامناسب می‬
‫باشد؟‬
‫• نتیجه‪:‬‬
‫ فشار بخار هر ماده ای که داخل محفظه خل به کار می رود باید در‬‫نظر گرفته شود‪.‬‬
‫‪ -‬که شامل‪ :‬واشر‪،‬روغن‪،‬ماده سازنده محفظه‪،‬شیر‪...،‬‬

‫(‪)n‬چگالی گاز‬
‫قانون گاز ایده آل‪:‬‬
‫چگالی گاز در فشار یک پاسکال و در دمای اتاق‬

‫حساب سر انگشتی‬

‫‪PV=NKT‬‬

‫مسیر آزاد میانگین‬
‫مسیر آزاد میانگین‪:‬فاصله ی میانگین‬
‫بین برخوردهای مولکول های گاز‬

‫‪= σ‬سطح مقطع مولکول ها‬
‫معادله آخر برای آب در دمای ‪20‬‬
‫درجه سانتی گراد است‪.‬‬

‫مسیر آزاد میانگین‬
‫هنگامی که ‪ .λ‬بیشتر از کوچکترین ابعاد مسیر باشد‪،‬رژیم مولکولی است‬
‫اگر‪ . λ‬کوچکتر از ابعاد باشد‪،‬رژیم چسبان است‬
‫‪λ‬‬

‫‪ϕ )molec./cm2)-s‬‬

‫‪)p )Torr‬‬

‫‪nm 67‬‬

‫‪2.9x1023‬‬

‫‪760‬‬

‫‪51µm‬‬

‫‪3.8x1020‬‬

‫‪1‬‬

‫‪mm 51‬‬

‫‪3.8x1017‬‬

‫‪1x10-3‬‬

‫‪m 51‬‬

‫‪3.8x1014‬‬

‫‪1x10-6‬‬

‫‪km 51‬‬

‫‪3.8x1011‬‬

‫‪1x10-9‬‬

‫مسیر آزاد میانگین‬
‫افزایش می‬،‫مسیر آزاد میانگین با کاهش فشار‬
‫یابد‬
λ ))cm( ~= .005 / P )torr ∀
MFP = 0.02 microns at 1 atm, –
MFP = 5.08 cm at 1mT, –
MFP = 50 kmat 10-9 torr )UHV(, –

MFP )cm)

Mean Free Path vs. Pressure
1.00E+08
1.00E+06
1.00E+04
1.00E+02
1.00E+00
1.00E-02
1.00E-04
1.00E-06
1.00E10

MFP

1.00E08

1.00E06

1.00E04

1.00E- 1.00E+0 1.00E+0 1.00E+0
02
0
2
4

Pressure )Torr)

‫مسیر آزاد میانگین‬
‫چگالی مولکول ها ومسیر آزاد میانگین‬
1013 mbar (atm)

1 x 10-3 mbar

1 x 10-9 mbar

#
mol/cm3

3 x 10 19
(30 million trillion)

4 x 10 13
(40 trillion)

4 x 10 7
(40 million)

MFP

2.5 x 10-6 in
6.4 x 10-5 mm

2 inches
5.1 cm

31 miles
50 km

‫برخورد و مسیر آزاد میانگین‬
‫چگالی گاز‬

‫سطح مقطع‬

‫برخورد کره های صلب‬

‫ابعاد مولکول و اتم‬
‫ابعاد اتم=‪ 3‬آنگستروم‬
‫جدایی میانگین مولکول ها در فشار اتمسفر‪:‬‬
‫در یک سانتی متر مکعب گاز نیتروژن ‪2.5 X1019‬‬
‫‪:‬مولکول وجود دارد‪،‬بنابراین‬
‫‪1/2.5X1019= 4X10 -20cm=34 A0‬‬

‫جدایی میانگین مولکول ها‬
‫در فشار اتمسفر‪:‬‬
‫‪ 2.5X1019‬مولکول در یک سانتی متر مکعب‬
‫حجم یک مولکول = ‪1/2.5x1019 =4x10-20 cm3‬‬
‫فاصله دو مولکول‬

‫(‪(1/3 =3.4x10-7= cm=34A 4x10‬‬

‫‪3 A0‬‬
‫‪34 A0‬‬

‫‪-20‬‬

‫آهنگ برخورد‬
‫آهنگ برخورد‪،‬شار‪J،‬بر واحد سطح‬
‫آهنگ برخورد سطح‬

‫‪nV‬‬
‫=‪J‬‬
‫‪4‬‬
‫‪8kT‬‬
‫‪8RT‬‬
‫‪T‬‬
‫=‪V‬‬
‫=‬
‫‪= 145‬‬
‫‪πm‬‬
‫‪πM‬‬
‫‪M‬‬
‫‪P‬‬
‫=‪J‬‬
‫‪(2π mKT )1 2‬‬
‫‪M = mN av‬‬
‫‪kN av = R‬‬
‫‪PN av‬‬
‫=‪J‬‬
‫‪(2π MRT )1 2‬‬

