Professional Documents
Culture Documents
Sluchinskaya. Osnovy Materialovedeniya I Tehnologii Poluprovodnikov
Sluchinskaya. Osnovy Materialovedeniya I Tehnologii Poluprovodnikov
2002
. . , 2002
,
.
.
, ; ;
; , , - (
-
); ; , -, .
, .
,
,
.
.
1951 ., 1960 . , ,
- MOCVD
4
( ).
, , ,
. 1
,
,
, . 70- ,
, .
, , [1, 2] [3];
[4,5].
,
, , ,
15 . (
) .
,
.
, ,
. ,
, -
.
, ( ,
1 , () , .
,
. , , ,
.
5
, ) , ,
, () .
,
. , , .
, , , , -
.
, , . .
. ,
.
, ,
, ,
. , ,
. , ,
, , , ,
.
, .
. . ,
,
6
. . 6
. .
,
. , 9
, MOCVD, - .
1.1.
, ,
, , , , ,
, .
, - - .
1
, , ( ), . ( 0 K)
, ( ) ( ) Eg
1 ( ) , .
.
1.
( ), .
,
, .
.
, Eg .
( 0 )
,
. , Eg < 23 .
, , Eg = 0 (, HgTe HgSe).
, . ,
, ,
.
, .
; . ,
( ) .
,
. , .
.
( ).
(
). () .
= 1010 1020 ( = 1020 1010 1 1 );
= 104 1010 ( = 1010
1.1.
. 1.1. .
(1.2)
Ea , k .
-
10
1.
1/ = = ne,
(1.3)
n , e , . n ,
m
,
( , ). , .
( ).
[6]. , , (. . 2) [6].
, , ,
( ), . n ,
T.
(, , ). , , , ,
. , , , ,
.
, .
, . ,
, , ().
, . -
1.2.
11
,
.
. ,
, 40-
,
1833 .
,
.
1.2.
104 , 79 25 . 13 , 12 (. . 1.1).
, , .
.
.
,
[7, 8].
.
:
(a-Si, a-Ge, Se, Sb, Te); ( Se, Te, , , ); .2
2
1.
12
IVI .
2.1
3
1.0
11
0.78
1.52
1.60
Ra
1.9
55
0.7
Au
2.4
87
0.7
1.44
2.65
79
1.44
Fr
2.7
Cs
Ag
2.23
80
2.17
Ba
1.49
48
2.15
0.8
Sr
1.33
47
1.9
37
1.97
30
Ca
1.60
Mg
1.13
Be
0.9
1.7
56
Cd
1.0
1.6
38
Zn
1.0
1.2
20
1.5
12
0.9
88
1.9
Hg
II
2.47
Rb
1.28
Cu
0.8
2.27
29
0.9
19
1.54
Na
Li
1.88
Ac
1.70
81
1.88
La
1.63
49
1.81
1.22
1.61
31
Sc
1.43
1.31
13
1.3
1.5
21
Al
2.0
1.1
89
1.8
Tl
1.1
1.7
57
In
1.2
1.6
39
Ga
III
1.5
1.8
22
Si
2.5
104
1.8
Pb
1.3
1.8
72
Sn
1.4
1.8
40
Ge
Ku
1.75
82
1.56
Hf
1.40
50
1.60
Zr
1.22
1.45
32
Ti
1.17
0.77
14
IV
1.55
83
1.43
Ta
1.82
51
1.43
Nb
1.25
1.32
33
1.15
0.71
15
1.6
2.1
23
3.0
1.9
Bi
1.5
1.9
73
Sb
1.6
2.0
41
As
1.67
84
1.37
1.43
52
1.36
Mo
1.17
1.25
34
Cr
1.04
0.66
16
1.6
2.5
24
3.5
2.0
Po
1.7
2.1
74
Te
1.8
2.4
42
Se
VI
85
1.37
Re
1.33
53
1.36
Tc
1.14
1.24
35
Mn
0.99
2.2
At
1.9
2.5
75
1.9
2.8
43
Br
1.5
3.0
25
Cl
0.58 4.0
17
VII
1.35
Os
1.34
Ru
1.24
Fe
2.2
76
2.2
44
1.8
26
1.36
Ir
1.34
Rh
1.25
Co
2.2
77
2.2
45
1.8
27
VIII
1.38
Pt
1.38
Pd
1.25
Ni
2.2
78
2.2
46
1.8
28
86
2.18
54
1.89
36
1.74
18
1.28
10
Rn
2.6
Xe
Kr
Ar
Ne
He
1.1. . . .
() () [20].
( A)
1.2.
13
14
1.
A N B8N ,
A B , N A
. IV .
( ),
.
VI
(. . 3), (
).
AN B8N , , .
:
AIII BV GaAs, InSb, InP, GaSb, GaP, AlSb ( ).
AII BVI CdSe, CdTe, HgTe, ZnS, ZnSe ( ); CdS,
CdSe, ZnS, ZnSe ( ).4
AI BVII ( ) CuBr, AgI.
AIV BIV -SiC ( ).
) .
A IV BVI . PbS, PbTe, SnTe.
NaCl .
-. A IV BVI .
) .
VI
A V
2 B3 . (As2 S3 , As2 Se3 , As2 Te3 ), ; (Sb2 Se3 , Sb2 S3 ) ;
(Bi2 Te3 , Bi2 Se3 ) .
.
4 ,
.
1.2.
15
:
) [9, 10].
d- f- (
). .
, , EuS, EuSe,
MnTe, (NiO, CoO, FeO, ZnO, EuO, Cu2 O)
, , MeOFe2 O3 MeFe2 O4
(ZnFe2 O4 , MnFe2 O4 ), .
,
, , . (NiO, ZnO, EuO,
Cu2 O) , .
) - [11, 12].
.
ABO 3 . BaTiO3 PbTiO3 . - A IV BVI
GeTe SnTe.
- , .
) : , , , [13, 14].
, ,
.
,
.
.
2.1.
().
. ,
. , , ,
, ,
, . . . .
. , .
. , ,
, .
2.1.
17
= E,
H
(2.1)
=p
2 /2m + U (
p = i ,
H
U(r) = e2 /r ,
, m , e , r
- ), (r) (|(r)| 2
), E .
U(r) (2.1) . . (2.1)
= R(r)()(), r, , .
n, l,
ml ,
(2.1), . m s .
. ()
.
, (2.1) ( ): n, l, ml , ms .
, n, l ml , . , n
l, . n
.
n 1, 2, 3, ...
. n = 1, 2, 3, 4, ... K, L, M, N . . n
.
l ( ); l 0 (n 1). l = 0,
1, 2, 3 s-, p-, d-, f- .
ml
; ml l l
( ).
2.
18
ms
(
); ms : +1/2
1/2.
, (2.1) ,
En =
me4 1
e2 1
13.6
=
= 2 ,
2
2
2 n
2a0 n2
n
(2.2)
2.1.
19
()() . , .
s-.
s-. s- (. 2.2),
,
( ).
p-. n = 2 p-. , l = 1, 2l + 1 = 3 p-,
. p- p x , py ,
pz , x, y, z , ( . 2.2
+ ).
n = 3 4 d- (l = 2) f- (l = 3)
.
d- (. 2.2) f-.
n
.
.
2.
20
.
. ,
, . ,
. , ,
,
n, l,
ml , ms ,1 ,
. n, l2
.
, l
. , , ,
. ,
,
1
l, ml , ms .
ml ms
, (. ).
2
2.1.
21
. 2.3. 3s-
([Ne])
Na.
-
.
U, - , Z, Z
, , . Z
, , . Z,
,
. .
n Z: En Ze2 /n2 , , , 2s- 2p- .
. , , Li n = 2 ( ) ,
. 2s- 2p-. l ,
2s- Li , 2p-, . Na. 3s-, 3p-,
3d- ,
: 3s, 3p, 3d. ,
3s- Na
, , ,
22
2.
(. 2.3). , ()
Z ( Z) 2 1.
3p- , 3s-, 1 < Z < 2; 3d-
, , Z 1.
: 4s- , 3d-,
, , : 3s, 3p, 4s, 3d, 4p.
,
,
l. , ,
;
, ,
.
, n
. .
, s, p, d f-,
, 2, 6, 10 14 (2(2l + 1)) .
.
n + l, n + l n:
ns < (n 1)d (n 2)f < np.
2.2.
. , ,
. , ,
, . r0 , . . -
2.2.
23
. 2.4.
E r; r0 .
,
, .
. ,
.
?
. , .
, .
, . , ,
(. 2.4).
r0 ,
.
, ,
, , -
24
2.
. ,
, : E = E. E. .
1 .
, . ,
[15].
.
( ) , , : , . . ,
, . , . .
.
2.2.1.
,
, .
.
H2 .
.
( ), .
.
().
( ). H2 -
2.2.
25
. 2.5. , (a) () .
( A)
( B) .
, , ,
(A B ).
,
, A B .
()
H2
b = Nb (A + B ), a = Na (A B ),
(2.3)
A B A B ,
Na,b .
A B , , b Eb = 2Nb2 (Q + ),
A dV = H
B dV Nb , Q = AH
B
A B ,
B dV = H
A dV ; = A H
B
.
. Ea = 2Na2 (Q ), Na .
b , .
.
, b ,
. a ,
. .
, a , -
26
2.
. 2.6.
2A 2B
( )
2b 2a ( )
.
.
. 2.5,.
. 2.6 A B
b a ( ). b , a .
, b ,
a .
,
.
.
, ,
, : - . -
,
. , H2
- ( ), s- (. 2.7,,).
p-, - -. , ,
, z. pz - ,
- (. 2.7,,). pz - s- -.
- s-, p- d-,
.
2.2.
27
. 2.7. - -. , , ; , , .
28
2.
px - py - -.
-. -
, .
p-, ,
, . -
, , (. 2.7,,). - p- d-
d-.
, , . ,
.
S = A B dV . ,
. S < 0, ,
S = 0 , S > 0
(. 2.8).
. 2.6.
, ,
, .
.
( , ),
, a b ,
(. . 2.6,).
,
. , ; .
, .
: ) ; ) ;
) .
. ,
HCl
2.2.
. 2.8. .
29
2.
30
b = A + B , a = B A .
(2.4)
HCl , b A , a B .
. , ,
,
.
2.2.2.
, ,
, .
.
.3
,
, , , ,
() ().
( ). ,
, ,
. .
,
. ,
.
q . ,
, q2 /r, q , r
. ( ,
) . , [16], ,
3
, ... NaCl.
2.2.
31
. 2.9. ().
, q2 /r. .
, r . ,
. a/r m , a m
, . , (
) 4
U = a/r m q2 /r.
(2.5)
57 .
:
(. 2.9). , .
.
.
. -
, .
(), ( = Zed,
Ze , d , Z
) , 4
[16].
2.
32
(): = /E = Zed/E. ,
, ,
.5
.
, . , , : AgF, AgCl, AgBr NaCl, AgI
6 4. , FClBrI
F I.
- , , .6
,
.
.
,
.
( () () ()).
, . (. . 2.1) [17]. ,
,
.
.7
, , ( 5
, .
, ,
, ,
, 0.74
.
7 . ,
, .
6
2.2.
33
2.1.
[18].
.
3
4
6
8
r+ /r
0.150.22
0.220.41
0.410.73
0.731
BF3 ()
ZnS
NaCl
CsCl
2.2.3.
,
, ,
. :
1) ;
2)
Eg .
Eg .
:
1) ,
;
2) , ;
3) ()
Eg .
, .
,
, , .
-
34
2.
. ,
, .
,
, .
,
.
, . . : E = A F, A , ( A < 1 [15]).
, ,
. ,
. ,
(Z = 12) (Z = 12) , (Z = 8)
. .
2.2.4. ( --)
. , .
8 ,
( ). , -
,
;
, , , . ,
, --. -
2.2.
35
, , . , ,
11.2 / (0.116 /) 100 K,
[16].
.
. --
. , , --
, .
, .
.
.
,
.
, -- ( ,
).
U = c/r 6 , c , .
,
. 0.5 A
. 5 A
U = a/r 12 , a
, .8
. , 8 , , . , , U = exp(r/),
, , .
36
2.
, .
. , .
,
U = a/r 12 c/r 6 .
(2.6)
, , . -- ( ) .
,
( Z = 12, Z = 12).
2.2.5.
, ,
, ,
. ,
,
. 0.1 .
.
, F, O N. .
, (.
). ,
.
, ,
, .
. ,
.
(
) -
2.3.
37
H2 O ; ;
( );
(, KDP).
2.3.
, (. . 2.2.1).
. .
, -. , , Z N , :
Z = 8 N . ( ) .
, ,
, . ,
. , ,
, . , ,
. .
,
, .
.
38
2.
, , . .
,
.
.9 , .
1.
, .
2. ,
, .
,
, , , .
, .
, , , . 2s 2 2p2 .
1s- 2s- , .
2p-, , . 2p-
90 . , , .
, ,
: 109 28 . , .
,
2s2 -
9 -
s-.
2.3.
39
. 2.10. s- p-
sp3 -.
40
2.
. 57 . .
, .
, ,
. 2.2.
2.2. , .
;
57
.
; ;
57 .
3.5 .
--
,
,
; 0.1
.
2.3.
(Z = 8, 6, 4
3).
.
.
.
.
.
.
(, Z = 4) (Z = 12
.
8)
.
- - .
.
.
-
(
). - .
-
.
.
;
.
41
--
(Z = 12)
.
.
.
42
(Eg > 23 ).
2.
- -
.
Eg < 23 .
--
2.4.
, , ,
. . .
, ,
(. 1.1).
. ,
p-, 1 () 5 (). ,
p-, ,
.
2.4.1. IVA: , , , -
ns2 np2-, n = 2
, 3 , 4 5 .
IVA sp3 - -. ,
, . (. 2.12). ,
, (. 2.13), 8 , . 2.12, 4 ,
2.4.
43
. 2.12.
C, Si, Ge -Sn. sp3 -
.
4 . ,
, .
(
Z = 4).10 8 . , IVA ,
,
.
.
d,
a = 4d 3/3 , .
( ) 0.34. , , , .
, ,
. ( ) , 10 ,
8
.
44
2.
. 2.13. .
.
,
. (Eg = 5.48 ) .
Eg , ,
(. . 2.3).
, h > Eg
, . . .
( ) , , ,
. .
, . 2.14. ,
.
,
(d1 = 1.42 A)
, , -,
(d2 = 3.35 A)
-- . , sp 3 - ( ), sp2 - p-. ,
,
() 120 (sp2 - -
2.4.
45
2.3.
[19]. ( , , T = 290 K.)
Eg ,
C
()
Si
., O5h
a=3.566 A
., O7h
a=5.43 A
5.48
Ge
-Sn
P
()
As
()
Sb
-S
Se
Te
-B
-B
., O7h
a=5.66 A
., O7h
a=6.49 A
., D18
2h
a=3.31, b=4.37,
c=10.47 A
., D53d
a=3.76,
c=10.76 A
., D53d
a=4.308,
c=11.274 A
., D24
2h
a=10.46, b=12.88,
c=24.48 A
., D43
a=4.35, c=4.94 A
4
., D3
a=4.94, c=5.95 A
5
., D3d
a=5.057 A,
=58
., D53d
a=10.14 A,
=65
, 2 /
n
p
1800
1400
1.11
3000
500
0.664
3800
1820
0.09
2500
2400
0.33 (0 K)
220
350
0.175
(< 20 K)
40550
(.)
501210
(.)
0.1 (1.15 K)
110274
(.)
180363
(.)
3.8
7.5
10
1.9
40
0.335
2380 ( c)
1150 ( c)
1260 ( c)
650 ( c)
120
300
1.97 (E c)
1.90 (E c)
1.63 (E c)
1.61 (E c)
46
2.
. 2.14. .
.
),
p-. , sp 2 - ,
, p- - ,
. , , p-,
- . , ,
.
Si 10 ,
. .
Si . 2.3.
Ge 28 . . 2.3.
46 ,
. Eg = 0.09
-Sn ( ), 13 ; -Sn,
, .
, , , Eg . -
2.4.
47
. 2.15. VA. . ,
.
Pb, Sn,
(
, s-
p- , , s-
sp3 -).
2.4.2. VA: , ,
ns2 np3 n = 3 , 4 , 5 , 6 . . 2.15,: (p 3 ),
s-
p-. ,
,
Z = 3.
. 2.3.
48
2.
. ( ( ), , ).
, (200 C) , .
. ; . ,
. . 2.15,.
PP 2.23 A.
102 , 96,5 . -, sp 2 -
p-.
.
(, ), . , .
- (. 2.15,). , . ,
d1 = 2.52 A,
,
d2 = 3.12 A.
(96.65 ) ,
p3 -.
--,
.
: , ,
.
, .
, . (
).
d2 = 3.36 A
: d1 = 2.91 A
(d2 d1 ) ,
2.4.
49
d2 = 3.53 A.
. Bi d1 = 3.07 A
, Sb
Bi
,
.
, Eg IVA . , ,
, VA, ,
sp3 - .
2.4.3. VIA: , ,
ns2 np4 (n = 3 , 4 , 5 .
p- ,
(
O 2 ), (
).
