You are on page 1of 376

. .

2002

. . , 2002



,
.
.
, ; ;
; , , - (
-
); ; , -, .

, .
,
,
.
.

1951 ., 1960 . , ,
- MOCVD

4
( ).
, , ,
. 1
,
,
, . 70- ,
, .
, , [1, 2] [3];
[4,5].
,
, , ,
15 . (
) .
,
.
, ,
. ,
, -

.
, ( ,
1 , () , .
,
. , , ,
.

5
, ) , ,
, () .
,
. , , .
, , , , -
.

, , . .
. ,
.
, ,
, ,
. , ,
. , ,
, , , ,
.
, .
. . ,
,

6
. . 6

. .
,
. , 9
, MOCVD, - .

1.1.
, ,
, , , , ,
, .
, - - .
1
, , ( ), . ( 0 K)
, ( ) ( ) Eg
1 ( ) , .
.

1.

( ), .
,
, .
.
, Eg .
( 0 )
,
. , Eg < 23 .
, , Eg = 0 (, HgTe HgSe).
, . ,
, ,
.
, .

; . ,
( ) .
,

. , .

.
( ).
(
). () .
= 1010 1020 ( = 1020 1010 1 1 );
= 104 1010 ( = 1010

1.1.

. 1.1. .

104 1 1 ); = 106 104


( = 104 106 1 1 ).
, ,
, EF ;

; .

.
. ( ).
,
Eg .

(. 1.1). ,
, T

m = 0 (1 + T p ),
(1.1)
0 0 , , T , p 1.
, , s

s = A exp(Ea /kT),

(1.2)

Ea , k .
-

10

1.

1/ = = ne,
(1.3)
n , e , . n ,
m
,
( , ). , .
( ).
[6]. , , (. . 2) [6].
, , ,
( ), . n ,
T.
(, , ). , , , ,

. , , , ,
.
, .

, . ,
, , ().
, . -

1.2.

11

,
.

. ,
, 40-
,
1833 .
,
.

1.2.

104 , 79 25 . 13 , 12 (. . 1.1).
, , .
.

.
,
[7, 8].
.
:
(a-Si, a-Ge, Se, Sb, Te); ( Se, Te, , , ); .2
2

1.

12

( P, As, Sb, Bi S, Se, Te, , As2 Se3 , As2 S3 ,


As2 Te3 ) (V2 O5 P2 O5 MeOx ).3
,
.
,
(EXAFS-) ,
. ,
,
( ), ( ).

.
:
1) () : C, Si, Ge, -Sn, P,
As, Sb, Bi, S, Se, Te, I, B.
Ge Si . ,
4 (. . 2).
2) (,
).

,
, , - ,
. , ,
- , ,
.

.

, ,
. . .
) .
3 Me

IVI .

2.1
3

1.0
11

0.78

1.52

1.60

Ra

1.9
55

0.7

Au

2.4

87

0.7

1.44

2.65

79

1.44

Fr

2.7

Cs

Ag

2.23

80

2.17

Ba

1.49

48

2.15

0.8

Sr

1.33

47

1.9
37

1.97
30

Ca

1.60

Mg

1.13

Be

0.9

1.7
56

Cd

1.0

1.6
38

Zn

1.0

1.2
20

1.5
12

0.9

88

1.9

Hg

II

2.47

Rb

1.28

Cu

0.8

2.27
29

0.9
19

1.54

Na

Li

1.88

Ac

1.70

81

1.88

La

1.63

49

1.81

1.22

1.61
31

Sc

1.43

1.31
13

1.3

1.5
21

Al

2.0

1.1

89

1.8

Tl

1.1

1.7
57

In

1.2

1.6
39

Ga

III

1.5

1.8
22

Si

2.5

104

1.8

Pb

1.3

1.8
72

Sn

1.4

1.8
40

Ge

Ku

1.75

82

1.56

Hf

1.40

50

1.60

Zr

1.22

1.45
32

Ti

1.17

0.77
14

IV

1.55

83

1.43

Ta

1.82

51

1.43

Nb

1.25

1.32
33

1.15

0.71
15

1.6

2.1
23

3.0

1.9

Bi

1.5

1.9
73

Sb

1.6

2.0
41

As

1.67

84

1.37

1.43

52

1.36

Mo

1.17

1.25
34

Cr

1.04

0.66
16

1.6

2.5
24

3.5

2.0

Po

1.7

2.1
74

Te

1.8

2.4
42

Se

VI

85

1.37

Re

1.33

53

1.36

Tc

1.14

1.24
35

Mn

0.99

2.2

At

1.9

2.5
75

1.9

2.8
43

Br

1.5

3.0
25

Cl

0.58 4.0
17

VII

1.35

Os

1.34

Ru

1.24

Fe

2.2

76

2.2

44

1.8

26

1.36

Ir

1.34

Rh

1.25

Co

2.2

77

2.2

45

1.8

27

VIII

1.38

Pt

1.38

Pd

1.25

Ni

2.2

78

2.2

46

1.8

28

86

2.18

54

1.89

36

1.74

18

1.28
10

Rn

2.6

Xe

Kr

Ar

Ne

He

1.1. . . .
() () [20].
( A)

1.2.
13

14

1.

A N B8N ,
A B , N A
. IV .
( ),
.
VI
(. . 3), (
).
AN B8N , , .
:
AIII BV GaAs, InSb, InP, GaSb, GaP, AlSb ( ).
AII BVI CdSe, CdTe, HgTe, ZnS, ZnSe ( ); CdS,
CdSe, ZnS, ZnSe ( ).4
AI BVII ( ) CuBr, AgI.
AIV BIV -SiC ( ).
) .
A IV BVI . PbS, PbTe, SnTe.
NaCl .

-. A IV BVI .
) .
VI
A V
2 B3 . (As2 S3 , As2 Se3 , As2 Te3 ), ; (Sb2 Se3 , Sb2 S3 ) ;
(Bi2 Te3 , Bi2 Se3 ) .
.
4 ,
.

1.2.

15


:
) [9, 10].
d- f- (
). .
, , EuS, EuSe,
MnTe, (NiO, CoO, FeO, ZnO, EuO, Cu2 O)
, , MeOFe2 O3 MeFe2 O4
(ZnFe2 O4 , MnFe2 O4 ), .
,
, , . (NiO, ZnO, EuO,
Cu2 O) , .
) - [11, 12].

.

ABO 3 . BaTiO3 PbTiO3 . - A IV BVI
GeTe SnTe.
- , .
) : , , , [13, 14].

, ,
.
,
.
.




2.1.
().
. ,
. , , ,
, ,
, . . . .
. , .
. , ,

, .

2.1.

17


= E,
H

(2.1)

=p
2 /2m + U (
p = i ,
H
U(r) = e2 /r ,
, m , e , r
- ), (r) (|(r)| 2

), E .
U(r) (2.1) . . (2.1)
= R(r)()(), r, , .
n, l,
ml ,
(2.1), . m s .

. ()
.
, (2.1) ( ): n, l, ml , ms .
, n, l ml , . , n
l, . n
.
n 1, 2, 3, ...
. n = 1, 2, 3, 4, ... K, L, M, N . . n
.
l ( ); l 0 (n 1). l = 0,
1, 2, 3 s-, p-, d-, f- .
ml
; ml l l
( ).

2.

18

ms
(
); ms : +1/2
1/2.
, (2.1) ,
En =

me4 1
e2 1
13.6
=
= 2 ,
2
2
2 n
2a0 n2
n

(2.2)

. E > 0 a0 = 2 /me2 = 0.529 A


, (
). E < 0
, n,
l, ml ms ( ). ,

n l, ml ms . n . , En n,l,ml ,ms ,
l, ml , ms . ,
, , ,
2n2 .
( ) , (2.1),
, n. |n,l,ml |2

R(r) ()()
.
R(r)
. . 2.1, s-. , 1s- , 2s- , 3s-
. . 2.1, . ,
n .
, R(r) = 0. p-, d-
f- .

2.1.

19

. 2.1. R(r) r/a0


s- ()
4r 2 R2 (r) ().

()() . , .
s-.
s-. s- (. 2.2),
,
( ).
p-. n = 2 p-. , l = 1, 2l + 1 = 3 p-,
. p- p x , py ,
pz , x, y, z , ( . 2.2
+ ).
n = 3 4 d- (l = 2) f- (l = 3)
.
d- (. 2.2) f-.
n
.
.

2.

20

. 2.2. s-, p- d-.

.
. ,

, . ,
. , ,
,
n, l,
ml , ms ,1 ,
. n, l2
.
, l
. , , ,
. ,
,
1

l, ml , ms .
ml ms
, (. ).
2

2.1.

21

. 2.3. 3s-
([Ne])
Na.

-
.
U, - , Z, Z
, , . Z
, , . Z,
,
. .

n Z: En Ze2 /n2 , , , 2s- 2p- .
. , , Li n = 2 ( ) ,
. 2s- 2p-. l ,
2s- Li , 2p-, . Na. 3s-, 3p-,
3d- ,
: 3s, 3p, 3d. ,
3s- Na
, , ,

22

2.

(. 2.3). , ()
Z ( Z) 2 1.
3p- , 3s-, 1 < Z < 2; 3d-
, , Z 1.
: 4s- , 3d-,
, , : 3s, 3p, 4s, 3d, 4p.
,
,
l. , ,
;
, ,
.

, n
. .
, s, p, d f-,
, 2, 6, 10 14 (2(2l + 1)) .


.
n + l, n + l n:
ns < (n 1)d (n 2)f < np.

2.2.
. , ,
. , ,
, . r0 , . . -

2.2.

23

. 2.4.
E r; r0 .

,
, .
. ,
.
?

. , .

, .
, . , ,
(. 2.4).
r0 ,
.
, ,
, , -

24

2.

. ,
, : E = E. E. .
1 .
, . ,
[15].
.
( ) , , : , . . ,
, . , . .
.

2.2.1.
,
, .
.
H2 .
.

( ), .

.
().
( ). H2 -

2.2.

25

. 2.5. , (a) () .

( A)
( B) .
, , ,
(A B ).
,
, A B .
()
H2
b = Nb (A + B ), a = Na (A B ),

(2.3)

A B A B ,
Na,b .
A B , , b Eb = 2Nb2 (Q + ),


A dV = H
B dV Nb , Q = AH
B


 A B , 
B dV = H
A dV ; = A H
B
.
. Ea = 2Na2 (Q ), Na .
b , .
.
, b ,
. a ,
. .
, a , -

26

2.

. 2.6.
2A 2B
( )
2b 2a ( )
.

.
. 2.5,.
. 2.6 A B
b a ( ). b , a .
, b ,
a .
,
.
.
, ,
, : - . -
,
. , H2
- ( ), s- (. 2.7,,).
p-, - -. , ,
, z. pz - ,
- (. 2.7,,). pz - s- -.
- s-, p- d-,
.

2.2.

27

. 2.7. - -. , , ; , , .

28

2.

px - py - -.
-. -
, .
p-, ,
, . -
, , (. 2.7,,). - p- d-
d-.
, , . ,

.

S = A B dV . ,
. S < 0, ,
S = 0 , S > 0
(. 2.8).
. 2.6.
, ,
, .
.

( , ),
, a b ,
(. . 2.6,).
,
. , ; .
, .
: ) ; ) ;
) .

. ,
HCl

2.2.

. 2.8. .

29

2.

30

b = A + B , a = B A .

(2.4)

HCl , b A , a B .
. , ,
,
.

2.2.2.
, ,
, .
.
.3
,
, , , ,
() ().
( ). ,
, ,
. .
,
. ,
.
q . ,
, q2 /r, q , r
. ( ,
) . , [16], ,
3

, ... NaCl.

2.2.

31

. 2.9. ().

, q2 /r. .
, r . ,
. a/r m , a m
, . , (
) 4
U = a/r m q2 /r.

(2.5)


57 .
:

(. 2.9). , .
.
.
. -

, .
(), ( = Zed,
Ze , d , Z
) , 4
[16].

2.

32

(): = /E = Zed/E. ,
, ,
.5
.
, . , , : AgF, AgCl, AgBr NaCl, AgI

6 4. , FClBrI
F I.
- , , .6
,
.
.
,
.
( () () ()).
, . (. . 2.1) [17]. ,
,
.
.7
, , ( 5

, .
, ,
, ,
, 0.74
.
7 . ,
, .
6

2.2.

33

2.1.
[18].
.
3
4
6
8

r+ /r
0.150.22
0.220.41
0.410.73
0.731


BF3 ()
ZnS
NaCl
CsCl

NaCl, CaF2 .). ,


Z = 8, 6, 4 3, Z = 12 ,
.

2.2.3.
,
, ,
. :
1) ;
2)
Eg .
Eg .
:
1) ,
;
2) , ;
3) ()
Eg .
, .

,

, , .
-

34

2.

. ,
, .
,
, .
,
.

, . . : E = A F, A , ( A < 1 [15]).
, ,
. ,
. ,
(Z = 12) (Z = 12) , (Z = 8)
. .

2.2.4. ( --)
. , .
8 ,
( ). , -
,
;
, , , . ,
, --. -

2.2.

35

, , . , ,
11.2 / (0.116 /) 100 K,
[16].
.
. --
. , , --
, .
, .
.
.
,
.
, -- ( ,
).
U = c/r 6 , c , .
,

. 0.5 A
. 5 A
U = a/r 12 , a
, .8
. , 8 , , . , , U = exp(r/),
, , .

36

2.

, .

. , .
,

U = a/r 12 c/r 6 .

(2.6)

, , . -- ( ) .
,
( Z = 12, Z = 12).

2.2.5.
, ,
, ,
. ,

,
. 0.1 .
.
, F, O N. .

, (.
). ,
.
, ,
, .

. ,
.
(
) -

2.3.

37

H2 O ; ;
( );

(, KDP).

2.3.
, (. . 2.2.1).

. .
, -. , , Z N , :
Z = 8 N . ( ) .
, ,
, . ,
. , ,
, . , ,
. .
,
, .
.

38

2.

, , . .
,
.

.9 , .
1.
, .
2. ,

, .
,
, , , .
, .
, , , . 2s 2 2p2 .
1s- 2s- , .
2p-, , . 2p-
90 . , , .
, ,


: 109 28 . , .
,
2s2 -
9 -
s-.

2.3.

39

. 2.10. s- p-
sp3 -.

2p-. , s-, p-.


sp3 -. ,
. 2.10. ,
. , . 2.12, <111>.
,
.
: , .
, sp3 - , s- p-.
, ,
sp 3 -,
.
s-, p-, d
f-. ,
, ,
sp-, sp2 -, dsp2 -, sp3 - d2 sp3 - (. 2.11).
, -, ,
, , -

40

2.

. 2.11. sp-, sp2 -, dsp2 -, sp3 - d2 sp3 -


.

. 57 . .
, .
, ,
. 2.2.
2.2. , .

;
57
.

; ;

57 .
3.5 .

--

,
,

; 0.1
.

2.3.


(Z = 8, 6, 4
3).

.
.
.


.




.

.

(, Z = 4) (Z = 12
.
8)
.

- - .
.

.
-

(
). - .


-
.
.



;
.

41
--

(Z = 12)
.

.
.

42

(Eg > 23 ).

2.

- -
.


Eg < 23 .

--

2.4.
, , ,
. . .
, ,
(. 1.1).
. ,

p-, 1 () 5 (). ,
p-, ,
.

2.4.1. IVA: , , , -

ns2 np2-, n = 2
, 3 , 4 5 .
IVA sp3 - -. ,
, . (. 2.12). ,
, (. 2.13), 8 , . 2.12, 4 ,

2.4.

43

. 2.12.
C, Si, Ge -Sn. sp3 -
.

4 . ,
, .
(
Z = 4).10 8 . , IVA ,
,
.

.

d,

a = 4d 3/3 , .
( ) 0.34. , , , .
, ,
. ( ) , 10 ,
8
.

44

2.

. 2.13. .

.
,
. (Eg = 5.48 ) .
Eg , ,
(. . 2.3).
, h > Eg
, . . .
( ) , , ,
. .
, . 2.14. ,
.
,
(d1 = 1.42 A)
, , -,
(d2 = 3.35 A)
-- . , sp 3 - ( ), sp2 - p-. ,
,
() 120 (sp2 - -

2.4.

45

2.3.
[19]. ( , , T = 290 K.)

Eg ,

C
()
Si

., O5h

a=3.566 A
., O7h

a=5.43 A

5.48

Ge
-Sn
P
()
As
()
Sb

-S

Se
Te
-B

-B

., O7h

a=5.66 A
., O7h

a=6.49 A
., D18
2h
a=3.31, b=4.37,

c=10.47 A

., D53d
a=3.76,

c=10.76 A
., D53d
a=4.308,

c=11.274 A
., D24
2h
a=10.46, b=12.88,

c=24.48 A
., D43

a=4.35, c=4.94 A
4
., D3

a=4.94, c=5.95 A
5
., D3d

a=5.057 A,
=58
., D53d

a=10.14 A,
=65


, 2 /
n
p
1800
1400

1.11

3000

500

0.664

3800

1820

0.09

2500

2400

0.33 (0 K)

220

350

0.175
(< 20 K)

40550
(.)

501210
(.)

0.1 (1.15 K)

110274
(.)

180363
(.)

3.8

7.5

10

1.9

40

0.335

2380 ( c)
1150 ( c)

1260 ( c)
650 ( c)
120

300

1.97 (E  c)
1.90 (E c)
1.63 (E  c)
1.61 (E c)

46

2.

. 2.14. .
.

),
p-. , sp 2 - ,
, p- - ,
. , , p-,
- . , ,
.
Si 10 ,
. .
Si . 2.3.
Ge 28 . . 2.3.
46 ,
. Eg = 0.09
-Sn ( ), 13 ; -Sn,
, .
, , , Eg . -

2.4.

47

. 2.15. VA. . ,
.

Pb, Sn,
(
, s-
p- , , s-
sp3 -).

2.4.2. VA: , ,
ns2 np3 n = 3 , 4 , 5 , 6 . . 2.15,: (p 3 ),
s-
p-. ,
,
Z = 3.
. 2.3.

48

2.

. ( ( ), , ).
, (200 C) , .
. ; . ,
. . 2.15,.
PP 2.23 A.

102 , 96,5 . -, sp 2 -
p-.
.
(, ), . , .
- (. 2.15,). , . ,
d1 = 2.52 A,
,

d2 = 3.12 A.
(96.65 ) ,
p3 -.
--,
.
: , ,
.
, .
, . (
).
d2 = 3.36 A

: d1 = 2.91 A
(d2 d1 ) ,

2.4.

