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次波長結構之漸進式折射率透鏡﹝GRIN Lens﹞之設計與優化

林宇仁 1, 蔡維志 2, 林暉雄 3, 周曉宇 4


1
行政院國科會精密儀器發展中心, yjlin@pidc.gov.tw
2
國立中央大學光電科學研究所, wctsai@ios.ncu.edu.tw
3
行政院國科會精密儀器發展中心, franklin@pidc.gov.tw
4
行政院國科會精密儀器發展中心, tony@pidc.gov.tw

Keywords: 次波長﹝subwavelength﹞、時域有限差分法﹝Finite Difference Time Domain-FDTD﹞、漸


進式折射率透鏡﹝GRIN Lens﹞、基因演算法﹝Gene algorithm﹞、相位延遲﹝phase delay﹞
一、摘要
本文中使用多種演算法來進行次波長漸進式折射率透鏡﹝GRIN Lens﹞之設計與優化,首先使用等效
介質理論來進行元件的初始設計。其次時域有限差分法﹝Finite Difference Time Domain-FDTD﹞來重
建次波長光學元件之光場分佈,利用光的相位延遲反推其等效之折射率。再來將使用基因演算法進行元
件的佳化設計,最後再使用時域有限差分法重建元件之光場分佈,以計算該元件之聚焦效率。
二、理論基礎
近年來由於半導體製程技術的進步,使得元件的加工線寬已經可以小於波長的等級,當光學元件的加
工線寬小於波長,其物理現象會有一些改變,比較常見的應用是次波長光柵,該應用可以用於元件表面
的高穿透或是高反射的現象[1][2],甚至是對不同的極化光有不同的穿透與反射率[3][4]。在分析上述
的現象使用到一種理論,就是等效介質理論[5][6][7],該理論是將此次波長結構等效為一新折射率的薄
膜,膜的厚度與次波長結構的深度相同,其折射率則由結構的週期與其工作週期與入射波長決定,藉由
調變週期與其工作週期與入射波長,即可調變出不同的等效介質﹝等效折射率﹞。
本文中還使用到時域有限差分法﹝Finite Difference Time Domain-FDTD﹞[8] [9]來重建次波
長光學元件之光場分佈,由於元件的線寬小於波長,一般的光學設計軟體已無法模擬該次波長漸進式折
射率透鏡,必須使用時域有限差分法。一般的時域有限差分法大多把問題分解成 TE 波與 TM 波兩部份,
但本文中的時域有限差分法是以波動方程為出發點的時域有限差分法,此方法將只考慮光的能量大小而
忽略其電磁場的效應,如此可以節省計算的時間,又因為本文中模擬的材質為介電質材料,使用波動方
程時域有限差分法已足夠。
等效介質理論所計算出之折射率使用於光波穿透或是光波反射元件時有一定的精確度,不過當使用
在折射元件時還有些誤差,必須使用更精確的方法決定次波長結構所等效之折射率。在此使用相位延遲
的方式反推其等效之折射率。
在設計的過程中希望得到最佳化的結果,將使用基因演算法[10][11]進行設計的最佳化。
三、理論簡介
首先介紹等效介質理論

n1 : n air
n 2 : n sub
h : etching depth n3 = neff 即為等效之折射率
d : grating period
f : filling factor ; 0 < f < 1
λ : incident wavelength
E = (0, E y ,0)
TE mode: (1)
H = ( H x ,0, H z )
對 TE 模態解 Maxwells’s equations 電磁波方程式:
∇ × E = −iwµH
(2)
∇ × H = iwεE − J (r )
得到 TE mode 的有效折射指數,
1
 1 d 
2
2
2

nTE = n02TE +  π f (1 − f ) ⋅ (n22 − n12 )  (3)


 3 λ  
where n0TE = [(1 − f ) ⋅ n12 + f ⋅ n 22 ] 2
1
(4)
相位延遲反推折射率是將光打入一介質中,由於介質會使光速減慢,由這光速減慢的程度即可計算
出介質之折射率。
基因演算法為眾多優化法中的一種,會選擇該方法是因為,基因完離散的訊號,與所設計的元件相
符,基因為二進位,所設計的元件也為二進位,基因演算法在疊代的過程中,保證往最佳化方向前進。
種種優點使我們選用基因演算法來進行最佳化設計。
時域有限差分法(Finite Difference Time Domain,FDTD)為 Yee 於 1966 年時所提出計算電磁場的
數值方法。其原理是將馬克斯威爾方程式(Maxwell’s equations)中兩個微分形式的旋度方程式以差分
的方式做離散化,得到適合用於電腦上計算的方程式,再以電場、磁場交替計算的跳步(leapfrog)方式,
可以得到在不同時間下整個空間的電磁場分佈。
波動方程時域有限差分法由純量的波動方程式開始
n2 ∂ 2
∇2Ψ − Ψ=0
c 2 ∂t 2 (5)
將上述的方程式用差分的方式改寫
 δ x2 + δ y2 + δ z2  n
Ψ n +1 (i, j , k ) = 2 1 −  Ψ (i, j , k ) − Ψ n −1 (i, j , k ) + δ x [ ]
2

