You are on page 1of 7

Determinarea modurilor de vibrație și a frecvențelor de rezonanță ale microgrinzilor

rectangulare folosind analizorul de microsisteme MSA-500.
Determinarea modulului de elasticitate a unor microgrinzi rectangulare cu MSA-500

Analizorul de microsisteme MSA-500 utilizează tehnologii de măsurare fără contact:
- vibrometrie Doppler, prin scanare cu laser pentru caracterizarea vibraţiilor din afara planului;
(folosită în această lucrare);
- microscopie videostroboscopică (pentru măsurarea vibraţiilor şi mişcarea din plan);
- interferometria în lumină albă pentru determinarea topografică a suprafeţelor;
- achiziţii de date cu scanare geometrică pentru măsurarea vibraţiilor.

Fig. 1 – MSA 500

2. obținută cu ajutorul analizorului de microsisteme MSA 500 este prezentată în fig. și.Structurile MEMS de tip microgrindă în consolă Structurile studiate fac parte dintr-un microchip de siliciu monocristalin. Fig. grinda este ancorată la un capăt de substrat. deci costurile sunt reduse. iar celălalt capăt este liber. capătul liber oscilează perpendicular pe planul pe care este poziţionat dispozitivul. Aceste tipuri de elemente sensibile au multiple avantaje: procesul de fabricaţie este simplu. achiziționat de la firma Micromotive Mikrotechnik. datorită faptului că grinda nu este prinsă de substrat (acestea sunt dispozitive monobloc) nu apar tensiuni reziduale în timpul fabricaţiei şi modurile sale de vibraţie sunt cunoscute şi uşor de descris cu ajutorul modelelor matematice. 2 – Microgrinzile cu formă rectangulară . O imagine a microgrinzilor. În cazul acestor structuri. conform fișei tehnice au dimensiunile din Tabelul 1. Când este acţionată.

3. Fig. chip-urile din silciu au fost fixate cu ajutorul unui film polimeric cu proprietăți elastice speciale (fig. ceea ce determină o fragilitate crescută a structurilor. cu scopul de a ilustra cât mai explicit dimensiunile reduse ale acestora. 3 – Structurile rectangulare studiate Datorită dimensiunilor extrem de reduse ale microgrinzilor în discuție. cu ajutorul unei pensete normal deschise. fiind menținute într-o poziție stabilă de către tensiunile superficiale ce apar la suprafața filmului. Totodată. Pentru a atinge acest deziderat. în condiții normale de presiune și temperatură. indiferent de unghiul de înclinație al cutiei de transport. acestea au necesitat o protecție eficientă la șocuri mecanice pe parcursul transportului și al depozitării.O fotografie a structurilor rectangulare este prezentată în fig. desprinderea structurilor de pe filmul polimeric s-a putut realiza ușor. 4). .

cu un domeniu de frecvență între 0. se produce o modificare a frecvenţei de rezonanţă a structurii. Stuctura standului de testare Structura ce se dorea a fi analizată a fost poziționată pe un actuator piezoelectric (fig. numeric şi experimental cu schimbarea valorii parametrului fizic. Acestuia i s-a aplicat un semnal sinusoidal. raza a fost reflectată de suprafața structurii. modificare ce este măsurată şi corelată analitic. Mai exact.5 și 100 kHz. 4 – Modul de fixare a structurilor Acest tip de microgrinzi sunt folosite cu precădere în rândul senzorilor rezonanţi MEMS. un senzor rezonant MEMS conţine o structură mecanică. într-un semnal electric ce poate fi citit în mai multe moduri. .Fig. Aceste microgrinzi sunt. Natura electromecanică a structurilor MEMS implică faptul că oscilaţiile mecanice afectează şi proprietăţile electrice ale dispozitivelor. astfel încât comportamentul structurii devine predictibil. de asemenea şi cel mai uşor de modelat. intersectându-se în anumite puncte cu raza laser de referință. un fenomen fizic este convertit cu ajutorul oscilaţiilor mecanice ale structurii. geometria lor permiţând realizarea atât unui calcul analitic. acestea sunt dispozitive care măsoară fenomene fizice folosind oscilaţiile. cât şi a unuia numeric. Când acest parametru se schimbă. 5 – Actuatorul piezoelectric O rază laser a fost poziționată pe structura analizată. Ca atare. Fig. proiectată să ajungă la o frecvenţă proprie ce depinde de un anumit parametru fizic exterior. iar în momentul producerii vibrațiilor. După cum sugerează şi denumirea lor. 5).

Rezultate: Frecvențele de rezonanță și primele trei moduri de vibrație obținute prin utilizarea acestui echipament sunt prezentate în fig. 6 – Primele trei moduri de vibrație ale microgrinzilor dreptunghiulare . 6 Fig.

precizati valorile frecventelor de rezonanta obtinute impreuna si sugerati posibilele motive pentru usoara diferenta intre acestea si frecventa obtinuta analitica de 13. .12kHz.Folosind analiza cu element finit se obtin urmatoarele rezultate: În urma măsurării structurilor la un microscop SEM. însă. Conform dimensiunilor reale ale structurii și noilor valori ale proprietăților de material. se obține analitic o frecvență de rezonanță f = 13. abateri dimensionale considerabile ale lungimii structurilor față de datele specificate în fișa tehnică. s-au constatat. ceea ce a impus reluarea modelului analitic folosind dimensiunile măsurate și specificate în tabelul de mai jos. Cerinta pentru ASMAI: . .folosind frecventa determinata aflati modulul de elasticitate al siliciului monocristalin (a se utiliza formula de mai jos) si a se verifica cu valoarea specificata in literature de specialitate.12 kHz.