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米科學和奈米技術的對象就是在奈米尺度上的特質 世界。 奈米科學和奈米技術在 21 世紀將改變幾乎每一件人造 物體的特性,材料性能的重大改善和製造模式的改變將引發 一場工業革命。 奈米技術將會發展到何種程度?奈米技術是否能變得經 濟實用?奈米技術如何讓世界變得更加美好?

濟實用?奈米技術如何讓世界變得更加美好?
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內容簡介

奈米科技是 20 世紀 80 年代末 90 年代初發展起來的前瞻性、整合性的 新興學科。奈米科技將與資訊技術和生物技術一樣,對 21 世紀經濟、國防 和社會產生重大影響,並可能引導下一場工業革命。奈米科技的未來應用 將遠遠超過計算機工業,甚至改變人們的傳統思維方式和生活方式。本書 介紹奈米的概念、奈米微粒的特性、奈米科技的研究領域、奈米科技的發 展歷程、奈米科技的重要意義和產業前景、奈米粉末的檢測和特徵、奈米 材料的製備方法和應用領域、奈米科技的最新研究成果和產業開發現狀 等,重點介紹奈米科技的應用領域和產業發展。 本書可作為大專院校物理、化學、化工、冶金、材料、機械、生物、 能源、電子等專業的高年級學生和研究生的課外讀物,也可供有關專業教 師、科技人員、企業家、政府部門領導參考和閱讀。

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作者簡介

尹邦躍,男, 1966 年生。現在中南大學粉末冶金國家重點實驗室從事 博士後研究工作。研究課題是 B 4 C 超細粉末的製備及其活化燒結。博士學 位論文題目是「二氧化鋯(ZrO 2 )奈米粉末的製備及其複合陶瓷的力學性 能和低溫時效」。在《矽酸鹽學報》等刊物上共發表學術論文 20 多篇。近 期研究方向是奈米陶瓷材料,包括 ZrO 2 Al 2 O 3 TiCTiB 2 SiCSi 3 N 4 等。

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校閱者簡介

張勁燕,男, 1944 年生,交通大學電子研究所博士。現任教於逢甲大 學電子系。著有電子材料,半導體製程設備,工業電子學等書。

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繼網際網路( internet )、基因( gene )等名詞成為人們關注的熱點之

繼網際網路( internet)、基因( gene )等名詞成為人們關注的熱點之 後,「奈米」一詞也越來越多地躍入人們的眼簾。奈米是一種長度單位, 1nm (奈米( nano-meter))等於 10 億分之一米。對於普通老百姓來說, 奈米既不可「望」又不可及,仿佛是一個距離我們十分遙遠的夢。科學最 神秘、最美妙之處莫過於能將前人的預言變成現實。 20 世紀 50 年代末一 位科學家曾說:「如果有一天可以按人的意志安排一個個原子,那將產生 怎樣的奇蹟呢?」這在當時只是一個美麗的夢想。然而,在 21 世紀的今 天,我們生活中的化妝品、塗料、家用電器、食品等就有可能是應用了奈 米技術的產物。在前不久舉行的高科技會上奈米技術掀起了一股熱浪。許 多人都沒有想到,奈米技術竟如此之快地獲得了投資商的青睞,指引了創 業者的投資方向。凡是有奈米產品甚至奈米概念的企業,在展示會開幕的 第一天就有訂單入賬。於細微處顯神奇的奈米技術已經悄然地進入尋常百 姓的生活中,滲透到了衣、食、住、行等領域,它甚至將改變人們的傳統 思維方式和生活方式。奈米時代不會遙遠。 奈米科技是在 20 世紀 80 年代末 90 年代初才逐步發展起來的前瞻性、 整合性新興學科領域,它將與資訊技術和生物技術一樣,對 21 世紀經濟、 國防和社會產生重大影響,並可能引導下一場工業革命。據統計,目前全 世界奈米技術的實際應用每年可創造 500 億美元的營業額。預測顯示, 2010 年全球奈米技術的市場額將達到 14400 億美元,相當於目前法國一年的國 內生產毛額(gross domestic product)( GDP ),這無疑是一塊非常誘人的

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「超級蛋糕」。為了實現領導下一場工業革命的目標, 2000 1 月美國總 統克林頓(Clinton)親自宣布啟動美國國家奈米技術計劃( NNI ),拿出 5 億美元專門用於發展奈米技術。美國國防部近幾年每年投入 3500 萬美 元,用於研製奈米武器。美國的這一戰略舉動立刻引發了一場全球範圍內 的奈米科技競賽,日、德、英、法、瑞典、瑞士等國家也相繼製定相關戰 略或計劃,投入巨資搶占奈米科技戰略高地。奈米科技在我國也受到重 視。一時間,「奈米熱」遍及全球。 「奈米熱」的形成與新經濟密切相關。新經濟是以知識經濟為基礎, 迎向 21 世紀的高科技產業。近年來,在美、日、歐之所以形成「奈米技術 大合唱」,是因為認識到在新經濟時代必須發展奈米技術,生產奈米產 品,營造奈米產業。回顧資訊技術對全球經濟發展的影響,就會明白奈米 技術的重大意義。對美國經濟過去幾年高速增長的原因分析,人們有這樣 的共識:從 20 世紀 80 年代起,美國就開始大力發展資訊網路技術。到 90 年代,資訊網路新產品問世,形成了資訊網路產業,使美國經濟完成了結 構調整,避免了經濟衰退。相反,在 20 世紀 80 年代,日本和歐洲都沒有 重視資訊網路技術,從而在新一輪經濟競爭中被美國甩到了後面。這一歷 史教訓尤其使日本悔恨不已。如今,美、日、歐又面臨 21 世紀新一輪經濟 競爭,都想在奈米科技領域捷足先登。正如諾貝爾獎得主羅雷爾(Heinrich Rohrer)所說:「( 20 世紀) 70 年代重視微米( micron meter, m )技術的 國家如今都成為發達國家,現在重視奈米技術的國家很可能成為下一世紀 的先進國家。」 奈米材料作為一種新材料,是未來資訊技術和生物技術等多種學科深 入發展的重要物質基礎,它將引起產業結構的重大變化,並為新經濟創造 有形財富。奈米技術應用到傳統產業中去,將使老產品更新換代,真正實 現可持續發展。這種奈米改進並不見得價格昂貴,卻使產品更具有市場競 爭力。奈米科技對新經濟的影響已不是紙上談兵,近年來奈米科技已取得 一系列重大進展,在一些領域奈米科技已得到應用,正向產業化進軍。中

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國已有 10 多條奈米材料生產線,涉及奈米科技的企業已達 100 多家。但 是,目前的主要研究方向是將奈米粉末摻加到某種傳統材料中去,即進行 所謂的奈米改性,看看是否具有不同於常規材料的性能,然後再尋找應用 領域。例如,在化纖製品和紡織品中添加奈米微粒,具有除味殺菌的作 用。冰箱、洗衣機可以抗菌,也是因為用了奈米材料。無菌餐具、無菌玩 具、無菌紗布等產品也相繼問世。在化纖布料中加入少量的奈米金屬微 粒,可以擺脫因摩擦而引起的靜電現象。玻璃和瓷磚表面塗上奈米薄層, 可以製成自潔玻璃和自潔瓷磚。利用奈米技術,使外牆塗料的耐洗刷性由 原來的 1000 多次提高到了 10000 多次,老化時間也延長了 2 倍多。大氣和 太陽光中的紫外線對人體有害,也使塑料和橡膠製品迅速老化。利用奈米 技術即可解決這些問題,於是防紫外線化妝品、防紫外線傘、抗老化塑 料、抗老化橡膠等新產品隨之產生。利用奈米粉末,可使廢水徹底變成清 水,在環保方面的應用前景極為廣闊。 在未來 10 20 年內,奈米尺度上的重大新發現有望帶來革命性的商業 應用。現有的矽晶片將被體積縮小了數百倍的奈米管( nano tube )元件所 代替,像現在的「銀河」那樣的巨型計算機就可縮小到隨手放進口袋的尺 寸。而美國國會圖書館的資訊,將被壓縮到一個 0.3 厘米大小的矽片上。 奈米陶瓷將在室溫下就可以發生彎曲變形。奈米機器人可進入人體血液中 循環,對身體各部位進行檢測和診斷,並實施特殊治療,如疏通腦血管中 的血栓,清除心臟動脈脂肪沉積物,甚至可以吞噬病毒,殺死癌細胞。不 久的將來,甚至星際旅行也將因為應用了奈米技術而變成現實。 這是一場世界性的奈米角逐,也是一個難得的發展機遇。奈米科技向 各個領域的滲透日益廣泛和深入,未來幾乎所有現代技術領域的革新和進 步都離不開奈米技術。當前,人們迫切需要瞭解和掌握奈米科技特別是奈 米材料的基本知識和產業發展趨勢。中國已經出版了一些關於奈米科技的 學術專著。然而,普通讀者非常希望能有一本通俗易懂、資訊全面、富有 啟發意義的奈米科技基礎書籍。

啟發意義的奈米科技基礎書籍。

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本書全面介紹奈米科技的概念和研究領域,用舉例的方法系統地歸納 了奈米材料的特異性能,主要介紹奈米科技的發展歷程;奈米科技的重要 意義和產業前景,特點是用數字來說明奈米科技的產業發展現狀和前景; 重點介紹了奈米材料的應用、近年來奈米科技的研究成果和產業開發前 景,精心收集了 42 條最新資訊,包括國內外的研究成果和中國在奈米產業 開發方面所取得的成績;還介紹了作者關於科技創新和高科技產業化的一 些不成熟的看法。附錄部分對一些大家關心的問題進行了專門論述。 在本書的編寫過程中,編者查閱了大量的文獻資料。藉此機會,向所 有提供這些文獻資料的作者表示衷心的感謝。他(她)們是:白春禮、張 立德、解思深、盧柯、華中一、成會明、曹學軍、崔金泰、誠夫、陳瑞 金、周萍、怡然、劉道軍、郝建綱、沈建苗、郭志紅、杜占文、孫文德 等。

