MEMS qun tnh to t ph trong ng

dng vi nm loi cm bin chuyn ng

Phn 1: Gii thiu
S xut hin ca cc cm bin gia tc v con quay hi chuyn (thit b o gc hay gia
tc gc) da trn cng ngh MEMS (Microelectromechanical system), c gi thnh r
v ng tin cy to iu kin cho vic tch hp kh nng nhn bit chuyn ng vo
ngy cng nhiu loi hnh ng dng.
Mc d cm bin MEMS c dng cho vic phng ti kh v trong cc cm bin p
sut t t hai thp k trc nhng cng chng ch hiu c tim nng ca nhng
thit b ny khi h tip xc vi cc my chi tr chi Wii ca Nintendo v in thoi
iPhone ca Apple.
Phn no th nim v s hu dng ca cm bin qun tnh ch dng li cc sn phm
trong cn pht hin c gia tc v gim tc. iu ny ch ng nu nhn kha
cnh k thut nhng li b qua tim nng ng dng ngy cng ln ca cm bin gia tc
(Hnh 1) v con quay hi chuyn (Hnh 2) dng MEMS trong nhiu lnh vc nh thit
b y t, cng nghip, in t trong tiu dng v t.

Hnh 1. Link kin cm bin gia tc ba chiu cng ngh s iMEMS ADXL345 ca
hng Analog Devices. Ngun SensorMagazine.com.
Nu ta xem xt cc kh nng ca tng loi cm bin chuyn ng gia tc (bao gm c
thng tin v chuyn ng tnh tin nh v tr v hng), rung ng, chn ng,
nghing, v quay th tm ng dng ca chng s m rng ra thm rt nhiu.
V d nh mt cm bin gia tc c th dng thc hin cc k thut qun l in nng
bng cch ra lnh cho mt thit b chuyn sang ch tiu th nng lng thp nht khi
thit b ny c cho l trng thi ngh do cm bin khng nhn thy c chuyn ng
hay rung ng. Cc bng iu khin vi cc nt iu khin vt l phc tp cng ang
dn c thay th bi cc giao din nhn bit c c ng v c iu khin bng
cc c chm ngn tay. Trong cc trng hp s dng khc th cm bin gip cho hot
ng ca h thng tr nn chnh xc hn, v d nh mt chic la bn c hiu chnh
ty theo nghing ca n khi ngi dng cm trn tay.
Bi vit ny s cung cp cc v d v vic cc cm bin gia tc v con quay hi chuyn
cao cp dng MEMS hin c trn th trng s thay i b mt ca rt nhiu loi sn
phm nh vo nm kiu chuyn ng chng nhn bit c.

Hnh 2. Cm bin con quay hi chuyn ADXRS610 ca hng Analog Devices. Ngun
SensorMagazine.com.
Gii thiu v Cm bin Chuyn ng v MEMS
Trong nm kiu chuyn ng gia tc, rung ng, chn ng, nghing v quay th
ngoi tr chuyn ng quay, nhng chuyn ng cn li u l kt qu ca s thay i
ca gia tc theo thi gian (Hnh 3). Tuy nhin, chng ta khng lin h nhng chuyn
ng trn, bng trc gic, vi s thay i ca gia tc hay gim tc. Xem xt ring tng
ch cm bin gip chng ta nhn ra cc tim nng ca chng d dng hn.

Hnh 3. Nm ch cm bin chuyn ng. Ngun EECatalog.com.

Gia tc, bao gm c chuyn ng tnh tin, o s bin i ca vn tc theo thi gian.
Vn tc, c biu din bi n v m/s, bao gm thng tin c v tc v hng ca
chuyn ng. Gia tc c tnh theo n v m/s2. Khi gia tc c gi tr m, nh khi mt
chic t i chm li do li xe p phanh, th c gi l gim tc.
Nu xt gia tc theo thi gian th rung ng c th coi nh l gia tc v gim tc thay
nhau xy ra theo chu k tun hon. Tng t nh vy, chn ng l gia tc xy ra tc
th nhng khc vi rung ng, gia tc trong chn ng l mt qu trnh khng tun hon
v thng ch xy ra mt ln.
Hy xem xt trong mt khong thi gian di hn. Khi mt vt b di chuyn lm thay i
nghing ca n th s c s thay i tng ng v mt lc hp dn. Chuyn ng
ny thng xy ra chm hn so vi rung v chn ng.
Do c bn dng cm bin chuyn ng ny u lin quan ti gia tc nn chng c o
bng lc g, n v ca lc hp dn tc dng ln mt vt trn Tri t (1g = 9.8m/s2).
Cm bin MEMS pht hin nghing bng cch o mc nh hng ca lc hp dn

