Contents

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Data Acquisition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
1.1 Sensors, Signals, and Systems . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
1.2 Sensor Classification . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
1.3 Units of Measurements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

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Sensor Characteristics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.1 Transfer Function . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.1.1 Mathematical Model . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.1.2 Functional Approximations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.1.3 Polynomial Approximations . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.1.4 Sensitivity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.1.5 Linear Piecewise Approximation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.1.6 Spline Interpolation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.1.7 Multidimensional Transfer Functions . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.2 Calibration . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.2.1 Computation of Transfer Function Parameters . . . . . . . . . . . . . .
2.2.2 Linear Regression . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.3 Computation of Stimulus . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.3.1 Computation from Linear Piecewise Approximation . . . . . . . .
2.3.2 Iterative Computation of Stimulus (Newton Method) . . . . . . .
2.4 Span (Full-Scale Full Scale Input) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.5 Full-Scale Output . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.6 Accuracy . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.7 Calibration Error . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.8 Hysteresis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.9 Nonlinearity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.10 Saturation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.11 Repeatability . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.12 Dead Band . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.13 Resolution . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

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. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Capacitance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Toroid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60 3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3 39 40 40 41 41 45 47 49 50 52 Physical Principles of Sensing . . . . . . . . . . . . . . and Potentials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Strain Sensitivity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93 3. . . . . . . . 77 3. . . . . . . 2. . . . . .2 Thermal Expansion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16 Output Format . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121 3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 69 3. . . . .3. 120 3. . . . . . . . . .5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 113 3. . . . .12 Heat Transfer . . .2 Dielectric Constant . . .2 Temperature Sensitivity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12. . . . . .7 Pyroelectric Effect . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9. . . 79 3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14 Special Properties . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .19 Environmental Factors . . . . . . . . . . . . . . .10 Sound Waves . . . . . . . . . Fields. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11. . .5 Resistance . . . . . . 2. .1 Capacitor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 117 3. 2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Seebeck Effect . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11 Temperature and Thermal Properties of Materials . . . . . . . . . .12. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .21 Application Characteristics . . . 125 3. . . . . . . . . . . . . . 73 3. .3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2. . . .5. . . . . . . . . 106 3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Faraday Law . 63 3.3. . . . .20 Reliability . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12. . . . . . . . . . . 54 3. . . . . . .2 Peltier Effect . . . . . . . . . . . . . .9 Thermoelectric Effects . . . . . .6. . . .4 Permanent Magnets . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .17 Excitation . . . . . . . .2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5. . . . . . . . . . . . . . . .4 Moisture Sensitivity . . . . . . . . . . . 111 3. 2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Thermal Radiation . . . . . . . . . 85 3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Polymer Piezoelectric Films . . . . . . .4 Induction . . . . 103 3. . . . . . . . . 96 3. . . . .8 Hall Effect . . . . . . . . 53 3. 2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Electric Charges. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 126 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62 3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80 3. . . . . . . . . . .3 Magnetism . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Heat Capacity . . . . . . 89 3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 72 3. . .5. . .1 Ceramic Piezoelectric Materials . . .2 Solenoid . . . . . . 2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6 Piezoelectric Effect . . . . . . . . . . . . . 106 3. . . . . . .viii Contents 2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116 3. . . . . . . . . . . .1 Temperature Scales . . . . . . . . . . References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 86 3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122 3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71 3. . . . . . . . .1 Specific Resistivity . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118 3. . . . . . . . . . . . .22 Uncertainty . . .18 Dynamic Characteristics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15 Output Impedance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Thermal Convection . . . . . . 72 3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 2. .1 Thermal Conduction . . . . . . . . . . . . 67 3. 84 3. . . . . . . . . . . . .

