You are on page 1of 64

CUPRINS INTRODUCERE....…………………………………………………………………………………..8 1. METODE DE DETERMINARE A MICRODURITĂŢII MATERIALELOR..……………...9 1.1 Determinarea durităţii materialelor..……………………………………………………10 1.

2 Determinarea durităţii Vickers..…………………………………………………………12 1.3 Determinarea durităţii Rockwell...………………………………………………………14 1.4 Determinarea durităţii cu ciocanul Poldi......……………………………………………15 1.5 Nanoindentarea....…………………………………………………………………………17 1.6 Tehnica lui Oliver şi Pharr.………………………………………………………………19 1.7 Folosirea pelicolelor de Au și Al la elaborarea MEMS....………………………………21 1.8 Rolul pelicolelor de Al și Au la construcț ia MEMS......…………………………………23 2. DESCRIEREA METODELOR ŞI ECHIPAMENTULUI UTILIZAT.....……………………24 2.1 Tehnica de efectuare a tratamentului fotonic rapid cu impulsuri......…………………24 2.2 Metoda pulverizării termice magnetron....………………………………………………26 2.3 Construcț ia dispozitivului Nanotester PMT-3NI-02.....…………………………………30 2.4 Proiectarea şi funcţionarea dispozitivului Nanotester РМТ-ЗNI-02......………………32 3. REZULTATELE CERCETĂRII MICRODURITĂŢII PELICOLELOR DE AL ŞI AU..…38 3.1 Tratamentul fotonic rapid al pelicolelor....………………………………………………38 3.2 Modulul de cercetarea a microdurităț ii....………………………………………………39 3.3 Cercetarea microdurităț ii pelicolelor de Al/Si......………………………………………43 3.4 Cercetarea microdurităț ii pelicolelor de Au/Si.....………………………………………49 3.5 Analiza rezultatelor.....……………………………………………………………………54 4. ANALIZA ECONOMICĂ.………………………………………………………………………58 4.1 Descrierea generalizată a proiectului.....………………………………………………….58 4.2 Analiza SWOT.........………………………………………………………………………….58 4.3 Compartimentul organizaţional-economic...……………………………………………59 4.4 Argumentarea economică.....…………………………………………………………….61 4.5 Generalizarea cheltuielilor.....……………………………………………………………64 4.6. Managementul resurselor umane.………………………………………………………64 CONCLUZII....………………………………………………………………………………………67 BIBLIOGRAFIE.……………………………………………………………………………………68

UTM 525.1 029 ME
Elaborat
Mod Coala . Nr. document Șlepac Vadim Răilean Sergiu Covdii G. Melnic T. Șontea V. Semnăt. Data

Cond Consultant Cont.nom. Aprobat

Cercetarea microduritatii peliculelor subtiri de Al şi Au prin microidentarea quasistatica.

Litera

Coala 7

Coli 69

UTM FCIM ME-071

INTRODUCERE Astăzi, la fel ca pe parcursul secolelor precedente, rămâne a fi destul de actuală obţinerea materialelor cu proprietăţi specifice anumitor condiţii (presiuni înalte şi joase, intervale largi de temperatură, medii agresive). Soluţionarea acestei sarcini, privind atribuirea unor caracteristici propuse materialelor din start, poate fi reuşită doar prin dezvoltarea fundamentală a durabilităţii. Din acest punct de vedere durabilitatea descrie şi analizează condiţiile şi criteriile de existenţă a corpului solid, modificarea parametrilor mecanici ale materialelor, cum sunt: nano, micro şi macroduritatea, rezistenţa la fisurare, etc., şi reacţiile acestora la acţiunea diverşilor factori în toată multitudinea lor de manifestare. Pentru a descoperi natura durităţii este necesar de a evidenţia care sunt factorii determinativi pentru compuşii studiaţi şi care influenţe sunt mai puţin importante. Sub acest aspect devine oportună descrierea particularităţilor stării tensionate sub influenţa sarcinii concentrate, a modificărilor acestora în dependenţă de tipul reţelei cristaline a corpului deformat, influenţa factorilor cum sunt: sarcina aplicată, temperatura, factorii superficiali, coroziunea, durata de solicitare, uzura mecanică, etc. Studierea microdurității pelicolelor de Al/Si, Au/Si este necesară nu doar pentru lărgirea domeniului de cunoaştere despre acestea, dar şi pentru atribuirea materialelor noilor proprietăţi, elucidarea modificărilor ce au loc în timpul proceselor de prelucrare tehnologică şi exploatare. Trebuie de notat că, influenţa deteriorărilor acumulate în procesul de exploatare se reflectă asupra caracteristicilor mecanice ale materialului în deosebi la etapa predistructivă. De aceea este dificil de apreciat rezerva remanentă a produsului în baza analizei lor. În acelaş timp deteriorarea (în cel mai larg sens) se răsfrânge mult mai puternic asupra schimbărilor pentru un şir întreg de proprietăţi ale materialului, ceea ce permite aprecierea complexă a stării materialului prin metode tehnice de diagnosticare. În legătură cu complexitatea acestui proces este destul de dificilă elucidarea naturii evenimentelor, ce au loc sub acţiunea penetratorului în urma executării testelor. Cu toate că la momentul dat există un volum esenţial de material experimental, cu interpretarea teoretică a acestuia şi a naturii unui şir de fenomene, continue totuşi să persiste multe întrebări nesoluţionate care necesită o rezolvare urgentă. Datele bibliografice dovedesc clar că duritatea oricărui material este o caracteristică multifuncţională de durabilitate, dependentă de o multitudine de factori, atât interni cât şi externi. Înţelegerea profundă a rolului şi aportului fiecăruia dintre aceşti factori asupra parametrilor de durabilitate permite utilizarea lor competentă întru soluţionarea sarcinilor tehnologice la construirea materialelor generaţiei noi şi înzestrarea lor cu proprietăţile necesare în scopul perfecţionării caracteristicilor de exploatare a produselor înginereşti.

Coala

UTM 525.1 025 ME
Mod Coala Nr. document Semnăt. Data

8

Nanoindentarea, este ca o combinaţie de abordări, a metodelor specifice, practic este singurul instrument universal care determină tiparele comportamentului mecanic a materialelor în straturile micro şi nano a peliculei. Ea a apărut în urma unei evoluţii lungi metodelor incercărilor mecanice locale, în care cea mai simplă metodă de măsurare a durităţii H ca raportul puterii de indentare în material P pentru zona amprentei A (duritatea Brinell) sau la proiecţia acestei zone deasupra probei (duritate Meyer) transformânduse într-un instrument subţire multiopțional pentru cercetare. Este potrivit pentru rezolvarea problemelor fizice și aflarea legilor fundamentale comportamentului straturilor nanometrice ale suprafeței şi volumul submicronic celor mai diverse materiale, de la materiale moi biologice, până la extradure cum ar fi de diamant, care se folosesc sau se planifică pentru dezvoltare idustriilor importante. Respectiv, şi mijloacele tehnice pentru testarea durității de la începutul secolului XX au suferit o schimbare radicală, care a crescut din presă, dezvoltînduse efortul de la zeci și sute de kilograme, până la maşini de precizie, cu o rezoluţie de până la 10-12 m, cu discreția raportului sarcinii 1 nN. În legătură cu cele expuse devine o necesitate insistentă de continuare a cercetărilor detaliate şi sistematice în scopul studierii microdurității pelicolelor de Al/Si și Au/Si.

Coala

UTM 525.1 025 ME
Mod Coala Nr. document Semnăt. Data

9

[mm] h. Tabelul 1.1 Metodele frecvent utilizate la determinarea durităţii Metoda Brinell Rockwell Vickers Poldi Tip penetrator bilă oţel bilă oţel con de diamant piramidă de diamant bilă de oţel Evaluarea durităţii F/S.1.1 025 ME Mod Coala Nr. Bila utilizată ca penetrator trebuie să aibă o duritate cu minimum 70 % mai mare decât duritatea materialului de încercat. pentru care viteza de acţionare depăşeşte această valoare. METODE DE DETERMINARE A MICRODURITĂŢII MATERIALELOR 1. [mm] F/S. La determinarea durităţii materialelor se iau în considerare mărimea urmelor produse de un corp de penetrare numit penetrator. când se foloseşte ca penetrator o bilă din oţel. când se foloseşte ca penetrator o bilă din carbură de wolfram. la care viteza de acţionare se situează sub 1 mm/s. Metodele frecvent utilizate la determinarea durităţii şi caracteristicile lor sunt cuprinse în (tabelul 1. şi a celor ce au duritatea cuprinsă între 450 şi 650 HB. caracterizat printr-o anumită formă şi dimensiune. în funcţie de viteza de acţionare a forţei asupra penetratorului. S – suprafaţa. Metodele statice şi dinamice se deosebesc între ele. [N/mm2] h. Metoda constă din imprimarea. a unei bile de diametru prescris (D). perpendicular pe suprafaţa piesei de încercat. [N/mm2] comparativă Scări utilizate B = 130 C = 100 Domeniul de utilizare < 450 HB < 450 HB toate materialele toate materialele < 450 HB Tipul metodei statică statică statică statică dinamică Menţiuni. condiţiile de lucru. Metodele de determinare a durităţii. şi metode dinamice.1 au următoarele semnificaţii: • • • F – forţa ce acţionează asupra penetratorului. Coala UTM 525. Determinarea durităţii materialelor Duritatea este o proprietate a materialelor care exprimă capacitatea acestora de a se opune acţiunii de pătrundere a unui corp dur în masa sa. se clasifică în metode statice. dimensiunile caracteristice ale urmelor lăsate de penetrator în material şi modul de evaluare a durităţii. h – adâncimea urmei lăsate de penetrator în material sub acţiunea unei forţe date. document Semnăt. Determinarea durităţii Brinell Determinarea durităţii Brinell este una dintre cele mai folosite metode de evaluare a durităţii materialelor. Mărimile din tabelul 1. Ea se aplică materialelor ce au duritatea posibilă mai mare de 450 HB. Data 10 . cu o forţă (F).1).2. în principal.1. 1. şi forţa ce acţionează asupra acestuia. prin forma penetratorului.

2. daN / mm 2 (1. Diametrul bilei penetrator se alege dintr-un set d cinci bile ale cărui dimensiune poate fi: 1. Coala Fig. 2. 1. D şi d. daN / mm 2 [ (1. astfel: S= π ⋅D D − D2 − d 2 2 2F 2 2 ( ) )[ .5.2) sau: HB = 2F 1 ⋅ 2 π ⋅D  2  d 1− 1−    D        . deci.1. Din (fig. Practic.1) reiese că această similitudine este material. tabele care prezintă valoarea durităţii în funcţie de F. că valorile durităţii Brinell obţinute cu penetratoare având bile de diametru diferit sau asupra cărora acţionează sarcini diferite nu sunt comparabile între ele. în standard.1Vârful penetratorului satisfăcută numai dacă unghiul φ este identic pentru toate urmele obţinute la încercarea unui anumit UTM 525. Se poate constata. măsurat cu lupa.3) Dacă F şi D din relaţia prezentată sunt cunoscute şi d rezultă în urma măsurării diametrului urmelor se poate calcula duritatea. document Semnăt. Suprafaţa calotei sferice se calculează pornind de la diametrul d al bazei acesteia. se obţine: HB = π ⋅D D− D −d ( ] ] (1. Valori comparabile se obţin numai în condiţiile în care se respectă similitudinea geometrică a urmelor produse. De asemenea. 5 şi 10 mm. la microscop sau prin proiectarea urmei pe ecranul aparatului destinat încercării.1) Înlocuind suprafaţa calotei în relaţia de calcul s durităţii.1 025 ME Mod Coala Nr. folosind o sarcină constantă şi penetratoare cu bile de diametre descrescânde se obţin valori descrescânde ale durităţii.Duritatea Brinell HB se exprimă prin raportul dintre forţa aplicată F şi suprafaţa calotei sferice S a urmei remanente lăsate de penetrator după îndepărtarea lui de pe materia: HB = F/S Duritatea Brinell HB se foloseşte ca o valoare convenţională ce înlocuieşte folosirea unităţii de măsură daN/mm2. Folosind la determinarea durităţii un penetrator cu bilă de diametru constant şi sarcini crescătoare se obţin valori crescânde ale durităţii. acest calcul nu este necesar deoarece există. Data 11 .

