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Vitrages isolation thermique

renforce
par Laurent JORET
Ingnieur de lcole de Physique et Chimie Industrielles de Paris (ESPCI)
Doctorat de Chimie de lUniversit Pierre et Marie Curie (Paris VI)
Ingnieur responsable du Groupe CVD Saint-Gobain Recherche
et Anne PROST
Ancienne lve de lcole Polytechnique
Docteur en Physique des Solides

1. Pourquoi des vitrages isolation thermique renforce ? ............ BE 9 080 - 2


1.1 Modes de transfert de la chaleur................................................................ 2
1.2 Rayonnement du corps noir ....................................................................... 3
1.3 Rayonnement ambiant................................................................................ 3
1.4 Comportement du verre nu vis--vis du rayonnement ambiant ............. 4
2. valuation du transfert de la chaleur................................................. 4
2.1 Mesure d'missivit .................................................................................... 4
2.2 Coefficients de transfert de la chaleur ....................................................... 4
3. Quels vitrages pour l'isolation thermique renforce ? ................. 5
3.1 Verre nu ........................................................................................................ 5
3.2 Double vitrage.............................................................................................. 5
3.3 Double vitrage couche ............................................................................. 6
4. Couches minces mtalliques : modle de Drude............................ 7
4.1 Quelques notions de conduction lectrique.............................................. 7
4.2 Modle de Drude ......................................................................................... 7
5. Couches minces mtalliques base d'argent ................................. 8
5.1 Couches mtalliques transparentes........................................................... 8
5.2 Mthodes de dpt de couches minces mtalliques ............................... 9
5.3 Caractristiques des traitements l'argent basse missivit............... 9
6. Couches minces base d'oxydes transparents conducteurs ..... 9
6.1 Oxydes transparents conducteurs ............................................................. 10
6.2 Mthodes de dpt des couches d'oxydes semi-conducteurs................ 10
6.3 Caractristiques des traitements base de SnO2:F basse missivit.. 11
7. Applications des vitrages basse missivit .................................. 11
7.1 Double vitrage et isolation.......................................................................... 11
7.2 Autres applications des couches transparentes conductrices................. 12
Pour en savoir plus............................................................................................ Doc. BE 9 080

D ans les habitations et les btiments du secteur tertiaire, les parois vitres ne
sont plus simplement destines assurer l'entre de la lumire naturelle ;
outre la transparence lumineuse, elles prsentent un certain nombre de pro-
prits telles que l'isolation thermique ou acoustique, le contrle solaire, un
caractre antireflet...
Une volont de plus en plus franche se fait jour de limiter la consommation
d'nergie, d'une part par souci d'conomie, d'autre part afin de rduire les mis-
sions atmosphriques (dioxyde de carbone CO2 , oxydes d'azote NOx , dioxyde
de soufre SO2 ...), avec pour motivations la rduction de l'effet de serre et la pro-

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tection de la couche d'ozone. Dans ce cadre, le gouvernement allemand qui a


souhait rduire les missions de CO2 de 25 % entre 1987 et 2005 a ainsi promul-
gu une ordonnance visant limiter l'nergie ncessaire au chauffage des bti-
ments. Ces dispositions ont amplifi le dveloppement de vitrages isolants plus
efficaces que les doubles vitrages classiques : les doubles vitrages isolation
thermique renforce prsentant, sur une de leurs faces, une couche mince trans-
parente dans le visible mais fortement rflchissante dans linfrarouge thermi-
que, cest--dire faible missivit.
L'utilisation de ces couches minces faible missivit s'explique par les pro-
prits physiques lectriques des matriaux dposs sous cette forme. Le
choix des verriers s'est orient vers des matriaux comportement mtallique
qui ont la proprit de rflchir le rayonnement thermique. Deux gammes de
matriaux ont t retenues : d'une part, des couches minces mtalliques base
d'argent dposes en paisseur trs fine, de l'ordre de la dizaine de nanomtres,
d'autre part, des couches minces base d'oxydes transparents conducteurs plus
paisses, de l'ordre de quelques centaines de nanomtres. Dans les deux cas, les
mthodes de dpt ainsi que les caractristiques des couches sont dcrites.
Pour conclure, nous donnerons dautres exemples d'applications de substrats
de verre revtus de couches minces conductrices que les vitrages isolation
thermique renforce.

Notations et symboles 1. Pourquoi des vitrages


Symbole Unit Dfinition isolation thermique
Cp J kg1 K1 capacit thermique massique renforce ?
du fluide pression constante
K ou U W m2 K1 coefficient de transfert
thermique Comme il a t prcis dans l'introduction, la limitation des
dperditions de chaleur hors des btiments constitue un souci de
mv kg m3 masse volumique plus en plus constant. Il s'agit de limiter cette dperdition travers
N cm3 densit de porteurs de charges les murs mais galement au travers des parois vitres. Pour cela,
l'analyse des modes de transfert de la chaleur permet de dfinir le
R rsistance par carr vitrage isolant le plus efficace.
T transmission
K temprature absolue
K1 coefficient de dilatation
1.1 Modes de transfert de la chaleur
du fluide temprature
ambiante Les dperditions calorifiques au travers d'un vitrage s'effectuent
missivit de faon classique comme la transmission de la chaleur : par con-
vection, conduction et rayonnement.
, m W m3 flux nergtique
(par unit de longeur donde d)
, m m longeur donde 1.1.1 Transfert par conduction
cm2 V 1 s1 mobilit Au niveau macroscopique, ce transfert s'effectue sans transport
kg m1 s1 viscosit du milieu de matire ; au niveau microscopique, il est fond sur les transferts
d'nergie provenant des collisions des diffrents constituants du
cm rsistivit
milieu entre eux (collisions des lectrons d'un mtal, vibrations des
W m1 K1 coefficient de conduction rseaux d'atomes, chocs de molcules...). Dans un milieu immobile
thermique (liquide, gaz ou solide), la chaleur se transmet d'une surface iso-
W m2 flux nergtique total therme une autre, de temprature infrieure, proportionnelle-
ment l'cart de temprature, llment de surface considr, au
c 3 108 m s1 vitesse de la lumire temps et inversement proportionnellement l'paisseur mesure.
e 1,60 1019 C charge de llectron Le transfert par conduction est rgi par le coefficient de conduction
thermique du milieu dans lequel il se produit.
h 6,63 1034 J s constante de Planck
k 1,38 1023 J K1 constante de Boltzmann
0 8,85 1012 F m1 permittivit du vide
1.1.2 Transfert par convection
5,67 108 constante la diffrence de la conduction, le transfert par convection
de Stefan-Boltzmann
W m2 K4 s'opre par transport de matire. Ainsi, la convection spontane
dans un fluide est-elle provoque par des variations de masse

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volumique lies aux diffrences de temprature. Le transfert par c) Loi de Stefan-Boltzmann : si lon note le flux total surfacique
convection naturelle est rgi par le coefficient de conduction ther- rayonn vers un demi espace extrieur par une surface de corps
mique , le coefficient de dilatation du fluide temprature noir, on a :
ambiante , la viscosit du milieu , la masse volumique mv et la
capacit thermique massique du fluide pression constante Cp =4
dans lequel il se produit.
avec constante de Stefan-Boltzmann dfinie par :