49

d2 = 3.53 A.
. Bi d1 = 3.07 A
, Sb
Bi
,
.
, Eg IVA . , ,
, VA, ,
sp3 - .

2.4.3. VIA: , ,
ns2 np4 (n = 3 , 4 , 5 .
p- ,
(
O 2 ), (
).
, ,
90 .
sp- , . --. , , VA .
. 2.3.
.
, . S8 , , . 2.16,. SS
. d = 2.06 A,
108 .
S8 -.
. () , c .
103 ,

50

2.

. 2.16. VIA. S8 . ,
, , z; .

, p-, sp- . SeSe


d2 = 3.49 A,

d1 = 2.37 A,
-- , . , d2 , -- , , , , .

,
. , (
c). , Se
p-,
.
. , (

TeTe 2.835 A,

103.2 ). , ,

2.4.

51

. 2.17. .

(n = 1700 2 /,
p = 1200 2 /). Te , ,
Se. Te .
. 2.3 , Eg VIA , IVA
VA .

2.4.4. VIIA:
VIIA . (. 2.17) I2 ,
. --, , .
, . 1200 0.1 . II
d = 2.7 A,

d = 3.54 A.

2.4.5. IIIA:
, IVA .
2s2 p1 . ,
2s1 2p2 . sp2 -
, , ,
. -,
, 2s-, 1s-.

52

2.

. 2.18. .

,
, 5.

, B12 ( ,
, . . 2.18). ,
(
- -). -B 12
, -B 105 . , .
( BB 1.71 A)
,
.

2.5.
,
, ():
. ()
. () , ()
, 9098 % ()
. ()
( ),
()
() ,
.
( . ), ,

. , , () , .
() ,
,

2.5.

53

.
() ,
; ; ; --
. . sp3 -,

(d = 1.54 A)
, 0.77 A.
, ,
(d1 = 2.52 A),
As , 1.26 A,

-- (d2 = 3.12 A),

--, 1.56 A.
() ( ).
, ()
. .
, () ,
, ,
, ,
.
.

, .

Z . , ,
, , AB
AA BB
.
, , ,
.
,
, : 2, 3 . .
() ( , , ).
,
(Z = 4, sp3 - ), (Z = 6, d2 sp3 - ),
(Z = 4, dsp2 - ), (Z = 2, sp- ) .
(
[15, 20]).
1. , , , .
, ,
.
2. . , ,
, ,

54

2.

. ,
. , ( , Mg2 Sn, . ).
,
.
3. - ,
, ,
.
,
,
0.1 A.
.
4. , .
, ,
, , ,
. , .

, .

. ,
.
0.01 A.
,
, .
. . 20- XX . , , , , , , F O2 ,
.
.
- O2 ,
O2 .
1.40 A.
. . . . , , O2

1.36 A.
7080- , , ,
. , . ,
, , , , .
, .
( , ,
).
1.
, .
.
2. , ,

2.5.

55


, , .

, A

Li+
3
0.70

Na+
11
1.00

K+
19
1.33

Rb+
37
1.52

Cs+
55
1.70

3.
.
: ,
; .

, A

Au+
1.37

Hg2+
1.12

Tl3+
1.05

Pb4+
0.76

4.
. ,
, , ( ), , .

, A

F
1.33

O2
1.36

Cl
1.81

S2
1.82

5. ,
, , . ( ,
).

, A

Pb4
2.15

Pb
1.74

Pb2+
1.18

Pb4+
0.84

6. .
Z,
. , ,
, (
).11
11 ,
d- f- ,
. d- f- , s- p-
, d- f-
, (
) .

2.

56


-. . - Z = 12
, Z = 8, 6 4 0.98; 0.96; 0.88. .
.
( [15, 20]).
1. , , ,
,
. ,
d-, d- .
-- .
, , d- .
2. ,
( ).

, A

Li
1.52

Na
1.85

K
2.31

Rb
2.46

Cs
2.62

3. , ,
. , .
, ,
, - () ,
.

, A

K
2.31

Ca
1.96

Sc
1.60

Ti
1.46

V
1.31

Cr
1.25

4. VII VIII . -, ,
5 d-, ,
, , ()
, ,
( ).

, A

Fe
1.23

Co
1.25

Ni
1.24

5. (. . 2) ,
,

2.6.

57

;
( ) .
-, , , , f-,
, ,
( ).

, A
5

, A
6

, A

Cr
1.28
Mo
1.40
W
1.41

Fe
1.27
Ru
1.33
Os
1.35

Ni
1.24
Pd
1.37
Pt
1.38

Cu
1.28
Ag
1.44
Au
1.44

6. , ,
,
.
, ,
, (
).
,
[15, 20].
-- , -- . -- . , , --
,
-- (,
). ,
-- , . - ,
. -- [15, 20]).
-- ,
. --
, - .

2.6.
2.6.1.

. . -

58

2.

X. B A , C
.
: A<B<C.
I
E ( ):
X = (I + E)/2.

(2.7)

I ,
.

.12
,
. .
.
- (), . , ,
; , .
, , .
,
,
( , I E ).
, (, I E
).
,
,
.
12 ,
, , , .
, .

2.6.

59

,
( ).
A B.
A B , . DAA DBB .
A B,
DAB AB , , DAA DBB DAB = (DAA + DBB )/2.
, DAB ,
DAB (DAA + DBB )/2 = > 0.13
,

Aq + Bq , .
. . , X = XA XB A B
. ,
: () (XA XB )2 . ,
A B,
XA XB . . X = 1
, X
X.
. 2.19
. , ( ) .

,
X
.
, , , . . ,
.
,
13
.

60

2.

. 2.19. [20].

, . ,
.

2.6.2.
, (-).
.
,
. ,
() . ,
- , ,
.
. ,
.

2.6.

61

2.4. , AN B8N [20].

SiC
InAs
GaSb
GaP
AlP
HgSe
CdTe
CdS
ZnSe
AgI
CuCl
ZnO
MgO
LiF

X
0.7
0.3
0.2
0.5
0.6
0.5
0.4
0.8
0.8
0.6
1.1
1.9
2.3
3.0

0.21
0.09
0.06
0.15
0.18
0.15
0.12
0.24
0.24
0.18
0.33
0.57
0.69
0.90

.
.
.
.
.
.
.
.
., .
., .
., .
., .
.
NaCl
NaCl

InSb
InP
GaAs
AlAs
HgTe
HgS
CdSe
ZnTe
ZnS
AgBr
CuBr
BeO
NaCl
CsF

X
0.3
0.4
0.4
0.5
0.2
0.6
0.7
0.5
0.9
0.9
0.9
2.0
2.1
3.3

0.09
0.12
0.12
0.15
0.06
0.18
0.21
0.15
0.27
0.27
0.27
0.60
0.63
1.0

.
.
.
.
.
.
.
., .
.
., .
NaCl
., .
.
NaCl
NaCl

: . -

, . , NaCl .

AN B8N ,
N A. ,
XAB , AN B8N
= (XAB /XCsF )CsF , XCsF CsF, 1. . 2.4. , AIV BIV , AIII BV AII BVI , AI BVII
0.3
1. AI BVII ,
0.5, X > 1. AI BVII CsF, LiF,
NaCl, KCl . .
. . , Z = 4. , ,

2.

62

NaCl (Z = 6).
.

2.6.3.
A N B8 N
, AN B8N , X < 1. , , (Z = 4),
sp3 - . A N B8N ,

4, IVA .
, , GaAs. ,
Z = 4
. sp3 -
:
Ga0 : 4s2 4p1
As0 : 4s2 4p3

Ga : 4s2 4p2
As+ : 4s2 4p2

Ga : 4s1 4p3
As+ : 4s1 4p3

, , AN B8N , ,
, .
,
, IVA ; ,
, .
AI BVII .

A B,

, .
GaAs.
, , Ga1 As1+ .
, ,
-

2.6.

63

. GaAs
Ga3+ As3 .
-
. ,
,
,
= C1 + C2 , C12 + C22 = 1,

(2.8)

,
. C1 C2
.
A B,
.
C 1 C2 ,
, , .
( ), C2 = 0 .

, . , C2  C1 , ,
A.
C2
B. , - .
.
Z = 4 ,
,
, , .
.

= C22. ,
0 = 1 nAe /N , nAe ,

64

2.

. 2.20. sp3 - AN B8N .

A , N , . 0 ,
- , . AN B8N N = 4, nAe
A . ,

AIV BIV
0

AIII BV
0.25

AII BVI
0.5

AI BVII
0.75

, AIV BIV , AIII BV , AII BVI ,


A BVII . , A IV BIV
, AIII BV
; AII BVI AI BVII
(. 2.20).
0 :
I

= 0 + q /eN ,

(2.9)

, 0 , q , N . q /eN
. ,
: , = C22, ;
, q /eN ,
.
,
. q - ,
; .

2.6.

65

. , ,
. ,
, .
, , . ,
, .
. 2.5 ,
, ,
(2.9), AN B8N .

2.6.4. ,



(, , )
, , . ,
( Eg , , ) 2.5.
AN B8N [2124].

q /e

q /e

q /e

AlSb
0.48
0.37
ZnO
1.06
0.77
HgSe
0.71
0.68

GaSb
0.33
0.33
ZnS
0.81
0.70
HgTe
0.52
0.63

InSb
0.42
0.36
ZnSe
0.7
0.68
CuCl
0.59
0.9

GaAs
0.46
0.40
CdS
0.73
0.68
CuBr
0.38
0.85

InAs
0.56
0.39
CdSe
0.55
0.64
CuI
0.18
0.79

GaP
0.58
0.40
CdTe
0.71
0.68
AgI
0.23
0.81

InP
0.68
0.42
HgS
0.77
0.69

66

2.

. 2.21.
Eg d IVAVIA (. . 2.3).

( d, q ,
X . .).

. . Eg d (. 2.21). ,

. ,
,
( : -
).


Eg .
, , .
. 2.6 , -Sn, Ge
Si d ,
Eg -
( ; . . 2.4 . 2.5).

2.6.

67

2.6. d, , Eg , n p Sn, Ge, Si


300 K [24].

-Sn
InSb
CdTe
AgI
Ge
GaAs
ZnSe
CuBr
Si
AlP

d, A
2.82
2.82
2.81
2.81
2.44
2.44
2.45
2.46
2.33
2.33

0
0.36
0.68
0.81
0
0.4
0.68
0.85
0
0.40

Eg ,
0.09
0.18
1.5
2.80
0.664
1.43
2.80
2.90
1.11
2.45

n , 2 /
2500
78000
1200
50
3800
8500
260
30
3000
50

p , 2 /
2400
750
80

1820
420
23

500
150

Si C ,
, ,
.

d , , Eg
. , . 2.6
, , -, Eg
, , -,
Eg . Eg ,
.
Eg
- . , .
. - , .
, , Eg ()
A B . , , AlSb, GaSb InSb Eg (Eg = 1.63 ; 0.7 ; 0.18
)
(. . 2.5).

68

2.

,
A - . AlSb, AlAs, AlP Eg (Eg = 1.63 ; 2.14 ; 2.45
) ( = 0.37; 0.39; 0.68 ), , .

2.6.5.

, , -
. Eg
, L (. )
.
L .
,
, , ,

.

, , . .
.
,
. :
1) , ; 2) ,
, ; 3)
(, , , . ; . . 3). ,

2.6.

69

.

,
(
).
. 14 .15
,

.
. , , ,
(q)
q, (q) ,
q . .
,
, , .
,
, , .
.
, , ( ). , ,
, .
( ) [6].
.
[6].
14 .
15 , .

70

2.

()
(Si, Ge .).
. , .16
, . ,
,
. , , , ,
.
-
(InAs, GaAs .). ,
( )17
, .
, ,
.
,
,
,
.
, .
.
AIII BV (GaAs, InSb), AII BVI (CdS, CdSe) .
, ( )
16

17 , , , ,
.

2.6.

71

.
. ( ),
,
.
L . -Sn Ge n ,
(. 2.6).
, , ,
, , ,
, [6].
, .
AIII BV  78000 2 /
InSb, AII BVI  2300 2 / HgTe, AI BVII  50 2 / AgI.
q
, , . , AN B8N q ,
AIII BV AII BVI AI BVII
,
q ,
- .
AN B8N , ,
IVA . , . 2.6,

.

2.6.6. ,
AN B8N
.
,

72

2.

, . , , , ,
,
, . .
, , , ,
-
.
, [25]
,18 ,
.
, s- p-
. ,
s- p- . ,
, ,
. -, - ,
.
, , .
1. ,
IVAVIIA . .
B, , , , A. , A
18

, , .

2.6.

73

.
, A .

(. ). , , B
.
2. , -:
ne /NB + NBB = 8,

(2.10)

ne
( , ), N B
B ( IVAVIIA ) , N BB
, B . N BB
.
3. , , 0.81. ,
. ,
, Eg n,p ,
.
4. : AKa BLb
Ka = (8 L)b,

(2.11)

K L A B, , Aa Bb , a b ,
.
, AN B8N . ,

GaAs (AIII BV ): ne = 8; NB = 1; NBB = 0; ne /NB + NBB = 8


CdTe (AII BVI ): ne = 8; NB = 1; NBB = 0; ne /NB + NBB = 8
CuBr (AI BVII ): ne = 8; NB = 1; NBB = 0; ne /NB + NBB = 8
,
( , ,
. ), AN B8N .

74

2.

, AN B8N , , .
(. . 4) , .
1. .
,
,
. ,
, . ,
InSb , ,
: In , Sb . ,
, . , InSb ( )
...-, 1/4
, :
In, Sb.
2. .

, , , , .
( )
,
(. . 4 . 8).
,
, ,
. ,
, .
, -
(,
Ax B1x ), ,
(0 x 1), ,
.

:

2.6.

75

. 2.22. : ; ;
; ; ;
. , , , , , AB. A, B,  C, 
.

) :
,
(. 2.22,). GeSi.
) :
, (. 2.22,). : Ge(Li), Si(Li).
,
(. 2.22,)
) : , , , ,
, (. 2.22,).
, Ni49 Sb51 , In2 Te3 .

AN B8N . , , :

sp3 - . -
, , , AB, A () B

76

2.

.
. , , AC BC,
A B
.
A1x Bx C . (. . 4),
, ,
.
A
:
AlAs + GaAs Alx Ga1x As AIII BV ,
CdTe + HgTe Cdx Hg1x Te AII BVI .
, ,
-,
,
, , - sp3 - .
, A B, , . , GaSb 1y Asy
(GaSb+GaAs) CdSe1y Tey (CdSe+CdTe). , ,
.
. , (GaAs) 1x (InP)x
(GaAs+InP).
, ,
Eg ,
(. 2.23).
, Eg

2.6.

77

. 2.23. Eg
In1x Gax Sb.

, Eg . (
). . ,
,
, . , ,
, , .
, - B ,
, A
ne . ,
A
,
AN B8N , , , , , ,
.
, , A, (.
).
, AN B8N ,

2.

78

. 2.24. Mg2 Sn ().

.
1.
2.
3.
4.

AIV BIV AII2 BIV


AIII BV AI3 BV
AII BVI AI2 BVI
VI
3AII BVI AIII
2 B3

Mg2 (Si,Ge,Sn,Pb);
(Li,Rb,Cs)3 (Sb,Bi);
(Cu,Ag)2 (O,S,Se,Te);
(Al,Ga,In)2 (O,S,Se,Te)3

,
A AN B8N .


IVA B. Mg2 Sn. Mg2 Sn
, . 2.24. ,
, A 4 (8/3 < 4).
, Mg2 Sn , (K = 2; a = 2; L = 4; b = 1), - (ne = 8; NB = 1;
NBB = 0) .
, Mg Sn, . ( ) ,
( ) . Sn
sp3 - Mg.

2.6.

79

. 2.25. ( 1/3) Mg2 Sn; Sn .


. , Sn sp3 - ,
.
, Sn 8
Mg, s- p-,
( 8 ), Mg (. 2.25,). Mg

Sn, MgMg ,
, .
, Sn
, , 4 Mg ( , .
. 2.25,). ,
,
sp3 - B A. , Mg2 Sn 1/2 (4/8).
,
.19

19 AI BVI 2
IV
, AII
2 B ,
, .

80

2.

. 2.26.
( 1/2)
Li3 Bi.

, .
Li3 Bi. , Li . ( LiII ) , Bi , Li (LiI )
Bi.
Li3 Bi
. 2.26. Bi
LiI LiII ,
(LiII )2 Bi
, Mg2 Sn. , ,
,
. ,
Li3 Bi ,
.

,
,
.
. A II
III .
- ne = 24, NB = 3, NBB = 0.
4 (24/5 = 4.8).
-

2.6.

81

. 2.27. In2 Te3 .

, 1/3 A .
, In2 Te3 ( ) 1/3
In ; Te 2.66 In (4 2/3 = 2.66), In
4 Te. sp3 -
. 2.27. ,
: (Te) sp3 -. , TeIn
Te, . ,
4
(24/(5 + 1) = 4).
- (5 10 21 3 )
,
;
, .

2.6.7.
AIV BVI
,
. AIV BVI , , , , -

82

2.

. 2.28. (
1/3) PbS.

(NaCl) 6.
,
.
, V , 5. s-
. - 1/3 (2/6) p-, sp 3 -
. . p- . 2.28.
Pb
p- , 1/3-. s- p-
S p- , .
, ,
, . , AIV BVI
-, , B, ne = 4, NB = 2, NBB = 6.
.
PbS
.
VI
AV
2 B3


, , , (
Bi2 Te3 ), .
Bi2 Te3 -

2.6.

83

. 2.29. Bi2 Te3 .

(
). Bi2 Te3 , c [0001].
(. 2.29). Bi2 Te3 :
TeI BiTeII BiTeI TeI BiTeII BiTeI .
, . ,
TeI TeII .
, (Bi TeII ), 6; , (TeI ), :
TeI .
, pd- , . TeII Bi ( 1/3) TeI Bi ( 2/3);
6d- (. 2.30). , TeI
(TeI TeI ) ,
-- . ,
. 2.30 : 5p- 5d- TeI , p- d-
pd-;
2/3. , Bi2 Te3
.
,

84

2.

. 2.30. Bi2 Te3 .

, . , , ,
Bi .
, -,
. ,
ne = 12, NB = 3, NBB = 0, Te
,
. ne = 16; TeI
TeII : TeI , 4
NBB = 2; TeII
(N BB = 0). , ,
, 8, .
, , -, , , AIII BVI (GaSe), AII BV
(Mg3 Sb2 ).

