U.P.B. Facultatea S.I.M.

Microscopul cu for atomic

Burhal Bogdan Viorel, Grupa II C [Alegei data]

Cuprins
Microscopul cu for atomic ................................................................................................. 3 Mod de lucru AFM............................................................................................................... 5 Senzorul AFM....................................................................................................................... 6 Calcularea constantei de elasticitate ................................................................................... 8 1. 2. 3. Model dimensional .................................................................................................... 8 Masurarea static ...................................................................................................... 9 Masurarea dinamic ............................................................................................... 10

Scanner AFM ...................................................................................................................... 13 Aria de scanare ................................................................................................................... 15 Bibliografie ............................................................................................................................. 17

Microscopul cu for atomic

Cele mai folosite metode pentru investigarea suprafeelor sunt Scanning Electron Microscopy (SEM) i Scanning Probe Microscopy (SPM). Construit n 1938 de von Ardenne i produs comercial n 1965 de ctre Cambridge Scientific Instruments, acest sistem a fost supus unor continue mbuntiri, rezoluia sa crescand de la 50 nm, n 1942 la aproximativ 0,7 nm, astzi. Deasemenea, cu ajutorul SEM-ul contemporan putem obine informaii despre compoziia probei studiate prin detecia razelor X, electronilor retromprstiai, catodoiluminiscen i electroni Auger. Construirea SPM-ului a fost precedat de inventarea STM-ului (Scanning Tunneling Microscopy) n 1981 la IBM Zurich Research Laboratory de ctre Binning i Rohrer, acetia primind i Premiul Nobel n Fizic n 1986 pentru contribuia adus pentru dezvolatea tiinei. SPM este o familie de tehnici de msur ce implic scanarea unei suprafete cu un varf foarte ascutit i monitorizarea interaciei varf-suprafa pentru a creea o imagine de nalt rezoluie a materialului studiat. Multe alte tehnici SPM au fost dezvoltate pentru a da informaii despre fora de frecare, aderena, elasticitate, duritate, cmp electric, cmp magnetic, concentraia de purttori, distribuia de temperatur, rezistena i conductivitate. Accesul la caracteristicile fizice ale suprafetelor este unul rapid. Microscopul cu For Atomic (AFM) a devenit cea mai folosit tehnic a SPMului ea servind doar pentru analiza topografic a suprafeelor. AFM-ul a fost inventat n 1986, fiind produs comercial pentru prima data n 1989 de catre Digital Instruments. Cu ajutorul AFM-ului se pot obine imagini tridimensionale ale suprafeelor (izolatoare sau conductoare) cu o rezoluie nano-lateral i subangstrom-vertical. Marele avantaj al AFM-ului este c poate opera n aer, vid i lichide la diferite temperaturi. Acest aparat este utilizat atat n cercetarea fundamental ct i la scal mai mare, n industrie AFMul avand un rol deosebit de important n dezvoltarea nanotehnologiei. Dei SEM-ul i AFM-ul au rezoluii laterale similare, exist situaii n care una din aceste tehnici poate oferii o reprezentare mai detaliat a suprafeei probei. Aceast difereniere este dat de felul n care cele doua tehnici analizeaz modificrile verticale n topografia probei.

Cazul probelor foarte netede (la nivel atomic):

SEM AFM n imaginile de mai sus sunt prezentate imaginile SEM, respectiv AFM ale aceleai suprafee (Si epitaxial). AFM-ul are o rezolutie verticala <0,5, astfel poate rezolva treptele de 1,4 de pe suprafaa studiat, putand calcula rugozitatea medie a acesteia (0,7). SEM-ul are dificulti n a trata aceste variatii subtile de nlime. Cazul probelor foarte rugoase

SEM; fibre oxid de poliethilen SEM; cristal Y2O3 Un avantaj cheie al SEM-ului este adncimea de patrundere a cmpului relativ mare. Aceast caracteristic face posibil obinerea unor imagini clare, cu milimetrii de informaie vertical a unor suprafee foarte rugoase. Scannerul AFM poate masura nlimi de pana la 6 m ns, pentru suprafee cu variaii de nlime mai mari decat 510 m metoda de investigatie cea mai potrivita este SEM.

