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Centro de Ciencias de la Materia Condensada

Universidad Nacional Autnoma de Mxico

Scanning Electron Microscopy (SEM)


PCeIM Fenmenos de Superficie Tatiana Lilia Avalos Rendn

26 Septiembre 2006

Introduccin
La invencin de los microscopios surge con la necesidad del hombre de ver detalles ms pequeos de lo que el ojo humano es capaz de observar, para este propsito los primeros instrumentos desarrollados fueron los microscopios pticos. Hasta en el mejor instrumento ptico, la resolucin est limitada a la longitud de onda de la luz que se utilice, que en este caso es la luz violeta (=400 nm). La solucin a la limitante de resolucin es utilizar alguna radiacin de longitud de onda mas corta que la de la luz violeta (rayos-X, =0.15 nm), otra posibilidad es aprovechar el comportamiento ondulatorio de los electrones acelerados por alguna diferencia de potencial. 1932 Alemania Knoll y Ruska desarrollan el primer microscopio electrnico de transmisin (TEM). Posteriormente, en 1942 se desarrolla el microscopio electrnico de barrido (SEM). La microscopa electrnica de barrido fue introducida en 1965 comercialmente. Existen dos tipos de microscopios electrnicos: TEM (Transmisin) y SEM (de barrido: Scanning Electron Microscope) En el microscopio electrnico de barrido, la resolucin puntual es del orden de 1nm, amplifica hasta unas 200,00 veces.

A) SEM electrones Estructura de un Can deelectromagnticas: B) Lentes lentes condensadoras que controlan el tamao del punto y lentes objetivas que enfocan el haz de electrones sobre la muestra (la distancia focal de esta lente es lo que se conoce como distancia de trabajo del microscopio) C) Bobinas deflectoras que sirven para rastrear el haz a travs de la superficie de la muestra.

Este instrumento permite observar la topografa de una muestra utilizando los electrones secundarios producidos por la interaccin de un haz de electrones de alta energa con la muestra. En el SEM es necesario acelerar los electrones en un campo elctrico, para aprovechar su comportamiento ondulatorio, lo cual se lleva a cabo en el caon del microscopio, donde se aceleran por una diferencia de potencial de 1,000 a 30,000 V. Los electrones acelerados salen del caon, y son enfocados por las lentes condensadora y objetiva, cuya funcin es reducir la imagen del filamento, de manera que incida en la muestra un haz de electrones lo ms pequeo posible (para asi tener una mejor resolucin). En las bobinas deflectoras se produce un campo magntico por una variacin de voltaje que deflecta este fino haz de electrones sobre la muestra, realizando un barrido punto por punto y lnea por lnea.

Cuando el haz de electrones incide sobre la muestra, ocurre una serie de interacciones entre los electrones del mismo haz, y los tomos de la muestra, puede haber electrones retrodispersados (rebotados), aunque por otra parte la energa que pierden los electrones al chocar contra la muestra puede hacer que otros electrones salgan despedidos (electrones secundarios), y producir rayos-X, electrones Auger, etc. Los microscopios electrnicos recientes combinan una serie de detectores para analizar las distintas seales que se generan.

Al aumentar los electrones secundarios detectados ocasiona un aumento en el voltaje del detector, y por lo tanto en la intensidad, lo cual resulta en una rea brillante en la superficie del CRT (Cathode-Ray Tube) (monitor).

Si el haz es movido a una depresin en la muestra, los electrones detectados sern pocos y ser pequeo el voltaje desarrollado en el detector, por lo tanto el resultado ser una rea mas oscura en el CRT. La imagen de SEM entonces consiste en miles de reas de intensidad variante que se mostraran en el CRT que corresponde a la topografa de las muestra. La calidad de imagen que obtengamos va a depender de varios factores, entre ellos la rapidez con la que hagamos el barrido, es decir, si se hace muy rpido no se da oportunidad de que haya una buena produccin de electrones secundarios y por lo tanto la razn de seal es baja, al contrario si se hace lentamente se da tiempo de que haya una buena seal y se obtiene una imagen de mejor calidad.

Emisin de electrones
La emisin de electrones a una muestra puede ser inducida por aplicacin de calor (emisin termoinica), fuertes campos elctricos (High-Field Emission o Field Emmision), radiacin electromagntica (Emisin fotoelctrica) o partculas atmicas (Emisin secundaria). En las microscopias electrnicas se utiliza solo la emisin termoinica y la de campo de emisin.

