You are on page 1of 6

1.

3
Cara Memproduksi EUV / VUV, Berkas Laser Sinar-x
Sumber cahaya koheren EUV dan VUV yaitu laser EUV / VUV. Laser ini sangat
dibutuhkan untuk melanjutkan validitas hukum Moore di masa depan, data
densitas yang tinggi menulis pada disk, bahan sintesis dan karakterisasi, dan
penyelidikan spektroskopi. Misalnya, di fotolitografi untuk membuat mikro /
nanopatterns pada chip mikroelektronik, lebar pola sebanding dengan panjang
gelombang sinar laser yang digunakan. Oleh karena itu, kita akan mencapai
batas untuk miniaturisasi pada perangkat elektronik, yang menyebabkan
kegagalan hukum Moorel jika panjang gelombang laser lebih pendek maka tidak
dapat dikembangkan. Demikian pula, untuk data yang ditulis di optic cakram,
jika kita memiliki panjang gelombang laser lebih pendek, jumlah data yang dapat
ditulis pada CD akan semakin banyak. Selain ini, sumber tersebut adalah massa
depan dari densitas tinggi 3D dalam penulisan data pada CD, mikroskop pada
skala atom, kristalografi, dan ilmu medis. Berikut ini adalah metode untuk
mengembangkan laser dengan panjang gelombang pendek.

1.3.1
Gratis Electron Laser (FEL)
Berbeda dengan sumber laser lainnya, laser elektron bebas (Fels) memiliki aktif
media yang terdiri dari sinar elektron bebas, menyebarkan di relativistik
kecepatan dalam magnet spasial periodik (undulator). Di sini, elektron
mengalami
Lorentz kekuatan, mengeksekusi osilasi melintang, dan memancarkan radiasi
sinkrotron di
arah depan (Gambar 1.18). Kita tahu bahwa partikel bermuatan dipercepat
bergerak dengan kecepatan relativistik memancarkan radiasi, yang dapat
dianggap sebagai
spontan. Radiasi spontan yang dipancarkan berinteraksi dengan berkas elektron
dalam rangka untuk merangsang radiasi laser. Sejak medan listrik cahaya tegak
lurus terhadap
arah propagasi nya, elektron tidak dapat berinteraksi dengan foton kecuali
mereka
juga memiliki komponen kecepatan sejajar dengan medan listrik cahaya. Oleh
karena itu, elektron
balok diperbolehkan untuk melakukan perjalanan melalui jentik nyamuk magnet,
yang menghasilkan spasial

radiasi yang dipancarkan berosilasi antara dua cermin dari rongga laser dan berinteraksi dengan elektron balok untuk meningkatkan kekuatan radiasi laser sebelum meninggalkan rongga laser keluaran. elektron mengalami osilasi melintang seperti yang ditunjukkan pada Gambar 1.medan magnet periodik sepanjang arah propagasi berkas elektron. . Dalam mekanisme lain dikenal sebagai radiasi diri diperkuat emisi terstimulasi (perangko balasan).18. Mirip dengan laser lain. dari spontan emisi dari elektron relativistik berinteraksi dengan elektron yang sama untuk merangsang itu untuk emisi terstimulasi. oleh karena itu ada adalah masalah berat dalam mencapai intens X-ray sinar laser. Sejak cermin memiliki reflektifitas sangat rendah di wilayah X-ray. panjang gelombang radiasi yang dipancarkan diberikan oleh ekspresi λ = λu / 2γ 2 mana λu adalah panjang undulator dan γ adalah rasio Total energi elektron untuk energi diamnya. Berikut ini adalah fitur yang menonjol dari Fels Gambar 1.18 geometri Pembangunan Sistem laser elektron bebas. Dalam kasus ini. Setelah melewati bidang seperti.