‫توزیع ماکسول‬
‫مولکول هایی که دارای سرعت بین‬
V‫تا‬V+dV‫هستند‬
N (v) = 4πN (

v=

0

N

∫v e
0

3 − λv 2

mv 2

2
2 kT

m
) v e
2πkT

∫ N (v)vdv

3
2

=

∫ 4πN (
0

3
2

m
) v 2e
2πkT
N

mv 2
2 kT

vdv

1
dv = 2

3

3∞

4πN m 2 3 −λv 2
m
=
(
) ∫ v e dv ⇒ λ =
N 2πkT 0
2kT

m 2 1 2kT 2
8kT
v = 4π (
) × (
) =
2πkT
2 m
πm

‫توزیع ماکسول‬
Vrms

v =
2

v

2
N
(
v
)
v
dv

0

2

N

=

∫ 4πN (

3
2

m
) v 2e
2πkT

− mv 2
kT

v 2 dv

N

3
2

m
3
= 4π(
) ×
2πkT
8

v rms = v

2

=

3kT
m

3∞

4πN m 2 4 −λv 2
m
=
(
) ∫ v e dv ⇒ λ =
N 2πkT 0
2kT

π
λ5

‫توزیع ماکسول‬
dN (v)
=0
dv
− mv 2
2 2 kT

3
2

dN (v)
m
d
= 4π N (
)
(v e
dv
2π kT dv
3
2

m
4π N (
) (2ve
2π kT
2kT
vp =
m

− mv 2
kT

)= 0

2mv
−v ×
e
2kT
2

− mv 2
2 kT

2

mv 2
) = 0 ⇒ v(2 −
v )= 0
kT

‫آهنگ برخورد سطح‬
‫توزیع ماکسول‬
P (v )  m 
f (v ) =
=

2
2
π
kT
4πv

3/ 2

 − mv 2 

exp
 2kT 

‫سرعت میانگین اتم‬:
_

< v > = c = ∫v f (v ) 4πv 2 dv =
0

X-y ‫صفحه‬

‫جریان اتم ها در‬

Γz = n < v z >= n ∫∫∫v z f (v ) dv 3 =
v Z >0

8kT
πm

1
n <v >
4

‫مثال‬
‫‪−‬‬
‫‪6‬‬

‫یک محفظه خل دارای فشار ‪ 10‬تور می باشد‪.‬فرض کنید که محفظه با‬
‫بخار آب پر می شود‪،‬جریان ‪H2O‬برای ماده قرار داده شده در محفظه‬
‫چیست؟‬
‫‪cm-3‬‬

‫‪n = 3.2x1013 cm-3/mTorr * 10-3 mTorr = 3.2x1010‬‬
‫‪<v> = (8kT/pM)1/2 = 59200 cm/s‬‬

‫مولکول بر سانتی متر مکعب بر ثانیه‪Ị‬‬
‫این تقریباٌ یک لیه ‪ H2O‬بر ثانیه است‪.‬‬

‫‪Gz = (¼)n<v> = 4.74x1014‬‬

‫تعادل بین مایع وبخار‬
‫‪P0‬‬
‫= ‪Jc‬‬
‫‪= JE‬‬
‫‪12‬‬
‫) ‪(2πmkT‬‬
‫‪=P 0‬فشار بخار اشباع‬

‫فرکانس برخورد‬
‫• ‪V=xt‬‬
‫• فاصله میانگین طی شده در یک‬
‫ثانیه‬
‫• ‪=V/l‬فرکانس برخورد‬
‫‪=l‬مسیر آزاد میانگین‬
‫• برای ‪( N2‬در دمای اتاق وفشار اتمسفر)‬
‫بر ثانیه‬

‫‪C.F=470/6.6x10-6 =7.1x109‬‬

‫• در فشار پایین ‪C.F‬افزایش می یابد یا کاهش؟‬
‫‪−1‬‬

‫در چه فشاری ‪C.F‬برابر با یک ‪ S‬است؟‬

‫آهنگ برخورد سطح‬
‫سرعت مولکول های گاز برخورد کننده به واحد سطح‬
‫‪molecules striking surface‬‬
‫‪s‬‬

‫‪cm2‬‬

‫( ‪3.5 × 10 22 p)Torr‬‬
‫=‬
‫‪MT‬‬

‫‪p‬‬
‫‪1‬‬
‫‪1  p  8 kT‬‬
‫‪J = 4 nv = 4  ‬‬
‫=‬
‫‪2π mkT‬‬
‫‪ kT  π m‬‬

‫• ‪=n‬چگالی مولکول های گاز‬
‫• ‪=v‬سرعت میانگین در توزیع بولتزمن‬
‫• ‪= k‬ثابت بولتزمن‬
‫• ‪=m‬جرم مولکول ها‬
‫• ‪=T‬دمای مطلق بر حسب کلوین‬
‫شکل عددی باضرب صورت و مخرج کسر در عدد آووگادرو به دست می آید‬
‫و می دانیم که ‪،.NAvk = R‬ثابت گاز‪NAvm = M،M .‬وزن مولکول های‬
‫گاز است‪.‬‬

