C. R.

Yang, NTNU IMT

微機電系統技術簡介

楊 啟 榮

博士

助 理 教 授
國立台灣師範大學 機電科技研究所
Institute of Mechatronic Technology
National Taiwan Normal University

Tel: 02-23583221 ext. 14
E-mail:ycr@cc.ntnu.edu.tw
台灣師範大學機電科技研究所

-1-

C. R. Yang, NTNU IMT

綱要
z 微機電系統技術簡介
定義、起源、市場現況

z 微機電系統技術的應用範疇
應用市場、產業分析、未來發展與應用

z 微製造技術分類與製程技術
矽基微細加工、深光刻電鑄模造技術、 微機械加工技術

z 奈米科技簡介

台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

微機電系統技術簡介
定義、起源、市場現況

台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

把玩齒輪的螞蟻
Institute for Microstructure Technology (IMT), German
台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

世界上最小的直升機
Institute of Microtechnology in Mainz (IMM), German
台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

微機電系統的定義
應用微米(µm, 10-6 m)與奈米(nm, 10-9 m)加工技術研製微細元件及組件,
並整合微電子電路與微控制器,而達到某種功用的系統。
矽基微細加工
•面型微加工
•體型微加工

LIGA技術
•X-ray光刻術
•雷射光刻術
•紫外線光刻術

微機械加工
•微放電加工
•微切削加工
•微成型加工











微電子電路
積體化感測器

微機電系統
(完整積體化系統)

微致動器

微機構
(微小機械元件)

微機械系統

台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

感測訊號
物理 Physical
化學 Chemical
生化 Biochemical

感測器陣列
感測器陣列
sensorsarray
array
sensors

能源 Energy
熱能 Thermal
機械 Mechanical
流體 Fluidic
光學 Optical
電能 Electrical

外部匯流排
external bus

致動器
致動器
actuators
actuators
內部匯流排
internal bus

微系統應用晶片模組

情報資料
電氣 Electrical
光學 Optical
聲學 Acoustic

輸入/輸出
輸入/輸出
input/output
input/output

微處理器
微處理器
microprocessor
microprocessor

致動訊號
消費性電子 生化醫療
自動化 半導體
化工 通訊與資訊
環保與安全 紡織

微機電系統之訊號傳輸與致動控制架構圖

台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

整合感測器、致動器及電子電路的微機電元件
致動器
actuators
微結構
microstructure
致動器
actuators

感測器
sensors
電子電路
circuits

雷射偵測器
laser detector
力感測器
force sensor

驅動迴路
driver

電子電路
circuits

訊息控制迴路
communication

台灣師範大學機電科技研究所

-8-

C. R. Yang, NTNU IMT

台灣師範大學機電科技研究所

-9-

C. R. Yang, NTNU IMT

微機電系統產品的優點
z
z
z
z

超「輕、薄、短、小」
高附加價值
符合環保、省能源
省空間、省材料等

微機電系統技術

質譜儀

微質譜儀晶片

70 Kg, 30000 cm3, 1200 W
Europa Scientific, UK

0.2 Kg, 3 cm3, 0.5 W
DARPA, USA
台灣師範大學機電科技研究所

-10-

C. R. Yang, NTNU IMT

浮力的影響

表面張力的影響

重力的影響

熱傳的影響

微觀世界與巨觀世界的差異
台灣師範大學機電科技研究所

-11-

C. R. Yang, NTNU IMT

微機電系統技術的優點及重要性
z

本世代主要核心製造技術

z

批次製造微型元件組合

z

微型多重技術整合

z

多功能與智慧化

z

微小化

單位成本低
z 精確度高
z 運作速度快
z 輕柔平順作動
z

台灣師範大學機電科技研究所

-12-

C. R. Yang, NTNU IMT

微機電系統技術的發展背景
z 微機電系統技術起源於1960年代對積體電路的研究
z

發展的理念在於如何將電子電路微小化

z

科技人員改善傳統加工技術及應用半導體製程,試圖將各種
機械元件微小化,進而產生微機電系統技術

Miniaturization of Electronic Devices
台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