Mod de lucru AFM

Fig.1. Schia funcional a AFM-ului Modul de lucru al SPM-ului este ilustrat in Figura 1; acesta are ca principale componente: 1. senzorul 2. tubul piezoelectric; 3. dioda laser; 4. fotodetector; 5. circuit de feedback. Senzorul este constituit dintr-un cantilever echipat cu un varf ascuit n plasm ce interacioneaz cu suprafaa. Un fascicul laser este reflectat de cantilever iar aspectul morfologic al suprafeei este direct asociat cu schimbarea semnalului din fotodetector. Acesta din urm este divizat n patru cadrane, fiecare indicnd deflexia i torsiunea cantileverului aa cum este indicat n Figura 2.

Fig.2. Fotodetector. Semnalul de deflecie=(A+C)(B+D) , este numit i semnal de nlime (height signal); semnalul de torsiune=(A+B)(C+D) , semnalul de torsiune este asociat forei de frecare (lateral force) dintre varf i suprafa. Modificrile de semnal sunt preluate apoi, prin feedback, de un tub piezoelectric cu ajutorul cruia proba studiat este deplasat pe directia Z, senzorul rmnnd la o nlime constant (Figura 3).

Pasul 1: contactul cu suprafaa

Pasul 2: deplasarea n lateral a scannerului; deflexia cantileverului

Pasul 3: Micarea pe vertical a scannerului pentru a aduce cantileverul n starea iniial

Senzorul AFM Senzorul (vrful) are n general ~2 m lungime i o raz mai mic de 10 nm iar cantileverul are 100-200 m lungime. Rezoluia de scanare n cea mai mare masur depinde de dimensiunile varfului. Procesele de microfabricare dezvoltate pentru microelectronica sunt folosite pentru producerea acestor vrfuri cu dimensiuni nano. Senzorii sunt n general fabricai din siliciu sau nitrur de siliciu. Sunt folosite diverse tipuri de cantilevare n funcie de modul de operare AFM. Acestea pot fi acoperite cu filme subiri conductive, magnetice, reflective etc. Varfurile i cantilevarele din SiN sunt fabricate prin procesul descris n figura de mai jos.

Fig.4 Fabricarea vrfului i cantileverului din SiN Prin metoda descris n Figura 4 sunt fabricate varfuri cu geometrie piramidal sau tetraiedric.

6 cantilevers 0.010.50N/m din SiN acoperit cu varf din SiN; are lungimea de 2,58 m; un film de Au (reflectiv); grosimea lor este de raza medie de ~3nm ~0.6 m

cantilever din Si dopat n acoperit cu un film vrf acoperit cu diamant dopat; are lungimea reflectiv de Al (30nm) pe partea din spate i de 10-15 m i raza medie de 35 nm cu un film de diamant (100nm) pe partea din fa; grosimea cantileverului este de 4 m

cantilever din Si dopat n; grosimea 4 m Fig. 5 Exemple tipuri de cantilever

7

vrf de lungime 10-15 m i raza 15 nm

Calcularea constantei de elasticitate Pentru o precizie ct mai bun constanta de elasticitate pentru fiecare cantilever trebuie determinat cu exactitate. De-a lungul timpului au fost dezvoltate multe tehnici pentru msurarea constantei de elesticitate a cantilever-ului. Acestea au fost mprite n trei categorii: 1. Modele dimensionale; analize teoretice sau formule semi-empirice sunt folosite pentru a calcula constanta de elasticitate a cantilever-ului bazndu-se pe dimensiunea lor i proprietiile materialelor din care sunt fabricate. 2. Masuratori statistice; constanta de eleasticitate este msurat aplicand cantilever-ului o for cunoscut. 3. Masurtori dinamice; modul de rezonan al cantileverului este asociat cu constanta de elasticitate. 1. Model dimensional Acest model are ca limit imposibilitatea de a msura cu o acuratee foarte mare grosimea cantilever-ului. Chiar i n microscopia cu electroni incertitudinea este rareori mai bun dect 5%. Pentru un cantilever rectangular se aplic teoria Euler-Bernoulli, (1) unde E este modulul elastic, w este limea, t este grosimea i L este lungimea cantilever-ului. Cantilevarul n form de V este echivalat cu doua fascicole paralele cu aceai dimensiune. Aceast aproximare a fost pentru prima dat propus de Albrecht fiind mai tarziu luat n considerare de Butt. Sader a fost primul care a indentificat ambiguitatea n definirea parametrilor w i L pentru cantileverul n forma de V i a adus la o form final expresia lui k: * ( )+ (2)