5 4
1.1.3 Transfert par rayonnement 2 k
= ------------------
2 3
-
15 c h
Le transfert par rayonnement fait intervenir l'mission et la
rception d'ondes lectromagntiques qui se propagent sans et gale :
transport de matire. = 5,7 108 W m2 K4
Considrons un corps quelconque, non fluorescent, soumis un
la temprature ordinaire (10 oC ou 283 K), un objet se rappro-
rayonnement lectromagntique de longueur donde . Le corps
chant d'un corps noir, par exemple une surface noire mate, met
transmet une partie de ce rayonnement [coefficient de transmis-
un rayonnement situ dans l'infrarouge lointain (autour de 13 m),
sion T ( )], en rflchit une partie [coefficient de rflexion R ( )] et
ce qui explique qu'il apparaisse noir. Le rayonnement solaire cor-
en absorbe une partie (coefficient d'absorption A ( )). On a alors :
respond un spectre d'mission d'un corps noir la temprature
T ( ) + R ( ) + A ( ) = 1 de 6 500 K (temprature de rayonnement du soleil). Enfin, un corps
noir commence mettre dans le domaine visible pour des tem-
Parmi les diffrents types de rayonnement, on retiendra particu- pratures 1 000 K (par exemple, les braises d'un feu ou un fer
lirement le rayonnement du corps noir qui intervient largement chauff au rouge).
dans les phnomnes de transfert thermique.

1.2.2 Rayonnement d'un corps quelconque -


1.2 Rayonnement du corps noir notion d'missivit

1.2.1 Corps noir temprature gale, un corps quelconque non noir, c'est--dire
qui n'absorbe pas tout le rayonnement qu'il reoit, rayonne moins
Le corps noir est un objet thorique modle qui tire son nom du que le corps noir. Cette proposition dcoule de la loi de Kirchhoff.
fait qu'il absorbe compltement l'nergie rayonnante qu'il reoit. Considrons un corps quelconque plac dans une enceinte porte
Pour toutes les longueurs d'onde , on a donc A ( ) = 1. la temprature d'quilibre ; pour chaque longueur d'onde , le
corps absorbe une partie A ( ) du rayonnement E ( ) qu'il reoit et
Le corps noir peut tre reprsent schmatiquement par une
met un rayonnement propre E*( ). On peut alors dmontrer la loi
enceinte vide constitue d'un corps isotherme dont la paroi est
de Kirchhoff qui s'nonce de la faon suivante :
impermable la chaleur et qui contient un petit orifice par lequel
s'chappe le rayonnement que l'on peut ainsi mesurer. Lorsque les
parois de l'enceinte sont portes la temprature , il s'tablit un E ( )
--------------- = A ( )
quilibre thermodynamique parfait entre celles-ci et l'intrieur de E()
l'enceinte. Cet quilibre se traduit par l'mission par ces parois soit :
d'un rayonnement lectromagntique purement thermique. En
E*( ) = A( ) E( )
d'autres termes, l'nergie rayonne par le corps doit tre emprun-
te totalement sa chaleur propre et l'nergie de rayonnement Ainsi, le corps met pour chaque longueur d'onde un rayonne-
absorbe se transforme intgralement en chaleur. Ce rayonnement ment gal au rayonnement mis par un corps noir port la mme
d'quilibre thermique est appel rayonnement de corps noir et a temprature multipli par le facteur d'absorption A ( ) du corps
pour caractristiques d'tre homogne, isotrope et non polaris. considr. Ce coefficient multiplicatif est appel pouvoir missif ou
Le rayonnement du corps noir, qui n'est fonction que de la tem- missivit ; il est communment not ( ).
prature, suit un certain nombre de lois :
Le rayonnement, dit ambiant, dcoule totalement du phnomne
a) Loi de rayonnement de Planck : sur lintervalle de longueur de corps noir.
donde [, + d], le flux nergtique mis par le corps noir vers
l'hmisphre qui l'entoure est donn par :

2 hc
2 1.3 Rayonnement ambiant
( , ) = ---------------------------------------------------------
5
-
[ exp ( hc k ) 1 ]
Le rayonnement ambiant, auquel sont soumis les tres, objets,
b) Loi de Wien : pour chaque temprature, il existe dans le habitations, et en particulier les parois vitres, peut tre dcrit
rayonnement du corps noir une longueur d'onde pour laquelle le comme la somme de deux contributions :
flux rayonn est maximal. Cette longueur d'onde est inversement
proportionnelle la temprature d'mission et est donne par : le rayonnement solaire qui correspond aux longueurs d'onde
comprises entre 280 et 2 500 nm et qui est spar en trois
m = b domaines : l'ultraviolet (280 380 nm), le visible (380 780 nm cor-
respondant l'intervalle de sensibilit de l'il humain) et l'infra-
avec b = 2,9 103 K m. rouge solaire (780 2 500 nm). Il s'apparente au rayonnement de
Le flux nergtique rayonn m( ) pour la longueur d'onde m corps noir du soleil la temprature de 6 500 K ;
est proportionnel 5 : le rayonnement thermique ambiant qui correspond au rayon-
m( ) = B 5 nement de corps noir des objets qui nous entourent, maintenus
une temprature proche de 300 K. Il est situ des longueurs
avec B = 1,3 105 W m3 K5. d'onde allant de 3 50 m.