295 ‫در دمای‬N2
‫در فشارهای مختلف برای‬n،J،l
‫کلوین‬
)P)mbar(

n)m-3(
6.6X10-6

25

2.5X10

I)M.F.P(
2.9X1023 atm
122

6.6X10

J)cm-2 m-1
2.5X10 1-10 3
-3

2.9X1020

10

-3

2.5X1019

6.6 cm

2.9X1017

10

-6

2.5X1016

6.6 m

2.9X1014

10

-10

2.5X1012

660 km

2.9X1010

‫‪Out gassing‬‬
‫رهایی مولکول ها از سطح داخلی محفظه به درون خل با‬
‫جدایی مولکول از حالت مرزی اتفاق می افتد‬

‫مولکول های‬
‫دیواره‬

‫محفظه‬

‫مولکول های جذب شده‬

‫جذب فیزیکی وشیمیایی‬

‫جذب فیزیکی‬

‫جذب شیمیایی‬

‫جذب فیزیکی<جذب شیمیایی‬

‫‪q=2-10 kcal/mol‬جذب فیزیکی ‪q=15-2 kcal/mol‬جذب شیمیایی‬

‫میانگین طول عمر جذب شیمیایی‬
‫• جذب شیمیایی مولکول ها طول عمر سطح را کاهش می‬
‫دهد‪.‬‬
‫• ‪KT‬در دمای اتاق برابر با ‪ev 1/40‬می باشد‪.‬‬
‫• ‪exp)q/kT(=10-13) exp)40q‬‬
‫• معادله ‪De Boer‬‬

‫‪τ =10-13‬‬

‫میانگین طول عمر جذب شیمیایی‬
‫• مقادیر طول عمر به ازای انرژی های مختلف در دمای‬
‫‪ 295‬درجه کلوین‬
‫‪τ‬‬

‫)‪q)eV‬‬

‫‪3x10 -10‬‬

‫‪0.2‬‬

‫‪1µs‬‬

‫‪0.4‬‬

‫‪20 ms‬‬

‫‪0.6‬‬

‫‪400 s‬‬

‫‪0.9‬‬

‫)هفته‪1.2x 10 6 s )=2‬‬

‫‪1.1‬‬

‫گازها و پمپ کردن‬
‫• مولکول های جذب شده‬
‫• مولکول های رانده شده‬
‫• ‪Out gassing‬‬
‫پمپ‬

‫جریان گاز و گذردهی‬
‫• جریان گاز در طول لوله‬
‫‪P1>P2‬‬
‫`‪A‬‬

‫جریان‬

‫‪A‬‬

‫‪P1‬‬

‫فشار در هر سطح مقطعی از لوله‬
‫گذردهی را به صورت زیر تعریف می کنیم‪:‬‬
‫‪Q‬در طول لوله ثابت است‬

‫‪dV‬‬
‫‪0‬‬
‫‪Q= P‬‬
‫‪= PV‬‬
‫‪dt‬‬

‫‪Q‬در طول لوله ثابت است‬
‫معمولٌ گذردهی ثابت می باشد‪(.‬حالت پایا)‬
‫‪V2‬‬

‫‪V3‬‬
‫‪Q‬‬
‫‪P3‬‬

‫‪Q‬‬
‫‪P2‬‬

‫‪Q‬‬

‫‪V1‬‬
‫‪P1‬‬

‫‪Q = P1V`1=P2 V`2=P3V`3‬‬

‫گذردهی (مثال)‬
‫گذردهی‪:‬مقدار گاز جابه جا شده در واحد زمان به وسیله پمپ‪:‬‬
‫(‪Q = p)dV/dt( = pS )Torr-liter/s‬‬

‫‪P1‬‬
‫‪P2‬‬
‫‪pump 2‬‬
‫‪5 ℓ/s‬‬

‫‪Q = P1S1 = P2S2‬‬
‫‪P2 = 100 P1‬‬

‫‪pump 1‬‬
‫‪500 ℓ/s‬‬

‫آهنگ جریان جرمی و گذردهی‬
‫‪PV =NkT‬‬
‫‪dN‬‬
‫‪PV‬‬
‫‪P‬‬
‫‪dV‬‬
‫‪PV 0‬‬
‫() ‪=( d dt‬‬
‫(= )‬
‫()‬
‫=)‬
‫‪dt‬‬
‫‪kT‬‬
‫‪kT‬‬
‫‪dt‬‬
‫‪kT‬‬
‫‪dN‬‬
‫‪Q‬‬
‫=‬
‫‪dt‬‬
‫‪kT‬‬
‫‪dN‬‬
‫‪Q‬‬
‫‪m‬‬
‫‪=m‬‬
‫آهنگ جریان جرمی‬
‫‪dt‬‬
‫‪kT‬‬