unde b este limea bazei V-ului,

este jumatatea unghiului dintre cele doua laturi. Pentru

cantilever rectangular, Cleveland a realizat c grosimea poate fi eliminat din ecuaia (1) dac se ia n considerare frecvena de rezonan a cantilever-ului.

( )

(3)

unde este densitatea cantilever-ului

( )

(4)

2. Masurarea static Aceast metod este bazat pe premisa simpl c constanta de elasticitate poate fi calculat prin aplicarea unei fore cunoscute cantilever-ului i msurarea deflexiei acestuia. n practic, aplicarea acestei metode este complicat deoarece este dificil de aplicat cu acuratee o for cunoscut. Cea mai utilizat metoda ce apartine aceste categorii este aceea n care se folosete un cantilever de referin. ( ) (5)

unde kref este constanta de elasticitate a cantilever-ului de referin. Sref este sensibilitatea cu care s-a msurat deflexia cantilever-ului de referin, iar Shard este sensibilitatea cu care s-a msurat deflexia unei suprafee dure. Cantileverul a crui constant elastic se dorete a fi msurat (n continuare l vom numi cantilever X) se aeaz peste cantileverul de referin. Cantileverul X trebuie poziionat peste cantileverul de referin ct mai la captul acestuia deoarece cantileverul de referin devine cu atat mai rigid cu cat cantileverul X este mai aproape de baza sa. Cantileverul X este folosit pentru a msura o curb a forei. Panta curbei n regiunea de contact este comparat cu o curb a forei pentru o suprafa rigid. Se poate aplica urmatoarea corecie : ( ) (6)

unde koff este constanta de elasticitate msurat la captul cantileverului, L este lunigimea cantileverului de referin i L este distana dintre vrf i captul cantileverului. Astzi tehnologia permite un foarte bun control asupra dimensiunilor i proprietiilor materialului cantileverului comercial astfel nct constanta de elasticitate poate fi calculat cu ajutorul ecuaie (4). Valoarile constantei de elasticitate acestui tip de cantilever sunt cuprinse n domeniul 0,157-10,4 N/m.

3. Masurarea dinamic Aceast categorie include trei dintre cele mai folosite metode de calibrare: adaugarea de mas, tunare termic i metoda Sader. Principiile fizice ce stau la baza acestor trei metode sunt complet diferite dar au n comun rapiditatea masurrii semnalului deflexiei. Metoda adaugarii de mas, numit i metoda Cleveland este bazat pe urmtoare expresie ce leag constanta de elasticitate de mas i frecvena de rezonan a cantilever-ului. (7)

unde m* este masa efectiv a cantilever-ului, M este masa adiional aplicat la captul cantilever-ului. Aceast mas adiional este reprezentat de sfere de wolfram cu un diametru de 3-10 microni. Din ecuaia (7) putem observa c adaugnd o mas cantilever-ului frecvena de rezonan a acestuia scade.
( )

(8)

Pentru f=f0 si M=0 unde f0 este frecvena de rezonan iniial a cantilever-ului.

( )

(9 a)

Pentru f=f1 si M=M1 unde f1 este frecventa de rezonan a cantilever-ului dup adugarea greutii k=(2 )2 (M1+m)
( ( ) )

(9 b) (9 c)

Exist doi factori ce limiteaz acest metod: 1. poziia n care este aplicat greutatea este esenial. O corecie n acest sens se poate face astfel: ( ) (10)

unde Meff este masa efectiv a particulei iar Mmeas este masa masurat a particulei.

