You are on page 1of 4

II Conceptul de microsistem

1



Cap. II CONCEPTUL DE MICROSISTEM

Microsistem: sistem tehnic realizat cu ajutorul microtehnologiilor si care poate ndeplini Iunctii
multiple ntr-un spatiu redus.
Structura unui microsistem este determinat de Iunctiile sale si anume:
- detectarea, prelucrarea si evaluarea semnalelor externe;
- luarea unor decizii pe baza inIormatiilor receptate;
- transIormarea deciziilor n comenzi corespunztoare pentru actuatori.

Fig. 1 Componentele unui microsistem

Componentele unui microsistem
$en:orii se realizeaz n prezent pe un substrat, integrati ntr-o matrice senzorial. In Iunctie de
aplicatia acestora, pot utiliza principii mecanice, termice, magnetice, chimice sau biologice.
ctuatorii sunt elemente active ale unui microsistem care permit acestuia s reactioneze la un
stimul (de exemplu: micromotoare, micropompe, supape, ntreruptoare, relee). Spre deosebire
de miniaturizarea senzorilor care este posibil n prezent, miniaturizarea actuatorilor este o
directie de cercetare care trebuie s rezolve aspecte multiple privind att materialele ct si
tehnologiile de realizare ale acestora.
Modulul de prelucrare a informatiilor i control al sistemelor are Iunctii complexe si este limitat
din punct de vedere al dimensiunilor si al consumului de putere. Algoritmii de control trebuie
adaptati la necesittile si speciIicul microsistemelor.
Interfata cu alte procese sau sisteme asigur schimbul de energie, inIormatie si substant. Se
consider c Iezabilitatea si succesul pe piat a viitoarelor microsisteme depinde de dezvoltarea
interIetelor practice micro-macro.
n prezent, se bucur de un mare interes interIata electric (pentru transmiterea inIormatiilor si
energiei). Sunt studiate diverse posibilitti de realizare a interIetelor pe cale optic, termic,
acustic etc. Pn n prezent, singura metod utilizat pentru transIerul de substant este cea cu
ajutorul unor elemente speciIice micro-Iluidicii.
Convertoarele A/D si D/A Iac deseori parte integrant din interIata electric. Ele permit
conversia semnalelor analogice date de senzori n semnale ce pot Ii prelucrate digital precum si
InterIata cu procese
sau alte sisteme
Electronic de
putere
Convertor
D/A
Convertor
A/D
Prelucrarea
semnalelor
Prelucrarea
inIormatiilor

Microactuator 1
Microactuator 2
Microactuator n


Microsenzor 1
Microsenzor 2
Microsenzor n

MICROSISTEM

InIormatie
Energie
Substant
M
E
D
I
U
L

N
C
O
N
1
U
R

T
O
R

II Conceptul de microsistem


2

controlul analog al actuatorilor utiliznd comenzi digitale generate de microcontroler. n cazul
microsistemelor cu structur descentralizat, echipate cu senzori si actuatori inteligenti (cu
propriile microcontrolere), convertoarele A/D si D/A pot Ii integrate direct pe chip-urile
microsenzorilor sau microactuatorilor.
Componentele pentru electronica de putere sunt esentiale pentru orice microsistern, ele ridicnd
deseori probleme electromagnetice sau termice de care trebuie s se tin seama n Iaza de
proiectare.
Componentele de prelucrare a informatiei genereaz semnale electrice pentru controlul
actuatorilor utiliznd datele de la senzori: Un ciclu de prelucrare a inIormatiilor cuprinde:
captarea lor, transformarea, stocarea, evaluarea i generarea de semnale.
Semnalele de la diIeriti senzori sunt digitalizate cu un convertor A/D si ampliIicate; semnalele
prelucrate servesc ca si semnale de control pentru actuatori.
Microsistemele pot Ii auto-monitorizate si testate de propriile unitti de control si pot comunica
cu alte sisteme si microsisteme, dac este necesar.
Modul de prelucrare a inIormatiilor de ctre un microsistem este ilustrat n (Fig.2)

Fig. 2 Procesarea semnalului i a informatiei intr-un microsistem

n tabelul 1.1 se prezint spectrul microsistemelor si metodele corespunztore de Iabricatie.
Tabelul 1.1
10 mm
Metode de
observare/msurare
Elemente
componente
Tehnologii de
realizare
Milimasini
1 mm
'i:ibile cu ochiul liber
Componenete
miniaturizate
Prelucrri de
precizie
Micromasini
1 m
Microscop optic Micro-componente
Microtehnologii
speciIice (ex.:
LIGA. etc.)
Nanomasini
1 nm
Microscop electronic
Componente
moleculare
Ingineria
proteinelor.
biotehnologie
M
E
D
I
U
L