如果本書能引起廣大讀者的興趣,吸引更多的人去瞭解、學習和研究

奈米科技,甚至從本書中得到啟發,而尋找到奈米商機,都將使我感到莫

大的欣慰。

由於時間倉促,加之編者學識有限,本書一定有許多不足之處甚至錯

誤,懇請讀者批評指正。

誤,懇請讀者批評指正。 編 者 2001 年 3 月

編 者

2001 3

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第 1 章 什麼是奈米科技?…………………………………… 1 1.1 奈米的概念

第 1 章 什麼是奈米科技?…………………………………… 1

1.1 奈米的概念 …………………………………………………… 1

1.2 奈米微粒的特性 ……………………………………………… 3

1.2.1 量子尺寸效應……………………………………………… 3

1.2.2 小尺寸效應………………………………………………… 3

1.2.3 表面和界面效應…………………………………………… 4

1.2.4 巨觀量子隧道效應………………………………………… 4

1.3 奈米科技的研究領域 ………………………………………… 14

1.3.1 奈米材料……………………………………………………15

1.3.2 奈米元件……………………………………………………18

1.3.3 奈米結構的檢測與特徵記述………………………………19

第 2 章 奈米科技是如何發展起來的?…………………… 21

2.1 20 世紀 80 年代末、 90 年代初奈米科技正式誕生 …………21

2.2 21 世紀初各國加緊攻關 ……………………………………… 24

2.2.1 美國…………………………………………………………24

2.2.2 日本…………………………………………………………27

2.2.3 歐洲…………………………………………………………28

28

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2.2.4

中國 ……………………………………………………… 29

第 3 章 為什麼奈米科技受到特別重視? ……………… 31

3.1 重要意義 ……………………………………………………… 31

3.2 產業前景 ……………………………………………………… 34

第 4 章 奈米科技應用在那些領域? …………………… 41

4.1 材料與製造 …………………………………………………… 41

4.2 微電子、光電與計算機 ……………………………………… 43

4.3 醫學與健康 …………………………………………………… 45

4.4 生物工程與農業 ……………………………………………… 47

4.5 環境與能源 …………………………………………………… 47

4.6 航空與太空 …………………………………………………… 48

4.7 國家安全 ……………………………………………………… 49

第 5 章 奈米粉末的檢測和特徵 ………………………… 51

5.1 粉末粒徑 ……………………………………………………… 51

5.1.1 顆粒和粒徑的概念 ……………………………………… 51

5.1.2 粒徑分布 ………………………………………………… 53

5.1.3 平均粒徑 ………………………………………………… 54

5.2 粉末形狀 ……………………………………………………… 56

5.3 粉末粒徑和形狀的測定方法 ………………………………… 58

5.3.1 粒徑測定方法 …………………………………………… 58

5.3.2 顆粒形狀的測定方法 …………………………………… 62

…………………………………… 62

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第 6 章 奈米材料的製備方法和應用領域………………… 63

6.1 奈米材料──奈米科技的核心 ……………………………… 63

6.2 奈米粉末的製備方法 ………………………………………… 64

6.2.1 蒸發—冷凝法………………………………………………65

6.2.2 機械合金(MA)法 ……………………………………… 66

6.2.3 化學氣相法…………………………………………………66

6.2.4 化學沉澱法…………………………………………………67

6.2.5 水熱法………………………………………………………68

6.2.6 溶膠—凝膠法………………………………………………69

6.2.7 溶劑蒸發法…………………………………………………69

6.2.8 電解法………………………………………………………70

6.2.9 高溫自蔓延合成(SHS)法……………………………… 70

6.3 奈米粉末的成型與燒結 ……………………………………… 70

6.4 奈米塗層和奈米薄膜 ………………………………………… 73

6.5 奈米材料的應用領域 ………………………………………… 75

6.5.1 陶瓷增韌……………………………………………………76

6.5.2 在光學上的應用……………………………………………79

6.5.3 磁性材料……………………………………………………82

6.5.4 在生物和醫學上的應用……………………………………86

6.5.5 在催化方面的應用…………………………………………88

6.5.6 在其他方面的應用…………………………………………90

第 7 章 奈米科技的研究成果和產業開發………………… 93

7.1 量子計算機──運算速度提高一億倍 ……………………… 93

7.2 分子開關──向分子計算機邁進 …………………………… 94

…………………………… 94

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7.3

分子齒輪──分子機器踏上成功之路 ……………………… 95

7.4 分子馬達──微型機器人的核心部件 ……………………… 96

7.5 奈米微影照像機──向傳統微影照像機挑戰 ……………… 97

7.6 奈米電路──小小電路威力大 ……………………………… 98

7.7 室溫下移動單個原子──製造奈米機械 …………………… 98

7.8 奈米電纜──高密度積體元件的連接導線 ………………… 99

7.9 奈米秤──竟能稱取病毒的重量 ……………………………100

7.10 奈米鑷子──奈米機械的得力工具 ……………………… 100

7.11 奈米鼻──環保領域大顯神威 …………………………… 101

7.12 奈米機器──引發一場新的機器革命 …………………… 102

7.13 奈米醫學──攻克疑難雜症的曙光 ……………………… 106

7.14 奈米加工系統──向傳統加工挑戰 ……………………… 110

7.15 微型化技術──未來科技的發展趨勢 …………………… 112

7.16 奈米碳管──應用前景十分誘人 ………………………… 119

7.17 奈米晶銅──奇特的變形機制 …………………………… 124

7.18 奈米金屬──產業發展狀況 ……………………………… 126

7.19 奈米陶瓷──產業發展狀況 ……………………………… 126

7.20 奈米二氧化矽──白炭黑的升級產品 …………………… 129

7.21 奈米碳酸鈣──應用領域十分廣泛 ……………………… 131

7.22 奈米洗衣機──抗菌家電的先驅 ………………………… 132

7.23 奈米抗菌衣──安全又舒適 ……………………………… 132

7.24 奈米軍服面料──野戰更需要 …………………………… 133

7.25 奈米隱形塗料──奇妙的隱形術 ………………………… 133

7.26 奈米彈藥──未來彈藥的發展趨勢 ……………………… 134

7.27 奈米武器──未來戰爭的「微型軍」 …………………… 134

7.28 奈米塑料──後起之秀 …………………………………… 137

…………………………………… 137

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7.29

奈米金剛石──貴如黃金 ………………………………… 138

7.30 奈米磁性材料── 21 世紀的磁性材料…………………… 139

7.31 奈米複合鋼──比硬質合金還要硬 ……………………… 142

7.32 奈米潤滑材料──精密機械的潤滑 ……………………… 142

7.33 奈米硫化鎢、硫化鉬──嶄新的奈米管 ………………… 145

7.34 量子磁碟──再創新記錄 ………………………………… 145

7.35 單電子電晶體──微型電腦指日可待 …………………… 146

7.36 微型感測器──電子鼻、人工眼 ………………………… 147

7.37 奈米電容器──微小卻大有作為 ………………………… 149

7.38 奈米發光器──發光器的一朵新花 ……………………… 149

7.39 奈米硒( Se )──神奇的功能保健品 …………………… 150

7.40 奈米抗菌衛生陶瓷──追求健康生活 …………………… 150

7.41 奈米高分子材料──強大的「混血兒」 ………………… 151

7.42 奈米火車──向奈米自組裝邁進 ………………………… 157

第 8 章 關於科技創新和高科技產業化…………………… 163

8.1 科技創新 …………………………………………………… 163

8.2 高科技產業化 ……………………………………………… 166

附錄 1 美國國家奈米技術計劃 …………………………………… 171

附錄 2 神奇的奈米技術 …………………………………………… 176

附錄 3 21 世紀的量子晶片………………………………………… 191

附錄 4 摩爾定律會終結嗎? ……………………………………… 196

附錄 5 儲氫的奈米碳管 …………………………………………… 199

附錄 6 奈米技術,離現實還有多遠? …………………………… 202

…………………………… 202

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附錄 7 奈米技術,危乎哉? ………………………………………212 附錄 8 如何識別真假奈米技術? …………………………………217 附錄 9 上海深圳兩市「奈米概念」股票一覽 ……………………220 主要參考文獻 ………………………………………………………… 222 索 引(index)……………………………………………………… 223

223

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第一章 什麼是奈米科技?

1

什麼是奈米科技 ?
什麼是奈米科技 ?
什麼是奈米科技 ?
什麼是奈米科技 ?
什麼是奈米科技 ?
什麼是奈米科技 ?

什麼是奈米科技?