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1.4 Comportement du verre nu vis--vis d'mission d'une surface dans toutes les directions d'un demi-
espace. L'missivit hmisphrique est, pour les faibles missivi-
du rayonnement ambiant ts, suprieure de 20 30 % l'missivit normale.
On dfinit enfin l'missivit corrige c , appele galement
Si le verre est transparent dans le domaine visible du spectre missivit effective, intermdiaire entre l'missivit normale et
solaire (Tvis = 90 % pour un verre silicosodocalcique de 4 mm l'missivit hmisphrique ; elle est obtenue en multipliant l'mis-
d'paisseur), il devient totalement opaque dans le domaine de sivit normale par un facteur correctif donn pour certaines valeurs
l'infrarouge thermique : pour > 4,5 m, la transmission spculaire de l'missivit normale et interpol pour les valeurs interm-
est nulle cest--dire Tn( ) = 0 ; par ailleurs, la rflexion d'une diaires.
feuille de verre est faible (< 10 %) dans le domaine spectral s'ten-
dant de 0,3 50 m. Exemple : c /n = 1,22 pour n = 0,03
Les radiations absorbes par la feuille de verre porte la tem- et c /n = 0,94 pour n = 0,89 (cf. norme prEN 673).
prature de la pice, sont alors rmises selon une loi de corps Les transferts de chaleur travers les parois vitres peuvent se
noir. Le verre ne constitue donc qu'une barrire faible au rayonne- calculer comme nous le dcrivons ci-dessous. Ils sont alors expri-
ment et se comporte comme un corps noir quasi parfait. ms grce aux coefficients normaliss qui sont dfinis.
Dans le cas d'une paroi de verre simple, les pertes par conduc-
tion et par convection sont largement suprieures aux pertes par
rayonnement. Pour limiter les pertes thermiques associes aux dif-
frents modes de transfert de la chaleur, il est ncessaire d'avoir
2.2 Coefficients de transfert de la chaleur
recours des vitrages plus volus que la simple feuille de verre :
les doubles vitrages ou encore les doubles vitrages couches. 2.2.1 Coefficient de transfert thermique K ou U
On dfinit K ou U le coefficient de transmission thermique tra-
2. valuation du transfert vers une paroi vitre. Il dsigne la quantit de chaleur traversant la
paroi, en rgime stationnaire, par unit de surface et pour une dif-
de la chaleur frence de temprature unitaire entre les ambiances situes de
part et d'autre des faces du vitrage, sans tenir compte des effets de
bords. La paroi vitre peut tre constitue d'un simple vitrage ou
2.1 Mesure d'missivit d'un vitrage multiple (le plus gnralement double). Dans la prati-
que, la paroi vitre est insre dans une menuiserie (bois, PVC ou
mtal) et il faut galement tenir compte du coefficient de transfert
La mesure d'missivit dcoule de la loi de Kirchhoff et permet thermique de celle-ci. Ces coefficients sont donnes par les rgles
de dterminer le pouvoir rayonnant d'un corps quelconque. Il suf- Th-K77 qui sont des rgles de calcul des caractristiques thermi-
fit, en effet, de mesurer ou de dterminer thoriquement le coeffi- ques utiles des parois de construction.
cient d'absorption A ( ).
Ce coefficient peut tre dtermin par une mesure (cf. norme
Pour les longueurs d'onde du rayonnement thermique (infrarouge ISO 10292) mais il est plus couramment calcul en suivant la
de 3 50 m), le coefficient d'absorption d'un corps peut tre norme prEN 673 explicite ci-aprs. De faon normalise, les hypo-
mesur grce un spectromtre infrarouge. Comme nous l'avons vu thses retenues pour les calculs sont une temprature moyenne
prcdemment, le verre est opaque pour les longueurs d'onde sup- des vitrages de 283 K et une diffrence de temprature de 15 K
rieures 4,5 m (T ( ) = 0). Nous avons donc dans ce cas : entre les faces externes du vitrage.
A ( ) = 1 R ( ) Le coefficient de transmission thermique est donn par la
La valeur d'missivit la plus communment utilise en Europe formule :
est l'missivit normale n . Elle correspond l'missivit mesure 1 1 1 1
dans la direction normale la surface. Pour les produits verriers, ------ = ------ + ----- + -----
K he ht hi
elle est obtenue partir de la courbe spectrale de rflexion en inci-
dence normale, en appliquant la mthode suivante : le facteur de o les diffrents coefficients sont dfinis par :
rflexion suivant la normale Rn , pour une temprature de 283 K,
est dtermin partir des facteurs spectraux de rflexion Rn(i ) he : coefficient d'change thermique superficiel extrieur (en
pour trente longueurs d'onde (i = 1 30). Ces longueurs dondes W m2 K1) qui est fonction de la vitesse du vent v prs du vitrage.
sont slectionnes suivant la norme ISO 10292 ou suivant la norme Il est obtenu par la formule approximative :
europenne prEN 673 (inspire de la norme prcdente) qui sont
deux normes concernant lisolation thermique des vitrages et qui he = 10 + 4,1v
donnent les rgles de calcul pour la dtermination du coefficient avec v (m s1) vitesse du vent.
thermique, K ou U, des vitrages en rgime stationnaire (cf. 2.2.1).
La valeur normalise de he est gale 23 W m2 K1. Cette
Ces longueurs d'onde sont plus particulirement prises dans le
valeur considre une surface extrieure de verre nue et ne tient pas
domaine de 9 13 m, o se situe le maximum d'mission de
compte de l'amlioration de l'missivit d'une face extrieure du
corps noir pour une temprature de 10 oC. On dfinit Rn comme la
vitrage.
moyenne arithmtique de ces facteurs spectraux de rflexion :
30 h i : coefficient d'change thermique superficiel intrieur (en
1 W m2 K1) : il est calcul par la formule :
R n = ------
30 Rn ( i )
i=1 hi = hr + hc
L'missivit incidence normale, ou missivit normale n est avec hr conductance radiative qui est normalise
alors donne par : n = 1 Rn . Par exemple, pour une paroi de 4,4 W m2 K1 pour les surfaces de verre ordinaire ;
verre nu : n = 0,88. si la face interne du vitrage prsente une missivit
On dfinit galement l'missivit hmisphrique, usuellement infrieure celle du verre, alors la conductance
utilise aux tats-Unis, obtenue en intgrant les valeurs d'missi- radiative est donne par : hr = 4,4 c /0,837 o c est
vit sur l'angle solide 2. Elle reprsente donc la quantit totale l'missivit corrige de la surface. Cette formule

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n'est valable que si la surface de verre conserve son


caractre faiblement missif et notamment si elle Tableau 1 Exemples de valeurs du facteur solaire
reste propre, sans trace de condensation. de quelques vitrages commercialiss
L'missivit corrige de la surface de verre nue est par la socit Saint-Gobain Glass
gale 0,837,
hc conductance convective qui est normalise Facteur
Paroi vitre
3,6 W m2 K1 pour la convection libre. Cependant, Solaire
cette valeur se trouvera modifie dans le cas o un
courant d'air circule le long de la surface Simple vitrage dpaisseur 4 mm - SGG Planilux 0,87
Pour des surfaces de verre verticales et soumises la convection Double vitrage, paisseur du verre 4 mm, lame dair
12 mm 0,76
libre, on a donc :
hi = hr + hc = 8 W m2 K1 Double vitrage de contrle solaire - SGG Cool Lite
0,33
SKN
h t : conductance thermique totale du vitrage qui dpend de la
nature et de l'paisseur des lames de gaz contenues dans le vitrage, Simple vitrage teint dpaisseur 6 mm - SGG Parsol 0,56
de l'missivit de chacune de ses faces internes, de la rsistivit
thermique et de l'paisseur des diffrents matriaux qui le compo-
sent. La conductance thermique h t peut tre calcule par la
formule : Le tableau 1 donne des exemples de facteur solaire pour quel-
ques vitrages.
N M
1 1
----- =
ht ------
h sj j j
-+ dr
1 1

hsj est la conductance thermique de chaque lame de gaz dfinie 3. Quels vitrages pour
par :
hsj = hgj + hrj ,
l'isolation thermique
avec :
renforce ?
hrj conductance radiative donne par :
1 3 3.1 Verre nu
h rj = 4 ----- + ----- 1 m
1 1
1 2

o m est la temprature moyenne de la lame de gaz Pour une feuille de verre silicosodocalcique classique de 4 mm
et 1 et 2 les missivits corriges de chaque surface en d'paisseur, appel encore verre float car produit sur une ligne de
vis--vis ; fabrication utilisant la technologie float consistant couler le verre
sur un bain dtain liquide, le coefficient K de transfert thermique
hgj convecto-conductance du gaz donne par : est gal 5,7 W m2 K1. Les pertes thermiques sont essentielle-
ment dues la convection de la paroi externe du vitrage. Dans ce