‫مثال‪:‬یک پنکه هوای اتمسفری را با آهنگ ‪0.9‬متر مکعب در دقیقه به داخل‬
‫اتاق می فرستد‪،‬گذردهی سیستم بر حسب ‪mbar.lit/s‬چقدر است؟‬
‫‪: 0.9 m3=900 l and V`=900/60=15 l s-1‬‬
‫‪Q = PV`=1000x15=15000‬‬

‫جواب‬

‫سرعت‬
‫جایی که گاز از محفظه وارد لوله می شود وجایی که از لوله وارد پمپ می‬
‫شود را در نظر می گیریم‪.‬‬
‫سرعت تخلیه پمپ‪:‬مقدار گازی که به وسیله پمپ در واحد زمان خارج می‬
‫شود‪.‬‬
‫سرعت تخلیه محفظه‪:‬مقدار گازی که از محفظه در واحد زمان خارج می شود‪.‬‬
‫‪dV‬‬
‫=‪P‬‬
‫‪dt‬‬
‫‪dV‬‬
‫‪Q =P‬‬
‫‪=PV 0 =P‬‬
‫‪dt‬‬
‫‪Q‬‬
‫‪S = ls −1‬‬
‫‪P‬‬

‫‪ S‬و ‪*S‬‬

‫*‪S‬‬

‫پمپ‬

‫‪Q‬‬

‫‪S‬‬

‫محفظه‬

‫سیستم ایده آل ‪S/S*=1‬‬

‫‪S*<S‬‬

‫رسانایی‬
‫رسانایی‪:‬توانایی لوله برای جا به جایی حجمی از گاز در واحد زمان از‬
‫یک انتها تا انتهای دیگر می باشد‪.‬‬

‫)‪C=Q/)P1-P2‬‬

‫‪P1>P2‬‬

‫‪P2‬‬

‫‪P1‬‬

‫‪Q‬‬
‫‪P1-P2‬‬

‫سرعت تخلیه محفظه‬
‫‪C‬‬
‫*‪S*, P‬‬
‫پمپ‬

‫‪Q‬‬

‫‪S, P‬‬
‫محفظه‬

‫‪Q=SP‬‬
‫*‪Q=C)P-P*(=SP=S*P‬‬
‫*‪1/s=1/c +1/s‬‬

‫](‪S=S*[C/)S*+C‬‬
‫رابطه بین‪S, S*, C‬‬

‫سرعت پمپ‬
‫رابطه سرعت پمپ و رسانایی‪:‬‬

‫‪Sp‬‬

‫‪CT‬‬

‫‪eff‬‬

‫‪SEFF‬‬

‫‪1‬‬
‫‪1‬‬
‫=‬
‫‪+‬‬
‫‪S P CT‬‬

‫‪: Seff‬سرعت موثر تخلیه محفظه‬
‫‪:S p‬سرعت (توانایی) تخلیه پمپ‬
‫‪:C total‬رسانایی کل سیستم بین محفظه وپمپ‬

‫‪1‬‬
‫‪S EFF‬‬

‫سیستم خل وسیستم الکتریکی‬
‫‪P1‬‬

‫‪P2‬‬

‫‪V2‬‬

‫‪V1‬‬

‫‪∆P‬‬
‫‪∆V‬‬

‫‪∆V‬‬

‫‪∆P‬‬

‫پمپ = باتری‬
‫‪∆P=Q/C‬‬

‫‪I‬‬

‫‪Q‬‬

‫‪C=1/Z‬‬

‫‪∆P=ZQ‬‬

‫)‪C=Q/)p1-P2‬‬

‫‪∆V=RI‬‬

‫رسانایی‬
‫• رسانایی‪:‬سهولت عبور گاز از اجزای سیستم(لوله‪،‬شیرو‪)...‬‬
‫ رسانایی به قطر‪،‬طول و شکل لوله یا دهانه خروجی بستگی دارد‪.‬‬‫• واحد رسانایی‪:‬زمان‪/‬حجم ‪ -‬ثانیه‪/‬لیتر‪.‬‬
‫• رسانایی می تواند یک عامل محدود کننده در سیستم خل باشد‪.‬‬
‫ مثال‪:‬سیستمی با رسانایی‪ (100‬ثانیه‪/‬لیتر) و پمپی با سرعت تخلیه‬‫‪( 400‬ثانیه‪/‬لیتر) سرعت تخلیه محفظه را تا ‪(100‬ثانیه‪/‬لیتد) کاهش‬
‫می دهیم‪.‬‬
‫جواب‪:‬‬

‫?=‪S*=400 l/sec, C=100 l/sec S‬‬
‫])‪S=S*[C/)S*+C‬‬
‫‪S=400[100/)400+100)]= 80 l/sec‬‬

