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Captulo I

Alto Vaco

CAPITULO I

ALTO VACO

La Fsica del alto vaco es en realidad la Fsica de los gases a bajas


presiones. En efecto, en 1958, la American Vacuum Society, defini vaco como un
determinado espacio lleno con gas a presiones menores que la presin atmosfrica.
Naturalmente, cualquier regin del espacio a unos kilmetros por encima de la
superficie terrestre puede considerarse un sistema de vaco. Sin embargo, en este libro
nos interesa el vaco obtenido artificialmente al evacuar un recipiente (una cmara)
mediante un sistema de bombas. Visto as, podemos decir que la ciencia y tecnologa
del vaco nace en 1654 cuando Otto von Guerick logra evacuar los clebres hemisferios
de Magdeburgo. Los avances de esta rama del conocimiento se desarrollan en la primera
mitad del siglo XX con los siguientes inventos: la bomba de paletas rotatorias por
Wolfgang Gaede en 1905, el vacumetro de conductividad trmica por Marcelo Pirani
en 1906, la bomba de difusin de aceite por Kenneth Hickman en 1936, el vacumetro
de ionizacin en fro por F.M. Penning en 1937 y la bomba turbomolecular por W.
Becker en 1958.
En este captulo

precisamos los rdenes de magnitud de presin

correspondientes, revisamos algunos conceptos bsicos de la teora cintica de gases y


dinmica de fluidos. Tambin describimos los fundamentos de operacin de las bombas
de vaco y de los vacumetros, es decir, las mquinas necesarias para conseguir tales
bajas presiones y los instrumentos para medirlas

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I.1. CONCEPTOS BSICOS


Nos referimos aqu a los conceptos de la teora cintica de gases que
describen el comportamiento hidrosttico de los sistemas de alto vaco, as como, a
conceptos provenientes de la dinmica de fluidos tales como flujo y conductancia.
Tambin a conceptos ms propios de la tecnologa de alto vaco como degasificacin y
velocidad de bombeo.

I.1.1. PRESION, UNIDADES Y ORDENES DE MAGNITUD


La presin, P, que una fuerza ejerce sobre una superficie se define como la
razn
Fn
A

(1.1)

donde Fn es la componente de la fuerza perpendicular a la superficie y A es el rea de la


superficie.
Las paredes de un recipiente que contiene un lquido o un gas (un fluido) en
reposo, as como las superficies de

cualquier cuerpo sumergido en un fluido,

experimentan una presin llamada presin hidrosttica. En los lquidos la fuerza que
origina la presin hidrosttica es el peso de los lquidos y en los gases es una
consecuencia del cambio de momentum que experimentan las molculas al chocar con
la superficie de los cuerpos.
La unidad de presin en el sistema internacional (SI) es el Pascal (Pa)
1 Pa = 1 N/m2
Una buena referencia para comprender las definiciones de las unidades de
presin y los rdenes de magnitud en sistemas de vaco es la presin que el aire que
rodea a la tierra ejerce sobre

la superficie de los cuerpos sobre ella. La presin

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atmosfrica a 273 K a nivel del mar es 101.3 kPa, es decir, aproximadamente, 105 Pa.
Un mltiplo importante del pascal es, entonces, el bar ( 1 bar = 105 Pa).
La presin atmosfrica fue medida por primera vez por Evangelista
Torricelli, en 1643, usando un instrumento llamado barmetro, el cual est basado en el
resultado de que la diferencia de presin hidrosttica, P, entre dos puntos dentro de un
lquido est dada por

g h,

(1.2)

donde es la densidad del lquido usado, generalmente mercurio, g es la aceleracin de


la gravedad en el punto de la tierra donde se hace el experimento y h es la diferencia de
altura. Se demostr experimentalmente que la presin atmosfrica es equivalente a la
presin que ejerce una columna de mercurio de 760 mm de altura. La presin
correspondiente a una diferencia de altura de 1 mm de Hg constituye una unidad de
presin, ms bien histrica, denominada Torr. El siguiente cuadro muestra la relacin
entre las diferentes unidades de presin. En este libro tratamos de usar la unidad del SI.
1 atmsfera = 1.013 x 105 Pa
bar = 105 Pa
1 atmsfera 1 bar = 1000 mbar
1 atmsfera = 760 Torr
1 mbar 0.76 Torr
1 Torr = 131 Pa
1 mbar = 100 Pa
Cuando decimos alto vaco nos referimos a sistemas cuya presin est en el
orden de 10-5 a 10-7 mbar, es decir, de 10-3 a 10-5 Pa. Tambin puede decirse, sistemas
de alto vaco son aquellos con valores de presin entre 10-8 y 10-10 veces el valor de la
presin atmosfrica. De los sistemas a presiones menores que 10-8 mbar se dice que son

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sistemas de ultra alto vaco, y podemos decir de los sistemas a presiones mayores que
10-4 mbar, sistemas de vaco pobre.

I.1.2. VELOCIDADES DE LAS MOLCULAS DE UN GAS IDEAL


Un gas real est constituido por un gran nmero N de molculas, del orden
de 1020, que se reparten una energa total U. Hay muchas maneras de repartirse la
energa respetando las leyes de conservacin:
N = n1 + n2 + n3 + . . .
U = n1E1 + n2E2 + n3E3 + . . . ,
donde E1, E2, E3, ...son los valores de energa que individualmente puede tomar cada
molcula y n1, n2, n3, . . .

son las poblaciones (nmero de molculas) con los

respectivos valores de energa. La teora estadstica de Maxwell Boltzmann [ref. 1]


demuestra que la particin ms probable es aquella en la cual el nmero de molculas
con valores de energa entre E y E + dE est dado por:

dN n(E) dE A e

E/k B T

dE ,

(1.3)

siendo A una constante de normalizacin ( n(E) dE N ).


