P e r f o r m a n c e o f C h a n n e l E n g i n e e r e d SDODE L

MOSFE T f o r Mi x e d Si g n a l A p p l i c a t i o n s
P a r t h a Sa r k a r , A . Ma l l i k , C . K . Sa r k a r , V . R a m g o p a l R a o
A b s t r a c t - I n t h i s p a p e r , w i t h t h e h e l p o f s i m u l a t i o n s
t h e c o n c e p t s o f s o u r c e / d r a i n ( S/ D) i m p u r i t y p r o f i l e
e n g i n e e r i n g a r e p r o p o s e d f o r r e d u c t i o n o f t h e j u n c t i o n
c a p a c i t a n c e ( C j ) . I t h a s b e e n r e c e n t l y s h o w n t h a t i t i s
p o s s i b l e t o r e a l i z e t h e b e n e f i t s o f P D- SOI t e c h n o l o g i e s
w i t h t h e h e l p o f So u r c e / Dr a i n On De p l e t i o n La y e r
( SDODE L) MOSFE Ts , e m p l o y i n g t h e b u l k t e c h n o l o g i e s .
H e r e , f o r t h e f i r s t t i m e , w e i n v e s t i g a t e d a n a l o g
p e r f o r m a n c e i m p r o v e m e n t w i t h Si n g l e H a l o SDODE L
MOSFE Ts , a s w e l l a s Do u b l e H a l o SDODE L MOSFE T
a n d c o m p a r e d t h e i r p e r f o r m a n c e s w i t h Do u b l e H a l o
MOSFE Ts ( w h i c h w i l l h e n c e f o r t h b e r e f e r r e d a s C o n t r o l
MOSFE Ts ) w i t h e x t e n s i v e p r o c e s s a n d d e v i c e s i m u l a t i o n s .
Ou r r e s u l t s s h o w t h a t , i n Si n g l e H a l o SDODE L MOSFE T
t h e r e i s a s i g n i f i c a n t i m p r o v e m e n t i n t h e i n t r i n s i c d e v i c e
p e r f o r m a n c e f o r a n a l o g a p p l i c a t i o n s ( s u c h a s d e v i c e g a i n ,
g m / I D e t c . ) f o r s u b 1 0 0 n m t e c h n o l o g i e s .
I . I N TR ODU C TI ON
Si l i c o n - o n - i n s u l a t o r ( SOI ) d e v i c e s a r e v e r y a t t r a c t i v e
f o r h i g h p e r f o r m a n c e U LSI t e c h n o l o g i e s . SOI d e v i c e s o f f e r
i n t e r e s t i n g f e a t u r e s s u c h a s r e d u c t i o n o f j u n c t i o n
c a p a c i t a n c e a n d i n c r e a s e o f p a c k i n g d e n s i t y ( c o m p a r e d
w i t h b u l k d e v i c e s ) , s u p p r e s s i o n o f l a t c h u p a n d r e d u c t i o n
o f s h o r t c h a n n e l e f f e c t s . H o w e v e r t h e r e a r e m a n y
d i s a d v a n t a g e s a s s o c i a t e d w i t h SOI d e v i c e s , s u c h a s w a f e r
q u a l i t y a n d c o s t , s e l f h e a t i n g a n d a d d i t i o n a l b o d y c o n t a c t
a r e a . SOI t e c h n o l o g y e m p l o y i n g p a r t i a l l y d e p l e t e d
t r a n s i s t o r s u f f e r s f r o m f l o a t i n g b o d y e f f e c t s a n d
d e p e n d e n c e o f g a t e d e l a y o n d e v i c e s w i t c h i n g h i s t o r y . I n
r e c e n t p a s t p s e u d o SOI t e c h n o l o g i e s w e r e d e v e l o p e d [ 1 ] ,
[ 2 ] o n b u l k s u b s t r a t e t o r e a l i z e r e d u c e d j u n c t i o n
c a p a c i t a n c e s w i t h o u t t h e d i s a d v a n t a g e s a s s o c i a t e d w i t h P D
SOl .