10

2. eroarea de msur a maselor de wolfram. Aceast msur se face folosind formula volumului unei sfere V=(1/6) D3 i valoarea densitii wolframului (19300 kg/m3). ns particulele de wolfram folosite nu sunt perfect sferice de aceea este de preferat s se masoare diametrul lor dea lungul a doua axe i s se fac media geometric a acestora, Davg=(D1D2)1/2. n ciuda acestor limitri, este universal apreciat c aceast metod ofer un bun standard pentru calibrarea cantilever-ului. Metoda Sader Aceast metod este aplicabil doar pentru cantilever rectangular. De asemenea aceast teorie necesit satisfacerea urmtoarei conditii L>>w>>t, n practic un raport L/w>3 este acceptat. k=7.5246 fw2LQ (Re) (11) unde

unde

este densitatea fluidului n care este facut msurtoarea (de obicei n aer), f este

vascozitatea fluidului, Q este factorul de calitate al oscilaiilo cantilever-ului i este componenta imaginar a funciei de hidrodinamic care depinde de numrul Reynolds, Re. (12)

unde Awhite este zgomotul alb, A0 este frecvena de amplitudine zero. Funcia hidrodinamic implic calcule complexe. Sander a oferit o soluie analitic, aceasta fiind o funcie complex ce foloseste funciile Bessel de gradul 3. Dei este o metod complex din punct de vedere matematic, metoda Sader este foarte convenabil experimental. Frecvena de rezonan i Q pot fi msurate precis i nu depind de nici o calibrare a AFM-ului. Dimensiunile cantilever-ului pot fi msurate optic, densitatea i vscozitatea aerului n care se fac msurtorile fiind parametrii foarte importani. Aceast metod nu poate fi aplicat cantileverelor n form de V.

11

Tunarea termic Aceast metod este probabil cea mai popular i cea mai folosit tehnic pentru

calibrarea cantilever-ului. Metoda trateaz cantileverul ca un oscilator armonic simplu. Hutter i Bechhoefer au afirmat c frecvena oscilatiilor cantilever-ului se modific n funcie de energia lor termal conform formulei:

(13)

unde kB este constanta Boltzmann (1,3810-23 J/K), T este temperatura i este media ptratic a deplasrii cantilever-ului. Butt i Jaschke au formulat i o corecie a metodei. n aceasta au luat n considerare c cantileverul nu se comporta ideal deci energia oscilaiilor lui difer de cea a unui oscilator armonic simplu.

(14a)

Pentru i=1 (modul fundamental)

(14b)

unde i este o constant egal cu 1,8751 pentru i=1 Pentru cantileverele n form de V aceast corecie este mai dificil de calculat din cauza expresie neanalitice. Stark a examinat un cantilever n form de V cu lungimea de 140 m i cu o constanat de elasticitate nominal de 0,1 N/m. n urma acestei analize, Stark a gsit o valoare similar a coreciei, 0,965 n loc de 0,971 pentru un cantilever rectangular. Eroarea absolut a acestor msurtori de calibrare nu poate fi definit, de aceea probabil cel mai bine e s se calculeze eroarea relativ a fiecrei metode. n tabelele de mai jos sunt prezentate valorile incertitudinilor calculate cu ajutorul metodei Monte Carlo:

12

Parametru masurat Lungimea cantilever-ului Laimea cantilever-ului Grosimea cantilever-ului Diametru particulei adugate Modulul de elasticitate Densitate (Si sau W) Frecventa de rezonan Factorul de calitate Sensibilatea Densitatea aerului Vascozitatea aerului Temperatura cantilever-ului

Eroarea medie 1% 4% 5% 510% 5% (Si) 20% (SixNy) 5% 0.1% 1% 3% 5% 2.5% 3%

Metoda Adaugare de mas Sader Tunare termic

Incertitudine 15-30% ~4% ~8%

Scanner AFM Toate sistemele SPM folosesc traductori piezoelectrici. Majoritatea SPM-urilor folosesc tuburi piezoelectrice. Pe cele doua capete este depus un film subire de metal (de exemplu Ni) astfel nct prin aplicarea unei tensiuni intre cei doi electrozi se obine cmpul electric dorit.

