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中山大


企業資源規劃與國際作業管理
EMBA-
6

指導教 授: 盧淵源 博士
      第一 組:組 長 黃德強
  組員 蔡國彬 廖燿堂
謝聰 明 郭宗鑫
劉文 欽 盧世欽

          民 國 九 十 四 年 一 月 九 日
PANEL 投片 , 清洗 , 薄膜 , 黃光 , 蝕刻 , 測試

六道 LC 清洗 , 配向 , 框膠 , 熱壓 , 切裂 , 注入
光罩
LCM 磨洗貼 ,FPC,COG, 組裝 , 燒機 ,F/I
某A
光電
ARRAY 投片 , 清洗 , 薄膜 , 黃光 , 蝕刻 , 測試
清洗 , 配向 , 框膠 , 熱壓 , 切裂 , 注入
五道 CELL 磨洗貼
光罩
MODULE FPC,COG, 組裝 , 燒機 ,F/I
甚麼是 TFT-LCD
?TFT---- 薄膜電 晶體
Thin Film Transistor
LCD---- 液晶顯 示器
Liquid Crystal Display
TFT 動作示意圖
SOURCE
CF 彩色 源 極
濾光膜

液晶分子
CRYSTAL GATE
閘 極
ITO
畫素電極

B.L DRAIN
背光 汲 極
Source
Driver
Driver
Gate
TFT(Array)
Thin-Film Transistor

LC(Cell) CF
彩色濾光膜
Liquid Crystal Color Filter

LCM
Liquid Crystal Module
素玻璃 PANEL

Cell
外購

+ + + LCM
TFT 循環製程圖解
去光阻液 酸,
鍍下 stripper 氣體
層膜
去光阻

蝕刻 (etch)
鍍膜 (sputter,CVD)
顯影
光罩 (reticle) 液

上光阻 (coater) 顯影 (developer)


對準 , 曝光 (stepper)
Cr 1.Gate 4. 畫素電極

SIN 2. 絕緣層 5.Source/Drain

Via
3.Via 6.Passivation
ITO

Al/Cr

Passivation
TI/AL/TI 1. 鍍上 鈦鋁鈦 合金 (GATE) 厚度 500/1800/1000

2.S : SiNx ( 氮矽化合物 , 絕緣層 )


S-I-N I : a-Si ( 非結晶矽 , 通道層 )
N : N+ ( 高濃度磷的矽 ) 降低界面電位差 , 使
成為歐姆接觸 (Omic contact)
TI/AL/TI 3. 鍍上鈦鋁鈦合金 (source,drain) 厚度

PASSIVATION 4. 鍍上保護層 ( 把金屬部份蓋住 )

ITO 5. 鍍上 ITO( 銦銻氧化物 , 畫素電極 )


Inspectio Cleaning
n
Thin-Film
Sputtering PECVD

Photo
Stepping Coating
VIA
Developing ADI
Etch 重複循環
Wet/Dr Strip AEI
y

Testing

Cell
Testing Repair
TFT&CF 玻璃投入

LCM 投

Polyimide 塗覆

APR 板 淡黃色
800~1200A
PI 膜配向 , 基板和
roller 成 45 度角
Rubbing Cloth
TFT 和 CF 基板 方向
差 90 度
SPACER SPRAY
Seal Paste( 框膠點金膠 ) ( 灑佈 )
溶劑 含甲醇 , 水

Au Paste Spacer

框膠
大片組合

CF 基板
UV 膠

TFT 基板
氣囊熱 壓
115~200 度 C
4 小時 , 一次
可壓 18 片

壓力表

大片組合之基板 熱壓機 hot pressor


切割 & 裂片

切一面 , 就翻面先裂這面 , 然後再切另


一面 , 翻面再裂這一面
紫外

UV 膠
液晶注入示意圖
抽真空

破真空

液晶
再配向 Anneal

使用熱處理的
方式 , 加高溫 ,
讓液晶分子活
潑化 , 再將溫度
急速降下來 , 使
液晶分子正確
躺在 rubbing 好
的 PI 槽內
Panel Clean

將 PANEL 浸入清洗
溶液中 , 一方面可
以清洗 PANEL 上殘
留的液晶分子和
UV 膠 , 也可以將再
配向好的液晶分
子相位固定 .
磨邊 ( 去掉 短路 棒
shorting bar)

