You are on page 1of 12

Lilia Ceban

Micromotoare realizate in tehnologie MEMS

Introducere
Aparitia tehnologiilor de microfabricatie in ultimele decenii a dus la nasterea unui domeniu incitant si revolutionar numit tehnologia microsistemelor in Europa, sau Sisteme-Micro-Electro-Mecanice (MEMS) in Statele Unite si in alte parti ale lumii. Pentru MEMS, “micro” stabileste o scara dimensionala, “electro” sugereaza fie electricitate fie electronica(sau ambele), si “mecanic” sugereaza parti mobile de un anumit tip. Termenul MEMS a crescut in zilele noastre incat cuprinde domenii variate: termic, fluid, optic, biologic, chimic, magnetic si multe altele. Dispozitivele MEMS sunt in mod uzual produse utilizand tehnologii de procesare bazate pe litografie, in general descrise ca“microthenologii in masa sau microtehnologii de suprafata”, imprumutate din bine stabilitul proces tehnologic al circuitului integrat (IC). In microtehnologiile in masa, dispozitivele mecanice sunt realizate direct din materialul de substrat (ex: siliciu monocristalin), pe cand in microtehnologiile de suprafata, sunt realizate din straturi de materiale depuse pe suprafata superioara a substratului. Multi oameni in domeniul MEMS impartasesc aceasi credinta ca dinamicile structurale sunt foarte importante in proiectarea dispozitivelor MEMS si care furnizeaza atat oportunitati cat si provocari pentru cercetatorii din domeniu. Deja, MEMS a stabilit recorduri in succesele comerciale care furnizeaza cazuri impresionante pentru dezvoltarea viitoare. Aplicatii comerciale de succes includ accelerometrele airbagurilor, capete de imprimare termice si senzori de presiune. In plus, sunt un numar destul de mare de alte produse care au atins etapa finala de dezvoltare si sunt gata sa stabileasca o baza de clienti. Aditional,un numar de zone noi de cercetare au iesit in evidenta recent care profita de avantajele diverselor functii noi permise de MEMS, exemplu intrerupatoare microoptice, sisteme biomedicale si altele.

Page 1

sau chiar nano ce livreaza medicamente la zona de durere si le descarca acolo cu niste micropompe. Micromotoarele pot fi.cum ar fi endoscoape. Deasemenea micromotoarele pot fi utilizate pentru dezvoltarea de instrumente folosite in microchirurgie . de asemenea. propulsie şi acţionare Page 2 . precum şi dezvoltarea micropompelor şi microvalvelor cu numeroase aplicaţii de la livrare de combustibil şi probe biologice. taietori şi apucatori. utilizate in micro asamblare. pana la racire şi instrumente analitice.Lilia Ceban Micromotoare realizate in tehnologie MEMS Micromotoare realizate in tehnologia MEMS In prezent se fac o multime de cercetari asupra micromotoarelor realizate in tehnologia MEMS -.Figura 1 -- Am putea sa ne imaginam un motor de 100 nm care dirijeaza roboti micro.

Page 3 . permitandu-le astfel straturilor structurale sa se miste si sa se roteasaca. Deoarece dimensiunile sunt atat de mici . Mai degraba componentele sunt construite pe un substrat semiconductor prin mascare si gravurare. cu doar cativa volti -.Lilia Ceban Micromotoare realizate in tehnologie MEMS Micromotoare electrostatice Micromotoarele electrostatice sunt de dimensiunea grosimii firului de par si depind de atractia electrostatica dintre polul statator si cel rotor.se pot construi campuri electrice foarte inalte intre polii motorului. iar apoi fiecare strat este expus uniu postproces fara mascare.Figura 2 -Micromotorulotorul nu este asamblat din componente individuale.