, ,
90 .
sp- , . --. , , VA .
. 2.3.
.
, . S8 , , . 2.16,. SS
. d = 2.06 A,
108 .
S8 -.
. () , c .
103 ,
50
2.
. 2.16. VIA. S8 . ,
, , z; .
d1 = 2.37 A,
-- , . , d2 , -- , , , , .
,
. , (
c). , Se
p-,
.
. , (
TeTe 2.835 A,
103.2 ). , ,
2.4.
51
. 2.17. .
(n = 1700 2 /,
p = 1200 2 /). Te , ,
Se. Te .
. 2.3 , Eg VIA , IVA
VA .
2.4.4. VIIA:
VIIA . (. 2.17) I2 ,
. --, , .
, . 1200 0.1 . II
d = 2.7 A,
d = 3.54 A.
2.4.5. IIIA:
, IVA .
2s2 p1 . ,
2s1 2p2 . sp2 -
, , ,
. -,
, 2s-, 1s-.
52
2.
. 2.18. .
,
, 5.
, B12 ( ,
, . . 2.18). ,
(
- -). -B 12
, -B 105 . , .
( BB 1.71 A)
,
.
2.5.
,
, ():
. ()
. () , ()
, 9098 % ()
. ()
( ),
()
() ,
.
( . ), ,
. , , () , .
() ,
,
2.5.
53
.
() ,
; ; ; --
. . sp3 -,
(d = 1.54 A)
, 0.77 A.
, ,
(d1 = 2.52 A),
As , 1.26 A,
-- (d2 = 3.12 A),
--, 1.56 A.
() ( ).
, ()
. .
, () ,
, ,
, ,
.
.
, .
Z . , ,
, , AB
AA BB
.
, , ,
.
,
, : 2, 3 . .
() ( , , ).
,
(Z = 4, sp3 - ), (Z = 6, d2 sp3 - ),
(Z = 4, dsp2 - ), (Z = 2, sp- ) .
(
[15, 20]).
1. , , , .
, ,
.
2. . , ,
, ,
54
2.
. ,
. , ( , Mg2 Sn, . ).
,
.
3. - ,
, ,
.
,
,
0.1 A.
.
4. , .
, ,
, , ,
. , .
, .
. ,
.
0.01 A.
,
, .
. . 20- XX . , , , , , , F O2 ,
.
.
- O2 ,
O2 .
1.40 A.
. . . . , , O2
1.36 A.
7080- , , ,
. , . ,
, , , , .
, .
( , ,
).
1.
, .
.
2. , ,
2.5.
55
, , .
, A
Li+
3
0.70
Na+
11
1.00
K+
19
1.33
Rb+
37
1.52
Cs+
55
1.70
3.
.
: ,
; .
, A
Au+
1.37
Hg2+
1.12
Tl3+
1.05
Pb4+
0.76
4.
. ,
, , ( ), , .
, A
F
1.33
O2
1.36
Cl
1.81
S2
1.82
5. ,
, , . ( ,
).
, A
Pb4
2.15
Pb
1.74
Pb2+
1.18
Pb4+
0.84
6. .
Z,
. , ,
, (
).11
11 ,
d- f- ,
. d- f- , s- p-
, d- f-
, (
) .
2.
56
-. . - Z = 12
, Z = 8, 6 4 0.98; 0.96; 0.88. .
.
( [15, 20]).
1. , , ,
,
. ,
d-, d- .
-- .
, , d- .
2. ,
( ).
, A
Li
1.52
Na
1.85
K
2.31
Rb
2.46
Cs
2.62
3. , ,
. , .
, ,
, - () ,
.
, A
K
2.31
Ca
1.96
Sc
1.60
Ti
1.46
V
1.31
Cr
1.25
4. VII VIII . -, ,
5 d-, ,
, , ()
, ,
( ).
, A
Fe
1.23
Co
1.25
Ni
1.24
5. (. . 2) ,
,
2.6.
57
;
( ) .
-, , , , f-,
, ,
( ).
, A
5
, A
6
, A
Cr
1.28
Mo
1.40
W
1.41
Fe
1.27
Ru
1.33
Os
1.35
Ni
1.24
Pd
1.37
Pt
1.38
Cu
1.28
Ag
1.44
Au
1.44
6. , ,
,
.
, ,
, (
).
,
[15, 20].
-- , -- . -- . , , --
,
-- (,
). ,
-- , . - ,
. -- [15, 20]).
-- ,
. --
, - .
2.6.
2.6.1.
. . -
58
2.
X. B A , C
.
: A<B<C.
I
E ( ):
X = (I + E)/2.
(2.7)
I ,
.
.12
,
. .
.
- (), . , ,
; , .
, , .
,
,
( , I E ).
, (, I E
).
,
,
.
12 ,
, , , .
, .
2.6.
59
,
( ).
A B.
A B , . DAA DBB .
A B,
DAB AB , , DAA DBB DAB = (DAA + DBB )/2.
, DAB ,
DAB (DAA + DBB )/2 = > 0.13
,
Aq + Bq , .
. . , X = XA XB A B
. ,
: () (XA XB )2 . ,
A B,
XA XB . . X = 1
, X
X.
. 2.19
. , ( ) .
,
X
.
, , , . . ,
.
,
13
.
60
2.
. 2.19. [20].
, . ,
.
2.6.2.
, (-).
.
,
. ,
() . ,
- , ,
.
. ,
.
2.6.
61
SiC
InAs
GaSb
GaP
AlP
HgSe
CdTe
CdS
ZnSe
AgI
CuCl
ZnO
MgO
LiF
X
0.7
0.3
0.2
0.5
0.6
0.5
0.4
0.8
0.8
0.6
1.1
1.9
2.3
3.0
0.21
0.09
0.06
0.15
0.18
0.15
0.12
0.24
0.24
0.18
0.33
0.57
0.69
0.90
.
.
.
.
.
.
.
.
., .
., .
., .
., .
.
NaCl
NaCl
InSb
InP
GaAs
AlAs
HgTe
HgS
CdSe
ZnTe
ZnS
AgBr
CuBr
BeO
NaCl
CsF
X
0.3
0.4
0.4
0.5
0.2
0.6
0.7
0.5
0.9
0.9
0.9
2.0
2.1
3.3
0.09
0.12
0.12
0.15
0.06
0.18
0.21
0.15
0.27
0.27
0.27
0.60
0.63
1.0
.
.
.
.
.
.
.
., .
.
., .
NaCl
., .
.
NaCl
NaCl
: . -
, . , NaCl .
AN B8N ,
N A. ,
XAB , AN B8N
= (XAB /XCsF )CsF , XCsF CsF, 1. . 2.4. , AIV BIV , AIII BV AII BVI , AI BVII
0.3
1. AI BVII ,
0.5, X > 1. AI BVII CsF, LiF,
NaCl, KCl . .
. . , Z = 4. , ,
2.
62
NaCl (Z = 6).
.
2.6.3.
A N B8 N
, AN B8N , X < 1. , , (Z = 4),
sp3 - . A N B8N ,
4, IVA .
, , GaAs. ,
Z = 4
. sp3 -
:
Ga0 : 4s2 4p1
As0 : 4s2 4p3
Ga : 4s2 4p2
As+ : 4s2 4p2
Ga : 4s1 4p3
As+ : 4s1 4p3
, , AN B8N , ,
, .
,
, IVA ; ,
, .
AI BVII .
A B,
, .
GaAs.
, , Ga1 As1+ .
, ,
-
2.6.
63
. GaAs
Ga3+ As3 .
-
. ,
,
,
= C1 + C2 , C12 + C22 = 1,
(2.8)
,
. C1 C2
.
A B,
.
C 1 C2 ,
, , .
( ), C2 = 0 .
, . , C2 C1 , ,
A.
C2
B. , - .
.
Z = 4 ,
,
, , .
.
= C22. ,
0 = 1 nAe /N , nAe ,
64
2.
A , N , . 0 ,
- , . AN B8N N = 4, nAe
A . ,
AIV BIV
0
AIII BV
0.25
AII BVI
0.5
AI BVII
0.75
= 0 + q /eN ,
(2.9)
, 0 , q , N . q /eN
. ,
: , = C22, ;
, q /eN ,
.
,
. q - ,
; .
2.6.
65
. , ,
. ,
, .
, , . ,
, .
. 2.5 ,
, ,
(2.9), AN B8N .
2.6.4. ,
(, , )
, , . ,
( Eg , , ) 2.5.
AN B8N [2124].
q /e
q /e
q /e
AlSb
0.48
0.37
ZnO
1.06
0.77
HgSe
0.71
0.68
GaSb
0.33
0.33
ZnS
0.81
0.70
HgTe
0.52
0.63
InSb
0.42
0.36
ZnSe
0.7
0.68
CuCl
0.59
0.9
GaAs
0.46
0.40
CdS
0.73
0.68
CuBr
0.38
0.85
InAs
0.56
0.39
CdSe
0.55
0.64
CuI
0.18
0.79
GaP
0.58
0.40
CdTe
0.71
0.68
AgI
0.23
0.81
InP
0.68
0.42
HgS
0.77
0.69
66
2.
. 2.21.
Eg d IVAVIA (. . 2.3).
( d, q ,
X . .).
. . Eg d (. 2.21). ,
. ,
,
( : -
).
Eg .
, , .
. 2.6 , -Sn, Ge
Si d ,
Eg -
( ; . . 2.4 . 2.5).
2.6.
67
-Sn
InSb
CdTe
AgI
Ge
GaAs
ZnSe
CuBr
Si
AlP
d, A
2.82
2.82
2.81
2.81
2.44
2.44
2.45
2.46
2.33
2.33
0
0.36
0.68
0.81
0
0.4
0.68
0.85
0
0.40
Eg ,
0.09
0.18
1.5
2.80
0.664
1.43
2.80
2.90
1.11
2.45
n , 2 /
2500
78000
1200
50
3800
8500
260
30
3000
50
p , 2 /
2400
750
80
1820
420
23
500
150
Si C ,
, ,
.
d , , Eg
. , . 2.6
, , -, Eg
, , -,
Eg . Eg ,
.
Eg
- . , .
. - , .
, , Eg ()
A B . , , AlSb, GaSb InSb Eg (Eg = 1.63 ; 0.7 ; 0.18
)
(. . 2.5).
68
2.
,
A - . AlSb, AlAs, AlP Eg (Eg = 1.63 ; 2.14 ; 2.45
) ( = 0.37; 0.39; 0.68 ), , .
2.6.5.
, , -
. Eg
, L (. )
.
L .
,
, , ,
.
, , . .
.
,
. :
1) , ; 2) ,
, ; 3)
(, , , . ; . . 3). ,
2.6.
69
.
,
(
).
. 14 .15
,
.
. , , ,
(q)
q, (q) ,
q . .
,
, , .
,
, , .
.
, , ( ). , ,
, .
( ) [6].
.
[6].
14 .
15 , .
70
2.
()
(Si, Ge .).
. , .16
, . ,
,
. , , , ,
.
-
(InAs, GaAs .). ,
( )17
, .
, ,
.
,
,
,
.
, .
.
AIII BV (GaAs, InSb), AII BVI (CdS, CdSe) .
, ( )
16
17 , , , ,
.
2.6.
71
.
. ( ),
,
.
L . -Sn Ge n ,
(. 2.6).
, , ,
, , ,
, [6].
, .
AIII BV 78000 2 /
InSb, AII BVI 2300 2 / HgTe, AI BVII 50 2 / AgI.
q
, , . , AN B8N q ,
AIII BV AII BVI AI BVII
,
q ,
- .
AN B8N , ,
IVA . , . 2.6,
.
2.6.6. ,
AN B8N
.
,
72
2.
, . , , , ,
,
, . .
, , , ,
-
.
, [25]
,18 ,
.
, s- p-
. ,
s- p- . ,
, ,
. -, - ,
.
, , .
1. ,
IVAVIIA . .
B, , , , A. , A
18
, , .
2.6.
73
.
, A .
(. ). , , B
.
2. , -:
ne /NB + NBB = 8,
(2.10)
ne
( , ), N B
B ( IVAVIIA ) , N BB
, B . N BB
.
3. , , 0.81. ,
. ,
, Eg n,p ,
.
4. : AKa BLb
Ka = (8 L)b,
(2.11)
K L A B, , Aa Bb , a b ,
.
, AN B8N . ,
74
2.
, AN B8N , , .
(. . 4) , .
1. .
,
,
. ,
, . ,
InSb , ,
: In , Sb . ,
, . , InSb ( )
...-, 1/4
, :
In, Sb.
2. .
, , , , .
( )
,
(. . 4 . 8).
,
, ,
. ,
, .
, -
(,
Ax B1x ), ,
(0 x 1), ,
.
:
2.6.
75
. 2.22. : ; ;
; ; ;
. , , , , , AB. A, B, C,
.
) :
,
(. 2.22,). GeSi.
) :
, (. 2.22,). : Ge(Li), Si(Li).
,
(. 2.22,)
) : , , , ,
, (. 2.22,).
, Ni49 Sb51 , In2 Te3 .
AN B8N . , , :
sp3 - . -
, , , AB, A () B
76
2.
.
. , , AC BC,
A B
.
A1x Bx C . (. . 4),
, ,
.
A
:
AlAs + GaAs Alx Ga1x As AIII BV ,
CdTe + HgTe Cdx Hg1x Te AII BVI .
, ,
-,
,
, , - sp3 - .
, A B, , . , GaSb 1y Asy
(GaSb+GaAs) CdSe1y Tey (CdSe+CdTe). , ,
.
. , (GaAs) 1x (InP)x
(GaAs+InP).
, ,
Eg ,
(. 2.23).
, Eg
2.6.
77
. 2.23. Eg
In1x Gax Sb.
, Eg . (
). . ,
,
, . , ,
, , .
, - B ,
, A
ne . ,
A
,
AN B8N , , , , , ,
.
, , A, (.
).
, AN B8N ,
2.
78
.
1.
2.
3.
4.
Mg2 (Si,Ge,Sn,Pb);
(Li,Rb,Cs)3 (Sb,Bi);
(Cu,Ag)2 (O,S,Se,Te);
(Al,Ga,In)2 (O,S,Se,Te)3
,
A AN B8N .
IVA B. Mg2 Sn. Mg2 Sn
, . 2.24. ,
, A 4 (8/3 < 4).
, Mg2 Sn , (K = 2; a = 2; L = 4; b = 1), - (ne = 8; NB = 1;
NBB = 0) .
, Mg Sn, . ( ) ,
( ) . Sn
sp3 - Mg.
2.6.
79
. , Sn sp3 - ,
.
, Sn 8
Mg, s- p-,
( 8 ), Mg (. 2.25,). Mg
Sn, MgMg ,
, .
, Sn
, , 4 Mg ( , .
. 2.25,). ,
,
sp3 - B A. , Mg2 Sn 1/2 (4/8).
,
.19
19 AI BVI 2
IV
, AII
2 B ,
, .
80
2.
. 2.26.
( 1/2)
Li3 Bi.
, .
Li3 Bi. , Li . ( LiII ) , Bi , Li (LiI )
Bi.
Li3 Bi
. 2.26. Bi
LiI LiII ,
(LiII )2 Bi
, Mg2 Sn. , ,
,
. ,
Li3 Bi ,
.
,
,
.
. A II
III .
- ne = 24, NB = 3, NBB = 0.
4 (24/5 = 4.8).
-
2.6.
81
, 1/3 A .
, In2 Te3 ( ) 1/3
In ; Te 2.66 In (4 2/3 = 2.66), In
4 Te. sp3 -
. 2.27. ,
: (Te) sp3 -. , TeIn
Te, . ,
4
(24/(5 + 1) = 4).
- (5 10 21 3 )
,
;
, .
2.6.7.
AIV BVI
,
. AIV BVI , , , , -
82
2.
. 2.28. (
1/3) PbS.
(NaCl) 6.
,
.
, V , 5. s-
. - 1/3 (2/6) p-, sp 3 -
. . p- . 2.28.
Pb
p- , 1/3-. s- p-
S p- , .
, ,
, . , AIV BVI
-, , B, ne = 4, NB = 2, NBB = 6.
.
PbS
.
VI
AV
2 B3
, , , (
Bi2 Te3 ), .
Bi2 Te3 -
2.6.
83
(
). Bi2 Te3 , c [0001].
(. 2.29). Bi2 Te3 :
TeI BiTeII BiTeI TeI BiTeII BiTeI .
, . ,
TeI TeII .
, (Bi TeII ), 6; , (TeI ), :
TeI .
, pd- , . TeII Bi ( 1/3) TeI Bi ( 2/3);
6d- (. 2.30). , TeI
(TeI TeI ) ,
-- . ,
. 2.30 : 5p- 5d- TeI , p- d-
pd-;
2/3. , Bi2 Te3
.
,
84
2.
, . , , ,
Bi .
, -,
. ,
ne = 12, NB = 3, NBB = 0, Te
,
. ne = 16; TeI
TeII : TeI , 4
NBB = 2; TeII
(N BB = 0). , ,
, 8, .
, , -, , , AIII BVI (GaSe), AII BV
(Mg3 Sb2 ).
2.6.8.