h gj = Nu ---- cas, pour une temprature extrieure de 10 oC et pour une tem-
s
prature intrieure de + 20 oC, la temprature de la paroi intrieure
o Nu est le nombre de Nusselt et s la distance entre les du verre est gale 2,3 oC.
deux feuilles de verre. Un calcul plus dtaill
figure dans la norme prEN 673.
N est le nombre de lames de gaz.
3.2 Double vitrage
dj est l'paisseur de chaque feuille de verre ou d'autre matriau.
Un double vitrage est compos de deux feuilles de verre spa-
rj est la rsistivit thermique de chaque matriau, gale 1 pour res par une lame de gaz de nature et d'paisseur choisies. Il est
le verre. usuellement dcrit par une squence X/d/Y gaz o :
M est le nombre de feuilles de matriau. X et Y correspondent aux paisseurs des deux lames de verre ;
d correspond l'paisseur de la lame de gaz ;
gaz correspond la nature de gaz choisie.
2.2.2 Facteur solaire FS
Exemple : un double vitrage simple compos de deux feuilles de
La paroi vitre est gnralement transparente au rayonnement verre de 4 mm d'paisseur et d'une lame d'air de 12 mm sera dcrit
solaire qui constitue donc une source d'nergie gratuite. Pour des par la squence : 4/12/4 air .
vitrages bien exposs, ces apports limitent fortement les dpenses
nergtiques de chauffage, mais ils peuvent entraner des sur- La dsignation des faces d'un vitrage se fait ainsi : convention-
chauffes l't (effet de serre). nellement, les faces d'un vitrage sont dsignes partir de l'ext-
Le facteur solaire FS est gal au rapport de l'nergie rentrant rieur du btiment. Un double vitrage comporte quatre faces dont la
dans le local et de l'nergie solaire incidente. Il s'agit donc de la face 1 est lextrieur du btiment, la face 4 lintrieur du bti-
somme du flux transmis directement travers le vitrage et du flux ment et les faces 2 et 3 lintrieur du double vitrage (figure 1).
absorb puis rmis vers l'intrieur par le vitrage. En suivant la L'adoption d'un double vitrage permet de rduire les pertes par
norme ISO 9050 ou la norme europenne prEN 410 (inspire de la conduction. Pour cela, le gaz utilis le plus efficace prsentera une
norme prcdente) qui sont deux normes permettant de dtermi- conductivit thermique faible comme l'argon ( = 1,7 W m1 K1
ner les caractristiques lumineuses et solaires des vitrages, nous 20 oC) ou le krypton ( = 0,9 W m1 K1 20 oC), ainsi qu'une
pouvons calculer le facteur solaire partir d'une distribution ner- forte viscosit afin de limiter les phnomnes de convection dans la
gtique normalise du spectre solaire, appele Parry Moon lame de gaz. Le gaz utilis trs majoritairement est lair. La conduc-
Masse 2, et du coefficient K du vitrage. tance thermique de la lame de gaz diminue pour une paisseur de gaz

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Tableau 2 paisseur de gaz optimale


X d Y donnant un coefficient K minimal
Nature du gaz Air Argon (Ar) Krypton (Kr)

paisseur optimale (mm) 15,6 14,7 10,1

Extrieur Gaz Intrieur

Face 1 Face 3 4 mm 12 mm 4 mm

Face 2 Face 4

Figure 1 Double vitrage X/d /Y gaz

Extrieur Air Intrieur


croissante jusqu' l'apparition de la convection (tableau 2). Au-del
de cette paisseur laquelle la convection apparat, le coefficient K Couche peu
augmente et l'efficacit, en terme d'isolation thermique, du vitrage missive en
diminue. face 3

Pour un double vitrage simple, le coefficient K est gal


K = 2,9 W m2 K1. Dans ce cas, pour une temprature extrieure
de 10 oC et pour une temprature intrieure de + 20 oC, la temp- Figure 2 Double vitrage couche 4/12/4 air face 3
rature de la paroi intrieure du vitrage est gale + 9 oC. L'utilisa- pour une isolation thermique renforce
tion de vitrages isolants permet donc, en augmentant la
temprature de leur face intrieure, de diminuer la sensation de
froid leur proximit et de rduire la condensation.
Dans le cas d'un double vitrage ordinaire (deux feuilles de 4 mm
d'paisseur de verre spares par une lame d'air de 12 mm Tableau 3 Coefficient K pour un double vitrage 4/12/4 air
d'paisseur), les pertes thermiques sont alors dues pour 70 % au en fonction de la position dune couche peu missive
rayonnement et pour 30 % la conduction et la convection. (usuellement, la couche est place en face 3 voire en face 2)
K (face 1) K (face 2 ou 3) K (face 4)
missivit
(W m2 K1) (W m2 K1) (W m2 K1)
3.3 Double vitrage couche
0,15 2,9 1,9 2,2
temprature gale, les transferts par rayonnement peuvent
tre rduits en diminuant l'missivit d'au moins une des faces 0,05 2,9 1,7 2,1
du vitrage. On diminue ainsi la contribution hr au coefficient de
transfert thermique K du vitrage. Le moyen pratique de dimi-
nuer l'missivit est d'appliquer sur la surface choisie une
couche de matriau peu missif. En effet, en vertu des propri- Un double vitrage couches est usuellement dcrit par une
ts du verre nu, la transmission de l'empilement verre + couche squence identique celle d'un double vitrage laquelle on
sera nulle dans l'infrarouge thermique et on aura, en incidence adjoint la position de la couche ; par exemple, un double vitrage
normale : simple compos de deux feuilles de verre de 4 mm d'paisseur et
d'une lame d'air de 12 mm et comprenant une couche dpose sur
Rn( ) + An( ) = 1 la face 3 sera dcrit par la squence : 4/12/4 air face 3 (figure 2).
Pour un double vitrage 4/12/4 air comprenant une couche
soit : n( ) = 1 Rn( ) d ' m i s s i v i t 0 , 1 5 e n f a c e 3 , l e c o e f fi c i e n t K e s t g a l
K = 1,9 W m2 K1 (tableau 3). Dans ce cas, pour une tempra-
Les pertes radiatives peuvent donc tre limites en appliquant ture extrieure de 10 oC et pour une temprature intrieure de
sur le verre une couche transparente dans le visible mais fortement + 20 oC, la temprature de la paroi intrieure du vitrage est gale
rflchissante dans l'infrarouge thermique c'est--dire faible + 12,6 oC.
missivit. Il se trouve que les matriaux conducteurs lectriques prsen-
tent la proprit de rflchir le rayonnement pour toutes les lon-
L'efficacit de ce revtement sera fonction de sa position dans le gueurs d'onde suprieures une longueur d'onde caractristique
double vitrage. En effet, on peut rduire l'missivit : dont la valeur dpend des proprits de conduction du matriau.
d'une face situe lintrieur du double vitrage et, dans ce cas, Ainsi, les mtaux (aluminium, argent...) sont dj rflchissants
on diminue la valeur de hri conductance radiative de l'intrieur du dans le domaine visible du spectre solaire ce qui leur confre leur
vitrage (cf. 2.2.1) ; ce terme est symtrique par rapport aux faces aspect de miroir.
internes 2 et 3 du vitrage. Le coefficient K aura donc une valeur iden- Deux types de matriaux conducteurs sont couramment utiliss :
tique, que la couche soit place en face 2 ou en face 3 ; les mtaux nobles, conducteurs par excellence, tel l'argent ;
de la face du vitrage situe l'intrieur de la pice et, dans ce les oxydes transparents dans le domaine visible du spectre
cas, on diminue la valeur de hr conductance thermique radiative. solaire et rendus conducteurs par l'ajout d'un dopant, tels l'oxyde

