Gio trnh:

Cm bin v C cu chp hnh

Chng I: NHNG KHI NIM V

CC B CM BIN
1.1 nh ngha
Trong cc h thng o lng iu khin mi qu trnh u c c trng bi cc
bin trng thi nh nhit , p sut, tc , momen cc bin trng thi ny thng l
cc qu trnh ta cn thu thp thng tin , o c, theo di s bin thin ca cc bin trng
thi ca qu trnh. Cc b cm bin thc hin chc nng ny, chng thu nhn v p ng
vi cc tn hiu v kch thch, l tai mt ca cc hot ng khoa hc v cng ngh ca
con ngi.
Cc b cm bin thng c nh ngha theo ngha rng l thit b cm nhn v p
ng vi cc tn hiu v kch thch.
Trong th gii t nhin cc c th sng thng p ng vi cc tn hiu bn ngoi c
c tnh in ha, da trn c s trao i ion, v d nh hot ng ca h thn kinh
trong cc qu trnh o lng iu khin thng tin c truyn ti v x l di dng
in nh s truyn ti ca cc in t.
Phng trnh m t quan h gia p ng y v kch thch x b cm bin c dng :
Y = f(x)
(1.1)
Quan h (1.1) thng rt phc tp v c qu nhiu yu t nh hng ti quan h p
ng kch thch.
Trong cc h thng o lng iu khin hin i qu trnh thu thp v x l tn hiu
thng do my tnh m nhim.
Trong s hnh 1.2 qu trnh (i tng) c c trng bng cc bin trng thi v
c cc b cm bin thu nhn. u ra ca cc bin trng thi c phi ghp vi b vi
x l qua cc giao din. u ra ca b vi x l c phi ghp vi c cu chp hnh
nhm tc ng ln qu trnh (i tng). y l s iu khin t ng qu trnh (i
tng), trong b cm bin ng vai tr cm nhn, o c v nh gi cc thng s ca
h thng. b vi x l lm nhim v x l thng tin v a ra tn hiu iu khin qu trnh.
1.2 Phn loi cc b cm bin.
a. Theo nguyn l chuyn i gia p ng v kch thch.

b. Theo dng kch thch c th phn chia cc b cm bin nh sau

c. Theo tnh nng cc b cm bin

d. Theo phm vi s dng cc b cm bin

e. Theo thng s ca m hnh mch thay th

o Cm bin tch cc (c ngun) u ra l ngun p hoc ngun dng.
o Cm bin th ng (thng ngun) c c trng bng cc thng s R, L , C, M,
tuyn tnh hoc phi tuyn.
1.3 Cc n v o lng
Cc n v o lng c s ca h n v quc t SI(IE Systems International d Unites)
nh trong bng:

1.4 Cc c trng c bn ca b cm bin

Theo quan im m hnh mch tao coi b cm bin nh mt hp en, c quan h p
ng kch thch c iu din bng phng trnh (1.1) quan h ny c c trng
bng nhiu i lng c bn ca b cm bin. ta c th nh ngha cc i lng c
trng c bn ca b cm bin nh sau :
a. Hm truyn:
Quan h gia p ng v kch thch ca b cm bin c th cho di dng bng gi tr,
graph hoc biu thc ton hc. gi x l kch thch, y l tn hiu p ng, hm truyn cho
ta quan h gia p ng v kch thch. Hm truyn c th c biu din di dng tuyn
tnh, phi tuyn, theo hm logarit, hm ly tha hoc hm m.
Quan h tuyn tnh gia p ng v kch thch c dng :
Y = a + bx
(1.2)