1. se exprimă prin raportul dintre forţa aplicată f şi aria suprafeţei laterale a urmei remanente produse de penetrator.5) Aplicând condiţia similitudinii (φ = constant) rezultă că. metoda poate fi aplicată fără limite la determinarea durităţii. Data 12 . Durata necesară epuizării curgerii materialului şi atingerea urmei de mărime practic constantă este în funcţie de natura şi duritatea materialului încercat.4) Această expresie introdusă în relaţia de mai sus conduce la: HB = 2F ⋅ π ⋅ D2 1 ϕ  1 − 1 − sin   2 2 (1. având la vârf acelaşi unghi cu cel al penetratorului. este necesar ca raportul F/D2 să fie constant. îndeosebi. Ea constă în apăsarea unui penetrator cu o viteză redusă şi cu o anumită forţă predeterminată F pe suprafaţa materialului încercat.1 025 ME Mod Coala Nr. Deoarece diamantul are cea mai mare duritate dintre toate materialele utilizate în industrie. cu metoda Brinell. Se recomandă.Din triunghiul AOB rezultă: D ϕ d sin = . pentru obţinerea unor valori constante a durităţii. la încercarea aceluiaşi material. La materialele a căror duritate este mai mică decât această valoare se foloseşte metoda Brinell. La metoda de determinare a durităţii Brinell. Acest raport se notează cu k şi este denumit grad de solicitare. în principiu. Coala UTM 525. Urma este considerată ca o piramidă dreaptă cu baza pătrată. grosimea a minimă a probelor supuse încercării trebuie să fie de 8 ori adâncimea urmei h.6) Pentru evitarea influenţei suportului de sprijin a probei asupra rezultatelor încercării. Pentru ca bila să nu se deformeze în timpul încercării. Duritatea Vickers. este necesar ca diametrul urmei lăsate de penetrator pe materialul de încercat să se încadreze în limitele impuse de relaţia: 0.25·D < d < 0. ceea ce ar conduce la obţinerea unor rezultate eronate. document Semnăt. materialul supus încercării suferă deformaţii plastice în zonele de contact şi în vecinătatea acestora.60·D (1. la determinarea durităţii materialelor ce au duritatea probabilă mai mare de 300 daN/mm2. Metoda Vickers se aseamănă.3. de unde 2 2 2 d = D sin ϕ 2 (1. simbolizată cu HV. Determinarea durităţii Vickers Metoda de determinare a durităţii Vickers utilizează ca şi penetrator o piramidă de diamant cu baza un pătrat. cu diagonala d.

se obţin urme geometrice identice oricare ar fi forţa de încercare şi.2 Penetratorul durității Brinell unghiuri identice la vârf. din acest punct de vedere. subţiri. anumite standarde au prescris diferite sarcini discrete şi. Exprimând suprafaţa S a urmei lăsate de penetrator. este de 1360 şi a fost ales de aşa manieră încât să se stabilească o legătură cu duritatea Brinell (fig. ca urmare. Data 13 . Adâncimea de penetrare a piramidei Vickers în material este de numai 1/7·d. iar valoarea corespunzătoare a durităţii se citeşte direct din tabelele anexate aparatului. 2. măsurat între două feţe opuse. metoda poate fi utilizată şi pentru determinarea durităţii pieselor mici. adică de aproximativ 10 ori adâncimea de pătrundere a penetratorului. folosind penetratoare cu Fig. Principala sursă de erori la această încercare este legată de măsurarea diagonalelor urmei. document Semnăt.1 025 ME Mod Coala Nr. Duritatea Vickers se determină cu relaţia: HV = F/S. se obţine relaţia de calcul a durităţii Vickers: F 1. încercări de duritate Vickers cu sarcini mici Vickers). Grosimea piesei de încercat sau a stratului trebuie să fie de cel puţin 1. se poate spune că duritatea este independentă de mărimea sarcinii. se recomandă utilizarea sarcinilor cât mai mari la efectuarea încercării.8544 ⋅ F d2 HV = = 136 d2 2 sin 2 (1. în funcţie de diagonala d.7) În practică se măsoară lungimea diagonalei cu ajutorul unui microscop de măsurare sau cu un proiector. Datorită adâncimii mici de pătrundere a penetratorului în material. Aceasta. În vederea reducerii ponderii erorii subiective cauzată de plasarea reperelor în contact cu extremităţile urmei. La încercarea Vickers. Una dintre aceste este influenţa reciprocă a urmelor învecinate. În cazul determinării durităţii straturilor subţiri se efectuează mai multe încercări şi se reţin numai rezultatele acelora care sunt apropiate ca mărime. din motive practice. Celelalte valori se exclud întrucât ele s-au obţinut prin pătrunderea penetratorului până la miezul piesei. au clasificat încercările Vickers în: încercări normale de duritate Vickers.Unghiul la vârf al penetratorului.1). şi încercări de duritate Vickers cu microsarcini (microduritate Coala UTM 525. 1. depuse galvanic etc.5d. Cu toate acestea. a straturilor tratate termic. pentru a evita influenţa suportului de sprijin a piesei asupra durităţii. La determinarea durităţii Vickers există numeroase surse de erori. dincolo de stratul tratat termic.

În cazul suprafeţelor curbe, sferice sau cilindrice, concave sau convexe, rezultatele obţinute la determinarea durităţii se corectează. Corecţiile ce se aplică sunt trecute în tabelele standardelor de încercare a durităţii pe suprafeţe curbe.

1.4. Determinarea durităţii Rockwell
Prin metoda Rockwell s-a urmărit, pe de o parte, să se simplifice metodologia de determinare a durităţii materialelor şi să se reducă timpul necesar efectuării încercării şi, pe de altă parte, să ofere posibilitatea aplicării ei pentru toate categoriile de materiale, indiferent de duritatea probabilă pe care o au. În cazul metodei Rockwell nu se recurge la calculul durităţii prin raportul dintre forţa aplicată asupra penetratorului şi aria urmei produse de acesta în material, ci pe baza evaluării adâncimii urmei remanente de pătrundere, măsurată faţă de un plan de referinţă ales convenţional. Metoda constă în imprimarea, într-un material, a unui penetrator de formă dată sub acţiunea unei sarcini. Procesul se desfăşoară în două etape. În prima etapă se aplică asupra penetratorului o sarcină iniţială F0, după care dispozitivul de măsurare a adâncimii de penetrare se aduce la zero. În a doua etapă se aplică suprasarcina F1. După epuizarea curgerii materialului, vizibilă la dispozitivul de măsurare a adâncimii de pătrundere a penetratorului, manifestată prin oprirea practic completă a mişcării acului indicator, se îndepărtează suprasarcina F1 şi se citeşte direct adâncimea remanentă de pătrundere a penetratorului în material (fig. 1.3).

Fig. 1.3 Diferenţa dintre o valoare convenţională E şi valoarea adâncimii de penetrare În practică, durata de menţinere a sarcinii totale de încercare F = F0 + F1 este recomandată a fi de 15, 30 sau 60 secunde, în funcţie de material. Aceasta pentru a se asigura o epuizare practic completă a deformaţiilor locale sub presiunea de contact a penetratorului. Unitatea de duritate Rokwell corespunde unei adâncimi de pătrundere de 0,002 mm pentru metodele obişnuite de determinare a durităţii. Deoarece duritatea variază invers proporţional cu
Coala

UTM 525.1 025 ME
Mod Coala Nr. document Semnăt. Data

14

adâncimea de pătrundere a penetratorului şi pentru ca durităţilor crescânde să le corespundă valori crescânde, duritatea Rockwell se defineşte ca diferenţa dintre o valoare convenţională E şi valoarea adâncimii de penetrare. Valoarea convenţională E este în funcţie de scara utilizată şi poate fi de 100 (fig. 1.3 a) sau de 130 (fig. 1.3 b). Această diferenţă se realizează, practic, prin folosirea ca reper zero a gradaţiei 100 sau 130 şi mişcarea inversă a indicatorului faţă de scara gradată. Duritatea Rockwell se determină deci prin relaţia: HR = E-e, în care: e - este valoarea adâncimii remanente de pătrundere, exprimată în unităţi Rockwell. O unitate Rockwell este egală cu 2 μm. În funcţie de duritatea probabilă a materialului se alege tipul penetratorului. Pentru oţeluri călite, oţeluri speciale, benzi subţiri din oţel călit, metale dure, se utilizează ca penetrator un con de diamant cu unghiul la vârf de 120 ± 0,50 şi o rotunjire la vârf de 0,2 ± 0,002 mm. Pentru oţeluri carbon obişnuite, table, bronzuri, alame speciale, se alege ca penetrator o bilă din oţel călit cu diametrul de 1/16, adică D = 1,588 ± 0,004 mm. Duritatea acestei bile trebuie să fie aproximativ 850 HV 10 pentru a nu se deforma inadmisibil în cursul încercărilor. (1.8)

1.5. Determinarea durităţii cu ciocanul Poldi
Metoda de determinare a durităţii cu ciocanul Poldi, deşi dă valori aproximative ale durităţii materialelor, este foarte des folosită datorită rapidităţii de execuţie şi pentru că permite determinarea durităţii pieselor de gabarit mare şi a celor aflate în locuri inaccesibile celorlalte aparte de determinare a durităţii. Metoda Poldi este o metodă dinamică, deoarece viteza de aplicare a forţelor prin lovire cu ciocanul este mare. Aparatele destinate încercărilor dinamice sunt uşoare, portabile, robuste şi permit o manipulare uşoară. Folosirea acestora este îngrădită de precizia mai redusă a rezultatelor obţinute. La ciocanul Poldi se foloseşte principiul metodei Brinell cu deosebirea că amprenta nu se realizează în urma aplicării unei sarcini statice, ci prin acţionarea unei sarcini dinamice. Bila de oţel cu diametrul de 10 mm imprimă concomitent două urme: una pe piesa de încercat şi alta pe o piesă etalon, care are o duritate HBe cunoscută. Comparând suprafaţa amprentei de pe piesa de încercat cu suprafaţa amprentei de pe bara etalon se determină duritatea HB a piesei. Duritatea celor două materiale (a barei etalon şi a piesei de încercat) se poate determina cu una din următoarele relaţii:
HB =

π ⋅ D D − D2 − d 2

(

2F

)

(1.9)

Coala

UTM 525.1 025 ME
Mod Coala Nr. document Semnăt. Data

15

în care:
HBe =

2F
2 π ⋅ D D − D 2 − d e     

(1.10)

D – este diametrul bilei (10 mm); d – diametrul urmei lăsate pe piesa de încercat; de – diametrul urmei lăsate de bilă pe piesa etalon.


Făcând raportul celor două relaţii se obţine:
HBe D − D 2 − d 2  d  = ≅  HB D − D 2 − d 2  d e    e
2

(1.11)

rezultă că:
d  HB ≅ HBe   d   e
2

(1.12)

Deci duritatea piesei de încercat HB se poate determina pe baza ultimei relaţii cunoscând duritatea barei etalon şi măsurând diametrele urmelor lăsate de bilă pe cele două materiale (bara etalon şi materialul de încercat). Pentru simplificare, fiecare aparat este însoţit de o tabelă proprie, în care sunt date valorile durităţii piesei de încercat în funcţie de diametrul urmelor lăsate de penetrator. În cazul în care se foloseşte o bară etalon cu duritate diferită de cea pentru care a fost construit tabelul (201 HB) valorile luate din tabel vor fi corectate cu ajutorul unui coeficient de corecţie K determinat cu relaţia:
k= HBe HBtabel (1.13)

în care:
• •

HBe – este duritatea barei etalon folosite; HBtabel – duritatea barei etalon pentru care a fost construit tabelul. Ca urmare, duritatea reală a materialului încercat HB este produsul durităţii citit în tabel, în raport

cu diametrul urmelor lăsate de penetrator pe cele două materiale, şi coeficientul de corecţie K. Se poate spune că această metodă de determinare a durităţii este: • •

metodă dinamică, pentru că forţa se aplică cu mare viteză prin lovire cu ciocanul; metodă comparativă, pentru că duritatea se determină în raport cu o bară etalon; metodă informativă, deoarece rezultatele obţinute nu sunt de mare precizie ci oferă doar

informaţii asupra durităţii materialului încercat.

Coala

UTM 525.1 025 ME
Mod Coala Nr. document Semnăt. Data

16

Nanoindentarea Aplicarea indentorului provine faptului că piramida indentorului nu este perfect ascuţită. 1. se găseşte bobina inductanta. 1. așezate la o distanță de 200 µm una de la alta (Fig. Fig. asemanatoare cu forma sferei. utilizarea unui indentor Berkovich permite incercarea testelor la sarcini mult mai mici decât în cazul indentării Vickers. 3 – arc foliat. Pentru indentorul Vickers nu se primește de obţinut vârful cu o rază de curbură <1 µm. 6 –mostra. Bobina este plasată într-un magnet-continuu (fig. ca raza curbei să fie mult mai mică decât dimensiunea amprentei. unde este prins indentorul.1 025 ME 6 17 . Relaţia dintre curent şi sarcină este liniară în intervalul 0-150 nm.4). 2). 3 4 Atunci când curentul curge prin bobina inductanță. La schimbarea adâncimii amprentei senzorii capacitativi se schimba. La capătul de sus al nucleului. document Semnăt.1. nucleul și indentorul iese din magnit și la indentor se aplica sarcină. 1 2 5 – indentor. deaceea permite controlul puterii indentorului. Senzorul este format din două plăci de sticlă. La vârful său. Data UTM 525. ce permite permanent controlul mișcării vârfului indentorului. Pentru măsurarea adâncimii amprentei în dispozitivul Nano Indenter II se folosește un senzor capacitativ. Pentru a măsura corect microduritatea este necesar. 4 – placa condensatorului. în dispozitivele moderne ajunge pînă la 40 nm.4 Schema principială a efectuării testărilor la aparatul Nano Indenter 1 – magnet continuu. 2 – bobina de inductanţă. Precizia măsurării deplasării parții de sus al indenterului Coala 5 Mod Coala Nr.6. Prin urmare. la care se permite măsurarea durității. A treia placă este prinsă de nucleul indentorului. există întotdeauna zona tocită. Pentru indentarea Berkovich raza de corbura la vârf este mult mai mică. Dimensiunea zone tocite determină adâncimea minimă.

Menţinerea timp de 30 s.05 nm / sec.001g până la 15g. Pentru micșorarea derivei termice dispozitivul impreuna cu masa de izolare a vibrațiilor este întrodus într-un dulap de lemn lipit din interior cu spumă de cauciuc.0 0. nm 0.6 0. Pauza de 30 s în timpul eliberării se produce pentru a măsura viteza de dilatare termică a tijei indentorului. Pentru micșorarea diferenței în temperatură.0 0 10 20 30 40 1 3 50 h. Pentru reducerea vibraţilor dispozitvul este montat pe masa de izolare a vibraţiilor. Dispozitivul produce testarea durității în diapazonul de încărcare de la 0. În timpul descărcarii pentru fiecare test viteza expasiunii termice indentorului se măsoară încă odată iar rezultatele se întroduc cu o corespunzătoare modificare. Precizia punerii amprentei este egală ± 400 nm.dispozitivului Nano Indenter-II este egală cu ±0.4 0. nm Coala UTM 525. Acest lucru se datorează faptului că temperatura indentorului şi probei nu este niciodata absolut identică. Principalele etape de indentare: • • • • • Încărcarea până la sarcina maximă. Testările la nanoindentare sunt efectuate de regulă conform următoarei scheme (fig. Procesul nu se începe dacă viteza expasiunii termice a tijei indentorului este mai mare de 0. 1. Data 18 .2 0. Modul principal de lucru – încărcarea la o creștere constantă a sarcinii care variază de la 0. De aceea după contactul indetorului cu proba se începe expansiune sau contracţie a tijei indentorului. Eliberarea completă a indentorului. S= dP dh 1. 3 – stadia de descărcare a indentorului P.04 nm. sarcina la indentor – ±75 nm. Viteza de creştere a sarcinii aplicate se alege de obicei astfel. încât durata de încărcare să fie de 10-20s. etapa 2 – durata de expunere a sarcinii maximale.5 Diagrama încărcării indentorului la efectuarea testării nanodurității: etapa 1 – stadia de încărcare.1 025 ME Mod Coala Nr. Dispozitivul efectuează aproximativ 5 măsurări de sarcini și mutare în timp de 1 secundă.0001 la 20 mN / secunde. este suficienta pentru constatarea durității și modulului de elasticitate este egală cu ≈ 30 nm. Menţinerea la sarcina aplicată constantă timp de 30s pentru măsurarea derivei termice. 2 1. Sensibilitatea ridicata a dispozitivului conduce la faptul că diferența temperaturii probei și indentorului chiar la câteva zeci de grade sunt posibile devieri la rezultatele testului. care dispozitivul o percepe ca o schimbare în adâncimea contactului. Micşorarea sarcinii cu 80 %. document Semnăt. Temperatura în încăpere se menține permanent cu o precizie de ± 20 °С.8 Fig. proba se introduce în dispozitiv înainte cu 12 ore de la începerea testului. Adâncimea minima amprentei.4).

