Mesures sans contact

Mthodes magntiques et capacitives

par

Jean-Louis CHARRON
Ingnieur au Centre technique des industries mcaniques (CETIM)

1.
1.1

1.2

1.3

2.
2.1
2.2
2.3
2.4

Capteurs magntiques............................................................................
Capteurs mesurant linduction magntique..............................................
1.1.1 Mesure des dplacements dune pice aimante............................
1.1.2 Mesure des dplacements dune pice ferromagntique ...............
Capteurs inductifs........................................................................................
1.2.1 Principes de mesure ...........................................................................
1.2.2 Capteur inductif le plus simple..........................................................
1.2.3 Circuit magntique en matriau ferromagntique ..........................
1.2.4 Diffrentes formes de capteurs inductifs..........................................
1.2.5 Principales caractristiques ...............................................................
1.2.6 Limites dutilisation ............................................................................
1.2.7 Applications ........................................................................................
Capteurs linaires transformateur diffrentiel .......................................
1.3.1 Principe de mesure .............................................................................
1.3.2 Principales caractristiques ...............................................................
1.3.3 Limites dutilisation ............................................................................
1.3.4 Applications ........................................................................................
Capteurs capacitifs .................................................................................
Principe.........................................................................................................
Principales caractristiques ........................................................................
Limites dutilisation .....................................................................................
Applications .................................................................................................

R 1 331 2

9
9
9
10
10

Mesures sans contact. Comparatif .............................................................. [Comp. R 1 334]

es capteurs magntiques et capacitifs sont utiliss pour mesurer des positions ou des dplacements de faibles ou de moyennes amplitudes (de la
fraction de micromtre 50 mm). Des ralisations spciales permettent dobtenir des rsolutions de lordre du nanomtre.
Lencombrement de ces capteurs est gnralement faible et ils peuvent tre
adapts pour fonctionner dans des conditions de temprature et de pression difficiles. Des grandes bandes passantes sont obtenues avec des principes de
mesures nutilisant pas de frquence porteuse.

Cet article sinsre dans une srie consacre aux capteurs de mesures dimensionnelles sans
contact :
Mesures sans contact. Gnralits [R 1 330] ;
Mesures sans contact. Mthodes magntiques et capacitives [R 1 331] ;
Mesures sans contact. Mthodes optiques (partie 1) [R 1 332] ;
Mesures sans contact. Mthodes optiques (partie 2) [R 1 333] ;
Mesures sans contact. Autres mthodes [R 1 334] ;
Mesures sans contact. Comparatif [Comp. R 1 335].
Le lecteur consultera utilement les articles Contrle dimensionnel en production de srie
[R 1 305] et Capteurs de dplacement [R 1 800] dans ce trait.

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Techniques de lIngnieur, trait Mesures et contrle

R 1 331 1

MESURES SANS CONTACT _______________________________________________________________________________________________________________

1. Capteurs magntiques

Dplacement axial
N

La mesure dune distance ou de ses variations est ralise par :

la mesure de linduction magntique ou de ses variations ;
ou la mesure de limpdance ;
ou le couplage de bobinages monts sur un circuit magntique.
La mesure de linduction magntique peut tre faite laide de
dtecteurs effet Hall, de magntorsistances ou de circuits magntiques saturables. Pour mesurer les variations de linduction magntique, un bobinage mont sur un circuit magntique peut tre
utilis.
Des capteurs inductifs sont raliss en utilisant un ou deux bobinages aliments par un courant alternatif. Ils permettent de mesurer
la rluctance du circuit magntique utilis ou les pertes gnres
par les courants de Foucault.

S
Aimant

Capteur

Induction magntique B

Les capteurs utilisant des mthodes magntiques sont capables

de mesurer la position ou les dplacements de pices qui sont :
soit aimantes ;
soit ferromagntiques ;
soit seulement conductrices.

lment sensible

Distance x

a dplacement axial

d
Dplacement radial
N

S
Aimant

Capteur

Induction
magntique B

1.1 Capteurs mesurant linduction

magntique
Ces capteurs sont utilisables pour mesurer les dplacements
dune pice aimante ou ferromagntique.

1.1.1 Mesure des dplacements dune pice

aimante
La pice aimante est souvent constitue dun barreau
ferromagntique qui prsente une forte rmanence. Les matriaux
pour les raliser sont trs nombreux :
des aciers durs ;
des ferrites dures ;
des terres rares, comme les aimants au nodyme fer bore pouvant prsenter une rmanence de 1,1 Tesla.
Des capteurs effet Hall ou des magntorsistances classiques
ou GMR sont utiliss pour mesurer linduction magntique.
Diffrentes configurations de mesure sont possibles en fonction
des positions relatives de la pice aimante et du capteur. En voici
plusieurs exemples :
Mesure dans laxe de laimant
Linduction magntique dcrot en fonction de la distance entre le
capteur et laimant en suivant une loi approximativement hyperbolique (figure 1). Le gradient est fonction de la taille et de la forme de
laimant.
Exemple : pour un aimant court, ltendue de mesure peut atteindre sa longueur. Si laimant a une longueur gale cinq fois son diamtre la dcroissance est moins rapide.
Les tendues de mesures varient ainsi de faon homothtique
avec la taille de laimant.
Mesure sur le flan de laimant
Linduction magntique est fonction de la distance d entre
laimant et le capteur et change de signe avec la position x du dtecteur par rapport au centre de laimant.