1.1 奈米的概念

我們的古人常用「芥子之微」、「秋毫之末」來形容東西很小。 古文《核舟記》裏描述了一艘用橄欖核雕刻的舟,窗子可以開合,上 面居然還寫著「山高月小,水落石出」八個字,令人嘆為觀止。這艘 船的最小零件只有 0.1mm (毫米),即 100 m(微米)。現代象牙微 雕,據說小如米粒,竟能刻下《唐詩三百首》全文。粗略估算一下,

m。然而,現在看來這些還不算最小。又如,人們往往用「細如髮絲」 來形容東西纖細。其實,人的頭髮直徑一般為 2050 m,可見並不 細小。單個細菌雖然用肉眼看不見,但用顯微鏡測出其直徑約為 5 m,也不算是最小的。就拿目前世界上最小的矽積體電路來說,線寬 已經減小至 0.13 m。據美國半導體工業協會( SIA )預計,到 2010 年 半導體元件的大小還將繼續減小至 0.1 m 100nm(奈米)以下,到 時候就會呈現出量子效應(quantum effect),所有的晶片必須按照新 的原理來設計。在這種奈米尺度上製造出的計算機性能將比目前微米

1mm × 2mm 的面積上刻兩萬字,每個字的面積只有 10 m × 10

10 m × 10
10 m × 10

技術下的計算機性能呈指數倍提高,從而在資訊產業和其他相關產業

001
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奈米時代

中將引發一場深刻的革命。這正驗證了哲學中「量變導致質變」的原

奈米( nanometer )是長度單位,原稱「毫微米」,用 nm 表示。 正如米是長度單位,用 m 表示一樣。 1nm = 10 9 m,即 1nm 等於 10 億 分之一米。我們知道,原子是組成物質的最小單位,自然界中氫原子 的直徑最小,僅為 0.08nm,非金屬原子直徑一般為 0.10.2nm,而金 屬原子直徑一般為 0.30.4nm。因此, 1nm 大體上相當於數個金屬原 子直徑之和。由幾個至幾百個原子組成或粒徑小於 1nm 的原子集合體 稱為「原子簇」或「團簇」( cluster)。當前能大量製備的團簇有 C 60 和富勒烯(fullerene)。 C 60 是由 60 個碳原子組成的足球結構的中空球 形分子﹔由三十二面體構成,其中 20 個六邊形、12 個五邊形。C 60 的 直徑為 0.7nm。通常所說的奈米是指尺度在 1100nm 之間。可見, 奈米微粒度大於原子簇,但用肉眼和一般的光學顯微鏡仍然是看不見 的,而必須用電子顯微鏡放大幾萬倍甚至十幾萬倍才能看得見單個奈 米微粒的大小和形貌。血液中的紅血球大小為 200 300nm ,一般細 菌如大腸桿菌的長度為 200 600nm,而引起人體發病的病毒一般僅 為幾十奈米,因此,奈米微粒比紅血球和細菌還要小,而與病毒大小 相當或略小些,見圖 1.1 所示。

相當或略小些,見圖 1.1 所示。 一個奈米 幾千個奈米 幾百萬個奈米 跨度只有

一個奈米

幾千個奈米

幾百萬個奈米

跨度只有 1 奈米 約為幾千奈米

小於一個奈米

個別原子的直徑只 10 個氫原子並列 紅血球的直徑大 拇指上的黑點直

徑為幾百萬奈米

有幾分之一奈米

002
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第一章 什麼是奈米科技?

1.1

1.2 奈米微粒的特性

1.2.1 量子尺寸效應

當粒子尺寸下降到某一最低值時,費米能階(Fermi level )附近

Fermi level )附近 = 4 E F N 3 3
Fermi level )附近 = 4 E F N 3 3
Fermi level )附近 = 4 E F N 3 3

= 4E F

N

3

Fermi level )附近 = 4 E F N 3 3 的電子能階由準連續變為離散能階的現象。

3

的電子能階由準連續變為離散能階的現象。 Kv60 提高了相鄰電子能級

間距 與顆粒直徑 的關係式:

式中, N 為一個微粒子的總導電電子數;E 為費米能階。對於大粒子

或巨觀物體包含無限個原子,導電電子數 N ,由上式可知,能階

N ,由上式可知,能階 間距 0

間距 0,即能階是連續的。而對於奈米微粒,所包含原子數有限,

N 值很小,於是 就有某一定值,即能階分開。當能階間距 大於熱

能、磁能、靜磁能、靜電能、光子能量或超導態的凝聚能時,必須考

慮量子尺寸效應,這就會導致奈米微粒的光、電、磁、熱、聲及超導

電性與巨觀特性有著顯著的不同。例如,奈米微粒的磁化率、比熱容

與所包含電子奇偶性有關,光譜線的頻移、催化性質、介電常數變化

等也與所包含電子數的奇偶性有關。例如,奈米銀( Ag )微粒在溫度

1K 時出現量子尺寸效應(即由導體變為絕緣體)的臨界粒徑為

20nm

1.2.2 小尺寸效應

當微粒尺寸與光波的波長、傳導電子的德布羅意(de Broglie)波

長以及超導態的相關長度或穿透深度等物理特徵尺寸相當或更小時,

003
003

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1.2.3 1.2.4

1.2.3

1.2.4

奈米時代

晶體周期性的邊界條件將被破壞,導致聲、光、電、磁、熱、力學等

特性均會呈現新的小尺寸效應。例如,光吸收顯著增加,並產生吸收

峰的電漿共振頻移;磁有序態轉變為磁無序態;超導相能變為正常

相;聲子譜發生改變等。

表面和界面效應

奈米微粒由於尺寸小,表面積大,表面能高,位於表面的原子占 相當大的比例,如圖 1-2 所示。10nm 的奈米微粒,表面原子數占總原 子數的 20%1nm 的奈米微粒表面原子數占總原子數的 99%。這些表 面原子處於嚴重的缺位(vacancy )狀態,因其活性極高,極不穩定, 很容易與其他原子結合,從而產生一些新的效應。

100 80 60 40 20 0 10 20 30 40 50 粒徑(nm) (%)表面原子數相對於總原子數比例
100
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60
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10
20
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40
50
粒徑(nm)
(%)表面原子數相對於總原子數比例

1-2 表面原子數與粒徑的關係

巨觀量子隧道效應

微觀粒子具有貫穿電位障(potential barrier)的能力,稱為隧道效 應( tunneling effect )。近年來,人們發現一些巨觀量子如微顆粒的磁

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第一章 什麼是奈米科技?

化強度、量子干涉元件中的磁通量等也具有隧道效應,稱之為巨觀量 子隧道效應。巨觀量子隧道效應的研究對基礎研究及實用都有著重要 意義。它限定了磁帶、磁碟進行資訊存儲的時間極限。量子尺寸效 應、隧道效應將會是未來微電子元件的基礎,或者可以說它確立了現 有微電子元件進一步微型化的極限。因此,當微電子元件進一步細微 化時,必須要考慮上述的量子效應。 科學研究發現,當微粒尺寸小於 100nm 時,由於量子尺寸效應, 小尺寸效應,表面和界面效應及巨觀量子隧道效應,物質的很多性能 將發生質變,從而呈現出既不同於巨觀物體,又不同於單個獨立原子 的奇異現象:熔點降低,蒸氣壓升高,活性增大,聲、電、光、磁、 熱、力學等物理性能出現異常。 普通塊狀金(Au)的熔點為 1063 ℃,而 2nm 的金微粒的熔點 僅 327 ℃,如圖 1-3 所示。普通銀(Ag )的熔點為 960℃,而奈米銀 微粒的熔點為 100℃。大塊銅( Cu )的熔點為 1085 ℃,而 20nm 銅微 粒的熔點降為 39 ℃。

大塊材的熔點(1336K) 1300 1000 500 300 0 5 10 15 20 粒徑(nm) (K)熔點
大塊材的熔點(1336K)
1300
1000
500
300 0
5
10
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20
粒徑(nm)
(K)熔點

1-3 金奈米微粒的粒徑與熔點的關係

圖 1-3 金奈米微粒的粒徑與熔點的關係 005
圖 1-3 金奈米微粒的粒徑與熔點的關係 005
圖 1-3 金奈米微粒的粒徑與熔點的關係 005
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奈米時代

當銅( Cu )粉的粒徑從 100nm 減小至 10nm1nm 時,相對應 的奈米粉末的表面積從 6.6m 2 /g 增大至 66m 2 /g660m 2 /g ,表面能從

590 焦耳/摩爾( J/mol)( Joule/mole )增大至 5900J/mol 59000J/ mol ,因而微粒表面原子具有極高的反應活性。奈米金屬微粒在空氣 中會燃燒;奈米無機微粒暴露於空氣中會吸附氣體,並與氣體反應。 將通常的金屬催化劑鐵( Fe )、鈷( Co )、鎳( Ni )、鈀

Pd)、鉑( Pt)製成奈米微粒,可大大改善催化效果。 30nm 的奈米 Ni 粉可將有機化學加氫和脫氫反應速率提高 15 倍。在甲醛( formal- dehyde, HCHO )的氫化反應生成甲醇(methanol, CH 3 OH )的反應 中,以奈米 Ni 粉和奈米 TiO 2 SiO 2 NiO 2 粉分別作催化劑和載體, 可將選擇性提高 5 倍。利用奈米 Pt 作催化劑放在 TiO 2 載體上,在含 甲醇的水溶液中可透過光照射製取氫,且產出率比原來提高幾十倍。 10nm 的奈米陶瓷粉末的燒結( sintering )速度比 10 m 的粉末 提高 12 個數量級(即 10 12 倍); 1nm 粉末的緻密化速率比 1 m 粉末 提高 8 個數量級(即 10 8 倍)。常規 Al 2 O 3 粉末的燒結溫度高達 18001900 ℃,而奈米 Al 2 O 3 粉末可在 1150 1500 ℃燒結到理論密度 的 99.7%。奈米 TiO 2 500 ℃加熱即呈現明顯的緻密化,而晶粒尺寸 僅有微小的增加。奈米 ZrO 2 的燒結溫度比微米級 ZrO 2 的燒結溫度降低 400 ℃。常規 Si 3 N 4 的燒結溫度高於 2000 ℃,而奈米 Si 3 N 4 的燒結溫度 可降至 15001600℃,如圖 1-4、圖 1-5 。 奈米晶體銅的強度比普通銅高 5 倍,在室溫軋製( roll process) 過程中出現超塑性延展性,延伸率超過 5000%,且不出現普通銅冷軋

5000% ,且不出現普通銅冷軋 cold-roll )過程中的加工硬化現象。奈米鐵(
5000% ,且不出現普通銅冷軋 cold-roll )過程中的加工硬化現象。奈米鐵(

cold-roll)過程中的加工硬化現象。奈米鐵( Fe )多晶體的強度比常

Fe 12 倍。奈米晶體 Cu Ag 的硬度和屈服強度( yield strength) 分別比常規材料高 50 倍和 12 倍。許多奈米陶瓷的硬度和強度比普通 陶瓷高出 4 5 倍。在 100 ℃下,奈米 TiO 2 陶瓷的顯微硬度為 1300kg/

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第一章 什麼是奈米科技?