. .2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3. . . . . . . . . . . . . . . . . .14. . . . . . . . . .5 Resolution Extension . . . . . . . . . 4.4. . . . . . . . . . . 3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2. . . 147 149 154 157 158 161 163 165 169 170 172 172 5 Interface Electronic Circuits . . . . 5. . . . . . .4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4. . . .5 Lenses . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Basic Concepts . . . . . . . . . . .4 Successive Approximation Converter . . . . . . . .2 Voltage References . . . . . . . .4 Mirrors . . . . . . . . . . . . .8 Concentrators . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2. . . . . . . . . . . . . . . .10 Nano-optics . . . . . . . . . . .1 Mechanical Elements . . . . . .14. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Input Characteristics of Interface Circuits . . . 4.2 Light Scattering . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13 Light . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13. . .6 Direct Digitization . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14. . . References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4. . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . .Contents ix 3. . . . . .4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 135 136 137 138 139 141 142 143 144 4 Optical Components of Sensors . . .4 Drivers . . . . 4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13. .5. . . . . . . . . . . .2 V/F Converters . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3. . . . .1 Current Generators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Oscillators . . . . . . . .4 Analogies . . . . . . . References .1 Operational Amplifiers . . . . . . . . . . . . . . .1 Radiometry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Thermal Elements . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4. . . . . . . . . . .4. . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Light Polarization . . . . . . . .5 Optical Drivers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . 4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 173 173 178 178 181 182 183 186 188 188 192 192 194 196 196 196 198 203 203 205 207 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Voltage Follower . .5. . . . . .3 Electrical Elements . . . . . . . . . .14. . . .7 Fiber Optics and Waveguides . . . . . .2. . . . . . . . 3. . . 5. . . . .5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4. . .5 Analog-to-Digital Converters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Light-to-Voltage Converters . . . . . 5. . . . . .2 Amplifiers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 3. . . . . 4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14 Dynamic Models of Sensor Elements . . . . 4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Photometry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . .6 Fresnel Lenses . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Windows . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . .4 Excitation Circuits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 4. . . 3. . . . . . 3. . . . . . . . . . . . . . . .9 Coatings for Thermal Absorption . 5. . . . . . . . . . . . . . .3 Instrumentation Amplifier . . . . . . . . . . . . . . . .3 Dual-Slope Converters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4 Charge Amplifiers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . .5. . .

. . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12. . . . . . . . . . . . . . .5 Optoelectronic Motion Detectors . . . .13. . . . . . . 6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Displacement. . . .2 Capacitive Sensors . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8 Ground Loops and Ground Isolation . . . . . Bridge Circuits . . . . . . . . . . . . . . Ratiometric Circuits . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6 Mechanical Noise . . . . 279 7. . . . . . 5.15. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . .3 Capacitive Occupancy Detectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5. . . . . . . 5. . . . . . . . . . . .4 Bridge Amplifiers . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6. . . .1 Potentiometric Sensors . . . . . . . . . . .11. . . . . . . . 5. . . . .9 5. . . . . . . . . . 247 249 249 254 258 260 261 264 267 274 276 278 7 Position. . . . . .2 Microwave Motion Detectors . . .13. . . .2 Disbalanced Bridge . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Visible and Near IR Light Motion Detectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 280 7. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Six-Wire Sensing . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . .8 5. . . . . . . . . . . .13. . 5. . . . .6 Optical Presence Sensors . .10 5. . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. 5. . .13. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11 Capacitance-to-Voltage Converters . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . Differential Circuits . . . . 5. . .12 Data Transmission . . . 6. . .13 Noise in Sensors and Circuits . . .1 Inherent Noise . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . .7 Pressure-Gradient Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Electric Shielding . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13. . . . . . . . . . . . . . 6. . . . . . . . . . . . . .2 Four-Wire Sensing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6. .1 General Concept . . . . . . . . . . . 6. . . . .1 Two-Wire Transmission . . . . . . . . . . . . . . References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13. . . . . . . . .3 Null-Balanced Bridge . . . . . .1 Primary Cells . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Sensor Structures . . .x Contents 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Transmitted Noise . . . . . . . .2 Secondary Cells .9 Seebeck Noise . . .11. . . . . . . . . .5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15 Batteries for Low-Power Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6.13. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Integrated Interfaces . . . . . . . . . . . . References . .4 Bypass Capacitors . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 208 210 211 214 215 215 216 218 218 220 220 221 222 223 223 227 231 234 235 237 237 238 240 242 243 244 245 246 6 Occupancy and Motion Detectors . . . 284 . . . . . . . . .12. . . . .13. . . . . . . . . . . and Level . . . . . . . . . . . . . . . . .7 Ground Planes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 5. . . . . . . .5. . .5 Magnetic Shielding . . . . . .14 Calibration . . . . . . . . . . .3 Far-Infrared Motion Detectors . . . . . . 5. . . . . . . . . .1 Ultrasonic Detectors . . . . .7 5. . .4 Triboelectric Detectors . . . . . . . . . . . . . . .