cum ar fi microsenzorii. Potentialele de tensiune sunt plasate pe statoarele motorului (de obicei. -. defazate secvential cu 120 de grade in jurul statoarelor). micromotoarele electrostatice sunt potrivite pentru aplicatiile de mare viteza. Page 4 .Lilia Ceban Micromotoare realizate in tehnologie MEMS In urmatoarea figura este prezentata imaginea la un microscop electronic cu baleiaj (SEM) a unui micromotor polielectrostatic remarcabil fabricat din siliciu policristalin prin tehnici microtehnologice de suprafata . care sunt la distante egale in jurul perimetrului rotorului (de asemenea. microactuatorii. iar aceste tensiuni aplicate pe statoare cauzeaza rotorul sa se invarta in jurul rulmentului la viteze unghiulare extrem de mari. switch-urile optice si mass-media de stocare a datelor. indicat in albastru). unita la substrat prin rulmentul central (care este prezentat in rosu).Figura 3 -- Elementul central de rotatie al motorului (rotorul) este structura circulara din mijloc (indicata in albastru). In general vorbind.

asa cum reiese din -. in timp ce stratul hidrofob de Cytop fixeaza starturile rulmentului intr-o locatie fixa.Figura 6a-. Energia oarecum ridicata a sticlei si a siliconului permite umezirea suprafetelor expuse de catre rulmentul lichid.Figura 5 -.este reprezentat un desen schematic al motorului cu rulment lichid si al sistemului experimental folosit pentru a actiona magnetic micromotorul : -.: Page 5 .Lilia Ceban Micromotoare realizate in tehnologie MEMS Micromotorul cu rulment lichid fabricat in tehnologia MEMS In -.Figura 5 -- Geometria rulmentului este definita prin inscriptionarea pe suprafetele rotorului si statorului a unui strat hidrofob amorf de fluorocarbon cu grosimea de 2 micrometri.

Lilia Ceban Micromotoare realizate in tehnologie MEMS -. unghiul de contact al rulmentului lichid se modifica si forta rezultanta datorata tensiunii superficiale este: Fres =√2RγLV (θR −θL) unde γLV este tensiunea superficiala a fluidului. studiata in acest caz variaza intre 20 si 200 micrometri .Figura 6 -- Efectele tensiunii de suprafata asigura centrarea si capacitatea de transport a sarcinii. h. Page 6 .mult mai mica decat lungimea capilarului de lichide si aceasta pentru a se asigura o tensiune de suprafata mai mare decat forta gravitationala in interiorul fluidului. Ca urmare a unei forte transversale aplicata marginii drepte a roturului (in figura b). Grosimea rulmentului. θ este unghiul de contact iar R si L reprezinta unghiurile de contact la marginile dreapta si stanga ale rotorului iar R reprezinta raza rulmentului.

Fpulloff.Lilia Ceban Micromotoare realizate in tehnologie MEMS Pentru o miscare intr-o directie normala la fata rotorului. Proprietati statice de frecare ale rulmentului au o origine mult mai complicata. asa cum este ilustrat in figura c si d. depinzand de ambele curburi ale marginii rulmentului si de rugozitate creata de imperfectiunile limitelor rulmentului. sau o forta de adeziune. Page 7 . rezultand din ambele presiunea Laplace si tensiunea de suprafata : F normal 2R_LV h = cosθ + 2π RγLV sinθ unde h reprezinta grosimea rulmentului. Fsup. Unghiul de contact dintre rulmentul lichid si suprafata. exista o forta de ridicare. θ se presupune a fi acelasi la toate marginile discului si este critic in determinarea fortelor care actioneaza asupra rotorului.

Dupa coacere intensa la 110 C timp de 10 minute. ◦ Page 8 . Stratul subtire de Cytop este apoi depus in caseta cu cu 1500 rotatii pe minut. Fotorezistorul pozitiv cu grosimea de 3 μm este depus prin rotatie modelat prin fotolitografie pentru a defini regiunea circulara de izolare pentru rulmentul lichid. in timp ce rotorul este un disc cu diametrul de 10 mm realizat dintr-o caseta de siliciu cu grosimea de 300 de μm. -.Lilia Ceban Micromotoare realizate in tehnologie MEMS Procesul de fabricatie Statorul este fabricat dintr-un substrat de sticla cu groasimea de 700 μm. Cytopul inutil si modele fotorezistivive sunt eliminate in acetona. apoi clatite in metanol si apa distilata.prezinta procesul de fabricatie a statorului in care un proces de decolare a fotorezistorului este folosit pentru a modela stratul de Cytop care defineste forma si dimensiunea rulmentului lichid.Figura 7 j-m -.