100 98 1050℃ 96 1000 ℃ 94 92 90 88 86 84 82 80 0
100
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5
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保溫時間 (h)
(%)密度變化

mm 2 ,而普通 TiO 2 陶瓷的顯微硬度低於 200kg/mm 2 ,奈米陶瓷是解

1-4 超高壓成型所得素坯在不同溫度下

100 90 80 3GPa 70 60 450MPa 50 40 0 200 400 600 溫度 (℃)
100
90
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3GPa
70
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450MPa
50
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0
200 400 600
溫度 (℃)
800 1000 1200
(%)相對密度

燒結的密度隨保溫時間的變化情況

1-5 超高壓成型和通常冷等靜壓 成型所得素坯的燒結曲線

決陶瓷脆性的戰略途徑。奈米 TiO 2 陶瓷在室溫下就產生塑性形變。

晶粒尺寸為 150nm 的次微米四方晶 ZrO 2 Y-TZP

2 粉末)陶瓷在 1250℃下呈現超塑性,起始應變速率達到 3 × 10 2 s 1 ,壓縮應變量達到 380%。預計當晶粒尺寸小於 100nm 時,形變還 會增大。在相同應力水平下,奈米 Y-TZP 的超塑性應變速率比 0.3 m 的次微米 Y-TZP 高出 34 倍。奈米 Si 3 N 4 1300℃即可產生 200%以上

Si 3 N 4 在 1300 ℃即可產生 200% 以上 - 堅 化的 ZrO 007

- 堅 化的 ZrO

007
007

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奈米時代

的形變。奈米 SiC 陶瓷的斷裂韌性( fracture toughness K 比常規材 料提高 100 倍。奈米 ZrO 2 + Al 2 O 3 複合瓷的 K 比常規材料提高 4 5 倍。在 Al 2 O 3 陶瓷中加5%奈米鎢(W )粉,斷裂強度提高至 110 百 萬帕(MPa ),斷裂韌性從 3.5MPa m 1/2 提高到 4.8MPa m 1/2 ,最高 工作溫度由 800 ℃提高到 1200 ℃。在高分子材料中加奈米材料製成 刃具,比金剛石製品還堅硬。將 3% 奈米 TiO 2 到環氧樹脂 ( epoxy)中,拉伸強度提高 44%,衝擊韌性提高 878%,拉伸彈性模

44% ,衝擊韌性提高 878% ,拉伸彈性模 1.6 1.4 1.2 1.0 電解沉積奈米 Cu 0.8 退火態粗
1.6 1.4 1.2 1.0 電解沉積奈米 Cu 0.8 退火態粗 Cu(500 ℃, 48h) 普通粗 Cu 0.6 0.4
1.6
1.4
1.2
1.0
電解沉積奈米 Cu
0.8
退火態粗 Cu(500 ℃, 48h)
普通粗 Cu
0.6
0.4
0
1000
2000
300030003000
4000
(%)
HV(GPa)

數提高 370%

1-6 電解沉積奈米 Cu 樣品,退火態粗 Cu 樣品及普通 粗 Cu 樣品的微觀硬度隨冷軋變形量的變化趨勢

傳統金屬是導體,但奈米金屬微粒強烈地趨向電中性,如奈米 銅就不導電,且電阻隨粒徑減小而增大,電阻溫度係數也下降甚至出 現負值。而原本絕緣的 SiO 2 ,在 20nm 尺度時開始導電。一般地,鈦 酸鉛(PbTiO 3 )、鈦酸鋇( BaTiO 3 )和鈦酸鍶(SrTiO 3 )等是典型的 鐵電體( ferroelectric),但當其尺寸進奈米量級時就會變成順電體 ( paraelectric)。奈米氧化物和氮化物在低頻下的介電常數增大幾倍。

008
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第一章 什麼是奈米科技?

10nm 100nm 25nm 11nm 6nm 800 700 600 500 400 300 200 100 0.1 0.2
10nm 100nm
25nm 11nm
6nm
800
700
600
500
400
300
200
100
0.1
0.2
0.3
0.4
d 1/2
1/2
Hv ( kg . mm維氏硬度 2 )

甚至增大一個數量級,表現出極大的增強效應。奈米非晶氧化鋁( - Al 2 O 3 )和奈米 TiO 2 塊體試樣出現介電常數最大值的對應的粒徑分別

1600 TiO 2 1200 800 400 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 溫度
1600
TiO 2
1200
800
400
0
200 400 600 800 1000 1200 1400
溫度 (℃)
(kg . mm維氏顯微硬度 2 )

84nm 17.8nm

1-7 電沉積奈米晶體 Ni 的硬度與 d 1/2 的關係

1-8 TiO 2 的維氏硬度(Vickers hardness )隨燒結溫度的變化

鐵磁性物質達到奈米尺度(~ 5nm)時,由於多域( domain

009
009

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奈米時代 變成單域,顯示出極強的順磁( paramagnetic )效應。 10~ 25nm 的鐵
奈米時代
變成單域,顯示出極強的順磁( paramagnetic )效應。 10~ 25nm 的鐵
磁性金屬微粒的矯頑力(coercive force )比相同的常規材料大 1000
倍;而當微粒尺寸小於 10nm 時,矯頑力變為零,表現出超順磁性。
150.00
100.00
50.00
0.00
100
1000
10000
100000
頻率(Hz)
奈米磁性金屬的磁化率是常規金屬的 20 倍,而飽和磁力矩(magnetic
moment)是普通金屬的 1/2 。將奈米鈷(Co)微粒嵌於 Cu 膜中,發
270
225
180
135
90
45
0
20
40
60
80
100
120
d
現了巨磁電阻( GMR, gaint magnetic reluctance )效應。
010
'介電常數
× 10Hc 3 /4

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第一章 什麼是奈米科技? 圖 1-9 不同粒徑奈米 -Al 2 O 3 塊體和粗晶試樣介電常數頻譜 ○—
第一章 什麼是奈米科技?
圖 1-9 不同粒徑奈米 -Al 2 O 3 塊體和粗晶試樣介電常數頻譜
○— 27nm ×— 84nm ▲— 258nm + — 5 m
圖 1-10 鎳微顆粒的矯頑力 Hc 與顆粒直徑 d 的關係曲線
6nm 的 Si 在靠近可見光範圍內就有較強光致發光現象。在奈
Al 2 O 3 、 TiO 2 、 SiO 2 、 ZrO 2 中也觀察到在常規材料中看不到的發光
現象。奈米金屬微粒的光反射能力顯著下降,通常可低於 1%。由於
小尺寸效應和表面效應而使奈米微粒具有極強的光吸收能力。奈米氧
化物和氮化物對紅外線和微波具有良好的吸收特性。奈米複合多層膜
1600
5.5K
1200
800
100K
400
0
10
20
30
40
d
在 7~17GHz 頻率的吸收峰高達 14 分貝(dB, decibel),在 2GHz 頻率
的吸收峰為 10dB。與大塊材料相比,奈米微粒的吸收帶普遍存在「藍
移」(blue shift)現象,即吸收帶向短波長方向移動,如奈米硫化鎘
(CdS)微粒等。
圖 1-11 鐵奈米微粒矯頑力與顆粒粒徑和溫度關係
011
× 10Hc 3 /4

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奈米時代 奈米 Cu 晶體的自擴散速率是傳統晶體的 10 6 ~ 10 9 倍,是晶界 擴散的 10

奈米時代

奈米 Cu 晶體的自擴散速率是傳統晶體的 10 6 10 9 倍,是晶界 擴散的 10 3 倍。奈米 Cu 晶體的比熱( specific heat)是傳統晶體 Cu 2 倍。奈米鈀( Pd )的熱膨脹係數是傳統材料的 2 倍。 80nm 奈米 Al 2

40 T = 4.2K Co-Ag 30 Fe-Ag 20 10 Fe-Au Fe-Cu Fe-Pt 0 20 40
40
T = 4.2K
Co-Ag
30
Fe-Ag
20
10
Fe-Au
Fe-Cu
Fe-Pt
0
20
40
60
80
100
顆粒體積分數(%)
GMR
%
p xx / p xx 8

O 3 的熱膨脹係數(室溫至 700 ℃)也是 5 m 粗晶 Al 2 O 3 2 倍。奈米 非晶( amorphous Si 3 N 4 的熱膨脹係數為常規晶態 Si 3 N 4 陶瓷的 126

Si 3 N 4 陶瓷的 1 ~ 26 d 1 d 2 d 3 600 800
d 1 d 2 d 3 600 800 1000 波長(nm) 強度
d 1 d 2
d
3
600
800
1000
波長(nm)
強度

倍。傳統非晶 Si 3 N 4 1520 ℃晶化成 相,而奈米非晶 Si 3 N 4 微粉在 1400℃保溫 4 小時全部變成 相。

1-12 Co-Ag Fe-Ag 等顆粒膜的巨磁電阻效應

012
012

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第一章 什麼是奈米科技?