-
2.6.
85
- .
, , --.
.
() (). -:
.
n e , NB
NBB . ,
, , .
.
. ,
-.
.
, -.20
.
.
. .
AKx BLy CM
z :
Kx + Ly = (8 M)z,
(2.12)
K, L M ,
A, B, C, ,
.
:
Kx = (8 L)y + (8 M)z.
20
, -, -.
(2.13)
2.
86
, - , .
sp3 - .
:
Kx + Ly + Mz
= 4.
(2.14)
x+y+z
, -, , AIII BV (II VI
II VI
): 2AIII BV AII AIV BV
2 , A B : 2A B
I III VI
A A B2 .
.
Ga
Zn
Cu
Ga
Ge
Ge2
As
As2
As4
AIII BV
AII BIV CV
2
V
AI BIII CIV
D
2
4
AN B8N .
AII BIV CV
AIII BV
2
AI BIII CVI
AII BVI
2
I IV V
A B 2 C3
AIII BV
I IV VI
A 2 B C3
AII BVI
I V VI
A3 B C
AII BVI
AII2 BV CVII
AI BVII
IV VII
AIII
B
C
AI BVII
3
2
II IV VII
A 3 B C2
AI BVII
II III VII
A 4 B C3
AI BVII
III IV VI
A2 B C
AII BVI
, ( ),
. [26].
,
. .
. , , , , , , , . .
, , . ,
, , , , ,
, ,
, , .
: (. 3.1). ,
, :
1. : , ,
, ,
.
2. : .
88
3.
. 3.1. .
3. : , , , .
4. : , ,
.
, ,
, . , , , . , ,
.
,
, , , , , , .
,
, , ,
.
. .
- - .
.
3.1.
89
,
, .
, ,
, .
, .
3.1.
3.1.1.
, .
.
,
,
. VA , VB , ... ,
A, B ... . ,
GaAs VGa VAs Ga As, . . , .
(), ( ). Ai A .
() .
,
, ,
.
,
- , .1
( + ),
,
.
1 . , [27].
90
3.
. 3.2. .
, . , , (- ). , ,
. .
, , . 3.2.
, E B D.
,
.
. VA VA + h+ .
Ai A+
i +e .
, ,
, , : ,
.
.
,
, , ( 1.52 ) ,
. ,
.
, ,
1/r 3 ,
r .
3.1.
91
. , , ,
. , .
, .
.
- .
( )
, (
)
(
). , ,
.
, .
,
,
,
. ,
, .
, , Bi2 Te3 .
.
(. . 4). (
), .
, GaAs Ga As, As Ga , , As.
, Ga
As .
92
3.
, .
,
.
, ,
.
( ).
, B ,
A+ ,
, . ,
.
, (. ).
1. . , , () . T > 0 K
, , . .
,
G = H TS ( G
, H , S ). , , ,
T > 0. N
, 0 K , G0 . N
N N (N + N ) . N
G
G = G G0 = H TS = NW T (N S + S ),
(3.1)
W ; S
, ,
3.1.
93
. 3.3.
.
; S ,
. W S ,2 , , W > S 68 .
S
S = k ln(P1 /P) = k ln
(N + N )!
,
N !N !
(3.2)
P1 P , N N (N + N ) N
N (P = 1)
, . ,3
N
(N + N )!
N
= k N ln
S = k ln
+ N ln
,
N !N !
N + N
N + N
(3.3)
N
N
+ N ln
.
G = N (W TS ) + kT N ln
N + N
N + N
, . 3.3 , G
,
[17].
2
, N (3N )
S = 3R0 [ln(kT/h) + 1], , R0 , k .
1 , S = 3R0 ln(/1 ). S > 0, 1 < S < 0, 1 > .
( ) ,
, S > 0 G .
3 N ,
, ln N ! N (ln N 1).
94
3.
N.
G/N = W TS + kT ln[N. /(N + N. )] = 0
(3.4)
, N N. S ,
N. = N exp(W /kT).
(3.5)
:
N. = (N Ni )1/2 exp(W /2kT ),
(3.6)
N. , N
, Ni
, W , k
. 1/2 , :
.
,
,
( ).
, ,
( ) . .
,
. ,
.
, , .4
2. .
, (.
).
4 , ,
.
3.1.
95
3. . (, 100 )
. [28].
6 30 , . ,
20.4 . ,
-,
.
4. . ,
, . , ,
. ,
() .
, , ,
- , - ,
.
,
( ),
. .
3.1.2.
, .
,
. , ,
, .
. (. . 6
96
3.
. 3.4. .
.
. 9), .
, ,
, ,
. , , , , ,
.
. .
,
( ) ( ), (. 3.4,).
,
, . AD,
, .
, AD, , . 3.4,. ,
, , . ,
3.1.
97
. 3.5.
.
, . , , ,
AD,
. .
. , (. 3.4,)
, ; , ,
, .
,
,
, ,
,
AD (. 3.5 . 3.6).
. ,
.
(. 3.6). . ,
,
AD,
. ,
, .
,
. , -
98
3.
. 3.6. .
.
, ,
(
) ,
. ,
, . . 3.7 .
( ) b. ,
.
,
, . ,
, A-B-C-D-A , A
(. 3.8).
,
, . b, , ,
.
, . , . 3.8 (
),
.
-
3.1.
99
. 3.7. a , . .
; , ; ,
.
. 3.8. .
100
3.
, b
( ),
.
.
[27].
. an <uvw>, <uvw>
, a
, an (u2 + v2 + w2 )1/2 .5 , ,
<110>
a 2
,
a2 <110>.
2
. ,
b . , b
.
.
. , , ,
.
() . [27].
1.
, ,
. , ,
b . ,
:
,
, , b1 + b2 + b3 = 0. ,
,
.
5
. [27].
3.1.
101
. 3.9. , .
2. , .
.6 ,
, ,
E Gb2 , G , 45 [29]. ,
, (E 0.1E ),
, , ,
.
, .
3.
,
,7 . . , 109 / 103 /
.
,
.
.
, .
.
,
6 (510 A),
, ,
.
7 , .
102
3.
, . , ,
(. 3.9) , ,
. , ,
, , .
, ,
, , .
.
, ,
, , ,
. , , , .
, ,
( ), ( ) ,
(. 3.10).8 . 3.10 ,
, . ,
, . .
. .
, ,
(. . 7). ()
. (. . 8), (
8
.
3.1.
103
. 3.10. . A , .
)
.
, . ,
. ,
, , ,
.
. , (
).
4.
,
(, ), . , () , ,
() () (
). , , , ,
, .
, -
104
3.
, , : , ,
. ,
,
: , , , .
5. . , ,
. ,
, . b ,
. , . 2,
.
, , . , ,
,
. , ... (a/2)<111>,
... (a/2)<110>.
.
.
(a/2)<110>.
<110>.
- <110>. 9 ,
, (. . 3.1). .
, <110> (. 3.11). (a/2)<110> BC .
,
. ,
3.1.
105
. 3.11. <110>.
<110> <110>. .
. 3.1 , : (
) (. 3.12,), {100} (
) (. 3.12,) 60- {111} ( 60 ) (. 3.12,). .
, NaCl,
[27].
6. 60-
, , ,
() ,
.
.
. 0.7 1.2 [17],
, ,
, .
7. .
.
, ,
.
106
3.
BC
AB, AC, DB, DC
AD
BC + AC, BC + BA
BD + BC, DC + BC
AC + AB, DC + BC
AD + BD, DA + BA
AD + CD, DA + CA
AB + DB, AC + DC
AC + DB, AB + DC
AD + BC, AD + CB
AC + BD, AB + CD
1
2
3
7
8
9a
9
5
6
NN
{311}
{110}
{110}
{100}
{100}
73 13
54 44
90
45
45
<211>
<211>
<100>
<100>
<100>
2.45 0.82
1.63 0
2.0 0
2.0 0
2.0 0
0.82
1.63
0
1.41
2.83 0
{111}
{100}
{111}
{111}
30
90
0
60
90
<211>
<211>
<110>
<110>
<110>
3.1. [27].
3.1.
107
108
3.
: I (); II ( ); ().
1). I .
r0 r.
r = r r0 > 0 ,
r < 0 .
. , ,
, ,
, .
. EI
,
: EI Gbr03 r sin /r0 R,
G , R sin
( ) [17]. r/r0 , :
.
0.5 .
. , 35
EI kT. , ( ) . ,
.
2). II ,
, , . EII :
EII (G)b2 /R2 , R [17]. ,
; EII 0.2 .
.
3). .
. n-
3.1.
109
. E fe2 /a, f
; a ; e . E
0.02 .
(, ),9
, , , .
. , , ( ), .
.
:
)
( );
) ( ).
, . .
(
), .
,
. , .
. , , , n- 9 . ,
. . [16].
110
3.
. , , ,
, .
, ,
, , ,
p n-.
.
.
, , . ,
(. . 3). , ,
.
(.
. 8), , .
.
(. . 4).
. ,
, .
.
, ,
.
, .
.
3.1.
111
,
.
. .
, , ,
.
,
, .
.
,
, .
,
, .
, , .
, .
, . ,
.
, , ND = 104 106 2 .
103 104 2 .
, ,
,
AIII BV (. . 7).
3.1.3.
, (
) .
. , , -
112
3.
. 3.13. .
, .
. ,
(25 ),
(). . 3.13 , , , , . , , D b/
(b ) .
,
, [27]. ,
,
D.10
, . ,
> 1012 10 , ,
.
( ) (
).
3.1.
113
. 3.14. .
.
(. . 4).
.
, . ,
,
, . ,
- . , , ...
. {111} ABCABCABC....
... {111} ABCA BCB ACBA....
C . . 3.14 .
,
.
.
,
,
. . ,
, ,
.
,
(. . 6).
ABCABCABC...
114
3.
3.1.4.
.
, , , . ,
,
, , .
3.1.
115
. 3.15. b1 = (a/2)<110> b2 =
b3 = (a/6)<112> (111).
.
.
,
, .
. , . 11 , ,
.
(. . 6).
, ,
. ,
, . ,
, .
,
(. . 9).
.
.
11 , , 0.2%
.
116
3.
.
.
. ,
. : ,
(, Pb PbTe),
,
(, CdTe PbTe, ).
3.2.
, .
,
.
. ,
, . , ,
,
(. . 7).
. , .
,
12
0 K
. ,
12 () ,
. . , In PbTe , 0.07
.
3.2.
117
.
,
.
,
. , , , ,
.13 , , ( , ), . n-.
, . , ,
. ,
, ( ,
), . p-.
,
, , , . ,
() ,
;
, .
, . .
Ei ( ) (
13 ,
np = n2i = p2i .
118
3.
) . 14
,
. ,
[6], , ,
,
, . ,
.
, - .
.15
. , ,
.
( ), (
). ,
.
,
. (1955 .) , . ,
, .
. ,
, , ,
.
, 14 , ,
[6].
() .
15 :
[6].
3.2.
119
, .
,
.
: , , , .
,
, .
, , , , - .16
, ( ) , - .
, ,
. , ,
,
. ,
, .
, .
.
- , . ,
, Z0 , ,
. d- f-. . , ,
. f-
.
. ,
.
,
.
.
.
- . 16 , , , , , .
120
3.
,
. A III BV .
CIV , AIII , ,
BV . V = 1, .
, , ,
, ,
, , .
,
, . ,
,
( ) () ,
. , ( )
- , [30].
, .
. , [31].
. , ,
, , ,
. ,
.
, ,
(, ;
).
3.2.1.
. ,
-
3.2.
121
Ei , Ei ,
Li
0.033
B
0.045
Al
0.057
P
0.044
Ga
0.065
As
0.049
In
0.16
Sb
0.039
Tl
0.26
Bi
0.069
Ei ,
Ei ,
P
0.0120
B
0.0104
As
0.0127
Al
0.0102
Sb
0.0096
Ga
0.0108
In
0.0112
Tl
0.01
.
IIIA VA , ,
. VA
, .
IIIA , . ,
VA , IIIA , .
VA IIIA , Si Ge . 3.2.
, IIIA VA ,
. ,
0.01 ,
[6] [32].
, IIIA VA .
:
, (. . 3.2). ,
122
3.
IIIA VA , , .
In Tl, , ,
.
. ,
( In Tl) , , , .
IIIA VA Si Ge , , ,
, ,
. , ,
, .
.
, IIIA VA
, . ,
, , .
,
. , ,
. , -, , Si, P,
, , , .
,
, , (, 10 K )
( , . . 7, ,
. . 8), , , -
3.2.
123
. 3.16. Si. +
[32].
(
1021 3 ) . .
IVA . I, II, VI ,
() . , . Cu
, Ge. , ,
, [17].
I, II, VI
. , , , , (
), ,
. , .
, .
. 3.16 . 3.17, .
, ,
Si Ge, , , I, II (
124
3.
. 3.17. Ge. +
[32].
ns2 )
, VI
.
.
, , ,
() . , Zn (IIB )
Ge (. . 3.17). Zn ,
Ge ,
, . ,
(VIII , ) , (I , 1) Si
. , Li (I ) ,
, . Te (VI ) ,
Ge,
. , . 3.16 . 3.17.
. 3.2 , II III
, , . -
3.2.
125
Cu, Ag Au (IB ).
, VII, VIII
5d- Si Ge , (. . 3.16 . 3.17).
.
, Si Ge, , ,
.
. , Fe Mn Ge
; Si,
,
[32] (. . 3.16 . 3.17). ,
, . , ,
, , Ni . Ni
,
[31] [32]. , -,
[32].
, Si Ge.
, , d-,
,
, ,
.
[31].
, ,
d-
d- , .
d-,
. d-
. , . ,
d- , , [33],
[34], . -
126
3.
, , ,
4s- ( 4) 3d- d-
; d-
4s-
d-,
d-: 3d n 4sm (
) 3dn(4m) ; 3dn 4sm ( ) 3dn+m .
AIII BV AII BVI . : 3dn 4sm ( ) 3dn(Vm) ;
3dn 4sm ( ) 3dn+m , V
.
(),
,
, , . - (, ), ,
d-. , ,
. , . AIV , AIII BV AII BVI
: . d-
[30].
d- : , .
:
,
, .
d-
[31]. d-
, d- . , ,
, ( ) dn
( ) ( ) . ,
,
p- d- . , Co, Cu
Ni, Si, , Fe, Mn, Cr,
V Ti Si. ,
Co Si, AIII BV GaAs
GaP.
3.2.
127
(. . 8) , n- p- , ,
. , , ,
. Co (. . 7) (
), , -, Co, d 5 .
n-Si Co
d6 , p-Si d4 .
d- Co (d5 ) ,
. , ,
.
, , Si
.
.
Si Ge. : . ,
,
.
(. . 8). Cu Ge
, d-
(. ). , Ge,
; Cu0 Cu+ .
. ,
(. . 3.17).
(. . 8)
Ge(Cu), , Cui ,
. -
120
3.
,
. A III BV .
CIV , AIII , ,
BV . V = 1, .
, , ,
, ,
, , .
,
, . ,
,
( ) () ,
. , ( )
- , [30].
, .
. , [31].
. , ,
, , ,
. ,
.
, ,
(, ;
).
3.2.1.
. ,
-
3.2.
129
. 3.18. n
p Ge(Zn); Ei ; E1
E2 , . Ge(Zn)
A1 () Ge(Zn) A2 , NZn < Nd < 2NZn ().
(Nd = Nd0 Na0 )
NZn Nd . n(T ) ( 1 . 3.18),
Ei
= 0.01 , Ei
, p(T) ( 2 . 3.18)
E 1 = 0.03 .
p2 /p1
= 2 , , -,
, , -, . , N Zn Nd ,
A1 , A2 .
p2 /p1 , , p1
= NZn , p2
= 2NZn .
A 1 ,
Zn (, ) Nd < Nd < NZn .
. p(T) ( 2 . 3.18) ,
:
p1 = NZn Nd ; p2 = 2NZn Nd ; NZn
= p2 p1 ;
(3.7)
Nd = NZn = p2 2p1 ; Nd /NZn = (p2 2p1 )/(p2 p1 ).
A 1
-
0.03 ( 30 ). T 50 .
A2 Zn (
0.09 ) NZn < Nd < 2NZn . A1
, , , A2 E2
. , p(T) ( 3
. 3.18)
p3 = 2NZn Nd ,
(3.8)
130
3.
, p(T ) p3 ,
(2NZn Nd )Nv
E2
p(T) =
exp
.
g(Nd NZn )
kT
(3.9)
A2 ,
= , . NA0 = NZn
NA = NZn
2
2
, . (3.8) p(T) ( 3 . 3.18)
= /N . ,
NA /NA0 = NZn
Zn
2
2
2 ( A1 ),
p(T) (3.9),
, g. ,
-.
, ,
. , p(1/T)
A1 ,
A1 . p-, , .
g
= 2 ,
.
- rx , RH n(p) = rx /eRH , . , B, 2 B2 1, -
[6]. , 2 B2 1, - rx = 1. , RH (B)
rx (B), rx . RH (B)
, , -
.
, , , ,
.
IVA Pb, Sn C. ,
.
3.2.
131
, , , , .
Ge Si , (.