Baru diperoleh frekuensi merupakan kelipatan integral (nω) dari fundamental (ω) frekuensi asli cahaya laser. Hasil HHG pertama ditemukan di . Mereka memiliki rentang frekuensi terluas dari setiap jenis laser. 2) durasi Pulse: Berdasarkan berkas elektron waktu durasi struktur pulsa berkisar dari CW ke ultrashort rezim berdenyut (fraksi picoseconds) 3) Coherence: Ini adalah melintang dan membujur untuk osilator dan benih yang koheren amplifier. melalui Terahertz radiasi dan inframerah. Panjang gelombang Fels dapat dengan mudah disetel dengan memvariasikan energi elektron dan periode dan amplitudo medan magnet. di beberapa daerah spektral (khususnya di VUV-X).1) tunability: Fels menghasilkan koheren. Fenomena ini pertama kali diamati pada tahun 1961 oleh Franken dkk. EUV / VUV Laser melalui Tinggi Harmonic Generation Lebih tinggi generasi harmonik (HHG) adalah proses optik nonlinier digunakan untuk generasi sinar laser panjang gelombang yang lebih pendek dari interaksi intensitas tinggi lagi panjang gelombang laser sumber dengan media optik nonlinier. sinar-X yang lembut. [13] dengan ruby laser dan kuarsa sebagai media nonlinier. radiasi daya tinggi yang banyak merdu. Lebih panjang gelombang yang lebih pendek dapat diproduksi oleh generasi harmonik. untuk spektrum yang terlihat. kecemerlangan FEL bisa lebih besar. sementara hanya melintang untuk SASE 4) Brilliance: Tergantung pada status seni teknologi berkas elektron. Saat mulai panjang gelombang dari gelombang mikro. oleh banyak lipat dari kecemerlangan yang ada sumber (laser dan radiasi sinkrotron).

di mana intensitas tetap konstan selama beberapa perintah. Media gas dan LPP pada permukaan padat dua sumber digunakan sebagai media yang aktif nonlinear untuk generasi harmonik. HHG sangat tergantung pada bidang laser yang mengemudi. disinkronkan dengan laser fundamental dan dioperasikan pada frekuensi yang sama dengan lebar pulsa jauh lebih pendek. Kebanyakan. tapi ini memiliki lebih rendah efisiensi konversi. Alih-alih jendela sementara yang lebih pendek. Mereka portabel sumber EUV / sinar-X yang lembut. Ini lebih spasial koheren dibandingkan dengan laser sinar-X dan lebih murah daripada Fels. Intensitas saturasi dapat ditingkatkan dengan mengubah intensitas atom gas mulia ringan. ketika kondisi pencocokan fase puas. yang dihasilkan pulsa baru dengan durasi pulsa lebih pendek dibandingkan laser mengemudi. karena itu harmonik yang dihasilkan memiliki koherensi spasial dan temporal yang sama. Karena pencocokan dan ionisasi kondisi fase diperlukan untuk HHG. Harmonik cutoff meningkat secara linear dengan meningkatnya intensitas laser yang hingga intensitas saturasi Isat mana generasi harmonik berhenti. yang menunjukkan bahwa intensitas spektrum menurun dengan meningkatnya pesanan. Panjang gelombang producible terpendek dengan generasi harmonik diberikan . mencapai dataran tinggi.1988. dan akhirnya berakhir tiba-tiba pada posisi yang disebut cutoff harmonik tinggi. harmonik diproduksi dalam bingkai waktu yang sangat singkat. mereka memancarkan colinearly dengan mengemudi pulsa laser dan memiliki kurungan sudut yang sangat ketat.

Setelah periode setengah dari medan listrik laser.19. itu memancarkan Radiasi bremsstrahlung-seperti selama proses rekombinasi dengan atom karena mengembalikan kembali ke keadaan dasar. arah gerak elektron dibalik dan dipercepat kembali ke inti induk. percepatan elektron.17UP.oleh cutoff dari dataran tinggi. Energi cutoff diberikan oleh Emax = IP + 3. dan HHG laser) dengan CW dan laser berdenyut memiliki berbagai lebar pulsa dari milidetik ke atosekon dan tingkat hal penuh dari pulsa tunggal ke megahertz yang tersedia saat ini Gambar 1. dan rekombinasi dengan inti induk oleh emisi foton EUV ditunjukkan pada Gambar 1. Hal ini diasumsikan bahwa elektron awalnya diproduksi oleh ionisasi ke dalam kontinum dengan nol kecepatan awal dan dipercepat oleh laser medan listrik. Model tiga langkah ionisasi. laser X-ray. Setelah mencapai energi kinetik yang tinggi urutan ratusan volt elektron (tergantung pada intensitas bidang laser). Rentang panjang gelombang yang luas dari sistem laser mulai dari ratusan mikrometer (laser molekul cair) ke daerah sinar-X (Fels. di mana UP adalah potensi ponderomotive dari bidang laser yang dan IP adalah potensi ionisasi. ketika elektron masuk ke dalam inti induk. yang diberikan oleh energi maksimum yang diperoleh oleh elektron terionisasi dari medan listrik cahaya. .20 mewakili spektrum sistem laser yang tersedia dengan panjang gelombang Kisaran dan media aktif.

Gambar 1. .19 Model Tiga-langkah ionisasi dan percepatan elektron dan rekombinasi yang dengan orangtua inti oleh emisi foton UV.