Principala dificultate este legată de descoperirea deformării elastice suprafeței pe marginea contactului hs (fig. în care este prins indentorul htd: h = hc + hs + hf + htd (1.7.5). Deformările elastice nu sunt posibile de măsurat.1.1 025 ME Mod Coala Nr. dar mutarea vîrfului indentorului h. care este suma mai multor componente: adâncimea contactului hc. Oliver și Pharr au demonstrat (1.14) și (1. problema principală este prelucrarea diagramei primite la încărcarea indentorului. știind rigiditatea ramei dispozitivului și viteza expansiunii termice a tijei indentorului.16).5).15). apoi la măsurarea durității la adâncimea amprentei. devierea elastică unei rame puternice hf. deformarea elastică suprafeței probei la marginea contactului hs. folosind soluția lui Sneddon problema despre elasticitatea încărcării suprafeței plane cu o ștampilă axisimetrică (1.72 primit din rezultatul lui Sneddon pentru conul ascuțit.14) Pentru a găsi duritatea și modulul elasticității probei după rezultatele testărilor cu înscrierea diagramelor încărcării indentorului. 1. că la încărcare maximă deformările elastice suprafeței probei pe marginea amprentei sunt egale cu: hs = εPmax/S (1.18). este necesar să cunoaștem adâncimea contactului hc la încarcarea maxima Pmax. P hs h hc Fig.15) unde ε = 0. Ultimii doi termeni din ecuația (1. Problema este aceea că dispozitivul nu măsoara adâncimea amprentei. Rigiditatea contactului S = =dP/dh se găsește pe curba descărcării indenterului (fig. Data 19 . expansiunea termica a tijei. Tehnica lui Oliver şi Pharr În cazul metodei obişnuite de măsurare a durităţii principala dificultate este legată de măsurarea mărimii amprentei. Ele pot fi doar calculate. document Semnăt. obținuta prin încarcare mică.6 Reprezentarea schemei secţiunii amprentei Coala UTM 525. 1.14) pot fi luati ușor în considerație. deaceea adâncimea amprentei la sarcini maxime pe indentor este posibil de găsit din ecuațiile (1. 1.

. Data 20 .1 025 ME Mod Coala Nr. Pharr și Oliver (1. Ținând cont de efectul de tocire la vârful indentorului. o să difere față de zona reală. Astfel. pentru ca zona contactului. Rezultatul este numit “recuperarea” durității diformată elastic cu Coala UTM 525. În primul rând în timpul testării microdurității mărimea amprentei se schimbă după descărcarea indentorului. Ecuațiile (1. La sarcini mici în zona calculată după formula (1.16).20) unde: E și ν ..19) și (1. Primită în așa fel valoarea durității semnificativ se schimbă față de duritate. Ei . că pentru curba elastică la descărcare. А = 24. această formulă poate fi utilizată numai pentru adâncimi relativ mari. calculată după formula (1. Er – reducerea modulului elasticității.Știind adâncimea contactului putem găsi suprăfața proecției amprentei A. 1). Constantele C1 – C8 se aleg în așa fel. este axisimetrică ca (1.. S= dP 2 = Er A dh π (1.18) Bulycev și alții (1.este modulul elasticității și coeficientul lui Poisson pentru probă. Oliver şi Pharr au reuşit să obţină valoarea nanodurității probei pe diagrama încărcării indentorului. care se folosesc pentru găsirea zonei de proecție amprentei ținând cont doar de adâncimi mici ale amprentei.νi aceeași parametrei și pentru indentor.16) au introdus o funcție cu următoarea formă a indentorului: A = 24. document Semnăt. Și cu cât mai mică va fi adâncipea amprentei cu atât mai mare va fi greșeala. care este redat de următoarea ecuație: 1 (1 −ν 2 ) (1 −ν i2 ) = + Er E Ei (1. Pentru un indentor perfect ascuțit a lui Berkovich.56(hc)2 + C1(hc)1 + .17) să coincidă cu rezultatele măsurării metodei optice (microscop optic sau prin scanare cu un microscop electric special). măsurată la dispozitivul PMT-3.20) permit găsirea modulului elasticitații probei pe curba descărcării indentorului...56(hc)2 (1.19) au demonstrat.17) (1. atunci când forma vârfului este aproape de forma unei piramide regulate. + C8(hc)1/128 unde: C1 – C8 – sunt constante.16) Din cauza că indentorul Berkovitch are impiedicare în partea de sus. Acum este posibil de găsit duritatea pe adâncimea amprentei la încărcări pe indenterul Berkovich: H = Pmax/A și ștampilele piramidale.19) unde: S = dP/dh – experimental măsurarea rigidității părții de sus curbei descărcării (Fig.

În acest caz duritatea are un sens clar și dezvăluit din punctul de vedere al fizicii – aceasta este presiunea medie de contact.2 O 0. CA .4 0. Metodele lui Oliver și Pharr au primit o răspândire pe larg pentru măsurarea nanodurității și modulul elasticității pelicolelor subțiri pe adâncimea amprentei.1 025 ME Mod Coala Nr. calculată de Oliver şi Pharr şi deformările elastice în amprentă. 1. OA – mutarea vârfului indenterului.0 0. microduritatea se găsește ca raportul încărcării în zona amprentei (duritate pe Brinell ). Folosirea pelicolelor de Au și Al la elaborarea MEMS Coala UTM 525. (nm) Fig. În al doilea rând.recuperarea amprentei la descărcare. După metoda lui Oliver și Pharr nanoduritatea se găsește ca raportului normal îndeplinind încărcarea zonei amprentei (duritate pe Meyer).7 Adâncimea amprentei sub sarcina lui Oliver și Pharr • • • • • OC – adâncimea amprentei sub sarcină maximă. La testarea nanodurității primim duritate.6 0. Data 21 . BC. document Semnăt. dar mai corect pentru a calcula duritatea se folosește după Meyer.deformarea elastică a suprafeței în amprentă. 1. Figura 1.8.7 prezintă o diagramă a unui indentor Berkovich.0 0 10 B 20 C 30 40 A 50 h. BA . măsurată la sarcini mari ("nerecuperarea" durității). Pe imagine sunt arătate deformările elastice suprafeţei probei pe marginea contactului.deformarea elastică a suprafeței pe marginea amprentei. Din punct de vedere istoric caracteristicile durității și microdurității de obicei se calculează după Brinell.8 P. (mN) 0. 1.deformarea elastică completa a suprafeței.

ca şi actuatori pentru mişcări liniare şi unghiulare sau ca simple componente pentru sisteme complexe cum ar fi roboţi. viteză. este economic de produs in formă cristalină. electrodepunere.Sistemele microelectromecanice (Microelectromechanical Systems – prescurtat MEMS) sunt microsisteme obtinuțe prin integrarea de elemente mecanice. Impreună cu siliciul policristalin se poate depune în straturi subțiri de până la 5 microni. electromagnetici. Actuatori electrostatici. mecanisme cu roţi dinţate. prelucrare prin descărcări electrice. Acestea au fost folosite ca senzori pentru presiune. litografie. Siliciu sub forma amorfă nu are structură regulată cristalină și conține numeroase defecte. Prezintă următoarele avantaje: • • • • larg răspândit in fabricatia circuitelor integrate. Data 22 . Materialul de baza utilizat ca substrat este Siliciu. magnetici. micromotoare de caldură şi micropompe de caldură. are proprietăți mecanice foarte bune ( sub forma de cristal este elastic ca oțelul si mai ușor decât aluminiu). Laboratorul-pe-un-cip.1 025 ME Mod Coala Nr. temperatură. promite să automatizeze biologia şi chimia în aceeaşi măsură în care circuitul integrat a permis automatizarea la scară largă a tehnicii de calcul. vane. Siliciu sub formă cristalină are urmatoarele caracteristici fizice: • limita de curgere = 7x109 N/m2. Domeniul multidisciplinar a fost martor la o creştere explozivă în timpul ultimei decade iar tehnologia progresează la o rată ce o depăşeşte pe cea a înţelegerii fenomenelor fizice implicate. actuatori și componente electronice pe un substrat comun (de regula o placuță de siliciu). bine studiat și exită posibilitatea de a i se controla proprietățile electrice. Tehnicile curente de fabricare ale MEMS includ microprelucrare la suprafaţa a siliciului. • Siliciu amorf. sunet şi compoziţii chimice. 200 si 300 mm și cu grosimi diferite. Coala UTM 525. Siliciul utilizat in construcția MEMS-urilor se prezinta sub 3 forme: • Siliciu cristalin. de senzori. în particular. Siliciu sub forma cristalina de înalta puritate se fabrică sub forma de plăcuțe circulare cu diametrul de 100. motoare. microprelucrarea siliciului în volum. debit. laborator-pe-un-cip. document Semnăt. 150. diafragme şi foarfece cu dimensiuni sub 100 de microni au fost deja fabricate. • Siliciu policristalin. pneumatici şi termici.

65 g/cm3. sticlă. Data 23 .• • • modulul de elasticitate E = 1. de exemplu la fabricarea microintrerupătoarelor pe baza de Al. Quartzul se utilizeaza in construcția MEMS-urilor. Structurile tristrat sunt alese pentru a minimiza efectele dăunătoare ale gradienților de temperatură și tensiune din timpul proceselor de realizare ale componentelor microelectronice. compuși metalici ( TiN. oxinitrură de siliciu (SiON). si electroacoperiri.1 025 ME Mod Coala Nr. Exista mai multe tipuri de materiale care se depun sub forma de straturi pe placutile de siliciu: • • • • 1. document Semnăt. polimeri. Metalele cel mai utilizate in microfabricatele electronice sunt Au si Al si de regula sunt utilizate la realizarea conectorilor. Pelicolele fine metalice sunt utilizate in medii cu capacitati diferite pentru confecționarea măștilor microsenzorilor si microactuatorilor.07 x 10 11 N/m2. CVD.33 g/cm3. Coala UTM 525.6 x 10 11 N/m2. Fiecare întrerupător este alcătuit din o serie de console bimorfe astfel încât structura rezultată sa se plieze mult peste planul real generând diferențele de tensiune în structura bimorfa. materiale ceramice. siliciu amorf. Există si alte materiale care se utilizează ca substrat in construcția MEMS-urilor: quartz. de regulă. Este un mineral natural dar. Un exemplu in acest sens il reprezintă utilizarea Au la realizarea întrerupătoarelor micromecanice. Ni). densitatea = 2. Un multistrat din Ti și Au este pulverizat înainte de a fi electrodepus. siliciu policristalin. temperatura de topire = 14100C. nitrură de siliciu (Si3 N4). Un alt metal utilizat la realizarea MEMS este Al. materiale ceramice ( alumina). se utilizeaza quartzul produs sintetic. pulverizarea. Aceste întrerupătoare utilizează diferențele dintre tensiunile remanente din pelicolele fine de Al si Cr pentru a crea o consolă comutatoare ce capitalizează aceste diferențe de tensiune din materiale. Rolul pelicolelor de Al ș i Au la construcț ia MEMS Dintre toate materialele asociate cu realizarea MEMS metalele sunt cel mai utilizate. Au. ZnO) sau aliaje (TiNi). în primul rând datorită efectului piezoelectric pe care-l posedă. metale (Cu. metale.Aceste întrerupătoare sunt construite folosind un strat de sacrificiu din dioxid de siliciu. densitatea = 2. polimeri. Straturile din nitrură de siliciu și dioxidul de siliciu sunt depuse prin metoda PECVD iar Au este depus prin electrodepunere dintr-o solutie de sulfit de sodiu.9. Quartzul are urmatoarele caracteristici principale: • • modulul de elasticitate E = 1. W. Al. Ti. biooxid de siliciu (Si O2). materiale plastice. Pelicolele metalice pot fi depuse utilizând o mulțime de tehnici cum sunt: evaporarea.

Incărcarea a câte oSchema bloc a instalaţiei TFR cu impulsuri piesă cu posibilitatea de incărcare ș i descărcarea automată a plachetelor.Alimentarea . . . DESCRIEREA ECHIPAMENTULUI UTILIZAT 2. care a fost proiectată şi dezvoltată în laboratoarele de cercetare a Universităţii Tehnice a Moldovei. . DataModulul de dirijare 24 . Schema bloc a acestui dispozitiv este prezentată în figura 1.Intervalul temperaturii de lucru .Viteza maximă de creș tere a tempearaturii .350-1350oC. dar voltajul de activare de numai 26V poate determina închiderea acestora. 2.˂ 75kg. . . . . . document Semnăt.600 oC/s.Numarul de programe întrun ciclu de tratament – 16.1.Consumul de energie nu mai mult de 25 -5 . l d e . +5 MDS Amplificator al M termocuo plului d u kW/ora.+5 oC.Viteza minimă de creș tere a temperaturii .Generator Blocul de alimentare +15 0 de impulsuri CAD -15 +25 Cronometru RAM c o m p a r a r e BTR Coala UTM 525.Productivitatea .380/50 V/Hz.Întrerupătoarele de acest gen sunt în general lente 10 ms. Proprietățile de bază a instalației TFR cu inpulsuri: .Controlul mediului tehnologic se efectuiaza cu ajutorul rotometrului.100mm.30 plachete/ora. .Greutatea .Precizia de reglare a temperaturii . Tehnica de efectuare a tratamentului fotonic rapid cu impulsuri Instalatia TFR cu impulsuri (ИФО-3) este folosită pentru realizarea procesului de încălzire cu impulsuiri de lumină necoerentă.Diametru plachetei prelucrate .5 oC/s.1 025 ME Mod Coala Nr.