a l hng s bng tn hiu ra khi tn hiu vo bng khng, b l nhy, y l mt trong

cc c trng ca tn hiu ra c th l bin , tn s hoc pha ty theo cc tnh cht ca
b cm bin.
Hm truyn logarit c dng:
y = 1 + blnx
(1.3)
Dng m :
y = aekx
(1.4)
Dng ly tha :
y = ao + a1xk
(1.5)
K: hng s
Cc b cm bin phi tuyn khng th c c trng bng cc hm truyn k trn,
trong trng hp ny ta phi s dng cc hm gn ng l cc a thc bc cao. Trong
nhiu trng hp ta c th lm gn ng hm truyn phi tuyn bng phng php tuyn
tnh ha tng on.
b. ln ca tn hiu vo:
ln ca tn hiu vo l gi tr ln nht ca tn hiu t vo b cm bin m sai s m
sai s khng vt qu ngng cho php. i vi cc b cm bin c p ng phi tuyn
ngng ng ca kch thch thng c biu din bng dexibel, bng logarit ca t s
cng sut hoc in p ca tn hiu ra vo tn hiu vo :
1 dB = 10 lg P2/ P1
Quan h gia cc t s cng sut, t s in p ( hoc dng in) tnh theo dexibel
c cho trong bng:
c. Sai s v chnh xc:
Cc b cm bin cng nh cc dng c o lng khc, ngoi i lng cn o (cm
nhn) cn chu tc ng ca nhiu i lng vt l khc gy nn sai s gia gi tr o
c v gi tr thc ca i lng cn o. Gi x lch tuyt i gia gi tr o v gi
tr thc x, sai s tng i ca b cm bin c tnh bng :
% =

. 100

x : sai s tuyt i.
V d : mt b cm bin di chuyn thng c nhy 1mV trn 1mm di chuyn. nu di
chuyn 10mm to nn in p 10,5mV th to nn sai s tuyt i l 10,5 10 = 0,5mV.
Sai s tuyt i ca b cm bin l :
% =

. 100 = 5%

Khi nh gi sai s ca cm bin ta thng phn chng thnh hai loi : sai s h thng
v sai s ngu nhin.
Sai s h thng l sai s khng ph thuc vo s ln o, c gi tr khng i hoc thay
i chm theo thi gian o v thm vo mt lch khng i gia tr thc v gi tr o
c. sai s h thng thng do s thiu hiu bit v h o, do iu kin s dng khng
tt.

Cc nguyn nhn gy sai s h thng c th l :

Do nguyn l ca cm bin
Gi tr i lng chun khng ng.
Do c tnh ca b cm bin.
Do iu kin v ch s dng.
Do x l kt qu o.
Sai s ngu nhin l sai s xut hin c ln v chiu khng xc nh.
C th d on c mt s nguyn nhn ca sai s ngu nhin nhng khng th d
on ln v du ca n. Nhng nguyn nhn gy sai s ngu nhin c th l:
Do s thay i c tnh ca thit b,
Do tn hiu nhiu ngu nhin,
Do cc i lng nh hng nh cc thng s mi trng (nhit , m, in
t trng, rung) khng c tnh n trong khi chun cm bin. c th gim
thiu sai s ngu nhin bng mt s bin php thc nghim thch hp nh bo v
cc mch o trnh nh hng ca nhiu, t ng iu chnh in p ngun ni, b
cc nh hng nhit , tn s, vn hnh s dng ng ch hoc thc hin php
o lng thng k.
1.5 Chun cc b cm bin
Chun cc b cm bin nhm xc nh di dng th, gii tch mi lin h gia p
ng v kch thch ca b cm bin c tnh n tt c cc yu t nh hng.
cc thng s nh hng c th l cc i lng vt l lin quan n p ng nh ln,
chiu v tc bin thin ca cc kch thch. Ngoi ra chng cng c th l cc i lng
vt l khng lin quan n kch thch nhng tc ng n b cm bin khi s dng v
lm thay i hi p. Thng thng cc i lng vt l ny l cc thng s mi trng
nh nhit , p sut, m v cc thng s ca ngun nh bin , tn s, in p
lm vic ca cc b cm bin.
a. Chun n gin:
Chun n gin l ghp o ch c mt i lng duy nht tc ng ln mt kch thch
xc nh v s dng mt cm bin khng nhy vi cc i lng v khng chu tc ng
ca kch thch ny. y l trng hp c bit ca cc kch thch tnh, ngha l cc i
lng c gi tr khng i. trong nhng iu kin ny vic chun cm bin chnh l s
kt hp cc gi tr hon ton xc nh ca kch thch vi cc gi tr tng ng ca p
ng u ra. C th chun cc b cm bin bng mt trong cc phng php sau y:
o Chun trc tip : cc gi tr khc nhau ca kch thch ly t mu chun hoc cc phn
t so snh c gi tr bit vi chnh xc cao.