Un gas real a bajas presiones y densidades pequeas puede ser considerado
como un conjunto de N partculas de volumen despreciable que no interaccionan entre
s salvo, eventualmente, por colisiones elsticas. En estas condiciones, la energa de
cada molcula es slo energa cintica. A un sistema como ste se le llama gas ideal.
La teora estadstica de Maxwell Boltzmann permite deducir directamente que el
nmero de molculas con velocidades entre v y v + dv est dado por:

dN n ( v) dv N

m
v2 e
2 k BT

2
- mv
2 k BT

dv

(1.4)

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donde m es la masa de cada molcula y kB = 1, 38 10-23JK-1 es la constante de


Boltzmann.
El valor medio del cuadrado de la velocidad, que se define por la ecuacin:

v2

2
0 v n (v) dv

0 n (v) dv

(1.5)

resulta, en el caso del gas ideal:


3 kB T
m

v2

(1.6)

y teniendo en cuenta el resultado experimental de que para un gas ideal las variables de
estado presin (P) , volumen (V) y temperatura (T) se relacionan por la ecuacin del
gas ideal:
PV = NkBT

(1.7)

podemos escribir tambin:


v

3P V 3P

mN

(1.8)

Una cantidad muy usada para tener una idea del movimiento de las
molculas de un gas es la velocidad cuadrtica media, vrms,
3kBT
2
vrms v
m

3RT
M

3P

(1.9)

donde R = 8,31 J/mol K es la constante universal de los gases y M es la masa


molecular.
En un recipiente que contiene oxgeno a temperatura ambiente (300 K) la
velocidad cuadrtica media de las molculas es 483 m/s y si el gas es nitrgeno la
velocidad cuadrtica media es 516 m/s. El aire contiene aproximadamente 80% de
nitrgeno y 20% de oxgeno y puede establecerse que la velocidad cuadrtica media es
490 m/s.

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Experimentalmente se pueden hacer medidas de las distribuciones de

velocidades moleculares. Dos ejemplos de estos experimentos son: el realizado por


Esterman, Simpson y Stern, y el de Zartman y Ko, por otro lado, [ref. 2]. Estos
experimentos confirman la hiptesis de la distribucin Maxwell Boltzmann.

I.1.3. TRAYECTORIA LIBRE MEDIA


La trayectoria libre media ( ) es la longitud que en promedio recorre una
molcula entre dos choques sucesivos. Este es un parmetro importante en el diseo de
sistemas tales como aceleradores de partculas o sistemas de deposicin de pelculas
delgadas donde se necesita que partculas microscpicas tales como electrones, iones o
molculas viajen distancias considerables con una cantidad mnima de obstculos.
Para hacer una estimacin del valor de podemos suponer que las
molculas son esfricas de dimetro d. Dos molculas chocarn si el centro de una
molcula se aproxima una distancia menor que d de la otra. Para simplificar el clculo
podemos suponer que una molcula tiene dimetro 2d y que todas las otras molculas
tienen dimetro despreciable (partculas puntuales).
Si es la trayectoria libre media podemos decir que en promedio, en el
volumen d 2 , hay encerrada una partcula, es decir:
N
1
V

d2

o, usando la ley universal de los gases ideales,


kB T
d2

1

P

(1.10)

A temperatura ambiente (300 K) y considerando que d es aproximadamente


5 podemos estimar la trayectoria libre media usando la siguiente frmula:

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5.3 10 3
P

(1.10 a)

donde resultar en metros si P se expresa en Pascales.


As, a la presin atmosfrica ( P = 1 bar = 105 Pa ), una molcula recorre
en promedio una distancia = 530 antes de experimentar un choque con otra
molcula. En un vaco pobre (P = 10-3 mbar = 0.1 Pa), recorre = 5.3 cm. En alto vaco
( P = 10-6 mbar = 10-4 Pa), recorre = 53 m; y en ultra alto vaco ( P = 10-9 mbar = 10-7
Pa), = 53 km.
Considerando una velocidad cuadrtica media vrms = 500 m/s, podemos
estimar que a la presin atmosfrica una molcula experimenta un choque cada 10-10 s y
en alto vaco (10-6 mbar) una molcula experimenta un choque cada 0.1 segundo.

I.1.4. RAPIDEZ DE INCIDENCIA MOLECULAR


Conocer el nmero de molculas que inciden sobre una superficie en la
unidad de tiempo es un tema muy importante tanto en la tecnologa de alto vaco como
en la produccin de pelculas delgadas. Aqu deduciremos una expresin para calcular
el nmero de molculas de un gas ideal en equilibrio que inciden sobre la unidad
de rea de una superficie en la unidad de tiempo.
Sea dNx el nmero de molculas con velocidades entre vx y vx + dvx. Las
molculas que pasan a travs de la superficie de rea A entre los instantes t y t + t son
las que en el instante t estn encerradas en el volumen Avx t, es decir,

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dN x
A v x t
V
Vx t

vx

Fig. 1.1 Esquema para obtener una relacin entre


el flujo de molculas y la velocidad de las
molculas.

La contribucin al flujo de estas molculas es


dN x
vx
V

(1.11)

Por otro lado, usando la ec. (1.4) puede demostrarse que

dN x

N (

m
)1 / 2 e
2 k B T

m v 2x
2 k BT

dv x

(1.4a)

y reemplazando el valor de dNx de la ec (1.4a) en la ec (1.11) e integrando, obtenemos:


2.09 x 10 23

P
MT

molculas
m2 s

donde P es la presin expresada en pascales y M es la masa molecular del gas.


Por ejemplo para gas nitrgeno a presin atmosfrica y 300 K

2.8 10 27

molculas
m2 s

2.8 1019

molculas
m2 s

y a una presin de 10-4 Pa

(1.12)

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I.1.5. REGMENES DE FLUJO ESTACIONARIO


La discusin anterior sobre la teora cintica de gases es vlida en
condiciones hidrostticas, es decir, no hay flujo neto de gases. Cuando hay un flujo
neto, es conveniente distinguir entre regmenes diferentes de flujo. Cuando un sistema
de vaco como el de la figura 2, por ejemplo, comienza a funcionar, el flujo neto de
molculas a travs de una seccin transversal en general vara con el tiempo pero
despus de unos segundos se alcanza una situacin tal que el flujo neto de molculas a
travs de cualquier seccin transversal permanece constante. Decimos entonces que
estamos en una situacin de rgimen estacionario.
El criterio para distinguir entre los regmenes estacionarios est basado en la
magnitud del nmero de Knudsen, Kn, que se define como la razn del dimetro de la
cmara o tubera, Dt , a la trayectoria libre media,

Kn

Rgimen

Dt

(1.13)

Nmero de Knudsen

Flujo molecular

Kn

Fujo intermedio

1 < Kn

< 110

Kn

> 110

Flujo viscoso

< 1

El rgimen molecular ocurre a muy bajas presiones, cuando la trayectoria libre


media es grande comparada con las dimensiones de la cmara ( > Dt ). Las
molculas se comportan independientemente una de otra.