‫رسانایی‬
‫رسانایی ‪ :‬سهولت عبور گاز از اجزای خل‬
‫رسانایی به قطر و طول و شکل لوله یا دهانه ی‬
‫خروجی بستگی دارد‪.‬‬
‫واحد رسانایی ‪:‬زمان‪/‬حجم ‪ ،‬ثانیه‪/‬لیتر‬
‫رسانایی می تواند عاملی محدود کننده در سیستم‬
‫خل باشد‪:‬‬
‫مثال ‪ :‬سیستم با رسانایی ‪ 100‬ثانیه‪/‬متر و پمپی با‬
‫سرعت ‪ 400‬ثانیه‪/‬متر ‪ ،‬سرعت موثر تخلیه را به‬
‫کمتر از ‪ 100‬ثانیه‪/‬متر کاهش می دهد‪.‬‬
‫جواب ‪?=S*=400 l/sec, C=100 l/sec S:‬‬
‫‪[)S=S*[C/)S*+C‬‬
‫‪S=400[100/)400+100)]= 80 l/sec‬‬

‫رژیم مولکولی و ویسکوز(چسبان)‬

‫رژیم مولکولی‬
‫(مولکول ها بدون برخورد‬
‫جا به جا می شوند)‬

‫رژیم ویسکوز‬
‫(انتقال اندازه حرکت‬
‫بین مولکول ها)‬

‫حالت رژیم‬
‫• رژیم ویسکوز‪:‬‬
‫نوعی رژیم گاز که مولکول ها به‬
‫یکدیگر خیلی نزدیک هستندو‬
‫برخوردهای پایداردر آن وجود‬
‫دارد‪.‬‬
‫ مسیر آزاد میانگین نسبتًا کوتاه‬‫است‪.‬‬
‫ گاز همانند مایع از فشار بال به‬‫فشار پایین جریان دارد‪.‬‬

‫حالت رژیم‬
‫• رژیم مولکولی ‪:‬‬
‫نوعی رژیم گاز است که جهت حرکت مولکول‬
‫ها کاملً تصادفی است‪(.‬حرکت به سمت فشار‬
‫پایین لزم نیست)‬
‫ برخوردهای کمی بین مولکول های درون‬‫محفظه وجود دارد‪.‬‬
‫ مسیر آزاد میانگین طولنی است‪.‬‬‫• رژیم نادسن (ناحیه انتقال)‬
‫ ناحیه انتقال (گذار) بین رژیم های مولکولی و‬‫ویسکوز(بعضی از خصوصیات از هر دو‬
‫رژیم را داراست)‬
‫‪ -‬رژیم خل متوسط‬

‫روند گردشی رژیم‬
‫رژیم ویسکوز‪ :‬مسیر آزاد میانگین (‪ )λ‬کمتراز ‪0.01‬است‪.‬‬
‫مشخصه بعد (‪)d‬‬
‫ناحیه انتقال(گذار)‪ :‬مسیر آزاد میانگین‬

‫بین ‪ 0.01‬و ‪ 1‬است‪.‬‬

‫مشخصه بعد‬
‫رژیم مولکولی‪:‬‬

‫مسیر آزاد میانگین‬
‫مشخصه بعد‬

‫بزرگتر از ‪ 1‬است‪.‬‬
‫‪M‬‬
‫‪T‬‬

‫‪P‬‬

‫‪V‬‬

‫‪C‬‬

‫عدد ‪Knuden‬‬
‫‪Kn>0.01‬حالت ویسکوز‪،‬حالت گاز با برخورد مولکول های گاز به‬
‫یکدیگر تشخیص داده می شود‪.‬‬
‫‪ Kn>1<0.01‬حالت انتقال‪.‬‬
‫‪ Kn<1‬رژیم مولکولی‪،‬حالت گاز با برخورد مولکول های گاز به‬
‫دیواره تشخیص داده می شود‪.‬‬
‫رژیم مولکولی‬

‫‪λ/d=1‬‬
‫‪T.F‬‬

‫‪0.01‬‬

‫رژیم ویسکوز‬

‫رسانایی در رژیم ویسکوز(لوله استوانه ای‬
‫بلند‪،‬هوا)‬
‫‪d‬‬
‫‪p1 + p2‬‬
‫‪C =1.38 ×10‬‬
‫×‬
‫‪l‬‬
‫‪2‬‬
‫‪4‬‬

‫‪2‬‬

‫‪1‬‬

‫‪=C‬ثانیه‪/‬لیتر‬
‫‪ =d‬ابعاد لوله بر حسب سانتی متر‬
‫‪= p1‬فشار ورودی بر حسب تور‬
‫‪ =p 2‬فشار ورودی بر حسب تور‬
‫‪ = l‬طول لوله بر حسب سانتی متر‬

‫‪2‬‬

‫رسانایی رژیم ویسکوز‬

‫تحت شرایط رژیم ویسکوز دو برابر کردن قطر لوله رسانایی را ‪ 6‬برابر‬
‫می کند‪.‬‬
‫رسانایی به طور معکوس با طول لوله ارتباط دارد‪.‬‬

‫رژیم ویسکوز(لوله استوانه ای بلند‪،‬نیتروژن)‬
‫مثال‪:‬‬
‫تور ‪P1 = 2‬‬
‫تور ‪P2 = 1‬‬

