You are on page 1of 30

Nano‐Tera.

ch ‐ Annual Plenary Meeting, Bern, May 30, 2013

Enabling Autonomous Sensor Nodes:  Tunable Carbon Nanotube Electro‐ Mechanical Resonators (CabTuRes)
C. Hierold / C. Roman W. Andreoni, A. Magrez / L. Forró, O. Gröning, A. Ionescu,  M. Kayal, B. Nelson, D. Poulikakos, D. Briand / N. de Rooij

30.05.2013

Overview

5 mm

CabTuRes proposes a SiP solution to integrate CNT resonators (NEMS) with readout  electronics (CMOS IC) within a package adapted to application (cap wafer) CabTuRes is an interdisciplinary engineering research project at the cross roads between  basic science and engineering with great innovation potential.

30.05.2013

2

Rationale: mass balance
Miniaturization per se is not the  motivation but all the benefits coming  with miniaturization….

Yes, it is miniature and it requires ultra  low‐power to excite/readout a nanoresonator Unprecedented mass resolution in comparison to nanowires and QCMs (~1 cm  size) in UHV and low temperature demonstrated in literature

SNR and Q for SWNT resonators at ambient conditions must be investigated

Unprecedented mechanical tuning range of SWNTs (yield strain up to  5‐10%) allows for a very large measurement range in closed loop operation. High sensitivity for mass balance  because of low m and high ω0 Goal: ultra low power and small size & weight is conditional for autonomous  sensor systems

30.05.2013

4

Potential applications
Portable microanalytical systems Single‐molecule mass spectrometry
“ … the first demonstration of mass spectrometry based on single  biological molecule detection with a [NEMS]” [Naik et al, Nature  Nano 4, 445 (2009)]

“ … a chemical sensor technology  based on  resonant  NEMS mass detectors  that … [performed]  chromatographic analysis  of 13 chemicals …  within a 5 s time window.” [Li et al, Nano Lett. 10, 3899  (2010)]

30.05.2013

6

The CabTuRes Team
T6: System  in Package T3: MEMS  with CNTs T2: SWNT fund. properties

T4: CNT mech. interfaces

T1: CNT growth  & integration T5: CMOS IC & sys. model

30.05.2013

10

Highlights of Research Achievements

30.05.2013

11

CNT NEMS resonators

30.05.2013

12

Not the worst CNT resonator technology

“Competition”:e‐beam litho,  DC gate straining
[Sazonova04]

CabTuRes: photo‐litho,  MEMS actuator straining

[Peng06]

[Witkamp06]

[Shih‐Wei Lee]

[Lassagne08]

30.05.2013

13

Features of CNT NEMS technology
Shih‐Wei Lee

Matthias Muoth

Silicon‐on‐Insulator 

Lee et al, to be submitted to Sens and Actuators A

Low‐voltage, large‐stroke  (0.5μm/V) thermal actuators

decoupled actuation‐RF signal paths

30.05.2013

14

SOI process flow

(a)

(d)

(b)

Lee et al, IEEE NEMS 2011, p. 37

(e)

(c)

(f)

Si

SiO2

Catalyst

Al2O3

Cr/Au
15

30.05.2013

Features of CNT NEMS technology
Shih‐Wei Lee

Matthias Muoth

small gate‐hysteresis
Lee et al, to be submitted to Nanotechnology

stable electrical contacts

*measurements do not necessarily correspond to the displayed CNFET SEM

30.05.2013

16

Resonator results
Shih‐Wei Lee Stuart Truax

DC‐tunable,  CNT resonators

Lee et al, submitted to APL

*measurements do not necessarily correspond to the displayed CNFET SEM

30.05.2013

17

Another promising CNT NEMS process
Matthias Muoth

piezoresistive, ultra‐clean,  suspended CNFETs

Muoth et al, MEMS 2013, p. 496

30.05.2013

20

Second CNT NEMS process

high resonator  density (106/cm2)

Ji Cao

Wladek Grabinski Sebastian Bartsch

precise CNT  alignment

hysteresis‐ free CNFETs

Cao et al, IEDM 2012

30.05.2013

31

Second CNT NEMS process
L=750 nm

CNT resonators  @RT

Ji Cao

Wladek Grabinski Sebastian Bartsch

[Cao12]

DC‐tunable  resonance

L=1 μm

higher Q  @77K

30.05.2013

32

CNT synthesis, integration and properties

30.05.2013

37

Growing carbon nanotubes

narrow diameter  distribution

Massimo Spina Arnaud Magrez

precisely‐located Co   catalyst nanoparticles

high yield  CNT growth

narrow diameter  distribution

30.05.2013

38

Growing carbon nanotubes
Massimo Spina Arnaud Magrez

localized CNT growth

T: 1000°C, Ethanol,  laminar flow of Ar (10 ln/h) + H2 (20 ln/h), 10min

nanoparticle deposition on MEMS

flow‐aligned CNT growth

30.05.2013

39

Clamping and tribology at contacts
Simone Schürle Manish K. Tiwari

in SEM  manipulation

in TEM  manipulation

Lateral Force  Microscopy

process for mech. clamping studies

30.05.2013

48

Clamping and tribology at contacts
Simone Schürle Manish K. Tiwari

~85 nm defl.  ~1.4% strain  (L  ~1m)

~150 nm defl.  ~4.4% strain

unclamped CNTs

CNTs clamped w EBID Pt

30.05.2013

49

Chemisorption on CNTs
W. Andreoni O. Gröning

Jaap Kroes Fabio Pietrucci

STM/STS of O on CNT

ab initio DFT

30.05.2013

60

Interface electronic circuits

30.05.2013

72

System Topology & Implementation

interface  circuit  topology

Christian Kauth

Marc Pastre

front‐end  electronics
noise

gain

30.05.2013

73

System Topology & Implementation

interface  circuit  topology

Christian Kauth

Marc Pastre

feedback IC

30.05.2013

74

System Topology & Implementation

interface  circuit  topology

Christian Kauth

Marc Pastre

actuator  drive

30.05.2013 09.04.2013

75

System assembly

30.05.2013

89

Through‐Silicon‐Vias
Teru Akiyama Danick Briand Rokhaya Gueye

high‐T resistant  Ta/Pt TSVs

ohmic contacts

RF TSVs

system integration  concept

30.05.2013

90

Cap wafer and stud connections
Teru Akiyama Danick Briand Rokhaya Gueye

encapsulation  process

Eutectic bonding,  T=415°C, P=1100mbar,  t=30min

CMOS – NEMS  assembly

system integration  concept

Stud bumps technology by Hybrid S.A

30.05.2013

91

Additional information and technical details

For more information please consult any of the 7 CabTuRes posters

30.05.2013

10 9

The CabTuRes team thanks you!

Group picture on 14.10.2009 at ETH Zurich
11 0

30.05.2013