2 UTM 525. Generatorul de impulsuri deasemenea genereaza impulsuri +RA pentru trecerea la următoarea adresă în timpul executării programului. –5.7 0.9 Mod Coala Nr. Blocul convertorului analog-digital converteşte codul binar-zecimal a temperaturii instalate în semnal analogic. Data 1 1. Generatorul de impulsuri genereaza impulsuri pentru dirijarea cronometrului.6 0. În plus fiacare rând de lămpi cu halogen se alimenteaza de la o fază separată si funcționarea fiecarui triac este sincronizat 80 impulsurile sincronizate a lor. Blocul registrului de temperatură este deasemenea construit pe baza convertoarelor binar-zecimale şi este folosit pentru înscrierea în el a temperaturii procesului TFR. –15. Unitatea de control triac servește pentru dirijarea regimurilor de conectare a lămpilor cu halogen cu scopul de a menține temperatura instalată.1 025 ME 25 λ (µm) . care sunt necesari pentru alimentarea elementelor schemei de dirijare. impulsul registrului de temperatură şi impusul de realizare a unui anumit regim.8 0. Unitatea de control triac cu doua canale prevede o conectare separată a lămpilor din rândul de jos 100 sau de sus. Cronometru este construit pe baza inversoarelor binar-zecimale şi este folosit pentru cronometrare. document Semnăt. +15.4 0. Frecvenţa de tact a generatorului este de 1MHz şi este stabiliată de un rezonator de cuarţ.3 0. Dispozitivul operativ cu descărcare rapidă este utilizat pentru înscrierea şi citirea timpului de tratament. de 60 ț ă t i n u 40 20 0 Coala 0. +25V.5 0. Amplificatorul semnalului termocuplului este asamblat pe baza unui amplificator cu coeficientul de amplificare reglabil şi serveşte pentru amplificarea semnalului de la termocuplu. temperaturii şi regimului de lucru a dispozitivului TFR. Semnalul analogic de la amplificatorul termocuplului și semnalul de la CAD se compară de comparator care genereaza un semnal pentru unitatea de control triac.1 1.Sursa de alimentare produce +5.

2. Pentru echilibrarea cu placheta de Si termocuplu se lipește cu ajutorul argintului. Dinamica incălzirii se verifică cu ajutorul înscrierii semnalului în inregistrator. document Semnăt.1. Pulverizarea este fenomenul fizic de expulzie a atomilor de la suprafaţă A unui material solid. Exista o intrare unde poate fi conectată pompa de vid. Carcasa camerei de lucru se răcește cu apa. ca urmare a bombardării acestuia cu particule energetice. Sa determinat că diferența de temperatură între un termocuplu lipit de placheta cu argint si unul care servește ca un sprijin este de 80oC. 2.Fig. este ghermetică și în ea sunt amplasate 2 rânduri de lâmpi cu halogen.1 µm) ce determină o eficiență înaltă a incălzirii. Ca particule energetice de bombardament se pot utiliza: Coala UTM 525. Pentru micșorarea degajării de caldură de la probă contactul cu platina se efectuiaza cu ajutorul a 3 ace de cuarț aranjate vertical. Sub fiecare rind de lămpi este amplasat un reflector din table de oțel inoxidabil.1 025 ME Mod Coala Nr.1 Spectrul de emisie a lămpilor cu halogen Camera de lucru cu doi pereți este confecționată din table de oțel inoxidabil. Pe parcursul experimentului temperatura se masoară cu ajutorul termocuplului care mai are și rolul unui sprijin. 2. Cu ajutorul selectării coeficientului de amplificare a amplificatorului termocuplului se poate de obținut indicarea temperaturii reale a plachetei și cu ajutorul termocuplului care servește în calitatea de un sprijin. Data 26 . În calitate de emițător se folosesc lămpi cu halogen КГ-220-1000-З Spectrul de distributie a intensitații emisiei acestor lămpi a fost măsurat la diferite tensiuni de alimentare ceia ce se demonstrează în figura 2. Metoda pulverizării termice magnetron Între tehnologiile de bază pentru realizarea straturilor subțiri prin metode fizice in vid se afla si pulverizarea (sau sputtrering-ul) cu o multitudine de variante practice. La tensiunea nominală de alimentare regiunea de bază a spectrului de emisie se află în regiunea absorbției (λ< 1.

ca fenomen fizic. În esenţa. Data 27 . numit sistem de pulverizare tip magnetron. cel mai adesea fiind folosit argonul.• • • • atomi neutri. Principiul pulverizării magnetron. la care se adaugă. prin configurarea acestora la suprafaţa ţintei de pulverizare. se realizează un dispozitiv special de pulverizare. ioni. în cazul utilizării ionilor pozitivi de gaz inert ca particule de bombardament. Accelerarea si sporirea energiei ionilor pozitivi de bombardament se realizează. paralel la suprafaţa ţintei. în acest caz prin polarizarea ţintei la un potenţial negativ de pâna la 5 kV.1 025 ME Mod Coala Nr. Existența câmpurilor electric si magnetic încrucişate duce la modificarea substanţială a distribuţiei spaţiale a sarcinilor electrice ce apar în descărcarea luminiscentă. de către ionii ce se formează în descărcarea luminiscentă din tub. În 1877 Wright a propus utilizarea pulverizării catodice pentru a realiza depuneri metalice de straturi subţiri. Se ştie acum că aceşti electrozi sunt bombardaţi făra încetare. care au constatat că tuburile cu descărcări în gaze. De obicei se folosesc ioni grei de gaz inert (ioni pozitivi). Prin adăugarea la un catod de pulverizare a unui sistem magnetic se obţine un dispozitiv de pulverizare numit "catod Penning" și prin adăugarea la acesta a unui anod care să asigure o anumită configuraţie a câmpului electric. imediat în spatele catodului un sistem magnetic și la o distanță în fața catodului (ţintei de pulverizare). atunci când funcţionează timp îndelungat. neutroni. Această idee îndrăzneaţă nu a găsit în epocă aplicaţii deoarece cu mijloacele tehnice si cunoştinţele de atunci viteza de depunere era foarte scăzută. Prin pulverizarea catodica. nu este integrat în construcţia dispozitivului de pulverizare ci aparţine sistemului de pulverizare numit "sistem de pulverizare magnetron". Uneori anodul care asigură o anumită configuraţie câmpului electric între acesta și catod. electroni de foarte înaltă energie. prevăzut cu ecran de limitare a plasmei si un anod. Magneţii sau electromagneţii ce creează un câmp magnetic din fața catodului sunt astfel aranjați încât să existe cel puţin o regiune în fața catodului în care locul geometric al liniilor câmpului magnetic. de Pluker. Coala UTM 525. metalul din care sunt realizaţi electrozii se depune puţin câte puţin pe pereţii de sticlă ai tubului de descărcare. a fost descoperită în 1852 de Grove. un anod suplimentar. iar fenomenul de pulverizare are denumirea de pulverizare catodică. în timpul funcţionării. document Semnăt. este o curba închisă. cu câmpurile electric și magnetic încrucişate. câţiva ani mai târziu. sursa de generare a acestora este descărcarea luminiscentă. la pulverizarea catodică tip magnetron se porneşte de la aranjamentul pulverizării clasice ce utilizează un catod plan. iar contaminarea peliculelor era foarte frecventă și greu de înlăturat. sau magnetron. apoi. în mod opţional.

b) curentul (sau densitatea de curent) în descărcare. Coala UTM 525. natura materialului ţintei de pulverizare se limitează prin puterea sursei de alimentare. Sistemele de pulverizare magnetron sunt sisteme de pulverizare la tensiune scăzută. în pulverizării magnetron reactive. De asemenea.Particulele încărcate din plasma pulverizării catodice sprijinite de câmp magnetic. document Semnăt. În zona centrală a ţintei de pulverizare densităţile de curent ce se ating sunt mai mari datorită intensificării plasmei în zona centrală de erodare. la magnetizarea plasticelor) pentru o captare mai mare a electronilor scăpaţi din capcana magnetică. respectiv densitatea de curent în descărcare. configuraţia sistemului magnetic. 160 mA/cm2 pentru magnetroane cu ţinta conică și 200 mA/cm2 pentru magnetroane cu ţintă plană. influenţată sensibil de existența câmpurilor electric si magnetic încrucişate sunt: • ionii pozitivi de argon și eventual azot. este polarizată negativ. • electronii secundari eliberaţi din ţinta de pulverizare sub bombardamentul ionic. Curentul. de regulă simplu ionizaţi (Ar+ si N2+). care se intercondiţionează între ei. depinde stabilitatea descărcării și eficiența procesului de depunere. respectiv puterea medie disipată în descărcare. Densitatea de curent pentru sistemele de pulverizare magnetron atinge valorile medii de: 80 mA/cm2 pentru magnetroane cilindrice. 50) V.1 025 ME Mod Coala Nr. Totuşi. respectiv anodul. În multe sisteme de pulverizare magnetroanele nu sunt prevăzute cu anod suplimentar. Parametrii de baza ai pulverizării catodice magnetron sunt: a) tensiunea între electrozi (tensiunea anod-catod). presiunea gazelor de lucru. De mărimea și stabilitatea parametrilor enumeraţi.. în anumite sisteme de pulverizare (de ex. Tensiunea practica de lucru pentru pulverizarea ţintei este de (300.700) V. generaţi în număr mare și care bombardează catodul. iar anodul de regula este la potenţialul nul. Tensiunea de alimentare în sistemele de pulverizare magnetron nu depăşeşte 1000 V c.. c) mărimea inducţiei câmpului magnetic. se recomandă ca anodul suplimentar al dispozitivului de pulverizare să fie polarizat la un potenţial pozitiv mic (40. Ţinta cu rol de catod. în vederea reducerii bombardării cu electroni a substratului. Data 28 . d) presiunea de lucru.c.. depinde de o mulţime de factori ca de exemplu: tensiunea de lucru. inducţia câmpului magnetic. • electronii secundari rezultaţi la anod ca urmare a bombardamentului electronic și electronii rezultaţi prin ionizarea gazului de lucru (Ar). în multe sisteme de pulverizare magnetron se utilizează polarizarea negativă a substratului în scopul realizării unor depuneri reactive..

față de celelalte sisteme clasice de pulverizare catodică. a geometriei și configuraţiei electrozilor. 80 W/cm2 pentru magnetroanele cu ţinta conică și de 100 W/cm2 pentru magnetronul cu ţinta plană. este util să se folosească presiuni de lucru cât mai scăzute. precum și a tensiunilor de lucru în pulverizarea catodica magnetron poate să fie scăzută pana la 10-2 Pa. Puterea maxima admisa în sistemele de pulverizare magnetron este limitată de condiţiile de răcire ale ţintei de pulverizare și de conductibilitatea termică a materialelor.c. care vor determina o ionizare importantă în aceasta zona. document Semnăt. Data 29 . Pentru a elimina impurificarea peliculelor depuse. Tensiunea limită de aprindere a pulverizării catodice magnetron este mai scăzută decât la pulverizarea catodică tip dioda în c. Prin alegerea corespunzătoare a câmpului magnetic la suprafaţa ţintei de pulverizare. datorită reducerii bombardamentului cu electroni secundari a substratului prin reţinerea acestora de către capcana magnetică și captarea celor "vernalizaţi" și scăpaţi din plasma de către anodul suplimentar. ca rezultat a apariţiei sarcinii spaţiale negative în apropierea lui.. La utilizarea inducţiei de peste 0. fiind cu două ordine de mărime mai mare decât la pulverizarea catodica tip dioda.În mod corespunzător. precum și a densităţii ionilor în apropierea catodului. care va duce la intensificarea bombardării cu electroni a substratului. în zona capcanei magnetice.1 T se creează și crește o cădere de potenţial în apropierea anodului. datorită câmpului magnetic care asigură o concentrare a electronilor mai mare. precum și a asigura distanțe mari între ţinta de pulverizare și substrat. Coala UTM 525. Creşterea inducţiei magnetice duce la creşterea curentului de descărcare. b) încălzirea substratului este mult mai redusa decât la pulverizarea catodică tip dioda (și decât la evaporarea termică). Valoarea câmpului magnetic determină curentul de descărcare și de asemenea structura descărcării. puterea medie obţinută în sistemele de pulverizare magnetron este de 40 W/cm2 pentru magnetronul cu catod cilindric.1 025 ME Mod Coala Nr. Datorita acestei căderi de potenţial apare o accelerare a electronilor în aceasta zonă. decât în restul spaţiului tehnologic. cu gaze reziduale. au doua avantaje esenţiale si anume: a) rata de pulverizare a ţintei (și implicit rate de depunere pe substrat) este foarte ridicată. Sistemele de pulverizare magnetron pot lucra la presiuni de lucru de la 10-2 Pa la 1Pa si mai sus. Parametrul cel mai important pentru multe caracteristici determinate ale pulverizării magnetron este geometria și mărimea inducţiei câmpului magnetic la suprafaţa ţintei de pulverizare. Sistemele de pulverizare magnetron.

capul universal de măsurare a puterii 5. 4) energia cedata la catod de către ionii neutralizaţi sau reflectaţi de aceasta. polimeri. Construcț ia dispozitivului Nanotester PMT-3NI-02 Construcția Nanotester PMT-3NI-02 este prezentată în (fig. sticle etc. masă motorizată pentru poziționarea precisă a probei 6 și controller electronic conectat la computer.Reducerea încălzirii substratului în pulverizarea magnetron. 2) energia cinetică a atomilor depuşi pe substrat.). Sursele termice principale de încălcare a substratului în pulverizarea catodica magnetron sunt: 1) energia de compensaţie a atomilor depuşi pe substrat. document Semnăt. face posibilă utilizarea avantajoasă a sistemelor de pulverizare magnetron la acoperirea straturilor cu rezisten ță termică scăzută (plastice. 2. Principalele unități ale construcției este șasiul dispozitivului 1 microdurimetrului PMT-3M cu videomicroscop optic 2. Data 30 . în anumite condiţii. 5) energia electronilor scăpaţi din capcana magnetică și capturaţi de anodul suplimentar.3. 5). șurubul mecanizmului deplasării verticale a capului 3.1 025 ME Mod Coala Nr. Coala UTM 525. 3) radiaţia plasmei. brațul fixării 4. Pentru a cunoaşte limitările ce asigură o încălcare a substratului este necesar o analiza asupra resurselor termice de încălcare a substratului și a răspunsului termic al substraturilor în timpul acoperirii.