o Chun gin tip : s dng mt b cm bin chun bit ng cong chun v so

snh vi b cm bin cn nh chun v c hai cng c t trong cng mt iu
kin lm vic. khi tc ng ln lt ln hai b cm bin bng cng mt kch thch ra
nhn c cc kt qu tng ng ca cm bin mu v cm bin nh chun.
Lp li vi cc gi tr khc nhau ca kch thch ta xc nh c ng cong chun cho
b cm bin.
b. Chun nhiu ln:
Khi b cm bin c cha nhng phn t c tr, gi tr p ng khng ch ph thuc
vo gi tr tc thi ca kch thch m cn ph thuc vo cc gi tr trc ca kch
thch ny. Khi cn phi tin hnh chun nhiu ln theo trnh t sau y:
o t li im O ca cm bin , l im gc khi kch thch bng khng th p ng
ca b cm bin phi bng khng.
o Dng li p ng bng cch lc u cho kch thch c gi tr cc i sau gim dn,
nh c th xc nh c ng cong chun theo 2 hng kch thch tng dn v
gim dn.
1.6 tuyn tnh
B cm bin gi tuyn tnh trong mt di kch thch nu trong di nhy khng
phc thuc vo gi tr ca kch thch tc l nhy l 1 hng s
Trong ch tnh, tuyn tnh c th hin bng cc on thng trn c tuyn tnh
v hot ng ca b cm bin l tuyn tnh khi cc kch thch tc ng cn nm trong
vng ny.
Trong ch ng, tuyn tnh bao gm s khng i ca nhy tnh, ng thi
cc thng s quyt nh hi p nh tn s dao ng ring, h s suy gim cng khng
ph thuc vo kch thch.
1.7 Tc ng nhanh v c tnh ng ca p ng
nh gi thi gian hi p ca p ng theo kch thch ta s dng khi nim tc
ng nhanh ca b cm bin. Thi gian hi p cng nh chng t b cm bin p
ng cng nhanh.
Khi kch thch c dng bc nhy n v th c tnh ca b cm bin c th c nhng
dng sau y
o p ng tc thi
o p ng tr theo hm m
o p ng tc thi v suy gim
o p ng tr v suy gim
o p ng cng hng di hp

