You are on page 1of 4

Le contrôle de l’Humidité

dans les salles Blanches

T e c h n o l o g y & E v o l u t i o n
Une plus grande productivité
grâce à la juste Humidité maitrisée pCO3

L’humidité relative est un des paramètres chambre chambre


blanche blanche
fondamental définissant les conditions
d’ambiance optimales pour une salle blanche.
Les tolérances concernant la précision de
l’Humidité Relative sont souvent extrêmement
restreintes (de l’ordre de +/-1 % dans certaines
applications). Pourquoi un contrôle si précis de
l’Humidité est il indispensable ?

• prolifération de contaminants biologiques;


Tout simplement parce que l’humidité relative
• vitesse des réactions chimiques;
influence les principaux facteurs qui régissent les
• oscillation des propriétés des photoresist;
performances des chambres:
• augmentation des forces capillaires;
• risque de décharges électrostatiques;
• santé et confort du personnel.

Charges électrostatiques Bactéries et contaminants Les réactions chimiques


biologiques
Des niveaux d’humidité relative La vitesse de nombreuses réactions
inférieurs à 30% favorisent L’augmentation de l’humidité relative chimiques, y compris le processus
la formation de charges au-delà de 50% peut engendrer une de corrosion, dépend directement
électrostatiques qui peuvent prolifération des bactéries et d’autres de l’humidité relative. Un contrôle
endommager gravement les contaminants biologiques (…) précis de l’humidité relative dans
composants électroniques. Un taux d’humidité relative entre l’ambiance permet une maitrise
40%et 60% réduit l’impact des accrue des processus réactifs
bactéries et limite les infections indispensables à la fabrication de
respiratoires. certains composants.
Control center
www
WAN
REMOTE monitoring
DSL

SMS service
service

heaterSteam

chambre
blanche CAREL spécialiste de
l’humidification
Depuis plus de trente ans CAREL projette
et produit des systèmes électroniques de
contrôle et de régulation pour la climatisation
de l’air, et des systèmes d’humidification.

Exemple d’un schéma


Cette spécialisation, alliée à sa grande
d’installation expérience, fait de CAREL le partenaire
CAREL peut fournir le type d’humidificateur le idéal pour les industries high-tech et les
plus adapté à l’installation ainsi qu’un système laboratoires, pour lesquels la fiabilité et la
complet de supervision pour faciliter sa gestion précision dans le contrôle de l’humidité sont
et optimiser son entretien. indispensables.

Les semi-conducteurs Forces capillaires Le confort des personnes


Etant donné que la viscosité A des niveaux d’humidité relative Une humidité relative entre 40% et
du photoresist (dont dépend élevée, les forces capillaires 60% correspond à la zone de bien-
la possibilité de déposer un augmentent l’adhérence des être des personnes. Une humidité
film d’épaisseur constante) est particules d’eau sur les surfaces. Ces supérieure peut engendrer une
directement liée à l’humidité relative forces capillaires peuvent avoir des sensation d’inconfort, alors qu’un
ambiante, la fabrication de semi- effets non désirés sur la précision et humidité inferieure provoque des
conducteurs exige des tolérances de la vitesse des processus. inflammations dues à la sécheresse
contrôles extrêmement fines. des muqueuses, et des risques de
gerçure de la peau.
Headquarters

CAREL S.p.A.
Secteurs d’emploi des chambres blanches Via dell’Industria, 11
35020 Brugine - Padova (Italy)
Tel. (+39) 0499 716611

+302238592 - 1.0 - 12.09.2007


Fax (+39) 0499 716600
L’augmentation constante du niveau technologique des processus carel@carel.com - www.carel.com
de production engendre une utilisation croissante d’environnements
à contamination contrôlée. Les systèmes d’humidification CAREL sont
utilisés avec succès dans les applications pour: Subsidiaries:
• semi-conducteur et microélectronique; CAREL Australia Pty Ltd
• pharmaceutique et biotechnologie; www.carel.com.au - sales@carel.com.au

• cosmétologie; CAREL China Ltd.


• medicale; www.carelhk.com - info@carelhk.com

• centre d’actes de soins, hôpitaux et blocs opératoires; CAREL Deutschland GmbH


• laboratoire de recherche et développement; www.carel.de - info@carel.de

• technologie aérospatiale; CAREL Export


www.carel.com - carelexport@carel.com
• micro et nano technologie;
• industrie agro alimentaire; CAREL France Sas
www.carelfrance.fr - carelfrance@carelfrance.fr
• industrie automobile.
CAREL Ibérica
Automatización y Control ATROL S. L.
www.carel.es - info@carel.es

CAREL Italia
Nos solutions www.carel.com - carelitalia@carel.com

CAREL Sud America Ltda.


www.carel.com.br
carelsudamerica@carel.com.br

CAREL U.K. Ltd.


www.careluk.co.uk - careluk@careluk.co.uk

CAREL USA L.L.C.


www.carelusa.com - sales@carelusa.com

Humidificateurs à vapeur Humidificateurs à Humidificateurs à


à pression atmosphérique vapeur à pression vapeur à pression Affiliated Companies:
(2…60 kg/h) à résistances atmosphérique atmosphérique
CAREL Korea Co. Ltd.
électriques; précision ± (45…180 kg/h) (1,5…130 kg/h) à
www.carel.co.kr - info@carel.co.kr
1% U.R. alimentés au gaz. électrodes immergées.
CAREL spol s.r.o
www.carel-cz.cz - carel@carel-cz.cz

CAREL (Thailand) Co. Ltd.


www.carel.co.th - info@carel.co.th

CAREL Turkey
CFM Sogutma ve Otomasyon San. Tic. LTD
www.carel.com.tr - info@cfmsogutma.com

Distributeurs de vapeur Humidificateurs à Humidificateurs à


de réseau (3…900 kg/h atomisation d’eau à atomisation d’eau grâce
di vapeur, 0,14…4 bar). haute pression (60…500 à l’air comprimé
kg/h standard; jusqu’à (60 et 230 kg/h). www.carel.com
5000 kg/h custom)
All trademarks hereby referenced are
the property of their respective owners.
CAREL is a registered trademark of
CAREL S.p.A. in Italy and/or other countries.

© CAREL S.p.A. 2007 all rights reserved

CAREL se réserve la possibilité d’apporter des


modifications ou des changements à ses produits
sans aucun préavis.