R 1 331 2

d = 0,5 mm
d = 1 mm
d = 2 mm
R Dplacement radial y

b dplacement radial
Figure 1 Induction magntique en fonction de la distance entre
laimant et le capteur : mesure dans laxe de laimant

La loi de variation de linduction magntique est fonction de la

longueur de laimant et de la distance du capteur. Le gradient sera
plus important pour un capteur court.
Caractristiques de la mthode de mesure
Dans les deux cas de figure prsents ci-avant (figures 1 et 2),
la rponse nest pas linaire : elle suit la valeur du champ magntique cr par laimant. Pour effectuer des mesures prcises, un talonnage dans les conditions de mesure est ncessaire car toutes les
pices ferromagntiques environnantes peuvent modifier les lois de
variation du champ. Il est possible de compenser les effets des
dplacements latraux en effectuant une mesure du champ orthogonal laide dun deuxime capteur.

Lapproche de pice ferromagntique au voisinage du dtecteur

ou de laimant provoquera des variations du champ magntique
donc de la rponse du capteur.
En labsence de pice ferromagntique se dplaant indpendamment du capteur ou de laimant, il est possible dobtenir une trs
bonne rptabilit, il ny a pas dhystrsis.
Cette mthode peut tre utilise dans une large gamme de temprature, qui suit celle des dtecteurs utiliss cest--dire de 55 C
+ 175 C.

Si lon utilise des aimants point de Curie lev, la principale

cause de drive avec la temprature est son influence sur la rponse
des dtecteurs (par exemple le zro drive de 0,03 %/C entre 25 C
et 85 C et la sensibilit varie de 0,05 %/C entre 25 C et 150 C).

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lment sensible

x
S

Aimant du capteur

Dplacement
latral

Capteur

Induction
magntique B

d = 0,5 mm
d = 1 mm
d = 2 mm

Position x

Pice
ferromagntique

Induction magntique B

Aimant
N
Direction de mesure
de l'induction
lment sensible

MESURES SANS CONTACT

Distance x
Figure 3 Capteur avec aimant incorpor : mesure du champ
magntique
Figure 2 Induction magntique en fonction de la distance entre
laimant et le capteur : mesure sur le flan de laimant

La bande passante de ces capteurs peut atteindre 200 kHz, ce

qui convient pratiquement toutes les applications possibles. Certains capteurs ont un temps de rponse infrieur 3 s.

Applications
Cette mthode de mesure est bien mieux adapte que dautres
pour mesurer sans contact les dplacements dune pice lintrieur dune enceinte sous pression, condition quelle soit aimante
ou de lui fixer un aimant.
Elle est utilise pour :
mesurer des vitesses de rotation en fixant un aimant larbre ;
contrler lallumage des moteurs essence, langle manivelle ;
mesurer la position de membranes dans des pompes (cur
artificiel).

1.1.2 Mesure des dplacements dune pice

ferromagntique
Deux mthodes sont utilises afin de mesurer les dplacements
dune pice ferromagntique laide dun capteur aimant
incorpor :
la mesure du champ magntique au voisinage de laimant ;
la mesure de la variation du flux dans un bobinage.
Mthode utilisant la mesure du champ magntique
Un capteur effet Hall ou magntorsistif est plac prs de lun
des deux ples dun aimant. Quand une pice ferromagntique se
rapproche du ple de laimant, elle provoque une augmentation de
linduction magntique, qui est mesure par le capteur, due la
concentration des lignes de champ dans la zone o se trouve llment sensible (figure 3).
Caractristiques de la mthode de mesure
Ltendue de mesure est plus faible que celle concernant les
mesures de dplacement dun aimant (cf. 1.1.1), car les variations
relatives de linduction magntique sont moins importantes.

Comme pour la mesure des dplacements dune pice aimante,

les drives avec la temprature sont principalement provoques par
les dtecteurs. On retrouve les mmes caractristiques en temprature (cf. 1.1.1).
Ce type de capteur a une trs bonne rponse en frquence, elle
peut atteindre 200 kHz.
Les mesures sont possibles au travers dune paroi amagntique,
celle-ci pouvant tre conductrice. Le capteur peut donc tre protg
pour supporter des pressions leves et la pice mesurer peut tre
lintrieur dune enceinte sous pression, la mesure se faisant travers lenveloppe. Aux vitesses leves, la paroi conductrice peut
cependant attnuer le signal, des courants de Foucault se
dveloppant lintrieur.
Applications
Des dtecteurs de proximit performants sont raliss avec cette
mthode de mesure.
Elle est aussi utilise pour mesurer les dplacements de pices
lintrieur dune enceinte tanche (position de tige de vrin ou de
vanne, vitesse de rotation darbre, de turbine de dbitmtre).
Mthode utilisant la mesure de la variation du flux dans une
bobine
Un capteur trs simple est ralis en associant un aimant permanent un bobinage. Une pice polaire qui concentre les lignes de
champ est souvent place entre laimant et la pice mesurer
(figure 4 a).
Lapproche dune pice ferromagntique augmente le champ
magntique dans laimant. Les variations du flux magntique traversant la bobine gnrent alors une tension ses bornes. Lamplitude de la tension est proportionnelle la vitesse dapproche de la
pice dtecte et fonction de lentrefer.
Ce capteur fonctionne sans alimentation ni conditionneur.
Il permet de raliser des compte-tours, de reprer un angle manivelle.

1.2 Capteurs inductifs

La courbe de rponse nest pas linaire. Elle est fonction de la permabilit de la pice mesure. Un talonnage doit tre effectu
dans les conditions de mesure.