Th e p s e u d o SOI t e c h n o l o g y f i r s t p r o p o s e d i n [ 1 ]
r e f e r r e d a s " P s e u d o - SOI ' ( p - SOI ) f e a t u r e s a p - n - p c h a n n e l
p r o f i l e , i n w h i c h t h e s a n d w i c h e d n - t y p e l a y e r i s f u l l y
d e p l e t e d b y t h e i n t e r n a l b u i l t - i n - p o t e n t i a l . Th e d e p l e t i o n
r e g i o n e s t a b l i s h e d b e n e a t h t h e c h a n n e l , s o u r c e a n d d r a i n
r e g i o n s e l e c t r i c a l l y i s o l a t e s t h e c h a n n e l r e g i o n f r o m t h e
s u b s t r a t e r e g i o n a n d w o r k s a s a n i n s u l a t o r s i m i l a r t o b u r i e d
o x i d e ( B OX ) i n SOI .
C . K . Sa r k a r * a n d P . Sa r k a r a r e w i t h t h e De p a r t m e n t o f
E l e c t r o n i c s a n d Te l e c o m . E n g i n e e r i n g o f J a d a v p u r U n i v e r s i t y ,
K o l k a t a , 7 0 0 0 3 2 , I n d i a
E m a i l :
p h y h o d , ( y a h o o . c o . i n , p a r t h a _ s a r k a r _ 9 @ y a h o o . c o m
A . Ma l l i k i s w i t h De p a r t m e n t o f E l e c t r o n i c s a n d C o m m u n i c a t i o n
E n g i n e e r i n g . , K a l y a n i G o v t . E n g i n e e r i n g C o l l e g e , K a l y a n i , W. B . ,
7 4 1 2 3 5 , I n d i a
V . R . R a o i s w i t h t h e De p a r t m e n t o f E l e c t r i c a l E n g i n e e r i n g ,
I n d i a n I n s t i t u t e o f Te c h n o l o g y , Mu m b a i - 4 0 0 0 7 6 , I n d i a
I n P s e u d o - SOI MOSFE Ts t h e s i g n i f i c a n t l y i n c r e a s e d
d e p l e t i o n v o l u m e m a y l e a d t o i n c r e a s e d g e n e r a t i o n c u r r e n t
a n d c r o s s t a l k a n d t h e c o n t i n u o u s d e p l e t i o n r e g i o n b e n e a t h
t h e c h a n n e l m a y r e s u l t a h i g h e r S/ D l e a k a g e i n n a n o r e g i m e .
A s i m i l a r i d e a d e v e l o p e d b y [ 2 ] r e f e r r e d a s " SODE L" w i t h
a n e p i t a x i a l s i l i c o n l a y e r i s e m p l o y e d t o f o r m a t h i n c h a n n e l
l a y e r o v e r t h e d e p l e t i o n l a y e r t o s u p p r e s s s h o r t c h a n n e l
e f f e c t s a t t h e e x p e n s e o f i n c r e a s e d p r o c e s s c o s t a n d
c o m p l e x i t y . I n t h e p s e u d o SOI t e c h n o l o g y d e v e l o p e d b y [ 3 ] ,
r e f e r r e d a s SDODE L, a h i g h e n e r g y , l o w d o s e i m p l a n t o f
t h e s o u r c e / d r a i n ( S/ D) d o p i n g t y p e i s i n t r o d u c e d a f t e r t h e
g a t e d e f i n i t i o n s t e p t o f o r m d e p l e t i o n l a y e r , b y c o u n t e r
d o p e d r e g i o n s b e n e a t h t h e s o u r c e a n d d r a i n . Th e i d e a b e h i n d
t h i s i s t o d e v e l o p a l o w c o s t a l t e r n a t i v e t o P D SOI . I n t h e
c a s e o f SDODE L t r a n s i s t o r s o n l y a n a d d i t i o n a l c o u n t e r
d o p i n g i m p l a n t i s r e q u i r e d w h i c h m a k e s f a b r i c a t i o n p r o c e s s
l e s s c o m p l e x t h a n t h e SODE L a p p r o a c h , w h e r e i n t w o
a d d i t i o n a l s t e p s , a c o u n t e r d o p e d i m p l a n t a n d a n e p i t a x i a l
g r o w t h a r e r e q u i r e d .