‫سانتی متر ‪d = 4‬‬
‫سانتی متر ‪l = 100‬‬

‫‪4‬‬
‫‪d‬‬
‫‪p1 + p2‬‬
‫‪2‬‬
‫‪C = 1.38 × 10‬‬
‫×‬
‫‪l‬‬
‫‪2‬‬

‫‪256 3‬‬
‫× ‪C = 138‬‬
‫×‬
‫‪100 2‬‬
‫ثانیه‪/‬لیتر‪C=530‬‬

‫رسانایی در رژیم مولکولی‬

‫تحت شرایط رژیم مولکولی‪،‬دو برابر کردن قطر لوله‪،‬رسانندگی را ‪8‬‬
‫برابر می کند‬
‫رسانایی به طور معکوس با طول لوله مرتبط است‪.‬‬

‫رسانایی در رژیم مولکولی(لوله استوانه ای بلند)‬
‫‪3‬‬

‫‪d‬‬
‫‪T‬‬
‫× ‪C = 3.81‬‬
‫×‬
‫‪lit / sec‬‬
‫‪l‬‬
‫‪M‬‬
‫‪ =d‬قطر لوله بر حسب سانتی متر‬
‫‪ = l‬طول لوله بر حسب سانتی متر‬
‫‪ =T‬دما بر حسب کلوین‬
‫‪(M =A.M.U‬واحد جرم اتمی)‬

‫رسانایی در رژیم مولکولی(لوله استوانه ای بلند)‬
‫مثال‪:‬‬
‫‪ T=259‬درجه کلوین(‪22‬سانتی گراد)‬
‫‪(M=28‬نیتروژن)‬

‫‪T‬‬
‫‪lit / sec‬‬
‫‪M‬‬

‫‪3‬‬

‫‪d‬‬
‫× ‪C =3.81‬‬
‫×‬
‫‪l‬‬

‫‪d 3 295‬‬
‫‪d3‬‬
‫× ‪C = 3.81‬‬
‫‪= 12.36 × lit / sec‬‬
‫‪l 28‬‬
‫‪l‬‬

‫رسانایی‬
‫رسانایی سری‬

‫رسانایی موازی‬

‫رسا نایی سری‬
RT = R1 + R2

‫سیستم‬

1 = 1 + 1

CT

C1

C2

1 = C 1 + C2
CT
CT =

C1 x C2
C1 x C 2
C 1 + C2

C1
C2
‫پمپ‬

‫سرعت پمپ‬
‫رابطه سرعت پمپ و رسانایی‪:‬‬

‫‪Sp‬‬

‫‪CT‬‬

‫‪eff‬‬

‫‪SEFF‬‬

‫‪1‬‬
‫‪1‬‬
‫=‬
‫‪+‬‬
‫‪S P CT‬‬

‫‪: Seff‬سرعت موثر تخلیه محفظه‬
‫‪:S p‬سرعت (توانایی) تخلیه پمپ‬
‫‪:C total‬رسانایی کل سیستم بین محفظه وپمپ‬

‫‪1‬‬
‫‪S EFF‬‬

‫‪1 1 1‬‬
‫‪= +‬‬
‫‪S1 C S2‬‬

‫‪=D‬قطر‪،‬سانتی متر‬
‫‪=L‬طول‪،‬سانتی متر‬
‫‪=C‬رسانایی‪،‬ثانیه‪/‬لیتر‬

‫‪P1, S1‬‬

‫‪D3‬‬
‫‪ C ≅ 12‬رسانایی اتصالت لوله‬
‫‪L‬‬
‫مثال ‪:2‬‬
‫‪D = 10 cm‬‬
‫‪L = 20 cm‬‬
‫‪C = 600 ℓ/s‬‬
‫‪S1= 273 ℓ/s‬‬

‫پمپ گران است‪.‬لوله ارزان است‪.‬‬

‫مثا ل ‪:1‬‬
‫‪D = 15 cm‬‬
‫‪L = 20 cm‬‬
‫‪C = 2025 ℓ/s‬‬
‫‪S1= 401 ℓ/s‬‬

‫‪C‬‬

‫‪P2 S2‬‬
‫پمپ‬
‫‪500 ℓ/s‬‬

‫وضعیت خل نمونه ومحاسبات‬

S1
1/S1=1/C+1/S2
C

S2

500 l/sec pump + 500 l/sec conductance
500 l/sec pump
two 500 l/sec pumps
+ “infinite” conductance
connected in paralle
1/EPS = 1/500 + 1/500 = 2/500 l/sec
or EPS = 250 l/sec
EPS = 500 + 500
EPS = 500 l/sec
= 1000 l/sec