. 7).
H2 - . Ge3 N4 , Si3 N4
( ()). Si ,
, .
10.6 [32].
, ,
; .
Si Ge ,
,
Si(Ge)Ox . , , , -, .
Si(Ge)Ox . (), ( 1018 3 , . . 5).17
SiO2 ,
. , (, ), ()- .
,
( Si(O) ).
. ,
(300500 C) Si SiO 4
, 430 C;
17 9 ,
SiO.
132
3.
. 500 C SiO4
,
1200 C.
3.2.2.
AIII BV . AIII BV , ,
,
- . ,
.
,
, ,
, ,
. , X
, , :
.
. 3.19
GaAs [32].
II VIA AIII BV , , , - A, - B. II ,
VIA . ,
InP GaAs In Ga, ,
() .
GaP GaAs P As, ,
(. . 3.19).
AIII BV , , .
VIA AIII BV .
, GaAs. ,
GaAs As [32].
, -
3.2.
133
. 3.19. GaAs. +
[32].
,
. ,
.
IIIA VA , A III BV , . ; ,
, ( ,
, GaAs GaP).
IB (Cu, Ag, Au), AIII BV ,
. . , Cu GaAs.
GaAs , .
Ga, Cu
GaAs, ,
[32]. Ag Au GaAs
(. . 3.19). IA AIII BV ,
,
. , , InSb
, GaAs
134
3.
, . , ,
.
( 500 K) , p-
Li GaAs
(. . 3.19).18
VI, VII VIII AIII BV , ,
, .
AIII BV
. , . , GaAs (.
. 3.19) Mn, Co Ni, +2,
Ga .
Fe Cr +3, +2 ,
, , GaAs
. +4,
GaAs.
AIII BV
d-,
, ,
,
, IVA .
d- AIII BV (. ),
GaAs GaP [31].
A III BV
GaAs.
18 Li + . Li+
V . Li+ V , Li , Li2 , Li+ Li2 , Li+ , Li Li2
. GaAs ,
Li +
. ,
, p- Li GaAs.
3.2.
135
. ( ) Cr0 d3 . d2 ()
d4 (). , Cr GaAs ,
,
, . , ,
,
, .
. Cr3+ (d3 ),
Cr2+ (d4 ). , ,
Cr3+ (d3 ),
Cr4+ (d2 ).
d 3 .
- AIII BV IV GaAs.
IV , GaAs. .
1. . Sn [31] (. 3.19). Si Ge GaAs.
GaAs(Sn) n-
. , , -,
, As .
119 Sn
GaAs.
2.
.
Pb GaAs [32]. GaAs (. 3.19).
3. ,
.
Nd /Na ,
136
3.
, .
, Si Ge GaAs [31]. Si Ge,
, ,
, .
, GaAs,
. , GaAs .
GaAs (. . 6)
.
GaAs ,
(. . 9)
,
p n-. , ,
( 6%) [32].
4. , - . ,
GaAs -
[Si+
Ga SiAs ].
AIII BV . 3 4, IVA
.
AIII BV , Ge Si (. . 5). , , , GaAs
. GaAs ,
. , () ,
, ,
, GaAs , ( 108 300 K
107 300 K ). ,
GaAs, , .
,
3.2.
137
,
. GaAs, , .
GaAs .
.
,
, , , ;
,
GaAs. ,
GaAs, .
, . , ,
( , . .). . ,
GaAs GaSb, (. ),
[Li+VGa
],
VGa
.
, Li+ VGa
Li GaAs 2
[Li+
i LiGa ], .
Se Te , .
(. ). ,
, Ge
.
. , , ,
. ( ), .
,
. , ,
. .
, , , .
4.1.
139
4.1.
4.1.1.
,
, Ge Si , , . , , .
, , .
, , .
, ,
.
,
, .
, , ,
. (.
),
. ,
, .
.
-
,
(, , ).
,
.
( ), (-
140
4.
) () .
.
,
, , ,
.
, ,
- . ,
.
,
- , .
, , , .
, ,
, .
( ).
.1 , ,
, .
, .
(. . 3).
, .
- .
, .
. , ,
1 , .
, . .
4.1.
141
. 4.1.
GeSi.
. , (H2 O) ,
. . 4.1 . 4.2 () GeSi InSbAlSb.
Ge Si, InSb AlSb, Sb, Al, In,
In Al Sb, InSb AlSb.
,
.
,
.
, .
, .
, . , , ,
,
(- - . .). , ,
[17]. -
142
4.
. 4.2. InSbAlSb.
, :
c = k f + 2,
(4.1)
c , k , f .
(, ), .
,
, .
,
.
,
( ) . c = k f + 1.2
, f = 1,
1 (c = k f +1 = 1 1+1 = 1).
, .
f = 2 ( ), c = k f + 1 = 1 2 + 1 = 0.
,
2 ,
. ,
.
4.1.
143
( ),
, ( T = const,
).
,
.
,
() .
X, T P. . , . , .
, , .
,
, .
(T X).
() . () . . ,
(P T X ).
, T X.
P T X , .
. , X,
100%. , ,
, -
, .
, , , (. . 7) -
144
4.
. 4.3. SiAu
( , , ,
).
()
( 0.1 .%)
1015 1019 /3 , 105 102 .% (. . 4.3).
, . : 1)
; 2) , ( , , ) ,
; 3) .
-
. , ,
, . . , ,
.
,
H
() V , (
) .
, .
4.1.
145
.
( , , ), .
. .
4.1.2. T X
GeSi
(. 4.1). , Ge Si
.3
AaB . 4.1, , . AbB,
( ),
. , , ,
(L + ).
, ,
. X
, T , .
,
. m , ,
, .
, m
( amb . 4.1).
, ,
3 Ge
Si. Si,
Si Ge.
, Ge Si , ,
Ge Si.
146
4.
( a XL ) ( b XS ).
,
, . : Q , ,
,
,
(. . 4.1):
QL/QS = mb/ma.
(4.2)
4.1.
147
. 4.4. .
GeSi -.
.
.
.
, (T = const P = const)
G = H TS = U + PV TS,
(4.3)
H, T, S, U, P, V , , ,
, , .
, G
. ,
, ,
G(T) ,
(. . 4.4). , G(T )
. T
G(T) .
, , G.
148
4.
G
. A B
,
. B A, ,
(. . 7), G ( 4) , .5 . ,
B dG/dXB . ,
,
.
.
.
,
A B.
G = H TS,
(4.4)
4.1.
149
1. , ( , ,
);
2. , R = (RA RB )/RA .
U, , , H, H = U + PV .
H H < 0.
R U , , H
, H > 0.
H
. (4.4)
TS.
, ( A B ), .
( S . ,
S. , S S. )
: S. > S. > S > S. .
, , ,
,
. ,
.
A B,
. (4.3)
S , ,
S , , ,
.
, H,
S.
, , H < 0 L, S
.
H(L) H(S) -
150
4.
. 4.5. .
T , T (A) > T > T (B); XL XS
T ,
G(L) G(S).
G(L) G(S) , [17].
. ,
. , T (A) > T (B), T (A) T (B)
A B.
1. T > T (A) H(L) < 0 G(L) G(S)
, T (B) < T < T (A) G
(. 4.5,),6 T < T (B) H(S) < 0
G(S) G(L) ,
(. 4.5,).
2. T1 > T H(L) < 0, H(S) < 0
G(L) , G(S) ;
T > T2 > T (A) G 6
. ,
, (. ).
4.1.
151
. 4.6. .
T2 , T > T2 > T (A).
(. 4.6,)
A B ,
|H(L)| < |H(S)|; T (B) < T < T (A) G
; T3 < T (B)
G(S) , G(L) ,
(. 4.6,).
H(S)
.
G(S) (S. > S. ). , ,
, . , T ,
G. = G. .
T , T < T .
, , - , . . ( ),
. -
152
4.
T , |H| = |H. H. |.
,
R [17], T , R. T ,
, ,
. , R , T ;
, R , T
.
.
, B A 25 .% B,
( )
75% A 25% B.
A B 25%, ;
75% A,
( )
. , .
, .
.
,
.
.
.
. () (
, ,
), .
. ()
= p q,
(4.5)
4.1.
153
p A, , q
, . = 1, (
); = 0, (
).
.
, , , , ,
.
.
- . ,
. () i-
i = 1 NiAB /NcA cB ci = 1 pAB
i /cB ,
NiAB
NcA cB ci
(4.6)
A B, ri ,
A B,
, N , c A
cB A B, ci i- ,
pAB
i B A, ,
i-. , 1 < 0,
, 1 > 0,
. 1 = 1, ,
.
i = 0
i ,
(
). ,
. i , ,
- . ,
(ri ) , (ri )
.
,
, . FeAl.
() 25% 50% Al,
Fe3 Al FeAl.
... .
. FeAl Al
, CsCl. , ,
... . Fe3 Al Al
;
. ... , , . i (4.6)
, , (ri )
( (ri ) ri )
[36].
154
4.
H(S)
T ,
, T < T ,
, , T > T ,
, (.
FeAl).
. , H(S) , , .
,
.
, : )
: , ; )
.
,
.
3. ,
, H . H(L) > 0
H(S) > 0, , T1 > T (A) G(L)
, G(S) ;
T (B) < T < T (A) G ;
T < T2 < T (B) G
, ,
(. 4.7,) H(S) > H(L);
T3 < T G(S) , G(L) ,
(. 4.7,).
H(S)
AA BB AB, . ,
, ,
4.1.
155
. 4.7. .
T2 , T < T2 < T (B).
G(S), S. > S. .
,
,
(1 + 2 ). ,
H > 0 G. < G. , G. > G. , T4 ,
G. = G. . H(S) , . H(S)
,
, .
,
.
.
(. 4.8).
: L, ( L + L
+ ),
+ .
A e B e . -
156
4.
. 4.8.
,
.
A c B d , Te . ced
, : c (
), d ( ) e ( ). , Te
c d : L + + . ac bd
(ac B A,
bd A B), .
0 c
L + , . , , ac,
+ ,
,
. , .
ac bd, ; .
d B .
c d Te ( ) e
c d
L + .
4.1.
157
. 4.9. InTeSnTe.
ac bd ,
.
:
1) A, B
; 2) ,
.
, ,
InTeSnTe (. 4.9) SiAu (. 4.3).
.
A ( B), B ( A)
, ,
, (
): L + .
.
(. 4.10). A bB ; A a nB ; ac nd
,
T . T :
L + + . ab -
158
4.
. 4.10. , .
( ),
a, n b.
0 a 0 c
.
, a
n, T , .
, ,
. T
b ( ), a ( ).
, n ( ).
, ,
. + ,
ac nd ,
.
, n
b, T
. L + .
bB , nB .
4.1.
159
. 4.11.
InSeGaSe.
. ,
T
. n b
nB T
.
, ,
InSeGaSe (. 4.11). (InGa2 Se3 ).
.
. : 1)
, ; 2) ,
, ( ,
, ).
1. . , ,
, ,
. -
160
4.
. 4.12. .
, (
M),
(. 4.12). ( A B),
Am Bn , :
, (
E1 E2 ):
A + Am Bn Am Bn + B.
, InAs InInAs
InAsAs (. 4.13). ,
. , ,
A B,
Am Bn .
(
, , ), ,
. 4.14.
A B
Am Bn .
, , -
4.1.
161
. 4.13.
InAs
InAs.
. 4.14. .
162
4.
. ,
,
( Am Bn ( J) GaTe3 . 4.15,,). , ,
, . ,
, .
2. . ( ), , Sb2 Te3 SbTe (. 4.16). ( ), , InAs InAs (. 4.13). AIV BVI
.
0.1 .%.
4.1.3.
, ,
, , ,
. , , , , , ,
. , ,
. , , ,
, .
, ,
. ,
.
, ( ),
4.1.
163
164
4.
, .
, , ,
. .
, ,
, , - : , ,
, . , ,
,
.
, C0 (. 4.17).
T0 a, T1 b, T2 c . .
, ,
B. , ,
. :
)
;
) .7
. ,
,8 ,
7 , . , ,
.
8 ,
.
4.1.
165
. 4.17. () () (ad, cq bf
C1 , C2 C3 , ; C2
Te C2
; , C2 , , ,
, , C2 n . ,
C2 , , C3
e, f , , -
fm, . ,
+ ).
166
4.
, ,
ad (. 4.17,). , T1 b
b a f, T2 k . .
T -
( pd),
T as rs. ,
T , T , ,
as, C0 . as .
,
B.
, , .
, .
.
. , , :
, ,
()
.
, ,
, ,
, (. . 5).
, , ,
.
(. . 4.17,).
. , .
, ,
, , -
4.1.
167
, .
(),
; ,
,
. ,
, .
, , .
.
.
, , ,
. , .
4.1.4. P T X
P T X .
P T X , ( )
, ,
, .
, ,
1 + 2 (.
. 4.18,). . 4.18, GaP,
GaP.
. T X
P T X .
P T X .
P T X -
168
4.
. 4.18. P T X ; P T X
GaP GaP
.
P T, T X P X,
(. . 4.18,).
,
P T X , P 9 P
P P . ,
( ),
.
- ( ),
, .
P T X
( ). ,
, . ,
AIII BV , , AII BVI , , AIV BVI , , . .
,
9P
, . P
.
4.1.
169
- .
(. . 3). , ,
.
-
, , , ,
. . 3,
,
.
A B ,
, .
. 10
, , . P T X
.
, , , , , InAs (
100 20% [17]).
.
. .
10 , , AIII BV ,
, AIV BVI ,
,
.
170
4.
. 4.19. P T P T X PbS. 1
; 2 PS2 PbS+S2 ; 3 PS2 PbS+Pb.
T1 , . . As. T2
,
T1 .
, .
. 4.19 P T PbS.
, ,
; .
( ) ( n-)
( p-),
. n = p PS2 , . ,
4.2.
171
. ( p-) .
. 4.19, ,
.
. , , n = p.
,
, .
, .
,
.
, ,
. .
4.2.
.
.
.
.
.
, .
:
1) ; 2)
; 3)
. ,
. -
172
4.
,
.
.
.
, , ,
() .
, . , () ,
,
.
. , ()
, ,
.
F. ,
. , ,
. ,
.
:
F = Fv + Fs ,
(4.7)
4.2.
173
. 4.20.
T1 > T2 > T3 > T4 .
4.2.1.
.
, , . ,
,
. , , ,
, ( ).
.
.
V S,
.
Fv =
V
(F (S) F (L)) Fs = S,
M
(4.8)
M , F (S) F (L)
.
, F = Fv +
Fs .
Fs ,
.
Fv T
174
4.
, , , . .
a = 2r (V = 8r 3
K = 6)
r =
2M
.
[(F (L) F (S)]
(4.11)
, , T = T T . ,
F = F (L) F (S) = [U (L) TS (L)] [U (S) TS (S)]
= U (L) U (S) T[S (L) S (S)] = L LT/T ,
(4.12)
4.2.
175
U (L) U (S) = L ,
S (L) S (S) = L/T , T = T F = 0 U (L) U (S) =
T [S (L) S (S)], (4.11)
r =
2MT
.
LT
(4.13)
, ,
.
. r > r (
), r < r . ,
.
, ,
P ( P0 T).11
,
,
, r :
4r 3
R0T ln(Pr /P0 ) + 4r 2 ,
(4.14)
F = Fv + Fs =
3M
Pr r T, P0 T, M
, R0 .
(4.14) , Pr /P0 < 1, F , , , . Pr /P0 > 1,
r F ,
r F < 0
( ). , F (
),
r =
2M
.
R0T ln(Pr /P0 )
(4.15)
11
, .
176
4.
r < r , r > r .
, ,
,
.
: P = P P0
; = P/P0 ; = P/P0
. , , T = T T.
, , , .
W exp(F/kT).
(4.16)
, (4.13) (4.10), (4.10) (4.16):
2
323T
M2
W exp
.
(4.17)
(LT)2 kT
:
163 M2
.
(4.18)
W exp
3kT(R0T ln(Pr /P0 ))2
,
, .
. V (3 1 ) ,
.
V . , ,
. , n ,12
12 .
4.2.
177
:
V = n ,
(4.19)
,
. , ,
,
.13
= ac qS ,
(4.20)
q = P/(2mkT )1/2 m
P T , S = 4r 2 , ac ,
( ) [37].
(4.21)
V = ac qS n .
, .
.
n n1 exp(F /kT), n1 = P/kT ( , ).
,
( ), .
V ,
A + Ai1 Ai ,
(A , Ai i ).
,
, .
(4.21) Z
,
13 , , .
.
178
4.
. 4.21. ( ) .
Z = (F /3kTi2 )1/2 ,
.
(4.22)
:
V = 4r 2 (ac P/(2mkT )1/2 )(F /3kT i2 )1/2 n1 exp(F /kT ).
(4.23)
, , ,
.
(. 4.21).
.
. ,
,
(. 4.21). ( T )
, ,
T = T ,
0 (. 4.22). ,
, ,
( ),
. T
, T , T
4.2.
179
. 4.22. .
(. 4.17).
T ( ) ,
,
.
T ,
,
.
,
. .
exp(Q/kT), Q
, .