1.8 B cm bin tch cc v th ng

Cc b cm bin tch cc hot ng nh 1 ngun p hoc 1 ngun dng c biu din
bng mng 2 ca c ngun. Cn b cm bin th ng c biu din bng mng 2 ca
khng ngun c tr khng phc thuc vo kch thch. Sau y gii thiu s lc cc hiu
ng vt l ng dng trong cc b cm bin tch cc.
a. Hiu ng cm ng in t:
Khi mt thanh dn chuyn ng trong mi trng s xut hin sc in ng t l vi
bin thin t thng, ngha l t l vi tc chuyn ng ca thanh dn.
Hiu ng cm ng in t c ng dng xc nh tc chuyn ng ca vt
thng qua vic o sc in ng cm ng
b. Hiu ng nhit in:
Khi hai dy dn c bn cht ha hc khc nhau c hn kn s xut hin mt sc in
ng t l vi nhit mi hn.
Hiu ng ny thng c ng dng o nhit . Ngc li khi cho dng in chy
t cht c bn cht ha hc khc nhau s to nn chnh lch nhit .
c. Hiu ng ha in:
Mt s tinh th gi l tinh th ha in c tnh cht ohaan cc in t pht ph thuc
vo nht . Trn cc mt i din ca chng xut hin cc in tch tri du ph thuc
vo phn cc in.
Hiu ng ha in thng c ng dng o thng lng ca bc x nh sng. Khi
tinh th ha in hp th nh sng nhit ca chng tng ln lm thay i phn cc
in lm xut hin in p trn hai cc ca t in ph thuc vo quang thng
d. Hiu ng p in:
Khi tc ng ng sut c ln b mt ca vt liu p in (thch anh, mui segnet)
lm vt liu b bin dng v xut hin cc in tch bng nhau v tri du. thng qua vic
o in p trn 2 bn cc t in ta c th o c cc i lng c tc dng ln vt liu
p in nh p sut, ng sut
e. Hiu ng quang in:
Bn cht l gii phng cc ht dn t do trong vt liu di tc dng ca bc x nh
sng. Hiu ng ny c ng dng ch to cc cm bin quang
f. Hiu ng quang in t:
Khi tc ng mt t trng vung gc vi bc x nh sng trong vt liu bn dn c
chiu sng s xut hin mt hiu in th theo phng vung gc vi t trng B v
phng bc x nh sng.
Hiu ng ny c ng dng trong cc b cm bin o cc i lng quang hoc bin
i cc thng tin cha ng trong nh sng thnh tn hiu in.

g. Hiu ng Hall:
Trong vt liu (thng l bn dn) c dng in chy qua t trong t trng B c
phng to thnh gc vi dng in I s xut hin in p U11 theo phng vung gc
vi B v I v c ln l :
U11 = K.I.B.sin
K l h s ph thuc vo vt liu v kch thc ca mu.
Hiu ng Hall c s dng o cc i lng t, i lng in hoc xc nh v tr
chyn ng hnh.
1.9 Mch giao din ca cc b cm bin
a. Cc c tnh u vo ca mch giao din:
p ng ca cc b cm bin ni chung khng ph hp vi ti v in p, cng sut
v vy cn c mch giao din gia b cm bin v ti. cn phi phi hp gia u ra ca
b cm bin v u vo ca h thng x l d liu. Cng vic ny gi l chun ha tn
hiu v cc mch in t giao din thc hin nhim v ny.
b. Cc c tnh ca b khuch i thut ton (KTT):
Cc mch giao din thng c xy dng trn c s cc b khuch i thut ton.
l cc b khuch i mt chiu c h s khuch i rt ln v tng tr vo rt ln.
B khuch i thut ton mch tch hp c th cha hng trm tranzito v cc in tr,
t in c :
o hai u vo, mt u o (-) v mt du khng o (+),
o in tr vo rt ln, c hng trm M hoc c th ti G,
o in tr ra rt nh ( phn chc ),
o in p lch u vo e0 rt nh (c vi nV),
o dng in phn cc u vo i0 rt nh (c vi pA)
o h s khuch i h mch rt ln (A0 = 100.000),
o di tn lm vic rng,
o h s suy gim theo cch ni chung CMRR (khong 90 dB),
o tc tng hn ch s bin thin cc i ca in p tnh bng V/s.
c. B khuch i o lng IA:
B khuch i IA c hai u vo v mt u ra.
H s khuch i ca IA khng cao (khng qu 100) c hai u vo, tn hiu ra t l
vi hiu ca hai in p vo:
Ura = A(U+ - U-) = AU
in p trn Ra phi bng in p vi sai u vo U v to nn dng in I =
H sng khuch i tng ca IA l:

A = (1 +

d. Kh in p lch:
Tr s in p lch c mt vi mV nhng khi s dng mch kn in p ny c
khuch i v to nn in p lch u ra.
e. Mch lp li in p:
KTT c th c s dng nh b lp li in p chnh xc. lm vic ny b
KTT lm vic ch khng o vi h s khuch i bng 1
Mch lp li c chc nng tng in tr u vo, do vy m dng ghp ni gia hai
khu trong mch .
f. Ngun in p chnh xc:
chun cc dng c o chnh xc cn c in p chun, pin mu weston to nn in
p chnh xc 1,018 V c dng nh in p mu, tuy nhin pin ny c in tr t 1 2
K khng cn l ngun in p chnh xc nu dng in c A.
g. Mch cu:
Cu wheatstone gm bn in tr hot ng nh cu khng cn bng, da trn vic
pht hin in p qua ng cho ca cu. in p ra l hm phi tuyn nhng vi bin
i nh < 0,05 c th coi l tuyn tnh.
nhy ca cu: =

h. B nhit ca cc cu in tr:
S dng phng php ni trc tip mch b nhit vo s cu b li s mt
mt cho cc in tr do nhy vi nhit trong s wheatston.
1.10 Truyn d liu
a. Truyn d liu bng ng truyn hai dy:
phi ghp t b cm bin n thit b iu khin v ch th thng s dng ng
truyn hai dy.
Tn hiu in p trn ti thch hp vi vic x l tip theo ca cc mch in t.
b. ng truyn bn dy:
i khi ngi ta mong mun b cm bin vi mch giao din iu khin t xa. Khi b
cm bin c in tr tng i thp
c. ng truyn su dy:
Khi cu wheatstone c s dng t xa in p ca cu ng vai tr quan trng trong
vic n nh nhit ca cu.
1.11 Nhiu trong cc b cm bin v mch

Nhiu trong cc b cm bin v mch l ngun gc ca sai s m ta phi tm cc bin

php khc phc. ging nh bnh tt nhiu khng th loi tr hon ton m ch c th
phng nga, lm gim nh hng ca chng v vic khc phc nhiu i hi nhiu bin
php tng hp. c hai loi nhiu : nhiu ni ti v nhiu tc ng trn mch truyn dn
tn hiu.
a. Nhiu ni ti:
Nhiu ni ti pht sinh do s khng hon thin trong vic thit k, cng ngh ch to,
tnh cht vt liu ca cc b cm bin do p ng c th b mo m so vi dng l
tng. s mo m ca tn hiu ra c th c tnh h thng hoc ngu nhin. Dng tn hiu
ra lin quan cht ch n hm truyn, c tnh tuyn tnh v c tnh ng ca b cm
bin.
T b cm bin tn hiu c khuch i v chuyn i thnh dng s khng biu th
bng ln v c tnh ph m theo phn gii s. khi tng phn gii s tr s ca
bit trng s thp s gim.
in p lch u vo v dng in phn cc c th b tri. Tn hiu nhiu (in p v
dng in) do c ch vt l xy ra trong cc in tr v tranzitor s dng ch to
mch. Mt nguyn nhn gy nhiu l do tnh cht ri rc ca dng in, bi v dng in
l dng ca cc in tch chuyn ng, mi in tch mang mt gi tr xc nh. mc
nguyn t dng in rt linh ng, chuyn ng ca chng ph thuc vo nhit . Gi
tr qun phng ca in p nhiu c th c tnh theo cng thc :
= 4k TRf (V2/Hz)
Trong : k l hng s boltzman = 1,38.10-23 (J/K)
T l nhit (K)
R l in tr ()
f l rng ri tn (Hz)
nhit phng mt nhiu do in tr to nn c th tnh bng = 0,13 tnh
bng nV/ , vi di tn 100Hz, in tr 10 M c in p nhiu bng 4 V
b. Nhiu do truyn dn:
chng nhiu ta thng s dng k thut vi sai phi hp b cm bin tng i, trong
tn hiu ra l hiu ca hai tn hiu ra ca tng b. mt b cm bin gi l cm bin
chnh v b kia l cm bin chun c t trong mn chn.
c. Mn chn, v bc v in:
Nhiu c nguyn nhn in trng v tnh in c th gim ng k bng cch lm mn
chn, bc b cm bin v mch, c bit l cc phn t c tng tr v phi tuyn. tng vn
mn chn phi c phn tch ring mt cch t m. iu quan trng l phi nhn
dng ng ngun nhiu v mi lin h ca nhiu vi mch. Mn chn c hai mc ch,
u tin l gii hn nhiu trong min nh trnh nhiu ly lan sang mch ln cn. mc