3 – șurubul mecanizmului deplasării verticale a capului. concomitent. înșurubat în carcasul laserului. 2. pe care este prins capul măsurării puterii 5. 15 – scală circulară. 9 – reglator brut de deplasare a microscopului.2 Construcția Nanodurimetrului PMT-3NI-02: 1 – platforma de bază. 10 – microșurub pentru poziționare a microscopului pe verticală. În locul regulatorului ocular se poate de fixat camera web 11 de tipul Logitech QuickCam 9000 cu funcția de autofocus. 5 – capul măsurării puterii. Tubul microscopului optic 2 și capul măsurării puterii 5 se pot deplasa pe coloana verticală 7 fixată cu șurubul 8. 17 – maner de schimbare a poziției probei. 11 – videocameră. 13.1 025 ME Mod Coala Nr. 14 – fixarea poziției capului. 8 – șurub de blocare. mișcarea brută și precisă se poate de reglat cu șuruburile 9 și 10. 7 – coloana platformei de bază. 18 – arc deținător. Suportul 4. Data 31 .Fig. Poziția diodei laser poate fi reglată de șuruburile 4. 12 – reglatorul deplasării capului pe coloană. 6 – masă motorizată pentru poziționare. 16 – indentor. 20 – conector pentru conectarea controllerului. și fixânduse în starea de lucru cu două șuruburi 13 și 14. Scala circulară 15 permite măsurarea mărimii deplasării capului pe verticală cu o precizie de 10 µm. document Semnăt. Capul măsurării puterii (fig. Fotodetectorul este Coala UTM 525. Poziția probei după indentor 16 și în câmpul vederii microscopului 2 se face prin rotirea suportului mesei 17 dintrun capăt în altul. Pe masa poziționată este un suport special 18 pentru fixarea titularului 19 cu proba testată. îndeplinind video înregistrare în timp real și transmiterea imaginilor prin portul USB direct în computer. 2. 19 – titular. 2 – microscop. 4 – suportul.3) conține un nod de măsurare a deplasării cu iluminare laser și fotodetector cu patru cadrane 2. Este instalat pe conul arcului plat 3 printr-o garnitură de izolare. poate să se deplaseze pe coloana verticală cu ajutorul șurubului 12.

bobina 10. Celula de putere deține următoarele componente principale: magnet inelar permanent 8. care permite reglarea poziției iniățiale ale tijei în absența curentului în bobine (este necesară doar în cazul primei asamblări sau la schimbarea unui element). Mărimea dimensiunii este cauzată de numărul mare de spire în bobină 10. Data 32 . în care este instalat suharul 14. În partea de sus a carcasei capului este o gaură pentru instalarea măsuratorului deplasării (folosit pentru calibrare) cu un capac ascuns.4. necesară pentru mărirea forței de încărcare pe indentor până la Pmax=10 N. Această reglare este necesară doar în cazul primei asamblări sau la schimbarea laserului. permițând la rotirea reglatorului 15 ușor să schimbe înălțimea suspensiei tijei pe arcul plat 11. document Semnăt. 2. fixată pe tija din invar.1 025 ME Mod Coala Nr.montat rigid în circuitul imprimat. Arcul plat 3 interacționează cu șurubul de reglare în partea de sus a plății 6 capului măsurării. 9 și 10) și plasticitate mare ale arcurilor suspensiei. fixat înăuntrul ecranului feromagnetic 9. Amplificatorul convertor digital sensorului de deplasare este montat pe circuitul imprimat 5b. Rotirea acestui șurub duce la o deplasare liberă la capătul arcului 3 și ca urmare axa optică de măsurare în raport cu tija pe stocul mobil 7. 2. indentorul 16 și fixarea poziției pe tijă cu piulița 17. Capul este acoperit cu o carcasă protejat de interacțiunea câmpurilor electromagnetice externe. Proiectarea şi funcţionarea dispozitivului Nanotester РМТ-ЗNI-02 Coala UTM 525. Fig. Principiul modulului construcției dispozitivului PMT-3NI-02 prevede posibilitate forțată a instalării capului de măsurare a puterii.3 Construcția bazei capului măsurării puterii Pe lângă componentele enumerate în cap este instalat un conector cu 15 pini pentru conexiunea cablului la capul măsurării puterii cu controllerul electric de gestionare. corpusul 13. care are o construcție similară și diferă doar prin marime mai mare (elementele 8. două arcuri plate 11 și 12 oferind posibilitatea deplasării tijei strict pe axa verticală și compesare greutății pieselor.

4). care prin convertor electric specific convertează în controller și formează o tensiune de reglare. Planul paralel de mișcare al tijei se datorează suspensiei pe arcul ondulat. În dependență de forţa maximă elaborată de către unitatea de putere. La capătul tijei este fixat indentorul substituibil (piramida de diamant Berkovich. Vikers sau Rokwell). Fig. Aceasta permite realizarea diferitor regime de încărcare a indentorului. modulul universal de măsurare forțată a celulei cu proprietățile de măsurare a puterii laterale motorizat pe o masă cu două coordonate poziționate de un controller electronic. document Semnăt. inclusiv și funcții complexe în dependență de timp sau adâncime.Legătura principală Nanotester PMT-3NI-02 este platforma bazică microdurimetrului PMT-3M cu microscop optic sistem de înregistrare video și foto în momentul respectiv. Prin aceasta Nanotester PMT-3NI-02 determină automat măsurarea capului conectat. coeficientul rigidității acestor arce se poate schimba de la 200 N/m (pentru capul de bază) până la 1000 N/m (pentru cazul forțat). pe partea opusă a tijei este un traductor optic.4 Schema bloc dispozitivului Nanoteste PMT-3NI-02 Puterea celulei funcționează pe schema magnetizată electric.2.1 025 ME Mod Coala Nr. Posibilitățile largi a puterii celulei se datoreaza modificării cu PC. Data 33 . Construcția Nanotester PMT-3NI-02 este făcută după principiul modulului și trecerea de la baza celulei de putere (Pmax=10 N) la o simplă înlocuire a capului pe platforma de bază a suportului. Dirijarea puterii maxime a încărcării este îndeplinită de programa exercitării curentului în bobină. Bobina cu un număr mare de spire este plasată într-un câmp magnetic al unui magnet inelar permanent. care este ataşat la capul carcasei. 2. Convertorul optic de Coala UTM 525. Baza ei este integrată cu o tijă verticală cu o bobină fixată de ea. conectat la calculator (fig.

2. determinarea sumei și diferenței pe toate canalele.5 Funcțiile de bază funcționării dispozitivului Coala UTM 525. În dispozitivul PMT-3NI-02 este prevăzută posibilitatea de repetarea a ciclurilor de încărcare și descărcare a indentorului atât permanent cât și comutativ cu un efort de la un ciclu la altul.6). În amplificator sunt îndeplinite operațiunile formării fluxului luminiscent în tensiune. 2.7b). Tot aici este adus tabelul criteriilor de trecerii în programa dispozitivului cu căutarea automată a suprafeței probei. analiza care corespunde cu metodica permite determinarea gamei complete a proprietăților mecanice materialului.7a) în continuare este aranjat în diagrama de încărcare (P-h diagrama) (fig. În procesul indentării continue pe suprafața materialului cercetat mărimea sarcinii pe indentor P(t) și deplasarea tijei h(t) cu discreția ∆t înregistrate și scrise în memoria calculatorului prin controllerul electronic.1 025 ME Mod Coala Nr.5). 2. Data 34 . După instalarea contactului cu suprafața dispozitivul începe ciclu de încărcare cu parametrii setați de operator din timp. După descărcarea totală amprentei.măsurare a deplasării este format după schema diferențială cu folosirea fotoconvertorului cu patru secțiuni și dioda lazer în calitate de sursa radiației. Din ea reese că lucrul nanodurimetrului se începe cu căutarea automată a suprafeței probei. Caracterul măsurării sarcinii P (sau tensiunea l în celulă) și deplasarea tijei cu indentorul (h) de la timpul (t) și faza ciclului de lucru a capului în tot timpul testării prezentate în (fig. Dependenţa cinetică P(t) şi h(t) (fig. 2. document Semnăt. apoi se începe ciclul descărcării. După prelucrarea specială din (P-h) diagrama poate fi restabilită prin microscopia analogică tradițională diagramelor macroscopice ”tensiuneadeformării”. Schematic tot ciclu de lucru al dispozitivului cu o sarcină normală de încărcare este prezentat în (fig.5 nm) cu devierea tijei în procesul încărcării indentorului. 2. La atingerea valorii Pmax. dispozitivul ține indentorul în aceeaș poziție la timpul fixat. Folosirea schemei convertorului optic permite măsurarea în acelaș timp atât verticală cât și orizontală (cu o precizie de ±1. Fig. indentorul revine automat la poziția inițială.

Procesul măsurării de obicei se începe cu căutarea suprafeței probei. Coala UTM 525. de la care se începe efectiv determinarea adâncimii. Data 35 . și deaceea la încărcarea probei o oarecare deformație elastică o provoacă și diferite elemente din construcția sa. cantitatea mică de deplasări măsurate necesită o analiză atentă condițiilor testării și parametrii folosiți la instrumentul de măsurări. Puterea ramei dispozitivulu nu este perfect rigidă. Imperfecțiune geometrică vârfului indentorului necesită deasemenea o corectare a procesului calculării suprafeței contactului.1 025 ME Mod Coala Nr. necesară pentru testarea durității. Ele diferă valoarea puterii rezistenței arcurilor suspensiei elastice în timpul mișcării tijei ∆Ps=ks x ∆h. care se încadrează în volumul amprentei. prezenţa tensiunilor reziduale în straturile suprafeței este baza fizică necesară pentru corectarea rezultatelor măsurării în nanoindentare. având în vedere caracterul complex deformării materialului și caracteristicile specifice ale metodei de măsurare.Măsurarea prin testarea mișcării indentorului nu este egală cu adîncimea amprentei formate. În plus. Această diferență la fel trebuie de luată în considerare la calcule exacte. neomogenă și diferită după mărimea rugozității suprafeței probei. Elasticitate restabilirii amprentei după descărcare. elimenarea materialului din volumul amprentei pe perimetrul său sau invers. document Semnăt. Puterea aplicată pe indentor din partea celulei de încărcare și înregistrarea canalului corespunzător nu este egală cu puterea exactă întroducerii în material. realizată odată cu construirea dispozitivului. care face contribuție adăugatoare la măsurarea mișcării indentorului. Ținând cont de elasticitatea și flexibilitatea dispozitivului se prevede o calibrare specială. elasticitatea deformării suprafeței totale a probei pe perimetrul amprentei. La etapa finală indentorul se atinge neapărat de suprafață și lasă pe ea amprenta inițială.

document Semnăt. precum și criteriile comutării controlului în programa dispozitivului la căutaarea automată a suprafeței probei Pe rezultatul măsurării se suprapune o derivă care poate fi cauzată ca deformarea fluajului material și instabilitate termică în nodurile electrice și mecanice ale dispozitivului. Data 36 .6 Caracteristica măsurării sarcinii P și deplasarea tijei cu indentorul h de la timpul t și etapa ciclului de lucru a capului. Pentru întroducerea modificării testelor fluajului pe termen lung.1 025 ME Mod Coala Nr. dar pentru înregistrarea driftului termic – Coala UTM 525.Fig. 2. este necesar să se prevadă posibilitatea de expunere prelungită a indentorului la o valoare constantă a sarcinii Pmax.

deformării). e-v – Coala UTM 525. Indicii P și h înseamnă: up – creșterea. la abaterea formei indentorului de la ideală. document Semnăt. Data 37 . 2.timp extract Pmin. Așadar pentru găsirea corectă a momentului primei atingeri indentorului cu suprafața probei cercetate. down – căderea. • La construcția dispozitivului sunt prevăzute și alte circumstanțe.7 Trei metode pentru prezentarea datelor. primite prin metoda nanoindentării: a) sub forma curbelor cinetice P(t) și h(t). a) c) b) Fig. c) sub forma dependenței durității după Meyer H (tensiunea medie a contactului <δc>) de la adâncimea amprentei. e – elasticitatea.1 025 ME Mod Coala Nr. 1 – fără tocirea vârfului indentorului. Pentru a asigura protecției PMT-3NI-02 de la vibrațiile mecanice este necesar săl instalăm pe o masă protejată de vibrații. În acest dispozitiv înainte de prelucrarea datelor experimentale se realizează corectarea automată a lor: • • • deformarea elastică a suprafeţei probei. Literele în cercuri indică caracteristica punctelor pe curba de încărcare și poziția indetorului în raport cu suprafața probei. influențând fiabilitatea rezultatelor primite și preciziei măsurării. În practică nanoindentarea corectării derivei te obicei se îndeplinește atunci când timpul testării depășește t=100 s. 2 – cu scopul tocirii sferice cu raza R. rigiditatea arcurilor suspensiei și ramei de putere. este necesar consecutiv de micșorat influența vibrațiilor mecanice până la nivelul 10 nm. valoarea amprentei inițiale. b) sub forma diagramei P-h (puterea . cr – fluajul.

max – valoarea maximă. nanodurimetrul digital este echipat cu sistemul videoînregistrării fotografiilor în timpul real pe baza camerei de 2 mpx Logitech QuickCam 9000 cu funcția de autofocus și sistemei cu lentile din sticlă. sinhronizând poziționar cu indentorul celula puterii măsurate. Pentru reglarea manuală a focalizării este necesar de comutat în regimul reglării manuale din setările autofocusului în rubrica Settings. fără nașterea diferitor defecte pe suprafață. document Semnăt. Sistema autofocus al camerei permite focalizarea automată a imaginilor la o distanță de 10 cm de la obiectiv. absorbită și dispersată a probei într-un ciclu de încărcare-descărcare.1 025 ME Mod Coala Nr. În procesul de lucru cu PMT-3NI-02 pe ecranul monitorului este indicată interfața de lucru a programei gestionând ciclurile de lucru ale dispozitivului și fotografia din videomicroscop. instalată pe tubul microscopului în locul regulatorului ocular. se folosește nu doar pentru urmărirea amprentelor după descărcarea finită. Coala UTM 525. We – energia recuperării elastice. Microscopul optic al dispozitivului. transmițând informația direct în computer.viscoelasticitatea. dar și pentru căutarea locului de injectare. Wpl – energia. Pentru comoditatea urmării suprafeței testate. Data 38 .