ln tng trc chuyn ng. V d vi cm bin gia tc ba chiu s cho ra ba kt qu o

biu th gia tc trn cc trc chuyn ng X, Y, v Z.
Phn ln cc cm bin c mt trn th trng hin nay o gia tc bng cch s dng cc
cp t in vi sai. Mc khc bit v in dung ca cc cp t in ny t l thun vi gia
tc ca cm bin. Mc khc bit ny sau c chuyn i sang dng in th hoc
cc tn hiu nh phn (i vi cc cm bin c u ra s), ri thng tin ny c chuyn
ti b vi x l thc thi cc hot ng tip theo. Nhng tin b cng ngh gn y
cho php sn xut cc cm bin gia tc MEMS nh gn trong di gia tc thp (low-g)
ln gia tc cao (high-g) vi bng thng rng hn trc y rt nhiu, do cng gia
tng hn na tim nng ng dng ca chng. Cm bin trong di gia tc thp (gia tc
di 20 g) ph hp pht hin cc chuyn ng do con ngi to ra. Cm bin trong
di gia tc cao th hu dng trong cc ng dng lin quan ti my mc hay xe c v
bn cht l cc chuyn ng khng th to ra bi con ngi.
Cho ti lc ny chng ta mi ch bn ti chuyn ng tnh tin, loi chuyn ng ny
bao gm gia tc, rung ng, chn ng, v nghing. Chuyn ng quay c nh
lng bng tc gc. im khc bit ca kiu chuyn ng ny l n c th din ra
m khng h c s thay i v gia tc. hiu r vn ny hy th tng tng mt
cm bin qun tnh 3 chiu, trong chiu X v Y nm song song vi mt t cn trc
Z th hng ti tm tri t. v tr ny, trng lc o c trn ba trc X, Y, v Z ln
lt l 0, 0, v 1 g. Tip , quay cm bin xung quanh trc Z (Hnh 4). Trc X v Y s
quay theo, v vn ch o c 0 g trng lc, trong khi trn trc Z vn l 1 g. pht
hin c chuyn ng quay nh trn cn s dng cm bin con quay hi chuyn. Do
mt s sn phm cn phi o c chuyn ng quay cng vi cc dng chuyn ng
khc nn cc cm bin con quay hi chuyn c th c tch hp vi cc cm bin gia
tc trong b IMU (Inertial Measurement Unit b o qun tnh) a chiu.

Hnh 4. Chuyn ng quay ca mt vt xung quanh trc Z.

MEMS qun tnh to t ph trong ng

dng vi nm loi cm bin chuyn ng
Phn 2: ng dng
ng dng ca cm bin gia tc trong vic ci thin mc tin dng v tit kim
in nng
Trong phn trc ca bi vit chng ta bn ti vai tr ca gia tc trong vic xc nh
chuyn ng v v tr. Mt cm bin gia tc MEMS c th gip nhn bit vic mt thit
b c cm ln hay t xung. Khi pht hin c nhng chuyn ng trn, cm bin
c th pht mt tn hiu iu khin t ng bt hoc tt cc chc nng ca thit b
ny. Ngoi ra, cc t hp chc nng khc nhau ca thit b cng c th c iu khin
hot ng ch bnh thng hay ch tiu th in nng thp nht. Tnh nng
bt/tt da trn chuyn ng rt c ch vi ngi dng v n loi b c cc thao tc
lp i lp li cho h. Hn na, tnh nng ny cn gip ci thin vic qun l in nng,
tng thi gian s dng thit b gia cc ln xc hay thay pin. Nhng chic iu khin t
xa thng minh s dng mn hnh LCD l mt trong nhng v d v ng dng tim nng
ca k thut ny.
Mt ng dng tim nng khc ca cm bin gia tc l pht hin chuyn ng ri pht ra
mt tn hiu iu khin cho thit b in m v tuyn trong lnh vc qun s hay an
ninh. m bo tnh bo mt ca vic lin lc, nu mt my in m khng c
eo hay mang theo bi ngi s dng trong mt khong thi gian th my s yu cu
ngi s dng xc thc li danh tnh trc khi cho php tip tc s dng. Cn lu
rng, i vi nhng thit b di ng hay thit b nh gn nh trong hai v d va k trn
th cc cm bin gia tc phi tiu th t nng lng, ti a l vi micro ampe (A),
ng dng c tnh thc t.
Thit b y t l mt mng ng dng khc cho cm bin chuyn ng. My tr tim
(Automatic External Defibrillator AED) l thit b dng to ra sc in gip tim
ca bnh nhn p tr li. Khi ADE khng c tc dng th cn tin hnh h hp nhn
to (CPR). Mt nhn vin cu h t kinh nghim c th nn ngc bnh nhn khng
mnh, khin CPR khng c hiu qu. Nu gn mt cm bin gia tc ln ming nn ngc
ca AED th c th o c khong cch ming nn ny di chuyn, gip cho nhn vin
cp cu bit c mc nn ti u.

