AFM 操作 SOP

SemiContact 模式(tapping)
1. 裝針
(1) 用夾子夾(只有 B 級人員才可裝針,盒中的針皆朝前)

(2) 請對好載台角落,輕壓彈簧片,使之彈起,再放入針於確
切位置

2. 裝試片 (考試用標準試片-載台有分為 1μm(B 級)
和 100μm(C 級))
(1) 先塞進 2 顆珠珠→再用手輕抬載台→再將載台推到底座中
間(3 顆珠珠不能弄掉,以免試片載台不平影響量測)

→ →
3. 放載台於壓電陶瓷上(需輕放,有強磁,不能產生”啪”一聲,
三顆珠子不能外露,並轉成垂直長方形,怕針撞到銅片)

4. 開啟伺服器電源(在氣墊桌的左下方,第二台機器)
確認機台螢幕是否有顯示(表示電源(硬體)與機台(硬體)有連接
上)
5. 將光源透鏡轉成全開,並開啟 OM 光源開關
(在後方有個小按鈕),並用手確認是否有光源

6. 開軟體程式(NovaSpectra、FotocomTV)
(1) 先輸入電腦開機密碼:5303
(2) 開啟兩個程式
(3) 會跳出視窗,按”No”→”Fast”(Full 是拉曼)→”start”→”Next”
→確認螢幕視窗左下方是否有打”v”(打”v”表示軟體與機台
(硬體)有連接上)
7. 找針(在 Aiming 視窗)
用 Focus(約一根手指頭大小)、cantilever X、Y 調整到光亮最小

8. 校正紅點到中間
(1) Laser 值最大(用 cantilever X、Y 調整)
Laser 值越大,強度越強
(2) LF、DFL 值皆為 0(用載台右上方之調整鈕調整)
LF、DFL 同時調整,數值越接近 0 越佳

※校正完 Laser 值要大於 20,若低於 20,可用 cantilever X、Y 再調整,之後再校正 LF、DFL 為 0 9. 找頻率 (1) 在主選單上選擇“SemiContact” (2) 按下「Resonance」介面,尋找探針頻率 . 抬 Sample(與針的距離約為 2mm,以不撞到針為主) 順時針轉動,使壓電陶瓷上升試片 若調整完後,LF、DFL 有偏掉,可再做微調整 10.

 先把電腦畫面調整成三個畫面  先按下 run,出現尖峰  調整 Mag 值為 Set point 值的兩倍(Set point 通常預設 為 10,故 Mag 值要為 20±0. Mag 值為 Setpoint 的兩倍 .1、1、10 變化  再 run 一次 11. 設定下針參數 點選「Approach」介面 下針前先確認三件事: 1.1。若 Mag 值無法到 20 則修改 Setpoint 值)  數值點兩下,拉數值,看 Mag 值的變化(可先在 1V*1 時 Run 一次看 Mag 值變化,然後再縮小電壓值、 放大成 10 倍 run 一次)  倍率可從 0.

FB gain 打開 3. 下針 按 Landing 鍵 下針完成後會出現“Approach Done”的字眼,下方的 scar 約剩 一半左右(因初始下針時 Set Point 設定“10. 2.00”,所以下針完成 後 Mag 值會等於 10) 若 FB 回饋訊號不穩定(scar 跳動很厲害),則(1)先關 FB (2)抬針 (按藍色的 Fast 三下) (3)再回到 Aiming 視窗(4)換針(先降 sample) . 左下方的 scar 全滿(若沒有全滿就通知管理者) 此時若 Mag 值下降需 ○ 1 回到 Aiming 視窗,重新找 Laser 值、 DFL、LF 為 0 ○2 步驟再重來,重找 Mag 值 ○ 3 確認 Mag 值為 Setpoint 值兩倍後,再按 Approach 12.

調整至Mag 信號呈現穩定為止. 將值往小於 1 的方向調整. 可調整“FB Gain”.勿將值調整為“0” 13. 調清楚試片(是為了要選擇試片較佳的位置量測) (1) 在FB的地方,按滑鼠右鍵,選擇 save (2) 調 Focus 鈕,看清楚試片 (3) 在FB的地方,按滑鼠右鍵,選擇 off(電腦右邊的螢幕會 模糊) .