Esta es la situacin en

equipos de anlisis tales como espectrmetros Auger, en los microscopios electrnicos,

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en equipos de deposicin por evaporacin trmica y otras formas de deposicin donde


intervienen vapores obtenidos por medios fsicos (PVD).
En el otro extremo, cuando los valores de presin son del orden de la
presin atmosfrica, la trayectoria libre media es pequea ( Dt / 110 ) y las
molculas chocan ms frecuentemente entre s que con las paredes del recipiente. En
este caso se dice que tenemos un rgimen viscoso. Esta es la situacin, por ejemplo, en
muchos de los procesos de deposicin por reacciones qumicas de vapores (CVD).
El rgimen viscoso puede ser turbulento, cuando el flujo es irregular, o
laminar cuando el flujo es regular, sin remolinos, con velocidad nula cerca de las
paredes y mxima en el eje de la tubera.
Si el nmero de Knudsen toma los valores intermedios entre 1 y 110 se dice
que el rgimen es intermedio.
Las bombas mecnicas no son efectivas en el rgimen molecular, mientras
que las bombas de difusin y las turbomoleculares slo pueden trabajar en este rgimen.

I.1.6. GASTO, CAUDAL Y THROUGHPUT


La masa de gas por unidad de tiempo que pasa a travs de una superficie se
llama gasto
G

m
t

(1.14)

Haciendo un esquema como el de la figura 1.1, puede demostrarse que


G

Av

V
,
t

donde v es la velocidad del fluido, la densidad y V es el volumen de gas que pasa a


travs de la seccin transversal de rea A.

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Caudal se define como el volumen de gas que pasa a travs de una seccin

transversal
S

V
,
t

(1.15)

es decir, la relacin entre gasto y caudal queda establecida por la siguiente ecuacin.
G

(1.16)

Puesto que es ms sencillo medir la presin que la densidad del gas en un


punto dado del sistema y puesto que hay una relacin de proporcionalidad directa entre
densidad y presin, es conveniente definir una nueva cantidad para analizar los sistemas
de fluidos en movimiento. Se define Throughput, Q, a travs de una superficie por la
expresin:
Q

S P,

(1.17)

donde S es el caudal y P es la presin del gas en los puntos de la superficie. Throughput


es una medida indirecta del gasto, es decir, de la masa por unidad de volumen que pasa
a travs de una seccin transversal.

I.1.7. CONDUCTANCIA
Consideremos el sistema bsico de vaco de la figura 1.2. En rgimen
estacionario se establece una diferencia de presin entre la entrada de la bomba (b) y la
salida de la cmara (c). El throughput constante tiene el mismo valor a travs de
cualquier

seccin

transversal

del

tubo

de

conexin.

Puede

establecerse

experimentalmente la siguiente relacin entre el throughput y la diferencia de presin:


Q = C (Pc - Pb)

(1.18)

donde C queda definida como la conductancia del tubo de conexin, y Pc y Pb son las
presiones medidas en los puntos b y c.

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cmara

c
bomba
b

a la
atmsfera

Fig. 1.2. Sistema bsico de vaco

Si comparamos un sistema de vaco como el de la figura 1.2 con un circuito


elctrico, el throughput (Q) es equivalente a la corriente, la diferencia de presin (Pc Pb) es equivalente a la diferencia de potencial elctrico y la conductancia (C) vendra a
ser el anlogo del inverso de la resistencia elctrica.
En rgimen viscoso, que es el caso de sistemas de vaco pobre o algunas
lneas de alto vaco conectada a bomba mecnica (vaco previo), la conductancia
depende de los valores de

presin involucrados y de la geometra del elemento

conductor. En rgimen molecular, en el cual operan las bombas de difusin y


turbomoleculares, la conductancia de un elemento conductor depende slo de la
geometra del elemento, no depende de los valores de presin.
En algunos libros especializados [ref. 3, 4] se usan los mtodos de Hagen y
Poiseuille para calcular la conductancia de diferentes elementos en el rgimen viscoso,
as como los mtodos usados originalmente por Smoluchowsky [ref. 5], Knudsen [ref.
6] y Loeb [ref. 7] para calcular conductancias en regmenes moleculares. A
continuacin presentamos los resultados para tres elementos conductores:

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i)

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Conductancia de una abertura, para aire a 20C:
a)

En rgimen viscoso, en el rango 0,525 <

< 1,

20A
P
1 2
P1

C =

b)

P2
P1

En rgimen molecular:
C = 11,6 A

ii)

Conductancia de un tubo cilndrico de dimetro D


a)

En rgimen viscoso
C = 91

b)

D4
(P1 + P2)
L

En rgimen molecular
C = 12,1

iii)

D3
L

Conductancia de tubo cilndrico de radios interno R1, externo R2

y
longitud L
a)

En rgimen viscoso:
C = 1450 (

b)

P1 P2
L

2
) R04 R14 R02 R12 / log( R0 / R1 )

En rgimen molecular:
C = 12,1 ( D2 D1)2 (D1 + D2) (K0 /L)

donde los valores de K0 dependen de D1/D2 segn la siguiente tabla:

D1/D2

0,259

0,5

0.707

0.866

0,966

K0

1,072

1,154

1,254

1,430

1,675

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Cuando las conductancias se asocian en serie la conductancia del sistema es:
1
C sis

1
C1

1
C2

. . .

y cuando se asocian en paralelo es:


C sis

C1

C2 . . .

Es importante observar que aun cuando C, la conductancia de un tubo, y el


caudal S a travs de una seccin transversal tienen las mismas unidades, e inclusive
pueden tomar valores del mismo orden de magnitud, son dos conceptos diferentes. La
conductancia se refiere a un tubo o a un componente tubular del sistema, mientras que el
caudal se refiere a cualquier seccin transversal.

I.1.8. FUGAS, DEGASIFICACION Y RETROFLUJO


Cuando se quiere instalar un sistema de alto vaco lo ms importante es
tener cuidado en lograr un cerrado hermtico de la cmara y todas las partes que limitan
el sistema de vaco con la atmsfera (excepto, por supuesto, la abertura de salida de la
bomba mecnica, en la figura 1.2). Cualquier agujero, rendija o defecto en el sellado
entre dos partes del sistema dar lugar a la penetracin de aire de la atmsfera hacia el
interior del sistema. Esto es lo que llamamos fugas.
Pero, an cuando el sistema est hermticamente cerrado, es imposible
obtener presin cero. A parte de las fugas hay dos fenmenos que se oponen al vaco
perfecto: la degasificacin y el retroflujo.
La degasificacin es la emanacin de gases de las superficies de los
materiales dentro del sistema. Estos gases emanados pueden ser vapor de agua, oxgeno
u otros gases adheridos a las superficies internas de las paredes del sistema de vaco o