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d'indium dop l'tain [In2O3 :Sn ou ITO (indium tin oxide)], l'oxyde Mesure des grandeurs lectriques : la rsistance par carr R
de zinc dop l'aluminium (ZnO:Al) ou plus couramment l'oxyde peut tre mesure par la technique du quatre pointes : une
d'tain dop au fluor (SnO2:F). tension est impose entre deux pointes conductrices appliques
sur la couche et l'intensit du courant est mesure entre deux
Les vitrages munis de couches basse missivit, ou encore
autres pointes. Lorsqu'une gomtrie particulire est respecte
vitrages isolation thermique renforce, tant utiliss essentielle-
pour la disposition des pointes (quidistantes sur une ligne ou
ment dans les habitations rsidentielles et les immeubles du sec-
formant les sommets d'un carr), la rsistance par carr de la
teur tertiaire, une transmission lumineuse leve dans le domaine
couche peut tre obtenue en tenant compte d'un facteur gom-
visible du spectre solaire est absolument ncessaire. Or les cou-
trique correctif facilement calculable. partir des valeurs de la
ches conductrices associent un caractre absorbant dans le
rsistance par carr et de l'paisseur de la couche, on peut calcu-
domaine visible du spectre solaire leur caractre rflchissant.
ler la rsistivit du film.
Un bon compromis entre transparence lumineuse et faible absorp-
tion dans l'infrarouge peut tre obtenu en appliquant des couches Les autres grandeurs lectriques, mobilit des lectrons et nom-
peu missives minces (on appelle usuellement couche mince tout bre de porteurs, sont obtenues par une mesure d'effet Hall, gn-
revtement d'paisseur infrieure 1 m). ralement effectue dans la configuration de van der Pauw.
Leur paisseur sera donc limite afin de conserver une transmis-
sion lumineuse leve : quelques nanomtres pour un mtal et
quelques centaines de nanomtres pour un oxyde transparent
conducteur.
4.2 Modle de Drude

4.2.1 Principe du modle

4. Couches minces mtalliques : Le modle de Drude est un modle classique, datant du dbut du
sicle, fond sur l'approximation de l'lectron libre. Dans cette
modle de Drude approche, le matriau est spar en deux parties :
un ensemble d'atomes susceptibles de librer chacun un ou
Dans une approche simplifie, mais nanmoins correcte, les cou- plusieurs lectrons qui ne sont plus que faiblement lis l'atome
ches minces caractre mtallique peuvent tre dcrites par le (les lectrons de valence) ;
modle de Drude. l'ensemble de ces lectrons, qui n'agissent pas entre eux et qui
Ce modle repose sur une approximation de la physique classi- forment un nuage soumis au potentiel positif cr par les ions. Ces
que, celle de l'lectron libre. Il permet de relier les proprits opti- lectrons sont en quelque sorte pigs dans une bote mais libres
ques des matriaux leurs proprits lectriques. Dans un premier l'intrieur de celle-ci. Ils sont donc dcrits sous la forme d'un gaz de
temps, les grandeurs caractristiques dcrivant les proprits lec- porteurs libres.
triques vont tre introduites. Quand on applique au matriau dcrit prcdemment un champ
lectromagntique E , il se produit un dplacement d'lectrons sui-
vant l'quation du mouvement :
4.1 Quelques notions de conduction
lectrique dv
m ------- = qE
dt
Un mtal est caractris par l'existence d'lectrons dlocaliss
ou libres, c'est--dire qui ne sont pas lis un atome. Ces lectrons avec m* masse effective de l'lectron,
forment le nuage lectronique du matriau et peuvent tre mis en
mouvement par l'application d'un champ lectrique. q = e charge de llectron.
On dfinit N la concentration de porteurs de charges, ou concen- On obtient alors l'expression de la vitesse :
tration d'lectrons, qui correspond la densit de ces lectrons
libres par unit de volume. On dfinit galement la mobilit des
lectrons qui correspond la vitesse moyenne des porteurs quand qE
v ( t ) = ---------- t
ils sont soumis un potentiel lectrique. Cette dernire sera m
d'autant plus leve que le nombre de collisions qu'ils subiront,
sur les dfauts du matriau par exemple, sera faible. Dans ce modle, la vitesse augmenterait de faon infinie avec le
La rsistivit est dfinie par : temps, ce qui est physiquement absurde puisqu'aucun corps de
masse non nulle ne peut atteindre la vitesse de la lumire ! Pour
1 rsoudre cette difficult, on introduit la notion de collisions subies
= ------------ par les lectrons, par exemple avec les ions du cristal, et qui font
Ne
retomber leur vitesse 0 ; ces collisions interviennent la fr-
avec e valeur absolue de la charge de l'lectron. quence 1/ o est le temps de relaxation des lectrons. Ce
Cette rsistivit peut tre relie la rsistance par carr R de temps correspond donc au temps moyen qui s'coule entre deux
la couche par : chocs. Cette description revient galement dfinir une force de
frottement s'opposant au mouvement des lectrons. L'introduction
= R d du temps de relaxation permet de calculer les valeurs de rsistivit
et de mobilit des porteurs :
avec d paisseur de la couche. m
= -------------
2
-
Elle est gale l'inverse de la conductivit lectrique. La rsis- Ne
tance par carr de la couche correspond la rsistance surfacique et :
lectrique de la couche. Contrairement la rsistivit, il ne s'agit
e
pas d'une grandeur volumique car elle dpend de l'paisseur du = --------
film considr. m

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4.2.2 Proprits optiques


100

Rflexion (%)
Si l'on dcrit simplement la lumire par un champ lectromagn- paisseur = 300 nm
tique du type E = ( E x , 0, 0 ) avec Ex = E0cos(t), l'quation du mou- 80 Mobilit = 35 cm2. V--1. s--1 N = 5.1020cm--3
p = 1,6 m
vement de l'lectron s'crit :
60
mx
mx = --------- eE x
N = 3.1020cm--3
40
p = 2 m
o x est la position de l'lectron le long de l'axe des x.
20
En utilisant les quations de Maxwell qui dcrivent la propaga-
tion d'une onde dans un milieu donn, on cherche pour x une solu-
tion de la forme : x = x0cos(t ). 0
300 800 1 300 1 800 2 300
Dans le modle de Drude, trois grandeurs permettent de dcrire Longeur d'onde (nm)
entirement le comportement des lectrons libres :
: la constante dilectrique optique ; Figure 3 Influence de la densit de porteurs de charge
p : la longueur d'onde plasma, qui est relie la pulsation sur la longueur donde plasma
plasma p par :
2 c
p = ----------
p
4.2.3 Relations entre l'absorption lumineuse,
p tant reli N par : l'missivit et les caractristiques
2 du modle de Drude
2 Ne
p = ---------------------
0 m Lmissivit, l'absorption lumineuse et la valeur de la rflexion
avec 0 permittivit du vide. infrarouge sont relies l'paisseur de la couche mince, la mobi-
lit des porteurs et au nombre de porteurs N par les relations de
La longueur d'onde plasma correspond la longueur d'onde proportionnalit suivantes :
pour laquelle il est possible d'exciter collectivement les lectrons 1
libres du matriau en les faisant osciller longitudinalement ; ------------
Nd
: la longueur d'onde de relaxation relie au temps de relaxa-
tion par : Nd
et : AL --------