I n t h i s w o r k w e h a v e i n v e s t i g a t e d a n a l o g p e r f o r m a n c e
p a r a m e t e r s i n Si n g l e H a l o SDODE L MOSFE T ( SH
SDODE L) , Do u b l e H a l o SDODE L MOSFE T ( DH
SDODE L) a n d c o m p a r e d t h e m w i t h c o n t r o l MOSFE Ts
u s i n g e x t e n s i v e p r o c e s s a n d d e v i c e s i m u l a t i o n s . De v i c e
s i m u l a t i o n r e s u l t s s h o w t h a t a f u r t h e r r e d u c t i o n o f j u n c t i o n
c a p a c i t a n c e s c a n b e a c h i e v e d w i t h t h e h e l p o f Do u b l e H a l o
SDODE L MOSFE Ts a s c o m p a r e d t o t h e Si n g l e H a l o
SDODE L MOSFE T a n d t h e C o n t r o l MOSFE Ts . I n Si n g l e
H a l o SDODE L MOSFE T t h e r e i s s i g n i f i c a n t i m p r o v e m e n t
i n t h e i n t r i n s i c d e v i c e p e r f o r m a n c e f o r a n a l o g a p p l i c a t i o n s
( s u c h a s d e v i c e g a i n , g m / I D e t c . ) f o r t h e s u b 1 0 0 n m
t e c h n o l o g y n o d e s .
I I . SI MU LA TI ON SE TU P
I n t h i s s e c t i o n t h e s t r u c t u r e s o f c o n t r o l , SH SDODE L
a n d DH SDODE L MOSFE T a r e d i s c u s s e d . St a n d a r d MOS
f a b r i c a t i o n p r o c e s s f l o w w a s f o l l o w e d f o r a l l t h e d e v i c e s .
I n c a s e o f c o n t r o l MOSFE T ( DH d e v i c e s ) , t h e p r o c e s s f l o w
i s i d e n t i c a l t o t h a t o f c o n v e n t i o n a l MOSFE Ts e x c e p t f o r
t h e t h r e s h o l d a d j u s t i m p l a n t , w h i c h i s d o n e t h r o u g h a t i l t e d
a n g l e i m p l a n t a t i o n f r o m b o t h t h e s o u r c e a n d d r a i n s i d e s
a f t e r t h e g a t e e l e c t r o d e f o r m a t i o n . H e r e , t h e p o c k e t r e g i o n s
h a v e b e e n r e a l i z e d u s i n g B o r o n f o r t h e n - c h a n n e l
MOSFE Ts a t a t i l t a n g l e o f 1 5 0 a n d 0 0 w a f e r o r i e n t a t i o n s .
Fo r SDODE L d e v i c e , a n a d d i t i o n a l h i g h e n e r g y a n d l o w
d o s e S/ D i m p l a n t i s i n t r o d u c e d d u r i n g t h e d e e p S/ D
i m p l a n t t o f o r m t h e c o u n t e r - d o p e d r e g i o n s . We h a v e
i n t r o d u c e d A r s e n i c f o r t h i s i m p l a n t i n t h e n - c h a n n e l
t r a n s i s t o r s . Th e s t a n d a r d t h r e s h o l d a d j u s t i m p l a n t h a s b e e n
0 - 7 8 0 3 - 9 3 3 9 - 2 / 0 5 / $ 2 0 . 0 0 2 0 0 5 I E E E . 6 8 7
d o n e w i t h B F2 f o r SDODE L d e v i c e . I n c a s e o f SH
SDODE L MOSFE T, t i l t e d a n g l e i m p l a n t a t i o n i s d o n e f r o m
t h e s o u r c e s i d e t o r e a l i z e t h e p o c k e t o n l y o n t h e s o u r c e
s i d e . A l l t h e 2 D s i m u l a t i o n s h a v e b e e n c a r r i e d o u t u s i n g
I SE TC A D [ 4 ] . DI OS i s u s e d f o r p r o c e s s s i m u l a t i o n s a n d
DE SSI S i s u s e d f o r d e v i c e s i m u l a t i o n s . E n e r g y b a l a n c e
m o d e l s a r e u s e d f o r d e v i c e s i m u l a t i o n s i n o r d e r t o a c c o u n t
f o r t h e n o n - l o c a l e f f e c t s . I n o r d e r t o t a k e s u r f a c e
q u a n t i z a t i o n e f f e c t s i n t o a c c o u n t , V a n - Do r t ' s m o d e l i s u s e d
f o r d e v i c e s i m u l a t i o n . Fo r b o t h C ON TR OL a n d SDODE L
d e v i c e s , t h e i m p l a n t a t i o n d o s e i s a d j u s t e d t o a c h i e v e
i d e n t i c a l V T a s p e r t h e SI A r o a d m a p a s g i v e n i n Ta b l e I .