în timp de 2. Coala UTM 525.2).4 secunde (fig. 3.8 secunde (fig.3. dar şi a proprietăţilor fizico-chimice ale volumului materialului.4 secunde 600 – unități În cazul tratamentului fotonic probei Al/Si timp de 2. Fig. Pentru peliculele de Al.2) temperatura de încălzire ajunge până la 161 0C. 3. Tratamentului fotonic rapid Procesul tratamentului fotonic rapid. Data 39 . Au dar şi alte materiale ce se utilizează prin tratamentul fotonic rapid.1. Tratamentul fotonic rapid pentru proba Al/Si cu grosimea peliculei de 1 µm. Tratamentul fotonic rapid pentru pelicula de Al depusă pe supstrat de Si cu grosimea peliculei de 1 µm.1). document Semnăt. Fig. 3.8 secunde se observă (fig.8 secunde 450 – unități Temperatura plachetei la efectuarea tratamentului fotonic cu impulsuri în cazul probei Al/Si timp de 1. permite dirijarea nu numai a morfologiei şi structurii suprafeţei.1) o creștere de până la 130 0C. 3.2 Tratamentul fotonic rapid pentru proba Al/Si t=2.3.1 025 ME Mod Coala Nr.3. PARTEA EXPERIMENTALĂ 3.4 secunde (fig. timp de 1.1 Tratamentul fotonic rapid pentru proba Al/Si t=1.

contactul științific (Cs) (fig.Tratamentul fotonic rapid pentru pelicula de Au depusă pe supstrat de Si cu grosimea peliculei de 300 nm. 3. Fig.3. Data 40 .) (fig. dev. Cercetarea microdurității sa efectuat cu Nanotester PMT-3NI-02.6) și deplasarea punctului (fig. Indentarea sa efectuat cu indentorul Berkovich. Aceasta se determină cu deviația standartă (St. document Semnăt.3) o creștere de până la 220 0C. Coala UTM 525. Fig. 3. timp de 4 secunde (fig. dispozitivul este conectat la calculator și datele măsurate sunt calculate automat. Parametrii setați în proprietățile programului pentru testarea microdurității sunt prezentați în figura 3. La etapa finală indentorul se atinge neapărat de suprafață și lasă pe ea amprenta inițială. 3. 3. Din cauza aceasta la fiecare calibrare deplasăm proba pe axa X sau Y orizontal sau vertical.5).4 Constantele dispozitivului Procesul măsurării de obicei se începe cu căutarea devierilor față de suprafața probei și setarea lor în dependență de starea actuală al dispozitivului. 3.3).3 Tratamentul fotonic rapid pentru proba Au/Si t=4 secunde 1000 – unități Temperatura plachetei la efectuarea tratamentului fotonic cu impulsuri în cazul probei Au/Si timp de 4 secunde se observă (fig.2. 3.1 025 ME Mod Coala Nr. 3.4. Indentorul Berkovich este format dintr-o piramidă cu trei fețe.7). Cercetarea microdurităț ii.

3. 3. Data 41 .1 025 ME Mod Coala Nr. document Semnăt.5 Deviațiile standarte Fig.6 Contactul științific Coala UTM 525.Fig.

7 Deplasarea punctului După ce am găsit deviația începem măsurarea durității. Testarea durității se efectuiază după principiul (fig. setăm puterea la care dorim să efectuăm. și t3=20 sec. t2=5 sec.8). Data 42 . În cazul nostru am folosit t1=20 sec.Fig.1 025 ME Mod Coala Nr. 3) căutarea suprafeței. Efectuarea măsurării se face prin patru etape: 1) starea inițială.. document Semnăt. de la care se începe efectiv determinarea durității în lucrarea dată am cercetat microduritatea cu puterea de 5 mN și 900 mN. timpul de străpungere a indentorului (t2) și timpul de descărcare a indentorului (t3). 3. Din cauza impurităților sau defectelor se obțin eroari la rezultatele obținute. 2) apropierea de probă. 4) străpungerea. Am efectuat testarea microdurității pentru următoarele probe: • • Al/Si starea inițială. 3. timpul de încărcare a indentorului (t1). Efectuând o testare deplasăm proba din locul potrivit cu 100 µm pe axa X sau Y în dependență de probă. Coala UTM 525. unde am verificat să nu fie impurități sau defecte. La etapa finală indentorul se atinge neapărat de suprafață și lasă pe ea amprent a inițială. Al/Si tratament termic în sobă 520 0C 20 minute..

Data 43 .• • • • • Al/Si tratament fotonic cu impulsuri 1. 3.8 secunde.1 – 3. Au/Si starea inițială. rezultatele obținute sau întrodus în tabelele (3. Au/Si tratament termic în sobă 575 0C 30 minute.8 Interfața de lucru cu computerul pentru testarea microdurității Coala UTM 525.1 025 ME Mod Coala Nr. document Semnăt. Fig.14). Grosimea peliculei de Al este de 1 µm și grosimea peliculei de Au este de 300 nm. Au/Si tratament fotonic cu impulsuri 4 secunde. Al/Si tratament fotonic cu impulsuri de 2. Pentru fiecare probă sau efectuat câte cinci măsurări pentru puterea de 5 mN și 900 mN.4 secunde.

mN 900 media H.3954 Fig.63 7. Gpa 7. µm 0.6 7 7. Cercetarea microdurităț ii pelicolelor de Al/Si.9 Dependența puterii indentorului de adâncimea de indentare cu puterea 900 mN.9644 E.29 2.414 E.401 0.22 2.949 0.3 hp.14 2.02 7.82 7.3. Tabelul 3.23 2. puterea 900 mN P. mN 5 media H. µm 2. document Semnăt.196 Tabelul 3.387 0.377 0. Gpa 1.3.2 Proba Al/Si starea inițială. puterea 5 mN P. Data 44 .5 137.938 0.1 2.4 0.1 Proba Al/Si starea inițială. proba inițială Coala UTM 525.04 0. Gpa 151 143 143 132 151 144 hp.895 1 0.1 025 ME Mod Coala Nr. Gpa 200 123 176 105 82. 3.412 0.

Gpa 0.823 0.432 0.877 0.27 2. Gpa 128 125 130.36 7. Gpa 45 70.21 2. mN 900 media H. Gpa 7.77 7.429 0. puterea 5 mN proba inițială Tabelul 3.02 6.1 025 ME Mod Coala Nr.911 0.04 7.066 E. µm 0.22 2. document Semnăt.8594 E.218 Tabelul 3.4 Proba Al/Si tratament termic în soba 520 0C 20 minute.408 0. puterea 900 mN P.12 hp.22 2.2 109 123 250 119. Data 45 .422 Coala UTM 525.852 0.834 0.3 Proba Al/Si tratament termic în soba 520 0C 20 minute.44 hp.425 0.14 7.60 128 144 131. 3. µm 2.Fig.416 0. mN 5 media H.17 2.10 Dependența puterii indentorului de adâncimea de indentare. puterea 5 mN P.

11 Dependența puterii indentorului de adâncimea de indentare cu puterea 900 mN. 3. 3.12 Dependența puterii indentorului de adâncimea de indentare cu puterea 5 mN. Data 46 . proba Al/Si tratament termic în sobă 520 0C 20 minute Fig.1 025 ME Mod Coala Nr.Fig. proba Al/Si tratament termic în sobă 520 0C 20 minute Coala UTM 525. document Semnăt.

Gpa 234 243 133 162 156 185.8 secunde.394 0. µm 0.25 6.344 0.6 Proba Al/Si tratatment fotonic 1. µm 2. puterea 900 mN P.35 2.29 Tabelul 3. Gpa 178 156 163 147 135 155. Gpa 7. mN 900 media H.897 0.41 0.29 7.39 6. Data 47 .6 hp.951 1.36 2.05 6.8 secunde Coala UTM 525.1 025 ME Mod Coala Nr.347 0.Tabelul 3.22 2.3784 Fig.21 1.28 6.13 Dependența puterii indentorului de adâncimea de indentare cu puterea 900 mN. proba Al/Si tratament fotonic 1.17 2.5 Proba Al/Si tratatment fotonic 1.397 0.8 hp.652 E.0516 E.35 2. Gpa 0. 3. mN 5 media H. document Semnăt.23 1.8 secunde puterea 5 mN P.97 0.

14 Dependența puterii indentorului de adâncimea de indentare cu puterea 5 mN. µm 2.21 Tabelul 3. mN 5 media H.4 secunde.378 0.13 2.7 Proba Al/Si tratatment fotonic 2.04 0.942 0. proba Al/Si tratament fotonic 1.92 hp.18 2.Fig. 3.27 2.406 0. puterea 900 mN P. Gpa 7.66 6.4 0. Data 48 .418 0.26 7.8 Proba Al/Si tratatment fotonic 2.87 1.66 7.72 7.938 0.1 025 ME Mod Coala Nr. Gpa 96.9422 E. µm 0. puterea 5 mN P.4006 Coala UTM 525.1 222 99.28 2.5 102 165 136.8 secunde Tabelul 3.4 secunde. Gpa 0. document Semnăt.19 2.921 0.31 6. mN 900 media H.122 E. Gpa 118 151 148 156 162 147 hp.401 0.

4 secunde Fig. proba Al/Si tratament fotonic 2.1 025 ME Mod Coala Nr.Fig.4 secunde Coala UTM 525.16 Dependența puterii indentorului de adâncimea de indentare cu puterea 5 mN. 3. Data 49 .15 Dependența puterii indentorului de adâncimea de indentare cu puterea 900 mN. document Semnăt. 3. proba Al/Si tratament fotonic 2.

µm 1.1 9.88 1.814 E. Gpa 199 167 228 182 177 190. Data 50 .25 E.67 10.082 0. mN 5 media H.17 Dependența puterii indentorului de adâncimea de indentare cu puterea 900 mN. puterea 5 mN P.6 10.75 9.9 10. puterea 900 mN P. Gpa 9.5 9. proba Au/Si starea inițială Coala UTM 525.9 1.6 hp. Gpa 9.894 Tabelul 3.1 025 ME Mod Coala Nr.93 10. 3. Gpa 123 143 140 129 130 133 hp. mN 900 media H.0886 0.0844 Fig. Cercetarea microdurităț ii pelicolelor de Au/Si Tabelul 3.089 0.99 1.53 9.76 9. document Semnăt.84 1.3.0796 0.0828 0.4.86 1.9 Proba Au/Si starea inițială. µm 0.58 10.10 Proba Au/Si starea inițială.

36 10.91 11.904 Tabelul 3.402 E.11 Proba Au/Si tratament termic în sobă 475 0C 30 minute.96 1.0865 0.92 1. Gpa 9. Gpa 147 137 121 139 116 132 hp. proba Au/Si starea inițială Tabelul 3. µm 1.7 10. Data 51 .7 11.1 9. puterea 5 mN P.528 E.0809 0. mN 5 media H. 3.078 0.89 1. puterea 900 mN P.85 1. Gpa 12. mN 900 media H.Fig.9 1.07734 Coala UTM 525.2 12.6 9.1 025 ME Mod Coala Nr.55 9.18 Dependența puterii indentorului de adâncimea de indentare cu puterea 5 mN.0711 0.5 9.0702 0.03 9. Gpa 166 176 167 185 236 186 hp. document Semnăt.12 Proba Au/Si tratament termic în sobă 475 0C 30 minute. µm 0.

document Semnăt. 3.Fig.1 025 ME Mod Coala Nr. proba Au/Si tratament termic în sobă 475 0C 30 minute Fig. proba Au/Si tratament termic în sobă 475 0C 30 minute Coala UTM 525. Data 52 . 3.20 Dependența puterii indentorului de adâncimea de indentare cu puterea 5 mN.19 Dependența puterii indentorului de adâncimea de indentare cu puterea 900 mN.

document Semnăt.14 Proba Au/Si tratatment fotonic 4 secunde.5 11.Tabelul 3.55 9.4 10.066 E. puterea 900 mN P.0827 0.054 E.0768 0. Gpa 9.1 025 ME Mod Coala Nr.41 9.89 9. 3.9 1.8 hp.0714 0.5 11.21 Dependența puterii indentorului de adâncimea de indentare cu puterea 900 mN. proba Au/Si tratament fotonic 4 secunde Coala UTM 525.1 9.93 2.958 Tabelul 3.06 2. Gpa 12. µm 1. puterea 5 mN P. mN 900 media H. Data 53 . mN 5 media H. Gpa 127 123 160 175 234 163.83 11.29 8.0789 0.87 1.0871 0.13 8.13 Proba Au/Si tratatment fotonic 4 secunde.03 1. Gpa 121 124 145 143 131 132.07938 Fig.8 hp. µm 0.

3. proba Au/Si tratament fotonic 4 secunde Fig.8 secunde.Fig.1 025 ME Mod Coala Nr. puterea 900 mN. document Semnăt. Data 54 .23 Amprentele obținute în urma indentării: a) pelicula de Al/Si starea inițială. Coala UTM 525.22 Dependența puterii indentorului de adâncimea de indentare cu puterea 5 mN. 3. b) pelicula Au/Si în urma tratamentului fotonic timp de 1. puterea 900 mN.

