ITAT"-

+ilI UNIvERS
Tecnologia Electramagnéticr¿, Grau cle Física, ul+ BARCELONA
Departawent de Físíca Aplicacla i éptica, Faculfat de Física, {Jniversitat de Barcelona

TECNOLOGIA ELECTROMAGNETICA (1"' examen parcial, 2' Part) 17 de Novembre de 2015

(de 10.45 a 11.45)
Cognoms i Nom:... NIUB:...

Problemes

l. Una línia de transmissió sense pérdues, amb impedancia caracteríslica Zs: 50 O, es connecta a una cirrrega
ZL: $0+25j) O. Determini mitjangant el diagrama de Smith:

a) el coeficient de reflexió i la relació d'ones estacionáries (0,75 punts)

b) la impedancia de línia i l'admitáncia de línia a0.3il de la cárrega (0,75 punts)
c) la longitud de la lÍnia més curta amb una impedáncia d'entrada purament resistiva i la posició del primer
máxim de tensió des de la cárrega. (1,0 punts)

2. En una descdrrega de gas Ar a I Pa de pressió, connectem el substrat (area 150 cm2) amb ura font de poténcia RF
que té una amplitud del voltatge máxim a la cárrega de VRF :375 V.

a) Calculi la tensió d'auto-polarització V6¡^ amb l'expressió aproximada corresponent a u1a descdrrega
fortament asimétrica. (0,50 punts)

b) Tenint en compte que P¡o = I,¿'lVo¡^|, calculi el maxim flux iónic, 1,, , sobre el substrat i la densitat de
-:
corrent ióníc, j,o, si la poténcia dissipada en el plasma és de 400 W. (0,75 punts)

c) Calculi la velocitat de Bohm i verifiqui que es compleix la condició de beina de Child no col'lisional
d'alt voltatge (eVs>> kaT").Tennt en compte la conservació de l'energia dels ions i del flux idnic a la
beina, determini la densitat del plasma, n¿ (1,25 punts)

(fr, =1.33*10 23JlK; l,Ís:10an11ut tTkg: e--1.602x10

t4tpruto=1,67x10 'eC )