= c
Dans la rgion infrarouge, la rflexion est donne par [1] :
La longueur d'onde de relaxation dpend des diffrentes colli-
sions auxquelles sont soumis les lectrons dans la bote. 4 0 c 1
R = 1 ------------ ------------
Le comportement optique du matriau mtallique est li aux e Nd
valeurs des trois grandeurs du modle, et en particulier la lon-
gueur d'onde plasma. De bonnes performances d'isolation exigent une valeur d'mis-
sivit la plus faible possible mais galement les meilleures propri-
Les parties relle et imaginaire de l'indice optique, n et k, se ts de transmission lumineuse. Si un nombre de porteurs N lev
dduisent de faon classique des relations de dispersion de la est favorable une missivit faible, il est dfavorable en ce qui
fonction dilectrique complexe et peuvent sexprimer partir des concerne l'absorption lumineuse. Il s'agit donc d'tablir un com-
trois grandeurs du modle : promis entre absorption lumineuse et missivit.
2 Deux types de matriaux peuvent tre envisags :
p
= n2 k2 = 1 --------------------
2 2
des couches minces mtalliques absorbantes ou rflchissan-
+ tes dans le domaine visible ;
2
des couches minces d'oxydes transparents conducteurs dops
p dont la longueur d'onde plasma est situe entre 1 et 5 m de faon
= 2nk = ------
- --------------------
2 2 rester transparents dans le domaine visible.
+
Si l'on considre une onde monochromatique de longueur
d'onde arrivant sur un matriau conducteur :
pour > p , l'onde est rflchie ; 5. Couches minces
pour = p , l'onde est absorbe (longueur d'onde rsonante) ;
pour < p , l'onde est transmise.
mtalliques base d'argent
La longueur d'onde plasma peut tre modifie en agissant sur
les caractristiques lectriques du matriau. Ainsi, il est possible 5.1 Couches mtalliques transparentes
de dfinir un matriau transparent en-de d'une certaine longueur
d'onde et rflchissant au-del de cette longueur d'onde.
Les matriaux mtalliques ont gnralement des longueurs
Par exemple, si la densit de porteurs N augmente, la longueur d'onde plasma situes dans l'ultraviolet, du fait notamment de leur
d'onde plasma se trouve dplace vers les courtes longueurs nombre de porteurs trs lev (pour l'argent, p = 140 nm et pour
d'onde et le matriau pourra tre transparent dans le visible et l'aluminium, p = 90 nm). Ces matriaux dposs en couche mince
rflchissant dans le proche infrarouge (figure 3). sont donc essentiellement rflchissants et absorbants dans le

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domaine visible. Afin de conserver la transparence lumineuse, il


faut alors se limiter de fines paisseurs (de 10 15 nm). Les Tableau 4 Exemple de proprits dempilement
mtaux susceptibles d'tre utiliss sont l'argent, l'aluminium, le du type verre/SnO2/argent/SnO2
cuivre, l'or ou encore l'tain.
Les meilleures performances de basse missivit correspondent Transmission
Rflexion lumineuse missivit normale
la rsistivit la plus faible possible, qui peut tre obtenue grce lumineuse
une valeur de mobilit des lectrons leve. Une bonne cristalli- TL (%) RL (%) n
sation de la couche mtallique tend augmenter la mobilit des
lectrons. En effet, elle est associe l'absence de dfauts et un 83 4 0,08
bon ordre local des atomes du rseau cristallin.
Dans les faits, l'argent est le mtal employ du fait de son carac-
tre bas-missif performant et d'un certain nombre de proprits
ligne de production, encore appele cloche, permet de traiter des
favorables qui seront dveloppes par la suite.
surfaces allant jusqu' sept millions de mtres carrs par an.
Une grande quantit de matriaux peut tre dpose par pulv-
risation, en particulier des oxydes. On peut ainsi composer des
5.2 Mthodes de dpt de couches matriaux multicouches sur des lignes comprenant un grand nom-
minces mtalliques bre de cibles.

Les couches mtalliques entrant dans la fabrication des vitrages 5.3 Caractristiques des traitements
basse missivit ne sont pas dposes directement sur la ligne
de fabrication du verre, la ligne float, mais sur des lignes de dpt l'argent basse missivit
sous-vide spcialement adaptes.
L'argent est le mtal communment employ dans les empile-
5.2.1 vaporation ments basse missivit. Ses avantages sont multiples :
bonne mouillabilit par rapport aux autres mtaux ; une bonne
mouillabilit est caractrise par le fait que l'argent nappe bien la
Il s'agit de la mthode de dpt la plus ancienne. L'vaporation
surface, en formant ainsi une couche sans trous ni lots ;
sous diffrentes formes, sous-vide ou ractive, a permis, en utili-
faible absorption dans le domaine visible ;
sant des cibles mtalliques, de dposer des films mtalliques.
indices optiques favorables un traitement antireflet limitant
Les paramtres de dpt sont : ou supprimant l'aspect de miroir de l'empilement.
le taux d'vaporation de la cible ; La structure classique d'un empilement basse missivit
la temprature du substrat ; base d'argent est le suivant : verre/SnO2/Ag/SnO2 . L'paisseur de
la distance de la source au substrat. la couche de mtal se situe juste au-dessus de la limite de coales-
cence du film d'argent, typiquement autour des 10 nm. La rflexion
Cependant, la technique de l'vaporation ne permet pas,
du film mtallique seul est alors leve. Le choix des deux oxydes
aujourd'hui, d'obtenir des dpts suffisamment homognes sur
peut tre fait de telle sorte qu'ils aient un effet antireflet pour le
substrats de grande taille (typiquement 6 3,2 m2). Elle n'est donc
film d'argent.
pas mise en uvre dans l'industrie verrire pour les applications
architecturales. Le tableau 4 donne un exemple de proprits dempilement du
type verre/SnO2/Ag/SnO2 .
Les multicouches mtalliques ne peuvent tre utilises qu'
5.2.2 Pulvrisation l'intrieur d'un double vitrage : en effet, ces films sont relativement
sensibles l'humidit et aux agressions mcaniques (fragilit la
La pulvrisation est actuellement la technique la plus employe rayure). Le stockage et le transport de ces produits doivent donc
pour dposer des couches minces de mtaux sur des substrats de tre particulirement soigns : emballage des volumes contenant
grande taille. un lment dessiccateur.
On recense plusieurs types de pulvrisation : en courant continu
ou alternatif, magntron ou assiste par un faisceau d'ions...
Dans tous les cas, il s'agit d'acclrer les ions d'un plasma, de
l'argon par exemple, cr dans un vide primaire, vers une cible 6. Couches minces base
maintenue un potentiel ngatif (il s'agit de la cathode du sys-
tme). La cible est constitue du mtal dposer. Les ions positifs
d'oxydes transparents
du plasma bombardent la cible dont les atomes sont vapors
dans toutes les directions, et en particulier vers la surface du verre
conducteurs
o ils se condensent pour former le film.
Plusieurs oxydes mtalliques sont transparents dans le domaine
Des dpts homognes sur substrats de grande taille ont pu tre visible du spectre solaire (TL 85 % voire 90 %). Dposs en cou-
obtenus grce la technique magntron : des aimants sont placs ches minces de quelques centaines de nanomtres d'paisseur, ils
derrire les cathodes et crent un champ magntique qui confine sont connus et utiliss depuis plus de cinquante ans. Ils ont la pro-
les lectrons secondaires mis par la cible. On obtient ainsi un ren- prit d'tre particulirement stables, durs et adhrents de nom-
forcement de la densit du plasma proximit de la cible, ce qui breux substrats. Cette proprit est due leur structure
augmente la vitesse de dpt. lectronique : les lectrons sont rpartis dans la bande de valence,
Les lignes de dpts sont constitues de plusieurs sas de pom- ensemble de niveaux d'nergie lis. Si on leur communique suffi-
page qui permettent de faire descendre la pression des niveaux samment d'nergie, ils ont la possibilit de passer dans la bande
suffisamment bas (quelques 104 mbar) permettant de crer un de conduction, ensemble de niveaux d'nergie suprieure, et de
plasma. Ces sas sont suivis de diffrentes zones de dpt. Une participer la conduction lectrique : ce sont des lectrons libres