Fig.6 Deformarea n cmp electric a unui material piezoelectric; coeficienii caracteristici acestuia. Presupunem c S1 si S3 sunt componentele ce caracterizeaz dilatarea dea lungul axei x, respectiv z cnd cmpul electric E3 este aplicat dea lungul axei z (S1=x/x, S3=z/z, unde x,z sunt lungimile iniiale iar, x si z sunt variaiile de lungime n urm aplicrii cmpului
13

electric). Doi coeficieni piezoelectrici comuni sunt: d31=S1/E3 si d33=S3/E3; valorile tipice ale acestor coeficieni sunt date n tabelul de mai jos: PZT-4D -1.35 3.15 PZT-5H -2.74 5.93 PZT-7D -1.00 2.25 PZT-8 -1.00 2.25

D31(10 m/V) D33(10-10m/V)

-10

Variaia lungimii tubului poate fi exprimata astfel: L=2d31VL/(b-a) unde a i b sunt diametrul interior ,respectiv exterior al tubului. Capacitatea este:

( )

cu o constant dielectric r are o valoare tipic de 1000 i (C/L)~10nF/cm. Cel mai comun material folosit este un amestec de PbTiO3 i PbZrO3, cunoscut sub numele de PZT. Exist doua modele principale ale scannerelor piezoelectrice: a) Tripod. Trei tuburi piezoelectrice aliniate n direcia axelor x, y, respectiv z sunt lipite avand un senzor n origine. Cele trei tuburi se contract sau dilat putnd astfel s mite senzorului n trei direcii (x, y i z). b) Un scanner mult mai stabil este cel cu un singur tub piezoelectric. Acesta este mprit n patru regiuni egale. Senzorul este plasat la unul dintre capete. Atunci cnd este aplicat o tensiune pe unul din electrozii secionali doar acea poriune din tubul piezoelectric se va dilata sau contracta. Astfel tot tubul se va inclina ntr-o parte sau alta (x, y). Deflexia n direciile x sau y este dat de expresia: ( )

unde L este lungimea tubului, D este diametrul tubului, h este grosimea tubului i V este tensiunea aplicat pe unul dintre cadrane. Dac tensiunea este aplicat pe electrodul interior ntreg tubul se contract sau dilat pe direcia z.

14

Fig. 7 Scannerul Aria de scanare n figura 8 sunt prezentate comparativ tehnici folosite pentru analiza suprafeelor.

Fig.8 Domeniul de scanare Cu ajutorul AFM-ului pot fi scanate arii cuprinse ntre 1nm i 100 m. n general AFM-ul este echipat cu 2 tipuri de scanner, unul ce poate scana pana la 5 m i cel de-al doilea ce poate scana pn la 100 m. Viteza de scanare poate fi setat din soft, ntre 0,1 Hz i 100 Hz. n alegerea vitezei de scanare trebuie tiut c fiecare sistem are un timp optim de rspuns. Numrul de puncte coninute de imaginea obinut n urm scanrii poate fi de asemenea setat din soft (128x128, 256x256, 512x512, sau 1024x1024).

15

Fig.9 Diagrama comparativ pentru principalele metode de analiz a suprafeelor n figura 8 sunt prezentate comparativ principalele metode de analiz a suprafetelor. Pe ordonat este reprezentat timpul mediu acordat msurtorilor iar pe abscis preul aparatelor.

16

Bibliografie
[1] www.fizica.unibuc.ro [2] G. Binning, C. F. Quate, Ch. Gerber. Atomic force microscope. Phys. Rev. Lett. 56 (9), (1986) 930. [3] Park Scientific Instruments. A practical guide to scanning probe microscopy. (1997). [4] N. Yao, Z. L. Wang. Handbook of Microscopy for Nanotechnology. (2005). [5] Veeco. Scanning Probe Microscopy Training Notebook. Version 3.0. (2000). [6] http://www.research.ibm.com.

17