Professional Documents
Culture Documents
ขั้นตอนการเปิด-ปิดเครื่อง DSC8000
ขั้นตอนการเปิด-ปิดเครื่อง DSC8000
1. UPS
2. DSC8000 DSC
Furnace
3. Pyris Manager
Offline
5. Apply N2 Gas
Gas Flow
6. ( )
1
8.
9.
Cooler Cooler
10.
Cooler -85 1-2
10
DSC8000, 8500 Intracooler
1. Intracooler
cooler
: Intracooler 2
DSC
Pyris Manager
2.
300 Click
Go to temp
2
3. 50
12
Click
Go to temp
9.
10.
UPS
DSC
,