1.2.1 Principes de mesure

Une hystrsis, fonction de la nuance de la pice ferromagntique, limite la justesse de mesure : son ordre de grandeur est de 1
2 % de ltendue de mesure.

La distance entre la pice mesurer et le capteur, la variation dun

entrefer, la position dun noyau ferromagntique par rapport des

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R 1 331 3

MESURES SANS CONTACT _______________________________________________________________________________________________________________

Bobinage

Lignes de champ magntique

Aimant

Pice polaire

Signal
Signal

a sans pice

Profil de la dent

1.2.3 Circuit magntique en matriau

ferromagntique

Signal au passage d'une dent

Figure 4 Capteur avec aimant incorpor et bobinage mesurant la
variation du flux magntique

bobinages, influencent sur la rluctance dun circuit magntique,

limpdance dun ou plusieurs bobinages, le couplage entre bobinages. Diverses combinaisons, de formes de circuits magntiques, de
formes et positions de bobinages, sont utilises pour obtenir la
fonction voulue. Un courant alternatif est utilis pour mesurer
linductance ou linductance mutuelle de bobinages.

1.2.2 Capteur inductif le plus simple

Le plus simple des capteurs inductifs est compos dune simple
bobine (figure 5 a). La proximit dune pice ferromagntique favorisera le passage du flux magntique (figure 5 b), en revanche une
pice conductrice sopposera au flux magntique par la gnration
de courants de Foucault (figure 5 c).
Les lignes de champ sont canalises par la pice ferromagntique
(figure 5 b), la rluctance du circuit magntique est alors diminue.
Elles sont repousses par la pice seulement conductrice
(figure 5 c), la rluctance est alors augmente.
Lorsque lon utilise une frquence moyenne du courant alternatif
avec une pice ferromagntique et conductrice les deux effets
entrent en concurrence (figure 6) :

La mise en place dun circuit ferromagntique dans le bobinage

permet de concentrer les lignes de champs (figure 7) et rend le capteur plus sensible courte distance, mais le dsensibilise distance
plus importante : sa porte est donc plus faible. Elle a en plus lavantage de rendre le capteur beaucoup moins sensible aux pices
environnantes : deux capteurs peuvent tre placs cte cte sans
sinfluencer trs fortement.
Le calcul du circuit magntique dun capteur inductif ne peut se
faire avec rigueur quen utilisant des mthodes numriques mais un
calcul analytique est possible en faisant de grandes simplifications
et donnera une reprsentation des lois de variation utile.
Une reprsentation du fonctionnement du capteur est obtenue en
considrant que les flux circulent dans des sections constantes S et
en affectant des longueurs quivalentes chacune des branches du
circuit (figure 7) :
 1 est la longueur du circuit magntique dans le capteur, c1 est
sa permabilit, r1 sa permabilit relative ;
 2 est la longueur quivalente du circuit magntique dans la
cible, c2 est sa permabilit, r2 sa permabilit relative ;
d est la valeur de lentrefer ;
 est la longueur quivalente des fuites qui sont parallles
lentrefer et la cible.
Le schma quivalent au circuit magntique est prsent figure 8.
La rluctance R du circuit est :

la variation de limpdance nest pas monotone ;

la fonction nest plus bijective.

1
R = ---------0 S

R 1 331 4

1
1

- + ------------------------------------
------
1
1
r1

--- + --------------------------

 2

-------- + 2 d
r2

Impdance Z

Impdance Z

Impdance Z

Un capteur constitu seulement dune bobine a une bonne porte

(rapport tendue de mesure/diamtre du capteur). Il est par contre
assez sensible linfluence des pices environnantes. Ainsi, deux
capteurs proches lun de lautre peuvent sinfluencer.

Distance

c pice conductrice

Figure 5 Modification des lignes de champ en fonction de la

prsence et la nature de la pice

a pice en acier, f < 20 kHz

b pice ferromagntique

Distance

b pice en acier, f  50 kHz

Distance

c pice en cuivre, f > 100 kHz

Figure 6 Variation de limpdance Z de la

bobine en fonction de la frquence et de la
nature de la pice mesure

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c1

ic

1

Lignes de fuite

MESURES SANS CONTACT

i
R

Circuit magntique
du capteur

R c Lc

Entrefer

ic intensit du courant circulant dans la cible

i intensit du courant dans le capteur
e tension aux bornes du capteur

Cible
ferromagntique

c2

2

Figure 7 Schma en U dun circuit magntique dun capteur

inductif

Figure 9 Schma dcrivant linfluence des courants de Foucault

dans le cas dun capteur inductif

Limpdance Z du capteur devient :

e
M2 2
M2 2
Z = --- = R + R c -------------------------- + j L + L c -------------------------2
2
2
2