Hnh 5. Thit b PocketCPR, mt v d v cm bin gia tc gip xc nh chuyn ng

v v tr. Ngun: EECatalog.com.
ng dng ca cm bin rung ng trong gim st v tit kim in nng
Nhng thay i nh trong rung ng l biu hin ca vng bi b mn, cc b phn c
kh khng kht, v cc vn my mc khc. Cc cm bin MEMS nh gn vi bng
thng rng c th c s dng gim st rung ng ng c, qut my, v cc my
nn. Kh nng bo tr nh thng tin d bo nh trn gip cho cc nh my sn xut
trnh c h hng trn cc thit b t tin cng nh l cc hng hc quy m ln.
Vic nh lng c cc thay i v c tnh rung ng ca thit b cn c th c
dng nh gi liu thit b ny c tinh chnh hot ng mt cch ti u cha.

Hnh 6. V d v ng dng ca cm bin rung ng phn bit my hot ng bnh

thng (ph mu en) vi my b mn (ph mu ). Ngun: EECatalog.com.
ng dng ca nhn bit chn ng, c ng
Cho ti nay, tnh nng bo v cng trong cc loi my tnh xch tay l mt trong
nhng ng dng ph bin nht ca nhn bit chn ng. Mt cm bin gia tc s gip
pht hin nhng chn ng nh gy ra do dy ngun b git hay mn hnh b va p.
Nhng chn ng nh ny thng l tin ca mt chn ng khc, c th y l

vic my tnh p xung sn. Ch trong vng vi phn nghn giy sau khi pht hin cc
hin tng ny nh s dng cm bin chuyn ng, h thng s ra ch th cng c
nh u c, gip n khng p vo a nh khi my tnh b ri, nh vy gim thiu
c cc h hng a.
Cc giao din iu khin da trn nhn dng c ng cng l mt ng dng tim nng
khc na cho cm bin qun tnh. Cc c ng c nh ngha sn nh chm, chm
p, hay rung lc gip ngi dng kch hot cc tnh nng khc nhau hay thay i ch
hot ng ca thit b. Nhng giao din dng c ng nh trn lm tng tnh hu
dng ca thit b trong nhng trng hp m vic iu khin bng phm hay nt khng
c thun tin. Cc thit k khng c phm v nt cng khin gi thnh ton h thng
gim, ng thi lm cho sn phm bn hn. Mt v d in hnh l trng hp cc my
ghi hnh di nc s b nc thm vo qua cc cnh ca nt iu khin, nu c.
Cc thit b in t tiu dng c kch c nh ch l mt trong nhiu lnh vc ng dng
m vic nhn dng c ng dng cm bin chuyn ng tm c ch ng. Ngoi ra,
giao din iu khin dng c ng cn c th tr nn hu dng trong cc thit b y t
eo trn ngi hay cy ghp nh cc my tr thnh v my bm thuc.

Hnh 7. C ch bo v a cng t ng ca my tnh xch tay IBM ThinkPad l

mt v d v ng dng ca kh nng cm bin chn ng. Ngun: EECatalog.com.
ng dng ca cm bin nghing
Cm ng nghing cng c tim nng ng dng trong cc giao din iu khin dng
c ch. V d nh vic vn hnh ch vi mt tay c a thch hn trn cc thit b
thuc lnh vc xy dng hay kim tra cng nghip. Tay khng dng vn hnh thit b

th thng dng iu khin thng hay nn m ngi vn hnh ang ng hay l

gi giy bo him. Ngi vn hnh c th ch cn quay my d hay thit b iu
chnh cc ty chn.
Mt cm bin gia tc 3 chiu s c th pht hin c s quay di dng nghing.
Cm bin s o mc bin i c tc chm ca gc nghing di tc dng ca lc
hp dn. Da trn thng tin ny, h thng s tnh ton c mc thay i ca vector ca
lc hp dn v xc nh xem chuyn ng quay l thun hay ngc chiu kim ng h.
Cm bin nghing cn c th c kt hp vi tnh nng nhn bit va chm nh gip
ngi vn hnh iu khin c nhiu chc nng hn trong nhng trng hp thao tc
mt tay.
Ngoi ra, cm bin nghing cn c th c dng hiu chnh thng tin v v tr ca
thit b nh v nh la bn in t trong h thng nh v ton cu (GPS) hay in thoi
di ng. Mt vn thng gp trong cc thit b ny l sai s phng hng xut hin
khi la bn khng c t thc s song song vi mt t. cc my cn cng nghip,
nghing so vi mt t ca bn cn cng cn c xc nh c th tnh ton chnh
xc trng lng. Tng t nh vy, cc cm bin p sut s dng trong xe hi v cc
my mc cng nghip cng chu s nh hng ca trng lc do nhng cm bin ny c
cha cc mng ngn m lch ca chng ph thuc vo v tr lp t ca cm bin.
Trong tt c cc trng hp k trn th cm bin gia tc MEMS u c th c s
dng xc nh gc nghing trc khi thc hin vic hiu chnh sai s.