Pe partea de sus a casetei este gravat un transeu cu ajutorul unei gravuri ionice profund reactive. astfel definindu-se carcasa magnetului. folosindu-se un fotorezistor cu grosimea de 10 μm si gravura ionica profund reactiva este folosita pentru a grava prin caseta cu grosimea de 300 de μm. Page 9 . Pentru a se asigura concentricitatea rulmentului lichid asupra rotorului. Pe partea inferioara a casetei este conturat mai intai un strat de Cytop.Lilia Ceban Micromotoare realizate in tehnologie MEMS Fabricatia rotorului incepe cu o caseta de siliciu cu doua laturi. forma cilindrica a rotorului este litografic aliniata la modelul rulmentului pe partea din spate a casetei.

Lilia Ceban Micromotoare realizate in tehnologie MEMS In -. Performantele mecanice ale micromotorului cu rulment lichid au fost caracterizate folosind actionarea magnetica pentru a roti rotorul. in timp ce amplitudinea campului ofera control asupra cuplului aplicat.este reprezentata partea laterala si inferioara a dispozitivului in intregime. determina rata rotatiei motorului.Figura 8 a --. Un cub magnetic este centrat si montat in partea superioara a rotorului : -. ◦ Page 10 . la amplitudini egale. Doua perechi ortogonale de bobine Helmholtz sunt conduse cu curenti defazati cu 90 . Aceasta imagine evidentiaza structura rulmentului lichid.Figura 8 -. fiind folosita tehnica de alegere si plasare in vid. Vederea de jos este obtinuta prin statorul de sticla concentrandu-se pe rulment lichid si partea de jos a rotorului.Figura 8 -- In -. Ω. vedere laterala a rotorului asamblat prezinta rulmentul lichid colorat in rosu. pentru a crea un camp magnetic rotativ cu magnitudinea uniforma in campul B = 1 mT Frecventa semnalului bobinei.

Lilia Ceban Micromotoare realizate in tehnologie MEMS Micromotorul MEMS trifazat. pentru ceasuri -. Acest micromotor bazat pe tehnologia MEMS produce de 3 ori mai multa energie decat un motor obisnuit si difera de un motor electrostatic MEMS. Fabricatia a avut loc in 24 de operatiuni. simultan. Page 11 . navigatia si alte aplicatii sa se ghideze dupa o ora absolut exacta. acesta fiind un system drive electromagnetic care foloseste un magnet fix si 3 faze in locul unei singure faze. aceasta metoda producand componente de un cost mai redus decat metodele obisnuite. Partile fixe ale micromotorului au fost gravate in silicon in cea mai mare parte. astfel facand telefonia.Figura 4 -- La 16 august 2011 in laboratorul Universitatii Politehnice Federale din Lausanne cercetatorii au construit un micromotor electromagnetic trifazat care ar putea sa faca ceasurile de 3 ori mai eficiente.

un numar de zone noi de cercetare au iesit in evidenta recent care profita de avantajele diverselor functii noi permise de MEMS. sisteme biomedicale si altele. Micromotoarele pot fi utilizate pentru dezvoltarea de instrumente folosite in microchirurgie. exemplu intrerupatoare microoptice. propulsie şi acţionare Page 12 . rezultand o durata de viaţa mai mare. Aditional.. de asemenea. pana la racire şi instrumenteanalitice. MEMS a stabilit recorduri in succesele comerciale care furnizeaza cazuri impresionante pentru dezvoltarea viitoare. sunt un numar destul de mare de alte produse care au atins etapa finala de dezvoltare si sunt gata sa stabileasca o baza de clienti.Lilia Ceban Micromotoare realizate in tehnologie MEMS Concluzii Tehnologia MEMS prezinta o rata de scanare mai rapida. Deja. taietori şi apucatori. Micromotoarele pot fi. In plus. utilizate in micro asamblare. precum şi dezvoltarea micropompelor şi microvalvelor cu numeroase aplicaţii de la livrare de combustibil şi probe biologice. capete de imprimare termice si senzori de presiune. Aplicatii comerciale de succes includ accelerometrele airbagurilor. durabilitate inbunataţita şi nu exista forţe de frecare intre componentele mecanice. cum ar fi endoscoape.