Fig.24) și cea mai mică adâncime de indentare 0.0516 Gpa.3784 µm (fig. am obținut duritate de 1. document Semnăt. 3.3. 3.1 025 ME Mod Coala Nr.25). modulul lui Young 185. Analiza rezultatelor Rezultatele obținute.8 secunde. 3. puterea indentării 5 mN. Data 55 . în cazul cercetării microdurității pentru pelicula de Al se observă cea mai înaltă microduritate pentru proba cu tratatament fotonic timp de 1.6 Gpa (fig.5. puterea 5 mN Coala UTM 525.24 Dependența microdurității față de modulul lui Young pentru probele Al/Si.

3.Fig. 3.27). 3.26 Dependența durității față de adâncimea de indentare pentru probele Al/Si. 3. Data 56 .27 Modulul lui Young față de probele Al/Si Coala UTM 525. Modulul lui Young pentru puterea 900 mN este mai elastic pentru proba cu tratament fotonic timp de 1. 3.25 Dependența durității față de adâncimea de indentare pentru probele Al/Si. puterea 5mN Pentru puterea de 900 mN cea mai înaltă duritate este obținută pentru starea inițială a peliculei cercetate 7. Fig.414 Gpa și adâncime cea mai mică 2. document Semnăt. puterea 900 mN Fig.1 025 ME Mod Coala Nr.196 µm ( fig.8 secunde (fig.26).

Modulul lui Young pentru puterea 5 mN este mai elastic pentru proba inițială (fig.28). 3.28 Dependența durității față de adâncimea de indentare pentru probele Au/Si Fig. Fig. 3. Data 57 . document Semnăt.29).066 Gpa cu cea mai mică adâncime de indentare 0.În urma măsurării microdurităţii peliculei Au/Si tratament termic în sobă 575 0C 30 minute la aplicarea puterii de 5 mN microduritatea cea mai înaltă este 11.07938 în comparație cu celelalte probe (fig.29 Modulul lui Young față de probele Au/Si Coala UTM 525. 3.1 025 ME Mod Coala Nr. 3.

30 Dependența durității față de adâncimea de indentare pentru probele Au/Si Fig.8 secunde (fig. 3.814 Gpa și adâncime cea mai mică 1.30). 3. Fig. 3.1 025 ME Mod Coala Nr.31 Modulul lui Young față de probele Au/Si Coala UTM 525.Pentru puterea de 900 mN cea mai înaltă duritate sa obținut pentru starea inițială a peliculei cercetate 9.31). document Semnăt. Modulul lui Young pentru puterea 900 mN este mai elastic pentru proba cu tratament fotonic timp de 1.894 µm (3. Data 58 .

4.1 025 ME Mod Coala Nr. Acesta este un proces foarte simplu care poate oferi înţelegere foarte profundă a problemelor potenţiale şi critice care pot afecta o afacere ce se va baza pe producerea tipului de produse cercetate în lucrare. etc. ceea ce permite aprecierea complexă a stării materialului prin metode tehnice de diagnosticare. etc. document Semnăt. Data 59 . modificarea parametrilor mecanici ale materialelor. ANALIZA ECONOMICĂ 4. contactelor omice. Sub acest aspect devine oportună descrierea particularităţilor stării tensionate sub influenţa sarcinii concentrate.1. printr-o analiză SWOT. rămâne a fi destul de actuală obţinerea materialelor cu proprietăţi specifice anumitor condiţii (presiuni înalte şi joase. Astăzi. coroziunea. oportunităţile de piaţă şi amenintari. Pentru a descoperi natura durităţii este necesar de a evidenţia care sunt factorii determinativi pentru compuşii studiaţi şi care influenţe sunt mai puţin importante. medii agresive). cum sunt: nano. rezistenţa la fisurare. influenţa factorilor cum sunt: sarcina aplicată. durata de solicitare. Al și Au sunt materiale semiconductorare cu mare potenţial pentru aplicaţii în domeniul microelectronicii. De aceea este dificil de apreciat rezerva remanentă a produsului în baza analizei lor. uzura mecanică. factorii superficiali. Studierea microdurității pelicolelo de Al și Au este necesară nu doar pentru lărgirea domeniului de cunoaştere despre acestea. dar şi pentru atribuirea materialelor noilor proprietăţi. Din acest punct de vedere durabilitatea descrie şi analizează condiţiile şi criteriile de existenţă a corpului solid. Descrierea generalizată a proiectului Lucrarea dată are drept scop cercetarea microdurității pelicolelor de Al și Au depuse pe substrat de Si. elucidarea modificărilor ce au loc în timpul proceselor de prelucrare tehnologică şi exploatare.4. şi reacţiile acestora la acţiunea diverşilor factori în toată multitudinea lor de manifestare. micro şi macroduritatea. poate fi reuşită doar prin dezvoltarea fundamentală a durabilităţii.. Trebuie de notat că. MEMS ş. a modificărilor acestora în dependenţă de tipul reţelei cristaline a corpului deformat. privind atribuirea unor caracteristici propuse materialelor din start.2.a. temperatura. Coala UTM 525. Analiza SWOT Un pas important în analiza lucrării cercetate este stabilirea calităţii dispozitivului final şi a peliculei în parte : defectele. În acelaşi timp deteriorarea (în cel mai larg sens) se răsfrânge mult mai puternic asupra schimbărilor pentru un şir întreg de proprietăţi ale materialului. influenţa deteriorărilor acumulate în procesul de exploatare se reflectă asupra caracteristicilor mecanici ale materialului în deosebi la etapa predistructivă. Soluţionarea acestei sarcini. intervale largi de temperatură. la fel ca pe parcursul secolelor precedente.

Cheltuieli mari la fabricare. Riscuri (Pericole) 1.Intoxicare în timpul cercetării.Cost mare la materia primă. care vor îndeplini lucrarea dată. resursele financiare alocate. toţi executanţii.2 Componenţa grupului de lucru În tabelul de mai jos sunt indicate toate lucrările. 3. I 1050 B 70 50 3500 Consultant la parte 1500 C 30 lei/oră 3 ore 90 economică Diplomantul _ D _ 8 _ Total 5 Coala UTM 525. 5. 2.Dezvoltarea circuitelor integrate. Salariu lunar Zile de Salariu total Funcţia exercitată Cod Pe zi (lei) (lei) muncă (lei) Conducător de proiect (de 1800 A 100 20 2000 diplomă) Inginer cat. 4.Condiţii minuţioase la controlul creşterii peliculei. Tabelul 4. Puncte Slabe 1. 2. Oportunități 1.La tratări termice are loc schimbarea fazei structurii cristaline. Rezistent la condiţii cosmice.Stabilitate chimică şi termică înaltă la factorii de mediu. Data 60 .Tabelul 4. 4. pentru a fi în stare să îndeplinească toate lucrările la proiectarea şi realizarea cercetării. dopat cu Al şi silicaţi. complexitatea lucrărilor. Performarea dispozitivelor în domeniul nano. 4.1 025 ME Mod Coala Nr. formează radicali cu proprietăţi cancerogene. 2.3. 5. 2.Randament şi eficienţă în lucru mai bune .Duritate mare.Poate fi obţinut uşor datorită multitudinii de metode. Performarea lucrului în dependenţă de domeniul utilizat. La fotocataliză. 3. experienţa şi nivelul profesional al executanţilor.1 Enumerarea punctelor analizei SWOT Puncte Forţe 1. Mediu de producţie nociv.Noi domenii de cercetare şi implimentare. 5. Grupul se formează luînd în consideraţie următorii factori: termenii de îndeplinire a lucrărilor. 3. Compartimentul organizaţional-economic Acest capitol constă în determinarea componenţei grupei de executanţi şi divizarea lor pe lucrări. Tehnică de viitor. document Semnăt. 4.

5 la salariu. I Suma defalcărilor (lei) 700*(0. resursele financiare alocate.5%) Funcţia Conducător de proiect (de diplomă) Inginer cat.D A.D Termenul de realizare (ore) 8 12 6 150 20 6 Grupul de lucrători se formează luând în consideraţie următorii factori: termenii de îndeplinire a lucrărilor.265) = 185. Alegerea condiţiilor experimentelor 6. Efectuarea experimentelor 8.D B. Căutarea şi studierea literaturii pentru realizarea cercetărilor 5. Tabelul 4. Elaborarea planului de lucru 3.D C.B. experienţa şi nivelul profesionist a executanţilor. Introducerea schimbărilor în planul de lucru 4.5 1680*(0. Data 61 .D A. document Semnăt. pentru a fi în stare să îndeplinească toate lucrările pentru proiectarea.D B. Formularea şi acceptarea sarcinii tehnice 2. Defalcările în fondul social constituie 23%+3.Tabelul 4.3 Întocmirea planunlui calendaristic Durata Denumirea etapelor de realizare a proiectului în anul curent 1. Instalarea şi ajustarea aparatajului pentru experimente 7. Analiza datelor obţinute 10. Compararea datelor obţinute cu cele similare din literatură 11.1 025 ME Mod Coala Nr. Verificarea şi corectarea documentaţiei tehnice 14.Concluzii finale 25 5 3 2 3 3 2 2 B. Efectuarea măsurărilor 9.D A D 125 40 10 16 15 9 10 16 lucrului (zile) 1 2 1 30 5 2 Executanţii A. Explicarea efectelor în formă de demonstrări şi concluzii 13.4 Defalcările în fondul social (26.265) = 445.D A. Organizarea şi planificarea proiectului 12.D A.B.5%=26. complexitatea temei.D A D A.2 Coala UTM 525.B.

60 lei. Valoarea aceasta este puţin mai mare la cercetările ştiinţifice. Consumul energiei electrice pentru dispozitivele ce sau folosit la elaborarea proiectului se calculează pentru fiecare dispozitiv în parte.1 025 ME Mod Coala Nr. fiindcă practic această valoare a cheltuielilor şi determină costul produsului finit.9 0.8 Timpul de funcţionare (ore) 30 20 60 300 15 Total (lei) 24 19. dar odată ce este optimizat procesul tehnologic.1) UTM 525.2 388. Tabelul 4.5 Puterea de consum a utilajului utilzat Puterea consumată Denumirea instalaţiei PMT-NI-02 IFO ВУП-5 Calculator P. Calculul cheltuielilor materiale este o fază importantă în procesul proiectării. tfuncţ – este timpul de funcţionare a unităţii.8 Pentru calculul energiei consumate utilizăm formula: Wunit = Pcons * tfuncţ unde: Pcons – este puterea de consum a unităţii timp de o oră. Argumentarea economică Cheltuieli materiale şi nemateriale. De exemplu energia electrică consumată de calculator va fi Coala (4.265) = 23. Data 62 .2 182. la producţia în masă toate aceste cheltuieli suplimentare într-un scurt timp se compensează.3 0.85 654.4 144 19. ţinând cont că ziua de muncă are durata de 8 ore. Tariful energiei electrice pentru 1kw*h= 1.6 1.55 4.5 0. • Cheltueli directe Pentru calculul cheltuielilor de energie electrică vom lua în consideraţie timpul de utilizare a utilajului.Consultant la parte economică Total 90*(0. document Semnăt.IV SEM (scaning electron microscopy) Total: Kw 0.4. deoarece elaborarea tehnologiei cere finanţare.

1 025 ME Mod Coala Nr.2) Tabelul 4. Data 63 .075 3729.7 Calculul cheltuielilor materiale Denumirea materialului Apă distilată Seringă Mănuşi chimic stabile Vată Plachete de Si.6 Calcularea uzurii Denumirea instalaţiei Cantita tea PMT-NI-02 IFO ВУП-5 Calculator P. Tu – timpul de utilizare. care la moment este 1. lei 600000 60000 100000 10000 Timpul de funcţionare.075 Coala UTM 525.6 lei. Astfel se calculează consumul energiei pentru fiecare echipament ce consumă energie electrică. Ci ⋅ N a ⋅ Tu 100 % ⋅ 264 (4. lei 30 2 10 7 15 700 15 Suma. care necesită calculul uzurii. Amortizarea se calculează conform formulei de uzură directă: A= unde : Ci – costul utilajului. document Semnăt. lei 30 2 100 7 90 3500 0. • Cheltuieli indirecte. Na – norma de uzură.egală cu produsul dintre puterea consumată pe oră şi numărul total de ore la care sa lucrat la acest calculator. Ø4 cm Aur Aluminiu Total cheltuieli materiale Unitatea de măsură litru bucată bucată bucată bucată g kg Cantitatea 1l 1 10 1 6 5g 5g Preţ de piaţă a unităţii. După ce sa calculat consumul pentru fiecare dispozitiv se face suma lor apoi se calculează cheltuielile pentru energie electrică înmulţind suma dată la tariful pentru energie electrica. zile 5 6 12 45 Norma de uzură anuală (%) 25 20 20 30 Suma uzură (lei) 2840 272 909 511 4532 lei În timpul elaborării proiectului au fost implicate mijloace tehnice din tabele de sus. Tabelul 4.IV Total: unităţii 1 1 1 1 Preţul iniţial pentru o unitate.