Ψ n (i + 1, j , k ) + Ψ n (i − 1, j , k )
 n (i, j , k ) 
2
n (i, j , k )
2

δy
[ ]
2
δ
[ ]
2

+ 2 Ψ n (i, j + 1, k ) + Ψ n (i, j − 1, k ) + 2 z Ψ n (i, j , k + 1) + Ψ n (i, j , k − 1)


n (i, j , k ) n (i, j , k ) (6)
1
∆t ≤
c∆t c∆t c∆t 1 1 1
+ 2 + 2
δx = δy = δz = v max
∆x , ∆y , ∆z , ∆x 2
∆y ∆ z
其中 (7)
本文中所提到的等效介質理論適用於高穿透或是高反射之設計時,若將其應用於聚焦元件,其現象
會有些許的不同,必須找尋一種有效率的方法驗證其等效的折射率是否正確,使用時域有限差分法重建
光場,檢視其光場是否正確。
四、研究結果
一般而言一個光柵的週期大約要有八個週期以上才會有光柵的效應,先將透鏡以 1um 為一單位分
割,一個單位即為一組光柵,一組光柵有八個週期,光柵的週期 d 即為 1 µm 、 d = 0.125µm 。為了程式
8
的簡便,光柵的工作頻率 f﹝filling factor﹞分為八種分別由 1 d 〜 8 d ,這樣有八種折射率的組合可以
8 8
使用。利用等效介質理論即可得知這八個光柵等效出的折射率為何,如下表一。
表一,折射率與工作週期之對應
f 0.125d 0.25d 0.375d 0.5d 0.625d 0.75d 0.875d 1d
n 1.0771 1.1506 1.2192 1.2826 1.3412 1.3960 1.4483 1.5

表二,折射率與工作週期之對應
f 0.125d 0.25d 0.375d 0.5d 0.625d 0.75d 0.875d 1d
n 1.0547 1.1504 1.2227 1.2871 1.3320 1.3672 1.4336 1.5
圖一、左圖為 f=8、右圖為 f=7 之相位
由圖一可見,光經過不同 filling factor 之次波長結構後,光束會在不同的 time step 到達檢查點,這
就是相位延遲,由此可計算出等效之折射率,見表二。
經由相位延遲所得之折射率比等效介質理論精確,但卻比較浪費時間。
由此八種組合必須由三個基因來決定,三個基因為一個染色體,一個透鏡有五個染色體,15 個基因。
由於時域有限差分法也很浪費時間,在使用基因演算法時並不是由次波長結構進行優化,而是直接只定
其等效之折射率進行優化。待優化完成後再將折射率對應之次波長結構進行光場重建以節省時間。
五、結論
使用基因算法找尋元件的最佳化結果,其最佳化後元件之基因為﹝0 0 0 1 1 1 1 1 0 0 0 1 1 0 1﹞,
其光場分佈如圖二所示;將最佳 GRIN Lens 結果使用等效介質理論將相對應之折射率使用光柵等效,其
折射率分佈如圖三所示。

圖二、光場重建圖 圖三、光場重建圖
相關參數為波長 λ = 0.5um 、光柵週期 d = 0.125um 、光柵深度 D = 0.5um ,元件總厚度為 1um 、元
件之直徑為 10 µm 。可以由光場重建圖看到以這種方式即可設計 GRIN Lens 不過光場圖還是有些許的不
同,這可能因等效介質理論所等效出的光柵還不是最佳化的結果,還有待後續的探討。
六、REFERENCES
[1] D. H. Raguin and G. M. Morris, ‘‘Antireflection structured surfaces for the infrared spectral region,’’ Appl.
Opt. 32, 1154–1167 (1993).
[2] Eric B. Grann, M. G. Moharam, Drew A. Pommet,” Artificial uniaxial and biaxial dielectrics with use of
two- dimensional subwavelength binary gratings,” JOSA A, Vol. 11 Issue 10 Page 2695 October (1994).
[3] W. Yu, T. Konishi, Eds., “Polarization-multiplexed diffractive optical elements fabricated by subwavelength
structures,” APPl. Opt. 41, pp. 96-100 (2002).
[4] Lara Pajewski, Riccardo Borghi, Eds., “Design of a Binary Grating with Subwavelength Features that Acts
as a Polarizing Beam Splitter,” Applied Optics, Vol. 40 Issue 32 Page 5898 November (2001).
[5] M. Born and E. Wolf, Principles of Optics. Pergamon, New York (1980).
[6] Ph. Lalanne and D. Lemercier-Lalanne, “On the effective medium theory of subwavelength periodic
structures,” J. Mod. Opt. 43, 2063–2085 (1996).
[7] Philippe Lalanne and Jean-Paul Hugonin “High-order effective-medium theory of subwavelength gratings in
classical mounting: application to volume holograms,” JOSA A, Volume 15, Issue 7, 1843-1851 July
(1998).
[8] K. S. Yee, “Numerical solution of initial boundary value problems involving Maxwell’s equations in
isotropic media,” IEEE Trans. Antennas Propagat., Vol. AP-14, pp.302-307, (1966).
[9] W. P., S. T., Eds., “A Scalar Finite-Difference Time-Domain Approach to Guide-Wave Optics,” IEEE
Photonics Technology Letter, Vol. 3, pp.524, (1991).
[10] M Gen and R Cheng, Genetic Algorithms and Engerneering Design, John Wiley & Sons (1997).
[11] Lindfield, George and John Penny, Numerical Methods Using MATLAB, 2nd Edition, Prentice Hall
(1999).