2.6.8.
-

2.6.

85

- .
, , --.
.

() (). -:
.
n e , NB
NBB . ,
, , .

.
. ,
-.
.
, -.20
.
.
. .
AKx BLy CM
z :
Kx + Ly = (8 M)z,

(2.12)

K, L M ,
A, B, C, ,
.
:
Kx = (8 L)y + (8 M)z.
20

, -, -.

(2.13)

2.

86

, - , .

sp3 - .
:

Kx + Ly + Mz
= 4.
(2.14)
x+y+z
, -, , AIII BV (II VI
II VI
): 2AIII BV AII AIV BV

2 , A B : 2A B
I III VI
A A B2 .
.
Ga
Zn
Cu

Ga

Ge
Ge2

As
As2
As4

AIII BV
AII BIV CV
2
V
AI BIII CIV
D
2
4

AN B8N .


AII BIV CV
AIII BV
2
AI BIII CVI
AII BVI
2
I IV V
A B 2 C3
AIII BV
I IV VI
A 2 B C3
AII BVI
I V VI
A3 B C
AII BVI

AII2 BV CVII
AI BVII
IV VII
AIII
B
C
AI BVII
3
2
II IV VII
A 3 B C2
AI BVII
II III VII
A 4 B C3
AI BVII
III IV VI
A2 B C
AII BVI

, ( ),

. [26].

,
. .
. , , , , , , , . .

, , . ,
, , , , ,
, ,
, , .
: (. 3.1). ,
, :
1. : , ,
, ,
.
2. : .

88

3.

. 3.1. .

3. : , , , .
4. : , ,
.
, ,
, . , , , . , ,
.
,
, , , , , , .
,
, , ,
.
. .
- - .

.

3.1.

89


,
, .
, ,
, .
, .

3.1.
3.1.1.
, .
.
,
,
. VA , VB , ... ,
A, B ... . ,
GaAs VGa VAs Ga As, . . , .
(), ( ). Ai A .
() .
,
, ,
.
,
- , .1
( + ),
,
.
1 . , [27].

90

3.

. 3.2. .

, . , , (- ). , ,
. .
, , . 3.2.
, E B D.
,
.
. VA  VA + h+ .

Ai  A+
i +e .
, ,
, , : ,
.
.
,
, , ( 1.52 ) ,
. ,
.
, ,
1/r 3 ,
r .

3.1.

91


. , , ,
. , .

, .
.
- .
( )
, (
)
(
). , ,
.
, .
,
,
,
. ,
, .
, , Bi2 Te3 .
.
(. . 4). (
), .
, GaAs Ga As, As Ga , , As.
, Ga
As .

92

3.

, .
,
.
, ,
.

( ).
, B ,
A+ ,
, . ,
.
, (. ).

1. . , , () . T > 0 K
, , . .
,
G = H TS ( G
, H , S ). , , ,
T > 0. N
, 0 K , G0 . N
N N (N + N ) . N
G
G = G G0 = H TS = NW T (N S + S ),

(3.1)

W ; S
, ,

3.1.

93

. 3.3.
.

; S ,
. W S ,2 , , W > S 68 .
S
S = k ln(P1 /P) = k ln

(N + N )!
,
N !N !

(3.2)

P1 P , N N (N + N ) N
N (P = 1)
, . ,3


N
(N + N )!
N
= k N ln
S = k ln
+ N ln
,
N !N !
N + N
N + N


(3.3)
N
N
+ N ln
.
G = N (W TS ) + kT N ln
N + N
N + N
, . 3.3 , G
,

[17].
2

, N (3N )
S = 3R0 [ln(kT/h) + 1], , R0 , k .
1 , S = 3R0 ln(/1 ). S > 0, 1 < S < 0, 1 > .
( ) ,
, S > 0 G .
3 N ,

, ln N ! N (ln N 1).

94

3.

N.
G/N = W TS + kT ln[N. /(N + N. )] = 0

(3.4)

, N N. S ,
N. = N exp(W /kT).

(3.5)


:
N. = (N Ni )1/2 exp(W /2kT ),

(3.6)

N. , N
, Ni
, W , k
. 1/2 , :
.
,
,

( ).
, ,
( ) . .
,
. ,
.

, , .4
2. .
, (.
).
4 , ,
.

3.1.

95

3. . (, 100 )
. [28].
6 30 , . ,
20.4 . ,
-,
.
4. . ,
, . , ,
. ,
() .
, , ,
- , - ,
.

,
( ),
. .

3.1.2.
, .
,
. , ,
, .
. (. . 6

96

3.

. 3.4. .
.

. 9), .

, ,
, ,
. , , , , ,
.
. .
,

( ) ( ), (. 3.4,).
,
, . AD,
, .
, AD, , . 3.4,. ,
, , . ,

3.1.

97

. 3.5.
.

, . , , ,
AD,
. .
. , (. 3.4,)
, ; , ,
, .
,
,
, ,
,
AD (. 3.5 . 3.6).
. ,
.

(. 3.6). . ,
,
AD,
. ,
, .
,
. , -

98

3.

. 3.6. .
.

, ,
(
) ,
. ,
, . . 3.7 .

( ) b. ,
.
,
, . ,
, A-B-C-D-A , A
(. 3.8).
,
, . b, , ,
.
, . , . 3.8 (
),
.
-

3.1.

99

. 3.7. a , . .
; , ; ,
.

. 3.8. .

100

3.

, b
( ),
.
.
[27].
. an <uvw>, <uvw>
, a
, an (u2 + v2 + w2 )1/2 .5 , ,
<110>

a 2
,

a2 <110>.
2

. ,
b . , b
.

.
. , , ,
.
() . [27].

1.
, ,
. , ,
b . ,
:
,
, , b1 + b2 + b3 = 0. ,
,
.
5

. [27].

3.1.

101

. 3.9. , .

2. , .
.6 ,
, ,
E Gb2 , G , 45 [29]. ,
, (E 0.1E ),
, , ,
.
, .
3.
,
,7 . . , 109 / 103 /
.
,
.
.
, .
.
,
6 (510 A),

, ,
.
7 , .

102

3.

, . , ,
(. 3.9) , ,
. , ,
, , .
, ,

, , .
.
, ,
, , ,
. , , , .
, ,
( ), ( ) ,
(. 3.10).8 . 3.10 ,
, . ,
, . .
. .
, ,
(. . 7). ()

. (. . 8), (
8
.

3.1.

103

. 3.10. . A , .

)
.
, . ,
. ,
, , ,
.
. , (
).
4.
,
(, ), . , () , ,
() () (
). , , , ,
, .
, -

104

3.

, , : , ,
. ,
,
: , , , .
5. . , ,
. ,

, . b ,
. , . 2,
.
, , . , ,
,
. , ... (a/2)<111>,
... (a/2)<110>.
.
.
(a/2)<110>.
<110>.
- <110>. 9 ,
, (. . 3.1). .
, <110> (. 3.11). (a/2)<110> BC .
,
. ,

3.1.

105

. 3.11. <110>.


<110> <110>. .
. 3.1 , : (
) (. 3.12,), {100} (
) (. 3.12,) 60- {111} ( 60 ) (. 3.12,). .
, NaCl,
[27].
6. 60-
, , ,
() ,
.
.
. 0.7 1.2 [17],
, ,
, .
7. .

.
, ,

.

106

3.

. 3.12. : ; 60- {111};


{100}. a a ; b .

BC
AB, AC, DB, DC
AD

BC + AC, BC + BA
BD + BC, DC + BC
AC + AB, DC + BC
AD + BD, DA + BA
AD + CD, DA + CA
AB + DB, AC + DC
AC + DB, AB + DC
AD + BC, AD + CB
AC + BD, AB + CD

1
2
3

7
8
9a
9

5
6

NN

{311}
{110}
{110}
{100}
{100}

73 13
54 44
90
45
45

<211>
<211>
<100>
<100>
<100>

2.45 0.82
1.63 0
2.0 0
2.0 0
2.0 0

0.82
1.63

0
1.41
2.83 0

{111}
{100}

{111}
{111}

30
90

0
60
90

<211>
<211>

<110>
<110>
<110>

3.1. [27].

3.1.
107

108

3.

: I (); II ( ); ().
1). I .
r0 r.
r = r r0 > 0 ,
r < 0 .
. , ,
, ,
, .
. EI
,
: EI Gbr03 r sin /r0 R,
G , R sin
( ) [17]. r/r0 , :
.
0.5 .
. , 35
EI kT. , ( ) . ,
.
2). II ,
, , . EII :
EII (G)b2 /R2 , R [17]. ,
; EII 0.2 .
.
3). .
. n-

3.1.

109

. E fe2 /a, f
; a ; e . E
0.02 .


(, ),9
, , , .
. , , ( ), .
.
:
)
( );
) ( ).
, . .
(
), .
,
. , .

. , , , n- 9 . ,
. . [16].

110

3.


. , , ,
, .
, ,
, , ,
p n-.
.
.
, , . ,
(. . 3). , ,
.
(.
. 8), , .
.
(. . 4).


. ,
, .
.
, ,
.

, .
.

3.1.

111


,
.
. .
, , ,
.
,
, .
.
,
, .
,
, .
, , .
, .
, . ,
.
, , ND = 104 106 2 .
103 104 2 .
, ,
,
AIII BV (. . 7).

3.1.3.

, (
) .
. , , -

112

3.

. 3.13. .

, .
. ,

(25 ),
(). . 3.13 , , , , . , , D b/
(b ) .
,
, [27]. ,

,
D.10
, . ,
> 1012 10 , ,
.
( ) (
).

3.1.

113

. 3.14. .

.
(. . 4).
.
, . ,
,
, . ,
- . , , ...
. {111} ABCABCABC....
... {111} ABCA BCB ACBA....
C . . 3.14 .
,
.

.
,
,
. . ,
, ,
.
,
(. . 6).
ABCABCABC...

114

3.

ABCAB CAC ABCABC,


... .

;
. . ,
, , , , ...
{111}. 3.15 B
(111), ... .
, , (a/2)<110>;
. (a/2)<110>
(111) <121> . , , ; ,
, , . ,

3.15. , AA
, . , b1 , b1 ,
,
b1 . b2 b3 ,
, , A C C A. ,
A A A C A, {111},
.

3.1.4.
.
, , , . ,
,
, , .

3.1.

115

. 3.15. b1 = (a/2)<110> b2 =
b3 = (a/6)<112> (111).


.
.
,
, .
. , . 11 , ,
.

(. . 6).
, ,
. ,
, . ,
, .
,
(. . 9).
.
.
11 , , 0.2%
.

116

3.

.
.
. ,
. : ,
(, Pb PbTe),
,
(, CdTe PbTe, ).

3.2.
, .
,
.
. ,
, . , ,
,

(. . 7).
. , .
,
12
0 K
. ,
12 () ,
. . , In PbTe , 0.07
.

3.2.

117

.
,
.
,
. , , , ,
.13 , , ( , ), . n-.
, . , ,
. ,
, ( ,
), . p-.
,
, , , . ,
() ,
;
, .

, . .
Ei ( ) (
13 ,
np = n2i = p2i .

118

3.

) . 14
,
. ,
[6], , ,
,
, . ,
.
, - .

.15
. , ,
.
( ), (
). ,
.
,
. (1955 .) , . ,

, .
. ,
, , ,
.
, 14 , ,
[6].
() .
15 :
[6].

3.2.

119

, .
,
.
: , , , .
,
, .
, , , , - .16
, ( ) , - .
, ,
. , ,
,
. ,
, .

, .

.
- , . ,
, Z0 , ,
. d- f-. . , ,
. f-
.

. ,
.
,
.
.

.
- . 16 , , , , , .

120

3.

,
. A III BV .
CIV , AIII , ,
BV . V = 1, .
, , ,
, ,
, , .
,
, . ,
,
( ) () ,
. , ( )
- , [30].
, .

. , [31].

. , ,
, , ,
. ,

.
, ,
(, ;
).

3.2.1.

. ,
-

3.2.

121

3.2. VA, IIIA Li Si Ge [32].

Ei , Ei ,
Li
0.033
B
0.045
Al
0.057
P
0.044
Ga
0.065
As
0.049
In
0.16
Sb
0.039
Tl
0.26
Bi
0.069

Ei ,
Ei ,
P
0.0120
B
0.0104
As
0.0127
Al
0.0102
Sb
0.0096
Ga
0.0108
In
0.0112
Tl
0.01

.

IIIA VA , ,
. VA
, .
IIIA , . ,
VA , IIIA , .
VA IIIA , Si Ge . 3.2.
, IIIA VA ,
. ,

0.01 ,
[6] [32].
, IIIA VA .
:
, (. . 3.2). ,

122

3.


IIIA VA , , .
In Tl, , ,
.
. ,
( In Tl) , , , .
IIIA VA Si Ge , , ,
, ,

. , ,
, .
.
, IIIA VA
, . ,
, , .
,
. , ,
. , -, , Si, P,
, , , .
,
, , (, 10 K )
( , . . 7, ,
. . 8), , , -

3.2.

123

. 3.16. Si. +
[32].

(
1021 3 ) . .
IVA . I, II, VI ,

() . , . Cu
, Ge. , ,

, [17].
I, II, VI
. , , , , (
), ,
. , .
, .
. 3.16 . 3.17, .
, ,
Si Ge, , , I, II (

124

3.

. 3.17. Ge. +
[32].

ns2 )
, VI
.
.
, , ,
() . , Zn (IIB )
Ge (. . 3.17). Zn ,
Ge ,
, . ,
(VIII , ) , (I , 1) Si
. , Li (I ) ,
, . Te (VI ) ,
Ge,
. , . 3.16 . 3.17.
. 3.2 , II III
, , . -

3.2.

125

Cu, Ag Au (IB ).
, VII, VIII
5d- Si Ge , (. . 3.16 . 3.17).
.
, Si Ge, , ,
.
. , Fe Mn Ge
; Si,
,
[32] (. . 3.16 . 3.17). ,
, . , ,
, , Ni . Ni
,
[31] [32]. , -,
[32].
, Si Ge.
, , d-,
,
, ,
.
[31].
, ,
d-
d- , .
d-,
. d-
. , . ,
d- , , [33],
[34], . -

126

3.

, , ,
4s- ( 4) 3d- d-
; d-
4s-
d-,
d-: 3d n 4sm (
) 3dn(4m) ; 3dn 4sm ( ) 3dn+m .

AIII BV AII BVI . : 3dn 4sm ( ) 3dn(Vm) ;
3dn 4sm ( ) 3dn+m , V
.
(),
,
, , . - (, ), ,
d-. , ,
. , . AIV , AIII BV AII BVI
: . d-
[30].
d- : , .
:
,
, .
d-
[31]. d-
, d- . , ,
, ( ) dn
( ) ( ) . ,
,
p- d- . , Co, Cu
Ni, Si, , Fe, Mn, Cr,
V Ti Si. ,
Co Si, AIII BV GaAs
GaP.

3.2.

127

(. . 8) , n- p- , ,
. , , ,
. Co (. . 7) (
), , -, Co, d 5 .
n-Si Co
d6 , p-Si d4 .
d- Co (d5 ) ,
. , ,
.
, , Si
.
.

Si Ge. : . ,
,
.
(. . 8). Cu Ge
, d-
(. ). , Ge,
; Cu0 Cu+ .
. ,
(. . 3.17).

(. . 8)
Ge(Cu), , Cui ,
. -

120

3.

,
. A III BV .
CIV , AIII , ,
BV . V = 1, .
, , ,
, ,
, , .
,
, . ,
,
( ) () ,
. , ( )
- , [30].
, .

. , [31].

. , ,
, , ,
. ,

.
, ,
(, ;
).

3.2.1.

. ,
-

3.2.

129

. 3.18. n
p Ge(Zn); Ei ; E1
E2 , . Ge(Zn)
A1 () Ge(Zn) A2 , NZn < Nd < 2NZn ().


(Nd = Nd0 Na0 )
NZn  Nd . n(T ) ( 1 . 3.18),

Ei
= 0.01 , Ei
, p(T) ( 2 . 3.18)
E 1 = 0.03 .
p2 /p1
= 2 , , -,
, , -, . , N Zn  Nd ,
A1 , A2 .

p2 /p1 , , p1
= NZn , p2
= 2NZn .
A 1 ,
Zn (, ) Nd < Nd < NZn .
. p(T) ( 2 . 3.18) ,
:
p1 = NZn Nd ; p2 = 2NZn Nd ; NZn
= p2 p1 ;
(3.7)
Nd = NZn = p2 2p1 ; Nd /NZn = (p2 2p1 )/(p2 p1 ).
A 1
- 
0.03 ( 30 ). T 50 .
A2 Zn (
 0.09 ) NZn < Nd < 2NZn . A1
, , , A2 E2
. , p(T) ( 3
. 3.18)
p3 = 2NZn Nd ,
(3.8)

130

3.

, p(T )  p3 ,


(2NZn Nd )Nv
E2
p(T) =
exp
.
g(Nd NZn )
kT

(3.9)

A2 ,

= , . NA0 = NZn
NA = NZn
2
2
, . (3.8) p(T) ( 3 . 3.18)
= /N . ,
NA /NA0 = NZn
Zn
2
2
2 ( A1 ),
p(T) (3.9),
, g. ,
-.
, ,
. , p(1/T)
A1 ,
A1 . p-, , .
g
= 2 ,
.
- rx , RH n(p) = rx /eRH , . , B, 2 B2  1, -
[6]. , 2 B2  1, - rx = 1. , RH (B)
rx (B), rx . RH (B)
, , -
.



, , , ,
.
IVA Pb, Sn C. ,

.

3.2.

131

, , , , .
Ge Si , (.
. 7).

H2 - . Ge3 N4 , Si3 N4
( ()). Si ,
, .
10.6 [32].
, ,
; .
Si Ge ,
,
Si(Ge)Ox . , , , -, .
Si(Ge)Ox . (), ( 1018 3 , . . 5).17
SiO2 ,
. , (, ), ()- .
,
( Si(O) ).

. ,
(300500 C) Si SiO 4
, 430 C;
17 9 ,
SiO.

132

3.

. 500 C SiO4
,
1200 C.

3.2.2.

AIII BV . AIII BV , ,
,
- . ,
.
,
, ,
, ,
. , X
, , :
.
. 3.19
GaAs [32].
II VIA AIII BV , , , - A, - B. II ,
VIA . ,
InP GaAs In Ga, ,
() .
GaP GaAs P As, ,
(. . 3.19).
AIII BV , , .
VIA AIII BV .
, GaAs. ,
GaAs As [32].
, -

3.2.