5) (4.4) Preţul de realizare a produsului va fi egal cu suma dintre preţului brut şi TVA-ul stabilit de Coala UTM 525.93 lei. lege.55 4532 580.775 4.60 9. Preţul brut al cercetării va fi: Preţ brut = 16100.Tabelul 4.9 Cheltuieli totale la realizarea proiectului Articolele de cheltuieli Cheltuieli pentru regie Salariul total Defalcările în fondul social Uzura utilajului folosit Energia electrică utilizată Cheltuieli materiale Total costul proiectului Suma (lei) 1014.35 Tabelul 4.93 + 3864.775* 0.19 1. (4.8 Cheltuieli pentru regie Denumirea Internet Iluminat Apă Energie electrică Transport Telefon Total Unităţi de măsură. de obicei TVA-ul reprezintă 20% din preţul brut.775 + 3220. Preţ de realizare = Preţ brut + TVA.65 128 137.155 lei. luna Kw/h m3 Kw/h rute min Cantitatea 2 luni 200ore (puterea cosumată 0. Preţ de realizare = 19320.116 lei. (4.4kw/h) 15 120 53ori 150 Suma consumurilor În total Pe o unitate (lei) 150 300 1.075 16100.1 025 ME Mod Coala Nr. Generalizarea cheltuielilor Preţul brut al cercetării va fi suma preţului de cost.85 192 159 97.35 5590 654.6) (4.186 = 23185.5 1014.3) Profitul planificat reprezintă de obicei 20% din suma totală care sau cheltuit la realizarea proiectului de aici rezultă ca Profitul planificat = 16100.155 =19320. document Semnăt.2 = 3220.60 3 0.5. Data 64 .8 3729. Preţ brut = Preţ de cost + Profit planificat.

document Semnăt. Managementul resurselor umane este un proces care constă în exercitarea a patru funcţii: asigurarea. de la conexiunile de esenţă ce există între ele. • Creşterea capacităţii de inovare. Resursele umane constituie elementul creator. motivarea şi menţinerea resurselor umane. a politicilor şi sistemelor privind resursele umane cu misiunea şi strategia organizaţiei.4. activ si coordonator al activităţii din cadrul organizaţiilor. ele influenţând decisiv eficacitatea utilizării resurselor materiale. Întrebarea Coala UTM 525. strategiilor si filozofiilor privind resursele umane ale organizaţiei. financiare şi informaţionale. Managementul resurselor umane Managementul resurselor umane constituie complexul de activităţi orientate către utilizarea eficientă a personalului unei organizaţii. • Corelarea. rezolvare a problemelor şi schimbare a organizaţiei. Numai atunci când cei implicaţi înţeleg această relaţie managementul resurselor umane ocupă o poziţie importantă în cadrul organizaţiei şi poate contribui la succesului acesteia. • Preocuparea susţinută de concentrare şi direcţionare a capacităţilor şi eforturilor individuale în vederea realizării eficiente a misiunii şi obiectivelor stabilite. pornind de la obiectivele fundamentale la a căror realizare concură împreună. Funcţia de asigurare a resurselor umane cuprinde următoarele activităţi: 1) Planificarea resurselor umane are drept scop determinarea nevoilor.1 025 ME Mod Coala Nr. Obiectivele urmărite de managementul resurselor umane constau în: • Creşterea eficienţei şi eficacităţii personalului (sporirea productivităţii). urmărindu-se atât realizarea obiectivelor acesteia cât şi satisfacerea nevoilor angajaţilor. • Creşterea satisfacţiei în muncă a angajaţilor. inclusiv estimarea cererii si ofertei pe piaţa muncii. Principiile esenţiale ale managementului resurselor umane sunt: • Aprecierea factorului uman ca o resursă vitală. Numai prin satisfacerea nevoilor angajatului se va putea obţine implicarea acestuia în realizarea obiectivelor organizaţiei şi numai contribuind la succesul organizaţiei angajaţii vor putea să-şi satisfacă nevoile legate de munca pe care o desfăşoară. • Dezvoltarea unei culturi organizaţionale sănătoase. Supralicitarea resurselor umane în detrimentul celorlalte afectează echilibrul dinamic al organizaţiei.6. • Reducerea absenteismului. dezvoltarea. fluctuaţiei şi a amplorii şi numărului mişcărilor greviste. Accentuarea rolului resurselor umane nu semnifică o subevaluare a celorlalte resurse. Data 65 . Conceperea sistemică a firmei implică abordarea interdependentă a resurselor. într-o manieră integrată.

şi prin instruire planificată facilitarea dezvoltării competentelor cheie care permit indivizilor să performeze sarcini aferente unor posturi prezente sau viitoare. sarcinilor. ansamblul proceselor prin care se aleg persoanele ce întrunesc calităţile. inclusiv intocmirea tuturor formalitatilor necesare.cheie pentru această activitate este: De câţi oameni şi cu ce caracteristici avem nevoie. atât în prezent cât şi în viitor? 2) • • Recrutarea şi selecţia sunt activităţi complementare în procesul angajării de personal.10 Indentificarea stadii în cadrul ciclului de viaţă al carierei Coala UTM 525. Includem aici si incadrarea personalului care consta in ansamblul proceselor de atribuire efectiva a posturilor persoanelor selectionate. 2) Administrarea carierelor are drept scop asigurarea corespondentei pe termen lung între nevoile de evoluţie în carieră ale angajaţilor şi posturile şi parcursurile de carieră disponibile in cadrul organizaţiei. document Semnăt. cunoştinţele. competenţelor şi responsabilităţilor circumscrise anumitor posturi. de a planifica sau de a rezolva probleme). Pentru alţii. • pregătirea lor pentru evoluţia viitoare a locurilor de muncă. Funcţia de dezvoltare a resurselor umane cuprinde următoarele activităţi: 1) Formarea şi perfecţionarea angajaţilor are drept scop identificarea. Tabeleul 4.este stadiul final al luării deciziei în procesul de recrutare. al căror scop este extinderea viziunii unei persoane sau înţelegerea aspectelor şi problemelor care sunt adesea esenţiale pentru dezvoltarea oamenilor în domeniul managerial sau în anumite poziţii din cadrul companiei. 3) Integrarea angajatilor are drept scop facilitarea integrarii mai rapide in organizatie. Alte programe sunt numite uneori programe de instruire. aprecierea. deşi sunt de fapt programe educative. instruirea implică abilităţi interpersonale (abilitatea de a munci cu alţii) sau cognitive (abilitatea de a gândi clar.se referă la procesul confirmării nevoii de a angaja personal nou. dezbateri etc. După ce un angajat a fost numit pe un post. accentul cade pe instruirea tehnică (persoana este ajutată să îşi îmbunătăţească abilităţile de folosire a echipamentelor sau programelor tehnice). sunt folosite câteva tipuri de instruire prin care i se permite să îşi actualizeze abilităţile. localizării si Selecţia . turul firmei cu prezentarea noului angajat persoanelor cheie din cadrul organizaţiei. deprinderile şi aptitudinile necesare realizării obiectivelor. ea reprezentând atragerii celor interesaţi în a candida pentru posturile oferite. Data 66 . Pentru personalul managerial se pot organiza şedinţe de instruire speciale. Recrutarea . Pentru unii. Presupunerea pe care se bazează această abordare este aceea că oamenii doresc să avanseze în cadrul organizaţiei.1 025 ME Mod Coala Nr. Obiectivele formării şi perfecţionării angajaţilor sunt: • ajutarea acestora în atingerea unui maxim de performanţă în realizarea muncii lor.

• Organizarea unor centre de evaluare şi dezvoltare . explorare Intrarea în lumea muncii Educaţia de bază Etapa de început a carierei Etapa de mijloc a carierei Criza de mijloc a carierei Etapa de final a carierei Declin. 3) Dezvoltarea organizaţională are drept scop asigurarea unor relaţii sănătoase intra şi intergrupuri şi ajutorarea grupurilor în a anticipa. Au fost măsurate microduritatea. pensionare Dintre strategiile utilizate pentru administrarea carierelor enumerăm: • Crearea de oportunităţi prin pregătire profesională. • Extinderea şi îmbogăţirea conţinutului muncii. Coala UTM 525.25 17 . • Oferirea de consiliere în domeniul carierei .25 16 .21 16 .30 25 + 35 . Data 67 .1 025 ME Mod Coala Nr. document Semnăt. cu scopul de a face faţă ritmului accelerat al schimbărilor. modulul lui Young și adâncimea indentării. iniţia şi conduce schimbarea.45 40 + 50 + Creştere. reeducaţională. În urma efectuării măsurărilor microduritatea pentru pelicula de Al cu grosimea de 1 µm cu putera indentării de 5 mN cea mai înaltă microduritate obținută sa constatat la efectuarea tratamentului fotonic cu impulsuri timp de 1. Modulul lui Young obținut la această probă este cel mai înalt. titudini. susceptibilă de a afecta sisteme de alori.0 . Sa efectuat tratamentul fotonic cu impulsuri și tratament termic în sobă cu regimurile care asigură contact ohmic pelicolelor de Al și Au. Modulul lui Young pentru pelicula de Au sa constatat mai înalt pentru proba inițială. • Organizarea unor întâlniri de lucru pe teme legate de carieră. Pentru pelicula de Au cu grosimea de 300 nm la indentarea cu puterea de 5 mN sa constatat o duritate mai înaltă pentru proba tratată termic în sobă cu temperatura 475 0C timp de 30 minute. fantezii. CONCLUZII Au fost utilizete probele de Al și Au depuse pe substrat de siliciu prin pulverizarea magnetron. Dezvoltarea organizaţională presupune existenţa unei strategii normative.8 secunde. care implică şi reorganizarea formală a organizaţiei.

77-84. 3. Витебск. Шикимака О. S. Coala UTM 525. Data 68 . Grabco. 2004. Editura tehnică.Şikimaka.. O. Takagi and M. Chisinau.74 6. p. document Semnăt. Margarita I. 216-224. Comparison between the calculated truncation length of the Berkovich indenter tip with the expanded nanoindentation theory and that with the AFM testing) ˂ J. Ohki.a. Boiarschi. D. Process of Longlasting Indentation Recovery on Crystals with Different Type of Bond // Abstracts of Conference MSCMP.. O. ó Tratamente termice neconvenţionale. ofMaterial Testing Research Association of Japan. Popescu. Iulia S. 5.З. 2. Bucureşti. . Закономерности деформирования монокристаллов кварца при микроиндентровании // Труды Конференции “Актуальные проблемы прочности”. 4. Chishinau-2004. p.49. 2001. Fujitsuka. 1990. 2004. Грабко Д.2. 5-7 July.Shikimaka. vol. N. Medinschi – MICRODURABILITATEA. V. Maria I. Electron Microscopy investigation of the Integrity Breaking Region created in Mgo and SiO2 Single Crystals under Microindentation // Book of Abstracts C MS MP. T. M. ˂ Practical Nano-indentation Theory and Experiments of the Pyramidal Indenter (5 th. ş.А.1 025 ME Mod Coala Nr. p. Moldova.Mazur. No.BIBLIOGRAFIE 1. Valcovschi. Ishibashi.

2011. 17. Takagi. 2.50. Миронов В. Pharr. G. J. Aroca. Oliver. D.com/tehnica-mecanica/DURITATEA-MATERIALELORMETALIC1725784. 297-302.. 13.: Техносфера. /Д. 144 20. с англ. AFM profiles of Microvickers indenter tip and elastic indentation equations between the hyperboloid of revolution indenter and plane specimen)“ . of Material Testing Research Association of Japan. On the Active Control of Damping in Machine Tools. M. 2004. 8. Ishibashi. Munteanu. 2009. S. V.. Chiroiu. 2004. Revue Rom. 10. p. M. Российская академия наук.Л. Брандон Д. V. 11. Information Science. Каплан..C. 2004. http://www.2011. Fizica și Microindentarea. tom LIV (LVIII) fasc. — М. Брандон.Z. Mater. – p. “ Practical Nanoindentation Theory and Experiments of Pyramidal Indenter (7th. MMSS’2003. 144 19.p. 1998.. 58. Rev. http://www.26 September.L.cam.S.. – М.. O. J. 3rd International Conference on Machining and Measurement of Sculptured Surfaces.: Техносфера. 10.. No.8397.M.05. 16. p.Л. Микроструктура материалов. L.04. D. Sci. p. C. C.S. Katayama and S. Rauchs.. 12. Coala UTM 525. 2003. p. Kats. 24 . Основы сканирующей зондовой микроскопии: учебное пособие /В. Институт физики микроструктур. Series A:Mathematics. Res.tfm. – М. . Методы исследования и контроля учебное пособие: пер. 17. Data 69 .7. D.Munteanu.. Миронов. Plimpton. Миронов В. L. On the indentation of an elastic material with a spherical indenter.Л. Poland.377 18. Grabco. Chișinuă.Pop.. Dumitriu.Baldovin. Ohki. 3–20. 14. 2006. G. John Wiley & Sons. T. p.. B.. 15. Hamilton. of the Romanian Academy. Buletinul Institutului Politehnic din Iasi. “Știința”. Kraków. Technical Sciences. – p. Phys. У. Surface-Enhanced Vibrational Spectroscopy.Л.. Rugina. D. Donescu. 1986. Российская академия наук. 2008. Indentation testing parameter identification using an optimization procedure based on genetic algorithms . Boyarskaya.. Kelchner. Dumitriu. R.scritube. vol. Yu. Techn. Техносфера. document Semnăt.phy.C. 9. J. St.J.2. Chiroiu. Институт физики микроструктур. – p.1 025 ME Mod Coala Nr. Миронов.php accesat la 30. 2005. Основы сканирующей зондовой микроскопии: учебное пособие / В. W. On the evaluation of the Young’s modulus for a laminated periodic composite structure based on auxetic materials. 53-54. 2008. S. Dislocation nucleation and defect structure during surface indentation. Physics..uk/Research/meso/authin accesat pe 25. 2004. Proc.ac.1 sectia Constructii de Masini.

N 6. G.C. document Semnăt. \ Industrial applications of superhard nanocomposite coatings". S. cимпозиума ”Фуллерены и фуллереноподобные структуры”. 202. Res.2011.Vol. R. Pharr // J.Cremer. MRS Symposium Proc. Data 70 . Milani. W.md/data/expozit/structart4.1. S. 1564-1583.B) N films”. p. Coala UTM 525. 25..G.5063-5073.asm. V. Pittsburgh. 23. 3-14.N. 522. Surface & Coatings Technology.Neuschuetz. ”Electron spectroscopy of single – phase (Al. Surface and Interface Analysis.phys. p.21. P. No. B. 1998. тез. MRS. Ralchenko // Сб. докл. p. 26. 1992. http://www. 22. 2000.M. Vol.Ostrovskaya.J.30. 24.Witthaut. 7.580-584. Mater. and D. No. M.php accesat pe 04. II Межд. p. 21. L. Lucas et al.. Dub. Oliver.Veprek and M.1 025 ME Mod Coala Nr. V. 2008. Vol.05.Veprek-Heijman.