i
Rc + Lc
R c + L c2 2

/0S
Rluctance
des fuites

avec

1/c1S

2d/0S

2 /c2S

Rluctance
du capteur

Rluctance
de l'entrefer

Rluctance
de la cible

Figure 8 Schma quivalent au circuit magntique dun capteur

inductif

Linductance L dune bobine de n spires montes sur le circuit

magntique est proportionnelle la permance P du circuit magntique qui est linverse de la rluctance :
n2
L = ------ = P n 2
R
1
avec
P = ---- .
R
En regroupant les termes, on peut reprsenter L sous la forme :
b ac
L = a + ---------------d+c
o :
a reprsente linductance du capteur lorsque la cible est
absente ;
b/c est linductance du capteur lorsque la cible est au contact du
capteur.
La longueur quivalente des fuites  varie avec la distance d et
leur rluctance diminue comme celle dans la cible avec laugmentation de la distance d. Ce modle est donc imparfait, mais il rend bien
compte de la variation de linductance de la bobine en fonction de la
distance.
Ce modle permet de linariser la rponse des capteurs avec une
justesse meilleure que 0,1 % de ltendue de mesure pour de petites
tendues de mesure et de 1 2 % pour les plus grandes. Il est beaucoup mieux adapt que celui obtenu avec une quation du type
L = a + b d + c d 2.
Si lon tient compte des pertes par courants de Foucault dans la
cible conductrice, il est possible de modliser plus compltement le
fonctionnement du capteur. Un capteur est reprsent (figure 9)
simplement par une inductance L et une rsistance R en srie. De
mme la cible conductrice peut tre modlise par une spire en
court-circuit, dinductance Lc et de rsistance Rc. M est la mutuelle
inductance entre les deux circuits.

nombre imaginaire pur tel que j2 = 1,

tension aux bornes du capteur,

intensit circulant dans le capteur.

Les courants de Foucault gnrs dans la cible augmentent la partie rsistive : ils correspondent des pertes. Il y a diminution de la
partie ractive, les courants de Foucault sopposant au passage du
flux magntique, la rluctance du capteur augmente donc quand la
pice sen rapproche.
Le champ magntique B sattnue en pntrant dans la pice. Il
subit une diminution de la surface vers lintrieur suivant une loi
exponentielle, de la forme :
B = B0ex/
1
o = -----------------------------f
avec

paisseur de peau,

permabilit de la cible,

conductibilit de la cible,

frquence du courant excitant la bobine.

Exemple :
Pour une frquence de 2 kHz, lpaisseur de peau dun acier dur
vaut 0,7 mm. Elle est rduite 30 m pour une frquence de 2 MHz.
cette frquence le champ ne pntre que trs superficiellement et le
comportement du capteur est trs voisin de celui devant une cible seulement conductrice.
Pour un acier inoxydable de conductibilit et de permabilit beaucoup plus faibles, lpaisseur de peau 2 kHz est de 10 mm. Cet acier
peut donc tre utilis pour raliser un botier de protection.
Un capteur inductif et un capteur courants de Foucault sont tous
les deux des capteurs variation de rluctance (dans lequel limpdance de bobinage est mesure). Ce qui les diffrentie cest surtout
la frquence du courant qui est utilise :
au-dessus de 50 kHz les courants de Foucault ont une part
importante dans la rponse dun capteur inductif. Ils le rendent
beaucoup plus sensible la temprature, et modifient trs fortement sa rponse jusqu provoquer un changement de signe de la
sensibilit ce qui peut le rendre inutilisable (cf. figure 6) ;
au-del de 100 kHz, on peut raliser des capteurs utilisant les
courants de Foucault pour mesurer la position de pices seulement
conductrices (acier inoxydable, alliage daluminium, alliage de cuivre). Ils sont alors appels capteurs courants de Foucault. Avec
une frquence porteuse de 1 MHz les capteurs courants de Foucault peuvent aussi tre utiliss pour effectuer des mesures sur des
pices magntiques.

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R 1 331 5

MESURES SANS CONTACT _______________________________________________________________________________________________________________

Solnode
Noyau
en forme
de bobine
ou bobine
Bobinage

Cble

Corps du capteur filet

a noyau du capteur compos

d'une bobine (mesure de
diamtre intrieur)
Bobine active

a capteur sans blindage

b capteur compos d'un

solnode (mesure de
diamtre de fil)

Figure 12 Capteurs inductifs pour mesurer le diamtre intrieur

dun cylindre ou le diamtre dun fil

b capteur avec blindage

Figure 10 Capteurs courants de Foucault sans blindage et avec

blindage

Ltendue de mesure (de 0,1 35 mm) des capteurs inductifs

variation de rluctance est assez rduite compare leur diamtre.
Si le circuit magntique est compos dun demi-pot en ferrite
(figure 11 b), ltendue de mesure optimale est gale un trentime
du diamtre du pot.

Noyau
Bobine

a noyau du capteur compos

d'un demi-tore

1.2.5 Principales caractristiques

b noyau du capteur compos

d'un demi-pot en ferrite

Figure 11 Capteurs inductifs : diffrentes formes de noyau

1.2.4 Diffrentes formes de capteurs inductifs

En fonction de leur utilisation, les capteurs inductifs peuvent
prendre des formes diffrentes pour optimiser lune ou lautre de
leurs caractristiques.
Capteurs avec ou sans blindage
Les deux capteurs ont la mme tendue de mesure.
Le capteur sans blindage (figure 10) a un diamtre plus petit mais
il doit tre plus loign dun capteur semblable pour viter leur
influence mutuelle. Il ne doit pas tre inclus dans une pice conductrice trop proche de la bobine active.