短路棒
偏光片貼附

上下偏光片濾光角度差 90 度
LCD 製程管

TFT Cleaning CF Cleaning
分製程

Cleaning 進料檢驗

PI Pre- PI PI
Inspection
Coating Curing Curing Rubbing

TFT & CF
之配向共製程
TFT CF
Seal & Au paste Spacer Spray

TFT CF
bake Count

封膠 撒佈

CF/TFT 組合 Hot Press


Scribing Breaking Inspection

切裂

Injection End Seal Cleaning

液晶注入

LC 再配向 點燈 電測 LCM
LCD Cell 投入

COG 分製程 TAB


Panel ACF FPC ACF
Attachment Attachment
ACF 黏貼

COG Sampling FPC Bonding 後


Bonding Inspection Bonding 電測檢 驗
Bonding
Silicon Curing
Dispense
封邊

Module Assembly

Aging 燒機後 外觀總檢


測試
燒機 成

Optical OQC 入
Microscope Sampling 庫 品
包括 :Chips &
FPC ACF
CF

TFT

FPC
彈性印 刷電
IC 路

Bonding 後用 Silicon 膠予以封


PANEL 柔焦鏡

菱鏡

導光板
反射板 背光
壽命測試
穩定性測試

60 度 C
6 小時
平面顯示器上游材料產業結構
平面顯示器上游材料產業結構

 LCD Panel 的成本結 構中 材料約 佔 50 ~


60% ,以 目前市 場的 趨勢分 析, 材料將 會慢 慢
的在 國內 生產, 其中將 會隱 藏無限 商機 。
 由於液晶 被廣 泛的應 用,及 許多 的廠商 陸續 投
入生 產, 造成液 晶價 格慢慢 的下 滑,進 而引 嚮其
景氣 循環 由三年 縮短 至兩年 更甚 至一年 半。 所以
目前 針對 於材料 作粗 略的分 析報 告。
 雖然目前 技術 及材料 大多由 國外 供應, 但是 在
2000 年底液 晶的產 量約 可佔全 球的 20% ,在材 料
方面 已有 少數在 台灣 生產, 將來 所有的 材料 更有
可能 將技 術轉移 至台 灣或由 國內 自行研 發量 產。
玻璃 彩色濾 液晶 偏光版 背光 背光版 驅動
基版 光片 燈源 IC

Array Cell Module

LCD Panel TFT


工廠 LCM
中華映管 達碁科技
聯友光電 瀚宇彩晶
元太科技 奇美電子
廣輝電子 統寶光電
(LTPS)
 我國液晶顯示器化學藥品及材料趨勢
單位:百萬新台幣

1998 1999 2000 2001 2002

玻璃基版 291 2,072 7,480 14,664 16,379

ITO 導電玻璃 2,724 6,924 8,830 9,980 10,073


彩色濾光片 101 3,582 14,570 31,850 40,551
配向膜 126 205 438 655 748
液晶 690 1,179 3,126 5,422 6,228
偏光膜 3,358 2,859 4,932 7,331 8,764
補償膜 206 254 1,184 1,339 1,516
ACF 30 73 269 491 555
驅動 IC 10,696 19,931 29,233 36,896 37,229
背光源 39 940 4,834 10,184 12,812
製程化學藥品 465 1,607 3,086 3,761
光阻劑 138 1,066 1,943 2,086
總計 18,262 38,624 77,568 123,843 140,703

資料來源:工研院化工所 ITIS 計畫整理 (1999/11/29)


材料趨勢分析

45000 玻璃基版
40000 ITO導電玻璃
35000 彩色濾光片
30000 配向膜
25000 液晶
偏光膜
20000
補償膜
15000
ACF
10000 驅動IC

5000 背光源

0 製程化學藥品
1998 1999 2000 2001 2002 光阻劑
2001 年平面顯示器材料趨勢預測

製程化學藥品光阻劑 玻璃基版
背光源 2%
2% 12%
8%
ITO導電玻璃
8%

驅動IC
30% 彩色濾光片
26%
補償膜 ACF 偏光膜 液晶 配向膜
1% 0% 6% 4% 1%
玻璃基

 康寧 目前月產能 2000 千片 , 新增月產能 2000 千片

(美康寧倍增產能 2000 年底前) , (日本
康寧增設一
座 2000 年 3 月) , (三星康寧增設三座
2001 年初前)
(台灣加工廠預計 2001 年 4 月試車出貨)
為世界佔有
率最高的製造商。市場佔有率約 70%

 旭硝子目前月產能 2000 千片 , 旭硝子預計在雲林科技



業區設廠

 日本電器硝子目前月產能 1100 千片
彩色濾 光

全球 TFT-LCD 用彩色濾光片供需預測(單位:千片)

1999 年 2000 年 2001 年


CF 月產量 1500 至 1700 1800 至 2000 2300 至 2600
CF 年產量 19800 23600 29300
日本前四大彩色濾光片廠商概況

公司名稱 生產線概 基版月 市場佔有率 備


況 產能 註
凸版 第 2.5 代以 300K 約 50% 以上 競爭優勢在
(TOPPAN) 下5條 於機器設備
第3代1條 產能量率高 ,
60K
子公司能自
第 3.5 代 1 80K 行生產顏料