‫وضعیت خل نمونه ومحاسبات‬

‫‪gas flow‬‬
‫‪3 torr-liter/sec‬‬

‫گذردهی = فشار ‪ x‬سرعت تخلیه پمپ‬
‫‪Q=P×S‬‬
‫مثال ‪ :‬اگر سرعت مؤثر تخلیه از محفظه ‪ 100‬لیتر‬
‫بر ثانیه و فشار ماکزیمم محفظه ‪ /03‬تور باشد‬
‫ماکزیمم گذردهی چقدر خواهد بود؟‬

‫‪maximum pressure‬‬
‫‪0.03 torr‬‬
‫‪EPS = 100 l/sec‬‬

‫‪:‬جواب‬
‫‪×(0.03 torr),‬ماکزیمم گذردهی= )‪l/sec) 100‬‬
‫‪or 3 torr-liter/second‬‬
‫‪throughput 3 torr-liter/second‬‬

‫وضعیت خل نمونه ومحاسبات‬

‫‪as flow‬‬
‫‪1 torr-liter/sec‬‬

‫مثال ‪ :‬فرض کنید که سرعت مؤ ثر تخلیه از محفظه‬
‫‪ 250‬ثانیه‪/‬لیتر باشد ‪ .‬اگر رژیم گازی با ‪ 1/0‬تور‪-‬‬
‫لیتر بر ثانیه به محفظه تزریق کنیم فشار در حالت‬
‫پایدار چقدر است؟‬
‫جواب‪:‬‬

‫‪steady-state pressure‬‬
‫‪4×10-4 torr‬‬

‫‪P=Q/S‬‬
‫‪EPS = 250 l/sec‬‬

‫‪0.1 torr‬‬‫‪= 4×10-4 torr‬‬
‫‪liter/second‬‬
‫‪250‬‬
‫‪liter/second‬‬

‫‪throughput 0.1 torr-liter/second‬‬

‫وضعیت خل نمونه ومحاسبات‬
‫مثال ‪ :‬به وسیله ی یک شیر سوزنی‬
‫به مقدار ‪8×10-3 sccm‬‬
‫نیتروژن به محفظه تزریق می‬
‫شود‪.‬و فشار اندازه گیری شده برابر‬
‫‪ 1.5×.10-6 torr‬است‪.‬سرعت مؤثر‬
‫تخلیه در محفظه را بر حسب لیتر‬
‫‪.‬بر ثانیه به دست آورید‬

‫‪N2 flow‬‬
‫‪8×10-3 sccm‬‬

‫‪chamber pressure‬‬
‫‪1.5×10-6 torr‬‬

‫‪throughput 8×10-3 sccm‬‬

‫‪EPS = 67 l/sec‬‬

‫وضعیت خل نمونه ومحاسبات‬
:
8×10-3 sccm = (8/60)×10-3
standard cc/sec
= (8/60)×10-6 standard
liter/sec
= 760×(8/60)×10-6 torrliter/sec
= 1.01 ×10-4 torr-liter/sec
We divide by the indicated

‫تمرین‬
gas inlet, O2
1x10-4 torr ℓ/s

gas inlet, N2
1x10-3 torr ℓ/s

Chamber 1

Chamber 2

pump 1
500 ℓ/s

pump 2
100 ℓ/s

connecting tube
1 cm inner diameter
10 cm length

‫ماکزیمم ومینیمم رسانایی ؟‬
‫‬‫‬‫‬‫‪-‬‬

‫مسلماً در اغلب موارد به ماکزیمم رسانایی نیاز داریم‬
‫اما گاهی نیاز به محدود کردن رسانایی است ‪:‬‬
‫تخلیه آرام برای کاهش شوک وارد به سیستم‬
‫گلوگاه برای کنترل فشار مطلوب در سیستم‬

‫رسانایی روزنه در رژیم مولکولی‬
P1 ,
J1,
n1

J1

J2

P2 ,
J2,
n2

dN
=( J 1 −J 2 ) A
dt
dN
Q =kT (
)
dt
P0
J =
( 2πmkT )1 2
Q=

kT
A( P1 −P2 ) =
2πm

RT
A( P1 −P2 )
2πm

‫رسانایی روزنه در رژیم مولکولی‬
‫) ‪Q = C ( P1 − P2‬‬
‫‪RT‬‬
‫=‪Q‬‬
‫) ‪A( P1 − P2‬‬
‫‪2πm‬‬
‫رسانایی یک روزنه‬

‫‪RT‬‬
‫= ‪⇒ C0‬‬
‫‪A‬‬
‫‪2πm‬‬

‫روزنه ی دایره ای ‪C0=9.3 D2 l/s -1‬‬
‫‪:‬ماکزیمم سرعت پمپ‬
‫‪S*=C inlet=C0= 9.3D2‬‬