133

. 3.19. GaAs. +
[32].

,
. ,
.
IIIA VA , A III BV , . ; ,
, ( ,
, GaAs GaP).
IB (Cu, Ag, Au), AIII BV ,
. . , Cu GaAs.
GaAs , .
Ga, Cu
GaAs, ,
[32]. Ag Au GaAs
(. . 3.19). IA AIII BV ,
,
. , , InSb
, GaAs

134

3.

, . , ,
.
( 500 K) , p-
Li GaAs
(. . 3.19).18
VI, VII VIII AIII BV , ,
, .
AIII BV
. , . , GaAs (.
. 3.19) Mn, Co Ni, +2,
Ga .
Fe Cr +3, +2 ,
, , GaAs
. +4,
GaAs.
AIII BV
d-,
, ,
,

, IVA .
d- AIII BV (. ),
GaAs GaP [31].
A III BV
GaAs.

18 Li + . Li+
V . Li+ V , Li , Li2 , Li+ Li2 , Li+ , Li Li2
. GaAs ,
Li +
. ,
, p- Li GaAs.

3.2.

135

. ( ) Cr0 d3 . d2 ()
d4 (). , Cr GaAs ,
,
, . , ,
,
, .
. Cr3+ (d3 ),
Cr2+ (d4 ). , ,
Cr3+ (d3 ),
Cr4+ (d2 ).

d 3 .
- AIII BV IV GaAs.
IV , GaAs. .
1. . Sn [31] (. 3.19). Si Ge GaAs.
GaAs(Sn) n-
. , , -,
, As .
119 Sn
GaAs.
2.
.
Pb GaAs [32]. GaAs (. 3.19).
3. ,
.

Nd /Na ,

136

3.

, .
, Si Ge GaAs [31]. Si Ge,
, ,
, .
, GaAs,
. , GaAs .
GaAs (. . 6)
.
GaAs ,
(. . 9)
,
p n-. , ,
( 6%) [32].
4. , - . ,
GaAs -

[Si+
Ga SiAs ].
AIII BV . 3 4, IVA
.
AIII BV , Ge Si (. . 5). , , , GaAs
. GaAs ,
. , () ,
, ,
, GaAs , ( 108 300 K
107 300 K ). ,
GaAs, , .
,

3.2.

137

,
. GaAs, , .
GaAs .
.
,
, , , ;
,
GaAs. ,
GaAs, .
, . , ,
( , . .). . ,
GaAs GaSb, (. ),

[Li+VGa
],
VGa

.
, Li+ VGa
Li GaAs 2
[Li+
i LiGa ], .
Se Te , .


(. ). ,
, Ge
.


. , , ,
. ( ), .
,
. , ,
. .
, , , .

4.1.

139

4.1.

4.1.1.
,
, Ge Si , , . , , .
, , .
, , .
, ,
.
,
, .
, , ,
. (.
),
. ,
, .
.
-
,
(, , ).
,
.

( ), (-

140

4.

) () .
.
,
, , ,
.
, ,
- . ,
.
,
- , .
, , , .
, ,
, .
( ).
.1 , ,
, .
, .
(. . 3).
, .
- .
, .
. , ,
1 , .
, . .

4.1.

141

. 4.1.
GeSi.

. , (H2 O) ,
. . 4.1 . 4.2 () GeSi InSbAlSb.
Ge Si, InSb AlSb, Sb, Al, In,
In Al Sb, InSb AlSb.
,
.

,
.
, .
, .
, . , , ,
,
(- - . .). , ,
[17]. -

142

4.

. 4.2. InSbAlSb.

, :
c = k f + 2,

(4.1)

c , k , f .

(, ), .
,
, .
,

.
,
( ) . c = k f + 1.2
, f = 1,
1 (c = k f +1 = 1 1+1 = 1).
, .
f = 2 ( ), c = k f + 1 = 1 2 + 1 = 0.
,
2 ,
. ,
.

4.1.

143

( ),
, ( T = const,
).
,
.
,
() .
X, T P. . , . , .
, , .
,
, .
(T X).
() . () . . ,
(P T X ).
, T X.
P T X , .

. , X,
100%. , ,
, -
, .
, , , (. . 7) -

144

4.

. 4.3. SiAu

( , , ,
).

()
( 0.1 .%)
1015 1019 /3 , 105 102 .% (. . 4.3).


, . : 1)
; 2) , ( , , ) ,
; 3) .
-
. , ,
, . . , ,
.
,
H
() V , (
) .
, .

4.1.

145

.
( , , ), .
. .

4.1.2. T X

GeSi
(. 4.1). , Ge Si

.3
AaB . 4.1, , . AbB,
( ),
. , , ,
(L + ).
, ,
. X
, T , .
,
. m , ,
, .
, m
( amb . 4.1).
, ,
3 Ge
Si. Si,
Si Ge.
, Ge Si , ,
Ge Si.

146

4.

( a XL ) ( b XS ).
,
, . : Q , ,
,
,
(. . 4.1):
QL/QS = mb/ma.

(4.2)

GeSi, , , 70% Si (Xm . 4.1). T1


(L) T1
. T1 , , Si,
L.
Si. , 3 (90% Si 10% Ge). T1 T2 ,
, . T2
. T1 T2
. (,
),
2 1, 3 4.
,
.
A B
,
, (. . 4.1 . 4.2).

, ,
1015% ( . ).
GeSi, InAsInP,
GaSbInSb, GaAsGaP, GaAsInAs, PbTeSnTe, CdTeHgTe . .

4.1.

147

. 4.4. .

GeSi -.


.
.
.
, (T = const P = const)

G = H TS = U + PV TS,

(4.3)

H, T, S, U, P, V , , ,
, , .
, G
. ,
, ,
G(T) ,
(. . 4.4). , G(T )
. T
G(T) .
, , G.

148

4.

G
. A B

,
. B A, ,
(. . 7), G ( 4) , .5 . ,
B dG/dXB . ,
,

.
.
.
,
A B.
G = H TS,

(4.4)

H = HAB (HA + HB ); S = SAB (SA + SB ); G = GAB (GA +


GB ). GAB , HAB SAB ,
A+B, ; GA GB , HA HB , SA SB
, A B
, .
G ,
:
4 :
(T P),
, [17].
5 A, , dG/dX =
B
tg = B , B B A XB , G(XB ) X. XB 0
B = 0B + RT ln XB , 0B B,
R . , 270 G(XB )
(. . 4.5,; [17]).

4.1.

149

1. , ( , ,
);
2. , R = (RA RB )/RA .

U, , , H, H = U + PV .
H H < 0.
R U , , H
, H > 0.
H
. (4.4)
TS.
, ( A B ), .
( S . ,
S. , S S. )
: S. > S. > S > S. .
, , ,
,
. ,
.
A B,
. (4.3)
S , ,
S , , ,
.
, H,
S.
, , H < 0 L, S
.
H(L) H(S) -

150

4.

. 4.5. .

T , T (A) > T > T (B); XL XS
T ,
G(L) G(S).
G(L) G(S) , [17].

. ,
. , T (A) > T (B), T (A) T (B)
A B.
1. T > T (A) H(L) < 0 G(L) G(S)
, T (B) < T < T (A) G

(. 4.5,),6 T < T (B) H(S) < 0
G(S) G(L) ,

(. 4.5,).
2. T1 > T H(L) < 0, H(S) < 0
G(L) , G(S) ;
T > T2 > T (A) G 6
. ,
, (. ).

4.1.

151

. 4.6. .

T2 , T > T2 > T (A).


(. 4.6,)
A B ,
|H(L)| < |H(S)|; T (B) < T < T (A) G

; T3 < T (B)
G(S) , G(L) ,
(. 4.6,).
H(S)
.

G(S) (S. > S. ). , ,
, . , T ,
G. = G. .
T , T < T .

, , - , . . ( ),
. -

152

4.

T , |H| = |H. H. |.
,
R [17], T , R. T ,
, ,
. , R , T ;
, R , T
.

.
, B A 25 .% B,
( )
75% A 25% B.
A B 25%, ;
75% A,
( )
. , .
, .

.
,
.

.

.

. () (
, ,
), .
. ()

= p q,
(4.5)

4.1.

153

p A, , q
, . = 1, (
); = 0, (
).
.
, , , , ,
.
.
- . ,
. () i-

i = 1 NiAB /NcA cB ci = 1 pAB
i /cB ,
NiAB
NcA cB ci

(4.6)

A B, ri ,
A B,
, N , c A
cB A B, ci i- ,
pAB
i B A, ,
i-. , 1 < 0,
, 1 > 0,
. 1 = 1, ,
.
i = 0
i ,
(
). ,
. i , ,
- . ,
(ri ) , (ri )
.
,
, . FeAl.
() 25% 50% Al,
Fe3 Al FeAl.
... .
. FeAl Al
, CsCl. , ,
... . Fe3 Al Al
;
. ... , , . i (4.6)
, , (ri )
( (ri ) ri )
[36].

154

4.

H(S)
T ,
, T < T ,
, , T > T ,
, (.
FeAl).
. , H(S) , , .
,
.
, : )
: , ; )
.
,
.
3. ,
, H . H(L) > 0
H(S) > 0, , T1 > T (A) G(L)
, G(S) ;
T (B) < T < T (A) G ;
T < T2 < T (B) G
, ,
(. 4.7,) H(S) > H(L);
T3 < T G(S) , G(L) ,
(. 4.7,).
H(S)
AA BB AB, . ,
, ,

4.1.

155

. 4.7. .

T2 , T < T2 < T (B).

G(S), S. > S. .
,
,
(1 + 2 ). ,
H > 0 G. < G. , G. > G. , T4 ,
G. = G. . H(S) , . H(S)
,
, .
,
.

.
(. 4.8).
: L, ( L + L
+ ),
+ .
A e B e . -

156

4.

. 4.8.
,
.

A c B d , Te . ced
, : c (
), d ( ) e ( ). , Te
c d : L + + . ac bd
(ac B A,
bd A B), .
0 c
L + , . , , ac,
+ ,
,
. , .

ac bd, ; .
d B .
c d Te ( ) e
c d
L + .

4.1.

157

. 4.9. InTeSnTe.

ac bd ,
.
:
1) A, B
; 2) ,
.
, ,
InTeSnTe (. 4.9) SiAu (. 4.3).
.
A ( B), B ( A)
, ,
, (
): L + .
.

(. 4.10). A bB ; A a nB ; ac nd
,
T . T :
L + + . ab -

158

4.

. 4.10. , .


( ),
a, n b.
0 a 0 c
.
, a
n, T , .
, ,
. T
b ( ), a ( ).
, n ( ).
, ,
. + ,
ac nd ,
.
, n
b, T
. L + .
bB , nB .

4.1.

159

. 4.11.
InSeGaSe.

. ,
T
. n b
nB T
.
, ,
InSeGaSe (. 4.11). (InGa2 Se3 ).
.
. : 1)
, ; 2) ,
, ( ,
, ).
1. . , ,
, ,
. -

160

4.

. 4.12. .

, (
M),
(. 4.12). ( A B),
Am Bn , :
, (
E1 E2 ):
A + Am Bn Am Bn + B.
, InAs InInAs
InAsAs (. 4.13). ,
. , ,
A B,
Am Bn .
(
, , ), ,
. 4.14.
A B
Am Bn .
, , -

4.1.

161

. 4.13.
InAs
InAs.

. 4.14. .

162

4.

. ,
,

( Am Bn ( J) GaTe3 . 4.15,,). , ,
, . ,
, .
2. . ( ), , Sb2 Te3 SbTe (. 4.16). ( ), , InAs InAs (. 4.13). AIV BVI
.
0.1 .%.

4.1.3.
, ,
, , ,
. , , , , , ,
. , ,
. , , ,
, .
, ,
. ,
.
, ( ),

4.1.

163

. 4.15. . GaTe GaTe3 .

. 4.16. SbTe Sb2 Te3 .

164

4.

, .

, , ,
. .
, ,
, , - : , ,
, . , ,
,
.
, C0 (. 4.17).
T0 a, T1 b, T2 c . .
, ,
B. , ,
. :
)
;
) .7

. ,
,8 ,
7 , . , ,

.
8 ,
.

4.1.

165

. 4.17. () () (ad, cq bf

C1 , C2 C3 , ; C2
Te C2
; , C2 , , ,
, , C2 n . ,
C2 , , C3
e, f , , -
fm, . ,

+ ).

166

4.

, ,
ad (. 4.17,). , T1 b
b a f, T2 k . .
T -
( pd),
T as rs. ,

T , T , ,
as, C0 . as .
,
B.
, , .
, .
.
. , , :

, ,
()
.
, ,
, ,
, (. . 5).
, , ,
.
(. . 4.17,).
. , .
, ,
, , -

4.1.

167

, .
(),
; ,
,
. ,
, .
, , .
.

.
, , ,
. , .

4.1.4. P T X
P T X .
P T X , ( )
, ,
, .
, ,

1 + 2 (.
. 4.18,). . 4.18, GaP,
GaP.
. T X
P T X .
P T X .
P T X -

168

4.

. 4.18. P T X ; P T X
GaP GaP
.

P T, T X P X,

(. . 4.18,).
,
P T X , P 9 P
P P . ,

( ),
.
- ( ),
, .
P T X
( ). ,
, . ,
AIII BV , , AII BVI , , AIV BVI , , . .
,
9P
, . P
.

4.1.

169

- .

(. . 3). , ,
.
-
, , , ,
. . 3,
,
.
A B ,
, .
. 10
, , . P T X
.

, , , , , InAs (
100 20% [17]).
.
. .
10 , , AIII BV ,
, AIV BVI ,
,
.

170

4.

. 4.19. P T P T X PbS. 1
; 2 PS2 PbS+S2 ; 3 PS2 PbS+Pb.

T1 , . . As. T2
,
T1 .
, .
. 4.19 P T PbS.
, ,
; .
( ) ( n-)
( p-),
. n = p PS2 , . ,

4.2.

171

. ( p-) .
. 4.19, ,
.
. , , n = p.
,
, .
, .
,
.
, ,
. .

4.2.

.
.
.
.

.
, .
:
1) ; 2)
; 3)
. ,
. -

172

4.

,
.
.
.
, , ,
() .

, . , () ,
,

.
. , ()
, ,
.

F. ,

. , ,
. ,
.
:
F = Fv + Fs ,

(4.7)

Fv = Fv (S) Fv (L) Fs = Fs (S) ,


.
.

4.2.

173

. 4.20.
T1 > T2 > T3 > T4 .

4.2.1.

.

, , . ,
,
. , , ,
, ( ).
.
.

V S,
.
Fv =

V 
(F (S) F  (L)) Fs = S,
M

(4.8)

M , F  (S) F  (L)
.
, F = Fv +
Fs .
Fs ,
.
Fv T

174

4.

T . T1 > T (. . 4.20) F  (S) > F  (L) , , F > 0


r. T T
F(r) , F . T3 < T Fv < 0, F  (S) < F  (L).
r F Fs . r Fv , Fs ,
r F(r) . ,
F(r) T < T .
, () , ,
T < T ,
, r r ,
r > r .
F . F r . ,
r , , S = KV 2/3 ,
K , .
V 
(F (S) F  (L)) + KV 2/3 .
(4.9)
M
F
F V .
,
(4.10)
F = S /3.
F =

, , , . .
a = 2r (V = 8r 3
K = 6)
r =

2M
.
[(F  (L) F  (S)]

(4.11)

, , T = T T . ,
F  = F  (L) F  (S) = [U  (L) TS (L)] [U  (S) TS (S)]
= U  (L) U  (S) T[S (L) S (S)] = L LT/T ,

(4.12)

4.2.

175

U  (L) U  (S) = L ,
S (L) S (S) = L/T , T = T F = 0 U  (L) U  (S) =
T [S (L) S (S)], (4.11)
r =

2MT
.
LT

(4.13)

, ,
.
. r > r (
), r < r . ,
.
, ,

P ( P0 T).11
,
,
, r :
4r 3
R0T ln(Pr /P0 ) + 4r 2 ,
(4.14)
F = Fv + Fs =
3M
Pr r T, P0 T, M
, R0 .
(4.14) , Pr /P0 < 1, F , , , . Pr /P0 > 1,
r F ,
r F < 0
( ). , F (
),
r =

2M
.
R0T ln(Pr /P0 )

(4.15)

11
, .

176

4.

r < r , r > r .
, ,
,
.
: P = P P0
; = P/P0 ; = P/P0
. , , T = T T.
, , , .
W exp(F/kT).

(4.16)


, (4.13) (4.10), (4.10) (4.16):


2
323T
M2
W exp
.
(4.17)
(LT)2 kT
:


163 M2
.
(4.18)
W exp
3kT(R0T ln(Pr /P0 ))2
,
, .

. V (3 1 ) ,
.

V . , ,
. , n ,12
12 .

4.2.

177


:
V = n ,

(4.19)

,
. , ,
,
.13

= ac qS ,

(4.20)

q = P/(2mkT )1/2 m
P T , S = 4r 2 , ac ,
( ) [37].

(4.21)
V = ac qS n .
, .
.
n n1 exp(F /kT), n1 = P/kT ( , ).
,
( ), .
V ,

A + Ai1  Ai ,
(A , Ai i ).

,
, .
(4.21) Z
,
13 , , .
.

178

4.

. 4.21. ( ) .

Z = (F /3kTi2 )1/2 ,
.

(4.22)

:
V = 4r 2 (ac P/(2mkT )1/2 )(F /3kT i2 )1/2 n1 exp(F /kT ).

(4.23)

, , ,
.
(. 4.21).
.
. ,
,
(. 4.21). ( T )
, ,
T = T ,
0 (. 4.22). ,
, ,
( ),
. T
, T , T

4.2.

179

. 4.22. .

(. 4.17).
T ( ) ,
,
.
T ,
,
.
,

. .
exp(Q/kT), Q
, .

V exp(Q/kT) exp(F /kT).

(4.24)

, F , .
, Q, , .
, (. 4.22).
(, ) , . -

180

4.


.
. T 0.2T ;
= Pr /P0 10.

. ,
. , , ,
(), . ,
, :
. ,

, - . .

, .
, , .

, .

.
,
, -

4.2.

181

, r, (. 4.23).
: sv = cs + cv cos ,
sv , cs cv , .
r , , Fv Fs .