ch th 2 ca mn chn l nu c tn ti nhiu trong mch th mn chn b tr xung

quanh cc b phn nhy cm ca b cm bin s ngn nhiu nh hng ti cc phn ny.
Mn c th l hp kim loi hoc bc kim cho cp tn hiu.
d. Mn t:
Chng nh hng ca t trng kh hn chng nh hng ca in trng v trng
tnh in bi v t trng thm nhp vo vt dn. vic bc kim quanh dy dn v ni t
mt pha nh hng t n in p cm ng do t trng. t trng thm nhp vo mn,
bin ca n gim theo hm s m.
Mt s gii php chng nh hng ca t trng nh sau :
o B tr mch thu xa ngun gy ra t trng,
o Trnh cc dy song song vi t trng, nn thay bng dy vung gc vi t trng,
o Lm mn t bng vt liu thch hp, ty theo tn s v cng t trng
o S dng i dy xon dn dng in ln, nu cc dng in trong i dy bng
nhau v tr s v ngc du trong mi chu k xon t trng ca n bng khng.
o S dng mn chn cp nh mch tr v, nu dng i2 bng ngc du dng in trong
li cp th t trng ca cp bng khng.

Chng II: CC LOI CM BIN

2.1 Cm bin o nhit
2.1.1 Thang nhit .
- Thang nhit nhit ng tuyt i(Thang Kelvin): n v l K, nhit cho
im cn bng ca 3 trng thi nc - nc - hi bng 273,15 K.
- Thang nhit bch phn (Thang Celsius): n v l C (oC), ta c:
T(oC) = T(K)- 273,15
2.1.2 Nhit o c v nhit cn o.
Nhit o c bng cm bin T ph thuc vo nhit mi trng Tx v s trao i
nhit trong . o ng hiu s Tx T phi cc tiu.
C 2 bin php nng cao chnh xc o:
- Tng cng trao i nhit gia b cm bin v nhit mi trng cn o
- Gim trao i nhit gia b cm bin v nhit mi trng bn ngoi
B cm bin nhit tip xc gm cc b phn sau y:
- Phn t cm nhn: bng vt liu c c tnh thay i theo nhit , c t nhit
thp, nhit dn sut cao, nhy vi nhit .
- Tip im dn: t phn t cm nhn v mch in t bn ngoi.

V bo v: phn cch cm bin vi mi trng. V bo v phi c nhit tr thp,

cch in tt, chu m v cc yu t n mn.
B cm bin nhit khng tip xc l b cm bin bc x nhit c ca s quang hc
qua bc x nhit c th truyn ti.
-

2.1.3 Cm bin nhit in tr.

C u im n gin, nhy cao, n nh di hn. c chia lm 3 loi: in tr kim
loi, in tr bn dn v nhit in tr.
a. Nhit in tr kim loi:
Thng c dng dy kim loi hoc mng mng kim loi c in tr sut thay i theo
nhit . Da vo di nhit cn o v cc tnh cht mi trng ta thng lm in tr
bng Platin, Niken i khi l ng v vonfram.
t c nhy cao, in tr phi ln, mun vy cn gim tit din v tng chiu
di dy. Tuy nhin c bn c hc tt cc nhit in tr kim loi cn c in tr R
vo khong 100 0oC. Thc t cc in tr trn th trng c in tr 0oC l 50, 500,
1000 . Cc nhit in tr c cc tr s ln thng dng o di nhit thp, cho
php thu c nhy tt. s dng trong cng nghip cc nhit in tr thng c v
bc tt, chng c va chm v rung ng.
b. Cm bin nhit in tr silic:
Silic tinh khit hoc n tinh th c h s in tr m tuy nhin khi c kch tp loi n
mt di nhit no h s nhit in tr ca n tr thnh dng do in tch mang
chuyn sang nhit thp hn. cc nhit cao hn s in tch t do tng ln do in
tch t pht v c tnh ca silic chim a s do vy di 200oC in tr sut ca silic c
h s nhit dng nhng trn 200oC h s nhit in tr l m.
2.1.4 Nhit in tr.
c tnh quan trng ca loi in tr ny l c nhy nhit rt cao gp hng chc ln
nhy ca in tr kim loi. Gm 2 loi:
- Nhit in tr c h s nhit in tr dng
- Nhit in tr c h s nhit in tr m
Nhit in tr c lm t hn hp oxit bn dn a tinh th nh MgO,NiO,
Nhit in tr c ch to di dng bt oxit, trn vi nhau theo t l nht nh sau
c nn nh dng v thiu kt nhit 1000 oC. Cc dy ni kim loi c hn ti
2 im trn b mt v c ph bng 1 lp kim loi. Cc nhit in tr c ch to vi
cc hnh dng khc nhau. Cm bin c kch thc nh cho php o nhit ti tng
im, ng thi do nhit dung nh nn thi gian hi p nh.