Co Fe 微粒的體積分數的關係

1-13 不同顆粒奈米 Si 在室溫下的發光(粒徑 d 1 < d 2 / d 3

10 40 20 35 200 300 奈米微晶 Pd Pd 72 Si 18 Fe 10 30
10
40 20
35
200
300
奈米微晶 Pd
Pd 72 Si 18 Fe 10
30
多晶 Pd
25
150
200
250
300
溫度(K)
(J . g比熱容 1 K. 1 )
C p (%)

總之,奈米材料由於具有量子尺寸效應、小尺寸效應、表面和界 面效應、巨觀量子隧道效應,從而呈現如下的客觀物理、化學特性: 低熔點、高比熱容、高熱膨脹係數; 高反應活性,高擴散率; 高強度,高韌性,高塑性; 奇特磁性; 極強的吸波性。

奇特磁性; 極強的吸波性。 圖 1-14 奈米微晶 Pd ,多晶 Pd 、玻璃 Pd 7
奇特磁性; 極強的吸波性。 圖 1-14 奈米微晶 Pd ,多晶 Pd 、玻璃 Pd 7

1-14 奈米微晶 Pd ,多晶 Pd、玻璃 Pd 72 Si 18 Fe 10 的比熱容的比較。左上 角的小圖繪出了奈米微晶 Pd 及玻璃 Pd 72 Si 18 Fe 10 相對於多晶 Pd 的 比熱容的增加 Cp

Fe 1 0 相對於多晶 Pd 的 比熱容的增加 Cp

奈米晶態金屬與正常晶態、非晶態金屬的性能比較

013
013

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奈米時代 15 10 370 450 530 610 溫度 (K) × 10熱膨脹 3 (mm) 20 10

奈米時代

15 10 370 450 530 610 溫度 (K) × 10熱膨脹 3 (mm)
15
10
370
450
530
610
溫度 (K)
× 10熱膨脹 3 (mm)
20 10 5 273 400 600 800 1000 1200 溫度 (K) 3 nm) × 10L伸長量
20
10
5
273 400
600
800
1000
1200
溫度 (K)
3 nm)
× 10L伸長量
014
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第一章 什麼是奈米科技? 性能 金屬 正常晶態 非晶態 奈米晶 密度 (g/cm 3 ) 鐵 7.9 7.5
第一章 什麼是奈米科技?
性能
金屬
正常晶態
非晶態
奈米晶
密度 (g/cm 3 )
7.9
7.5
6.0
25%
比熱容(130~340K)(J/kg.K)
0.42
0.45
0.65 +55%
飽和磁感(4K)(emu/g)
222
215
130
40%
熱膨脹率,10 6 (K 1 )
自擴散係數(293K)(m 2 /s)
17
18
31
+ 80%
4.8× 10
2.6 ×10 20 + 10 4
185
~370
屈服強度 (MPa)
83
(+123%~+346%)
磁化率 10 6 [emu/(g. Oe)]
自擴散激活能 (kcal/mol)
1
0.03(液態)
+ 20 + 2000%
35.8
— 55%
16
34.8
— 19
45%
超導臨界溫度(K)
1.2
— 3.2(+165%)
註:括號內的數字是相對於正常晶態的相對變化值。
Oe 奧斯特( Oersted ,磁場強度的單位)
圖 1-15 奈米和微米 -Al 2 O 3 晶體的熱膨脹與溫度關係
▲— 80nm ■— 105nm ×— 5 m
圖 1-16 奈米非晶氮化矽塊體的熱膨脹與溫度關係
1.3 奈米科技的研究領域
由於奈米科技的多學科整合性質,奈米科技的研究對象涉及諸多
領域,它的基礎研究問題又往往與應用密不可分。奈米科技是指在奈
米尺度上研究物質的特性和相互作用,以及利用這些特性開發新產品
的一門多學科整合的科學和技術。通俗地說,奈米科技就是與奈米微
粒、「團簇」甚至分子、原子打交道。根據奈米科技與傳統學科領域
的結合,可將奈米科技細分為奈米材料學、奈米電子學、奈米生物
學、奈米化學、奈米機械學與奈米加工等等。但是這種與學科緊密聯
係的分類方式,無法簡單便捷地勾勒出奈米科技的大致輪廓,而且各
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  奈米時代

奈米時代

 

類之間又有交叉和重疊。因此,將奈米科技分為奈米材料、奈米元

   

件、奈米檢測與特徵記述三大類功用性很強的研究領域,應該是比較

合適的。 奈米材料是奈米科技發展的重要基礎,是奈米科技最為重要的研 究領域。可以說,誰掌握了奈米材料,誰就掌握了 21 世紀奈米科技發 展的主動權。奈米元件的研製和應用水平是進奈米時代的重要標 誌。奈米科技的最終目標就是直接利用物質在奈米尺度上所表現出來 的新穎的物理、化學和生物學等特性來製造出具有特定功能的產品。 奈米檢測與特徵記述是為在奈米尺度上研究材料和器件的結構、性能 提供研究手段。

1.3.1 奈米材料

提供研究手段。 1.3.1 奈米材料
提供研究手段。 1.3.1 奈米材料
材料是人類賴以生存和發展的物質基礎,因此使用什麼樣的材料

材料是人類賴以生存和發展的物質基礎,因此使用什麼樣的材料 製造工具往往成為人類文明發達程度的一個重要標誌。金屬材料、無 機非金屬材料(包括陶瓷、玻璃、水泥、人造晶體等)和有機高分子 材料是材料的三大支柱。根據性能特性分類,材料又可分為結構材料 和功能材料,前者以力學性能(如強度、韌性等)為主,後者以物 理、化學特性(如電、磁、光、熱等)為主。奈米材料是指材料的顯 微結構尺寸均小於 100nm(包括微粒尺寸、晶粒尺寸、晶界寬度、第 二相分布、氣孔尺寸、缺陷尺寸等均達到奈米級水平),並且具有某 些特殊性能的材料。奈米材料的主要類型有:奈米粉末、奈米塗層、 奈米薄膜、奈米絲、奈米棒、奈米管和奈米固體。判斷一種材料是否 是奈米材料,有兩個條件:一是看微粒尺寸和晶粒尺寸是否小於

100nm;二是看是否具有不同於常規材料的性能,這兩個條件缺一不

 

可。

 

奈米材料由於其結構的特殊性,如大的比表面以及一系列新的效

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第一章 什麼是奈米科技?

應(小尺寸效應、界面效應、量子效應和量子隧道效應),決定了奈 米材料出現許多不同於傳統材料的獨特性能,進一步優化了材料的電 學、磁學、熱學及光學性能,從而推動了奈米科技的研究和開發。對 於奈米材料的研究包括兩個方面:一是系統地研究奈米材料的性能、 微結構和譜學特徵,透過與傳統材料對比,找出奈米材料特殊的規 律,建立描述和表徵奈米材料的新概念和新理論。例如少量原子即 「團簇」狀態下的物理結構還不清楚,換句話說,在尺寸小到奈米級 甚至原子尺度時,很多客觀和微觀的物理定律不再適用了。比如,在 電學方面,歐姆定律就不適用於奈米材料;過去常用的能帶逸出功等 描述原子集體行為的概念也不再適用。因此,奈米科技迫切需要新的 物理學。二是發展新型奈米材料。 21 世紀材料科學技術的發展重點將 向具有功能化、智慧化、複合化、微型化及與環境協調化等特徵的方 向發展。最活躍的材料領域將是資訊功能材料、奈米材料、生物材 料、開發新能源(如太陽能等)及節約能源(如超導、燃料電池等) 材料以及高比強度、高比剛度、耐高溫、耐磨、耐蝕和其他在極端條 件下具有優良性能的結構材料。材料的開發與生產將逐步擺脫以經驗 為主的局面,將更多地通過計算機輔助,從微觀到客觀實現分子成分

設計和工業技術設計。隨著材料科學技術的進步,傳統材料的性能將 會大幅度提高,資源與能源消耗不斷降低,環境污染受到有效的控 制。

對於奈米金屬材料,將著重研究利用奈米微粒的小尺寸效應造成 的無差排(dislocation )或低差排密度區域達到高強度和高硬度。對於 奈米陶瓷材料,將著重研究通過改善界面脆性或奈米複合來提高斷裂 韌性。在 20 世紀 60 年代曾經熱鬧過一陣子的金屬陶瓷(硬質合金), 原本希望集金屬與陶瓷各自的長處於一身而得到一種新型材料。然而 不幸的是,實際結果表明正好相反,以致金屬陶瓷因脆性問題未能解

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奈米時代 決而不能用於發動機葉片。這並非是思路上的失誤,更多地應歸咎於
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奈米時代 決而不能用於發動機葉片。這並非是思路上的失誤,更多地應歸咎於
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奈米時代

決而不能用於發動機葉片。這並非是思路上的失誤,更多地應歸咎於 工業技術問題。最近,透過奈米技術的發展,為金屬陶瓷的設想又重 新帶來了一線光明,即利用奈米技術有可能製備出兼具金屬和陶瓷各 自的長處於一身的新型材料。對於高分子材料,一個重要研究方面即 是透過有機/無機奈米複合技術,提高材料的力學強度和耐熱性,並 根據設計要求賦予它們一定的功能特性。 奈米材料大部分是人工合成的,但是自然界中早就存在奈米微粒 和奈米固體,其中有許多秘密等待人們去發現。例如,每一個細胞是 一個活生生的奈米技術的例子,它不僅燃燒轉變成能量,而且還能按 DNA (去氧核糖核酸)中的遺傳密碼生產並排出蛋白質和 ( en- zyme ,即酵素)等。透過重組不同特性的 DNA 基因工程技術,已能 製造出新的奈米元件──如能分泌激素的細菌細胞。又如,蜜蜂的腹 部存在奈米磁性微粒,這種磁性微粒具有指南針的作用,蜜蜂就是利 用這種「羅盤」來確定其周圍環境在自己頭腦裡的圖像從而判明飛行 方向。人體和獸類的牙齒是由羥基磷灰石組成的,它具有奈米結構, 晶界有接近生物體的薄層,因而具有較好的韌性。然而,人工合成羥 基磷灰石需要 1000 ℃以上的高溫,也難以得到定向的奈米結構。為什

麼人體卻能夠在十分溫和的環境中合成這類牙齒或骨骼呢?這就引發出 一個十分有趣的新領域──仿生合成。

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1.3.2 奈米元件

第一章 什麼是奈米科技?