Fv =

4r 3 rho (2 + cos )(1 cos )2


Pr
R0T ln
.
3 M
4
P0

(4.25)

:
Fs = i si = cv scv + cs scs sv ssv
(1 cos )
+ r 2 (cs sv ) sin2
= 4r 2 cv
2
(2 + cos )(1 cos )2
,
= 4r 2 cv
4

(4.26)

)
4r 2 cv (1cos
, r 2 sin2 2
, cs sv = cv cos .

[37]:

F = F

(2 + cos )(1 cos )2


.
4

(4.27)

(4.27),
, . , r
, .
= 180
, , . , -

182

4.

. 4.23. : = 180 ; 0 < < 180 ;


= 0 .

,
(. 4.23,).
= 0 .
, ,
(. 4.23,).
,
(, ).

= 0. . (4.27) , F
,
(4.27)
.14 , ,
, ,
.
0 < < 180 . , . r F ,
, , ,
.
,
14 F
s
r [37].
r 109 . F
1/[R T ln(P /P ) ( + )].
, F
r
cv
cs
sv
0
0

4.2.

183

. 4.24.

.

. 9,
.

4.2.2.

, .
( ). ,
, , , ,
.
: , .
- , (. 4.24). , (100)
, (111) .

, (
) .
, (. 4.24). , ,
, . -
, .

184

4.

. 4.25. -
(. 1), (. 2) (. 3).

(. 4.24).
.

, . .
, , .
,
, ,
,
, .
. ,
. , ,
(. 4.25, . 3), .
(. 4.25, . 2) , (. 4.25, . 1) . , ,
,
, . , ,
. . , ,
, , -

4.2.

185

. 4.26.
, .

, . ,
, . ,
. , ,
, , exp(w/kT), w
, .

. ,
.

.
, .
() (),
(), . -- , ,
.

. ,
, ,
, -

186

4.

. 4.27. , .

. ,

(. 4.26),
. . - .
- (
). , ,
. ,
, ,
.
,
.
.

, .
, , ,
. ,
.
,
.
-

4.2.

187

. , -, ,
. ,
. .
,
, .
,
, , .
.
- . -
, .
,
, - . .

- . ()
. , , , .
(. 4.27), , ,
,
. , ,
,
.
.

(). .
, ,
,

188

4.

. , ,
.

,
. V - :
V (P)2 exp(E/kT),

(4.28)


V P exp(E/kT),

(4.29)

P , E .
. ,
.
.
, , , ,
( ) ( ).
- ,
() .
.
, .
, , ,
. .

,
( , , , . . ).
, , -

4.2.

189

. 6, .



5.1.
, . 3, .

. ,
, , , ,
.
. , , , , - . ,
, .

, - . -
, . , ,

5.1.

191

, .
. , , ,
. , .
, , .
.
,
. , , : ( ,
2 105 1.0%), ( , 1 105
0.4%), ( , 5 106 0.5%)
( , 0.05%).
A, B C. A ,

. B C
.
, 100%
.
,
,
. ,
1 104 % ( ).

: (
) ( ). .
.
(n)
() , : 1) 1000 () , n%f (n promille); 2) 106 () , n ppm
(n parts per million); 3) 109 () , n ppb (n parts per billion).

N .
. . , , . , , . , ( ) ( ) ,

,
, .

192

5.

, . ,
,
( , , . . 6), , Ge Si.

. , ,
() , .

,
(. . 5.1).

,
.
,
,
. ,
.
Ge Si .
,
.


. Ge Si
,

Ge Si. ,
Ge Si (0.1 .%). , ,

, ,
. -

5.1.

193

. 5.1.
GeSb.



: .
,
, . . 5.1 : GeSb.

. , ,
, ,
:
L S
, L S
(. 5.2). :
1) L S , (. 5.2,); 2) ,
(. 5.2,).
, , -

194

5.

. 5.2.
, S
L TA: , ; , .

:
CS , CL (. 5.2). ,
, CS CL
(. 5.2,), , ,
CS > CL (. 5.2,). ( ),
( ).
, , ,
. ,

,
(. . 4).
,
. .
- -

5.2.

195

(,
, ,
). , ,
,
.
,
, .
,
,
, , .
, , . ,
. ,
, ,
.

5.2.
K,

:
K = CS /CL.

(5.1)

K 1. , K < 1,
. ,
, K > 1.
. K 106 10. K
(
, . .). K .

196

5.

5.2.1.
K0

. , ,
,
. ,
CL, ,
CL = K0CS .
. 5.2, L S
K0 ,
(
, CS CL
).
, S L
, K0
.
K0 , .
K 0 (K0 > 1
K0 < 1),
.

(,
).
K0 = CS /CL , , . p i

X0 1 (. 5.3; (. )).
Ni = CS
1 .

5.2.

197

. 5.3. ,
X0 .

|Nd0 Na0 | ,
, ,
(. 5.3). ,
, , (n0 p0 )
(n p) . ,
Ni
:
1. n-,

Nd = n n0 ; Na = p + n 0 .

(5.2)

2. p-,
Nd = n + p 0 ; Na = p p 0 .

(5.3)

CL , VL pi . VL


(, Ge
18 106 , 5.5%; Si
12 106 9% ).
Mi , , NA , NApi /Mi

198

5.

.
CL = (NA pi )/(MiVL ),
K = CS /CL = (Ni MiVL )/(NA pi ).

(5.4)


: 1) CS = Ni , ( );
2) K = K0 , K V
( V < 1 /)
.
K0 Ge Si.
. 5.4 . , Ge Si B K0 > 1;
T. , Ge. rk , Ge,
. ,
K0 rk .
K0 < 1 , , T
, T .
Si , K 0
, , . K0 1
, Si.
, K0  1 Ge Si ,
T , .
Au (T = 1063 ) Ge. , ,

. GeAu,
. 5.5. , Au
073% T 365 , ,
TGe , .
Ge (365 )
, . 5.5 -
Au Ge (
). , Au
Ge 1.51016 3 , 4105 .%
T = 921 . Au Ge , K 0
, . 5.4, 10 5 .

5.2.

199

. 5.4. Si
() Ge () [32].

200

5.

. 5.5.
GeAu.

, , K0 ,
.
, (Fe, Co, Mn, Ni) Ge Si K0 105 106 ,
, , .
, Au Ag,

. .
, .
K0 , Ge Si,
K0 > 1 .
, . ,
.
104 105 %.

(. ). , ,
,
- ( ). , ,

5.2.

201

. 5.6. :
; .

AII VI , AIV BVI . , ,


(,
, . . 4).
,
(, ). ,
,
.

5.2.2.
,
,
. , , . ,
,
. CL, , (. 5.6,),
CS = K0CL.

202

5.


, . K0 < 1. V
, , ,
,
. , ,
,
(. 5.6,). K0 > 1,
.
,
0 < 1, , 0 > 1.
CS CL(0). CL(0),
, ,
CS CL
K:
K = CS /CL,

(5.5)

CL .
K K0 . ,

.

:
(5.6)
dC/d = w grad C + D2 C,

w , D ,

.
, , . , .
:
(5.7)
dC/d = wx dC(x)/dx + Dd2C(x)/dx2 .
D = const ,
, dC/d = 0. (5.7) :
Dd2C/dx2 wx dC/dx = 0.

(5.8)

5.2.

203

wx
V , wx = V ;
CS , ( x > ) CL
; CL(0) x = 0.
,

. ,
V [CL(0) CS ] + DdC/dx = 0
C = CL

x = 0,
x = .

(5.9)

(5.8) (5.9) x = 0
:
 
V
CL(0) CS
= exp
.
(5.10)
CL CS
D
K0 = CS /CL(0) K = CS /CL V /D = , , :
K(V ) =

K0
.
K0 + (1 K0 ) exp()

(5.11)

, K
V , D. D (
) 105 104 2 /, 1 103 ; V
13 /.
, . . 5.7 K
K0 . , K 1
K0 . , ,
K K0 .
, K K0 , .
, .
( K0 < 1) , ,

204

5.

. 5.7. K
= V /D
[37].

, , K,
K0 .

5.3.

.
, , ,

.
, . , K,
(K > 1), , (K < 1). ,
, ; .
, ,
: . ,
, -

5.3.

205

. 5.8.
.

. 5.9.
.

.
, ,
(. 5.8).

,
. , , , . . 5.9 ( .
. 6).
, . , (. 5.10).

.
,
.
-

206

5.

. 5.10. .

,
. (
) .

.
:
1.
,
(5.12)
DS = 0.
2.
,
(5.13)
DL = .

.
3. ,

K = const.
(5.14)
,
K . , K
( (5.11)),
K = const
:
V = const.

(5.15)

4.
, :
L = S = .

(5.16)

5.3.

207

5. .
, .

5.3.1.

,
.
VL
(. 5.8), CL CS
. K < 1.
,
C 0 .
,
dVL . ,
, CS dVL .
(CL CS )dVL.
:
CL(VL ) CS (VL )
dCL(VL ) =
dVL .
(5.17)
VL
CS CL , K = CS /CL,
CL KCL
(1 K)CL
dCL =
dVL =
dVL .
(5.18)
VL
VL
,
. :
CS |VL =V0 = KCL|VL =V0 = KC0 ,

(5.19)

V0 .
(5.18) :

VL dVL
V0

VL

1
1K

C
S /K
C0

dCL
CL ,

CS = KC0 (VL /V0 )(K1) .

(5.20)

208

5.

. 5.11.
K
,
(L ) [37].

VL /V0 ,
CS (VL ), g, ,
g = 1 VL /V0 ,

(5.21)

CS (g)/C0 = K(1 g)(K1) .

(5.22)

K . 5.11. ,
. (K < 1)
(K > 1) . , K < 1 CS (g)/C0
g 1 ,
C0 ,
(5.22) , .
, K = const,
(5.22)
.
. K , -

5.3.

209

. .
- .
.

5.3.2.

(, ) ,
.
. 5.10. : .
, ( K < 1), .

, ,
,
.

,
(5.22), l
: l = const.
,
, .
.
L, S
C0 .
x (. 5.10).
. CL(x).
.
dx, ,
dML = KCL(x)S dx.

(5.23)

210

5.

. 5.12. K , , [37].

, , ,
dML = C0 S dx.

(5.24)


dx
dCL(x) =

C0 KCL(x)
dML dML
=
dx.
lS
l



1 l
CL(0) =
C0 (x) dx = C0 .
l 0

(5.25)

(5.26)

(5.25) (5.26)
:
(5.27)
CS (x) = C0 [1 (1 K) exp(Kx/l)].
K . 5.12 ( 2 CS (x)/C0 ).
2 x/l.

5.3.

211

. 5.11 5.12, x = 0 CS (0)/C0


,
VL = 0. x, -
, CS (x) . x l/K CS (x) = C0 ,
.
CL(x) = C0 /K.
, K < 1
, l.
. , l = 0.1L, K < 1
,
x < 0.9L,
. (5.27)
, ,
( 0.9L < x < L) .
(5.22),
C0 ( ) CS (L l), (5.27).
K = 10 l = 0.1L ,
x < 0.9L, (5.22).
K > 1.
(5.22),
, , (5.22).
. dx n-
CS(n1)(x+l), ,
KC L(n)(x). ,
C (n1)(x + l) KCL(n)(x)
dx
(5.28)
dCL(n)(x) = S
l
,
S,
dC (n)(x) K (n)
K
+ C (x) = C (n1)(x + l).
(5.29)
dx
l
l
,
(L nl) (

212

5.

).
(L nl). ,


(5.29) :
  x

K
C (n)(x) =
C (n1) (x + l) eKx/l dx + const eKx/l .
(5.30)
l 0
:

K l (n1)
C (n)(0) = KCL(n)(0) =
C
(x) dx.
l 0



 l
x
K Kx/l
(n)
(n1)
Kx/l
(n1)
C (x) = e
C
(x + l) e
dx +
C
(x) dx .
l
0
0

(5.31)

(5.32)


n- . (5.32), , C (n) (x), C (n1)(x), C (n1)(x + l),
C (n1) (x + l) C (n1)(x) (.
. 5.13). ,
. n C (n)(x)/C (n1) (x) 1, . ,
,
.

. Ck (x).
, ,

1 x+l
Ck (x) dx.
(5.33)
CL =
l x
x KC L,

K x+l
Ck (x) =
Ck (x) dx.
(5.34)
l x

5.3.

213

:
Ck (x) = A exp(Bx),

(5.35)

A = C0 BL/(eBL 1),

(5.36)

B
K(eBl 1) = Bl.

(5.37)

, l = 0.1, K = 0.1. B = 36, Ck (0)/C0 = 1014 .


l = 0.1 K = 0.01 B = 64, Ck (0)/C0 = 1026 .
,
. (5.35) .
, , l.
, , . C n (x)
[38], . 5.13
.
, Cn=10 (0)/C0 . ,
l
, l . , l 0.1L.

5.3.3. .


, , , , .
, .
K.
K K0 .

214

5.

. 5.13. K = 0.1 l = 0.1 n


(n = 10) [38].

( ). , ,
, 13 /.
,
10 (. . 5.13),
.
. ,
, , , , , .
, 0.5 ,
,
. .
.
, , .
,
. -

5.3.

215

, , ,

.
1018 3 .
, .
.
. 6.4,.
, , (1016 3 ). , Si,

Si. , ,
Si . , , -
.
n(p) = |Nd Na | < 1012 3 , Nd Na ( > 10 3 ),
n(p) > 100 ,
, , .
() , Nd /Na .
Nd /Na 1, .
,
.
, , ,
. , -,
Si , -,
.

216

5.

. 5.14.
i
n ( )
( ).

(,
). , 1,
. , , ( ),
2.5 1012 3 . (n).
, , ,
,
xn  1
.
,
.
n . 5.14.
.

Si , ,
() . N a n ( KB 1), Nd n. ( Ge),
,
i , , . (N d + Na )
p- 7 , |N d Na |

5.3.

217

, 45 .
710 Si ,
Si
n-.
Si
Si
: .
. , ,
. .
,
.
, ( RH (T)) (T) , . RH

x = RH /,
.

( Si p-).
[6],
p(n) = |Nd Na |. ,
p(T)  Nd , Na , |Nd Na |, p(T)
:


Eav
(Na Nd )Nv
exp
p(T) =
,
(5.38)
gNd
kT
g , Nv
, Eav ( : ) . p(T) 5
7 . 5.15,; . 5.15,. p(T) x (T)
5 , , , -

218

5.

. 5.15. () () .

x , .
p(1/T ) ( Eav 0.05 ) (Na Nd )/Nd , (Na Nd )
p(T).
. 7 . 5.15 (Na Nd ) 5 1011 3 , ,
Nd /Na = 0.2.
= 105 2 / ,
.

1.

:
.
,
.
,
.
: 1)
( ); 2) ( ); 3) ( ); 4) .
, , .
,
. , () -

220

6.


. (. . 4).
,
, ()

. ,
.
()
.
,
(. . 4). - () . ,
,
(V T). - ( )

(V T exp(1/T)) -
(V (T )2 ).1
, ,
(. ),
- ,
.
. ()
( ), () , () ( ). , (. 1
[17].

6.1.

221

).
( ). , .
, , T .
,
.
, -
. - .
. .
,
.
,
, , . . .

6.1.
,
. ,
( ) .
Ge Si (
10 /),
.

222

6.

, .
.

.
, , . ,
.
,
T ,
. . :
; ; .

6.1.1.
, . , .

, , .
(
) .
.
(. 6.1,).
, , (. 6.1):

6.1.

223

. 6.1. : ( );
.

1) , ,
, ;
2) , ;
3) .

. ;
. ,
:
(. 6.1). , ,
, . ,
, , .

. ,
.
, , ,
-

224

6.

. , . .

, .
. , .
.
.
, , ,
(), , .
, . (
) -
.
,
.

,
, -, , , -, , , . , , ,
, .
.
: , T (. 6.1).

.
.

6.1.

225

. 6.2.
. 1
, ; 2 ; 3
; 4 ; 5 ; 6 ; 7 ;
8 ; 9 ; 10
; 11 ;
12 ; 13 ; 14 ; 15 ; 16 ; 17
; 18 ; 19 .

(110 /).
, PbTe, GaAs. GaAs -
As : .

.

6.1.2.

.
1916 . . .
( ),
, .

226

6.

. , , . ,
.
.
(. 6.2): 1) , ,
, , ; 2) , , ; 3) , , , ; 4)
, ,
.
.

, .
, , , .
, . ,
. ,
, ,
,
.
. .
T ( ).

.
, -

6.1.

227

,
, .
,
. ,

, . .
( ) , ,
, . ,

. ,
, , . ,
<111>,
,
{111} , , .
(
) . , , ,
(. ). ,

,
.

. .

.
, . 6.3. , ,

228

6.

. 6.3.
.

, ,
,
r 2 hl g = 2r,

(6.1)

h = 2/rl g,

(6.2)

, l , g , r , h .
; ,
.
,
, . .
. ,
, , .
, .
,

, .
,

6.1.

229

. .

.
, , , ,
, , , , ,
.
.
T,
T0 ,
, ,
Q1 = l (T T0 )r 2 /h,

(6.3)

l .
f ,
Q2 = r 2 Ls f,

(6.4)

L ; s .

Q3 = r 2 s dTs /dx,

(6.5)

s ; dTs /dx . ,
[22].
,
Q3 , , Q1 , , Q2 ,
: Q1 + Q2 = Q3 .
Q h :
l (T T0 )/h + Ls f = s dTs /dx,

(6.6)

230

6.

r=

(s dTs /dx Ls f)2


,
l gl (T T0 )

(6.7)

,

.
,
, Q1 = 0. , T T0 = 0.
,

fmax = (s gradTs )/(Ls )

(6.8)

/.
, ,
[38].
. . .
.

, , , .

, , , .

, ,
.
. -

6.1.

231


.
. ,
, , .
.

.
.
1. ,
; ,
.
2.
. .
3. .

. 98%
, ( 2 . )
. , Si.
150
1 . .
, . ,
InSb.

232

6.

. 6.4. : ; (1
; 2 ; 3 ; 4
; 5 ; 6 ; 7 ; 8 ).

6.1.3.
.
, , ,
. , , , . , , ,
, , (. 6.4,).

( ,
). .
, , ,
, . , ,
, , .

6.1.

233

. 6.4,. () () . ,
, .
( ),
- , .
. ,
, , .
Si . - ,
.

( ). ,
.
.

.
,

.
,
, ,
.
,
, , .
, , , :

234

6.

. 6.5. ,
(V1 V2
):
; ; ;
.

(), (. 6.5).
. 4, ,
. 1.
2 3,
. .
, ,
, .
,
,
.
Si 100 .
: , .