Emisin termoinica
A temperatura ambiente los electrones en los metales slidos tienen gran movilidad, y pueden moverse con facilidad de un tomo a otro. Si se calienta suficientemente un metal, los electrones de los tomos en superficie del metal comienzan a vibrar con mayor frecuencia y algunos electrones pueden adquirir suficiente energa para separarse del metal, estos electrones tienden a volver al trozo de metal del que se han separado, ya que cada vez que un electrn es emitido por el metal, este ltimo adquiere una carga positiva de magnitud igual a la carga negativa del electrn que recin fuera emitido;

Emisin de electrones desde un metal caliente

El can de electrones se localiza en la parte superior de una columna que tiene forma cilndrica. SEM utiliza un haz de electrones, cuya emisin se produce por calentamiento de un filamento de tungsteno. Los electrones son acelerados por una diferencia de potencial aplicada entre el ctodo y el nodo y concentrados por el cilindro de Wehnelt.

Donde: = Brillo i e= Corriente de emisin D0 =Dimetro de la fuente 0= ngulo formado por la fuente y el nodo

Para obtener un mayor brillo, es decir mejor seal, se requiere de un alto ie y un menor D0

Can de electrones con filamento de Tungsteno

El ctodo de este can es de tungsteno (filamento), es el ms comn. El ctodo de tungsteno es calentado cuando se aplica una corriente elctrica de 2.5 A a 1 V a travs de las terminales del filamento. Al flujo de corriente a travs del filamento se le llama corriente del filamento. A travs del proceso de emisin termoinico, se produce una nube de electrones. Como el filamento se calienta, a este can se le llama can de ctodo caliente. Entre ms corriente pasa a travs del filamento, este ms caliente estar.

El ctodo de tungsteno opera a temperaturas de 2700 K (2427 oC), lo cual resulta en una emisin de electrones de 1.75 A/cm2.
Los electrones emitidos del filamento de tungsteno son acelerados al nodo a tierra o de potencial cero (ubicado a 1 cm del ctodo). El nodo esta positivo y se ejerce una fuerte atraccin con los electrones negativos emitidos del filamento. Cuando los electrones son acelerados a alta velocidad por la diferencia de potencial ctodo/nodo (voltaje de aceleracin), algunos golpean el nodo y no contribuyen a la formacin de la imagen, sin embargo muchos pasan a travs de la apertura a una velocidad constante y producen el haz de electrones, el cual se dirige directamente hacia abajo en la columna, donde es condensado y enfocado por las lentes electromagnticas.

El cilindro de Wehnelt es una cubierta de metal que rodea el filamento. Durante la operacin, se mantiene a un potencial mucho mas negativo que el filamento. La diferencia de voltaje entre el filamento y el cilindro es llamada voltaje preferente (bias voltage). El cilindro con preferencia negativa tiene un efecto repulsivo sobre los electrones y acta como una lente electrosttica, localizando los electrones en el centro justo enfrente del nodo. La diferencia de voltaje entre el filamento y el nodo se llama voltaje de aceleracin, determina la energa y longitud de onda de los electrones conforme se van moviendo hacia abajo en la columna. los voltajes de aceleracin en SEM son de 5,000 V a 30,000 V.

Ventajas y desventajas
Provee de una fuente de electrones estable. Es barato cuando se quiere reemplazar. No requiere UHV para su operacin. Su tiempo de vida es de 50-150 h. Durante la operacin el tungsteno se evapora lentamente del filamento, lo que ocasiona que se adelgace y se separe. Es el ms econmico, pero tambin el que produce un haz de electrones de mayor tamao.

Can de electrones con filamento de Hexaboruro de lantano.


Se coloca un cristal de LaB6 sobre un filamento de tungsteno, al aplicar un voltaje entre las dos terminales del filamento, se ocasiona el calentamiento del cristal y por ende la emisin de electrones. Este filamento ofrece algunas ventajas sobre el de tungsteno: Larga vida. Produce un haz de electrones con un brillo 510 veces mas que el de tungsteno. Se produce un haz de menor dimetro.

a) b) c)

Desventajas: Requieren un mantenimiento de UHV (10-6 mbar o mas) para evitar su contaminacin. Ya que el Lantano es altamente reactivo, cuando se contamina deja de actuar eficazmente. La saturacin (punto al cual la corriente del haz para de crecer con el aumento en la corriente del filamento es alcanzado) toma media hora o mas, y en el tungsteno solo unos minutos, ya que el calentamiento de debe hacer lentamente Es relativamente caro cuando hay que reemplazar.

Can de electrones mediante emisin de campo


Mientras en los dos primeros los electrones son expelidos por calentamiento, en el de efecto de campo son extrados por un intenso campo elctrico. Una vez libres, los electrones son acelerados sometindolos a una gran diferencia de potencial elctrico.

