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En la literatura es posible encontrar hasta 3 especies, relacionadas a los cationes del Zr. Cationes Zr+n, 0<n<4 Sub-estados: n=1,2,3. Pueden relacionarse a: Zr2O, ZrO, Zr2O3.
Poder establecer la presencia, tanto de estados inestables de oxidacin como de ZrO2. Poder caracterizarlos. Todo esto mediante evaporacin por haz de electrones.
Granos de material de Evaporacin de Monxido de Zirconio 99.3 % marca Balzers. Silicio monocristalino (100). Resina Epxica conductora Epotek H20E, Electron Microscopy Science.
Se depositaron cerca 1.2 y 5.2 nm aprox. de ZrOx mediante la tcnica de Evaporacin por Haz de electrones, Z1 y Z2 respectivamente. Tras el depsito las muestras fueron transportadas en UHV hacia el sistema XPS. En el caso de Z1, se expuso al ambiente por 7 das y se volvi a analizar. Como referencia se utiliz la seal Cu 2p3/2 933.1 eV.
Banda Zr3d
Z2
Z1
Muestra
Z1
Z2
Z1-Aire
Zr5/2 Zr3/2 Zr5/2 Zr3/2 Zr5/2 (eV) (eV) (eV) (eV) (eV)
Zr+a Zr+b Zr+4
Zr3/2 (eV)
Z1-aire
179.3 181.6 180.6 182.9 180.9 183.2 182.7 185.1 182.8 185.1 182.7 185.1
Banda O1s
Z1 Z2
Z1-aire
Muestra
Z1
Z2
Z1-Aire
C. O. de Gonzlez [4]
Peak
Zr5/2 (eV)
179.3 180.6 182.7
Zr5/2 (eV)
180.9 182.8
Zr5/2 (eV)
182.7
Zr5/2 (eV)
179.7 181.2 183.1
Zr5/2 (eV)
179.7 180.7 182.9
Es posible detectar estados de oxidacin inestables entre Zr0 y Zr+4. Son comparables con estudios de cintica de oxidacin del Zr0. Al utilizar mayor corriente se pierden subestados mas metlicos (53%). Es compatible la utilizacin de resina epxica conductora para alto vaco.
Mediciones a ngulo de Incidencia de Fotoelectrones variable. Recubrir con algn material, hacerlo estable al ambiente. Complementar con otras mediciones. Cintica de Oxidacin, partiendo de Zr0.
Microelectrnica, etc.
Roberto Villarroel