Hnh 8. My gim st huyt p Omron Wrist c s dng cc k thut cm bin cao cp ,

bao gm c cm bin nghing, m bo chnh xc ca d liu. Ngun:
EECatalog.com.
Con quay hi chuyn v cc thit b o dng qun tnh

Cc ng dng thc t ca cng ngh MEMS tr nn hu ch hn khi tnh nng pht hin
chuyn ng quay c kt hp vi tnh nng pht hin cc chuyn ng do qun tnh
khc. Trong thc t th vic kt hp ny cn ti c cm bin gia tc v cm bin con
quay hi chuyn.
Mt s thit b o dng qun tnh (Inertial Measurement Unit IMU) c kt hp cm
bin gia tc a chiu, cm bin con quay hi chuyn a chiu, ngoi ra c th thm cm
bin t tnh tng mc chnh xc v hng. IMU cng c th cung cp thng tin
cm bin vi 6 bc t do, gip t c chnh xc rt cao p ng c yu cu ca
cc ng dng thit b ghi hnh y t, dng c phu thut, b phn c th gi cao cp, v
dn ng t ng cho cc phng tin cng nghip. Mt u th khc ca vic s dng
IMU l cc tnh nng ca thit b c th c nh sn xut kim th v hiu chnh trc
khi xut xng.
IMU cn hu ch trong cc trng hp s dng khc. V d nh n c th c gn trn
mt chic gy chi golf thng minh gip ghi li v theo di ton b chuyn ng ca
mt c nh. Ngi chi golf s da vo thng tin ny ci thin k nng chi. Cc
cm bin gia tc trn gy golf s o gia tc v ng vung gy. Cn cm bin con quay
hi chuyn th o mc xoy tay ca ngi chi. Trong khi thi u v tp luyn, gy
golf thng minh s ghi li nhng d liu ny phc v cho vic phn tch sau trn
my tnh.

Hnh 9. Minh ha cc im c th t cm bin qun tnh gip ngi chi golf ghi li
cc chuyn ng ca mnh khi thi u hay tp luyn, phc v vic phn tch v hon
thin k thut nh. Ngun: MedCityNews.com.
Xu hng x l tn hiu mi
D cho nhu cu c l tnh tin dng, gim tiu th in nng, gim thiu cc nt iu
khin vt l, iu chnh hot ng tu theo trng lc v v tr hay l cc phng thc
vn hnh thng minh hn th gii php MEMS qun tnh lun c th mang li nhiu s
la chn khm ph vi c nm loi cm bin chuyn ng.
L cng ty lun theo ui cc gii php mi, Analog Devices cng vi gii php X l
Tn hiu Chuyn ng iMEMS ang pht trin v cung cp cc b cm bin gia tc v
con quay hi chuyn gip trin khai xu hng x l tn hiu ny. Rt nhiu ng dng s
ny sinh v pht trin nh vo nhng gii php tch hp c kch c nh, nhy cao,
tiu th t nng lng, hot ng n nh, c tch hp mch giao tip v nh dng tn
hiu (signal conditioning circuitry).

Cc tc gi:
Rob OReilly hin ang lm vic ti hng Analog Devices (Hoa K), m nhim vic
pht trin cc phng php kim th MEMS trong tng lai, v mt s c hi kinh
doanh trong lnh vc ny. ng l mt cu k s trong ngnh hng khng v theo hc
trng i hc Northeastern (Hoa K) vi chuyn ngnh v chn ng, rung ng v
vt l hc th rn (solid-state physics). Email: rob.oreilly@analog.com
Harvey Weinberg, C nhn ngnh in t, lm vic 12 nm ti hng Analog
Devices (Hoa K). ng hin l trng nhm ng dng ca cc sn phm cm bin
qun tnh, thuc n v Sn phm Vi c (Micromachined Products division). Trc ,
ng lm vic 10 nm trong vai tr k s thit k mch v h thng, tp trung vo cc
thit b o c v iu khin tin trnh. Email: harvey.weinberg@analog.com