選擇Scan(可調整FB、Frequency、Set point值) 備註:在scan前若下方的scar不穩或Mag值持續下降,請重 新抬針(關FB)再調整Mag值,再重新下針 (1) 開啟FB(右邊螢幕會變清楚) (2) 在Mode選單,選擇”Semicontact Topography” (3) 設定Frequency,頻率要調小,以免掃描頻率太快,導致 雜訊太多(Set point表示下針力道,數值越大,振幅越大, 力道則越小) (4) 設定Scan Size (5) 選擇掃描方向(與試片樣貌有關) . (4) 若紅點位置有跑掉,調整DFL、LF(此時FB是OFF狀態) 14.

(6) 用綠色十字確認掃描範圍是否在壓電陶瓷範圍內(可觀看 右下方之scar是否在中間附近),試片高低差不大於6μm (7) 在setting的地方選擇掃兩張圖,以確保呈現之圖譜無誤 ADC#1 :選Sensheigh,最後一個要打”V”(選擇Sensheigh: 因FB Gain的Closed-loop中XYZ軸的設定對於100μm而 言較佳;反之,1μm則選Heigh) .

數據分析 (1) 按Data→選圖→用3D看一下狀況→選游標尺→右邊電 腦螢幕會出現畫面 . 存檔(要記得存系統檔) (1) 可以用Data(沒有修飾的圖) (2) 修飾完的圖要用迴紋針存檔 16. (8) 按RUN,會開始量測掃描(會出現兩條線)越match越好, 代表越接近樣品  點圖按setting  拉到最下方找Graph改顏色  點下方的圖確認何者是什麼顏色  若出現的圖為斜的,可修飾,按None(在掃描過程中、 即完成時可以用,若檔案已儲存無法修改) 沒有修飾的圖 可選1~4階修飾 15.

(2) 按右邊的Statistics(倒數第四個)展開→Roughness(點2 下)→即可看平均粗糙度→按迴紋針存檔→左邊電腦會 有檔案 (3) 也可測量水平或垂直單線粗糙度 .

輸出檔案 (1) 數據檔:按裡面的 存檔 (2) 照片檔:按外面的 存檔→Graphic→調整大小及模式 →ok→存桌面 .17.

X、Y 軸的數值可用 進行 調整為掃描範圍大小 可選 3D 模式,角度可自行調 整,高度用 Ctrl+移動滑鼠 .

使用完畢後,關機動作 (1) 先回到Approach介面 (2) 關FB Gain (3) 抬針 ,按三下 (4) 回到Aiming畫面後,降sample,降到底 (5) 拿sample (6) 關程式(到登出),關電源(燈光電源、power電源) .18.

Contact模式 1. 裝試片 (考試用標準試片-載台有分為 1μm(B 級) 和 100μm(C 級)) (1) 先塞進 2 顆珠珠→再用手輕抬載台→再將載台推到底座中 間(3 顆珠珠不能弄掉,以免試片載台不平影響量測) → → 3. 放載台於壓電陶瓷上(需輕放,有強磁,不能產生”啪”一聲, 三顆珠子不能外露,並轉成垂直長方形,怕針撞到銅片) 4. 裝針 (1) 用夾子夾(只有 B 級人員才可裝針,盒中的針皆朝前) (2) 請對好載台角落,輕壓彈簧片,使之彈起,再放入針於確 切位置 2. 開啟伺服器電源(在氣墊桌的左下方,第二台機器) 確認機台螢幕是否有顯示(表示電源(硬體)與機台(硬體)有連接 .

將光源透鏡轉成全開,並開啟 OM 光源開關 (在後方有個小按鈕),並用手確認是否有光源 6. 上) 5. 找針(在 Aiming 視窗) 用 Focus(約一根手指頭大小)、cantilever X、Y 調整到光亮最小 8. 開軟體程式(NovaSpectra、FotocomTV) (1) 先輸入電腦開機密碼:5303 (2) 開啟兩個程式 (3) 會跳出視窗,按”No”→”Fast”(Full 是拉曼)→”start”→”Next” →確認螢幕視窗左下方是否有打”v”(打”v”表示軟體與機台 有連接上) 7. 校正紅點到中間 (1) Laser 值最大(用 cantilever X、Y 調整) Laser 值越大,強度越強 (2) LF、DFL 值皆為 0(用載台右上方之調整鈕調整) LF、DFL 同時調整,數值越接近 0 越佳 .