. . . . . . . . . . . . . 7. . . . . . . . . . . . . . . . . . References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7. . .3 Transverse Inductive Sensor . . . . .8. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7. . . . . . . . . . . . 8. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6. . . . . . . . .4 Optical Sensors . 8. . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Inertial and Gyroscopic Mice . . 8. . . . . . . . . . . . 8. . . . . . . . . . . 8. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 327 329 332 334 335 336 336 337 339 340 341 344 346 348 351 . . . . . . . . . . . . . . . .3 Optical (Laser) Gyroscopes . 7. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7. . . . . . . . . . .3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Capacitive Accelerometers . . . . . . . . 7. . . . . . .4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7. . . . 7. . . . . . . . . . . . . . . . .7. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 8. . . . . . . . . .4. . . .4.6. . . . . . . 8. . . . . . . 8. . . . . . . . . .8 Pointing Devices . . . . . . . . . .2 Ground Penetrating Radars . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Optical Pointing Devices . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7. . 7. . . . . . . . 7.5. . . . .7 Piezoelectric Cables . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .8. . . . . . . . . . . . . . 288 288 290 292 293 297 300 302 302 303 304 306 308 310 314 316 316 318 320 320 322 323 324 324 325 325 325 Velocity and Acceleration . . . . . 8. . . . . . . 7. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7. . . . . . . . . . . . . . . .1 Rotor Gyroscope . . . . . . . . . . . .4 Fabry-Perot Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6 Radar Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Thin Film Sensors . . . . . . . . . . . .5 Grating Sensors . . . . .8 Gravitational Sensors . . . . . . . . . . . . . . .1 Micropower Impulse Radar . . 7. . . . . . .3. . . . . . . 8. . . . . . . .3 Fiber-Optic Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3. . . . . . . . . . . References . . . . . . . . .1 Ablation Sensors . . . . . . . . . . . . . . .3. . . . . . . . . . . .6 Gyroscopes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7. . . . . . .5 Ultrasonic Sensors . . . . . . . . . . . . . .2 Monolithic Silicon Gyroscopes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Accelerometer Characteristics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Piezoresistive Accelerometers . . . . . . . . . . .2 Heated Gas Accelerometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Liquid Level Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5 Thermal Accelerometers . . . . . . . . . . . . . . .6. . . . . . . . 8. . . . . .6. . .4 Piezoelectric Accelerometers . . . . . . . . . . . . . . 7. . . . . . . . . . .4 Hall Effect Sensors . . . . . .6 Linear Optical Sensors . .1 LVDT and RVDT . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Inductive and Magnetic Sensors . . . . . . . . . . 7. . . . . . . .2 Proximity Detector with Polarized Light . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4.7 Thickness and Level Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7. . . . . . . . . . . . .1 Optical Bridge . . . . . . . . . . . . . . . . . 8.Contents 8 xi 7. . . . . . . . . 7. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Heated Plate Accelerometer . 7. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6. . . . . . . . . . . . . .3. . . . .5 Magnetoresistive Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7. . 7. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7. . . . . . .2 Magnetic Pickup . . . . . . . . . . . . . 7.6 Magnetostrictive Detector . .4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3. . . . . . .2 Eddy Current Sensors . . . . . . . . .