奈米科技的最終目標是以原子、分子為起點,從奈米材料出發或 者利用奈米加工技術,製造出具有特殊功能的產品,即奈米元件。奈 米科技最初發展的一個主要推動力來自於資訊產業。由於採用了奈米 技術,積體電路的幾何結構進一步縮小,超越目前發展中遇到的極 限,因而使得功能密度和數據通過量率達到新的水平,並且研製成本 急遽上升。在奈米尺度下,現有的電子元件把電子視為粒子的前提不 復存在,因此會出現種種新現象和新效應,如量子效應。利用量子效 應而工作的元件稱為量子元件( quantum device),如共振隧道二極體

quantum device ),如共振隧道二極體 resonant tunnel diode )、量子井( quantum well
quantum device ),如共振隧道二極體 resonant tunnel diode )、量子井( quantum well
quantum device ),如共振隧道二極體 resonant tunnel diode )、量子井( quantum well

resonant tunnel diode)、量子井( quantum well)、發光器和量子干 涉零件等。與電子元件相比,量子元件具有高速(速度可提高 1000 倍)、低耗(能耗降為千分之一)、高效率、高積集度、經濟可靠等 優點。對我國而言,透過化學和生物學方法組裝奈米元件可能更能發 揮我們的技術優勢,即研製分子計算機和生物計算機。 為製造具有特定功能的奈米產品,其技術路線可分為「自上而 下」和「自下而上」兩種方式。「自上而下」是指透過微加工或固態 技術,不斷在尺寸上將人類創造的功能產品微型化。而「自下而上」 是指以原子、分子為基本單元,根據人們的意願進行設計和組裝,從 而構築成具有特定功能的產品。顯然,「自下而上」的技術路線有利 於減少對原材料的需求,並降低環境污染。 科學家還希望透過對奈米生物學的研究,進一步在奈米尺度上應 用生物學原理製造生物分子元件。目前,科學家在奈米生物感測器、 生物分子計算機、奈米分子馬達等方面都做了重要的嘗試。 未來所有的奈米電子元件都將具有更小、更快、更冷的特點。 「更小」是指元件和電路的尺寸更小,對積體電路來說就是積集度更

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  奈米時代

奈米時代

高。「更快」是指響應速度更快。「更冷」是指單個元件的功率更
高。「更快」是指響應速度更快。「更冷」是指單個元件的功率更

高。「更快」是指響應速度更快。「更冷」是指單個元件的功率更 小,否則很多元件堆積在一起時,極耗能源,可造成升溫。但是, 「更小」並沒有限度。以矽積體電路而言,目前國際上做出的最小線 寬是 130nm(據報導,最近已在實驗室做到 100nm 的精度)。如果線 寬小於 100nm,則量子效應就要出來,常用的電路設計方法就不再適 用,常用技術也可能很快達到它們的極限,因此需要迅速更新。可能 的早期突破是在超高密度存儲器(如量子磁碟)、超靈敏感測器、醫 療診斷用元件、數碼資訊的高速輸和輸出、平板顯示器用的微小電 子源陣列等方面。中期目標則是 10 12 位存儲器及 10 12 次/秒。運算

 

器、共振隧道元件、即時語音識別系統、自主決策系統、虛擬實感訓 練系統等。

 

1.3.3 奈米結構的檢測與特徵記述

為了在奈米尺度上研究材料和元件的結構性、發現新現象、發展

為了在奈米尺度上研究材料和元件的結構性、發現新現象、發展 新方法、創造新技術,必須建立主尺度的檢測與特徵記述手段。這包 括在奈米尺度上原位研究各種奈米結構的電、磁、光、熱、力學等特 性,奈米空間的化學反應過程,物理傳輸過程,以及原子、分子的排 列、組裝與奇異物性的關係。 掃描探針顯微鏡( SPM )的出現,標誌著人類在對微觀尺度的探 索方面進到一個全新的領域。作為奈米科技重要研究手段的 SPM 被 形象地稱為奈米科技的「眼」和「手」。所謂「眼睛」,即可利用 SPM 直接觀察原子、分子以及奈米粒子的相互作用與特性。所謂 「手」,是指 SPM 可用於移動原子、構造奈米結構,同時為科學家提 供在奈米尺度下研究新現象,提出新理論的微小實驗室。 同時,與奈米材料和結構的製備過程相結合,以及與奈米元件性 能檢測相結合的多種新型奈米檢測技術的研究和開發也受到廣泛重

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索 引

  索 引

索 引(Index

A

acetal ammonia acid 縮氨酸 213-214 acetic acid 醋酸,乙酸 74, 89 acid 89 acid rain 酸雨 101 ADP adenosine diphosphate ) 腺核二磷酸 109 AFM atomic force microscope) 原子力顯微鏡 22, 160, 183, 206 aids 愛滋 46, 83, 216 alcohol 乙醇,醇 89, 148 aldehyde 89 Almadem 阿爾瑪登 181 Alzheimer's disease 阿爾茨海默氏病 109 amorphous 非晶 11 anatase 鈦銳礦 89 AND 183 anthrax 碳疽 102, 208 ArmstrongJohn ) 約翰‧阿姆斯壯 189 ATPadenosine triphosphate ) 腺核三磷酸 96, 109, 159, 161

ATT American Telephone and Telegraph) 美國電話電報公司 164 Australia 澳大利亞 204 Avouris 艾夫瑞絲(人名) 120

   
204 Avouris 艾夫瑞絲(人名) 120     B   Baker ( James ) 詹姆斯‧貝克 108,
204 Avouris 艾夫瑞絲(人名) 120     B   Baker ( James ) 詹姆斯‧貝克 108,
204 Avouris 艾夫瑞絲(人名) 120     B   Baker ( James ) 詹姆斯‧貝克 108,

B

 

BakerJames ) 詹姆斯‧貝克 108, 200

 
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  奈米時代

奈米時代

Baltimore 巴爾的摩 22 Barcelon 巴塞隆納 140 BASF 巴斯夫(公司名) 131 Belgium 比利時 87 Bell
Baltimore 巴爾的摩 22 Barcelon 巴塞隆納 140 BASF 巴斯夫(公司名) 131 Belgium 比利時 87 Bell

Baltimore 巴爾的摩 22 Barcelon 巴塞隆納 140 BASF 巴斯夫(公司名) 131 Belgium 比利時 87 Bell 貝爾 164 Bell Laboratory 貝爾實驗室 22, 45, 114 benzene 68 BET 比表面積 58, 59 Binnig Gerd ) 格爾德‧賓寧 180, 206 bit 位元 34, 147, 182 blue shift 藍移 11, 80 Boston 波士頓 199 bottom-up 由小到大 172, 184 Broglie de ) 德‧布羅意 3 Brown John Seely) 約翰‧希利‧布朗 209 Brown University 布朗大學 85 bucky ball 巴基球 119, 160, 199

C

CAD ( computer aided design ) 計算機輔助設計 209 Cahn 肯(人名) 42 Caltech ( CIT )

CADcomputer aided design) 計算機輔助設計 209 Cahn 肯(人名) 42 CaltechCIT) 加州理工學院 26, 171

Cambridge 劍橋,康橋 191 Canada 加拿大 149, 204 CantonJames ) 詹姆斯‧坎頓 189 carbon black 碳黑 48, 75, 91, 156 carbon nano tube 奈米碳管 95, 100, 104, 119

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索 引

索 引 Carnegie Melon University 卡內基‧梅隆大學 206 CD ( compact disk ) 光碟 43, 185 citric
索 引 Carnegie Melon University 卡內基‧梅隆大學 206 CD ( compact disk ) 光碟 43, 185 citric
索 引 Carnegie Melon University 卡內基‧梅隆大學 206 CD ( compact disk ) 光碟 43, 185 citric
索 引 Carnegie Melon University 卡內基‧梅隆大學 206 CD ( compact disk ) 光碟 43, 185 citric

Carnegie Melon University 卡內基‧梅隆大學 206 CDcompact disk ) 光碟 43, 185 citric acid 檸檬酸 69 Cleiter 克來特(人名) 42 Clinton 克林頓(總統) , 171 cluster 團簇,原子簇 2 CNN Cable of News Network ) 有線新聞網 212 coercive force 矯頑力 9, 83

cold roll 冷軋 6 coli 大腸桿菌 103 Columbia University 哥倫比亞大學 22, 189, 202 Cornell University 康乃爾大學 22, 96, 109, 178 corona discharge 電暈放電 152 Coulter counter 庫爾特計數器 59 coupler 偶合劑 152 Crow Michael ) 邁可‧克羅 202 Curie temperature 居里溫度 84

CVD chemical vapor deposition) 化學氣相沉積 67, 73, 74, 79

vapor deposition ) 化學氣相沉積 67, 73, 74, 79 D damping 阻尼 83 dB ( decibel )

D

damping 阻尼 83 dBdecibel ) 分貝 11 DDP dimethyl disalfide phosphate) 二烷基二硫代磷酸 144 de Broglie 德布羅意 3 degradation 降解 34, 89 degradation chemistry 降解化學 47 Deifit 戴富特(一荷蘭大學名) 120

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奈米時代 Dekker ( Cees ) 希思‧戴克爾 120, 208 DeMey 弟梅(人名) 87 digital circuit
奈米時代 Dekker ( Cees ) 希思‧戴克爾 120, 208 DeMey 弟梅(人名) 87 digital circuit
奈米時代 Dekker ( Cees ) 希思‧戴克爾 120, 208 DeMey 弟梅(人名) 87 digital circuit
奈米時代 Dekker ( Cees ) 希思‧戴克爾 120, 208 DeMey 弟梅(人名) 87 digital circuit

奈米時代

Dekker Cees ) 希思‧戴克爾 120, 208 DeMey 弟梅(人名) 87

digital circuit 數位電路 192 dislocation 差排 17, 124 DNA deoxyribo nucleic acid) 去氧核糖核酸,遺傳因子 17, 34, 47, 97, 103, 104, 108, 112, 176, 188, 213 DOCdepartment of commerce) 商務部 175 DOD department of defense) 國防部 175 DOEdepartment of energy ) 能源部 175 domain 9 Dow Chemical 道化學(公司) 131 DPH 硬度單位 142

動態隨機存取記憶體 39 21, 158, 209, 213

E

DRAM dynamic random access memory DrexlerK. Eric ) 埃里克‧德雷克斯勒

Edison 愛迪生 164 Egypt 埃及 178 EHA 一種表面修飾劑 144 EiglerDonald) 唐納德‧埃戈勒 181, 203 electron beam 電子束 45 electrostatic shield 靜電屏蔽 91 emu electromagnetic unit) 電磁單位 13 energy level 能量級、能階 193 enzyme ,酵素 17, 96 epoxy 環氧樹脂 8, 137 EPR ethyl propyl rubber ) 乙丙橡膠 153, 155, 156