, .

6.2.

235

6.2.

,
.
, , .
,

(T > 2000 C, , ), , (GaP, GaAs, InP .), (GaTe3 .).

:
.
.
, , . ,
,
K < 1. , GaP , Ag, Cu, Fe,
GaP 1.

:
;
; , ; , ( ) . , , . : 1)
, (, H2 O NaCl); 2)
(Ga GaP).
, ,
.

236

6.

, ,
, .
,
, .
: 1) ; 2)
; 3) ; 4)
; 5) .

,
, , .
(10 2 101 /) 23
.
AB,
, A 1x Bx
x, ,
.
GaP Ga1x Px . GaP . 6.6. GaP 1470 ; Ga P .
x < 0.5 ,
. , Ga ,
Ga1x Px , x, GaP. , 1 . 6.6, T1 , T1
.
, ,
. ()
. Ga,
GaP,
.

6.2.

237

. 6.6.
GaP.

.

,
, .
, : ,
.
, .
,
: 1) ; 2) (
); 3) ; 4)
, .
,

.
, .

( ), 1955 . .

238

6.

. 6.7. :
A ( ) B
(); (1
A; 2 AB; 3 A).

A-B (. 6.7). A , B ,
Tmax , Tmin , T1 , T2
.
A
B, , B A, B.
A, B A . A
, T1 T2 , AB. , ,
A, B
,
T1 C1 . A .
, T2
C2 .
A .
,
A, B KC1 ,

6.3.

239

A.
, ,
,
.
. B , ,
A.
. , ,
A B
.

. B, A.
InSb Cd1x Hgx Te. ,
(. . 9).

6.3.

,
,


.
.
(. . 3).
(, , , ) ,
.
.

240

6.


.
.
,
;
;
. ,
,
L2 /Dv , L
, Dv .
.
,
, , ,
, , . .
, (. . 3).

. :

. .

.
.
1)
(. 6.8). , , .

6.3.

241

. 6.8. ,
: ; ; (1
; 2 ; 3 ; 4 ; 5
; 6 ; 7 ; 8 ; Q ,
).

2) ,
W exp(B/T) , , ,
- V (T)2 ),
.
3) , .

.
, , ,
. , , .
, , (. ). ,
.

. ,
. ,

242

6.

. 6.9. ()
() .

.
, .
,
.

() ()
. ( ,
).
, ,
.
( ), ,
.
. ,

. ,
, ,
, ,
.

, , .
. ,
, , -

6.3.

243

.
,
. ,
. 6.9. , (- )
,
. , . ,
,
.
Ge Si ND < 100 2 .

, , ( ).
.
,
,
, .
, Si, , , ; InSb,
, . .

. ,
. ,
.
. ,

.

244

6.

, <111>,
{111}. , , , ,
.

,
.

, . , , . ,
.
, , .

.

.
.
,
, .
. , {111}. , <111>, {111} , . [100],
(111) 36 16 .

{111},
<111>.

6.3.

245

,
, . , , ,
, , ;
; ,
; ;
; .
,
.
, .
, .
, ,
, .

, ,
K = K0 /[K0 + (1 K0 ) exp(V /D)].
, , , . ,
, ,
(. 6.10). , ,
, .
, , ,
, . . ,
,
(),

246

6.

. 6.10.
( ) :
; ; .

. ( ),
, , ,
.

.
V , , .
,
, , .
( , , ,
). ,

(. 6.11).

. (
), , -

6.3.

247

. 6.11. ,
.

, . ,
V /,
V , .
.
, .
.
. ,
, : , ,
.
, .

.

,
,
, .
K .
K 1015.
, , Si Ge <111>.

248

6.

. 6.12. ,
.


, ,
, .
,
K , .
. , <111>.
{111},
. , ,
, , .

, ,
.
, ,
; ,
,
.

. ,

6.3.

249

. 6.13. ,
,
.

, K < 1.
K < 1 T , . (. 6.12). 6.12 AB A B
. ( AB) (
). ( A B)
DB, , .
.
, , ,
, T . , ,
,
. .
. (. 6.13).


,
-

6.

250
.

2.

,
, . ,

/, ,
. ,
, , ,
. ,
,
. , ,
, . .

,
.

, : 1)
( ); 2) (
); 3) ( ); 4)
( ). ,
, , .

, :
1) -;
2) ;

6.3.

251

3) .
.

( ).
,
.
:
1) () ; 2)
; 3) .

- .

( , -, , .) , ,

.
( )
.

. , .
. .,
.
.

l L
.
l  L
, [37]. -

252

6.

2 .3
, , .
, ( )
( ).
, ( ),
.
l L
,
.
, . ( )
-:
j0 = (a P)/(2RT /M)1/2 ,

(6.9)

j0 , P T , M
, R ,
a , ,
.
,
, , , .
,
:
j(r, ) = j0 ds cos /L2 ,
2

(6.10)

, .
.
, (, ; . 8).
3 . ,

.

6.3.

253

. 6.14. , ,
ds ds .

j(r, ) L
ds
(. . 6.14).4
, (),
.
6.14, , d, , L,
1 . ds d, L 1 :
ds = L2 d/ cos 1 .

(6.11)

,
( ) :
I = ac I0 cos cos 1 /L2 ,

(6.12)

I0 , 1
, ac .
ac 1 1010 . ,
.
R,
4
. ,
.

254

6.

, [37],
R = K

M1 M2
E,
l(E)(M1 + M2 )

(6.13)

K , ;
M1 ; M2 ; l(E) ;
E . R
, , ,

. , , ,
, ,
. , .
, , - V (. . 4).
,
, .
.
(
, ),
.
,
. , ,
.

,
, - . -

6.3.

255

. - ,
. ,
,
.

.
.
. .
,
( ) .
. . .
,
. ,
. , - , ,
. -
.
. , ,
(. ) .

G,
. G > 0,
; G < 0,
; G = 0, .
. , ,
, ( )
.
( K),
. K . ,
, , .
, .
.
, .
, ,
, .
, -

256

6.

. ,
, , , ,
.
, .
, .
.

() . , , , ,
. -
.
, .
, , , .
,
, . , ,
. , , .
, , , . C .
.
, ,
, . .
. ,
. , .
.
.


,
, ,
.
- ( ) , . - -

6.4.

257

(- ) .

.
: 1)
; 2) ; 3) .

( , ).
() .

, ( ). ,
, , . , .
-
. , ,
, .

.

6.4.


, (1 . .), , .
-

258

6.

. 6.15.
: ;
.

, ,
.
. 6.15.

( )
. , ,
,
.
( ), .
: .
.
. .
1.
.
,

.
2. .
, , .

6.5.

259

3. ,
.
, , AIV BVI (PbTe, PbS .), AII BVI (CdS, CdSe .)
.
- (,
.).

6.5. (

)
,
. .
, .
, ( )
.
.
, .
,
.


SiCl4 + 2H2 Si + 4HCl

(6.14)

SiH4
SiH4 Si + 2H2 .

(6.15)

260

6.

. 6.16. .


: 1)

(); 2) .
() , , , , ,
(. 6.16).
( , )
. ,
, .
, , . , , G, , .
, (
). , .


, .
,
( ) .

6.6. ( )

261

. .

. ,
. , ()
(, ,
) .

.
: , ; ,

.

6.6. (
)
,
. .
:
GeI4  Ge + 2I2 .

(6.16)


(. 6.17). X (I2
) , A ( Ge) X . .
,
. ,

XA (GeI4 ),
A (Ge), ,

262

6.

. 6.17.
() () : 1 ; 2
; 3 ; 4
5; 6 ; 7 .

A (Ge)
A (Ge).
A,
, X,
.
, T1 , , , T2 . T1 T2 , T1
X
, , T2 , -

6.6. ( )

263

, A X. X, , ,
, , ,
, . . , X

A.
, .
: 1) ; 2)
; 3) , .
:
1. ,
.
2. ,
, .
3.
G = H TS.
4. , .


; ,


.
Ge, GaAs;
:
( MnTe, GdS, EuS),
(HgCr2 Te4 ).

. : 1) ; 2)
; 3)
.
1. .
,
, .
-
.

. . 8.
( ) .
(, , - .)
,
. , Si
31 Si, ,
2.6 , 31 P. -

265
.
1% 50 .

.
.

,
.
. (, )
3500 , 101000 . ,
, .
.
( 1014 1021 3 )
. ,
.
, ,
.

, . - - () . -
, ,
, ,
.1
1
, ,
.

266

7.

.
.
1011 1016 2 , , , . . ,
,
.
. ,
Ge , InSb , GaAs
. .
, ,
, .
, [28, 39].

7.1.
(
)
.
, .
. pi ,
Ni ,
, (. . 5).
K0 = CS /CL = Ni MiVL /NA pi ,
pi = Ni MiVL /K0 NA ,

(7.1)

Mi , NA , VL
.

7.1.

267

. -

.
, , K0 < 1. V , ,
-
.
,
. K0 > 1, . , K0
K :
K(f, D, ) = K0 /[K0 + (1 K0 ) exp(V /D)],

(7.2)

D (. . 5).
, ,
. ,

,
V

(7.3)
= AD1/3 1/6 ( + )1/2 ,
A , 1.3 1.6, [37].
K V . 7.1 K 0 . ,
V < 4 103 / K K0 . ,
() .
: . = 1 K K 0
V < 104 /.

, .
,
-

268

7.

. 7.1. K V
.



(, ).
.

7.2.

. 5
. 6. , ,
.
: .
( ) , (. . 5). .
.

(. . 6). , -

7.2.

269

.
. .
.
: .
- ,
. ,
, , .
,
. , .
,
.
, - , . ,

, .

7.2.1.
, : . . (. . 5)
, ,
.
-

270

7.


, .
(10%)

(
K = 0.1 10.5%). ,

.
,
. ,
, . .
[37], , 1; A = L/l, L , l ,
(A 1)/A. 100%
. ,
,
.


. K ,
. . K < 1

. ,
:
, .
,

7.2.

271

.

. . . K  1
, , , .
K  1.

7.2.2.

. ,
. .
,
, ( K < 1), , ( K > 1).
:
CL = const, K = const, V = const, CS = KCL = const.

: ,
.
, . : CL = const; K = const;
f = const; CS = KCL = KCL = const, , .

.
. .


:

272

7.

. 7.2. : 1 ; 2
;
3 ; 4 ; 5 ; 6 .

1. (. 7.2). ,
,
.
. ,
, , .

, . ,
,
. , , ,
.

. (. . 6), , GeSi,
BiSb, InAsGaAs . .
2. (. 7.3).

, , . .

7.2.

273

. 7.3. ( ): 1 ; 2 ; 3 ,
4 .



. : ) ; ) .
.


.
: , ,
(. 7.4); , ,
(. 7.5).
.
: , , , .

, , .
-.
-

274

7.

. 7.4. : ;
(1 ; 2 ; 3
; 4 ; 5 ; 6
; 7 ; 8 ).

. 7.5. : 1 ; 2
; 3 .

7.2.

275

, .
,
, , . : 1) ; 2)
; 3) ( )
.


.
, , ,

. , ,

(. 7.5).
K > 1 K < 1. ,
K  1
.


,
. , .
. , , ,
. K > 1.
,
,
. (K > 1) ,

276

7.

. 7.6. K < 1 : 1
; 2 ; 3 ;
4 .

(K < 1) .
, .

. ,
, , .
,

.
.
,
, , .
.
-.
. , ,
(. 7.6).
.
. -

7.2.

277

. 7.7. : 1 ; 2 ; 3 ;
4 ; 5 ,
, ; 6 ; 7
.

,
(. 7.7).
(). ,
, .
, , ,
(
). ,
,
.
, , .
(
).

( )
.
, ,
.
. , , -

278

7.

. K < 1,
,

. K Kmax Kmin
V , ,
, ,
.
,

. , ,
,
, .

.
,
, , , ,
. , , .

7.3.
( , )
.
CSmax ( ).
,
. CSmax , ; CSmax , , , , ,
,
, , . -

7.3.

279

. 7.8. Ci CS CL .

, .
,
( ),
, , ,

n(p) < CSmax . .
C im
, . Cim Ci
CL. Ci
(.. 5), , CS - , ,
-, Ci CS CL ,
. 7.8. CL CS Ci ;
, CL, Ci (CL)
, CS (CL) . Cim
.
CS < Cim , . CS > Cim
. C i CS ,
Ci Cim , CS CL. , , -,

280

7.

(, ), ,
. , , ( Ci CS ). .
,
( ).
,
:
(); ; , .

.
.
1. , - .
, .
- - , . ,
[Cd ]  [Cd+ ] + e (1),
[Ca ]  [Ca ] + h (2),
e + h  (eh)
(3).

(7.4)

, h, (7.4.2), e ( (7.4.3)), (7.4.1)


[Cd+ ], , [Cd ]. .
, .
,
.

7.3.

281

2. , , .
, . , ,
; ,
.
:
[A ] + [D+ ]  [A D+ ],

(7.5)

A ; D+ ; [A D+ ]
.
(7.5)
[Cd ]  [Cd+ ] + e (1),
[Ca ]  [Ca ] + h (2),
e + h  (eh)

(3),

(7.6)

[Cd+ ] + [Ca ]  P (4),


P .
(7.6)
, ,
.
3. , , .
, , . , , .
.
, ,
.
. ,
, , , :
C = C0 exp(W /kT ),

(7.7)

282

7.

C , C0
, W
.
K0 . K 0

:
(7.8)
Xm Cim /N0 0.1K0 ,
Xm , N0
.
,
(. . 8). (7.8)
K0 , . 5.4,
Cim , , N0
4.5 1022 3 5 1022 3 .
K0 Cim

K0 :
.
, 104 ;
, . ( K 0 )
106 , CGa /CIn =
1 , ,
. CAu /CGa =
. , (
) ,
, ,
.





, .

, , ,
.
p n-, , - . . ,
, ,
.
,
.


. : 1)
2) -

284

8.

,
.

.
, , .
,
.
, , , , .
,
. ,

.
,
. ,
.
,
. ,
.
( ) ,
, ,
M,
M = P

,
x

(8.1)

P , . ,
, .

285
, dC/dx -
. dC/dx = 0
,
. (8.1)
C(x, t)
(8.2)
M = D
x
C ,
x t; x , ; t ;
D , .
L2 t1 2 c1 . (8.2)
( ).
, (
).
x
x + x, , ,
dt M 1 ,
M2 .






dC
dC
dC
D dSdt = d D
dSdt. (8.3)
M = M1 M2 = D
dx x+x
dx x
dx
:


dC dt
M
=d D
,
(8.4)
dC =
dSdx
dx dx
:


dC
d
dC
=
D
,
(8.5)
dt
dx
dx
, D
( ),



C
2C
C
=
(8.6)
D
=D 2.
t
x
x
x

286

8.


( ).
.
- ,
. . ,
. .
dT/dx.
.
d/dx. .
dU/dx.
.
A B, : RA > RB . A B
. , ,
A , B
. .

.

8.1.


, Q. . Q
.
kT

8.1.

287

0.0250.2 . ,
, , Q. , , , .
.
,
(E. > Q) .
, , exp(Q/kT) . ,
Z
(Z ,
). f,
,

f = Z exp(Q/kT).

(8.7)

?
.
, , , .

. :
( ),
( ), (
) . .

8.1.1.
.

.

.

288

8.

. 8.1. : ;
.

,
.
. 8.1,. a b ,
. , c,
.
. 8.1,. Qi ,
, .
Qi 1 .
0.1 , Q i
. ,
, (8.7)
f = Z exp(Qi /kT ).

(8.8)

,
. , Li Ge.
Qi .

8.1.

289

. 8.2. : ;

.

8.1.2.

- .
, .
.
.
,
, , .
. 8.2 ,
.
Qa ,
, . Qa
1 . , , ,
exp(Qa /kT).
, .
Qv . Qv , , Qa .
, -

290

8.

Q = Qa + Qv ,
f = Z exp(Qa /kT ) exp(Qv /kT).

(8.9)

. , ,
In Ge Si.

. , , ,
. , ,
. , D Dv ,
:
D = DvCv /Ca ,

(8.10)

Cv ; Ca ,
.
, ,
. ,
.
.

8.1.3.
. 8.3, .
1, 2, 3 4 .
.
(. 8.3,),
(, , , ,
). , , ,

8.1.

291

. 8.3. () -
().

, . ,
,
,
, .

. .
,
. (
) .
, .
, , . , .
,
.
.
.
x2 ( x2 ,
N ), , , 0.
,
x2 = (1 + 2 + . . . + N )(1 + 2 + . . . + N ) =
12 + 22 + . . . + N2 + 21 2 + . . . + 2N1 N ,

(8.11)

292

8.

i i- . ,
< i j >= 0,

x2 = N 2
x2 = N 2.
(8.12)
N = ft,
t , N

, x2 = ft2 . ( [40, 41]), D = f 2 /6,


D = f2 /2,

x2 = L = 2Dt,
(8.13)
L , t , D
.

8.2.
D , (8.7)
f = Z exp(Q/kT). , D = f 2 /6
:
D = (Z/6) 2 exp(Q/kT).

(8.14)

2 D0 Z 6 ( ), ,
,
D = D0 exp(Q/kT),

(8.15)

Q , D0 ,
.
. -,
, D , . ,
. , (8.15) , D
. (8.15) D0 Q

8.2.

293

.
ln D = f(1/T ) (. 8.4, 1),
. ,
. (. 8.4, 2), ,
-
.
(. 8.4, 3). , ,
, . ,
Q
.
-, (8.15) , D0 (
1013 ) . , (8.15) , ,
, D0 , 10 4 2 /
103 2 /. D0 ,
.
,
,
[41]. , , D0
Q,
Q. , , D0
.
.
Q , : Q = Q0 T, Q0
, ,
, , .
, .
,
. -

294

8.

. 8.4. ln D =
f(1/T).

(8.15). ,
,
. D0 .

8.3.

,
p n- (8.6).

8.3.1.
( )
,
. t , .
.
h .
, x = 0,

8.3.

295

. ,
.

2C
C
=D 2 ,
(8.16)
t
x

C(x, 0) = C0 0 < x < h C(x, 0) = 0 h < x < ,

(8.17)

C0 , h .
(8.16) ( ) :



 
h+x
hx
C0

+ erf
,
(8.18)
C(x, t) =
erf
2
2 Dt
2 Dt
Y
2
.
erf(Y ) = 2 0 ez dz , Y = 2hx
Dt
(8.18) h , . , C0 h = S = const,
S ,
( ),



 
h+x
hx
1
S

lim
+ erf
erf
2 h0 h
2 Dt
2 Dt


2
x
S
exp
.
=
4Dt
Dt

lim C(x, t) =

h0

(8.19)

x = 0,
S
.
(8.20)
Cs = C(0, t) =
Dt
() C , 0 (. 8.5). C x = 0.
,
. ,
.