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . and Tactile Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10.2 Piezoelectric Sensors . . . . . . . . .8 Drag Force Sensors . . . . . . . . . . 11. . . . . .2 Pressure Gradient Technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2. . . . . .3 Piezoresistive Sensors . . . . . . . . . . . .3 Thermal Transport Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10 Vacuum Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10. . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Strain Gauges . . . . . . . . . 11. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10. . . . . . . . . . . . .2 Three-Part Thermoanemometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5 Piezoresistive Sensors . . . . . . . . . . . .9 Indirect Pressure Sensor . . . .7 Optical Sensors . . .8 Optoelectronic Pressure Sensors . . . . . . . . . . . . . . 9.4 Microflow Thermal Transport Sensors . . . . . . . . .1 Concepts of Pressure . . . . . . . . . . . . . . . 9. . . . . . . . . .6 Breeze Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4 Bellows. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 375 375 377 378 379 381 387 388 390 391 393 393 395 396 396 397 11 Flow Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3. . . . .2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11. . . . . . . . . . . . 11. . . . . . . . . . .3 Mercury Pressure Sensor . .3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6 Capacitive Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . .6 Acoustic Touch Sensors . . . . . . . . 10. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11. . . . .1 Hot-Wire Anemometers . . . . . . 11.7 Coriolis Mass Flow Sensors . . . . . . . . . . . . . . 11. . . . . . . . . . . . . . . . . . .2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . and Thin plates . . . . . . . . . . . . . . . Strain. . . . . .2. . . . . . . . . . . . . . . . .5 Capacitive Touch Sensors . . . . . . . . . . . . .2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11. . . . 11. . . . . . . . . . . . . . 10. . . . . . . . . . . . . . .2 Tactile Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4 MEMS Sensors . . . . . . . . . . . References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10. . . . . . . 9. . . . . . . . .7 VRP Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . Membranes. . . . . . . . . . . . . . . . . .4 Membrane Vacuum Sensors . . . . . . . . . . . . . . 10. . . . . . . . . . . . . . . . . . .10. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Pirani Gauge . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Basics of Flow Dynamics . . . . . . . . . . . . . . .3 Piezoelectric Force Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10. . . . .4 Ultrasonic Sensors . . . . . 9. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2. . . . . . . . . . 10. . . . . . . . . . 10. . . . . . 10. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11. . .9 Dust and Smoke Detectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .xii Contents 9 Force. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Two-Part Thermoanemometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Units of Pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Gas Drag Gauge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10. . . . . 10. . . . . . . . . . . . . . 399 399 402 404 405 409 411 414 416 418 420 422 423 424 . . . . . . 9. . . . . . . . . . . . . .2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Switch Sensors . . . . . . . . . . . . . . References . . . . 9. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 10. . . . . . . . . . 11. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10. 9. . . . . . . . . . 11.3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 11. . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Ionization Gauges . . . . . . 10. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5 Electromagnetic Sensors . . 9. . . . . . . . . . 353 355 357 358 359 362 364 365 369 369 370 372 10 Pressure Sensors . . . . 9. . . . . . .

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Optical Detector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14. . . . 503 15. . . . .9 Gas Flame Detectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13. . . . . . . . . . . . . . . . .6 Dynamic Microphones . . . . . . . . . . . . . . . . . . 424 11. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Resistive Microphones . . . . . . .1 Scintillating Detectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6. . . . . . . . . . . . . . . . . 461 461 465 471 472 475 478 479 480 481 482 483 487 491 494 497 498 500 15 Radiation Detectors . . . . . . . . . . 14. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7. . . . . . . . . . . . 426 References . . .1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4 Thermal Conductivity Sensor . . . . . . . . . 431 432 432 434 435 437 439 440 443 13 Humidity and Moisture Sensors . . . . . . . . . . . 12. .Contents xiii 11. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 504 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Pyroelectric Sensors .4 Piezoelectric Microphones . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14. . . . . . . . 14. . . . References . . . . . . . . . .5 Electret Microphones . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5 Optical Hygrometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7 Thermal Detectors . . . . . . . . 14. . . . . . . . . . . . .3 Fiber-Optic Microphone . . . . . . . 14. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12. . . .5 Active Far-Infrared Sensors . . . . . . . . . . . . 12. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12. 13. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6. . . . . 13. . . . . . . . . . . . . . . . . 14. . . .4 Photoresistors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Thermopile Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6 Image Sensors . . . . .9. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Ionization Detector . . .7. . . . . . . .6 Oscillating Hygrometer . . . 445 445 448 452 455 456 458 459 14 Light Detectors .2 Capacitive Sensors . . . . . 12. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 CCD Sensor . . . . . . . . . . 14. . . . . 14. . . . . . . . . . . .9. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4 Bolometers . . . . . . . . . . . .7. . . . . . . . . . .8 Optical Design . . . . .2 Condenser Microphones . . . . .3 Phototransistor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 CMOS-Imaging Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 12. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5 Cooled Detectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14. . . . . . 13. .3 Electrical Conductivity Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 428 12 Acoustic Sensors . . .1 Golay Cells . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Photodiodes . . . . . . . . . . . . .7 Solid-State Acoustic Detectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 13. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 14. . . . . . . . . . . . . . . . . 14. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Concept of Humidity . . . . . . .7. . . . . . . . . . . . . . .