Ltendue de mesure choisie est en gnral le double pour garder

de trs bonnes caractristiques. Elle peut tre tendue huit fois
cette valeur en sacrifiant la linarit et la stabilit aux distances les
plus loignes. Lutilisation dun demi-tore permet de diviser par un
peu plus de deux la dimension maximale du capteur pour la mme
tendue. En utilisant un simple barreau ferromagntique comme
noyau du capteur ltendue de mesure devient presque gale au
diamtre du barreau.
Ltendue de mesure des capteurs courants de Foucault est en
gnral un peu plus grande (de 0,5 50 mm). Un capteur dont la
bobine un diamtre de 2 mm peut avoir une tendue de mesure de
0,5 mm.
Les deux mthodes de mesure permettent dobtenir une linarit
meilleure que 0,1 % de ltendue de mesure. Pour un capteur donn,
si lon augmente ltendue de mesure, les carts de linarit deviennent relativement plus important : ils atteignent 1 2 %.
Il ny a pas dhystrsis, la rptabilit nest limite que par les
caractristiques du conditionneur. Un grand soin doit tre apport
aux cbles de liaisons :

Le capteur avec blindage peut, quant lui, tre insr dans une
pice conductrice.

ils doivent tre blinds et torsads pour les capteurs inductifs

utilisant une porteuse de basse frquence ;
pour les capteurs courants de Foucault utilisant une frquence leve, la mesure peut devenir trs sensible aux mouvements du cble (variations des caractristiques dilectriques).

Capteurs noyaux demi-tore ou demi-pot

Drives

Pour la mme tendue de mesure, le capteur inductif dont le

noyau est compos dun demi-tore (figure 11 a) est deux fois plus
petit que celui dont le noyau est compos dun demi-pot
(figure 11 b).
basse frquence, ces capteurs peuvent mesurer des pices
ferromagntiques. haute frquence, on les utilise pour mesurer
des pices amagntiques, seulement conductrices.
Si sa largeur est adapte au pas, le capteur dont le noyau est en
forme de bobine peut tre utilis pour contrler la prsence dun
filetage ou son diamtre moyen (usure du taraud) (figure 12 a). Le
capteur compos dun solnode plac dans un tube ferromagntique (figure 12 b) est assez insensible au centrage du fil sil est
assez long, sa rponse est proportionnelle la section du fil, cest-dire au carr de son diamtre.

R 1 331 6

La principale cause de la drive de ces capteurs est la temprature. Elle peut tre fortement limite par compensation. Son
influence augmente avec la temprature pour les capteurs inductifs
basse frquence. En ajustant la compensation pour une nuance de
pice donne, une drive infrieure 0,05 m/C pour une tendue
de mesure de 600 m (soit moins de 100 ppm/C) peut tre obtenue.
Avec une conception soigne, un bruit rsiduel infrieur 0,05 m
est ralisable. Avec des capteurs courants de Foucault des compensations infrieures 400 ppm/C peuvent aussi tre ajuste pour
une nuance de cible. Des pices conductrices proximit du capteur
peuvent modifier les coefficients de drives, il est important de
rgler les compensations en plaant le capteur dans son montage
de mesure pour obtenir les meilleurs rsultats possibles.
Lutilisation de ce type de capteur sous hautes pressions peut
videmment aussi faire apparatre des drives. Elles sont
provoques :

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Techniques de lIngnieur, trait Mesures et contrle

______________________________________________________________________________________________________________

premirement par les dformations mcaniques qui provoquent

des dplacements des lments actifs par rapport aux rfrences ;
mais aussi par les modifications des caractristiques magntiques des lments utiliss dans le capteur.
Dautres causes de drive prendre en compte sont celles provoques par le conditionneur. Elles sont fonction des composants
utiliss, du principe de fonctionnement du conditionneur (stabilit
de loscillateur en amplitude et en frquence, drives des composants, la mise en place de compensations).

Les bandes passantes sont au mieux gales au tiers de la frquence porteuse pour obtenir une ondulation rduite. En diminuant
la bande passante, le bruit rsiduel est rduit : une dynamique de
75 dB est ralisable. Pour les capteurs courants de Foucault utilisant une frquence porteuse leve, on obtient une bande passante
assez large, de 30 150 kHz, le bruit est un peu plus lev.

1.2.6 Limites dutilisation

La principale limitation des capteurs inductifs utilisant une frquence porteuse peu leve est leur bande passante limite quelques kilohertz (bien souvent largement suffisante pour de
nombreuses applications du domaine de la mcanique). Ils
ncessitent une cible ferromagntique et sont peu sensibles aux
variations de nuances. Pour obtenir la meilleure justesse, il est
ncessaire dajuster la linarit en fonction de la nuance de la pice
mesurer :

MESURES SANS CONTACT

(0)

Tableau 1 Variations de zro de sensibilit observes sur

un capteur de 8 mm de diamtre et 2 mm dtendue de
mesure (rfrence : pice en acier 42.CD.4)
Matriau de la pice
Variation de

Acier
inoxydable

Tungstne

Aluminium

Zro (%)

+8

25

45

Sensibilit (%)

10

+ 83

+ 100

En plus des variations du zro et de la sensibilit, la linarit est

perdue.
Les capteurs inductifs et courants de Foucault sont utilisables
dans une large gamme de temprature :
la temprature maximale que peuvent supporter des capteurs
inductifs se situe, dans la majorit des cas, en dessous de 150 C ;
on trouve des capteurs courants de Foucault pouvant fonctionner 600 C.
Ces types de capteur sont aussi utilisables basse temprature,
en choisissant avec soin les isolants des fils des bobinages. Des ralisations peuvent ainsi tre plonges dans lhlium liquide.
Il est possible de concevoir mcaniquement ces capteurs pour
rsister de trs hautes pressions (jusqu 700 bars). Il faut dans ce
cas prendre garde la rigidit du mode de fixation de la partie active
par rapport aux surfaces de rfrence.