TA B LE - I
TE C H N OLOG Y P A R A ME TE R S A N D V OLTA G E SC A LI N G U SE D
FOR DE V I C E SI MU LA TI ON S
L, z ( g m )
0 . 2 5 0 . 1 8 0 . 1 3 0 . 1 0 . 0 7
V DD( V ) 2 . 5 1 . 8 1 . 5 1 . 2 0 . 8
To x ( n m ) 5 4 3 . 5 3 3
A n a l o g
V T( V ) 0 . 4 5 0 . 4 0 . 3 5 3 3
A n a l o g
V DS( V )
1 . 2 5 0 . 9 0 . 7 5 0 . 6 0 . 4
To x ( n m ) 3 2 . 5 2 1 . 5 1 . 2
Di g i t a l
V T( V ) 0 . 3 5 0 . 3 0 . 2 5 0 . 2 0 . 2
Di g i t a l
X i ( n m )
6 5 5 0 4 0 3 0 2 5
I I I . R E SU LTS A N D DI SC U SSI ON
A . R e d u c t i o n i n J u n c t i o n C a p a c i t a n c e
C j
- Th e
s i m u l a t e d j u n c t i o n c a p a c i t a n c e
C j
o f n - c h a n n e l C o n t r o l , SH
SDODE L a n d DH SDODE L d e v i c e s a s a f u n c t i o n o f d r a i n -
b o d y b i a s V DB f o r t w o d i f f e r e n t T0 x v a l u e s o f 1 . 5 a n d
3 . On m a r e s h o w n i n Fi g . I a n d 2 r e s p e c t i v e l y . I n
c o m p a r i s o n w i t h c o n t r o l d e v i c e s , b o t h DH a n d SH
SDODE L d e v i c e s s h o w m o r e t h a n 4 2 % r e d u c e d j u n c t i o n
c a p a c i t a n c e
C ,
f o r TOX = 1 . 5 n m a t a b i a s v o l t a g e e q u a l t o t h e
s u p p l y v o l t a g e V DD. Fo r To x = 3 n m , DH SDODE L a n d SH
SDODE L d e v i c e s s h o w m o r e t h a n 4 0 % a n d 3 0 % r e d u c e d
j u n c t i o n c a p a c i t a n c e
C j
r e s p e c t i v e l y f o r s i m i l a r b i a s
c o n d i t i o n s a s s t a t e d a b o v e .
B . C o m p a r a b l e Su b - t h r e s h o l d C h a r a c t e r i s t i c s -
We o b s e r v e d t h a t t h e r e i s r e d u c t i o n i n
V t
f o r t h e
SDODE L d e v i c e s , w h i c h m a y b e d u e t o a s l i g h t r e d u c t i o n
i n t h e a v e r a g e d o p i n g c o n c e n t r a t i o n b e l o w t h e c h a n n e l
r e g i o n d u e t o l a t e r a l d i f f u s i o n o f t h e c o u n t e r d o p i n g
i m p l a n t . Th e s t a n d a r d t h r e s h o l d a d j u s t i m p l a n t h a s b e e n
d o n e w i t h B F2 f o r t h e SDODE L d e v i c e s . Fi g . 3 a n d 4 s h o w
t h e s u b - t h r e s h o l d c h a r a c t e r i s t i c s f o r t h e n - c h a n n e l C o n t r o l ,
SH SDODE L a n d DH SDODE L d e v i c e s w i t h t w o d i f f e r e n t
T0 x v a l u e s o f 1 . 5 a n d 3 . On m r e s p e c t i v e l y . Th e s u b -
t h r e s h o l d s w i n g o f t h e SDODE L d e v i c e s i s c o m p a r a b l e t o
t h a t o f t h e c o n t r o l d e v i c e s a s s e e n i n Fi g . 3 a n d 4
r e s p e c t i v e l y .