微機電系統名稱分類
美 國:Micro-Electro-Mechanical System (MEMS)
日 本:Micromachines
歐 洲:Micro-Systems Technology (MST)

台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

台灣師範大學機電科技研究所

-15-

台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

µTAS:Micro Total Analysis System
LOC:Lab. On Chip

C. R. Yang, NTNU IMT

微機電系統精度定義
1.尺寸精度:微機電系統本身的尺寸在微米的範圍
2.運動精度:微機電系統是能達到微米以內的運動精度
的機械,但機械本身的大小沒有限制

台灣師範大學機電科技研究所

-17-

C. R. Yang, NTNU IMT

美國 NIST 分子量測儀
掃描範圍:50 mm, Tip精度:0.2 nm,
絕對精度:1 nm

分子量測儀

干涉儀及觀測 CCD

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C. R. Yang, NTNU IMT

全世界微機電系統技術的研究單位
歐洲

日本
CANADA
DThe Institute for Micromachine and Microfabrication Research (IMMR)
DThe Microfabrication Services at Alberta Microelectronic Centre (AMC)
DConcordia University VLSI Design Lab.
DLaboratory for Integration of Sensors and Actuators (LISA)
USA
DCalifornia Institute of Technology(Caltech)
DCarnegie Mellon University
DCase Western Reserve University
DCornell University
DDartmouth College
DHawaii University
DIllinois University
DMichigan University
DMassachusetts Institute of Technology
DNortheastern University
DStanford University
DUniversity of California
DUniversity of California at Berkeley
DUniversity of California at Los Angeles
DUniversity of Southern California/Information Science Institute(USC/ISI)
DUniversity of Texas at Austin
DWisconsin University
DThe ARPA/ESTO Microelectromechanical Systems
DMCNC MEMS Technology Applications Center
DDisplay Technology Systems (DTS)
DRedwood Microsystems
DEdison Welding Institute
DLawrence Berkeley National Laboratory (LBNL)
DXerox Co.
DIntelliSense Corporation
DNASA Micro-Instrument Technology
DOptical Society of America
DThe Microelectronics and Photonics Center at Sandia National Laboratories
DSPIE-The International Society for Optical Engineering

美洲

台灣

DMicro Machine Center
DUniversity of Tokyo
DTohoku University
DKyushu Instiutte of Technology
DNagoya University
DMITI’s Mechanical Engineering Laboratory
DMITI’s National Research Laboratory of Metrology
DMITI’s Electrotechnical Laboratory
DUniversity of Osaka Prefecture
DMie University
DNippon Telegraph & Telephone Corp.
DToyota-Toyota Central R&D Lab.
DMatsushita Electric Industrial Co.
DYokogawa Electric Corp.
DOMRON Tateisi Electronics Co.
DCanon, Ricoh, SHARP, Seiko, EPSON, Panasonic, etc.

D國科會精密儀器發展中心,同步輻射中心
D台灣大學、清華大學、交通大學、成功大學等學術單位
D工研院電子所、機械所、材料所、生醫中心
D中山科學研究院
台灣師範大學機電科技研究所