(4.24)
, F , .
, Q, , .
, (. 4.22).
(, ) , . -
180
4.
.
. T 0.2T ;
= Pr /P0 10.
. ,
. , , ,
(), . ,
, :
. ,
, - . .
, .
, , .
, .
.
,
, -
4.2.
181
, r, (. 4.23).
: sv = cs + cv cos ,
sv , cs cv , .
r , , Fv Fs .
Fv =
(4.25)
:
Fs = i si = cv scv + cs scs sv ssv
(1 cos )
+ r 2 (cs sv ) sin2
= 4r 2 cv
2
(2 + cos )(1 cos )2
,
= 4r 2 cv
4
(4.26)
)
4r 2 cv (1cos
, r 2 sin2 2
, cs sv = cv cos .
[37]:
F = F
(4.27)
(4.27),
, . , r
, .
= 180
, , . , -
182
4.
,
(. 4.23,).
= 0 .
, ,
(. 4.23,).
,
(, ).
= 0. . (4.27) , F
,
(4.27)
.14 , ,
, ,
.
0 < < 180 . , . r F ,
, , ,
.
,
14 F
s
r [37].
r 109 . F
1/[R T ln(P /P ) ( + )].
, F
r
cv
cs
sv
0
0
4.2.
183
. 4.24.
.
. 9,
.
4.2.2.
, .
( ). ,
, , , ,
.
: , .
- , (. 4.24). , (100)
, (111) .
, (
) .
, (. 4.24). , ,
, . -
, .
184
4.
. 4.25. -
(. 1), (. 2) (. 3).
(. 4.24).
.
, . .
, , .
,
, ,
,
, .
. ,
. , ,
(. 4.25, . 3), .
(. 4.25, . 2) , (. 4.25, . 1) . , ,
,
, . , ,
. . , ,
, , -
4.2.
185
. 4.26.
, .
, . ,
, . ,
. , ,
, , exp(w/kT), w
, .
. ,
.
.
, .
() (),
(), . -- , ,
.
. ,
, ,
, -
186
4.
. 4.27. , .
. ,
(. 4.26),
. . - .
- (
). , ,
. ,
, ,
.
,
.
.
, .
, , ,
. ,
.
,
.
-
4.2.
187
. , -, ,
. ,
. .
,
, .
,
, , .
.
- . -
, .
,
, - . .
- . ()
. , , , .
(. 4.27), , ,
,
. , ,
,
.
.
(). .
, ,
,
188
4.
. , ,
.
,
. V - :
V (P)2 exp(E/kT),
(4.28)
V P exp(E/kT),
(4.29)
P , E .
. ,
.
.
, , , ,
( ) ( ).
- ,
() .
.
, .
, , ,
. .
,
( , , , . . ).
, , -
4.2.
189
. 6, .
5.1.
, . 3, .
. ,
, , , ,
.
. , , , , - . ,
, .
, - . -
, . , ,
5.1.
191
, .
. , , ,
. , .
, , .
.
,
. , , : ( ,
2 105 1.0%), ( , 1 105
0.4%), ( , 5 106 0.5%)
( , 0.05%).
A, B C. A ,
. B C
.
, 100%
.
,
,
. ,
1 104 % ( ).
: (
) ( ). .
.
(n)
() , : 1) 1000 () , n%f (n promille); 2) 106 () , n ppm
(n parts per million); 3) 109 () , n ppb (n parts per billion).
N .
. . , , . , , . , ( ) ( ) ,
,
, .
192
5.
, . ,
,
( , , . . 6), , Ge Si.
. , ,
() , .
,
(. . 5.1).
,
.
,
,
. ,
.
Ge Si .
,
.
. Ge Si
,
Ge Si. ,
Ge Si (0.1 .%). , ,
, ,
. -
5.1.
193
. 5.1.
GeSb.
: .
,
, . . 5.1 : GeSb.
. , ,
, ,
:
L S
, L S
(. 5.2). :
1) L S , (. 5.2,); 2) ,
(. 5.2,).
, , -
194
5.
. 5.2.
, S
L TA: , ; , .
:
CS , CL (. 5.2). ,
, CS CL
(. 5.2,), , ,
CS > CL (. 5.2,). ( ),
( ).
, , ,
. ,
,
(. . 4).
,
. .
- -
5.2.
195
(,
, ,
). , ,
,
.
,
, .
,
,
, , .
, , . ,
. ,
, ,
.
5.2.
K,
:
K = CS /CL.
(5.1)
K 1. , K < 1,
. ,
, K > 1.
. K 106 10. K
(
, . .). K .
196
5.
5.2.1.
K0
. , ,
,
. ,
CL, ,
CL = K0CS .
. 5.2, L S
K0 ,
(
, CS CL
).
, S L
, K0
.
K0 , .
K 0 (K0 > 1
K0 < 1),
.
(,
).
K0 = CS /CL , , . p i
X0 1 (. 5.3; (. )).
Ni = CS
1 .
5.2.
197
. 5.3. ,
X0 .
|Nd0 Na0 | ,
, ,
(. 5.3). ,
, , (n0 p0 )
(n p) . ,
Ni
:
1. n-,
Nd = n n0 ; Na = p + n 0 .
(5.2)
2. p-,
Nd = n + p 0 ; Na = p p 0 .
(5.3)
CL , VL pi . VL
(, Ge
18 106 , 5.5%; Si
12 106 9% ).
Mi , , NA , NApi /Mi
198
5.
.
CL = (NA pi )/(MiVL ),
K = CS /CL = (Ni MiVL )/(NA pi ).
(5.4)
: 1) CS = Ni , ( );
2) K = K0 , K V
( V < 1 /)
.
K0 Ge Si.
. 5.4 . , Ge Si B K0 > 1;
T. , Ge. rk , Ge,
. ,
K0 rk .
K0 < 1 , , T
, T .
Si , K 0
, , . K0 1
, Si.
, K0 1 Ge Si ,
T , .
Au (T = 1063 ) Ge. , ,
. GeAu,
. 5.5. , Au
073% T 365 , ,
TGe , .
Ge (365 )
, . 5.5 -
Au Ge (
). , Au
Ge 1.51016 3 , 4105 .%
T = 921 . Au Ge , K 0
, . 5.4, 10 5 .
5.2.
199
. 5.4. Si
() Ge () [32].
200
5.
. 5.5.
GeAu.
, , K0 ,
.
, (Fe, Co, Mn, Ni) Ge Si K0 105 106 ,
, , .
, Au Ag,
. .
, .
K0 , Ge Si,
K0 > 1 .
, . ,
.
104 105 %.
(. ). , ,
,
- ( ). , ,
5.2.
201
. 5.6. :
; .
5.2.2.
,
,
. , , . ,
,
. CL, , (. 5.6,),
CS = K0CL.
202
5.
, . K0 < 1. V
, , ,
,
. , ,
,
(. 5.6,). K0 > 1,
.
,
0 < 1, , 0 > 1.
CS CL(0). CL(0),
, ,
CS CL
K:
K = CS /CL,
(5.5)
CL .
K K0 . ,
.
:
(5.6)
dC/d = w grad C + D2 C,
w , D ,
.
, , . , .
:
(5.7)
dC/d = wx dC(x)/dx + Dd2C(x)/dx2 .
D = const ,
, dC/d = 0. (5.7) :
Dd2C/dx2 wx dC/dx = 0.
(5.8)
5.2.
203
wx
V , wx = V ;
CS , ( x > ) CL
; CL(0) x = 0.
,
. ,
V [CL(0) CS ] + DdC/dx = 0
C = CL
x = 0,
x = .
(5.9)
(5.8) (5.9) x = 0
:
V
CL(0) CS
= exp
.
(5.10)
CL CS
D
K0 = CS /CL(0) K = CS /CL V /D = , , :
K(V ) =
K0
.
K0 + (1 K0 ) exp()
(5.11)
, K
V , D. D (
) 105 104 2 /, 1 103 ; V
13 /.
, . . 5.7 K
K0 . , K 1
K0 . , ,
K K0 .
, K K0 , .
, .
( K0 < 1) , ,
204
5.
. 5.7. K
= V /D
[37].
, , K,
K0 .
5.3.
.
, , ,
.
, . , K,
(K > 1), , (K < 1). ,
, ; .
, ,
: . ,
, -
5.3.
205
. 5.8.
.
. 5.9.
.
.
, ,
(. 5.8).
,
. , , , . . 5.9 ( .
. 6).
, . , (. 5.10).
.
,
.
-
206
5.
. 5.10. .
,
. (
) .
.
:
1.
,
(5.12)
DS = 0.
2.
,
(5.13)
DL = .
.
3. ,
K = const.
(5.14)
,
K . , K
( (5.11)),
K = const
:
V = const.
(5.15)
4.
, :
L = S = .
(5.16)
5.3.
207
5. .
, .
5.3.1.
,
.
VL
(. 5.8), CL CS
. K < 1.
,
C 0 .
,
dVL . ,
, CS dVL .
(CL CS )dVL.
:
CL(VL ) CS (VL )
dCL(VL ) =
dVL .
(5.17)
VL
CS CL , K = CS /CL,
CL KCL
(1 K)CL
dCL =
dVL =
dVL .
(5.18)
VL
VL
,
. :
CS |VL =V0 = KCL|VL =V0 = KC0 ,
(5.19)
V0 .
(5.18) :
VL dVL
V0
VL
1
1K
C
S /K
C0
dCL
CL ,
(5.20)
208
5.
. 5.11.
K
,
(L ) [37].
VL /V0 ,
CS (VL ), g, ,
g = 1 VL /V0 ,
(5.21)
(5.22)
K . 5.11. ,
. (K < 1)
(K > 1) . , K < 1 CS (g)/C0
g 1 ,
C0 ,
(5.22) , .
, K = const,
(5.22)
.
. K , -
5.3.
209
. .
- .
.
5.3.2.
(, ) ,
.
. 5.10. : .
, ( K < 1), .
, ,
,
.
,
(5.22), l
: l = const.
,
, .
.
L, S
C0 .
x (. 5.10).
. CL(x).
.
dx, ,
dML = KCL(x)S dx.
(5.23)
210
5.
. 5.12. K , , [37].
, , ,
dML = C0 S dx.
(5.24)
dx
dCL(x) =
C0 KCL(x)
dML dML
=
dx.
lS
l
1 l
CL(0) =
C0 (x) dx = C0 .
l 0
(5.25)
(5.26)
(5.25) (5.26)
:
(5.27)
CS (x) = C0 [1 (1 K) exp(Kx/l)].
K . 5.12 ( 2 CS (x)/C0 ).
2 x/l.
5.3.
211
212
5.
).
(L nl). ,
(5.29) :
x
K
C (n)(x) =
C (n1) (x + l) eKx/l dx + const eKx/l .
(5.30)
l 0
:
K l (n1)
C (n)(0) = KCL(n)(0) =
C
(x) dx.
l 0
l
x
K Kx/l
(n)
(n1)
Kx/l
(n1)
C (x) = e
C
(x + l) e
dx +
C
(x) dx .
l
0
0
(5.31)
(5.32)
n- . (5.32), , C (n) (x), C (n1)(x), C (n1)(x + l),
C (n1) (x + l) C (n1)(x) (.
. 5.13). ,
. n C (n)(x)/C (n1) (x) 1, . ,
,
.
. Ck (x).
, ,
1 x+l
Ck (x) dx.
(5.33)
CL =
l x
x KC L,
K x+l
Ck (x) =
Ck (x) dx.
(5.34)
l x
5.3.
213
:
Ck (x) = A exp(Bx),
(5.35)
A = C0 BL/(eBL 1),
(5.36)
B
K(eBl 1) = Bl.
(5.37)
5.3.3. .
, , , , .
, .
K.
K K0 .
214
5.
( ). , ,
, 13 /.
,
10 (. . 5.13),
.
. ,
, , , , , .
, 0.5 ,
,
. .
.
, , .
,
. -
5.3.
215
, , ,
.
1018 3 .
, .
.
. 6.4,.
, , (1016 3 ). , Si,
Si. , ,
Si . , , -
.
n(p) = |Nd Na | < 1012 3 , Nd Na ( > 10 3 ),
n(p) > 100 ,
, , .
() , Nd /Na .
Nd /Na 1, .
,
.
, , ,
. , -,
Si , -,
.
216
5.
. 5.14.
i
n ( )
( ).
(,
). , 1,
. , , ( ),
2.5 1012 3 . (n).
, , ,
,
xn 1
.
,
.
n . 5.14.
.
Si , ,
() . N a n ( KB 1), Nd n. ( Ge),
,
i , , . (N d + Na )
p- 7 , |N d Na |
5.3.
217
, 45 .
710 Si ,
Si
n-.
Si
Si
: .
. , ,
. .
,
.
, ( RH (T)) (T) , . RH
x = RH /,
.
( Si p-).
[6],
p(n) = |Nd Na |. ,
p(T) Nd , Na , |Nd Na |, p(T)
:
Eav
(Na Nd )Nv
exp
p(T) =
,
(5.38)
gNd
kT
g , Nv
, Eav ( : ) . p(T) 5
7 . 5.15,; . 5.15,. p(T) x (T)
5 , , , -
218
5.
. 5.15. () () .
x , .
p(1/T ) ( Eav 0.05 ) (Na Nd )/Nd , (Na Nd )
p(T).
. 7 . 5.15 (Na Nd ) 5 1011 3 , ,
Nd /Na = 0.2.
= 105 2 / ,
.
1.
:
.
,
.
,
.
: 1)
( ); 2) ( ); 3) ( ); 4) .
, , .
,
. , () -
220
6.
. (. . 4).
,
, ()
. ,
.
()
.
,
(. . 4). - () . ,
,
(V T). - ( )
(V T exp(1/T)) -
(V (T )2 ).1
, ,
(. ),
- ,
.
. ()
( ), () , () ( ). , (. 1
[17].
6.1.
221
).
( ). , .
, , T .
,
.
, -
. - .
. .
,
.
,
, , . . .
6.1.
,
. ,
( ) .
Ge Si (
10 /),
.
222
6.
, .
.
.
, , . ,
.
,
T ,
. . :
; ; .
6.1.1.
, . , .
, , .
(
) .
.
(. 6.1,).
, , (. 6.1):
6.1.
223
. 6.1. : ( );
.
1) , ,
, ;
2) , ;
3) .
. ;
. ,
:
(. 6.1). , ,
, . ,
, , .
. ,
.
, , ,
-
224
6.
. , . .
, .
. , .
.
.
, , ,
(), , .
, . (
) -
.
,
.
,
, -, , , -, , , . , , ,
, .
.
: , T (. 6.1).
.
.
6.1.
225
. 6.2.
. 1
, ; 2 ; 3
; 4 ; 5 ; 6 ; 7 ;
8 ; 9 ; 10
; 11 ;
12 ; 13 ; 14 ; 15 ; 16 ; 17
; 18 ; 19 .
(110 /).
, PbTe, GaAs. GaAs -
As : .
.
6.1.2.
.
1916 . . .
( ),
, .
226
6.
. , , . ,
.
.
(. 6.2): 1) , ,
, , ; 2) , , ; 3) , , , ; 4)
, ,
.
.
, .
, , , .
, . ,
. ,
, ,
,
.
. .
T ( ).
.
, -
6.1.
227
,
, .
,
. ,
, . .
( ) , ,
, . ,
. ,
, , . ,
<111>,
,
{111} , , .
(
) . , , ,
(. ). ,
,
.
. .
.
, . 6.3. , ,
228
6.
. 6.3.
.
, ,
,
r 2 hl g = 2r,
(6.1)
h = 2/rl g,
(6.2)
, l , g , r , h .
; ,
.
,
, . .
. ,
, , .
, .
,
, .
,
6.1.
229
. .
.
, , , ,
, , , , ,
.
.
T,
T0 ,
, ,
Q1 = l (T T0 )r 2 /h,
(6.3)
l .
f ,
Q2 = r 2 Ls f,
(6.4)
L ; s .
Q3 = r 2 s dTs /dx,
(6.5)
s ; dTs /dx . ,
[22].
,
Q3 , , Q1 , , Q2 ,
: Q1 + Q2 = Q3 .
Q h :
l (T T0 )/h + Ls f = s dTs /dx,
(6.6)
230
6.
r=
(6.7)
,
.
,
, Q1 = 0. , T T0 = 0.
,
fmax = (s gradTs )/(Ls )
(6.8)
/.
, ,
[38].
. . .
.
, , , .
, , , .
, ,
.
. -
6.1.
231
.
. ,
, , .
.
.
.
1. ,
; ,
.
2.
. .
3. .
. 98%
, ( 2 . )
. , Si.
150
1 . .
, . ,
InSb.
232
6.
. 6.4. : ; (1
; 2 ; 3 ; 4
; 5 ; 6 ; 7 ; 8 ).
6.1.3.
.
, , ,
. , , , . , , ,
, , (. 6.4,).
( ,
). .
, , ,
, . , ,
, , .
6.1.
233
. 6.4,. () () . ,
, .
( ),
- , .
. ,
, , .
Si . - ,
.
( ). ,
.
.
.
,
.
,
, ,
.
,
, , .
, , , :
234
6.