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tambin tomos de las superficies slidas que se liberan debido a las condiciones de
presin y temperatura.
Este fenmeno es ms importante a presiones del orden de 1 Pa o menores.
La degasificacin es el principal factor con respecto a la presin ltima que un sistema
puede alcanzar, asumiendo que las fugas estn ausentes. El nivel de degasificacin es
reducido manteniendo el sistema limpio y seco y con una apropiada seleccin de
materiales para la construccin de la cmara. El diseo de un sistema de ultra alto vaco
incluye la posibilidad de eliminar capas de vapor de agua y otros gases adheridas a las
paredes de la cmara y tuberas del sistema por calentamiento a temperaturas de al
menos 150C.
Para las aplicaciones que describimos en este libro este nivel de limpieza no
es necesario. Sin embargo, las componentes del sistema deben ser conservadas limpias
(no huellas digitales u otros), secas y aisladas del ambiente (la mayor fuente de
humedad) tanto como sea posible.
Un concepto fsico que caracteriza la degasificacin de los materiales es la
presin de vapor. Todos los materiales emiten vapores de sus partes constituyentes y
estos vapores se suman al gas carga en el sistema. El agua es el ms comn de los
materiales encontrados y es un buen ejemplo de lo que significa presin de vapor. A
100C, la presin de vapor del agua es 1 atm (760 Torr). Bajo estas circunstancias
cuando la presin del ambiente que rodea al agua es igual a su presin de vapor todos
sabemos lo que sucede el agua hierve. A temperatura ambiente la presin de vapor de
agua disminuir a 17,5 Torr y hervir a esa presin. No es recomendable mantener agua
en el interior de un sistema vaco. Otros materiales con alta presin de vapor son los
plsticos y metales tales como mercurio, zinc, plomo y cadmio. Entre los materiales
con baja presin de vapor estn los vidrios, cobre, aluminio, acero inoxidable, plata y

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algunos cauchos sintticos. Puesto que la presin de vapor es una funcin de la


temperatura, es posible usar en sistemas de vaco materiales como zinc y bronce
siempre y cuando no se utilicen a alta temperatura.
Normalmente el flujo de gas y vapor en un sistema de vaco es del interior
de la cmara hacia la atmsfera a travs de las bombas. Sin embargo en el rgimen
molecular algunas molculas se comportan individualmente y pueden ir en la direccin
opuesta al flujo principal. Este fenmeno conocido como retroflujo (backstreaming) es
particularmente nocivo en un sistema de alto vaco cuando hay elementos indeseables
en este flujo; por ejemplo el aceite de las bombas difusoras puede ir hacia la cmara de
vaco en vez de ir siempre hacia la atmsfera. Es necesario disear elementos especiales
como trampas para disminuir este efecto, o usar preferentemente bombas
turbomoleculares en vez de difusoras.

I.1.9. VELOCIDAD DE BOMBEO


Bombeo es el proceso de extraer molculas de gas del sistema a travs de la
accin de bombas. La velocidad de bombeo, S b , es definida como el volumen de gas
por unidad de tiempo que pasa a travs del plano de la abertura de entrada de la bomba,
es decir, el caudal en la abertura de entrada de una bomba de vaco.
Sb

Q
Pb

16

(1.19)

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cmara

cmara
P , S,Q

Q
C

a la
atmsfera

Qp

Pp, S p

bomba

bomba

a la
atmsfera

(a)

(b)
Fig. 1.3 Cmara, bomba y tubo de conexin (a) sin considerar la degasificacin, (b) con

degasificacin (adaptada de ref. [8]).

Cuando un extremo de un tubo es conectado a una bomba, el caudal en ese


extremo del tubo tendr un valor mayor que en el otro, en la figura 1.3, S b > S. Para
obtener una relacin entre el caudal S en la salida de la cmara y la velocidad de
bombeo S b , combinemos la ecuacin Q = C ( P Pb) con la ec. (1.19). Se obtendr:

Sb
,
1 Sb / C

(1.20)

El caudal S en la base de la cmara nunca excede los valores numricos de


C ni de S b . Cuando S b = C, el caudal en la base de la cmara (o velocidad de bombeo
efectiva ) ser S/2.
Ejemplo: Si un tubo de 2 cm de dimetro y 60 cm de longitud se conecta
por un lado a una bomba mecnica de velocidad de bombeo nominal S = 5,0 l/s (a 100
mTorr) y por otro lado a una bomba de difusin. Durante la operacin del sistema se
obtendr una velocidad de bombeo experimental S = 4,8 l/s, es decir, este tubo de
conexin no limita el rendimiento de la bomba mecnica. Si el mismo tubo es conectado
entre una bomba difusora, que tiene una velocidad de bombeo especificada de 100 l/s , y

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una pequea cmara se obtendr una velocidad de bombeo efectiva de slo 3,1 l/s, es
decir, un tubo de conductancia pobre puede limitar fuertemente la bomba el
funcionamiento eficiente de la bomba; la ahorca. Si se usara un tubo de 5 cm de
dimetro, an se tendra una velocidad de bombeo de slo 25 l/s.
En un sistema real debemos considerar la degasificacin y el retroflujo
como se muestra en la figura 3b, por un trmino de throughput inverso Qd. En tal caso,
el throughput neto quedar expresado por:
Q S b P Qd

Q S b P (1

(1.21)

Qd
)
Sb P

Cuando el sistema se acerca a la presin final, Pf , se tendr Qd proporcional


a Pf y por lo tanto, la velocidad de bombeo efectiva ser:
S

Q
P

Sb ( 1

Pf
P

).

(1.22)

TIEMPO DE BOMBEO
Un tema importante en la tecnologa de alto vaco es el tiempo requerido
para alcanzar una determinada presin, Pf. Una frmula para estimar el tiempo de
bombeo, Tb, puede obtenerse rpidamente asumiendo que el gas es ideal y el proceso
isotrmico, es decir, PV = constante y por lo tanto:
P

dV
dt

dP
dt

Esto nos permite escribir el throughput en la forma:


Q V

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dP
dt

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V

d P(t)
S b P Qd
dt

(1.23)

donde Qd incluye el efecto de la degasificacin y el retroflujo. Despus de integrar se


obtiene
P (t) Qd /S b
Pi Qd /S b

P(t) Pf
Pi

Pf

exp (

Sb t
)
V

(1.23a)

lo cual permite decir que una buena estimacin del tiempo de bombeo est dada por la
expresin:
Tb

P
V
ln i
Sb
Pf

(1.24)

Ejemplo: Una bomba mecnica cuya velocidad de bombeo es 16 m3/h ( 4,44 l/s )
tardar 5 minutos para evacuar una cmara de 100 litros desde la presin atmosfrica
hasta una presin de 10 Pa.