-19-

C. R. Yang, NTNU IMT

全世界微機電系統技術的發展趨勢
美國 歐洲
美國 歐洲
台灣
台灣
微結構
微結構
組裝
組裝

微電子技術
微電子技術
微機電
微機電 微系統
微系統
微製造
技術

微元件
封裝
模組

微機械
微機械 微機械人
微機械人
機電技術
機電技術

微系統
微系統
檢測
檢測
















微系統
微系統
技術
技術

日本
日本

*因日本各公司之微電子、感測器等已具基礎及產品開發能力
台灣師範大學機電科技研究所

-20-

C. R. Yang, NTNU IMT

日本超微機械計畫
傳熱管
thermo-conduction tube

無索檢查模組
inspection module without wire

■損傷及附著物的可視化及 分析

微小氣密艙
microcapsule

■異常位置檢出

汽鍋管架
有索作業模組
operation module with wire
■採樣

工作母船

發電動力設施

mother boat

power plant

■檢查、作業組件、修補、材料搬運
■能源、控制、通信等中繼

微機電系統在核能電廠管路維護之應用
台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

迷你機器人
長度 9.0 mm、寬度 6.5 mm 、高度 6.5 mm 、重量 0.42 g

可移動比它重兩倍以上的東西
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C. R. Yang, NTNU IMT

微機電系統在製造領域之應用
微放電加工機 微小電路黏著機

微型加工機 微綜合加工機 SMT檢查修補機

微零件輸送台 微小矽晶片去污機

原料零件
供應斗

作業電腦

成品

微零件之迷你工廠

小型機械加工廠
小型IC製造廠
微細多功能設備維修機

迷你工廠
台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

MEMS Applications for 21st Century

z

Optical MEMS

z

Bio-MEMS

z

RF MEMS

µ-mechanical resonator for
Frequency band 1MHz~1GHz

Comparative scale of semiconductor sensors.
台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

MEMS Applications for 21st Century
Optical MEMS
z Bio-MEMS
z RF MEMS
z

MicroMicro-optical bench

http://www.ee.ucla.edu/labs/laser/index.html

台灣師範大學機電科技研究所

-25-

台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

Digital Mirror Display

C. R. Yang, NTNU IMT

微型儀器研發
微光譜儀

PIDC-2000

體積小、重量輕、移動性佳

技術性能:z 光譜解析度:7 nm
範圍:380-780 nm
z CPU:8-bit RISC
z PC 界面:RS-232 and USB
z 顯示器:Graphical LCD
z 尺寸:11×10 ×5 cm
z 重量:0.5 Kg
z

色彩鑑定、生化分析
國科會精密儀器發展中心
台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

Bio MEMS Applications
Drug delivery
Blood testing

Insulin pump (Debiotech, Switzerland)

台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

人類的夢想即將成真

組織採樣用鉗

通訊天線
推進系統

治療用雷射
生化感測陣列
艙體固定臂

微攝影系統

微機電系統在體內醫療之應用
台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

人類的夢想即將成真
體內顯微探測器積極開發中
英國皇家倫敦醫院發明一個長 3 公分,寬 1.1 公分的膠囊,內含一個小攝影機、
光源和無線電傳送器。病人吞服膠囊後,攝影機將拍攝體內圖片,供醫生診斷。
 
z 英國 Glasgow 大學電子系開發藥丸攝影機 (pill camera)。它只有 1.5 公分長,裝
置了鏡頭和微型晶片,能把體內狀況拍攝下來,以診斷疾病。
z

z

美國太空總署 (NASA) 和癌症協會擬合作開發一種可以在病人體內游走,尋找疾
病的顯微探測器 (microscopic explorer),以便監測太空人的健康情況和治療疾病。

膠囊式體內顯微探測器

迷你醫療器材
台灣師範大學機電科技研究所

-30-

C. R. Yang, NTNU IMT

50


40


US$ (billions)

30


20

Battelle
Systems Planning Corp.
Intelligent Microsensors Technology
SEMI
NEXUS (max.)
NEXUS (min.)
(SRI Consulting) (1997)