. 6.5. ,
(V1 V2
):
; ; ;
.
(), (. 6.5).
. 4, ,
. 1.
2 3,
. .
, ,
, .
,
,
.
Si 100 .
: , .
, .
6.2.
235
6.2.
,
.
, , .
,
(T > 2000 C, , ), , (GaP, GaAs, InP .), (GaTe3 .).
:
.
.
, , . ,
,
K < 1. , GaP , Ag, Cu, Fe,
GaP 1.
:
;
; , ; , ( ) . , , . : 1)
, (, H2 O NaCl); 2)
(Ga GaP).
, ,
.
236
6.
, ,
, .
,
, .
: 1) ; 2)
; 3) ; 4)
; 5) .
,
, , .
(10 2 101 /) 23
.
AB,
, A 1x Bx
x, ,
.
GaP Ga1x Px . GaP . 6.6. GaP 1470 ; Ga P .
x < 0.5 ,
. , Ga ,
Ga1x Px , x, GaP. , 1 . 6.6, T1 , T1
.
, ,
. ()
. Ga,
GaP,
.
6.2.
237
. 6.6.
GaP.
.
,
, .
, : ,
.
, .
,
: 1) ; 2) (
); 3) ; 4)
, .
,
.
, .
( ), 1955 . .
238
6.
. 6.7. :
A ( ) B
(); (1
A; 2 AB; 3 A).
A-B (. 6.7). A , B ,
Tmax , Tmin , T1 , T2
.
A
B, , B A, B.
A, B A . A
, T1 T2 , AB. , ,
A, B
,
T1 C1 . A .
, T2
C2 .
A .
,
A, B KC1 ,
6.3.
239
A.
, ,
,
.
. B , ,
A.
. , ,
A B
.
. B, A.
InSb Cd1x Hgx Te. ,
(. . 9).
6.3.
,
,
.
.
(. . 3).
(, , , ) ,
.
.
240
6.
.
.
,
;
;
. ,
,
L2 /Dv , L
, Dv .
.
,
, , ,
, , . .
, (. . 3).
. :
. .
.
.
1)
(. 6.8). , , .
6.3.
241
. 6.8. ,
: ; ; (1
; 2 ; 3 ; 4 ; 5
; 6 ; 7 ; 8 ; Q ,
).
2) ,
W exp(B/T) , , ,
- V (T)2 ),
.
3) , .
.
, , ,
. , , .
, , (. ). ,
.
. ,
. ,
242
6.
. 6.9. ()
() .
.
, .
,
.
() ()
. ( ,
).
, ,
.
( ), ,
.
. ,
. ,
, ,
, ,
.
, , .
. ,
, , -
6.3.
243
.
,
. ,
. 6.9. , (- )
,
. , . ,
,
.
Ge Si ND < 100 2 .
, , ( ).
.
,
,
, .
, Si, , , ; InSb,
, . .
. ,
. ,
.
. ,
.
244
6.
, <111>,
{111}. , , , ,
.
,
.
, . , , . ,
.
, , .
.
.
.
,
, .
. , {111}. , <111>, {111} , . [100],
(111) 36 16 .
{111},
<111>.
6.3.
245
,
, . , , ,
, , ;
; ,
; ;
; .
,
.
, .
, .
, ,
, .
, ,
K = K0 /[K0 + (1 K0 ) exp(V /D)].
, , , . ,
, ,
(. 6.10). , ,
, .
, , ,
, . . ,
,
(),
246
6.
. 6.10.
( ) :
; ; .
. ( ),
, , ,
.
.
V , , .
,
, , .
( , , ,
). ,
(. 6.11).
. (
), , -
6.3.
247
. 6.11. ,
.
, . ,
V /,
V , .
.
, .
.
. ,
, : , ,
.
, .
.
,
,
, .
K .
K 1015.
, , Si Ge <111>.
248
6.
. 6.12. ,
.
, ,
, .
,
K , .
. , <111>.
{111},
. , ,
, , .
, ,
.
, ,
; ,
,
.
. ,
6.3.
249
. 6.13. ,
,
.
, K < 1.
K < 1 T , . (. 6.12). 6.12 AB A B
. ( AB) (
). ( A B)
DB, , .
.
, , ,
, T . , ,
,
. .
. (. 6.13).
,
-
6.
250
.
2.
,
, . ,
/, ,
. ,
, , ,
. ,
,
. , ,
, . .
,
.
, : 1)
( ); 2) (
); 3) ( ); 4)
( ). ,
, , .
, :
1) -;
2) ;
6.3.
251
3) .
.
( ).
,
.
:
1) () ; 2)
; 3) .
- .
( , -, , .) , ,
.
( )
.
. , .
. .,
.
.
l L
.
l L
, [37]. -
252
6.
2 .3
, , .
, ( )
( ).
, ( ),
.
l L
,
.
, . ( )
-:
j0 = (a P)/(2RT /M)1/2 ,
(6.9)
j0 , P T , M
, R ,
a , ,
.
,
, , , .
,
:
j(r, ) = j0 ds cos /L2 ,
2
(6.10)
, .
.
, (, ; . 8).
3 . ,
.
6.3.
253
. 6.14. , ,
ds ds .
j(r, ) L
ds
(. . 6.14).4
, (),
.
6.14, , d, , L,
1 . ds d, L 1 :
ds = L2 d/ cos 1 .
(6.11)
,
( ) :
I = ac I0 cos cos 1 /L2 ,
(6.12)
I0 , 1
, ac .
ac 1 1010 . ,
.
R,
4
. ,
.
254
6.
, [37],
R = K
M1 M2
E,
l(E)(M1 + M2 )
(6.13)
K , ;
M1 ; M2 ; l(E) ;
E . R
, , ,
. , , ,
, ,
. , .
, , - V (. . 4).
,
, .
.
(
, ),
.
,
. , ,
.
,
, - . -
6.3.
255
. - ,
. ,
,
.
.
.
. .
,
( ) .
. . .
,
. ,
. , - , ,
. -
.
. , ,
(. ) .
G,
. G > 0,
; G < 0,
; G = 0, .
. , ,
, ( )
.
( K),
. K . ,
, , .
, .
.
, .
, ,
, .
, -
256
6.
. ,
, , , ,
.
, .
, .
.
() . , , , ,
. -
.
, .
, , , .
,
, . , ,
. , , .
, , , . C .
.
, ,
, . .
. ,
. , .
.
.
,
, ,
.
- ( ) , . - -
6.4.
257
(- ) .
.
: 1)
; 2) ; 3) .
( , ).
() .
, ( ). ,
, , . , .
-
. , ,
, .
.
6.4.
, (1 . .), , .
-
258
6.
. 6.15.
: ;
.
, ,
.
. 6.15.
( )
. , ,
,
.
( ), .
: .
.
. .
1.
.
,
.
2. .
, , .
6.5.
259
3. ,
.
, , AIV BVI (PbTe, PbS .), AII BVI (CdS, CdSe .)
.
- (,
.).
6.5. (
)
,
. .
, .
, ( )
.
.
, .
,
.
SiCl4 + 2H2 Si + 4HCl
(6.14)
SiH4
SiH4 Si + 2H2 .
(6.15)
260
6.
. 6.16. .
: 1)
(); 2) .
() , , , , ,
(. 6.16).
( , )
. ,
, .
, , . , , G, , .
, (
). , .
, .
,
( ) .
6.6. ( )
261
. .
. ,
. , ()
(, ,
) .
.
: , ; ,
.
6.6. (
)
,
. .
:
GeI4 Ge + 2I2 .
(6.16)
(. 6.17). X (I2
) , A ( Ge) X . .
,
. ,
XA (GeI4 ),
A (Ge), ,
262
6.
. 6.17.
() () : 1 ; 2
; 3 ; 4
5; 6 ; 7 .
A (Ge)
A (Ge).
A,
, X,
.
, T1 , , , T2 . T1 T2 , T1
X
, , T2 , -
6.6. ( )
263
, A X. X, , ,
, , ,
, . . , X
A.
, .
: 1) ; 2)
; 3) , .
:
1. ,
.
2. ,
, .
3.
G = H TS.
4. , .
; ,
.
Ge, GaAs;
:
( MnTe, GdS, EuS),
(HgCr2 Te4 ).
. : 1) ; 2)
; 3)
.
1. .
,
, .
-
.
. . 8.
( ) .
(, , - .)
,
. , Si
31 Si, ,
2.6 , 31 P. -
265
.
1% 50 .
.
.
,
.
. (, )
3500 , 101000 . ,
, .
.
( 1014 1021 3 )
. ,
.
, ,
.
, . - - () . -
, ,
, ,
.1
1
, ,
.
266
7.
.
.
1011 1016 2 , , , . . ,
,
.
. ,
Ge , InSb , GaAs
. .
, ,
, .
, [28, 39].
7.1.
(
)
.
, .
. pi ,
Ni ,
, (. . 5).
K0 = CS /CL = Ni MiVL /NA pi ,
pi = Ni MiVL /K0 NA ,
(7.1)
Mi , NA , VL
.
7.1.
267
. -
.
, , K0 < 1. V , ,
-
.
,
. K0 > 1, . , K0
K :
K(f, D, ) = K0 /[K0 + (1 K0 ) exp(V /D)],
(7.2)
D (. . 5).
, ,
. ,
,
V
(7.3)
= AD1/3 1/6 ( + )1/2 ,
A , 1.3 1.6, [37].
K V . 7.1 K 0 . ,
V < 4 103 / K K0 . ,
() .
: . = 1 K K 0
V < 104 /.
, .
,
-
268
7.
. 7.1. K V
.
(, ).
.
7.2.
. 5
. 6. , ,
.
: .
( ) , (. . 5). .
.
(. . 6). , -
7.2.
269
.
. .
.
: .
- ,
. ,
, , .
,
. , .
,
.
, - , . ,
, .
7.2.1.
, : . . (. . 5)
, ,
.
-
270
7.
, .
(10%)
(
K = 0.1 10.5%). ,
.
,
. ,
, . .
[37], , 1; A = L/l, L , l ,
(A 1)/A. 100%
. ,
,
.
. K ,
. . K < 1
. ,
:
, .
,
7.2.
271
.
. . . K 1
, , , .
K 1.
7.2.2.
. ,
. .
,
, ( K < 1), , ( K > 1).
:
CL = const, K = const, V = const, CS = KCL = const.
: ,
.
, . : CL
= const; K
= const;
f
= const; CS = KCL = KCL = const, , .
.
. .
:
272
7.
. 7.2. : 1 ; 2
;
3 ; 4 ; 5 ; 6 .
1. (. 7.2). ,
,
.
. ,
, , .
, . ,
,
. , , ,
.
. (. . 6), , GeSi,
BiSb, InAsGaAs . .
2. (. 7.3).
, , . .
7.2.
273
. 7.3. ( ): 1 ; 2 ; 3 ,
4 .
. : ) ; ) .
.
.
: , ,
(. 7.4); , ,
(. 7.5).
.
: , , , .
, , .
-.
-
274
7.
. 7.4. : ;
(1 ; 2 ; 3
; 4 ; 5 ; 6
; 7 ; 8 ).
. 7.5. : 1 ; 2
; 3 .
7.2.
275
, .
,
, , . : 1) ; 2)
; 3) ( )
.
.
, , ,
. , ,
(. 7.5).
K > 1 K < 1. ,
K 1
.
,
. , .
. , , ,
. K > 1.
,
,
. (K > 1) ,
276
7.
. 7.6. K < 1 : 1
; 2 ; 3 ;
4 .
(K < 1) .
, .
. ,
, , .
,
.
.
,
, , .
.
-.
. , ,
(. 7.6).
.
. -
7.2.
277
. 7.7. : 1 ; 2 ; 3 ;
4 ; 5 ,
, ; 6 ; 7
.
,
(. 7.7).
(). ,
, .
, , ,
(
). ,
,
.
, , .
(
).
( )
.
, ,
.
. , , -
278
7.
. K < 1,
,
. K Kmax Kmin
V , ,
, ,
.
,
. , ,
,
, .
.
,
, , , ,
. , , .
7.3.
( , )
.
CSmax ( ).
,
. CSmax , ; CSmax , , , , ,
,
, , . -
7.3.
279
. 7.8. Ci CS CL .
, .
,
( ),
, , ,
n(p) < CSmax . .
C im
, . Cim Ci
CL. Ci
(.. 5), , CS - , ,
-, Ci CS CL ,
. 7.8. CL CS Ci ;
, CL, Ci (CL)
, CS (CL) . Cim
.
CS < Cim , . CS > Cim
. C i CS ,
Ci Cim , CS CL. , , -,
280
7.
(, ), ,
. , , ( Ci CS ). .
,
( ).
,
:
(); ; , .
.
.
1. , - .
, .
- - , . ,
[Cd ] [Cd+ ] + e (1),
[Ca ] [Ca ] + h (2),
e + h (eh)
(3).
(7.4)
7.3.
281
2. , , .
, . , ,
; ,
.
:
[A ] + [D+ ] [A D+ ],
(7.5)
A ; D+ ; [A D+ ]
.
(7.5)
[Cd ] [Cd+ ] + e (1),
[Ca ] [Ca ] + h (2),
e + h (eh)
(3),
(7.6)
(7.7)
282
7.
C , C0
, W
.
K0 . K 0
:
(7.8)
Xm Cim /N0 0.1K0 ,
Xm , N0
.
,
(. . 8). (7.8)
K0 , . 5.4,
Cim , , N0
4.5 1022 3 5 1022 3 .
K0 Cim
K0 :
.
, 104 ;
, . ( K 0 )
106 , CGa /CIn =
1 , ,
. CAu /CGa =
. , (
) ,
, ,
.
, .
, , ,
.
p n-, , - . . ,
, ,
.
,
.
. : 1)
2) -
284
8.
,
.
.
, , .
,
.
, , , , .
,
. ,
.
,
. ,
.
,
. ,
.
( ) ,
, ,
M,
M = P
,
x
(8.1)
P , . ,
, .
285
, dC/dx -
. dC/dx
= 0
,
. (8.1)
C(x, t)
(8.2)
M = D
x
C ,
x t; x , ; t ;
D , .
L2 t1 2 c1 . (8.2)
( ).
, (
).
x
x + x, , ,
dt M 1 ,
M2 .
dC
dC
dC
D dSdt = d D
dSdt. (8.3)
M = M1 M2 = D
dx x+x
dx x
dx
:
dC dt
M
=d D
,
(8.4)
dC =
dSdx
dx dx
:
dC
d
dC
=
D
,
(8.5)
dt
dx
dx
, D
( ),
C
2C
C
=
(8.6)
D
=D 2.
t
x
x
x
286
8.
( ).
.
- ,
. . ,
. .
dT/dx.
.
d/dx. .
dU/dx.
.
A B, : RA > RB . A B
. , ,
A , B
. .
.
8.1.
, Q. . Q
.
kT
8.1.
287
0.0250.2 . ,
, , Q. , , , .
.
,
(E. > Q) .
, , exp(Q/kT) . ,
Z
(Z ,
). f,
,
f = Z exp(Q/kT).
(8.7)
?
.
, , , .
. :
( ),
( ), (
) . .
8.1.1.
.
.
.
288
8.
. 8.1. : ;
.
,
.
. 8.1,. a b ,
. , c,
.
. 8.1,. Qi ,
, .
Qi 1 .
0.1 , Q i
. ,
, (8.7)
f = Z exp(Qi /kT ).
(8.8)
,
. , Li Ge.
Qi .
8.1.
289
. 8.2. : ;
.
8.1.2.
- .
, .
.
.
,
, , .
. 8.2 ,
.
Qa ,
, . Qa
1 . , , ,
exp(Qa /kT).
, .
Qv . Qv , , Qa .
, -
290
8.
Q = Qa + Qv ,
f = Z exp(Qa /kT ) exp(Qv /kT).
(8.9)
. , ,
In Ge Si.
. , , ,
. , ,
. , D Dv ,
:
D = DvCv /Ca ,
(8.10)
Cv ; Ca ,
.
, ,
. ,
.
.
8.1.3.
. 8.3, .
1, 2, 3 4 .
.
(. 8.3,),
(, , , ,
). , , ,
8.1.
291
. 8.3. () -
().
, . ,
,
,
, .
. .
,
. (
) .
, .
, , . , .
,
.
.
.
x2 ( x2 ,
N ), , , 0.
,
x2 = (1 + 2 + . . . + N )(1 + 2 + . . . + N ) =
12 + 22 + . . . + N2 + 21 2 + . . . + 2N1 N ,
(8.11)
292
8.
i i- . ,
< i j >= 0,
x2 = N 2
x2 = N 2.
(8.12)
N = ft,
t , N
x2 = L = 2Dt,
(8.13)
L , t , D
.
8.2.
D , (8.7)
f = Z exp(Q/kT). , D = f 2 /6
:
D = (Z/6) 2 exp(Q/kT).
(8.14)
2 D0 Z 6 ( ), ,
,
D = D0 exp(Q/kT),
(8.15)
Q , D0 ,
.
. -,
, D , . ,
. , (8.15) , D
. (8.15) D0 Q
8.2.
293
.
ln D = f(1/T ) (. 8.4, 1),
. ,
. (. 8.4, 2), ,
-
.