I.2. BOMBAS DE VACIO


En un sistema de alto vaco, el elemento fundamental son las bombas de
vaco, mquinas que reducen la presin de un recipiente cerrado, es decir, evacuan una
cmara. Los principios bsicos para el funcionamiento de las bombas de vaco son dos:
(i) transferencia de gas del interior al exterior de la cmara y (ii) adherencia de
molculas de gas a una superficie slida dentro de la cmara. Las bombas mecnicas,
bombas de difusin y turbomoleculares se basan en el principio de transferencia de gas.
Ejemplos de bombas que se basan en la captura de las molculas por una superficie son
las bombas criognicas y las bombas de adsorcin. En esta seccin slo describiremos
los principios bsicos de funcionamiento de las bombas comnmente usadas en
procesos de produccin de materiales, que son precisamente las que funcionan por
transporte de gas.

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Entre las bombas que funcionan por transferencia de gas es importante

distinguir entre las bombas mecnicas que funcionan en el rgimen viscoso (presiones
entre 100 y 105 Pa) y las bombas de difusin y turbomoleculares que trabajan en el
rgimen molecular (P < 100 Pa). Las bombas de difusin y turbomoleculares siempre
trabajan en serie con una bomba mecnica.

I.2.1. BOMBAS MECANICAS


El principio de las bombas mecnicas consiste en aislar una cantidad de gas
de un recipiente, comprimirlo y trasladarlo al exterior. Existen varios tipos de bombas
mecnicas, segn la geometra del sistema compresor: de paletas rotatorias, de pistn
rotatorio y las llamadas bombas de races. Discutiremos aqu slo las bombas de paletas
rotatorias.

BOMBAS DE PALETAS ROTATORIAS


La figura 1.4 muestra el esquema de una bomba de paletas rotatorias. Consiste de dos
cilindros eccntricos. El externo o estator, que es hueco, y el interno o rotor. A lo largo
dimetro del rotor hay una ranura en la cual se han insertado dos paletas radiales
separadas en el centro por un resorte. La cavidad del cilindro estator est conectado por
una abertura a la cmara de vaco (entrada) y por otra abertura al ambiente externo
(salida). Las aberturas de entrada y salida estn a uno y otro lado de la lnea de contacto
entre estator y rotor separados por una pequea distancia angular.

20

Captulo I

Alto Vaco

Fig. 1.4 Esquema de una bomba de paletas rotatorias, [ref. 3 ].

El funcionamiento de este tipo de bombas puede entenderse con ayuda de la


figura 1.5. Cuando la paleta A pasa por la abertura de entrada la cmara de vaco entra
en contacto con el espacio entre rotor y estator (Fig. 1.5a). El volumen de este espacio
aumenta cuando la paleta contina su barrido produciendo as una disminucin en la
presin de la cmara. Esto contina hasta que la paleta B pasa por la abertura de
entrada, instante en el cual una porcin de gas queda aislada en el espacio entre rotor,
estator y paletas (Fig. 1.5b). Puesto que el barrido continua, el gas aislado se comprime
(Fig. 1.5c) y es expulsado cuando la paleta B llega a la abertura de salida (fig. 1.5d). La
velocidad angular del rotor es usualmente entre 400 y 1500 rpm y la temperatura del
sistema en funcionamiento normal es entre 60 y 80C.

21

Captulo I

Alto Vaco

Fig. 1.5 Funcionamiento de una bomba mecnica de paletas rotatorias, [ref. 3 ].

En la figura 1.6 se muestra la seccin transversal de una bomba mecnica


comercial. Un detalle que aparece en la figura 1.6 pero no en las figuras 1.4 y 1.5 es la
conexin para el lastre de gas. Algunas veces es necesario introducir en la cmara de
vaco algunos gases que se pueden condensar (o licuar) en las etapas de compresin y
expulsin. Estos lquidos son nocivos para el funcionamiento de la bomba porque
disminuyen la efectividad del lubricante que sella el estator con el rotor. Si ste es el
caso, es conveniente inyectar en la etapa de compresin una porcin de gas inerte desde
el exterior para evitar que los gases expelidos desde la cmara se conviertan en lquidos
antes de ser expulsados. Esta porcin de gas inerte es la que se llama lastre de gas (gas
ballast).

22

Captulo I

Alto Vaco

Fig. 1.6 Seccin transversal de una bomba mecnica de paletas rotatorias: (1) Entrada o
conexin a la cmara, (2) filtro, (3) vlvula antisuccionadora, (4) canal de entrada, (5) paletas,
(6) cilindro estator, (7) cilindro rotor, (8) conexin para el lastre de gas inerte (opcional) , (9)
canal de salida, (10) vlvula de salida, (11) demistor interno, (12) bucle de resortes, (13)
conexin para el filtro de aceite, [ref 9.]

Las caractersticas ms importantes de las bombas son dos: (i) la presin


ltima o presin mnima obtenida cuando la bomba slo se evacua a s misma (ii) la
velocidad de bombeo. Para mejorar estas caractersticas algunas veces se usan bombas
de paletas rotatorias de dos etapas. La figura 1.7 muestra un esquema de este tipo de
bombas. Con bombas de paletas rotatorias es posible alcanzar presiones del orden de 102

Pa. La figura 1.8 muestra la variacin de la velocidad de bombeo en funcin de la

presin para bombas de paletas rotatorias de una y de dos etapas con dispositivos para
lastre de aire y sin ese dispositivo.

23

Captulo I

Alto Vaco

Fig. 1.7 Esquema de una bomba mecnica de paletas rotatorias de de dos etapas, [ref. 4].

bomba de paletas rotatorias de dos etapas

10

bomba de paletas rotatorias


de una etapa

con lastre de gas


sin lastre de gas

10-2

102

100

104

presin en la entrada de la bomba (Pa)

Fig. 1.8 Grfico tpicos de velocidad de bombeo vs presin para bombas mecnicas de
una y dos etapas con y sin dispositivo de lastre de gas.

I.2.2.