Es posible obtener emisin de un material aplicando una diferencia de potencial (voltaje extractor) a una punta muy fina (por ejemplo un cristal de W); de tal manera que aparezca un campo elctrico suficientemente alto que permita la tunelizacin de los electrones, los cuales son luego acelerados por la aplicacin de un voltaje acelerador.

Ventajas y desventajas
Proporciona mayor brillo que el de filamento de tungsteno, el haz que produce es mas fino por lo tanto proporciona una mayor resolucin. Tiene un alto periodo de vida. Es difcil cambiar de una fuente de este tipo a otra ya que este can consta de dos nodos. Para su operacin es necesario UHV un mnimo de 1x1010 torr, en comparacin con uno de filamento de tungsteno que solo necesita 1x10-6 torr. Tiende a producir un haz de electrones que no tiene una corriente estable, por ejemplo la cantidad de electrones que produce cambian de un minuto al siguiente.

Lentes electromagnticas
Sistemas capaces de formar imgenes con una radiacin: Un punto real a un punto imagen. Las lentes condensadoras constan de cables de cobre, y en estas los electrones describen trayectorias helicoidales, ya que la partcula cargada pasa por un campo magntico. Se utiliza para disminuir el tamao del haz de electrones proveniente del can con la finalidad de aumentar la resolucin. Si se aumenta la corriente en las lentes condensadoras, la distancia focal ser menor, el punto ser mas pequeo y por lo tanto se tendr una mejor resolucin

Las lentes objetivas se utilizan para enfocar el haz de electrones sobre la muestra, por medio de ella se obtendr la imagen de la muestra.

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Aberraciones
a) Las tres principales aberraciones en las lentes son : Aberracin esfrica: Es causada cuando la radiacin electromagntica esta enfocada en un punto focal diferente, dependiendo de la parte de la lente que transmite la radiacin. Los electrones cercanos al eje ptico son enfocados en un punto focal que esta mas lejos.

b)Aberracin cromtica: Resulta en el enfoque de la radiacin electromagntica de diferentes longitudes de onda ( y de velocidad) en un punto focal diferente. A menor longitud de onda los electrones son enfocados lejos de la lente y a mayor longitud de onda ocurre lo contrario. Lo causa la variacin en la velocidad de emisin del haz de electrones, cambios en el voltaje de aceleracin y cambios en la corriente de las lentes. Se corrige con la produccin de un haz de electrones monocromtico, donde todos los electrones tiene la misma velocidad.

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c)Astigmatismo: La incapacidad de las lentes de traer rayos de luz o electrones a un punto, por la diferencia en la fuerza de las lentes en la direccin X y Y. esta aberracin limita la resolucin. Se utiliza un estigmador.
c)

Contraste topogrfico
El contraste de la muestra resulta cuando diferentes partes de esta emiten diferentes cantidades de radiacin (electrones secundarios y de fondo), por el bombardeo de un haz de electrones, lo que ocasiona una diferencia en el contraste topogrfico. El contraste topogrfico se basa en dos principios: a) mas electrones secundarios y los retrodispersados escapan de una superficie rugosa que de una mas homognea y b) mas electrones secundarios y retrodispersados son recibidos de la muestra de acuerdo a su ngulo y cercana con el detector.

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Anlisis de rayos-X
Los rayos X se producen en SEM, TEM y STEM, por la interaccin muestra-haz, y son caractersticos del elemento presente en el material. Los rayos x son resultado de una dispersin inelstica. Un hueco en un orbital interno es llenado por un electrn de uno de mas alta energa. La diferencia entre los niveles resulta en la emisin de rayos-X. Cada rayo-X producido tiene un nombre basado en el nombre del nivel (K, L, M, N) en el que se produjo, y del que viene el electrn que cubri el hueco. Si el hueco estaba en el nivel K y fue llenado por un electrn del nivel M, entonces se produce un rayo-X K.