296

8.

. 8.5.
.

, x = 0
, t > 0 , .
, ,
t = 0,
j(x, t)(x = 0) = 0
S , . x = 0
.

, (8.19).

8.3.2.
, x = 0 , ,
C s ,

, , ,
. (8.6) : C(x, 0) = 0;
C(0, t) = Cs ; C(, t) = 0. (8.16)
:
2
C(x, t) = Cs [1 erf(Y )], erf(Y ) =


0

ez dz

(8.21)

8.4.

297

. 8.6. .

, Y = x/(2 Dt), Cs (3 ).1


. 8.6. ,
t .
C(x, t) = Cim .

8.4.


- .
. , ,
, ,
,
, .
, . , .
-
1 C s
, Csmax = Cim , Cim .

298

8.

(). (, 5 1015 3 ),
( ), . , ,
, .
(
) .
, .
, ,

, .
,

. ,

. - ,
-..., [39, 41].
p n-, ,
.
-
, ,
. ( n-
p-) ,
.
(p n-) .

8.4.

299


. , ,
. p n- (
)
( ,
; . .).
, n-, , C d ,
T t . , (. 8.7) -
-... .
,
, ,
,
. p n- ,
, ,
Cd = Ca (x, t).

(Cd < S/ Dt) (Cd < Cas , Cas ) D (8.19)


(8.21) ,
p n- x = b sin p n-
. Cd RH . (8.19) S
, , (8.21) Cis .
, , .

p n- Cd1 Cd2 (, -

300

8.

. 8.7. - .

).
t p n-
x1 x2 . (8.19)
x22 x21
,
(8.22)
D=
4t ln(Cd1 /Cd2 )
(8.21)
Cd1
1 erf(Y1 )
,
=
Cd2
1 erf(Y2 )

(8.23)

Yi = xi /(2 Dt).

.
p n- x, , , , ,
. ,
( ) -... , [6,41].
(- ), -...
: nn = pp , n p, n p
.
D Cd (8.19) (8.21)
.
-

8.5.

301

, -..., , ,
-..., .

8.5.
. ,

p n-.
IIIA VA , , ,

. ,
; Ge Si
( ).
Li, Cu, Au, Ag, Zn, Ni Fe. , ,
, ,
, , , ,
() (. . 3).

, .

.
. 8.1 D Ge, D =
D0 exp(Q/kT).
D D0 Q IIIAVA
II VI , ; IB, VIII
( ) Li, -

8.

302

8.1. Ge [19, 24, 41].

Na
Be
Zn
Cd
B
Al
Ga
In
Tl
Ge
Sn
Pb
P
As
Sb
Bi
O
Te
Li
Fe
Ni
Co
Cu
Ag
Au
H
He
Xe

I
II
II
II
III
III
III
III
III
IV
IV
IV
V
V
V
V
VI
VI
I
VIII
VIII
VIII
I
I
I
I
0
0

D0 , 2 /
0.07
0.5
0.65
1.75 109
6.0 108
1.0 103
10
1.8 104
1.7 103
13.6
70
1.6 103
1.2
3
3.5
3.3
0.4
5.6
1.3 103
0.13
0.8
0.16
1.9 104
7.4 102
3.5 106
2.72 103
6.1 103
5 106

Q,
2.08
2.5
2.55
4.42
45
3.45
30
3.64
3.4
3.09
3.05
3.6
24
2.43
2.45
2.5
2.08
2.43
0.46
1.1
0.91
1.12
0.18
1.0
0.63
0.38
0.69
1.2

T, C
700850
720920
825918
760915
760850
554905
650900
554919
800920
535904
798846
800
650900
750900
750850
750850
285760
770900
350800
775930
700875
750850
700900
730900
800900
780930
795872
250980

D, 2 /
1.2 1011
9.1 1013
6.9 1013
3.0 1012
4.4 1013
6.2 1014
8.1 1014
1.6 1013
1.8 1013
4.2 1014
5.7 1013
2.0 1014
6.4 1012
1.2 1011
1.1 1011
6.0 1012
6.8 1011
2.2 1011
9.0 106
8.9 107
4.3 105
8.8 107
2.8 105
8.8 107
3.8 109
4.5 105
3.5 106
1.2 1011

8.5.

303

. D
( ), (
); Q
, ; D0 ,
. ,
D0 Q . ,
,
, - . D0 ,
,
.
.
Si [39, 41].

, , . Q Qa + Qv (8.9).

.
Li. , , 0.01 . , Li

Li+ rLi+ = 0.68 A,
Ge.
(Cu, Ni, Fe, Au . .) . ,
, Ge, ,
.
, , A ,
D+ .
.

304

8.

8.6.

8.6.1. Li Ge
.
. (. 8.8).
p- . ,
. T t1
, r1 .
,
. ,
, ,
n-. p n-, r1 , . p n- , ,
2
.
( 110 /),
T, . , (110 A), .


( (8.19)),
.
q V. = E,
, = (q/kT)D. ,

2 , p n-, , p-
, n- .

8.6.

305

. 8.8. (x ; r1 ( ) r2 ( ) p n-
).

, x = Et.
+ ( ), Li+ . , , .

8.6.2. Cu Ge.

,
(600900 C), . 8.9.
,
(750900 C) (600700 C)
. ,
, 700 C
.
Ge , . ,
750900 C Ge
. , Ge ,
.

[42]. ,
Cu Cu : Cu  Cu + Q,
Q .
Cu ,
Cu . ()

306

8.

. 8.9. .

Cu , ,
(Cu +Cu ), . ,
600 C , 800 C
Cu .
,
(. . 3),
,
, . .
Ge , , D > D ,

.
.
, ,

. .
.
(
() Cu () Cu , -

8.6.

307

).

Cu  Cu + V .
, , .
.

[V ],

[Cu ] = [V ][Cu ]/k(T) = [Cu ],

(8.24)

k(T) , = [V ]/k. ,
(8.2) :
M = D [Cu ]/x,

(8.25)

D . D.
,


1
([Cu ] + [Cu ])
,
(8.26)
D. = M
x

D. = D [Cu ]/([Cu ] + [Cu ]) = D /(1 + ).

(8.27)

(8.27) ,

, [Cu ] / ([Cu ]
+ [Cu ]). .
, .
. D. , Cu

308

8.

. 8.10.
D 850 C .

Cu , . Cu .
,
,

D. = Dv [V ]/([V ] + [Cu ]),

(8.28)

Dv , [V ] . Dv  D [V ] / ([V ] + [Cu ]) < [Cu ] / ([Cu ] +


[Cu ]), D. < D. , ,
, .

700 C ,
. , -, ,
.
. 8.10 Cu, Ag Au
ri . , ri . ,
,
1.22 A,
,
.

8.7.

309

8.7.


.

,
. , . ,
.
,
.

8.7.1.
, . .
.
R/R, R
, R (
). .
, (. (8.10)).

. .
, ,
, :
[V ]  [V ] + h; [As]  [As+ ] + e; h + e  (he).

(8.29)

he - . ,
[V ];
, ,
.

310

8.

, .
,
[V ], , .

, ,
.

.
, ,
, .
, .
.
.
AIII BV AII BVI
AIII (AII ) , BV
(BVI ). , BV BVI
, A III AII .

. , .

8.7.2.

. . 8.1, IB VIII ( ) ,
IIIA VA . IB VIII ,
, ()
, ,
.
IIIA
VA . Si IIIA () 11.5 , VA
(). Ge, , IIIA , VA .

8.7.

311

(R)
IIIA , VA .
IIIA
( )
. .
. , , IIIA Ge
, VA . ,
-, , .
V .
,
. .
Ge Si . Ge
0.26 , Si 0.16
. ,
Ge , Si, .
(VA ) Ge , ,
(IIIA ) , . ,
, Ge.
.
. ( - ), .
,
,
.

312

8.

R/R.
, ,
, .

8.8.
, , (, . .)
. , , .
.

, -, ,
, ; , ,
.
, , : 1) D; 2) ,
. .
Ge Si, , ,
()
. -
() , Ge Si, ,
3 1018 3 Ge 2 1019 3 Si.
, ,
. 8.1.

. ,
. ,
( ).

8.9.

313

Ge = 11.6 , Si
9 .
(, ,
). ,
1010 2 / [41].
1300 C Si D =
, , Ge Si,
Si Ge, (. . 3). Ge Si
, Si(Ge)Ox . , , , Si(Ge)O x
.
, , , . , GaAs GaP , ; ,
1017 3 , , .

, . , , GaP.
, ,
. , (
1019 3 ),
, , N N -,
[43].

8.9.


:
( p n-).
, , -

314

8.

Cim . ,
Cim (8.21) . ( ) Cim
, ,
.
p n- Ci
. C i m

. ( (8.19))
p n- S . p n-
Cim , ,
. ,
,
p n- S .
(8.21),
x = 0 Cim .
. 8.11
Ge.
.
1.

.
2. IIIA VA Ge
1019 1021 3 , ( ).
3.
.
T < T.
T.
.
n-,
() . ,

8.9.

315

. 8.11. .

. Cd Cd+ e,
:
[Cd0 ]  [Cd+ ] + e,

(8.30)

[Cd0 ] ,
[Cd+ ] .

: .
(he)  h + e.

(8.31)

:
Cd+ + pv = nc Cd = nc + nd pv nc pv , nd  Cd , (8.32)
pv ; nc ; nd
; Cd .

316

8.

(8.30)
(8.31) Cd (8.30) K+ (8.31) Ki [41]:3

Cd = Kd / Kd + n2i ,

(8.33)

Kd = K+ nd , ni = Ki = nc pv . Kd
Kd T 3/2 exp(B/T ).
:

Ca = Ka / Ka + n2i ; Ka T 3/2 exp(B/T ),
(8.34)
Ka = K na ; K = K+ ; na
.
, Kd,a > n2i Cd ( Ca ) 1/2
2
K1/2
d (Ka ). , n i > Kd,a ,
.
.

.
( ) (Ga, As, Sb, Zn . 8.11). .
,
Ge Si IIIA, VA
IB, VIII ( ) . ,
Ge Si (. . 8.11).
,
,
Ge Si. .
+
3 , (8.30) K
0
+ = [Cd ][e]/[Cd ].
Cd+ = Cd nd ; [e] = nc ; [Cd0 ] = nd , K+ = (Cd nd )nc /nd . ,
nd  Cd , K+ = Cd nc /nd . (8.31)
Ki = [e][h] = nc pv = n2i . nc = K+ nd /Cd , pv = n2i /nc = n2i Cd /K+ nd .
(8.32) nc pv , Cd = nc pv = K+ nd /Cd n2i Cd /K+ nd .

8.9.

317

, , :
.
( )
, ,
, , . ,
: ,
, ,
.

, ,
, .
Ge Si
sp3 -.
p-. ,
Si Ge ,
s- p-.
IB VIII , IIIA VA ,
p-,
Ge
Si. ,
Si Ge, , . , .
IB VIII Ge Si,
.

, , Si Ge IB
VIII Si Ge.
IIIA VA ,
Ge.

318

8.

,
. 8.11
. , , ,
. , ,
,
. ,
. , , ,
.
. , , , [41]. ,
VGe ,
: Li+ + e +VGe = LiVGe . , Li .
(
), -

. 8.12.
59 C
( 450 C) Ge
ND (2 ).

8.9.

319

. , ,
, ,
. . 8.12 425 C
Ge ND .
ND
. T > 500 C
Ge, Cu [41].


9.1.
: . .
.
: () .

, . ,
( )
.
. , PbTe BaF2 . ,
.


, , , . , -

. -

9.1.

321

. 9.1. p n- ()
() . p n-
.

, ,
.
.
, , ,
.
. ( ) .
.

, ,
p n- (. 9.1,).
,
.

.

322

9.

(). , (, ) .
.

,1 ,2 . , ,

V- (V-).
-. ,
,
(, ).
,
, . .
, , , . , 30 ,
15 , , , .
,
, 1 ,
, -
. .
2 - , , .
.
.

9.2.

323

,
. , , , ,

.
, ,
.

9.2.


. ,
. ,
.

() [()], ()
[()]. ,
.
,
, , G
P, P ,
. .

, . 4 6,
, -

9.

324

. 9.2.
.

.
.
()
.
,
(. 9.2). T ,
T =

T1 Ta
E1 Ea
=
,
T1 T
E1 E

(9.1)

T1 E1 , Ta Ea , T
E . , Ta
, Ta = f(T1 , T ).
, , , . , ,
T . Ta = T , T = 1,
. . Ta > T , T < 1, ,
, (. 9.2). , ( ) . ,
.

9.2.

325

, , T < Ta < T1 .
tn



E
1
tn
exp
,
(9.2)
0
kTk
0
, E , Tk Ta (. . 4).


E
,
(9.3)
V 0 exp
kTk
E . , , ,



E E
tn
N0
= exp
.
(9.4)
t
kTk
(
) ( ). .
, (. . 4).
, (. . 9.2):
1) ( T );
2) ;
3) .

: ) ; )
;
) .

, , , ,
. .

326

9.

. ,
: -.
,
(50100 ). .
. - ,
(110 ), .
.

. (P = const)
,

nk = N exp(E /kTk ),

(9.5)

nk , N , E ( ).
, ,
, ,
.
, . , , (9.5),
. ,
.

V nk ,

(9.6)

,
. ,

9.2.

327

,


E E E
V nk exp
.
(9.7)
kTk
,
nk V
.3
, .
,
. - .
[44]
, . ,
, , i . -
, ,
i ,


(i + 1)E + E E
,
(9.8)
V J(J/0 N )i exp
kTk
J , 0 , N , E , E
i , E .
. . ,
, , . ,
3 , . 4.
T , .

328

9.

. 9.3. : , ; ,
.

. ,

. . ,
(111), (100) (. 9.3). , , , ,
. ,
2 3 , 3
4 . . (. 9.4).
Tk
. , Tk . Tk T ( 1 2),
. ,
Tk
, . Tk ,
.
,
, v k J.
, . V Tk , (9.8), -

9.2.

329

. 9.4. .

- .
, 9.8 .
.
. ,
, ,
.
()
:
1) .
() (. . 6).
2)
l, l lmin lmax .
l < lmin ; l > lmax

.

330

9.

(1); ,
.
( )
,
( )
.

9.3.
,


,

. , ,
, , E E .
109 1010 . . , ,
,
,
.
,
.
Tk
( 15 ), ,
, . Tk .
( ) : 1)

; 2)
, .

9.3.

331

.
, .


, 10 A.
. ,
, , . , ,
,
,
.
-
,
. . . ,
,
. ,
, (
). ( , , , . .) . ,
(. . 9.2).

. (Tk , vk , ) -
, E E .

332

9.

, , , , . , . , ,
, . ,
,

, ,
.
, .
, -
.
,
() 1010 . .
(106 107 . .) , ,
. .
, ( , , .)
. ,
E E . ,
1)
( ); 2)
,
, ; 3)
.
,
, . ,

9.4.

333

.
.

9.4.
- . . .
.
1.
, :
, . (19281935 .); , 15%.
, ,
15%.
- , .
, ,
.
: .
.
. . ,
.
,
.

,
( , -

334

9.

. 9.5. .

)
(. 9.5), , - . ,
, ( )
( )
, , ,
.

: ,
.
, () ,
. ( ).
,
,
.
,
, . .

.
2.
,
. , :

9.5.

335

, .
.
. ,
,
. .

,
.
3. , , ( , )

.
.
.

9.5.
.

, .
. .
1. . .
2. .
3. ,
, .
4. , .
, -

336

9.

.
.
5. , - .

.
,
, , , , .
6.
.
7. .

9.6.
, :
1) ( ); 2) ( ); 3)
.

9.6.1.
,
(. . 6). ,
,
. GeIn.
GeIn In. , Ge (. 9.6), . , ,
GeIn , .
1 400 C ( )

9.6.

337

. 9.6.
GeIn.

, ,
, Ge,

, 92% In 8% Ge.
( ) , .

(. 9.7). Ge n- <111> , Ge In. 520 C
( )
, . , Ge
(8 )
Ge ;
. Ge 25 . 350 C
, In .

338

9.

. 9.7. Ge
: 1
; 2 ; 3 ; 4
; 5 ; 6
; 7 .

. Ge
Ge GaAs,
.

(.
. 6). , , GaAs ( GaAs, Ga )
: 900 C,
T 1.52 /.
( ) [45].
, ,
.
,
, .
, .

9.6.2.
, , ,

(. . 6).
: 1)
2) .
,

9.6.

339

,
, , . . () .
, , , .
,
.
,
.
, . ,
.
.

, , , . .
,
.
.

Si. , (SiCl4 , SiBr4 , SiI4 SiHCl3 ) .
SiCl4

9.

340

. -,
. .
, . 9.8. , , ,
, .
. . .
1 ,
, SiCl4 /H2 = 1:20 1:50, 2 ,
, SiCl4 ( H2 SiCl4 ). ,
, HCl. K3 ,
HCl.
( ,
<111>)
( ). 12001290 C.
,
.
. , , .

SiCl4 + 2H2  Si + 4HCl,

(9.9)

SiCl4 + H2  SiHCl3 + HCl, SiHCl3 + H2  Si + 3HCl

(9.10)


SiCl4 + Si  2SiCl2 .

(9.11)

9.6.

341

. 9.8. Si
: 1 ; 2 ; 3 ; 4
; 5 ; 6 .

, , SiHCl.
,
60300 /. , ,
SiCl4 /H2 , , , .
Si 1000
102 103 2 . Si, SiCl4 ,
1)
SiCl4 , 2)
(PH3 , SbCl3 , AsCl3 , BBr3 BCl3 ).
Ge Si
, .


, . - I2 , Se, Te, H2 ,

342

9.

. 9.9. Ge ;
(1 ; 2
; 3 ; 4 ; 5 ; 6
).

. , Ge

GeI4  Ge + 2I2 , 2GeI2  Ge + GeI4 .

(9.12)


.
Ge, .
I2 , . (. 9.9).

, 500550 C
, Ge GeI 4
, 300 C. Ge ,
, ( () ). I2 . ,
300400 C. 300400 C. ,
,
.

9.6.

343

Si
SiI4  Si + 2I2 , 2SiI2  Si + SiI4 .