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au sens du modle de Drude. Il existe pour ces oxydes un domaine 6.2.2 Techniques pyrolytiques
d'nergie, appel bande interdite, que les lectrons ne peuvent pas
occuper.
Ces techniques sont couramment utilises directement sur la
La largeur de la bande interdite des oxydes transparents est ligne de fabrication du verre. la diffrence des techniques
l'nergie minimale qui doit tre communique un lectron pour mises en uvre sous vide, elles permettent de dposer tous
que celui-ci passe d'un tat situ dans la bande de valence un les oxydes transparents conducteurs largement utiliss actuel-
tat situ dans la bande de conduction de l'oxyde. Pour les oxydes lement.
transparents, cette largeur de bande interdite est situe dans le
proche ultraviolet. C'est le cas de l'oxyde d'tain SnO 2 Elles prsentent un certain nombre de points communs :
(Eg = 3,5 eV), de l'oxyde d'indium In2O3 (Eg = 3,75 eV) ou encore obtention d'une couche partir de prcurseurs, organomtal-
de l'oxyde de zinc ZnO (Eg = 3,3 eV). L'nergie ncessaire la tran- liques ou non, mis en contact avec une surface de verre chaud (tem-
sition lectronique entre la bande de valence et la bande de prature de 400 700 oC) dfilant sous l'instrument de dpt la
conduction, peut tre apporte entre autres, par des photons. Pour plupart du temps ;
toutes les longueurs d'onde suprieures celle correspondant la
bande interdite, le matriau est transparent ; le gap des oxydes matrise de la temprature du substrat pour obtenir les pro-
cits prcdemment tant situ dans l'ultraviolet, ils sont donc prits et l'uniformit d'paisseur de la couche souhaites ;
transparents dans le domaine visible du spectre solaire. la tem- rduction au maximum de toutes les ractions n'ayant pas lieu
prature ambiante, ces matriaux sont alors des semi-conducteurs au contact du verre ; en effet, ces dernires peuvent tre sources de
isolants lectriques. dfauts dans et sur la couche ;
dtermination et contrle de l'atmosphre de pyrolyse ;
ncessit de capter et de trater les effluents de la raction
6.1 Oxydes transparents conducteurs (neutralisation, recyclage...).
Les instruments de dpt correspondant ces diffrentes tech-
niques sont gnralement intgrs sur la ligne de production de
Les oxydes transparents peuvent tre rendus conducteurs grce verre plat ; ils profitent ainsi de l'apport de chaleur gratuit
la substitution dans leur rseau cristallin d'atomes mtalliques fourni par le verre.
ou d'atomes d'oxygne par un atome susceptible de librer un ou
plusieurs lectrons de conduction. Ces oxydes conservent toutefois Les couches obtenues par pyrolyse sont caractrises par une
leur caractre transparent dans le visible ; en effet, leurs proprits trs bonne rsistance aux agressions mcaniques et climatiques.
lectriques sont telles qu'ils peuvent tre assimils des matriaux
mtalliques et que leur comportement peut tre dcrit par le On distingue trois types de technique de dpt par pyrolyse.
modle de Drude. Dans ce cadre, la frquence plasma est situe
dans l'infrarouge. Pyrolyse de poudre
Les oxydes dops les plus usuellement utiliss sont l'oxyde Cette technique permet d'obtenir des couches paisses grce
d'tain dop au fluor ou l'antimoine (SnO2:F ou SnO2:Sb), une vitesse de dpt leve, de l'ordre de 1 m/s. Elle consiste
l'oxyde d'indium dop l'tain (In2O3:Sn) ou encore l'oxyde de projeter sur la surface de verre chaud, par un jet de gaz vecteur,
zinc dop l'aluminium (ZnO:Al). une poudre de prcurseurs organomtalliques ou un mlange de
poudres, de granulomtrie dfinie, gnralement infrieure
100 m. Le gaz employ peut tre inerte, l'azote, ou bien ractif,
l'air... Sous l'action de la chaleur cde par le verre, la poudre se
6.2 Mthodes de dpt des couches dcompose librant les atomes qui vont participer la croissance
d'oxydes semi-conducteurs de la couche.
Les grains de poudre intacts ou partiellement dcomposs sont
6.2.1 Pulvrisation sous vide aspirs en fin de zone de dpt afin d'viter qu'ils ne se dposent
sur la couche et crent des dfauts optiques visibles (diffusion de
la lumire en surface, irrgularits de couleurs).
La plupart des oxydes semi-conducteurs, l'exception de cer-
tains d'entre eux comme SnO2:F, peuvent tre dposs par les Exemple : une couche d'oxyde d'tain peut tre obtenue en pulv-
mmes techniques de dpt sous vide que les couches mtalli- risant sur le verre de la poudre de dibutyl-oxyde d'tain [2].
ques. Dans le cas des oxydes, on peut utiliser deux mthodes de
pulvrisation.
Pyrolyse de liquide
Pulvrisation ractive partir de cibles mtalliques : le plasma
est alors form partir d'un mlange d'argon et d'oxygne, d'azote Dans le cas de la pyrolyse de liquide, les prcurseurs chimiques
et d'oxygne ou d'oxygne seul. De l'hydrogne peut ventuelle- sont mis en contact avec le verre sous forme de solution liquide.
ment tre prsent afin de rduire de faon contrle la cible ou le La pulvrisation de ce liquide sur le substrat peut avoir lieu sous
film. air ou sous atmosphre contrle. Les prcurseurs sont appliqus
sur le verre sous forme de spray (systme de pistoletage, taille
Les films dposs sont gnralement amorphes, en particulier des gouttes : quelques dizaines de micromtres) ou bien sous
lorsque le substrat se trouve la temprature ordinaire. Des cou- forme de brouillard (atomiseur, taille des gouttes : quelques
ches cristallises peuvent tre obtenues en chauffant le substrat, micromtres - technique Pyrosol ). Les gaz vecteurs peuvent
typiquement une temprature de 300 oC, ou encore en faisant tre de diffrente nature suivant la couche dpose : air, argon,
subir aux oxydes un traitement thermique post-dpt. azote...
Pulvrisation partir de cibles d'oxydes : le recours aux cibles La solution pulvrise contient :
d'oxydes entrane l'amlioration du contrle de la stchiomtrie du
film. En revanche, il est ncessaire de disposer de cibles homognes un ou plusieurs prcurseurs liquides suivant la nature de la
en concentration, l'espce dopante devant, par exemple, tre rpar- couche dpose ;
tie uniformment dans la cible, sous risque d'obtenir une attaque un solvant qui n'apporte pas de composant ncessaire la
prfrentielle de certaines zones. croissance de la couche et qui s'vapore au contact du verre chaud.

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Comme pour la pyrolyse de poudre, le dpt est gnralement valeurs d'missivit intressantes, il est ncessaire de dposer une
effectu l'endroit o le ruban de verre quitte l'enceinte du bain couche d'paisseur largement suprieure celle de la couche
d'tain, pour pntrer dans l'tenderie de recuisson. d'argent, de l'ordre de quelques centaines de nanomtres. Or, pour
de telles paisseurs, les couches dposes sur verre prsentent
Exemple : une couleur en rflexion trs marque : celle-ci est due aux inter-
Par pyrolyse de liquide, les couches d'oxyde d'tain dop au fluor frences constructives existant, en incidence normale, pour certai-

peuvent tre obtenues partir d'une solution contenant [3] : nes longueurs d'onde de la lumire suivant :
une solution hydrate de ttrachlorure d'tain SnCl4 5H2O ;
NH4F ou HF comme prcurseur de fluor ; n , = ( 2 k + 1 ) ---
4
de l'thanol comme solvant.
Par le procd Pyrosol , le dpt de couches minces d'oxyde avec n partie relle de l'indice optique,
d'tain dop au fluor peut tre ralis partir de [4] : k entier positif,
dichlorure dtain hydrat SnCl2 2H2O ;
NH4F. , paisseur de la couche,
longueur d'onde de la lumire.