(. 8.4, 3). , ,
, . ,
Q
.
-, (8.15) , D0 (
1013 ) . , (8.15) , ,
, D0 , 10 4 2 /
103 2 /. D0 ,
.
,
,
[41]. , , D0
Q,
Q. , , D0
.
.
Q , : Q = Q0 T, Q0
, ,
, , .
, .
,
. -
294
8.
. 8.4. ln D =
f(1/T).
(8.15). ,
,
. D0 .
8.3.
,
p n- (8.6).
8.3.1.
( )
,
. t , .
.
h .
, x = 0,
8.3.
295
. ,
.
2C
C
=D 2 ,
(8.16)
t
x
C(x, 0) = C0 0 < x < h C(x, 0) = 0 h < x < ,
(8.17)
C0 , h .
(8.16) ( ) :
h+x
hx
C0
+ erf
,
(8.18)
C(x, t) =
erf
2
2 Dt
2 Dt
Y
2
.
erf(Y ) = 2 0 ez dz , Y = 2hx
Dt
(8.18) h , . , C0 h = S = const,
S ,
( ),
h+x
hx
1
S
lim
+ erf
erf
2 h0 h
2 Dt
2 Dt
2
x
S
exp
.
=
4Dt
Dt
lim C(x, t) =
h0
(8.19)
x = 0,
S
.
(8.20)
Cs = C(0, t) =
Dt
() C , 0 (. 8.5). C x = 0.
,
. ,
.
296
8.
. 8.5.
.
, x = 0
, t > 0 , .
, ,
t = 0,
j(x, t)(x = 0) = 0
S , . x = 0
.
, (8.19).
8.3.2.
, x = 0 , ,
C s ,
, , ,
. (8.6) : C(x, 0) = 0;
C(0, t) = Cs ; C(, t) = 0. (8.16)
:
2
C(x, t) = Cs [1 erf(Y )], erf(Y ) =
0
ez dz
(8.21)
8.4.
297
. 8.6. .
8.4.
- .
. , ,
, ,
,
, .
, . , .
-
1 C s
, Csmax = Cim , Cim .
298
8.
(). (, 5 1015 3 ),
( ), . , ,
, .
(
) .
, .
, ,
, .
,
. ,
. - ,
-..., [39, 41].
p n-, ,
.
-
, ,
. ( n-
p-) ,
.
(p n-) .
8.4.
299
. , ,
. p n- (
)
( ,
; . .).
, n-, , C d ,
T t . , (. 8.7) -
-... .
,
, ,
,
. p n- ,
, ,
Cd = Ca (x, t).
300
8.
. 8.7. - .
).
t p n-
x1 x2 . (8.19)
x22 x21
,
(8.22)
D=
4t ln(Cd1 /Cd2 )
(8.21)
Cd1
1 erf(Y1 )
,
=
Cd2
1 erf(Y2 )
(8.23)
Yi = xi /(2 Dt).
.
p n- x, , , , ,
. ,
( ) -... , [6,41].
(- ), -...
: nn = pp , n p, n p
.
D Cd (8.19) (8.21)
.
-
8.5.
301
, -..., , ,
-..., .
8.5.
. ,
p n-.
IIIA VA , , ,
. ,
; Ge Si
( ).
Li, Cu, Au, Ag, Zn, Ni Fe. , ,
, ,
, , , ,
() (. . 3).
, .
.
. 8.1 D Ge, D =
D0 exp(Q/kT).
D D0 Q IIIAVA
II VI , ; IB, VIII
( ) Li, -
8.
302
Na
Be
Zn
Cd
B
Al
Ga
In
Tl
Ge
Sn
Pb
P
As
Sb
Bi
O
Te
Li
Fe
Ni
Co
Cu
Ag
Au
H
He
Xe
I
II
II
II
III
III
III
III
III
IV
IV
IV
V
V
V
V
VI
VI
I
VIII
VIII
VIII
I
I
I
I
0
0
D0 , 2 /
0.07
0.5
0.65
1.75 109
6.0 108
1.0 103
10
1.8 104
1.7 103
13.6
70
1.6 103
1.2
3
3.5
3.3
0.4
5.6
1.3 103
0.13
0.8
0.16
1.9 104
7.4 102
3.5 106
2.72 103
6.1 103
5 106
Q,
2.08
2.5
2.55
4.42
45
3.45
30
3.64
3.4
3.09
3.05
3.6
24
2.43
2.45
2.5
2.08
2.43
0.46
1.1
0.91
1.12
0.18
1.0
0.63
0.38
0.69
1.2
T, C
700850
720920
825918
760915
760850
554905
650900
554919
800920
535904
798846
800
650900
750900
750850
750850
285760
770900
350800
775930
700875
750850
700900
730900
800900
780930
795872
250980
D, 2 /
1.2 1011
9.1 1013
6.9 1013
3.0 1012
4.4 1013
6.2 1014
8.1 1014
1.6 1013
1.8 1013
4.2 1014
5.7 1013
2.0 1014
6.4 1012
1.2 1011
1.1 1011
6.0 1012
6.8 1011
2.2 1011
9.0 106
8.9 107
4.3 105
8.8 107
2.8 105
8.8 107
3.8 109
4.5 105
3.5 106
1.2 1011
8.5.
303
. D
( ), (
); Q
, ; D0 ,
. ,
D0 Q . ,
,
, - . D0 ,
,
.
.
Si [39, 41].
, , . Q Qa + Qv (8.9).
.
Li. , , 0.01 . , Li
Li+ rLi+ = 0.68 A,
Ge.
(Cu, Ni, Fe, Au . .) . ,
, Ge, ,
.
, , A ,
D+ .
.
304
8.
8.6.
8.6.1. Li Ge
.
. (. 8.8).
p- . ,
. T t1
, r1 .
,
. ,
, ,
n-. p n-, r1 , . p n- , ,
2
.
( 110 /),
T, . , (110 A), .
( (8.19)),
.
q V. = E,
, = (q/kT)D. ,
2 , p n-, , p-
, n- .
8.6.
305
. 8.8. (x ; r1 ( ) r2 ( ) p n-
).
, x = Et.
+ ( ), Li+ . , , .
8.6.2. Cu Ge.
,
(600900 C), . 8.9.
,
(750900 C) (600700 C)
. ,
, 700 C
.
Ge , . ,
750900 C Ge
. , Ge ,
.
[42]. ,
Cu Cu : Cu Cu + Q,
Q .
Cu ,
Cu . ()
306
8.
. 8.9. .
Cu , ,
(Cu +Cu ), . ,
600 C , 800 C
Cu .
,
(. . 3),
,
, . .
Ge , , D > D ,
.
.
, ,
. .
.
(
() Cu () Cu , -
8.6.
307
).
Cu Cu + V .
, , .
.
[V ],
[Cu ] = [V ][Cu ]/k(T) = [Cu ],
(8.24)
k(T) , = [V ]/k. ,
(8.2) :
M = D [Cu ]/x,
(8.25)
D . D.
,
1
([Cu ] + [Cu ])
,
(8.26)
D. = M
x
(8.27)
(8.27) ,
, [Cu ] / ([Cu ]
+ [Cu ]). .
, .
. D. , Cu
308
8.
. 8.10.
D 850 C .
Cu , . Cu .
,
,
D. = Dv [V ]/([V ] + [Cu ]),
(8.28)
8.7.
309
8.7.
.
,
. , . ,
.
,
.
8.7.1.
, . .
.
R/R, R
, R (
). .
, (. (8.10)).
. .
, ,
, :
[V ] [V ] + h; [As] [As+ ] + e; h + e (he).
(8.29)
he - . ,
[V ];
, ,
.
310
8.
, .
,
[V ], , .
, ,
.
.
, ,
, .
, .
.
.
AIII BV AII BVI
AIII (AII ) , BV
(BVI ). , BV BVI
, A III AII .
. , .
8.7.2.
. . 8.1, IB VIII ( ) ,
IIIA VA . IB VIII ,
, ()
, ,
.
IIIA
VA . Si IIIA () 11.5 , VA
(). Ge, , IIIA , VA .
8.7.
311
(R)
IIIA , VA .
IIIA
( )
. .
. , , IIIA Ge
, VA . ,
-, , .
V .
,
. .
Ge Si . Ge
0.26 , Si 0.16
. ,
Ge , Si, .
(VA ) Ge , ,
(IIIA ) , . ,
, Ge.
.
. ( - ), .
,
,
.
312
8.
R/R.
, ,
, .
8.8.
, , (, . .)
. , , .
.
, -, ,
, ; , ,
.
, , : 1) D; 2) ,
. .
Ge Si, , ,
()
. -
() , Ge Si, ,
3 1018 3 Ge 2 1019 3 Si.
, ,
. 8.1.
. ,
. ,
( ).
8.9.
313
Ge = 11.6 , Si
9 .
(, ,
). ,
1010 2 / [41].
1300 C Si D =
, , Ge Si,
Si Ge, (. . 3). Ge Si
, Si(Ge)Ox . , , , Si(Ge)O x
.
, , , . , GaAs GaP , ; ,
1017 3 , , .
, . , , GaP.
, ,
. , (
1019 3 ),
, , N N -,
[43].
8.9.
:
( p n-).
, , -
314
8.
Cim . ,
Cim (8.21) . ( ) Cim
, ,
.
p n- Ci
. C i m
. ( (8.19))
p n- S . p n-
Cim , ,
. ,
,
p n- S .
(8.21),
x = 0 Cim .
. 8.11
Ge.
.
1.
.
2. IIIA VA Ge
1019 1021 3 , ( ).
3.
.
T < T.
T.
.
n-,
() . ,
8.9.
315
. 8.11. .
. Cd Cd+ e,
:
[Cd0 ] [Cd+ ] + e,
(8.30)
[Cd0 ] ,
[Cd+ ] .
: .
(he) h + e.
(8.31)
:
Cd+ + pv = nc Cd = nc + nd pv nc pv , nd Cd , (8.32)
pv ; nc ; nd
; Cd .
316
8.
(8.30)
(8.31) Cd (8.30) K+ (8.31) Ki [41]:3
Cd = Kd / Kd + n2i ,
(8.33)
Kd = K+ nd , ni = Ki = nc pv . Kd
Kd T 3/2 exp(B/T ).
:
Ca = Ka / Ka + n2i ; Ka T 3/2 exp(B/T ),
(8.34)
Ka = K na ; K = K+ ; na
.
, Kd,a > n2i Cd ( Ca ) 1/2
2
K1/2
d (Ka ). , n i > Kd,a ,
.
.
.
( ) (Ga, As, Sb, Zn . 8.11). .
,
Ge Si IIIA, VA
IB, VIII ( ) . ,
Ge Si (. . 8.11).
,
,
Ge Si. .
+
3 , (8.30) K
0
+ = [Cd ][e]/[Cd ].
Cd+ = Cd nd ; [e] = nc ; [Cd0 ] = nd , K+ = (Cd nd )nc /nd . ,
nd Cd , K+ = Cd nc /nd . (8.31)
Ki = [e][h] = nc pv = n2i . nc = K+ nd /Cd , pv = n2i /nc = n2i Cd /K+ nd .
(8.32) nc pv , Cd = nc pv = K+ nd /Cd n2i Cd /K+ nd .
8.9.
317
, , :
.
( )
, ,
, , . ,
: ,
, ,
.
, ,
, .
Ge Si
sp3 -.
p-. ,
Si Ge ,
s- p-.
IB VIII , IIIA VA ,
p-,
Ge
Si. ,
Si Ge, , . , .
IB VIII Ge Si,
.
, , Si Ge IB
VIII Si Ge.
IIIA VA ,
Ge.
318
8.
,
. 8.11
. , , ,
. , ,
,
. ,
. , , ,
.
. , , , [41]. ,
VGe ,
: Li+ + e +VGe = LiVGe . , Li .
(
), -
. 8.12.
59 C
( 450 C) Ge
ND (2 ).
8.9.
319
. , ,
, ,
. . 8.12 425 C
Ge ND .
ND
. T > 500 C
Ge, Cu [41].
9.1.
: . .
.
: () .
, . ,
( )
.
. , PbTe BaF2 . ,
.
, , , . , -
. -
9.1.
321
. 9.1. p n- ()
() . p n-
.
, ,
.
.
, , ,
.
. ( ) .
.
, ,
p n- (. 9.1,).
,
.
.
322
9.
(). , (, ) .
.
,1 ,2 . , ,
V- (V-).
-. ,
,
(, ).
,
, . .
, , , . , 30 ,
15 , , , .
,
, 1 ,
, -
. .
2 - , , .
.
.
9.2.
323
,
. , , , ,
.
, ,
.
9.2.
. ,
. ,
.
() [()], ()
[()]. ,
.
,
, , G
P, P ,
. .
, . 4 6,
, -
9.
324
. 9.2.
.
.
.
()
.
,
(. 9.2). T ,
T =
T1 Ta
E1 Ea
=
,
T1 T
E1 E
(9.1)
T1 E1 , Ta Ea , T
E . , Ta
, Ta = f(T1 , T ).
, , , . , ,
T . Ta = T , T = 1,
. . Ta > T , T < 1, ,
, (. 9.2). , ( ) . ,
.
9.2.
325
, , T < Ta < T1 .
tn
E
1
tn
exp
,
(9.2)
0
kTk
0
, E , Tk Ta (. . 4).
E
,
(9.3)
V 0 exp
kTk
E . , , ,
E E
tn
N0
= exp
.
(9.4)
t
kTk
(
) ( ). .
, (. . 4).
, (. . 9.2):
1) ( T );
2) ;
3) .
: ) ; )
;
) .
, , , ,
. .
326
9.
. ,
: -.
,
(50100 ). .
. - ,
(110 ), .
.
. (P = const)
,
nk = N exp(E /kTk ),
(9.5)
nk , N , E ( ).
, ,
, ,
.
, . , , (9.5),
. ,
.
V nk ,
(9.6)
,
. ,
9.2.
327
,
E E E
V nk exp
.
(9.7)
kTk
,
nk V
.3
, .
,
. - .
[44]
, . ,
, , i . -
, ,
i ,
(i + 1)E + E E
,
(9.8)
V J(J/0 N )i exp
kTk
J , 0 , N , E , E
i , E .
. . ,
, , . ,
3 , . 4.
T , .
328
9.
. 9.3. : , ; ,
.
. ,
. . ,
(111), (100) (. 9.3). , , , ,
. ,
2 3 , 3
4 . . (. 9.4).
Tk
. , Tk . Tk T ( 1 2),
. ,
Tk
, . Tk ,
.
,
, v k J.
, . V Tk , (9.8), -
9.2.
329
. 9.4. .
- .
, 9.8 .
.
. ,
, ,
.
()
:
1) .
() (. . 6).
2)
l, l lmin lmax .
l < lmin ; l > lmax
.
330
9.
(1); ,
.
( )
,
( )
.
9.3.
,
,
. , ,
, , E E .
109 1010 . . , ,
,
,
.
,
.
Tk
( 15 ), ,
, . Tk .
( ) : 1)
; 2)
, .
9.3.
331
.
, .
, 10 A.
. ,
, , . , ,
,
,
.
-
,
. . . ,
,
. ,
, (
). ( , , , . .) . ,
(. . 9.2).
. (Tk , vk , ) -
, E E .
332
9.
, , , , . , . , ,
, . ,
,
, ,
.
, .
, -
.
,
() 1010 . .
(106 107 . .) , ,
. .
, ( , , .)
. ,
E E . ,
1)
( ); 2)
,
, ; 3)
.
,
, . ,
9.4.
333
.
.
9.4.
- . . .
.
1.
, :
, . (19281935 .); , 15%.
, ,
15%.
- , .
, ,
.
: .
.
. . ,
.
,
.
,
( , -
334
9.
. 9.5. .
)
(. 9.5), , - . ,
, ( )
( )
, , ,
.
: ,
.
, () ,
. ( ).
,
,
.
,
, . .
.
2.
,
. , :
9.5.
335
, .
.
. ,
,
. .
,
.
3. , , ( , )
.
.
.
9.5.
.
, .
. .
1. . .
2. .
3. ,
, .
4. , .
, -
336
9.
.
.
5. , - .
.
,
, , , , .
6.
.
7. .
9.6.
, :
1) ( ); 2) ( ); 3)
.
9.6.1.
,
(. . 6). ,
,
. GeIn.
GeIn In. , Ge (. 9.6), . , ,
GeIn , .
1 400 C ( )
9.6.
337
. 9.6.
GeIn.
, ,
, Ge,
, 92% In 8% Ge.
( ) , .
(. 9.7). Ge n- <111> , Ge In. 520 C
( )
, . , Ge
(8 )
Ge ;
. Ge 25 . 350 C
, In .
338
9.
. 9.7. Ge
: 1
; 2 ; 3 ; 4
; 5 ; 6
; 7 .
. Ge
Ge GaAs,
.
(.
. 6). , , GaAs ( GaAs, Ga )
: 900 C,
T 1.52 /.
( ) [45].
, ,
.
,
, .
, .
9.6.2.
, , ,
(. . 6).
: 1)
2) .
,
9.6.
339
,
, , . . () .