8
6

4
3

2


1


10

1991




1993
















1995

1997

1999

2001

2003

2005

Year

微機電系統市場預測
台灣師範大學機電科技研究所

-31-

C. R. Yang, NTNU IMT

公元2002年全世界微系統產品市場

Source: NEXUS, Market analysis MST task force, 1998

台灣師範大學機電科技研究所

-32-

C. R. Yang, NTNU IMT

NEXUS Task Force MST Market
New emerging products
in the introduction phase

Production that already existed in 1996
but that are being steadily improved

Source: NEXUS, Market analysis MST task force, 1998
台灣師範大學機電科技研究所

-33-

台灣師範大學機電科技研究所

-34-

C. R. Yang, NTNU IMT

C. R. Yang, NTNU IMT

全新產品-創新型應用
全新產品-創新型應用

現有產品-替代型應用
現有產品-替代型應用
醫療
12%

精密加工
 14%

維修機器人
 16%

量測
7%

醫療
15%

精密加工
 7%

量測 環保
5% 3%

微小工廠
26%

娛樂
3%

消費性電子
  4%

維修機器人
  9%

消費性電子
20%

資訊與通訊
44%

資訊與通訊
15%

合計:58億美元

合計:57億美元

總計:115億美元,約佔40%之世界市場;年平均成長率:19%

日本微機電系統市場預估2005

日本微機電系統市場預估2005年
台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

美、日、歐和我國在微系統應用領域的比較
地 區  
美國
日本
歐洲
臺灣

國防

 應 用

汽車

醫療

工業控制

消費性電子

通訊與資訊

微小工廠

消費性電子

醫療

維修機器人

精密加工

製造

醫療

汽車

工業控制

環保

通訊與資訊

消費性電子

生化醫療

自動化

半導體

通訊與資訊

環保與安全

紡織

化工

(資料來源:工研院)

台灣師範大學機電科技研究所

-36-

C. R. Yang, NTNU IMT

我國具潛力相關產業與產品
*市場分析  
*市場分析  
*專利分析  
*專利分析  
*專家學者業界
*專家學者業界
意見   
意見   
*技術分析  
*技術分析  
*產業特色分析
*產業特色分析

(資料來源:工研院)

z 半導體
z 資訊電子

高腳數導線架、微包裝等
微掃瞄器、微讀取頭、微馬達、
微致動器、微噴頭等
z 消費性電子 微照相機、微快門、微馬達、微閥
微電力、多功能感測手錶、
平面線圈、顯示器等
z 通訊
光開關、光連接 耦合器、
個人無線機器等
z 環保與安全 多功能感測器、家庭環保感測器等
z 生化醫療
血壓計、血醣計、居家健康檢驗、
多功能感測器等
z 自動化
微閥、微流量控制、智慧型感測器、
微視覺系統等
z 紡織
超精細紡嘴、蜂巢式過濾器等
z 化工
微反應器、多功感測器、
微熱交換器等
台灣師範大學機電科技研究所

-37-

C. R. Yang, NTNU IMT

血糖檢測錶

每20 min.檢查配戴者血糖,以電子數字顯示
檢測結果,數值太低或太高時發出警訊聲
台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

微感測器在汽車工業的應用
座位偵測器
前方氣囊加速度計
燃油品質感測器
距離警告雷達

衛星定位導航裝置
智慧型後視裝置
紅外線夜視裝置
防止翻覆感測器

油量偵測器

車燈調平裝置

懸吊系統感測器
座位姿態記憶裝置
側邊氣囊加速度計
燃油流量感測器
引擎溫度感測器
胎壓感測器

ABS車速感測器
抬頭顯示器
防傾斜/內側防護裝置

台灣師範大學機電科技研究所

-39-

C. R. Yang, NTNU IMT

紅外線夜視裝置在汽車工業的應用

台灣師範大學機電科技研究所

-40-

C. R. Yang, NTNU IMT

微製造技術分類與製程應用
矽基微細加工、深光刻電鑄模造技術、 微機械加工技術

台灣師範大學機電科技研究所

-41-

C. R. Yang, NTNU IMT

如何實現微機電系統?
微機電系統技術
微機電系統技術
基礎科學
基礎科學
zz微機械摩潤學 
微機械摩潤學 
zz微機械流體力學
微機械流體力學
zz微機械運動力學
微機械運動力學
zz微機械材料工程
微機械材料工程
zz微機械熱傳學
微機械熱傳學