EDS y WDS
A cada tipo de rayo X se le llama lnea, si suficientes rayos x son generados, entonces producirn un pico en el espectro de rayos x, cada lnea de rayos x tiene una longitud de onda y energa diferente. Los elementos en una muestra pueden ser determinados por la medicin de la energa o de la longitud de onda de los rayos que son producidos. la medicin de energa es llamada espectroscopia de energa dispersada (EDS) y la medicin de la longitud de onda se le conoce como espectroscopia de longitud de onda dispersada (WDS). Con EDS es posible determinar en un espectro todos los elementos presentes en el rea que esta siendo analizada, adems de que es una tcnica no destructiva. Con EDS puede tardar solo unos minutos para realizar una bsqueda de elementos y muchas horas con WDS. A bajas corrientes del haz de electrones EDS tiene una mayor sensibilidad, por que mas rayos x producidos son detectados, adems de que se puede utilizar para polmeros y muestras biolgicas, ya que a altas corrientes del haz estas podran ser destruidas. EDS tiene una buena selectividad espectral (separa los rayos x de dos elementos cuyas energas son cercanas una de la otra. (EDS=135 eV, WDS=10 eV). Por todo lo anterior EDS es mas comn que WDS.

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EDS
EDS es una tcnica de identificacin y cuantificacin elemental de la composicin de una muestra. Esta tcnica usa rayos x que son emitidos de la muestra durante el bombardeo con una haz de electrones. La columna de microscopia electrnica debe tener un detector de EDS de rayos x, que mide el numero de rayos x emitidos (cuentas) vs energa, la energa de rayos x es caracterstica del elemento del cual los rayos x fueron emitidos. Los espectros se obtienen en una pantalla con los picos identificados, para un anlisis cualitativo y cuantitativo. Otro tipo de datos obtenidos son los llamados ROI (regin de inters), que es una rea del espectro que puede ser ubicada alrededor del pico asociado con un cierto elemento. Las reas con muchos puntos indican alta concentracin del elemento.

EDS Spectrum for contamination on stainless steel mesh.

EDS line profile

El

t l

li h d

t ll

hi

ti

f hi h

Informacin analtica
Anlisis cualitatitavo: Pueden ser detectados los elementos con numero atmico que van del Berilio al uranio. Los limites mnimos de deteccin varan aproximadamente de 0.1 por ciento en peso o menos dependiendo del elemento y la muestra. La acumulacin del espectro y la interpretacin son aspectos importantes en EDS. La seleccin del rango de acumulacin de energa de los rayos x, puede ser de cero keV a 20 keV, ya que en este rango todos los elementos tienen lneas tiles de rayos x, en ocasiones un elemento tiene varias lneas en este rango y eso facilita la exactitud de identificacin. La acumulacin de tiempo esta en el rango de 30 s a 10 min, acumulaciones largas dan picos mas claros, lo que nos da mas informacin para el anlisis. El resultado final obtenido es un espectro en el monitor, que consiste de en una serie de picos.

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Anlisis cualitativo
En el anlisis cualitativo se identifican los elementos presentes en la muestra, este anlisis se basa en la ley de Moseley: E=C1(Z-C2) donde: E= Emisin de lnea dada por la serie de rayos x (por ejemplo la serie k) Z=numero atmico del elemento C1 y C2 son constantes La ley de Moseley nos dice que las energas de rayos x son proporcionales al numero atmico. La determinacin de energa de los rayos x involucra la identificacin de los picos presentes en el espectro.

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Preparacin de las muestras


Se debe tener cuidado de que el procedimiento de preparacin no remueva elementos de inters agregue otros ajenos a la muestra. Las muestras para anlisis cuantitativo se deben hacer conductoras con un metal no pesado, de lo contrario la muestra absorbe los rayos x. En este caso se utiliza carbn, por tener un bajo factor de absorcin de rayos x, esto se hace con un evaporador La preparacin de muestras como metales, polmeros, cermicos y minerales, pueden ser preparados para anlisis cualitativo de rayos x utilizando el mismo procedimiento que para SEM.

Preparacin de muestras
1) 2) Para la caracterizacin de una muestra en SEM, esta debe cumplir lo siguiente: libre de agua, solventes u otros materiales que se puedan vaporizar a vaco y contaminen la columna o causar problemas en el vaci. Ser elctricamente conductora. Las muestras biolgicas no cumplen con lo anterior, por lo cual requieren de preparacin. Cuando una muestra no es conductora, tiende a cargarse, lo cual afecta la imagen final, ya que habr partes mas oscuras que otras, o simplemente se producirn lneas anormales. Las muestras biolgicas son principalmente no conductoras y se les pone una capa delgada de un metal para hacer la superficie conductora. Las muestras metalrgicas requieren de pulimento.
Figure 15. Pollen samples showing the effect of charge accumulation. No effect of charge accumulation is visible (A). Pollen showing the type of charging that produces abnormal lines within the image (B). Bar is 5m, Magnification = x 2300, Acceleration Voltage = 10kV, Working Distance = 39mm, Condenser Lens setting = 15 (A and B).

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Muestras cubiertas con oro por bombardeo

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