, , , .
,
.
,
.
, . ,
.
.
, , , . .
,
.
.
Si. , (SiCl4 , SiBr4 , SiI4 SiHCl3 ) .
SiCl4
9.
340
. -,
. .
, . 9.8. , , ,
, .
. . .
1 ,
, SiCl4 /H2 = 1:20 1:50, 2 ,
, SiCl4 ( H2 SiCl4 ). ,
, HCl. K3 ,
HCl.
( ,
<111>)
( ). 12001290 C.
,
.
. , , .
SiCl4 + 2H2 Si + 4HCl,
(9.9)
(9.10)
SiCl4 + Si 2SiCl2 .
(9.11)
9.6.
341
. 9.8. Si
: 1 ; 2 ; 3 ; 4
; 5 ; 6 .
, , SiHCl.
,
60300 /. , ,
SiCl4 /H2 , , , .
Si 1000
102 103 2 . Si, SiCl4 ,
1)
SiCl4 , 2)
(PH3 , SbCl3 , AsCl3 , BBr3 BCl3 ).
Ge Si
, .
, . - I2 , Se, Te, H2 ,
342
9.
. 9.9. Ge ;
(1 ; 2
; 3 ; 4 ; 5 ; 6
).
. , Ge
GeI4 Ge + 2I2 , 2GeI2 Ge + GeI4 .
(9.12)
.
Ge, .
I2 , . (. 9.9).
, 500550 C
, Ge GeI 4
, 300 C. Ge ,
, ( () ). I2 . ,
300400 C. 300400 C. ,
,
.
9.6.
343
Si
SiI4 Si + 2I2 , 2SiI2 Si + SiI4 .
(9.13)
Si T = 1150 C
T = 900950 C.
. ,
(Si + 2I2 SiI4 ) .
I2 ( 60100 . .) Si
.
. ,
GaAs, ,
. : AsCl3 , Ga. , . 9.10. Ga
(), .
AsCl3 . AsCl3 /H2 : H2 ,
,
AsCl3 , , H2 . - , ,
T1 = 800850 C,
2AsCl3 + 3H2 6HCl + 2As.
(9.14)
Ga, ,
2Ga + 2HCl 2GaCl + H2 .
(9.15)
, T1 = 800850 C, ,
As Ga. GaCl (T2 = 750800 C)
3GaCl 2Ga + GaCl3 .
(9.16)
, As Ga (2.3% ), GaCl
6GaCl + As4 4GaAs + 2GaCl3 ,
4GaCl + As4 + 2H2 4GaAs + 4HCl.
(9.17)
344
9.
. 9.10. GaAs
: 1 ; 2
; 3 ; 4 ; 5
AsCl3 ; 6 ; 7 .
(MOCVD4 ). .
MOCVD ,
, ()
- [46].
A III BV ,
AII BVI , AIV BIV .
4 MOCVD
9.6.
345
346
9.
GaAs. [47] , (CH3 )3 Ga
() AsH3 , 600700 C H2 ,
GaAs () (. 9.11). ,
MOCVD
(. [48, 49]).
MOCVD -
.
450 .
, .
, ,
( ) .
,
, , MOCVD,
.
,
.
, .
, , , ,
-,
H2 , , (. 9.11).
,
H2 . ( 600800 C, )
9.6.
347
.
.
,
,
.
,
. ,
, , ,
,
.
, ,
. , .
I. MOCVD
MOCVD ,
, , . GaAs Alx Ga1x As.
H
2
GaAs + 3CH4
(CH3 )3 Ga + AsH3
700 C
2
(1 x)[(CH3 )3 Ga] + x[(CH3 )3 Al] + AsH3
Alx Ga1x As + 3CH4 .
700 C
MOCVD ,
,
.
. i
. ,
348
9.
( ). ,
.
, , , . -,
.
, .
,
.
, AIII BV .
, , , . ,
,
. .
, , -,
(. . 4).
, , ,
, . ,
, . , ,
. ,
MOCVD
. ,
.
. -
9.6.
349
,
. .
, , ,
. ,
.
MOCVD . -,
, . , .
,
, MOCVD. [50]: , . ,
,
.
, , .
, .
.
.
,
. , ,
MOCVD, ,
, .
, .
,
.
350
9.
. 9.12. MOCVD (
;
): 1
; 2
; 3 ; 4 ; 5
; 6 ; 7 ; 8 .
II.
MOCVD . , ,
. MOCVD
[49]. , , ,
. MOCVD .
-
.
.
(. 9.12) ,
, [51].
9.6.
351
. 9.13. : 1 ; 2 ; 3 ; 4
; 5 ; 6 ,
.
9.6.3.
, .
. , ,
(. 9.13).
, ,
. , ,
. , ,
-. ,
P = 0 Ps ,
(9.18)
Ps T ,
0 , , , , .
(A B) P. , , ( ,
5 )
P = P(A) + P(B) = 0 (A)Ps (A)N (A) + 0 (B)Ps (B)N (B),
(9.19)
352
9.
Ps (B) A B T ,
N (A) N (B) A B (N (A) + N (B) = 1).
.
-
. ,
. ,
.
.
, ,
, .
, ,
.
,
,
. 106 104 . . ,
, (1014 1015 /2 ). , , , , , (. . 9.3).
, -, ,
.
(, .)
108 1010 . .;
106 . .
() , , , , () (.
9.6.
353
. 6). .
, , , , .
,
, : 1) , ; 2)
T ( ) T , , ,
, ,
.
: , ,
, . .
,
.
- ().
, ,
, .
( ), . ,
.
70-
AIV BVI
. , - ,
.
AIV BVI 80-
[52, 53] [54] .
. 9.14.
354
9.
. 9.14.
PbTePbSnTe ( 106 . .;
, Te, p-PbTe p-PbSnTe; Te ): 1 ; 2
, ; 3 Te; 4 ; 5 ; 6 ;
7 Te; 8 .
9.6.
355
346
9.
GaAs. [47] , (CH3 )3 Ga
() AsH3 , 600700 C H2 ,
GaAs () (. 9.11). ,
MOCVD
(. [48, 49]).
MOCVD -
.
450 .
, .
, ,
( ) .
,
, , MOCVD,
.
,
.
, .
, , , ,
-,
H2 , , (. 9.11).
,
H2 . ( 600800 C, )
9.6.
357
. 9.16. , : 1 BN, ; 2 ; 3
; 4 ; 5 ; 6 ;
7 ; 8 ; 9 .
, .
. , ,
, , . ,
, .
, , , 12 , 510 ,
58 0.5 .
358
9.
BN.
. (. 9.16)
Al2 O3 . , . ,
.
, .
, .
,
, . ,
,
S ( ).
p1 ,
p2 , p1 p2 . .
(p2 ) (p1 ) ,
, .
: 1)
, 2) , 3) ,
4) , N ,
,
(9.20)
N = ((p1 p2 )S/m) M/(2RT ),
m , M , R ,
T .
, ,
. , .
,
.
9.6.
359
,
.
, .
(9.20) , ,
, .
.
, ,
. (. . 6).
,
[5, 58].
, ( ), . 9.2,
.
,
:
1) ;
2) ;
3) , ;
4) , ;
5) .
, .
.
, , ,
, ,
, .
. , - (AES),
- (SIMS) .
360
9.
,
.
, .
.
-
.
- .
- , . , ,
.
[59, 60].
, -.
, , , ,
.
- ,
.
, [61, 62].
HgTeCdTe. . CdTe
9.6.
361
Te ,
, . , ,
.
CdTe
, . ,
, ,
,
.
[1] . . , 1986, . 150, . 1, . 107.
[2] . . . . . , .,
1986.
[3] . . . , 1985, . 147, . 3, . 485.
[4] . . , . . . , 1981,
N 8(241), . 3.
[5] M. Herman. , ., , 1989.
[6] . . -, . . . .
. 2-. ., , 1990.
[7] . . . , ., .
, 1985.
[8] . . , . . .
, ., . , 1992.
[9] . , . . , ., ,
1972.
[10] . . . , ., 1979.
[11] . . . -, ., 1976.
[12] . , . . ,
., 1981.
[13] . . . . . .
, 1976.
363
[14] . , . . , ., 1970.
[15] . . , ., , 1982.
[16] . . . . 4-. ., ,
1978.
[17] . . , . . . . ., , 1973.
[18] . . . . ., ,
1981.
[19] : , . . . ,
. . , M., , 1991.
[20] R. C. Evans. Crystal Chemistry. 2nd edition. Cambridge University
Press, 1966.
[21] . . . . ., , 1969.
[22] . . . . ., , 1970.
[23] . . . ., , 1986.
[24] Landolt-Bornstein. Numerical Data and Functional Relationships in
Science and Technology. New Series, v. 17, subv. a and b; Editor in
Chief: K. H. Hellwege. Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg, New York,
1982.
[25] . . . . . . . ., , 1960.
[26] . . . . ., , 1968.
[27] . . . . ., , 1976.
[28] . . , . . , . . .
, ., , 1988.
[29] . , . . . . 2-. ., , 1969.
364
[30] . . , . . . . ., , 1983.
[31] . . . . ., , 1992.
[32] . . . .,
, 1977.
[33] G. W. Ludwig, H. H. Woodbury. Phys. Rev. Lett., 1960, v. 5, p. 98.
[34] . . , . . . . . , 1966, . 2,
. 747.
[35] . . . . . ., , 1962.
[36] . . , . . .
. ., , 1977.
[37] . . , . . . . ., , 1983.
[38] . . . . ., ,
1960.
[39] . . . . ., , 1986.
[40] . . . ( 5 .). ., , 1998.
[41] . . . . ., , 1961.
[42] F. van der Maesen, J. Brenkmann. J. Electrochem. Soc., 1955, . 102,
p. 229.
[43] . . . . M., . . -, 1988.
[44] . . , . . . ., ,
1966.
[45] . . , . . . - . ., , 1983.
[46] H. M. Manasevit. J. Cryst. Growth, 1981, v. 55, p. 1.
[47] H. M. Manasevit. Appl. Phys. Lett., 1968, v. 12, p. 156.
365
, 117
, 118
, 91
MOCVD, 344
, 343
, 62
, 132
, 105
, 16
, 16
, 16, 18
, 52
-- , 57
, 53
, 55
, 89
, 98
, 183
, 116
, 250
, 254
, 251
-, 257
,
259
, 261
, 221
, 232
( ), 225
, 232
, 221
, 222
, 222
, 235
, 236
, 237
, 237
, 323
Cu, 305
Li, 304
, 301
, 337
, 339
, 341
,
282
,
313
, 121
, 113
, 244
, 88
, 87
, 239
,
, 245
, 87, 111
, .
, .
, .
, .
, 88, 114
,
116
, 114
367
, 115
, .
,
247
, 248
, 87
, .
, 113
, 244
, 89
, 89
P T X, 143, 167
, 145
, 145
, 145
, 146
,
145
, 147
, 155
, 157
, 159
, 155
, 145
, 91
, 87, 95
, 98
, 105
368
, 109
, 240
,
97
,
96
, 110
, 96
, 96
, 96
, 100
, 101
, 96, 97
, 283
, 286
, 312
, 284
, 310
,
294
,
296
, 284
, 297
, 286
, 289
, 305
, 287
, 290
, 292
, 284
, 309
, 286
, 286
, 117
, 173
, 232
, 120
, 160
, 30
, 31
, 30
, 32
, 52, 54
, 24
, 38
, 37
, 37
, 37
-, 37
, 159
, 171
, 195
, 196
Ge Si, 198
, 200
, 196
, 201
, 324
, 301
, 339
, 342
,
282
, 121
, 171
, 162
, 173
, 178
, 264
, 266
,
268
, 282
, 265
, 264
,
164
, 221
, 145
, 145
, 111
, 243
, 89
, 166
, 297
- , 298
, 190
369
, 215
, 205
, 215
, 205
, 191
, 336
, 186
, 184
-, 186
--, 34
, 145
, 183
, 180
, 173
, 17
d-, 17, 19
f-, 17, 19
p-, 17, 19
s-, 17, 19
, 24
-, 26
-, 26
, 25
, 25
, 153
, 152
370
, 323
, 171
, 171
,
333
,
57
, 72
-,
73
, 73
, 66
, 63
,
63
AN B8N ,
62
AIV BVI , 81
VI
AV
2 B3 , 82
, AN B8N , 71
, 80
, 78
, 64
, 219
, 115
, 22
, 22
, 116
, 132
, 120
, 116
, 116
, 137
, 116,
121
, 117
, 117
, 117
, 117
, 117
, 116,
130
, 120
, 22
, 219
, 209
, 207
, 219
, 235
, 235
, 278
, 278
, 279
, 316
,
318
,
313
, 312
, 323
, 323
()
, 329
() , 323
- , 327
,
326
, 183
, 176
, 142
, 74
, 60
, 74
, 75
, 75
, 74
, 76
, 151
, 140
, 140
, 148
, 140
, 142
, 87, 89
, 91
, 89
, 239
, 91
, 91
, 89
, 92
, 89
371
, 89
, 84
,
85
, 86
, 151
, 139
, 139
, 140
, 141
, 22
, 36
, 30
, 24
, 24
, 33
, 34
, 23
, 173
, 173
, 57
, 58
,
58
, 57
, 58
,
42
, 51
372
, 48
, 46
, 51
, 46
, 48
, 46
, 49
, 49
, 48
, 50
(), 43
, 47
, 320
, 320, 333
, 320
, 336
, 338
, 341
, 339
(MOCVD), 344
, 336
, 351
, 353
- (MBE), 355
, 335
1.
1.1. . . . . . . . . . .
1.2. . . . . . .
7
7
11
2.
2.1. . . . . . . . .
2.2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.2.1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.2.2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.2.3. . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.2.4. ( --) . . . .
2.2.5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.3. . . . . . . . . . . . . .
2.4. . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.4.1. IVA: , , , -
2.4.2. VA: , , .
2.4.3. VIA: , , . . . . . . . . . .
2.4.4. VIIA: . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.4.5. IIIA: . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.5. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.6. . . . . . . . . . . . . . . . .
2.6.1. . . . . . . . . . .
2.6.2. . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.6.3. AN B8N . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.6.4. ,
. . . . . . . . . . . . . . . .
16
16
22
24
30
33
34
36
37
42
42
47
49
51
51
52
57
57
60
62
65
374
2.6.5.
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.6.6. ,
AN B8N . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
2.6.7. . . .
2.6.8. . . . . . .
3.
3.1. . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.1.1. . . . . . . . . . . . . . . .
3.1.2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.1.3. . . . . . . . . . . . . . .
3.1.4. . . . . . . . . . . . . .
3.2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
3.2.1. .
3.2.2.
. 68
. 71
. 81
. 84
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
87
89
89
95
111
114
116
120
132
4.
4.1. . .
4.1.1. . . . . . . . . . .
4.1.2. T X . .
4.1.3. . . . .
4.1.4. P T X . . . . . . . . . .
4.2. . . . . . . . . .
4.2.1. . . . . . . . . .
4.2.2. . . . . . . . . . . . . . .
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
138
139
139
145
162
167
171
173
183
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
5.
5.1. . . . . . . . . . . . .
5.2. . . . . . . . . . . . . .
5.2.1. . . . . . . .
5.2.2. .
5.3. . . . . . . . . . . . .
5.3.1.
. . . . . . . . . . . .
5.3.2. . . . .
5.3.3. .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
190
. 190
. 195
. 196
. 201
. 204
. 207
. 209
. 213
6.
. . . . . . . . .
6.1. . . . . . . . . . . . .
6.1.1.
6.1.2. . . .
6.1.3.
6.2. . . . . . . . . .
6.3. . .
. . . .
6.4. . . . . . . . . . . . . . . .
6.5. . . . . . . . . . . . . . . . . . .
6.6. ( ) . . . .
375
219
. 219
. 221
. 222
. 225
. 232
. 235
. 239
. 250
. 257
. 259
. 261
7.
264
7.1. . . . . 266
7.2. . . . . . . . 268
7.2.1. . . . . . . 269
7.2.2. 271
7.3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 278
8.
283
8.1. . . . . . 286
8.1.1. . . . . . . . . . . . . . . . 287
8.1.2. . . . . . . . . . . . . . . . . 289
8.1.3. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 290
8.2. . . . . . . . . . . . . . . . . 292
8.3. . . . . 294
8.3.1.
( ) . . . . . . . . . . . . . 294
8.3.2. . . . . . . . . . 296
8.4. 297
8.5. . . . . . . . . . . . . . . . 301
8.6. . . . . . . 304
8.6.1. Li Ge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 304
8.6.2. Cu Ge.
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 305
8.7. . . . . . . . . . . . . . . . . 309
8.7.1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 309
8.7.2. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 310
8.8. . . . . . . . . . . . . . . . 312
376
8.9. . . . . 313
9.
9.1. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.2. .
9.3.
9.4. . . . . . . . . . . . . .
9.5. . . . .
9.6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
9.6.1. . . . . . . . . . . . . .
9.6.2. . . . . . . .
9.6.3. . . . . . . . . .
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
.
320
. 320
. 323
. 330
. 333
. 335
. 336
. 336
. 338
. 351