BOMBAS DE DIFUSIN
Las bombas de difusin siempre funcionan entre la cmara a evacuar y una

bomba mecnica. Cuando una bomba mecnica ha evacuado la cmara y la bomba de


difusin hasta una presin de 100 Pa o menos puede ponerse en funcionamiento la
bomba de difusin para obtener presiones de hasta 10-8 Pa.
El principio de las bombas de difusin es la compresin de un gas por
transferencia de momentum en una direccin determinada desde un chorro de vapor.
La figura 1.9 muestra la seccin transversal de una bomba de difusin. En
el fondo, un lquido de baja presin de vapor (mercurio o aceite) es calentado. Un

24

Captulo I

Alto Vaco

chorro de ese vapor sube por la chimenea y regresa al chocar en el techo de sta y en
las paredes de las boquillas. Los chorros reflejados arrastran las molculas de gas a
baja presin que se encuentran alrededor de la chimenea. El vapor, de aceite o mercurio,
se condensa en las paredes refrigeradas de la bomba y regresa al fondo de la bomba,
mientras que las molculas de gas comprimidas salen a travs de la bomba mecnica. El
gas residual de la cmara por encima del techo de la chimenea reduce su presin porque
sus molculas entran por difusin a la regin donde acta el chorro de vapor.
Las bombas de difusin funcionan comprimiendo gases a presiones del
orden de 10-8 Pa a presiones del orden de 100 Pa. Por esta razn las bombas de difusin
siempre funcionan en serie con una bomba mecnica. La accin de bombeo cesa a
presiones mayores de 100 Pa porque el chorro de vapor reflejado ya no se extiende
hasta la pared sino que termina en un frente de choque cerca al chorro principal.
Usualmente, la presin obtenida por la bomba mecnica que respalda a la bomba de
difusin es del orden de 25 a 75 Pa. Las bombas de difusin modernas tienen varias
etapas de compresin usualmente 3 a 5 para bombas pequeas y hasta 7 para bombas
grandes. La bomba de difusin mostrada en el esquema de la figura 1.9 es de tres
etapas. Cada etapa comprime el gas a presiones sucesivamente ms altas que la
precedente hasta llegar a la salida donde el gas comienza a ser evacuado por la bomba
mecnica.

25

Captulo I

Alto Vaco

Fig. 1.9 Seccin transversal de una bomba de difusin. (1) Sombrerete enfriado para evitar
que el vapor entre a la cmara, (2) heater para compensar la prdida de calor en la parte superior
de la chimenea,

(3) superficie aerodinmica para evitar turbulencia, (4) etapas mltiples

para obtener bajas presiones, (5) estuche alargado, (6) obstculo para impedir que entre lquido
al chorro de vapor, (7) heater para supercalentar el vapor, (8) etapa de ejector lateral, (9)
obstculo cnico, (10) purificador de aceite (11) drenaje de aceite altamente voltil, (12)
obstculos para evitar prdidas de aceite, (13) chimeneas concntricas que permiten el
fraccionamiento del chorro de vapor de aceite, [ref. 4]

La velocidad de bombeo est determinada por el rea de la puerta de


conexin a la cmara y por el factor de Ho. De acuerdo con la ec (1.12) para la rapidez
de incidencia molecular, podemos calcular el caudal mximo que puede pasar a travs
de la abertura de conexin entre la cmara y la bomba.
Smax = 11. 6 A l s-1,
y si consideramos como rea efectiva de la abertura A =

( D2 t2), donde D es el

dimetro de la abertura y t el de la tapa de la chimenea, obtendremos:


S = H Smax = 3,64 (T/M)1/2 H ( / 4 ) t (2D t)

26

(1.25)

Captulo I

Alto Vaco
Si asumimos el factor de Ho, H = 0,4 y t = D/3, entonces, una bomba con

D 9 pulgadas tiene una velocidad de bombeo de 1000 l/s. Las bombas de difusin
comerciales generalmente estn disponibles en el rango de 1 a 40 pulgadas de dimetro
de puerta de conexin a la cmara y sus respectivas velocidades de bombeo estn en el
rango de 10 a 105 l/s.
Segn la ec. (1.25) la velocidad de bombeo no depende de la presin. Esto
es cierto en un rango de presiones de varios rdenes de magnitud, digamos de 10-1 a 10-4
Pa. En la prctica, como se muestra en la figura 1.10, pueden distinguirse tres regiones
en un grfico S vs. P: (i) Si comenzamos a disminuir la presin a partir de la presin
mxima de funcionamiento de la bomba, el throughput (Q = SP) se mantiene constante
y por lo tanto S aumenta al disminuir la presin (regin AB en figura 1.11a), (ii) la
regin BC donde S = Sm es independiente de P, y (iii) cerca de la presin ltima Pu la
velocidad de bombeo S tiende a cero debido a que la razn de compresin no puede ser
infinita.
S = Sm [ 1- ( Pu / P) ]
La dependencia de S respecto de M-1/2, observada en la ec. (1.25), se verifica
experimentalmente como lo muestran las curvas en la figura 1.11.

1000

100

A
10-9

10-1

100

presin en la entrada de la bomba P (Pa)

Fig. 1.10. Velocidad de bombeo en funcin de la presin mostrando tres regiones de


comportamiento diferente.

27

Captulo I

Alto Vaco
Ar
1000

N2
H2

100

10-4

10-3

10-2

10-1

100

presin en la entrada de la bomba P (Pa)

Fig. 1.11.Velocidad de bombeo en funcin de la presin para gases diferentes, [ref. 3].

I.2.3. BOMBAS TURBOMOLECULARES


Una turbina es una rueda con paletas en su periferia especialmente
diseadas para diferentes aplicaciones. En la tecnologa de mquinas trmicas las
turbinas se usan para transformar la cantidad de movimiento de las molculas de un
fluido que chocan con las paletas en movimiento del eje de la turbina. Por el contrario,
en una bomba turbomolecular el eje de la turbina es impulsada por un motor elctrico
(generalmente trifsico) a velocidades angulares de 30000 rev/min, y las paletas estn
especialmente diseadas para transferir cantidad de movimiento a las molculas de un
gas, empujndolas siempre en una direccin determinada, logrando de este modo la
compresin de una porcin de gas. La figura 1.12 es la seccin transversal de una tpica
bomba turbomolecular (Turbovac 151 de Leybold) y la figura 1.13 es la fotografa de
una turbina tpica de una bomba turbomolecular.
La funcin que cumplen las bombas turbomoleculares es la misma que las
bombas de difusin, es decir, colocadas en serie entre la cmara a evacuar y la bomba
mecnica de prevaco deben transportar molculas del gas residual desde la cmara
hasta la bomba mecnica. Mientras que en las bombas de difusin las molculas del gas
residual son arrastradas por un chorro de vapor de aceite, en

28

las bombas

Captulo I

Alto Vaco

turbomoleculares son arrastradas por las paletas de una turbina, obtenindose por lo
tanto la ventaja de un vaco ms limpio. En las bombas de difusin es imposible evitar
que algunas pequeas cantidades de gases tales como CO2, CO, y algunos hidrocarburos
provenientes de la descomposicin del aceite entren en la cmara.
La velocidad de bombeo y valores de presin ltima para las bombas
turbomoleculares son similares a los de las bombas de difusin.