光阻,價格
僅約市價的
1/2 至
1/3 。
公司名稱 生產線概況 基版月 市場佔有率 備註
產能

DNP 第 2.5 代以 90K 約佔 25% 與和鑫光電


下3條 策略聯盟
第3代1 40K

第 3.5 代 1
TORAY 條 2.5 代以
第 100K 小於 10% 尚無擴建計
下2條 畫
第 3.5 代 1 50K

STI 第 2.5 代以 50K 小於 10% 劍度計畫收
下1條 購 STI
第 3.5 代 1 50% 股權
40K

凸版印刷預計在台南科技工業區投資建廠,初
期投資金額約 50 億台幣。從第 3.5 代製程切
入,後續在引進最新的第四代彩色濾光片生產
線。
台灣彩色濾光片廠商
 奇美電子:研發中 620*750 mm 自行研發( 30K )
 世界顛峰:
 劍度電子:開發階段,預計 00/3Q 量產 620*750mm
( 40K )與 STI 技術合作。
 和鑫光電:第一條線與 IBM 技術合作 (550*650mm)
( 25K ) 第二條線預計與大日本印刷簽訂

技術轉 移 (620*750mm) 於 2001 年 4 月


Total 產量可達 6 萬片。第三條線預計於

2001 年 8 月引進。
 展茂電子:開發階段,預計 02/1Q 量產 650*750 mm
( 80K) 與日本凸版( TOPPAN )技術合作
CF 價格趨勢
目前日本的彩色濾光片廠商還沒有達到全能量產階段,
各廠商生產設備的開工率約 70% 至 80% ,如果 TFT-LCD 廠
商繼續提高產能,彩色濾光片廠商仍有擴產空間,不過由於日
本凸版一家的市占率就超過一半,因此去年的彩色濾光片市場
中,只有凸版一家獲利,盈餘也只有 6% 左右,預估彩色濾光
片供過於求的情況將維持至 2001 年,所以台灣廠商是乎還有
一場硬戰要打。但是目前第四代 TFT 生產線如雨後春筍般增
加 ,CF 廠商建廠速度並不見得跟得上的情況下,預計 2001
年第三季左右,平均每個月第四代 CF 基版的短缺數量,大約
會在 35 左右。

以 18.1 吋的彩色濾光片來看,去年價格約 1 萬日圓


,今年價格則在 9,000 日圓以下,而 15 吋價格去年為
5,800 日圓,今年年則降至 5,000 日圓以下。預估今年價格
全球三 . 五代以上 TFT 彩色濾光片擴廠計畫
廠商名稱 設廠地點 生產線編號 基版尺寸 (mm) 月產能 (K) 估計量產時間

凸版印刷 新發田 H7 650*750 50 1999Q2


新發田 H8 680*880 45 2000Q4
埼玉 研究用 960*1100 R&D 1999Q3
新發田 H9 960*1100 25 2000Q4
台灣 台南 680*880 45 2001 年以後
大日本印刷 大利根 301 760*980 45 1999Q2
三原 401 750*950 40 2001Q1
東麗 滋賀 4 620*750 32 ~ 60 1999Q3
STI 愛媛 E2 600*750 40 已量產
ACTI 黑崎 1 650*750 40 ~ 50 1999Q2
黑崎 2 730*920 40 2001Q2
三星電管 天安 600*720 48 已量產
天安 750*950 50 2000Q3
劍度 新竹 1 620*750 40 2001 五月
新竹 2 第四代 未定 未定
展茂 新竹 1 650*750 50 2001Q3
和鑫 新竹 620*750 60 2001Q2
ITO 導電玻璃

 勝華科 技 (TN&STN)
 默克光 電

 劍度

 錸德科 技
驅動 IC

 Sharp (茂矽 代工 年底產能達


4.6K )

 Toshiba
 TI
 NEC
 以上四間 產 能約 佔 八成的市場
 聯詠在聯電投片生產
 華邦目前以進入量產階段
 立生,旺宏宣佈生產驅動 IC
背光源 模組 ( 燈
源)
 威力盟電子
產品:冷陰極螢光燈
產能:月產 150 萬支
 永生電子
產品:代理 HARISON 冷陰極管(世界第一大廠牌 ,
運用在 LCD
背光源)
 康竣電子
代理 TOSHIBA 冷陰極管,並且組裝 Back light 模組

 瑞儀光電:背光模組(日本茶谷產業與學智科技合資)
 台灣東光電子:背光模組
 大億科技:背光模組
背光源 模組 ( 燈
源)

大億、瑞儀、輔祥和康峻等背光模組廠,都同時跨
入導光板生產,所以奈普也將循此模式,以背光模組作為
初期切入點,之後再向上游延伸至導光板,奈普預計在第 4 季
正式量產出貨。
※ 背光模組中 CCFL 是其中最主要的零組件,需經由
Panel 廠認證後才由背光模組廠組裝,所以 CCFL
的選擇權在 Panel 廠,目前以 HARISON 的 有率
最高約 50% ,但是 TOSHIBA 已在後面急起直追。
液晶

 Chisso
 Rodic
 Merck
目前所知這三家廠商分佔世界市場各 1/3 。
液晶材料總類約十餘種,依動作原理可分為電流效應
型、電廠效應型及熱溫效應型。目前常用的種類有
Twist nematic 、 Homeotropic
nematic 、 smectic 。
背光版

 寰宇光科技
日商松下商社在台投資導光版之加工

 大億科技
 瑞儀光電
偏光版

 力特光 電
 台灣汎 納克
 台灣日 東電工
 台灣住 華