pour les aciers doux, on constate des carts de lordre du

micromtre entre pices de mme nuance ;
pour un acier dur fortement alli, les carts peuvent atteindre 3
ou 4 m.
Les carts sont moins importants en alimentant le capteur basse
frquence. Entre nuances dacier trs diffrentes, des carts de zro
de lordre de 30 m sont observs.
Il est possible de rduire ces variations en utilisant simultanment
deux frquences de mesure (2 et 8 kHz par exemple), une combinaison linaire bien choisie peut faire gagner un facteur 2 5 selon les
cas.
Lorsque la cible se dplace trs rapidement devant le capteur (par
exemple un arbre de 150 mm de diamtre tournant 10 000 tours
par minute et prsentant une aimantation rmanente), le champ
magntique en surface de la pice induit des signaux parasites de
basse frquence dans les bobinages du capteur, et qui peuvent tre
limins par filtrage.
Les capteurs courants de Foucault qui utilisent une frquence
beaucoup plus leve sont plus sensibles la nuance de la pice
mesurer. Leffet est particulirement important sur les aciers durs.
Exemple : une variation du zro de 0,1 mm est possible avec un
capteur dtendue de mesure de 0,5 mm sur une mme pice en fonction de lendroit vis.
Leffet est beaucoup plus faible avec les matriaux amagntiques
pour lesquels ces capteurs sont assez bien adapts. On peut donc
fretter sur des arbres en acier trait des bagues en cuivre ou en aluminium pour liminer en trs grande partie les variations de
rponse.
Exemple : les variations constates pour un capteur de 8 mm de
diamtre et dont ltendue de mesure est de 2 mm, rgl pour une
pice de rfrence en acier de nuance 42.CD.4 sont regroupes dans
le tableau 1.

1.2.7 Applications
Les capteurs inductifs variation de rluctance sont bien adapts
la mesure, avec une grande prcision, des dplacements et des
paisseurs, dans des conditions difficiles.
Exemple : La mesure de lpaisseur du film dhuile dans les paliers
de moteur diesel a t ralise laide de capteurs miniatures placs
dans lpaisseur du coussinet (sous 700 bars et 100 C, 1 m prs).
Bien dautres applications sont possibles comme :
la mesure dpaisseurs de tles dacier ;
la mesure dpaisseurs de revtements amagntiques sur supports ferromagntiques ;
le contrle dimensionnel de prcision sans avoir nettoyer les
pices ;
la mesure de vibrations, dorbites darbre, du voile ;
la mesure de la prsence de filetages et taraudages.
Ces capteurs sont aussi utiliss pour mesurer des efforts, des contraintes, des couples sur des lments de machines, sans modifier
leurs caractristiques mcaniques :
mesures des efforts de coupe en cours dusinage sur une broche tournant grande vitesse ;
contrle des contraintes sur des raccords de pompe dinjection
de moteur diesel ;
mesure des efforts dans des tiges de vannes ;
ralisation de couple mtre.
Les applications des capteurs courants de Foucault sont similaires. Ils sont bien adapts aux mesures des pices seulement
conductrices et sont utilisables dans des milieux dont les caractristiques dilectriques prsentent de faibles pertes la frquence
dexcitation du capteur. Leur bande passante est beaucoup plus leve que celle des capteurs inductifs. Il faut toutefois prendre garde
linfluence des htrognits de la pice si celle-ci est ferromagntique.

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cran lectromagntique

Bobinages secondaires
Oscillateur

Amplificateur detection
synchrone

Filtre de sortie

Noyau mobile

Bobinage primaire
Figure 13 Coupe dun capteur linaire transformateur diffrentiel
Figure 15 Schma du conditionneur dun capteur linaire
transformateur diffrentiel
Bobinage
primaire

par les bobinages secondaires et fournit un signal proportionnel au

dplacement du noyau.

Bobinage
secondaire 1

Bobinage
secondaire 2

Figure 14 Schma lectrique dun capteur linaire transformateur

diffrentiel

1.3 Capteurs linaires transformateur

diffrentiel
Ce sont des capteurs sans contact, dont le noyau mobile ne touche pas les bobinages de mesure, mais pour lesquels, dans de nombreuses applications, la tige qui est lie au noyau est guide par des
paliers.

1.3.1 Principe de mesure

Un capteur linaire transformateur diffrentiel (Linear Variable
Differential Transformer LVDT) est compos dun bobinage primaire plac entre deux bobinages secondaires (figure 13). Un
noyau ferromagntique mobile fait varier linductance mutuelle
entre le bobinage primaire et les bobinages secondaires.
Le bobinage primaire est aliment par une tension alternative
(dune frquence de 400 Hz 5 kHz) ce qui induit une tension dans
chacun des bobinages secondaires, qui sont connects en srie et
en opposition (figure 14). La tension obtenue est donc la diffrence
des tensions gnres par chacun des bobinages secondaires :
lorsque le noyau est au centre du capteur la tension de sortie
est nulle ;
quand le noyau est dplac vers un bobinage secondaire la
tension ses bornes augmente, la tension aux bornes de lautre
diminue.
La diffrence de ces tensions varie linairement avec le dplacement du noyau mobile. La phase change brutalement de 180 quand
le centre du noyau passe le point central du capteur. Le noyau doit
rester lintrieur des bobinages sinon la linarit est perdue. La
disposition prcise des bobinages est optimise pour obtenir les
meilleures caractristiques possibles dans une longueur de capteur
donne.
Le conditionneur dun LVDT (figure 15) est compos dun gnrateur de tension alternative qui alimente le circuit primaire, un
amplificateur dtection synchrone dmodule la tension gnre