 
 

基本技術
基本技術

元件技術
元件技術

系統技術
系統技術

zz組裝
組裝 接合 
接合 
zz微製造   
微製造   

zz微致動器 
微致動器 
zz感測器  
感測器  

zz能源   
能源   
zz通訊   
通訊   

面型微加工
zz微結構元件
面型微加工
微結構元件
體型微加工
體型微加工
LIGA技術
LIGA技術
微機械加工  
微機械加工  
zz封裝   
封裝   

zz系統設計 
系統設計 
zz資訊及訊號
資訊及訊號
zz系統控制 
系統控制 
zz系統可靠性
系統可靠性

zz檢測   
檢測   

 
 

系統應用
系統應用
微光學  
zz微光學  
z
資訊設備 
z 資訊設備 
極限顯微 
zz極限顯微 
z
自動化控制
z 自動化控制
生化醫療 
zz生化醫療 
z
VLSI製造
z VLSI製造
安全與環保
zz安全與環保
其它   
zz其它   

微機電系統技術架構圖
台灣師範大學機電科技研究所

-42-

C. R. Yang, NTNU IMT

MEMS領域的基礎科學
微機械
磨潤學


微機械
流體力學

微磨耗特性評價技術

微連續流體理論
流體與其他現象複合問題研究
精密流體特性量測技術

微機械運動力學


超微硬度
微表面粗度
微吸附力
微摩擦力
微磨耗量

無磨耗與超潤滑技術

微機械
材料工程

材料尺寸效果研究
材料製程效果研究
微尺寸材料物性量測技術
新材料、新製程技術

壓力
流速
溫度


金屬
高分子
陶瓷
非線性光學材料
薄膜
形狀記憶合金

微機械熱傳學

台灣師範大學機電科技研究所

-43-

C. R. Yang, NTNU IMT

MEMS領域中微製造技術分類表
MEMS領域中微製造技術分類表
體型微加工
技術





面型微加工
技術

蝕刻技術
y等向性蝕刻
y非等向性蝕刻
y蝕刻終止技術

化學蝕刻
技術

濕式

浸漬式
漬著式

乾式

電漿蝕刻
反應性離子蝕刻
濺散蝕刻
離子束蝕刻

光蝕刻技術
薄膜技術

積體電路技術
接合技術
高深寬比製程
犧牲層結構釋放技術

台灣師範大學機電科技研究所

-44-

C. R. Yang, NTNU IMT

MEMS領域中微製造技術分類表
MEMS領域中微製造技術分類表((續)
LIGA技術

X-ray深光刻術

LIGA-like
技術

紫外光厚膜光阻微影
準分子雷射微加工

精密電鑄技術
y純金屬電鑄
y合金電鑄

感應耦合電漿離子蝕刻*






電子束光刻術
微機械加工

高分子微加工
技術

其他低溫製程技
術與材料

切削加工

微微成形技術
y 塑膠微結構成形
熱壓成形、射出成形
輪壓成形、紫外線硬化法
y陶瓷微結構成形
粉末射出成形、 帶板鑄造

微切削加工、微鑽孔加工、微銑削加工、微輪磨加工

非切削加工

微電鍍成形、微壓模成形、微射出成形、微沖壓成形

特殊加工

微放電加工、雷射微加工、離子束微加工、電子束微加工、
超音波微加工、原子力顯微加工術

微雷射光合高分子成形(Microstereolithography, µ-SL)
軟式微影技術(Soft Lithography)
微接觸印刷術(Microcontact Printing, µ-CP)
Micromolding in Capillaries (MIMIC)
Microtransfer Molding (µ-TM)
Replica Molding (REM)
聚對二甲苯(Parylene)、明膠(Gelatin)蛋白質、鐵氟龍(Teflon)、矽膠(Silicone)