C . Tr a n s c o n d u c t a n c e G e n e r a t i o n Fa c t o r , ( g , , / D) a n d
Ou t p u t R e s i s t a n c e
( R , )
Th e g m / I D a n d R 0 a r e i m p o r t a n t d e v i c e p e r f o r m a n c e
p a r a m e t e r s f o r a n a l o g c i r c u i t s . Th e g m / I D r a t i o c a n b e
v i e w e d a s a f i g u r e o f m e r i t f o r t h e d e v i c e , s i n c e t h e
t r a n s c o n d u t a n c e r e p r e s e n t s t h e a m p l i f i c a t i o n d e l i v e r e d b y
t h e d e v i c e a n d d r a i n c u r r e n t r e p r e s e n t s t h e p o w e r
d i s s i p a t i o n t o o b t a i n t h e a m p l i f i c a t i o n . Th e r e f o r e , t h e
h i g h e r t h e g m / I D r a t i o , t h e m o r e s u i t a b l e i s t h e d e v i c e f o r
a n a l o g p e r f o r m a n c e . Lo w g m / I D v a l u e s c o r r e s p o n d t o
s t r o n g i n v e r s i o n o p e r a t i o n a n d h i g h v a l u e s t o w e a k
i n v e r s i o n .
I n Fi g . 5 a n d 6 , w e h a v e s h o w n t h e e f f e c t o f g a t e
o v e r d r i v e v o l t a g e o n t h e g m / I D a n d R 0 r e s p e c t i v e l y a t a
d r a i n b i a s o f 0 . 6 V f o r d e v i c e s w i t h LG = 0 . 1 g m a n d
To ,
o f
3 n m w i t h t h e o t h e r p a r a m e t e r s c h o s e n a s p e r t h e SI A
r o a d m a p . I t c a n b e o b s e r v e d t h a t , SDODE L d e v i c e s i n t h e
f o r w a r d m o d e o f o p e r a t i o n c o n s i s t e n t l y o u t p e r f o r m t h e
c o n t r o l d e v i c e s a t a l l d i f f e r e n t g a t e o v e r d r i v e v o l t a g e s .
R e d u c e d Dr a i n I n d u c e d B a r r i e r Lo w e r i n g ( DI B L)
c o n t r i b u t e s t o w a r d s t h e i m p r o v e m e n t i n t h e o u t p u t
r e s i s t a n c e ( R O) .
D. De v i c e I n t r i n s i c G a i n
I n Fi g . 7 w e h a v e s h o w n t h e p l o t o f t h e d e v i c e i n t r i n s i c
g a i n a s a f u n c t i o n o f t h e g a t e o v e r d r i v e v o l t a g e . H e r e o n e
c a n o b s e r v e t h a t b e s t g a i n i s o b t a i n e d i n t h e SH SDODE L
d e v i c e s f o r V G T< O. 4 V . Th e SDODE L d e v i c e s s h o w a
l o w e r g a i n t h a n t h e c o n t r o l d e v i c e s w h e n g a t e o v e r d r i v e
v o l t a g e c r o s s e s 0 . 5 V b e c a u s e o f f a l l i n g , . I t i s g e t t i n g
r e d u c e d i n SDODE L w h e n V G T i s a b o v e 0 . 4 V i . e V G S i s
a b o v e 0 . 7 V b e c a u s e o f r e d u c t i o n i n m o b i l i t y i n t h e c h a n n e l
r e g i o n . Th i s i s d u e t o t h e a d d i t i o n a l c h a n n e l i m p l a n t B F2
b y w h i c h w e a r e m a k i n g f o r V T a d j u s t m e n t . Th i s c a n b e
m i n i m i z e d b y o p t i m i z i n g a d d i t i o n a l i m p l a n t d o s e .