FB gain 打開 3. 抬 Sample(與針的距離約為 2mm) 順時針轉動,使壓電陶瓷上升試片 若調整完後,LF、DFL 有偏掉,可再做微調整 10. ※校正完 Laser 值要大於 20,若低於 20,可用 cantilever X、Y 再調整,之後再校正 LF、DFL 為 0 9. 設定下針參數 點選「Approach」介面 下針前先確認三件事: 1. 左下方的 scar 全滿(若沒有全滿就通知管理者) . 在主選單上選擇“Contact” 11. 雷射紅點位置有校正好 2.

001) 若 FB 回饋訊號不穩定(scar 跳動很厲害),則(1)先關 FB (2)抬針 (按藍色的 Fast 三下) (3)再回到 Aiming 視窗(4)換針(先降 sample) 可調整“FB Gain”.12. 將值往小於 1 的方向調整.勿將值調整為“0” . 下針 按 Landing 鍵 下針完成後會出現“Approach Done”的字眼,下方的 scar 約剩 一半左右(因初始下針時 Set Point 設定“2.001”,所以下針完成 後 DFL 值會等於 2. 調整至Mag 信號呈現穩定為止.

調清楚試片(是為了要選擇試片較佳的位置量測) (1) 在FB的地方,按滑鼠右鍵,選擇 save (2) 調 Focus 鈕,看清楚試片 (3) 在FB的地方,按滑鼠右鍵,選擇 off(電腦右邊的螢幕會 模糊) .13.

選擇Scan(可調整FB、Frequency、Set point值) (1) 開啟FB(右邊螢幕會變清楚) (2) 在Mode選單,選擇” Contact Topography” (3) 設定Frequency,頻率要調小,以免掃描頻率太快,導致 雜訊太多(Set point表示下針力道,數值越大,懸臂彎曲程 度越大,力道也越大) (4) 設定Scan Size (5) 選擇掃描方向(與試片樣貌有關) (6) 用綠色十字確認掃描範圍是否在壓電陶瓷範圍內(可觀看 右下方之scar是否在中間附近),試片高低差不大於6μm (7) 在setting的地方選擇掃兩張圖,以確保呈現之圖譜無誤 ADC#1 :選Sensheigh,最後一個要打”V”(選擇Sensheigh: . (4) 若紅點位置有跑掉,調整DFL、LF(此時FB是OFF狀態) 14.

因FB Gain的Closed-loop中的XYZ軸設定對於100μm而 言較佳;反之,1μm則選Heigh) (8) 按RUN,會開始量測掃描(會出現兩條線)  點圖按setting  拉到最下方找Graph改顏色  點下方的圖確認何者是什麼顏色  若出現的圖為斜的,可修飾,按None(在掃瞄過程中、 即完成時可以用,若檔案已儲存無法修改) 沒有修飾的圖 可選1~4階修飾 .

存檔(要記得存系統檔) (1) 可以用Data(沒有修飾的圖) (2) 修飾完的圖要用迴紋針存檔 16. 數據分析 (1) 按Data→選圖→用3D看一下狀況→選游標尺→右邊電 腦螢幕會出現畫面 (2) 按右邊的Statistics(倒數第四個)展開→Roughness(點2 下)→即可看平均粗糙度→按迴紋針存檔→左邊電腦會 有檔案 .15.

輸出檔案 (1) 數據檔:按裡面的 存檔 (2) 照片檔:按外面的 存檔→Graphic→調整大小及模式 →ok→存桌面 .17.

X、Y 軸的數值可用 進行 調整為掃描範圍大小 .

使用完畢後,關機動作 (1) 先回到Approach介面 (2) 關FB Gain (3) 抬針 ,按三下 (4) 回到Aiming畫面後,降sample,降到底 (5) 拿sample (6) 關程式(到登出),關電源(燈光電源、power電源) . 可選 3D 模式,角度可自行調 整,高度用 Ctrl+移動滑鼠 18.