註:感應耦合電漿離子蝕刻技術通常歸類為非等向性高深寬比矽基蝕刻技術。
台灣師範大學機電科技研究所

-45-

C. R. Yang, NTNU IMT

組件在不同地點個別製造,再加以組合

在同一基材上完成結構製作及元件組合

微細加工 VS. 傳統加工
台灣師範大學機電科技研究所

-46-

C. R. Yang, NTNU IMT

標準的IC製作流程

台灣師範大學機電科技研究所

-47-

C. R. Yang, NTNU IMT

Si

楔型槽的製作流程

基體微加工技術
Bulk micromachining
台灣師範大學機電科技研究所

-48-

C. R. Yang, NTNU IMT

光源輸入光纖
雙向定位光纖耦合

光源輸出光纖

楔形滑軌式XYZ
三軸定位光學平台
楔形滑軌式XYZ三軸定位光學平台

1x4光纖定位開關
x4光纖定位開關

台灣師範大學機電科技研究所

-49-

台灣師範大學機電科技研究所

-50-

C. R. Yang, NTNU IMT

表面微加工技術
Surface micromachining

C. R. Yang, NTNU IMT

旋轉式微馬達

台灣師範大學機電科技研究所

-51-

C. R. Yang, NTNU IMT

LIGA製程:
1. 光刻

In German:
In English:
Lithographie
Lithography:積體電路的光刻術
Galvanoformung Electroforming:電化學的電鍍鑄模技術
Abformung
Molding:高分子的熱壓或射出成型技術

Absorber
structure
Mask
membrane
Resist
Base plate

2. 顯影
Resist
structure

4. 金屬模仁

3. 電鑄
Metal
Resist
structure
Electrical
conductive
base plate

Mould cavity

6. 脫模

5.模造
Plastic
(moulding
compound)

Plastic
structure

Source: Institut für Mikrotechnik Mainz (IMM), Germany
台灣師範大學機電科技研究所

-52-

C. R. Yang, NTNU IMT

高深寬比(
高深寬比(high aspect ratio)的微結構
ratio)的微結構
台灣師範大學機電科技研究所

-53-

C. R. Yang, NTNU IMT

電鍍後的紡口

抽紗的情形

各種不同的紡口形狀

LIGA技術在紡口
LIGA技術在紡口((spinneret)的應用
spinneret)的應用
台灣師範大學機電科技研究所

-54-

C. R. Yang, NTNU IMT

把玩齒輪的螞蟻

世界上最小的直升機

Institute for Microstructure Technology (IMT), Germany

Institute of Microtechnology in Mainz (IMM), Germany

台灣師範大學機電科技研究所

-55-

C. R. Yang, NTNU IMT

Mechanical Micromachining Process
z

Machine Tool Variables




Accuracy, Resolution, Repeatability
Stiffness
Spindle Vibration
Flatness, Straightness, and Smoothness
of Motion
1 - 2 DOF Systems

Feedback Variables
z Cutting Tool Variables
z Work Piece Variables
z Environmental Effects
z Thermal Error
z

Micromilling / Microdrilling Machine

台灣師範大學機電科技研究所

-56-

C. R. Yang, NTNU IMT

Microdrilling tool made by diamond turning

Micromilling tool made by focused ion beam machining
台灣師範大學機電科技研究所

-57-

C. R. Yang, NTNU IMT

15 steps:
Each step 4 µm high,
Narrowest step at bottom is 12 µm wide

Wall section: 8 µm wide, 62 µm deep

Micromilled stepped & thin wall structures in PMMA

台灣師範大學機電科技研究所

-58-

C. R. Yang, NTNU IMT

微放電加工技術

微放電加工機

z導電材料加工

技術能量:

z加工率與工件硬度無關


z
z

10-300 µm微孔加工

深寬比20
推拔與段差微桿元件

z可應用於模具鋼等高硬度材質加工
z各式微孔陣列、微桿、微溝槽加工

國科會精密儀器發展中心
台灣師範大學機電科技研究所

-59-

C. R. Yang, NTNU IMT

ψ 130 µm 方型螺紋、節距 150 µm

微溝槽 (micro channel)
寬 160 µm,長 600 µm,深 300 µm

節圓直徑ψ 130 µm, 齒厚 100 µm, 佐藤健夫
台灣師範大學機電科技研究所

-60-

C. R. Yang, NTNU IMT

Comparison of Various Microfabrication Technologies
蝕刻技術
(etching)
加工深度

X-ray LIGA
  技術

薄膜技術
(thin film)