E . V T r o l l - o f f a n d I ON / I OFF
Fi g . 8 s h o w s t h e V T r o l l - o f f f o r t h e d e v i c e s w i t h o x i d e
t h i c k n e s s o f 1 . 5 a n d 3 n m w i t h i d e n t i c a l V T f o r C o n t r o l a n d
SDODE L d e v i c e s a t LG = 0 . 1 g U m . I t i s o b s e r v e d t h a t f o r
To x = 3 n m , b e l o w 0 . 1 3 t e c h n o l o g y n o d e b e t t e r r o l l - u p i s
a c h i e v a b l e i n t h e c a s e o f SDODE L d e v i c e s . Fr o m Ta b l e - I 1
A a n d B , w e o b s e r v e t h a t I OFF i S l e s s f o r SH SDODE L
MOSFE Ts i n c o m p a r i s o n w i t h t h e o t h e r t w o d e v i c e s f o r
t h e t w o d i f f e r e n t t e c h n o l o g y n o d e s , s t u d i e d i n t h i s w o r k .
Fi g . 9 s h o w s t h e l ON / I OFF a s a f u n c t i o n o f c h a n n e l l e n g t h LG
f o r t h e d e v i c e s s c a l e d a s p e r t h e d i g i t a l l o g i c r o a d m a p
s h o w n i n Ta b l e I . I t c a n b e o b s e r v e d t h a t t h e I ON / I OFF
i n c r e a s e s w i t h a n i n c r e a s e i n t h e c h a n n e l l e n g t h w h i c h i s a s
e x p e c t e d . I OFF w a s t a k e n a t V G S= OV , V DS= V DD
f o r t h e
r e s p e c t i v e t e c h n o l o g y n o d e .
6 8 8
TA B LE - I L. A
I OFF - A N A LOG R OA DMA P
Si LG C o n t r o l DH SH
N o . SDODE L SDODE L
1 . 0 . 1 1 3 . 9 4 7 9 8 5 1 1 . 0 0 0 2 5 8 1 0 . 8 1 2 3 7 2
n A / 4 m
n A / g m
n A / , u m
2 . 0 . 1 3 1 . 4 7 6 2 4 3 8 1 . 1 8 0 5 2 3 1 . 0 4 6 9 6 5 2
n A / g m n A / g m
n A / , u m
TA B LE - I I . B
I OFF - DI G I TA L R OA DMA P
SI LG
C o n t r o l DH SH
N o . SDODE L SDODE L
1 . 0 . 1 4 2 . 0 8 4 2 2 4 0 . 6 7 4 7 1 4 3 4 . 7 6 5 1 1 7
n A / , m n A /
g m n A / g m
2 . 0 . 1 3 9 . 3 8 2 1 3 9 1 9 . 0 7 9 5 6 8 4 4 . 8 2 9 3 9 5 9
n A / g m n A / g m n A / g m
I V . C ON C LU SI ON
H a l o SDODE L MOSFE Ts w e r e o p t i m i z e d w i t h t h e
h e l p o f s i m u l a t i o n s f o r t h e s u b 1 0 0 n m t e c h n o l o g y n o d e s .
R e m a r k a b l e r e d u c t i o n i n j u n c t i o n c a p a c i t a n c e w a s
o b s e r v e d . B e t t e r a n a l o g p e r f o r m a n c e s w e r e o b s e r v e d i n t h e
c a s e o f SH SDODE L MOSFE T. A s h a s b e e n s h o w n , t h e s e
t e c h n o l o g i e s a r e s u i t a b l e w h e r e t h e h i g h c o s t o f t h e SOI
t e c h n o l o g i e s i s u n a c c e p t a b l e . SH SDODE L MOSFE T c a n
t h e r e f o r e b e a p o t e n t i a l p l a y e r i n t h e f u t u r e .
A C K N OWLE DG E ME N T
On e o f t h e a u t h o r s C . K . Sa r k a r w i s h e s t o t h a n k C e n t e r
f o r N a n o s c i e n c e a n d Te c h n o l o g y o f J a d a v p u r U n i v e r s i t y
a n d U G C I n d i a f o r t h e i r f i n a n c i a l s u p p o r t .