CVD ou dpt chimique en phase vapeur Tolre lors des premiers dveloppements des couches pyroly-
ses basse missivit, cette couleur marque en rflexion n'est
La technique de CVD ou dpt chimique en phase vapeur
plus souhaite.
consiste faire ragir, sur substrat de verre chaud, des vapeurs de
prcurseurs organomtalliques et diffrents gaz ractifs. Les Pour pallier cet inconvnient, des produits comprenant deux
vapeurs sont vhicules par un gaz vecteur. Elles sont gnrale- couches ont t dvelopps. Une premire couche, appele sous-
ment obtenues partir d'un prcurseur liquide par : couche, a pour fonction de rduire au maximum la couleur en
bullage d'un gaz vecteur dans le prcurseur liquide ; rflexion de l'empilement verre/sous-couche/couche SnO2:F. Pour
vaporation. cela, l'indice optique et l'paisseur de la sous-couche doivent tre
choisis de faon approprie. Les produits ainsi obtenus sont colo-
La plupart du temps, les prcurseurs sont des fluides (liquides rimtriquement trs neutres au sens o la couleur en rflexion
ou gaz) la temprature ambiante et plus rarement des solides. Ils est peu marque.
doivent prsenter une pression de vapeur suffisamment leve
une temprature relativement basse.

Exemple : dans le cas de l'oxyde d'indium dop l'tain, le prcur-


seur d'indium peut tre un chlate d'indium et le prcurseur d'tain du 7. Applications des vitrages
DBTA (dibutyl tin acetate) [5].
Dans le cas de l'oxyde d'tain dop, le prcurseur d'tain peut tre
basse missivit
le ttramthyl-tain [6].
Il existe une grande varit d'applications pour les vitrages
basse missivit du fait de leur transmission lumineuse leve et
de leur faible rsistance par carr.
6.3 Caractristiques des traitements Les performances de ces films peuvent tre compares entre
base de SnO2:F basse missivit elles par un facteur de mrite qui peut tre, par exemple, selon la
dfinition de Haacke [7] :

La couche basse missivit de tous les produits bas missifs 10


= T R
pyrolyss architecturaux commercialiss actuellement par les ver-
riers, est compose d'oxyde d'tain dop au fluor. o R est la rsistance par carr et T la transmission lumineuse
Les produits pyrolyss basse missivit sont gnralement intgre sur le domaine visible. Ainsi, pour un matriau donn, le
composs d'une couche d'oxyde d'tain dop au fluor, accompa- mrite ne sera fonction que de l'paisseur.
gne, si ncessaire, d'autres couches usage optique .

6.3.1 Pourquoi SnO2:F ?


7.1 Double vitrage et isolation

L'oxyde d'tain dop au fluor est prfr aux autres matriaux Si l'on considre la somme de la dpense nergtique ncessaire
en raison : la fabrication et de celle ncessaire au chauffage, trois mois suffi-
de ses performances optiques et lectriques relativement sent pour qu'un vitrage isolation thermique renforce rembourse
bonnes ; le surplus des dpenses nergtiques qui ont t ncessaires sa
de son faible cot. fabrication par les conomies dnergie rsultant de son utilisation.
En effet, mme si l'oxyde d'indium dop l'tain prsente des Insrs dans un double vitrage, les films basse missivit per-
performances optiques et de basse missivit meilleures, le cot mettent de rduire considrablement les pertes thermiques dues
lev et trs fluctuant de l'indium a, jusqu' prsent, frein son uti- au rayonnement.
lisation massive pour les applications de grande surface. Ils sont gnralement placs en face 2 ou 3 du double vitrage
suivant la valeur du facteur solaire recherche : un facteur solaire
lev correspond une couche dpose en face 3 tandis qu'un fac-
6.3.2 Structure de l'empilement teur solaire plus faible sera obtenu en plaant la couche en face 2.
Un facteur solaire bas est recherch dans les zones gographiques
La conductivit lectrique de l'oxyde d'tain dop au fluor est o la priode estivale est particulirement chaude, cela permet de
nettement moins leve que celle de l'argent ; pour obtenir des limiter les apports calorifiques solaires par les vitrages.

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VITRAGES ISOLATION THERMIQUE RENFORCE ____________________________________________________________________________________________

Par exemple, pour un film base d'argent d'missivit normale dpend de la tension applique V, de la rsistance par carr R et
0,08 et d'missivit effective 0,09, nous obtenons les valeurs de la gomtrie de la surface :
FSface2 = 0,57 et FSface3 = 0,67. P = V 2 /r
Les couches basse missivit pyrolyses dont la longueur avec r = R h/L suivant la position des bus-bars d'alimentation lec-
d'onde plasma est gnralement proche de 1,5 m prsentent un trique (h hauteur et L largeur de la surface) ;
facteur solaire lev ; le facteur solaire de ces surfaces pourrait
tre diminu si la longueur d'onde plasma tait proche de h/L facteur de forme de la surface.
0,7 m : dans ce cas, seule l'nergie provenant du rayonnement Exemple : soit une surface de hauteur h = 0,5 m et de largeur
visible pntrerait dans la pice tandis que le rayonnement infra- L = 1 m revtue d'une couche conductrice de rsistance par carr
rouge solaire serait rflchi par le vitrage vers l'extrieur de la R = 20 . Si l'on soumet cette surface une tension de 220 V, la
pice. puissance dissipe sera gale 4 840 W. Dans le cas des pare-brise
L'isolation apporte par les surfaces basse missivit ne se d'automobile chauffants, la puissance ncessaire au dgivrage en quel-
limite pas aux pices de bureau ou d'habitation. On a recours ces ques minutes d'une surface recouverte de 0,2 mm de glace 10 oC
couches dans le cadre des miroirs chaleur, par exemple dans le est gale environ 1000 W.
cas d'une lampe conventionnelle filament de tungstne. Le Cette proprit est utilise aussi bien dans les fentres chauffantes
rayonnement du filament chauff par effet Joule se dcompose en de type parito-dynamiques que sur les pare-brise davions.
90 % de rayonnement thermique et 10 % de rayonnement visible.
Le fait d'appliquer une couche basse missivit sur la paroi int-
rieure de la lampe permet la rduction de la puissance consomme 7.2.2 lectrodes transparentes
pour chauffer le filament et l'obtention d'une lumire plus
froide .
Les oxydes transparents et conducteurs, notamment ITO et
SnO2:F, sont utiliss en tant qu'lectrodes transparentes dans dif-
frents types de cellules solaires.
7.2 Autres applications des couches Ces deux matriaux SnO 2 :F et ITO ont galement de nom-
transparentes conductrices breuses applications dans les dispositifs optolectroniques, en
particulier les dispositifs lectrochromes, les diodes faible
mission de lumire et les dispositifs cristaux liquides.
7.2.1 Vitrages chauffants Les couches conductrices transparentes rentrent dans la fabri-
cation des crans tactiles, des couches antistatiques (limination
Les couches conductrices soumises une tension dissipent de la des charges grce au caractre conducteur de la couche) et
chaleur par effet Joule. La puissance dissipe P par une surface des nouveaux crans plats plasma.

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