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1.3.2 Principales caractristiques

Ltendue de mesure des capteurs linaires transformateur diffrentiel varie de quelques micromtres 500 mm environ. Leur
diamtre est compris entre 8 et 30 mm. Les carts de linarit peuvent tre rduits 0,1 % de ltendue de mesure, et peuvent approcher 0,01 % pour des ralisations trs soignes dans lesquelles les
bobinages on t rpartis avec soin.
La principale cause de la drive de ces capteurs est la temprature. Elle peut tre rendue trs faible par compensation. En ajustant
la compensation, une drive de la sensibilit infrieure
100 ppm C peut tre obtenue. Les dilatations thermiques sont les
principales causes de la drive de lorigine.
Les bandes passantes sont au mieux gales au tiers de la frquence porteuse pour obtenir une ondulation rduite. En diminuant
la bande passante, le bruit rsiduel est rduit et une dynamique de
75 dB est ralisable (1,5 nm pour une tendue de 5 m ou 0,1 mm
pour 500 mm).
En fonction des conceptions, ces capteurs sont utilisables dans
une large gamme de temprature ( 200 C + 400 C), et ils peuvent
tre utiliss sous pression.

1.3.3 Limites dutilisation

La principale limite dutilisation provient de la bande passante
rduite (infrieure 1,5 kHz). Des erreurs de mesure proviennent
des dsaxages du noyau par rapport au corps du capteur.

1.3.4 Applications
La principale application concerne les mesures de dplacements
avec contact, en fixant une pointe de touche au noyau, utilises en
mtrologie dimensionnelle. Ces capteurs sont galement utiliss
dans toutes les applications dasservissement et de contrle de
position. Leur conception permet une intgration aise lintrieur
de vrins, de servo-valves. Des conceptions sont adaptes des utilisations en scurit intrinsque, en environnement nuclaire, dans
laronautique et lespace.

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Cble coaxial

MESURES SANS CONTACT

Dmodulateur

Filtre

lectrode de mesure
lectrode de garde
Cble tri axial
Lignes
de champ

Amplificateur
suiveur

Pice mesurer
Corps du capteur

a conditionneur utilisant une frquence porteuse

Anneau de garde
lectrode
de mesure

Rsistance
de polarisation

Isolants

Cble coaxial

Figure 16 Schmas dun capteur capacitif mesurant une pice

conductrice

Gnrateur
continu

Amplificateur
suiveur

b conditionneur permettant une trs grande bande passante

2. Capteurs capacitifs
2.1 Principe

Figure 17 Schma dun conditionneur pour un capteur capacitif

Cble coaxial
lectrode de mesure
intrieure

Un capteur capacitif est trs gnralement ralis avec une lectrode plane entoure dun anneau de garde (figure 16). Llectrode
forme avec la pice mesurer un condensateur plan. La dtermination de la distance d entre cette lectrode et la surface de la pice
mesurer est ralise en mesurant la capacit C du condensateur.
Elles sont lies par lquation :

S
C = ----------d
avec

permittivit du dilectrique existant entre le

capteur et la pice mesurer,

surface de llectrode du capteur,

distance mesurer.

lectrode de mesure
extrieure

Pice mesurer
Figure 18 Schma dun capteur capacitif mesurant une pice
isolante

teur sont proportionnelles aux variations de distance, mais dans ce

cas, linformation de distance absolue nest pas disponible :

La mesure de la capacit du condensateur est ralise en injectant

un courant alternatif i et en mesurant la tension v qui apparat ses
bornes. Leurs valeurs sont lies par la relation :

Q
Qd
v = ---- = -----------C
S

id
i
v = -------------- = --------------------j S
j C

Un capteur capacitif peut aussi tre utilis pour mesurer la position dune pice isolante (figure 18) condition que sa constante
dilectrique soit diffrente de celle de lair. Le condensateur de
mesure nest plus form entre le capteur et la pice mais entre deux
lectrodes du capteur. La rponse du capteur est fonction de la permittivit relative r de la pice mesure. Elle nest plus linaire, la
courbe de variation de la capacit en fonction de la distance se rapprochant dune hyperbole.

avec

pulsation du courant dalimentation : = 2f.

Cette tension v est proportionnelle la distance d.

Une lectrode de garde est place autour de celle de mesure et
son potentiel est port la mme valeur afin damliorer la linarit
en rendant les lignes de champ normales llectrode centrale, elle
limine donc les effets de bord.
La liaison entre le capteur et le conditionneur est gnralement
ralise laide dun cble triaxial (figure 17 a), lme centrale est
relie llectrode de mesure, le premier blindage coaxial est reli
llectrode de garde, son potentiel est maintenu gal celui de lme
centrale, il crante ainsi toutes les masses.
En polarisant un capteur capacitif par lintermdiaire dune rsistance de grande valeur (100 M) il est possible de mesurer les variations de distance trs haute frquence : on nest alors plus limit
par la frquence de la porteuse utilise. Pendant les variations de
distance rapides la charge lectrique Q du condensateur formant le
capteur est constante, les variations de tension aux bornes du cap-

Mesure dpaisseur
La mesure dpaisseur de tle ou de plaque peut tre ralise en
utilisant deux capteurs indpendants mais il peut tre plus performant et plus conomique de placer les lectrodes de mesure de part
et dautre de la pice mesurer.