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17. . . . . . . .2 Thermocouple Circuits . . . . . . . . References . . . . .1 Enzyme Sensors . . . . . . . . .4.1 Thermoelectric Laws . . . . . . . . . . . . . . . .6. . . .4. . . . . . . . . . . . . . . . . 15. . .3 Thermistors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4 Classes of Chemical Sensors . . . . 17. 16. . . . .6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .7 Acoustic Temperature Sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16. .2 Interferometric Sensors . . . . . . . . . . . .8 Specific Difficulties . . . . . . . . . . . . .xiv Contents 15. . . . . . . 17. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6 Multisensor Arrays . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4 Physical Transducers . . . . . . . . . . . . . . . . 17. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4. 16. . . . . . . . .3. . . . .3 Cloud and Bubble Chambers . . . . 17. . . . .6 Optical Temperature Sensors .8 Piezoelectric Temperature Sensors . . . . . . . 17. . . . . . . 16. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16. 17. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15. . . . . .7 Electronic Noses and Tongues . . . .4. .3. . . . . . . . 16. . . . . . . . . . . . . 16. .5 Semiconductor pn-Junction Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Electrical and Electrochemical Transducers . . . . 16.3 Chemical Sensor Characteristics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2. . . . . . . . . . . . . . . . . .4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16. . . . . . 16. . . . . . . . . . . . . 17. . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Ionization Detectors . . . 17. . . . . . . . 16. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4. . . . . . . . . . . . . . .3 Thermoresistive Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Ionization Chambers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Overview . . . . . . . . . . . . . . . . . . . References . . . . . . .4. . . . . . . . . . . . . . . .2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Thermochromic Solution Sensor . . 15. . . . . . . . . . . . . . .1 Coupling with Object . . . . . . . . .2 Elastomer Chemiresistors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Geiger–Mu¨ller Counters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5 Optical Transducers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Temperature Reference Points . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17. . . . . . . .2 Proportional Chambers . . . . . . . . . . . 569 570 570 571 572 572 581 585 586 595 597 597 598 599 602 603 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17. 17. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 507 508 509 510 512 516 518 16 Temperature Sensors . . . . . .3 Thermocouple Assemblies . 17. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 17. . .2 History . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 519 519 526 528 528 529 532 549 550 552 554 556 560 561 562 563 564 565 566 17 Chemical Sensors .2 Silicon Resistive PTC Sensors . . . 16. . . . . . . . . . . . . References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 16. . 16. . . . . . . . . . . . . . .1 Resistance Temperature Detectors . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Fluoroptic Sensors . . . . . . .5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15. . . . . . . . . . . . . .4 Semiconductor Detectors . . . . . . . . .5 Biochemical Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Photoionization Detector .4 Thermoelectric Contact Sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . .

. . . . . . . . . . . . . . .7 Nanomaterials . . . 18. . . . . . . . . . . . . 18. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Microtechnology . . . . . . . . . . . . .1. . 18. . . . . .1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .Contents 18 Sensor Materials and Technologies . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18. .1 Deposition of Thin and Thick Films . . . . . . . 18. . . . . . . 18. . . . . . .1. . . . .1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2 Silicon Micromachining . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18. . . . .6 Electroplating . . 18. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2. . . . .3 Metals . . . . . . . . . xv 607 607 607 611 615 617 617 618 620 621 621 621 622 623 624 625 626 627 628 635 Appendix . . . . . . . . . 18. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2. . . . . . . . . . . . . . . . . .4 Sputtering . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Photolithography . . . . 18. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1. . . . . . . . . . .5 Glasses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3. . . 18. . . . . . . . .2 Spin Casting . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1. . . . . . . . . . . . . . 18. 653 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1 Materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18. . . . . . . . 637 Index . . . 18. . . .2. . . . . . . . . . . .3. . . .2. . . . . . . . . .1 Silicon as Sensing Material . . . . . . . . . . . . . 18. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .3 Vacuum Deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18. . . . .2 Surface Processing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .5 Chemical Vapor Deposition . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18. . . . .2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . References . . . . . . . . . . . . . . .2 Plastics . . . .6 Optical Glasses . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .4 Ceramics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

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