Fig. 1.12 Seccin transversal de una bomba turbomolecular: (1) Brida para conexin a cmara,
(2) estator, (3) brida para conexin a ventilacin, (4) brida para conexin a bomba mecnica de
pre-vaco, (5) malla protectora, (6) rotor, (7) cubierta o chasis de la bomba, (8) rodaje, (9)
conexin para agua de enfriamiento, (10) motor trifsico, (11) rodaje, [ref. 9]

29

Captulo I

Alto Vaco

Fig. 1.13 Fotografa del rotor de una bomba turbomolecular: serie de turbinas. Si la velocidad
angular de las turbinas es de 30000 rev/min. A 10 cm del eje la velocidad lineal de un punto de
las paletas es de 314 m/s. Del mismo orden de magnitud que las velocidades de las molculas de
O2, Ar, o N2 a temperatura ambiente, [ref. 4]

Para comprender el principio de funcionamiento de las bombas


turbomoleculares consideremos las figuras 1.14. La figura 1.14a es una vista lateral de
una de las turbinas que componen el rotor de la bomba turbomolecular. Las paletas
hacen un ngulo con el plano de rotacin de la rueda. Los puntos de una paleta tienen
una velocidad lineal u. La turbina separa las regiones del espacio 1 y 2 y transportar
molculas de la regin 1 a la regin 2 porque de acuerdo a su geometra la probabilidad
de transmisin de la regin 1 a la regin 2 es mayor que de 2 a 1. En efecto, si
asumimos que la velocidad de las molculas es igual a la velocidad de las paletas, la
parte delantera (izquierda) de la paleta es alcanzada slo por aquellas molculas dentro
del ngulo 1 . Del punto A las molculas pueden rebotar directamente a la regin 2
dentro del ngulo 1 o hacia la paleta opuesta dentro del ngulo 1 . De manera anloga
las molculas que chocan con la paleta en el punto B (fig 1.14b), bajo el ngulo 2 ,
pueden rebotar dentro de un ngulo 2 a la regin 1; puesto que el diseo es tal que:
1
1

30

2
2

Captulo I

Alto Vaco

se tendr que la transmisin de la regin 1 a la regin 2 es mayor que en la direccin


opuesta.
a)

b)

c)

Fig. 1.14 . (a,b) Vista lateral de una turbina de una bomba turbomolecular mostrando que,
debido a la inclinacin de las paletas y la velocidad de stas que es del orden de la velocidad de
las molculas, existe un flujo neto de la regin 1 a la regin 2. (c) Cinemtica del choque de una
molcula con una paleta de una bomba turbomolecular. [ref. 9]

La cinemtica de una simple colisin es explicada con ayuda de la figura


1.14c. Una partcula de la regin 1 que incide con velocidad v en el punto C en un
borde de la paleta se adhiere a sta por un tiempo muy corto y cuando es desorbida "se
ha olvidado" de la direccin de incidencia. Asumiendo que la temperatura de la paleta
es igual a la del gas la partcula dejar el punto C de la paleta con velocidad v en la
direccin ms probable, es decir, perpendicular a la superficie. La suma del vector
31

Captulo I

Alto Vaco

velocidad v con la velocidad u de la paleta da la velocidad resultante w. Debido al


ngulo de inclinacin de la paleta respecto al plano de rotacin los vectores w son
preferencialmente dirigidos a la regin 2.
La velocidad de bombeo de una bomba turbomolecular est principalmente
determinada por la geometra de las turbinas y el rea de conexin a la cmara que se
desea evacuar. Las curvas de velocidad de bombeo vs. presin son similares a las de
una bomba de difusin, es decir, se tiene una velocidad de bombeo constante para
presiones entre 10-8 y 10-1 Pa y para presiones mayores, donde comienza el rgimen
viscoso laminar, se tiene una disminucin de la velocidad de bombeo. La velocidad de
bombeo es mayor para gases pesados como argn, nitrgeno e hidrocarburos que para
gases livianos, como helio o hidrgeno, esto se debe a que la condicin: velocidad lineal
de las paletas es aproximadamente igual a la velocidad de las molculas, se cumple
mejor para gases de medio o alto peso molecular.
Ar
1000

N2
H2

100

10 -8

10 -6

10 -4

10 -2

10 0

presin en la entrada de la bomba P (Pa)

Fig. 1.15 Curvas velocidad de bombeo vs presin obtenidas con una bomba turbomolecular
para diferentes tipos de gas residual.

La presin ltima de una bomba turbomolecular o difusora es del orden de


10-7 a 10-9 Pa pero puede variar dependiendo de la bomba mecnica de vaco previo. Es

32

Captulo I

Alto Vaco

importante observar la diferencia entre presin ltima de un sistema de bombas y la


presin de fondo en un sistema de vaco. Cuando se habla de presin ltima de una
bomba mecnica o de un sistema de bombas no se incluye la cmara, es decir, las
bombas slo se evacuan a s mismas. La siguiente ecuacin resume los parmetros que
influyen en la presin de fondo o presin mnima en la cmara de un sistema de vaco.

Pc

S ef

P0 e V

Pu

QD
S ef

(1.26)

Pc = Presin de fondo o presin mnima en la cmara


P0 = Presin en la cmara al principio de la evacuacin (usualmente presin
atmosfrica)
Sef

= Velocidad de bombeo efectiva dentro del rango de presin

concerniente
V = Volumen de la cmara
Pu = Presin ltima de la bomba turbomolecular
QD = Throughput debido a fugas y degasificacin

I.3. VACUOMETROS
Existen un buen nmero de instrumentos para medir presiones de gases
enrarecidos, entre ellos podemos mencionar a: (i) El vacumetro McLeod, que es una
variante del simple tubo en U, se usa para medir presiones por encima de la atmosfrica,
(ii) el vacumetro de Bourdon, que mide la deformacin de un tubo en forma de hlice
cuando se conecta a un sistema de vaco, (iii) el vacumetro de diafragma, que se basa
en una cpsula hermticamente cerrada en la cual se ha hecho el vaco. La variacin de
la presin externa produce deformacin de las paredes de la cpsula, y (iv) el

33

Captulo I

Alto Vaco

manmetro de capacitancia, que es un vacumetro de diafragma en el cual se mide la


capacitancia elctrica del condensador formado por una de las paredes de la cpsula y
un contraelectrodo.
El principio de funcionamiento y los diseos de estos tipos de vacumetros
son ampliamente discutidos en las referencias [3] y [4]. Aqu slo discutimos el
principio de funcionamiento de los dos tipos de vacumetros ms ampliamente usados
en los laboratorios que utilizan los sistemas de alto vaco para producir materiales de
alta pureza; los vacumetros trmicos, que miden la presin indirectamente a travs de
la conductividad trmica del gas residual, y los vacumetros de ionizacin, que lo hacen
a travs de la corriente de ionizacin de una fraccin del gas residual.