R E FE R E N C E S
[ 1 ] M. Mi y a m o t o , R . N a g a i a n d T. N a g a n o , " P s e u d o -
SOI : P - N - P - c h a n n e l d o p e d b u l k MOSFE T f o r l o w
v o l t a g e h i g h p e r f o r m a n c e a p p l i c a t i o n , " i n I E DM
Te c h . Di g . , p p . 4 1 1 - 4 1 4 , De c . 1 9 9 8 .
[ 2 ] S. I n a b a , K . Mi y a n o , A . H o k a z o n o , K . Oh u c h i , I .
Mi z u s h i m a , H . Oy a m a t s u , Y. Ts u n a s h i m a , Y.
To y o s h i m a , a n d H . I s h i u c h i , " Si l i c o n o n d e p l e t i o n
l a y e r FE T ( SODE L FE T) f o r s u b - 5 0 - n m h i g h
p e r f o r m a n c e C MOS a p p l i c a t i o n s : N o v e l c h a n n e l
a n d S/ D p r o f i l e e n g i n e e r i n g s c h e m e s b y s e l e c t i v e
Si e p i t a x i a l g r o w t h t e c h n o l o g y , " i n I E DM Te c h .
Di g . , p p . 6 5 9 - 6 6 2 , De c . 2 0 0 2
[ 3 ] K . J . C h u i , G . S. Sa m u d r a , Y. C . Ye o , K . C . Te e ,
K . W. Le o n g , K . M. Te e , F. B e n i s t a n t a n d L. C h a n ,
" SDODE L MOSFE T f o r p e r f o r m a n c e
E n h a n c e m e n t , " i n I E E E E l e c t r o n De v i c e Le t t e r s ,
V o l 2 6 , N o . 3 , p p . 2 0 5 - 2 0 7 , 2 0 0 5
[ 4 ] I SE - TC A D Ma n n u a l s , 2 0 0 0 , R e l e a s e 8 . 0 .
Fi g . 1 - J u n c t i o n C a p a c i t a n c e
C j
a s a f u n c t i o n o f Dr a i n B o d y
B i a s V DB f o r C o n t r o l a n d SDODE L MOSFE T w i t h
To x = 1 . 5 n m .
Fi g . 2 - J u n c t i o n C a p a c i t a n c e
C i
a s a f u n c t i o n o f Dr a i n B o d y
B i a s V DB f o r C o n t r o l a n d SDODE L MOSFE T w i t h
To x = 3 n m
Fi g . 3 . C o m p a r a b l e Su b - t h r e s h o l d C h a r a c t e r i s t i c s o f C o n t r o l
a n d SDODE L MOSFE T w i t h To x = l . 5 n m .
6 8 9
H A LO I m p l a n t a t i o n A n g l e = 1 5 C ON TR OL n - MOSFE T - B
DH SDODE L n - MOSFE T +C
2 . 5 -
SH SDODE L n - MOSFE T
2 . 4
2 . 3 _
2 . 2 -
E
2 . 1 -
2 . 0 -
1 . 9 _
1 . 8 7
1 . 6 ( L= O1 s 1
O 1 . 5
T. . = 1
5 n m
- =
1 4
1 2 3
1 . 2
1 . 1
0 . 0 0 2 0 4 0 . 6 0 . 8 1 0 1 2
Dr a i n - B o d y V o l t a g e
V D, ( V )
H A LO I m p l a n t a t i o n A n g l e = 1 5
C ON TR OL n - MOSFE T
B
DH SDODE L n - MDSFE T- - C
2 . 2 SH SODODE L n - MOSFE T
2 . 1 -
2 . 0
E
1 9
1 . 6
C M 1 . 5 LG = O
I a m
c o
1 4 T X = 3 n m
1 . 3
1 . 2 -
1 . 0
0 . 0 0 1 2 0 4 0 . 6 0 8 1 . 0 1 2
Dr a i n - B o d y V o l t a g e
V D, ( V )
C ON TR OL n - MOSFE T[ _ - i
DH S0 ODE L n - MOSFE T +- * - C
T 0 1 On m OH
SDODE Ln - MOSFE T D
l E 4 -
C 1 E - 5 f
V
D= O. 1 V
LG = 0 . 1 6 m
0 2 0 0 0 2 0 4 0 6 0 8 1 0 1 2 1 4 1 6
G a t e V o l t a g e V G S( V )
Fi g . 4 . C o m p a r a b l e Su b - t h r e s h o l d C h a r a c t e r i s t i c s o f C o n t r o l
a n d SDODE L MOSFE T w i t h To x = 3 n m .