N
C
O
N
1
U
R

T
O
R

Microsenzori Iizici
si chimici
Convertor A/D si
ampliIicare
Prelucrarea
semnalelor
Semnale
electrice
analogice
Semnale
digitale
Automonitorizarea si
testarea sistemului
Prelucrarea
inteligent a
inIormatiilor:
- Evaluare
- Luare decizii
- Control
InIormatii
Microactuatori
Convertor D/A si
ampliIicare
Comunicare
Sisteme externe
Semnale
electrice
analogice
MICROSISTEM
Semnal test
Semnale de control
Semnale de
comunicare
II Conceptul de microsistem


3

Aceast clasiIicare acoper o scar dimensional de la 10 mm la ctiva nanometri incluznd toate
mecanismele relevante. Cele mai importante aplicatii ale tehnologiei microsistemelor (TM$) sunt
prezentate n (Fig. 3).


Fig. 3 plicatii ale tehnologiei microsistemelor

TMS reprezint solutia actual de rezolvare a multiplelor probleme legate de perIormantele
deosebite ce se impun componentelor unui sistem: senzori, actuatori, module de prelucrare a
inIormatiilor.
Microrobo|ii sunt reprezentan|i importan|i ai microsistemelor. Microrobotii sunt microsisteme ce
au volumul sub l cm
3
. Dimensiunile diIerite ale robotilor miniaturizati, ale mini si microrobotilor
sunt determinate de aplicatiile lor diIerite si implic tehnologii de realizare, metode de msurare,
control si de asamblare diIerite. Din punct de vedere tehnologic este diIicil de delimitat o tipologie
speciIic mini si microrobotilor, totusi se pot identiIica dou clase distincte.
a) microrobotii de tip clasic la care arhitectura este cea a robotilor industriali si
manipulatoarelor, Iiind obtinut prin miniaturizarea sau integrarea elementelor componente.
PerIormantele lor Iunctionale depind nemijlocit de progresele tehnologice n directia miniaturizrii
senzorilor si actuatorilor.
b) microrobotii neconventionali ce se bazez pe principii Iizice particulare
(piezoelectricitate, magnetostrictiune, memoria Iormei, electroreologie). Acestia utilizeaz
propriettile mecanice, electrice sau magnetice ale asa-numitelor materiale "inteligente", ceea ce
permite, n Iinal, realizarea unor Iunctii speciIice robotilor de tip clasic. Cel mai adesea se obtine
o mobilitate ce determin deplasarea ntregului sistem sau a unei prti a acestuia pe supraIata unui
solid, n mediu lichid sau n aer.
Asamblarea microsistemelor, nsotit de transportul nedistructiv, manipularea precis si
pozitionarea precis a microcomponentelor sunt aplicatii dintre cele mai importante ale
microsistemelor.

Microsisteme electromecanice - MEMS

Sunt sisteme integrate de dimensiuni mici si Ioarte mici (de la ctiva micrometri pn la
milimetri) care combin n structura lor elemente electrice si mecanice.
Acronim:
MEMS n SUA
MST (Microsystems technology) n Europa
Micromachines n Japonia

Dispozitive pentu
industrie auto
Microroboti
Ingineria
proceselor de
productie
Electronic
Inginerie
biomedical si
biotehnologie
TMS
Tehnologia
calculatoarelor,
birotic, electrocasnice
Industria
aero-spatial
Metrologie
Protectia mediului
Telecomunicatii
II Conceptul de microsistem


4


Fig. 4 Domenii de interferent
Sunt Iabricate utiliznd tehnica de realizare a circuitelor integrate combinat cu microprelucrri
ale suportului respectiv materialelor utilizate. n timp ce circuitele integrate sunt proiectate
exploatnd propriet(ile electrice ale siliciului, MEMS utilizeaz att propriet(ile electrice
ct yi propriet|ile mecanice ale acestuia.
ntr-o Iorm general, MEMS constau n microstructuri mecanice, microsenzori, microactuatoare
si microelectronic, toate integrate pe acelasi chip.
MEMS se constituie ca un mod de proiectare si creare a unor dispozitive mecanice si sisteme
complexe integrnd electronica aIerent la nivel micro si nano.










MICROSISTEME
ELECTROMECANICE
TRADUCTORI dispozitive care transIorm un semnal n
energie.
SENZORI dispozitive care msoar inIormatia din
mediu si produc la iesire un semnal proportional cu
mrimea msurat (mecanice, termice, chimice,
radioactive, magnetice, electrice).
ACTUATORI dispozitive care realizeaz conversia
unui semnal electric n actiune mecanic (lucru mecanic).