Cara Kerja Mikroskop Elektron

1. Mikroskop transmisi elektron (TEM)

Mikroskop transmisi eletron saat ini telah mengalami peningkatan
kinerja hingga mampu menghasilkan resolusi hingga 0,1 nm (atau 1 angstrom)
atau sama dengan pembesaran sampai satu juta kali. Meskipun banyak bidangbidang ilmu pengetahuan yang berkembang pesat dengan bantuan mikroskop
transmisi elektron ini.
Adanya persyaratan bahwa obyek pengamatan harus setipis mungkin ini
kembali membuat sebagian peneliti tidak terpuaskan, terutama yang memiliki
obyek yang tidak dapat dengan serta merta dipertipis. Karena itu
pengembangan metode baru mikroskop elektron terus dilakukan.
2. Mikroskop Pemindai Electron (SEM)
Pada SEM, gambar dibua berdasarkan deteksi electron baru (electron
sekunder) atau electron pantul yang muncul dari permukaan sample ketika
permukaan sample tersebut dipindai dengan sinar electron.elektron sekunder
atau electron pantul yang terdeteksi selanjutnya diperkuat sinyalnya, kemudian
besar amplitudonya ditampilkan dalam gradasi gelap-terang pada layar
monitor CRT (cathode ray tube). Di layar CRT inilah gambar struktur obyek
yang sudah diperbesar bisa dilihat. Pada proses operasinya, SEM tidak
memerlukan sample yang ditipiskan, sehingga isa diigunakan untuk melihat
obyek dari sudut pandang 3 dimensi.
3. Mikroskop Elektron Pemindai Lingkungan (ESEM)
Pertama-tama

dilakukan

suatu

upaya

untuk

menghilangkan

penumpukan elektron (charging) di permukaan obyek, dengan membuat

suasana dalam ruang sample tidak vakum tetapi diisi dengan sedikit gas yang
akan mengantarkan muatan positif ke permukaan obyek, sehingga
penumpukan elektron dapat dihindari.

Hal ini menimbulkan masalah karena kolom tempat elektron dipercepat dan
ruangfilamen di

mana

elektron

yang

dihasilkan

memerlukan

tingkat vakum yang tinggi. Permasalahan ini dapat diselesaikan dengan

memisahkan sistem pompa vakum ruang obyek dan ruang kolom serta
filamen, dengan menggunakan sistem pompa untuk masing-masing ruang. Di
antaranya kemudian dipasang satu atau lebih piringan logamplatina yang biasa
disebut

(aperture)

berlubang

dengan

diameter

antara

200

hingga

500 mikrometer yang digunakan hanyauntuk melewatkan elektron , sementara

tingkat kevakuman yang berbeda dari tiap ruangan tetap terjaga.

4. Mikroskop Refleksi Elektron (REM)

Reflection Electron Microscope (REM), adalah mikroskop elektron
yang memiliki cara kerja yang serupa dengan cara kerja TEM, namun sistem
ini menggunakan deteksi pantulan elektron pada permukaan objek
5. Spin-Polarized Low-Energy Electron Microscopy (SPLEEM)
Spin-Polarized Low-Energy Electron Microscopy (SPLEEM) ini
adalah merupakan Variasi lain yang dikembangkan dari teknik yang sudah ada
sebelumnya, dan digunakan untuk melihat struktur mikro dari medan magnet.

http://apriliafitri04.wordpress.com/2013/01/19/mikroskop-elektron/
http://publikasiilmiah.unwahas.ac.id/index.php/MOMENTUM/article/viewFile/620/7
36
Khan, Bruce. 2002. Hand Out Scanning Electron Mikroscopy.
Karlik, Miroslav. 2001. Lattice Imaging In Transmission Electron Microscopy.
Department of Materials,Faculty of Nuclear.