Fi g . 5 . Tr a n s c o n d u c t a n c e g e n e r a t i o n f a c t o r ( g m / I D) a s a
f u n c t i o n o f
V G T f o r C ON TR OL a n d SDODE L Tr a n s i s t o r s
w i t h W= 1 i m , a t a d r a i n b i a s o f 0 . 6 V .
Fi g . 6 . De v i c e Ou t p u t R e s i s t a n c e ( R O)
a s f u n c t i o n o f V G T f o r
C ON TR OL a n d SDODE L t r a n s i s t o r s w i t h W= l t i m , a t a
d r a i n b i a s o f 0 . 6 V .
Fi g . 7 . DC i n t r i n s i c g a i n f o r C ON TR OL a n d SDODE L
MOSFE Ts a s a f u n c t i o n o f
V G S0
Fi g . 8 . V T r o l l - o f f a s f u n c t i o n o f g a t e l e n g t h
Fi g . 9 . ' o l o f f a s a f u n c t i o n o f g a t e l e n g t h f o r b o t h
C ON TR OL a n d SDODE L MOSFE Ts . V T i s c a l c u l a t e d a t
V DS= l OOm V . Th e o x i d e t h i c k n e s s a n d V T a r e s c a l e d f o r
a c c o r d i n g t o SI A Lo g i c r o a d m a p a s g i v e n i n Ta b l e 1 .
6 9 0
V D
= 0 . 1 V
LG = O 1 Ol p n
G a t e V o l t a g e V G s ( V )
C ON TR OL n - MOSFE T B
DH SDODE L n - MOSFE T I 1 C
3 5 SH SDODE L n - MOSFE T L D
3 0 -
2 5
E 2 0
T = 3 n m
1 0
LG = 0 A m
5 -
V o s = 0 . 6 V
O- n I I ,
0 . 0 0 . 2 0 . 4 0 . 6 0 . 8 1 . 0
V G T
C ON TR OL n - MOSFE T B
DH SDODE L n - MOSFE T +- C
2 2 SH SDODE L n - MOSFE T D
2 0 t
1 8 -
1 6
1 4 -
T = 3 . On m
1 2
1 0
8
V Ds = 0 . 6 V
6 - LG =Ol n P
4
2 ,
0
0 0 0 2 0 4 0 . 6 0 . 8 1 . 0
V 5 0 / ( V )
MOSFE T w i t h DH B ( D,
SDODE L n - MOSFE T w i t h DH + C ( E )
0 . 3 0
SDODE L n - MOSFE T w i t h SH
T - 3 n r n
0 . 2 8 n
0 2 6 -
0 . 2 4
, 0 2 2 /
0 . 2 0 T- = 1 T. 5 n m
0 1 8 .
0 1 6
0 . 1 4
0 . 0 5 0 1 0 0 1 5 0 2 0 0 . 2 5
L, ( p m )
C ON TR OL n - MOSFE T
DH SDODE L n - MOSFE T +C
2 . x Ol O' SH SDODE L n - MOSFE T
1 . 8 x 1 0 5 A
1 . 6 x 1 0 5
1 4 x 1 0 \ \ T- = 3 . On m
1 . 2 x 1 0 5
C l Oo l O5 \
8 . o x l o , -
8 OX l O \ LG = 0 1 p m
6 . Ox 1 0 4
i \
4 . Ox l O'
4 0 x 1 0
2 . o x l O4 _
0 . 0
0 . 0 0 . 2 0 . 4 0 . 6 0 0 8 1 . 0
V G r ( V )
C ON TR OL n - MOSFE T _ B
DH SDODE L n - MOSFE T - +- C I
Di g i t a l R o a d Ma p SH SDODE L n - MOSFE T A D
1 0 o
1 0 6
1 0 o
0 . 0 5 0 . 1 0 0 1 5 0 . 2 0 0 . 2 5
L, ( g m )