‫احتمال عبور‬
J1
J2
WJ1 A

WJ2 A

W ( J1 − J 2 ) A
× kT
Q = kT ( J1 − J 2 ) AW
Q=

kT
AW ( P1 − P2 ) =
2πm

RT
AW ( P1 − P2 )
2πM

RT
C0 =
A
2πM
⇒ Q = WC0 ( P1 − P2 ) ⇒ C pipe = WC0

‫محاسبه ی‪ c‬برای لوله های بلند معمولی‬
‫رسانایی رژیم ویسکوز(لوله های بلند)‬
‫‪4‬‬
‫‪d‬‬
‫‪p1 + p2‬‬
‫‪2‬‬
‫‪C L = 1.38 × 10‬‬
‫×‬
‫‪lit / sec‬‬
‫‪l‬‬
‫‪2‬‬

‫رسانایی در رژیم مولکولی (لوله های بلند)‬
‫‪d3‬‬
‫‪T‬‬
‫×‪C L = 3.81‬‬
‫×‬
‫‪lit / sec‬‬
‫‪l‬‬
‫‪M‬‬

‫رسانایی در رژیم مولکولی (لوله های معمولی)‬

‫‪C0 × C L‬‬
‫=‬
‫‪C0 + C L‬‬

‫‪C pipe‬‬

‫محاسبات احتمال عبور‬
d3
CL =
6L
C pipe
C pipe

2πRT
M

C0 × C L
=
C0 + C L

C0
CL
CL
=
=
=
1 + C L C0 1 + 3L 4d 1 + 4d 3L

C pipe = WC0

1
W=
1 + 3L 4d

RT
C0 =
A
2π M

‫سرعت تخلیه پمپ‬
‫• سرعت تخلیه ‪:‬حجمی از گاز که به وسیله تخلیه در واحد‬
‫زمان خارج می شود‬
‫• در فشار داخل پمپ‪:‬‬
‫•‬
‫•‬
‫•‬
‫•‬
‫‬‫‪-‬‬

‫≠‪S = dV/dt )in lit/sec(, S‬‬
‫‪) f)p‬‬
‫سرعت تخلیه ‪ :‬اهنگ خروج گاز از سیستم به وسیله ی پمپ‬
‫واحد های سرعت تخلیه ‪ :‬زمان‪/‬حجم ‪ ،‬ثانیه‪/‬لیتر یا‬
‫دقیقه ‪/‬فوت مکعب‬
‫سرعت تخلیه و رسانایی هم معنی نیستند‬
‫رسانایی یکی از خصوصیات اجزای سیستم است ‪.‬‬
‫سرعت تخلیه به نوع رژیم گاز عبوری از سیستم مربوط می شود‬

‫معادله ی اساسی حالت وسرعت پمپ‬
‫‪QT‬‬
‫⇒‬
‫= ‪Pu‬‬
‫‪S‬‬
‫حالت پایا‬

‫‪− VdP = SPdt − QT dt‬‬
‫‪dP‬‬
‫‪+ V ( ) = − SP + QT‬‬
‫‪dt‬‬

‫‪dP‬‬
‫‪S‬‬
‫‪= −( )dt‬‬
‫‪p‬‬
‫‪V‬‬
‫}) ‪P = P0 exp{− t (V S‬‬

‫)‪t = (V S ) ln( P0 P‬‬
‫زمان لزم برای رسیدن فشار از ‪ P0‬به‬

‫‪P‬‬

‫اگر‪QT= 0‬‬

‫زمان در طول لوله‬
‫‪dP‬‬
‫‪S‬‬
‫‪=− P‬‬
‫‪dt‬‬
‫‪V‬‬
‫‪example‬‬
‫‪V = 1000 ℓ‬‬
‫‪S = 500 ℓ /s‬‬
‫‪τ=2s‬‬
‫‪every 2.3 τ, 10 x pressure drop‬‬

‫‪- t/τ‬‬

‫‪P‬‬

‫‪P =P0 e‬‬
‫‪V‬‬
‫=‪τ‬‬
‫‪S‬‬

‫‪-6‬‬

‫‪7‬‬

‫‪t‬‬

‫چرا در جهان واقعی زمان بیشتری برای تغییر فشار از ‪10‬به تور ‪ 10-‬لزم است؟‬

‫مثال‬
‫‪:1‬‬
‫در یک محفظه خل چه مدت طول می کشد تا که ‪ P0‬از‬
‫فشار‪1000‬میلی بار به ‪1‬میلی بار برسد؟‬
‫‪t= )40/0.5(ln 103=552 s= 9 min‬‬
‫‪:2‬اگر زمان لزم برای این که حجم ‪ 1‬متر مکعب از‬
‫فشار‪ 1000‬میلی بار به ‪10‬میلی بار برسد دقیقه باشد‬
‫سرعت تخلیه چقدر است؟‬
‫‪)S=)V/t(ln)P0/P‬‬
‫‪S=)1000/300(ln)10 2(=900 lit min -1 =5.4 m3 h-1‬‬

‫• استاد مربوطه ‪ :‬جناب دکتر غضنفر میرجلیلی‬
‫• ارائه دهندگان‪:‬‬
‫فاطره فتحی رکابی‬
‫فاطمه رازقی‬
‫زهرا محمدی پور‬
‫راضیه کدیور‬
‫بهار ‪1387‬‬