(9.13)

Si T = 1150 C
T = 900950 C.
. ,
(Si + 2I2 SiI4 ) .
I2 ( 60100 . .) Si
.
. ,
GaAs, ,
. : AsCl3 , Ga. , . 9.10. Ga
(), .
AsCl3 . AsCl3 /H2 : H2 ,
,
AsCl3 , , H2 . - , ,
T1 = 800850 C,
2AsCl3 + 3H2 6HCl + 2As.

(9.14)

Ga, ,
2Ga + 2HCl 2GaCl + H2 .
(9.15)
, T1 = 800850 C, ,
As Ga. GaCl (T2 = 750800 C)

3GaCl 2Ga + GaCl3 .

(9.16)

, As Ga (2.3% ), GaCl

6GaCl + As4 4GaAs + 2GaCl3 ,
4GaCl + As4 + 2H2 4GaAs + 4HCl.

(9.17)

344

9.

. 9.10. GaAs
: 1 ; 2
; 3 ; 4 ; 5
AsCl3 ; 6 ; 7 .

<110>, GaAs ( Cr O).


.

(MOCVD4 ). .
MOCVD ,
, ()

- [46].
A III BV ,
AII BVI , AIV BIV .
4 MOCVD

metalloorganic chemical vapor deposition.

9.6.

345

. 9.11. MOCVD , Al x Ga1x As:


1 ; 2 ; 3 ; 4 ; 5 ; 6 ; 7 .

346

9.


GaAs. [47] , (CH3 )3 Ga
() AsH3 , 600700 C H2 ,

GaAs () (. 9.11). ,
MOCVD
(. [48, 49]).
MOCVD -
.

450 .
, .
, ,
( ) .
,
, , MOCVD,
.

,
.
, .
, , , ,
-,
H2 , , (. 9.11).
,

H2 . ( 600800 C, )

9.6.

347

.
.
,
,
.
,
. ,
, , ,
,
.
, ,
. , .
I. MOCVD
MOCVD ,
, , . GaAs Alx Ga1x As.

H

2
GaAs + 3CH4
(CH3 )3 Ga + AsH3

700 C

2
(1 x)[(CH3 )3 Ga] + x[(CH3 )3 Al] + AsH3
Alx Ga1x As + 3CH4 .

700 C

MOCVD ,
,
.
. i
. ,

348

9.

( ). ,

.
, , , . -,
.
, .
,
.
, AIII BV .
, , , . ,
,

. .
, , -,

(. . 4).
, , ,
, . ,
, . , ,
. ,
MOCVD
. ,
.

. -

9.6.

349


,
. .
, , ,
. ,
.
MOCVD . -,
, . , .
,
, MOCVD. [50]: , . ,
,
.
, , .
, .
.

.
,
. , ,
MOCVD, ,
, .
, .
,
.

350

9.

. 9.12. MOCVD (
;
): 1
; 2
; 3 ; 4 ; 5
; 6 ; 7 ; 8 .

II.
MOCVD . , ,
. MOCVD
[49]. , , ,
. MOCVD .
-
.
.
(. 9.12) ,
, [51].

9.6.

351

. 9.13. : 1 ; 2 ; 3 ; 4
; 5 ; 6 ,
.

9.6.3.
, .
. , ,
(. 9.13).
, ,
. , ,
. , ,
-. ,

P = 0 Ps ,

(9.18)

Ps T ,
0 , , , , .
(A B) P. , , ( ,
5 )
P = P(A) + P(B) = 0 (A)Ps (A)N (A) + 0 (B)Ps (B)N (B),

(9.19)

P(A) P(B) A B; 0 (A) 0 (B)


A B, Ps (A)
5 ,
, .

352

9.

Ps (B) A B T ,
N (A) N (B) A B (N (A) + N (B) = 1).
.
-
. ,
. ,

.
.
, ,
, .
, ,

.
,
,
. 106 104 . . ,
, (1014 1015 /2 ). , , , , , (. . 9.3).
, -, ,
.
(, .)
108 1010 . .;
106 . .
() , , , , () (.

9.6.

353

. 6). .
, , , , .
,
, : 1) , ; 2)
T ( ) T , , ,
, ,
.
: , ,
, . .
,
.
- ().

, ,
, .
( ), . ,

.
70-
AIV BVI
. , - ,
.
AIV BVI 80-
[52, 53] [54] .

. 9.14.

354

9.

. 9.14.
PbTePbSnTe ( 106 . .;
, Te, p-PbTe p-PbSnTe; Te ): 1 ; 2
, ; 3 Te; 4 ; 5 ; 6 ;
7 Te; 8 .

9.6.

355

PbTe Pb1x Snx Te. ( )


, , , . 106 . .
-, . : ,
, [53].
, , PbTe , .

.
BaF2 PbTe 500 .

: 1)
; 2) , , .
AII BVI , ZnSZnSe.
- ()
MBE6 , , . , ,
,
, .
:
1) ( 100200 C ,
);
6 MBE

molecular beam epitaxy.

346

9.


GaAs. [47] , (CH3 )3 Ga
() AsH3 , 600700 C H2 ,

GaAs () (. 9.11). ,
MOCVD
(. [48, 49]).
MOCVD -
.

450 .
, .
, ,
( ) .
,
, , MOCVD,
.

,
.
, .
, , , ,
-,
H2 , , (. 9.11).
,

H2 . ( 600800 C, )

9.6.

357

. 9.16. , : 1 BN, ; 2 ; 3
; 4 ; 5 ; 6 ;
7 ; 8 ; 9 .

, .
. , ,
, , . ,
, .
, , , 12 , 510 ,
58 0.5 .

358

9.

BN.
. (. 9.16)
Al2 O3 . , . ,
.
, .
, .
,
, . ,
,
S ( ).
p1 ,
p2 , p1 p2 . .
(p2 ) (p1 ) ,
, .
: 1)
, 2) , 3) ,
4) , N ,
,

(9.20)
N = ((p1 p2 )S/m) M/(2RT ),
m , M , R ,
T .
, ,
. , .
,
.

9.6.

359

,
.
, .
(9.20) , ,
, .
.
, ,
. (. . 6).
,
[5, 58].
, ( ), . 9.2,
.
,
:
1) ;
2) ;
3) , ;
4) , ;
5) .
, .

.
, , ,
, ,
, .
. , - (AES),
- (SIMS) .

360

9.

,

.
, .

.
-

.
- .
- , . , ,

.

[59, 60].

, -.
, , , ,
.
- ,
.
, [61, 62].
HgTeCdTe. . CdTe

9.6.

361

Te ,
, . , ,
.
CdTe
, . ,
, ,

,
.


[1] . . , 1986, . 150, . 1, . 107.
[2] . . . . . , .,
1986.
[3] . . . , 1985, . 147, . 3, . 485.
[4] . . , . . . , 1981,
N 8(241), . 3.
[5] M. Herman. , ., , 1989.
[6] . . -, . . . .
. 2-. ., , 1990.
[7] . . . , ., .
, 1985.
[8] . . , . . .
, ., . , 1992.
[9] . , . . , ., ,
1972.
[10] . . . , ., 1979.
[11] . . . -, ., 1976.
[12] . , . . ,
., 1981.
[13] . . . . . .
, 1976.

363

[14] . , . . , ., 1970.
[15] . . , ., , 1982.
[16] . . . . 4-. ., ,
1978.
[17] . . , . . . . ., , 1973.
[18] . . . . ., ,
1981.
[19] : , . . . ,
. . , M., , 1991.
[20] R. C. Evans. Crystal Chemistry. 2nd edition. Cambridge University
Press, 1966.
[21] . . . . ., , 1969.
[22] . . . . ., , 1970.
[23] . . . ., , 1986.
[24] Landolt-Bornstein. Numerical Data and Functional Relationships in
Science and Technology. New Series, v. 17, subv. a and b; Editor in
Chief: K. H. Hellwege. Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York,
1982.
[25] . . . . . . . ., , 1960.
[26] . . . . ., , 1968.
[27] . . . . ., , 1976.
[28] . . , . . , . . .
, ., , 1988.
[29] . , . . . . 2-. ., , 1969.

364

[30] . . , . . . . ., , 1983.
[31] . . . . ., , 1992.
[32] . . . .,
, 1977.
[33] G. W. Ludwig, H. H. Woodbury. Phys. Rev. Lett., 1960, v. 5, p. 98.
[34] . . , . . . . . , 1966, . 2,
. 747.
[35] . . . . . ., , 1962.
[36] . . , . . .
. ., , 1977.
[37] . . , . . . . ., , 1983.
[38] . . . . ., ,
1960.
[39] . . . . ., , 1986.
[40] . . . ( 5 .). ., , 1998.
[41] . . . . ., , 1961.
[42] F. van der Maesen, J. Brenkmann. J. Electrochem. Soc., 1955, . 102,
p. 229.
[43] . . . . M., . . -, 1988.
[44] . . , . . . ., ,
1966.
[45] . . , . . . - . ., , 1983.
[46] H. M. Manasevit. J. Cryst. Growth, 1981, v. 55, p. 1.
[47] H. M. Manasevit. Appl. Phys. Lett., 1968, v. 12, p. 156.

365

[48] P. Balk, E. Veuhoff. J. Cryst. Growth, 1981, v. 55, p. 35.


[49] P. D. Dapkus. J. Cryst. Growth, 1984, v. 68, p. 345.
[50] G. B. Stringfellow. J. Cryst. Growth, 1984, v. 68, p. 111.
[51] M. R. Leys, C. van der Opdorp, M. P. A. Viegers, H. Y. Talen, van der
Mheen. J. Cryst. Growth, 1984, v. 68, p. 431.
[52] H. Kinoshita, H. Fujiyasu. J. Appl. Phys., 1980, v. 51, p. 5845
[53] H. Kinoshita, T. Sakashita, H. Fujiyasu. J. Appl. Phys., 1981, v. 52,
p. 2869.
[54] H. Clemens, E. J. Fantner, G. Bauer. Rev. Sci. Instrum., 1983, v. 54,
p. 685.
[55] I. A. Curless. J. Vacuum Sci. Technol., 1985, v. 3, p. 531.
[56] Sc. M. Stanchak, H. Morkoc, L. C. Witkowski, T. J. Drummond. Rev.
Sci. Instrum., 1981, v. 52, p. 438.
[57] S. P. Svensson, T. G. Andersson. J. Phys. E: Sci. Instrum., 1981, v. 14,
p. 1076.
[58] M. A. Herman. Vacuum, 1982, v. 32, p. 555.
[59] C. T. Foxon, B. A. Joyce. Surf. Sci., 1977, v. 64, p. 293.
[60] E. A. Kurz, J. B. Hudson. Appl. Surfase Sci., 1984, v. 17, p. 485.
[61] J. M. Ballingall,
D. J. Leopold,
M. L. Wroge,
D. J. Peterman,
B. J. Morris, J. G. Broerman. Appl. Phys. Lett., 1986, v. 49, p. 871.
[62] F. J. Boero, N. P. Ong, J. T. Cheung. Solid State Commun., 1985, v. 54,
p. 35.


, 117
, 118
, 91


MOCVD, 344
, 343
, 62
, 132
, 105

, 16
, 16
, 16, 18
, 52
-- , 57
, 53
, 55
, 89
, 98
, 183
, 116
, 250
, 254
, 251

-, 257
,
259
, 261
, 221
, 232

( ), 225
, 232
, 221
, 222
, 222
, 235
, 236
, 237
, 237
, 323

Cu, 305
Li, 304


, 301

, 337
, 339
, 341

,
282

,
313
, 121
, 113
, 244
, 88
, 87
, 239
,
, 245
, 87, 111
, .
, .
, .

, .
, 88, 114
,
116
, 114

367
, 115
, .

,
247
, 248
, 87
, .
, 113
, 244
, 89
, 89

P T X, 143, 167
, 145
, 145
, 145
, 146
,
145
, 147
, 155
, 157
, 159
, 155
, 145
, 91
, 87, 95
, 98
, 105

368
, 109
, 240
,
97
,
96
, 110
, 96
, 96
, 96
, 100
, 101
, 96, 97
, 283
, 286
, 312
, 284

, 310
,
294
,
296
, 284
, 297
, 286
, 289
, 305
, 287
, 290
, 292
, 284

, 309


, 286
, 286
, 117
, 173
, 232
, 120
, 160
, 30
, 31
, 30
, 32
, 52, 54
, 24
, 38

, 37
, 37
, 37
-, 37
, 159
, 171
, 195
, 196
Ge Si, 198
, 200
, 196
, 201
, 324

, 301


, 339
, 342

,
282
, 121
, 171
, 162
, 173
, 178
, 264

, 266
,
268
, 282
, 265
, 264
,
164
, 221
, 145
, 145
, 111
, 243
, 89
, 166
, 297
- , 298
, 190

369

, 215
, 205
, 215
, 205
, 191
, 336

, 186
, 184
-, 186

--, 34

, 145
, 183

, 180

, 173

, 17
d-, 17, 19
f-, 17, 19
p-, 17, 19
s-, 17, 19
, 24
-, 26
-, 26
, 25
, 25
, 153
, 152

370
, 323
, 171
, 171
,
333
,
57

, 72
-,
73
, 73
, 66
, 63
,
63
AN B8N ,
62
AIV BVI , 81
VI
AV
2 B3 , 82
, AN B8N , 71

, 80
, 78
, 64
, 219
, 115
, 22
, 22
, 116


, 132
, 120
, 116
, 116
, 137
, 116,
121
, 117
, 117
, 117
, 117
, 117
, 116,
130
, 120
, 22
, 219
, 209

, 207
, 219
, 235
, 235
, 278
, 278
, 279
, 316
,
318
,
313
, 312

, 323


, 323
()
, 329
() , 323
- , 327
,
326
, 183

, 176
, 142
, 74
, 60
, 74
, 75
, 75
, 74
, 76
, 151

, 140
, 140
, 148
, 140
, 142
, 87, 89
, 91
, 89
, 239
, 91
, 91
, 89
, 92
, 89

371
, 89
, 84
,
85

, 86
, 151

, 139

, 139
, 140
, 141
, 22
, 36
, 30
, 24
, 24
, 33
, 34
, 23
, 173
, 173
, 57
, 58
,
58
, 57
, 58
,
42
, 51

372
, 48
, 46
, 51
, 46
, 48
, 46
, 49
, 49
, 48
, 50
(), 43
, 47
, 320
, 320, 333
, 320
, 336
, 338
, 341
, 339

(MOCVD), 344
, 336
, 351
, 353
- (MBE), 355
, 335

1.
1.1. . . . . . . . . . .
1.2. . . . . . .

7
7
11

2.
2.1. . . . . . . . .
2.2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.2.1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.2.2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.2.3. . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.2.4. ( --) . . . .
2.2.5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.3. . . . . . . . . . . . . .
2.4. . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.4.1. IVA: , , , -
2.4.2. VA: , , .
2.4.3. VIA: , , . . . . . . . . . .
2.4.4. VIIA: . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.4.5. IIIA: . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.6. . . . . . . . . . . . . . . . .
2.6.1. . . . . . . . . . .
2.6.2. . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.6.3. AN B8N . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.6.4. ,

. . . . . . . . . . . . . . . .

16
16
22
24
30
33
34
36
37
42
42
47
49
51
51
52
57
57
60
62

65

374

2.6.5.
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.6.6. ,
AN B8N . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.6.7. . . .
2.6.8. . . . . . .
3.
3.1. . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.1.1. . . . . . . . . . . . . . . .
3.1.2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.1.3. . . . . . . . . . . . . . .
3.1.4. . . . . . . . . . . . . .
3.2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.2.1. .
3.2.2.

. 68
. 71
. 81
. 84

.
.
.
.
.
.
.
.

.
.
.
.
.
.
.
.

.
.
.
.
.
.
.
.

87
89
89
95
111
114
116
120
132

4.
4.1. . .
4.1.1. . . . . . . . . . .
4.1.2. T X . .
4.1.3. . . . .
4.1.4. P T X . . . . . . . . . .
4.2. . . . . . . . . .
4.2.1. . . . . . . . . .
4.2.2. . . . . . . . . . . . . . .

.
.
.
.
.
.
.
.

.
.
.
.
.
.
.
.

138
139
139
145
162
167
171
173
183

.
.
.
.
.
.
.
.

.
.
.
.
.
.
.
.

5.
5.1. . . . . . . . . . . . .
5.2. . . . . . . . . . . . . .
5.2.1. . . . . . . .
5.2.2. .
5.3. . . . . . . . . . . . .
5.3.1.
. . . . . . . . . . . .
5.3.2. . . . .
5.3.3. .

. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .

190
. 190
. 195
. 196
. 201
. 204
. 207
. 209

. 213


6.
. . . . . . . . .
6.1. . . . . . . . . . . . .
6.1.1.
6.1.2. . . .
6.1.3.
6.2. . . . . . . . . .
6.3. . .
. . . .
6.4. . . . . . . . . . . . . . . .
6.5. . . . . . . . . . . . . . . . . . .
6.6. ( ) . . . .

375
219
. 219
. 221
. 222
. 225
. 232
. 235
. 239
. 250
. 257
. 259
. 261

7.
264
7.1. . . . . 266
7.2. . . . . . . . 268
7.2.1. . . . . . . 269
7.2.2. 271
7.3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 278
8.
283
8.1. . . . . . 286
8.1.1. . . . . . . . . . . . . . . . 287
8.1.2. . . . . . . . . . . . . . . . . 289
8.1.3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 290
8.2. . . . . . . . . . . . . . . . . 292
8.3. . . . . 294
8.3.1.
( ) . . . . . . . . . . . . . 294
8.3.2. . . . . . . . . . 296
8.4. 297
8.5. . . . . . . . . . . . . . . . 301
8.6. . . . . . . 304
8.6.1. Li Ge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 304
8.6.2. Cu Ge.
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 305
8.7. . . . . . . . . . . . . . . . . 309
8.7.1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 309
8.7.2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 310
8.8. . . . . . . . . . . . . . . . 312

376

8.9. . . . . 313
9.
9.1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.2. .
9.3.
9.4. . . . . . . . . . . . . .
9.5. . . . .
9.6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.6.1. . . . . . . . . . . . . .
9.6.2. . . . . . . .
9.6.3. . . . . . . . . .

.
.
.
.
.
.
.
.
.

.
.
.
.
.
.
.
.
.

.
.
.
.
.
.
.
.
.

320
. 320
. 323
. 330
. 333
. 335
. 336
. 336
. 338
. 351

You might also like