2.2 Principales caractristiques

Les capteurs capacitifs permettent de mesurer, avec une justesse
de 0,1 % de ltendue de mesure, la distance de toutes pices

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conductrices condition que la permittivit de lentrefer soit constante. En effectuant un talonnage spcifique, ils peuvent aussi
mesurer la position de pices isolantes dont la permittivit est diffrente de celle de lair. Pour les pices conductrices, la rponse est
indpendante de leur rsistivit.
tendue de mesure
Ltendue de mesure de ces capteurs est faible (de 10 m
10 mm). Un conditionneur est adapt toute une gamme de capteurs qui prsentent les mmes variations de capacit, leur tendue
de mesure varie comme le carr de leur diamtre (par exemple un
diamtre de 8 mm pour une tendue de 1,25 mm, un diamtre de
1,13 mm pour une tendue de 25 m).
La justesse de mesure varie de 0,1 % 1 % de ltendue de
mesure selon la qualit du conditionneur : des ralisations
particulirement soignes permettent datteindre 0,01 %.
Cest un moyen de mesure dpourvu dhystrsis, la rptabilit
est fonction de la qualit du conditionneur.
Des rsolutions infrieures au nanomtre ont t obtenues pour
de faibles tendues de mesure.
Les variations de conductibilit des matriaux conducteurs nont
aucune influence sur la justesse de la mesure.

aussi utiliser les techniques de fabrication des circuits souples pour

raliser des capteurs ultra-minces.
Les tendues de mesure de ce type de capteurs ne sont pas trs
grandes (10 mm voire 40 mm en sacrifiant la linarit). Au-del, il
faudrait utiliser des capteurs de trs grande taille (suprieure
80 mm).
Pour effectuer les mesures sur les pices conductrices, il faut raliser une prise de masse, mme mauvaise (directe ou indirecte). Sil
ny a pas continuit, il suffit que le condensateur qui se trouve en
srie soit de grande capacit par rapport celle du capteur.
Si le rayon de la pice est trs petit, il est ncessaire den tenir
compte pour corriger la courbe de rponse : des non-linarits, des
dcalages de zro se produisent.
Linclinaison du capteur a une faible influence (moins de 0,4 %
pour un angle infrieur 5 degrs).

2.4 Applications

En raison de leur principe, les capteurs capacitifs ont une rponse

stable. Les trs faibles drives, qui peuvent tre rduites quelques
ppm/C, proviennent des dilatations des matriaux le constituant.
Les variations de la rponse avec le temps proviennent des imperfections du conditionneur ; elles peuvent tre fortement rduites.

Les capteurs capacitifs sont principalement utiliss pour mesurer

de petites distances (quelques micromtres 10 mm) avec une trs
petite incertitude de mesure. Il est possible dobtenir des rsolutions
infrieures au nanomtre et cela dans des conditions extrmes de
temprature et de pression. Ils peuvent donc tre utiliss pour effectuer des contrles dimensionnels de haute prcision, comme par
exemple ltalonnage de cales-talons, les contrles de rectitude, de
circularit, la mesure de faux rond ou de voile. Certains ont t
adapts la mesure de jeu entre cylindres, dentrefers.

La mesure de la distance de matriaux isolants est plus sensible

la temprature : lordre de grandeur des drives suit celui des variations des caractristiques dilectriques du matriau mesur. Quand
la rponse du capteur nest pas linaire linfluence relative crot avec
la distance mesure pour un capteur donn.

Ils sont aussi beaucoup utiliss pour le contrle de lignes

darbres, de paliers, la mesure dpaisseur de film dhuile (mme
sur des segments de moteur explosion), la mesure de distance
entre lextrmit daubes et le carter de racteurs haute temprature.

Stabilit, drives

Il est possible dobtenir une bande passante trs large, pouvant

atteindre 300 kHz en utilisant une frquence porteuse et plusieurs
MHz ou en se servant dune polarisation continue. Le bruit prsent
sur le signal de sortie est fonction de la bande passante (0,01 % pour
une bande passante de 400 Hz, 30 fois plus pour une bande passante de 300 kHz).

Ils sont aussi intgrs dans dautres capteurs :

des capteurs de pression ou de force ;
des acclromtres ;
des extensomtres ;
des dilatomtres ;
des systmes de mesure de niveau et dhorizontalit.
Ils ont t utiliss pour mesurer la pression exerce par le rayonnement solaire sur un satellite.

2.3 Limites dutilisation

La simplicit de la conception des capteurs capacitifs leur permet
de pouvoir supporter de trs hautes tempratures (jusqu 1 200 C
voire plus) et des tempratures cryogniques (4 K). De plus, ils peuvent tre utiliss dans lultravide et sous les pressions les plus leves (plusieurs milliers de bar).

Ils sont parfois placs dans des boucles dasservissement

dactionneurs pizolectriques, de rpteur pour la micro-lithographie, de palier magntique de gyroscope de satellite. Ils peuvent
supporter des environnements ionisants do leur utilisation dans
des racteurs nuclaires, des acclrateurs de particules. Leurs
caractristiques permettent de les utiliser pour mesurer des vibrations trs hautes frquences (plusieurs mgahertz), pour talonner
des capteurs dmission acoustique par exemple.

Il est assez facile de les miniaturiser (pour de trs petites tendues

de mesure, le diamtre de llectrode de mesure a t rduit
20 m). En effet, ils sont ralisables par srigraphie, et lon peut

Ils sont aussi un moyen non destructif pour mesurer des paisseurs de revtement en matriau isolant tels que peintures, vernis,
tflon, couches antifriction sur des supports conducteurs.

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