( ethyl propyl rubber ) 乙丙橡膠 153, 155, 156 226
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索 引 ester 酯 89 ethane 乙烷 89 ethanol 乙醇 74 ether 乙醚 87 ethyl
索 引
ester 酯 89
ethane 乙烷 89
ethanol 乙醇 74
ether 乙醚 87
ethyl alcohol 乙醇 58
F
Fairchild Semiconductor 快捷(仙童)半導體 196
FDA ( food drug administration) 食品藥物管理局 108
feedback 回授 182
Fermi level 費米能階 3
ferro electric 鐵電體 8
ferro fluid 鐵流體 83
Feynman( Richard ) 理查德‧費曼 21, 176
Finland 芬蘭 74
formaldehyde 甲醛 6
fracture toughness 斷裂 性 7
FTC 海水淡化技術 39
Fujitsu 富士通 35
fullerene 富勒烯 2, 119
functional gorup 官能基 152
FWHM( full width half maximum) 半高寬 60
G
Gauss 高斯 139
GDP ( gross domestic product ) 國內生產毛額
gene 基因 , 47, 107, 216
General Instruments, GI 通用儀器 164
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奈米時代 Georgeia Tech., GIT 喬治亞理工學院 100 Gibbons ( John ) 約翰‧吉本斯 189 Gleiter ( H
奈米時代 Georgeia Tech., GIT 喬治亞理工學院 100 Gibbons ( John ) 約翰‧吉本斯 189 Gleiter ( H
奈米時代 Georgeia Tech., GIT 喬治亞理工學院 100 Gibbons ( John ) 約翰‧吉本斯 189 Gleiter ( H
奈米時代 Georgeia Tech., GIT 喬治亞理工學院 100 Gibbons ( John ) 約翰‧吉本斯 189 Gleiter ( H

奈米時代

Georgeia Tech., GIT 喬治亞理工學院 100 Gibbons John) 約翰‧吉本斯 189 GleiterH) 蓋萊特 22, 65, 125 GM General Motor) 通用汽車 84 GMR giant magnetic reluctance) 巨磁阻 10, 22, 34, 85, 182 GMR effect 巨磁阻效應 85 GPa 十億帕 138 green house effect 溫室效應 101 Gulf war 波灣戰爭 81

H

Hamburg University 漢堡大學 28 Hanover University 漢諾威大學 166 Harvard University 哈彿大學 100, 192, 208 Hewlett Packard, HP 惠普(公司) 24, 105, 183 hexa chloro benzene, 六氯代苯 68 high temperature superconductor 高溫超導體 211 Hisakado 加藤久(一日本人) 143

211 Hisakado 加藤久(一日本人) 143 Hitachi 日立 44 Ho ( Wilson ) 威爾遜‧胡 207

Hitachi 日立 44 HoWilson) 威爾遜‧胡 207 Hoffmann Ronald ) 羅納德‧霍夫曼 22, 178 Holland 荷蘭 120, 208 Howard 霍華德 158 hydroxyl 羥基 89, 150

I

IBMInternational Business Machine) 國際商用機器 23, 34, 85, 94, 99, 103, 104, 120, 180, 181, 189, 198, 203, 206, 207, 209, 210

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索 引

  索 引

Idaho 愛達荷州 142 IGF 全球未來研究所 189 Indiana 印第安那 210 Intel 英特爾 164, 191, 196, 197, 198 internet 網際網路 , 43, 185 Iraq 伊拉克 81 isotope 同位素 187

ITOindium tin oxide ) 氧化銦錫 35, 79, 128 IWGN 科學技術工程合作小組 27, 171

 
ITO ( indium tin oxide ) 氧化銦錫 35, 79, 128 IWGN 科學技術工程合作小組 27, 171  
ITO ( indium tin oxide ) 氧化銦錫 35, 79, 128 IWGN 科學技術工程合作小組 27, 171  

J

 

Joule 焦耳 6

K

Kalil Tom) 湯姆‧凱利 204 kcal 千卡 13 ketone 86 Kodak 柯達 24 Korea 韓國 200 Kroto 克魯托(人名) 22 Kubo 久保(人名) 21

 
ketone 酮 86 Kodak 柯達 24 Korea 韓國 200 Kroto 克魯托(人名) 22 Kubo 久保(人名) 21  

L

 

Lane Neal ) 尼爾‧萊恩 25, 205 lattice 晶格 152 Lave Lester) 萊斯特‧雷伍 206 LCD liquid crystal display ) 液晶顯示器 121 LCVDlight activated chemical vapor deposition) 光激誘導化學氣相 沉積 74

 
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奈米時代 Lehn( Jean-Marie ) 珍‧瑪莉‧雷恩 183 liquid crystal 液晶 153 Liverpool University
奈米時代
Lehn( Jean-Marie ) 珍‧瑪莉‧雷恩 183
liquid crystal 液晶 153
Liverpool University 利物浦大學 98
Lockheed Martin 洛克希德‧馬丁 117
logic gate 邏輯閘 95, 183
Lucent 朗訊 120
M
MA ( mechanical alloy ) 機械合金 , 66
macroscopy 巨觀 31
magnetic moment 磁力矩 9
magnetron spatlering 磁控濺鍍法 73
Mainz University 美因茨大學 28
martensite 馬田散 142
Massachusetts 麻薩諸塞州 91
Matsushida 松下 91
MBE( molecular beam epitaxy) 分子束磊晶 74, 149, 179, 182
MCM-41 一種多孔材料 48, 187
Merkle ( Ralph) 拉爾夫‧默克萊 209
Merz ( James ) 詹姆斯‧莫爾玆 210
mesoscopy 介觀 31
methane 甲烷 89
methanol 甲醇 6, 89, 140
MGOe 百萬高斯奧斯特 84, 141, 142
micrometer, m 微米
microprocessor 微處理器 179, 196
microscopy 微觀 31
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索 引

  索 引

Microsoft 微軟 164 MITMassachusetts Institute of Technology ) 麻省理工學院 21, 44, 106, 116, 200 Mitsubishi Chemical 三菱化學 153 Mobil 美孚石油 164 MOCVD metal organic chemical vapor deposition) 金屬有機化學氣 相沉積 74

model 模型 173 mole 摩爾 6, 13 montmorillornite 蒙脫土 137 Moore Gordon) 戈登‧摩爾 196 Moore's law 摩爾定律 93, 191, 196 MOSFETmetal oxide semiconductor field effect transistor) 金氧半場 效電晶體 147 MPa 百萬帕 8, 13, 77, 127, 154, 155 MRAM magnetic arndom access memory ) 永久隨機存取儲存器 39, 182 MRSMaterial Research Society ) 材料研究學會 199, 201 Murray Christopher) 克里斯多福‧默里 210

N

 
Research Society ) 材料研究學會 199, 201 Murray ( Christopher ) 克里斯多福‧默里 210 N  
Research Society ) 材料研究學會 199, 201 Murray ( Christopher ) 克里斯多福‧默里 210 N  
Christopher ) 克里斯多福‧默里 210 N   nano carbon tube 奈米碳管 23 nano dot 奈米點 43

nano carbon tube 奈米碳管 23 nano dot 奈米點 43 nano liter 奈升 106 nano meter 奈米 , 2 Nanophase Technology Co. 奈米相技術公司 35 nano technology 奈米技術 21

 
 
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奈米時代 nano tube 奈米管 , 199 NASA ( National Aeronautics and Space Administration) 美國航空太
奈米時代
nano tube 奈米管 , 199
NASA ( National Aeronautics and Space Administration) 美國航空太
空總署 114, 123, 175
NdFeB 釹鐵硼(永久磁鐵) 84, 141, 165, 166
NEC(Nippon Electrical Co. ) 日本電器(恩益禧) 44, 94, 119, 120
New Jersey 新澤西州 191
New Mexico 新墨西哥 111, 116
Nexstar 一公司 36
NIH (National Institute of Health) 國立衛生研究院 108, 175, 204,
213
NNI 國家奈米技術計劃 , 25, 26, 171, 172, 173, 174, 175
North Carolina University 北卡羅納大學 181
Northeast University 東北大學 200
Northwest University 西北大學 97, 105
NRC( Nano Material Reserach Co.) 奈米材料研究公司 148, 149
NSF (National Science Foundation ) 國家科學基金會 24, 37, 171,
175, 189, 205, 209, 210, 211, 215
NSTC ( National Science Technology Commission ) 國家科學技術委
員會 171
NTT( Nippon Telephone and Telegraph) 日本電報電話公司 94, 146
nylon 尼龍 155
O
Oersted 奧斯特 13, 139
oleic acid 油酸 82
Oxford University 牛津大學 98
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索 引

索 引 P Palo Alto 施樂(研究中心) 209 para bisphenol 對雙酚 90 paraelectric 順電體 8
索 引 P Palo Alto 施樂(研究中心) 209 para bisphenol 對雙酚 90 paraelectric 順電體 8
索 引 P Palo Alto 施樂(研究中心) 209 para bisphenol 對雙酚 90 paraelectric 順電體 8
索 引 P Palo Alto 施樂(研究中心) 209 para bisphenol 對雙酚 90 paraelectric 順電體 8

P

Palo Alto 施樂(研究中心) 209 para bisphenol 對雙酚 90 paraelectric 順電體 8 paramagnetic 順磁 9 Paris University 巴黎大學 85 Parkinson's disease 帕金森氏病 109 password 密碼 105 patent 專利 164 Paul 保羅 44 PECVD plasma enhanced chemical vapor deposition) 電漿加強化學 氣相沉積 67, 74 Pentium 奔騰 99, 184, 196 Philadelphia 費城 195 photolithography 微影照像 97, 210 Pittsburgh 匹玆堡 206 plasma 電漿 65 ployester 聚酯 156 PLZTPb Zr La Ti O ) 鈦酸鉛鑭鋯 69, 70 PMMA poly methyl methacrylate resin ) 聚甲基丙烯酸甲酯 34, 130 polyamide 聚醯胺 137 polyethylene, PE 聚乙烯 86, 137, 152 polymer 高分子,聚合物 48, 81, 108, 151 poly methyl acrylate 聚甲基丙烯酸 87 polypropylene, PP 聚丙烯 153, 154, 155 polystyrene 聚苯乙烯 100, 137