微機械加
工技術

10-20μm

> 1 mm

> 500μm

> 1 mm

可加工之

受限於Si

尚 可

有 限

橫斜面形狀

的結晶方位

材料

固 定

有 限

固 定

範圍很廣

成本

很 高

中 等

IC相容性

尚 可

極 佳

技術成熟度

中 等

中 等

成 熟

發展中

mm-μm

μm

工件大小

0.2mm-μm

mm-μm

之範圍
少量生產

尚 可

大量生產

極 佳

極 佳

可 能

組裝能力

尚 可

尚 可

Source: Modified from R. Warrington, Louisiana Tech University
台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

Nano-Electro-Mechanical System (NEMS)

z奈米生物:奈米生物晶片
z奈米電子:量子計算機
z奈米材料:奈米碳管
z奈米結構與元件

奈米技術發展將成為國家型計畫

http://www.ritsumei.ac.jp/se/~sugiyama/mr/robot.html
【國際新聞中心/台北報導】 美國科學家利用毫微科技結合金屬材質的螺旋槳推進器與
「生物分子馬達」﹐成功製造出每秒可旋轉八次的毫微螺旋槳﹐有如是一架超迷你直升
機﹐而這也是人類首度利用人工材料及「生物零件」製造出比病毒還小的器材。這種「
毫微直升機」能夠利用螺旋槳的推力自動游走﹐日後如予以適當改良﹐可望放進人體內
監察各部位的健康情況﹐甚至可用來進行施藥或是修補等治療。研究人員宣稱﹐此一突
破進展意味一種全新的科技已誕生。
台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

《牛頓》雜誌曾試圖揣摩奈米科技的驚異可能性…
在「微小」方面:單原子記憶體的技術,可以使全球100
億年份的書籍(每年以100萬冊計,相當於1萬兆冊),儲
存於一顆方糖般大小的記憶體內。

z

z

在「超薄」方面:DNA電子電路的技術,將於10年後促成
如紙般薄的電子顯示器。

在「速度」方面:到2003年,量子電腦只要數十分鐘,即
可完成目前電腦要花上數百年才能完成的計算。

z

這些未來假設雖然令人瞠目結舌,理論上卻是可能的。

http://www.ruf.rice.edu/~smalleyg/image_gallery.htm
台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

運用單壁奈米碳管為通道之場效電晶體

http://www.mein.nagoya-u.ac.jp/maze/

G. Collins and P. Avouris, “Nanotubes for electronics,” Scientific American, pp. 38-45, Dec. (2000).

台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

原子操縱術

1990年美國IBM的一群研究人員,首度將一顆顆
氙原子在鎳表面上拖曳,逐顆原子排成“IBM”三
個英文字母,相當引人注目,被當時世界各國媒
體爭相報導。後來,同一個實驗室又搬移近百顆
鐵原子形成中文「原子」二字,此結果也成為雜
誌及國際研討會的封面圖案。
http://www.phys.sinica.edu.tw/~nano/stm.htm
台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

Nanotube glued to SPM tip

http://www.ruf.rice.edu/~smalleyg/image_gallery.htm

微機電技術是奈米科技跨入應用的橋樑……
台灣師範大學機電科技研究所

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C. R. Yang, NTNU IMT

Micro/Nano-Machines
(機械:"kikai")

create

Macro-Opportunities
(機會:"kikai" )
By Dr. Osamu Tabata, Ritsumeikan University

台灣師範大學機電科技研究所

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