I.3.1. VACUMETROS TRMICOS


Miden indirectamente la presin a travs de mediciones de la conductividad
trmica del gas residual. El esquema de la figura 1.16 muestra su principio de
operacin: Un filamento de tungsteno o de otro metal adecuado es encerrado en un tubo
metlico o de vidrio y ste a su vez es conectado a la cmara de vaco. Para simplificar
la explicacin digamos que el filamento es conectado a una fuente que le proporciona
una corriente elctrica constante y que lo calienta por efecto Joule. Si la presin del gas
residual fuera constante se establecera rpidamente un flujo estacionario de calor del
filamento a las paredes del tubo y el filamento mantendra su temperatura constante.
Cualquier variacin en la presin del gas residual vara su conductividad trmica y por
lo tanto la temperatura del filamento. As pues, midiendo la temperatura del filamento
se mide indirectamente la conductividad trmica del gas y la presin del gas en la
cmara.

34

Captulo I

Alto Vaco
5
3

2
4

Fig. 1.16. Esquema de un vacumetro trmico: (1) filamento de tungsteno, (2) soporte para el
filamento, (3) tubo de vidrio o de acero inoxidable, (4) conexiones elctricas, (5) conexin a la
cmara de vaco.

Los vacumetros trmicos son tiles en el rango de 1 a 100 Pa porque se


basan en el fenmeno de conduccin de calor. Por encima de este rango, la transferencia
de calor por conveccin es tan importante como la conduccin y por debajo de este
rango predomina la radiacin.
Si la temperatura del filamento se mide indirectamente a travs de la
resistencia elctrica del filamento, se dice que nuestro vacumetro trmico es un Pirani
y si la temperatura del filamento se mide con una termocupla tendremos un vacumetro
TC.

Vacumetro Pirani
La caracterstica de este tipo de vacumetros trmicos es que el filamento
de tungsteno es una de las cuatro resistencias de un puente Wheastone. Para una presin
determinada se obtiene una resistencia del filamento que mantiene el puente balanceado.
Cualquier cambio de presin hace que la temperatura del filamento, y por lo tanto su
resistencia elctrica, cambie y que el puente se desbalancee.

35

Captulo I

Alto Vaco

Fig. 1.17 Esquema mostrando como el filamento del Pirani forma parte de un puente
Wheastone

Si un circuito de control acta rpidamente para adaptar la potencia del


calentamiento aplicado al filamento y mantener balanceado el puente se dice que el
vacumetro Pirani est siendo operado en el modo de temperatura constante.
Tambin se puede operar el vacumetro alimentndolo con voltaje constante
o corriente constante y calibrar la presin en funcin de la corriente a travs de G (Fig.
1.17) que indica el desbalance del puente Wheastone. El modo de temperatura constante
es ms preciso porque las prdidas por efecto de bordes o por radiacin son constantes,
sin embargo, el modo de voltaje constante es ms sencillo porque una vez que el puente
es balanceado a una presin conocida no se necesita volver a balancearlo para cada
valor de presin.

Vacumetro TC
En un vacumetro trmico TC una termocupla es soldada en el centro del filamento. El
filamento se calienta con corriente constante y la variacin de la temperatura es una
medida de la conductividad trmica del gas residual y por lo tanto de la presin de la
cmara. Usualmente un microampermetro de resistencia pequea funciona como
voltmetro.

36

Captulo I

Alto Vaco

I.3.2. VACUOMETROS DE IONIZACION


El principio de operacin de estos instrumentos consiste en inducir la
ionizacin de una fraccin de las molculas del gas residual y establecer una corriente
de molculas ionizadas. La presin de la cmara se mide entonces indirectamente a
travs de la corriente inica. Discutiremos dos tipos de vacumetros de ionizacin: El
vacumetro de ctodo caliente y el vacumetro de ctodo fro o Penning.

Vacumetro de ionizacin de ctodo caliente


Un filamento de tungsteno se calienta para lograr la emisin de electrones
por efecto termoinico. El filamento est rodeado por una rejilla metlica a potencial
positivo (100 - 200 V) respecto al filamento de modo que los electrones emitidos por
ste son acelerados radialmente alejndose del filamento. Los electrones chocan con
molculas del gas residual y lo ionizan. Se establece entonces una corriente de iones
positivos hacia el filamento. Algunos electrones pasan a travs de la rejilla pero son
acelerados por el colector, un tercer electrodo a potencial ms negativo que el ctodo
(fig. 1.18).
Este tipo de instrumentos es til en el rango de 1 a 10-12 Pa. Tiene que
hacerse una calibracin para cada tipo de gas.

37

Captulo I

Alto Vaco
A
amplificador

mA
200 V

30 V
(a)

(b)

Fig. 1.18 a) esquema de un vacumetro de ctodo caliente : 1. Filamento, 2. rejilla, 3. colector,


4. conexin a fuente para calentamiento del ctodo. b) Circuito de control y medida.

Vacumetro de ionizacin de ctodo fro (Penning)


El proceso de ionizacin en una regin de gas enrarecido se puede iniciar
sin necesidad de un filamento caliente si se establece un campo elctrico
suficientemente alto. El proceso se realza colocando un campo magntico paralelo al
campo elctrico. Este es el principio de funcionamiento de los vacumetros de ctodo
fro ms conocidos como Penning. La figura 1.19 es un esquema del vacumetro
Penning. Estos instrumentos pueden medir presiones tan bajas como 10-10 Pa.
a la cmara
de vaco

4
3
1

2000 V
3
2

mA

Fig. 1.19. Esquema de un vacumetro Penning: (1) nodo en forma de anillo, (2) ctodo
cilndrico, (3) imanes, (4) chasis de material aislante.

38

Captulo I

Alto Vaco

REFERENCIAS
[1]

Fundamental University Physics, Vol. III, M. Alonso y E. J. Finn, AddisonWesley, 1968.

[2]

Mechanics, wave motion and heat, F. W. Sears, Addison-Wesley, 1958.

[3]

Vacuum Technology, A. Roth, North Holland, 1976.

[4]

A Users guide to vacuum technology. J. F. O`Haulon.

[5]

M. von Smolochowsky, Ann. Phys., 33, 386 (1911).

[6]

M. Knudsen, Ann. Phys., 28, 75 (1909); 35, 389 (1911).

[7]

The kinetic theory of gases, L. B. Loeb, Mc. Graw-Hill, 1934.

[8]

The material science of thin films M. Ohring, Academic Press, Inc., 1991.

[9]

Manual Leybold

39