聚丙烯 153, 154, 155 polystyrene 聚苯乙烯 100, 137 233
233
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  奈米時代

奈米時代

potential barrier 電位障 4 precursor 前驅物(體) 67, 68 Princeton University 普林斯頓大學 23, 203
potential barrier 電位障 4 precursor 前驅物(體) 67, 68 Princeton University 普林斯頓大學 23, 203

potential barrier 電位障 4 precursor 前驅物(體) 67, 68 Princeton University 普林斯頓大學 23, 203 processor 處理器 195 propane 丙烷 89, 148 propyne 丙炔 89 PTFEpoly tetra fluoro ethylene ) 聚四氟乙烯 72, 145 pump 106 purine  96 PVC poly vinyl chloride ) 聚氯乙烯 131, 150 PVD physical vapor deposition ) 物理氣相沉積 65, 73 PV facter PV 因子(負載速度的限制因子,pressure-velocity145 pyridine 啶烷 86 PZT 鈦酸鉛鋯 127

Q

quantum computer 量子計算機 180, 194 quantum device 量子元件 18, 33 quantum dot 量子點 44, 149

quantum computer 量子計算機 180, 194 quantum device 量子元件 18, 33 quantum dot 量子點 44, 149 quantum effect 量子效應 1, 5 quantum mechanics 量子力學 179 quantum tunneling 量子隧道 4, 5, 12, 16, 192

   

quantum well 量子井 quantum wire 量子線

18

44

 

QuateCalvin ) 卡爾‧奎特 206

 

R

radical 自由基 89

234
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索 引

索 引 rare earth 稀土 84 RDX ( cyclotrimethylene trinitramine ) 環三甲乙烯三硝胺 138 reciprocal
索 引 rare earth 稀土 84 RDX ( cyclotrimethylene trinitramine ) 環三甲乙烯三硝胺 138 reciprocal
索 引 rare earth 稀土 84 RDX ( cyclotrimethylene trinitramine ) 環三甲乙烯三硝胺 138 reciprocal
索 引 rare earth 稀土 84 RDX ( cyclotrimethylene trinitramine ) 環三甲乙烯三硝胺 138 reciprocal

rare earth 稀土 84 RDX cyclotrimethylene trinitramine) 環三甲乙烯三硝胺 138 reciprocal 倒(的) 61 resonant tunnel diode 共振隧道二極體 18 RH 洛氏硬度 154

Rice University 萊斯大學 178, 183, 214

RNA riboxygen nuclear) 去氧核酸 45 ROreverse osmosis) 逆滲透 39 Roco Mihail) 米黑爾‧羅可 211 roll process 軋製 6 RohrerHeinrich ) 海因里希‧羅雷爾 , 180, 206 Rorschach 羅夏 206 Russia 俄羅斯 35, 138

180, 206 Rorschach 羅夏 206 Russia 俄羅斯 35, 138 S salilic 水楊酸 90 salmonellal 沙門氏菌 103

S

salilic 水楊酸 90 salmonellal 沙門氏菌 103 Samsung 三星 122 Sandia Laboratory 桑迪亞實驗室 44, 116 San Jose 聖荷西市 203 Sanyo 三洋 82 SAXSsmall angle x-ray scatteringX 射線小角度散射 60 Scherrer 雪勒(人名) 60 SchweizerErhard) 埃哈德‧施維澤 206 selenium, Se 150 self assembly 自組裝 104, 210 SEMscanning electron microscope ) 掃描電子顯微鏡 218

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  奈米時代

奈米時代

 

sensor 感測器 147 SETsingle electron transistor) 單電子電晶體 33, 44, 146

Shing 一日本人名 66 SHSself expansion synthesis) 自蔓延合成法 , 70

Shing 一日本人名 66 SHS ( self expansion synthesis ) 自蔓延合成法 , 70

SIAsemiconductor industry association) 半導體工業協會 1, 37, 43,

185, 197 Silicon Valley 矽谷 191

silicone rubber 矽橡膠 137 simulation 模擬 173 Singapore 新加坡 131 Singapore University 新加坡大學
silicone rubber 矽橡膠 137 simulation 模擬 173 Singapore 新加坡 131 Singapore University 新加坡大學

silicone rubber 矽橡膠 137 simulation 模擬 173 Singapore 新加坡 131 Singapore University 新加坡大學 201 sintering 燒結 6, 42 skin effect 集膚效應 85

SmalleyRichard) 理查德‧斯莫雷

178, 204, 214

smart 聰明 172 S/N ( signal/noise ratio ) 訊號雜訊比 83 sodium citrate 檸檬酸鈉 87 solar

smart 聰明 172 S/N signal/noise ratio ) 訊號雜訊比 83 sodium citrate 檸檬酸鈉 87 solar cell 太陽電池 48, 96, 187 sol-gel 溶膠─凝膠法 69, 74 sonar 聲納 117 Soviet 蘇聯 70 Spain 西班牙 140 specific heat 比熱 11 spin 自旋 94, 193, 195 SPM scanning probe microscope ) 掃描探針顯微鏡 19, 29, 181 sputtering 濺鍍 73

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索 引

  索 引

SRAM static random access memory ) 靜態隨機取存記憶體 39 Srivastava Deepak) 迪派克‧斯里瓦斯塔瓦 209 St. Maria University 聖瑪利亞大學 210 Stanford University 史丹福大學 23, 94 STEM scanning transmission electron microscope) 掃描穿透電子顯 微鏡 179 StephensonNeal ) 尼爾‧史蒂芬森 202 STMscanning transmission microscope) 掃描穿透顯微鏡 21, 98, 181, 200, 193, 206, 207 Stokes 斯托克斯 53 StormerHorst ) 霍斯特‧斯托默 22, 189 sulfuric alcohol 硫醇 98 super carbon black 超級碳黑 133 super computer 超級計算機 180 super conductor 超導 64 surface charge 表面電荷 151 surface state 表面能態 151 surfactant 界面活性劑 152 Switzerland 瑞士 179

T

 
表面電荷 151 surface state 表面能態 151 surfactant 界面活性劑 152 Switzerland 瑞士 179 T  
表面電荷 151 surface state 表面能態 151 surfactant 界面活性劑 152 Switzerland 瑞士 179 T  
界面活性劑 152 Switzerland 瑞士 179 T   Taniguchi 坦尼蓋茨(人名) 21    

Taniguchi 坦尼蓋茨(人名) 21

   

teflon

鐵弗龍 157, 159

Teijin 帝人 156 TEMtransmission electron microscope) 穿透電子顯微鏡 58, 218 TennerEdward) 愛德華‧坦納 203 TEOStetra ethyoxy silane, Si(OC 2 H 5 ) 4 正矽酸乙酯,四乙烷氧矽甲烷

 
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74 奈米時代 tera 太( 10 2 4 ) 172 tesla 特斯拉 85, 139 Texas Instruments, TI
74 奈米時代 tera 太( 10 2 4 ) 172 tesla 特斯拉 85, 139 Texas Instruments, TI
74 奈米時代 tera 太( 10 2 4 ) 172 tesla 特斯拉 85, 139 Texas Instruments, TI

奈米時代

tera 太( 10 24 172 tesla 特斯拉 85, 139 Texas Instruments, TI 德州儀器 114 Thesis Tom) 湯姆‧泰斯 209 TNTtrinitrotoluene ,三硝基甲苯) 黃色炸藥 138 Tokyo University 東京大學 95, 111 Tolles R.William) 威廉‧托爾斯 206 toluene 甲苯 22, 68 Toyota 豐田(汽車) 113, 153 transducer 傳能器 84 tunneling effect 隧道效應 4, 99

U

UC Berkeley 加州大學柏克來分校 160 UC Irving 加州大學爾彎分校 207 UC Los AnglesUCLA) 加州大學洛杉磯分校 95, 183, 192 Ukraine 烏克蘭 143 University of Calforinia 加州大學 23 University of Calgary 卡爾加里大學(加拿大) 94 University of Michigan 密歇根大學 102 University of Minnesota 明尼蘇達大學 23, 43, 102 University of North Carolina 北卡羅來納大學 122 University of Pennsyvania 賓夕法尼亞大學 107, 122, 215 University of Saabrucken 薩爾大學(德) 22 University of Washington 華盛頓大學 157, 214 University of Wisconsin 威斯康辛大學 44

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索 引

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Utah 猶他州 102 Utopia 烏托邦 213

 

V

vacancy 缺位 4 van der Waal force 凡得瓦力 52 Vickers hardness 維氏硬度 9 virus 病毒 86, 97 volatile 揮發的 39

 

W

 
W  
W  

wave particle duality 波粒雙重性 194 white carbon black 白碳黑 129 Whitesides George ) 喬治‧懷特塞德 208

   

Window 視窗 164 with benzene ring 帶苯環 90

WTECWorld Technology Evaluation Center ) 世界技術評估中心

171

WTO World Treat Organization ) 世界貿易組織 154

 
 

X

 
  X  

XRD-LB x-ray diffraction-Langmuir BlodggettX 射線繞射線寬

60

   

XMX 公司 91

 
 

Y

Y-TZP 強 化 Y 2 O 3 ZrO 2 粉末 7, 72, 73, 77 Yale University 耶魯大學 183 YBCO 釔鋇銅氧(超導體) 165 yield strength 屈服強度 6

7, 72, 73, 77 Yale University 耶魯大學 183 YBCO 釔鋇銅氧(超導體) 165 yield strength 屈服強度 6
 
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奈米時代 Young's modulus 楊氏模數 152 zeolite 沸石 35 Zurich 蘇黎士 206 240 Z

奈米時代

Young's modulus 楊氏模數 152

zeolite 沸石 35 Zurich 蘇黎士 206

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