2.1.5 Cm bin cp nhit ngu.

a. Nguyn l lm vic:
B cm bin cp nhit ngu l 1 mch c t 2 hay nhiu thanh dn in gm 2 u dy
dn A v B. Ch ni gia 2 thanh kim loi 1 v 2 c hn vi nhau. Seebeck chng
minh rng, nu nhit cc mi hn t v t0 khc nhau th trong mch khp kn c 1 dng
in chy qua. Chiu ca dng nhit in ny ph thuc vo nhit tng ng ca mi
hn, nu t > t0 th dng in chy theo hng ngc li. Nu h 1 u th gia 2 cc
xut hin 1 sc in ng nhit.
b. Cc phng php mc cp nhit ngu mu:
Vic ni cc cp nhit ngu mu c th thc hin ty theo trng hp c th nng
cao chnh xc. C 3 cch mc:
- Ni vi sai cc cp nhit ngu
- Mc ni tip n cp nhit ngu
- Ni vi sai bin i
c.Phng php o tn hiu nhit ngu:
S dng milivon k t in, in th k v thit b bin i chun.
2.1.6 o nhit bng Diode v tranzitor.
Linh kin in t nhy cm vi nhit , do c th s dng mt s linh kin bn dn
nh diode hoc tranzitor ni theo kiu diode phn cc thun c dng in khng i, khi
in p gia 2 cc l hm ca nhit .
Di nhit lm vic b hn ch trong khong T=-50oC 150oC. Trong khong ny b
cm bin c n nh cao.
2.1.7 Cm bin quang o nhit .
a. Ha k bc x: Tt c cc vt th nhit ln hn nhit tuyt i u pht ra cc
bc x nhit. Bc x nhit l cc bc x in t to ra t cc cht do ni nng ca chng
(vi bc x hunh quang do kch thch ca ngun ngoi). Cng bc x nhit gim
mnh khi nhit ca vt gim.
Ha k c dng ch yu o nhit t 300 - 6000 oC v cao hn. Ha k s dng
cc bc x nhn thy v hng ngoi. o nhit ca vt bng bc x nhit da trn c s
cc quy lut vi vt en tuyt i.
Khi o nhit bng ha k th chi ca ph nng lng l 1 i lng c bn.
o chi ca vt mang nhit ta dng ha k quang hc v ha k quang in.

b. Ha k quang hc: c s dng trong phng th nghim o nhit ln hn 800

o
C. Nguyn l hot ng l da trn c s so snh chi quang ph ca vt o vi
chi chun bng mt thng xc nh s trng ca chi o vi chi chun.
c. Ha k quang in: l dng c o t ng. Phn t thu nng lng bc x c th l t
bo quang in, in tr quang in hay diode quang in. Nguyn l hot ng cng
da trn c s s ph thuc quang ph chi ca vt vo nhit ca n. Theo nguyn
l hot ng, ha k quang in c phn thnh 2 loi:
+ Dng c nhn nng lng bc x truyn ti phn t thu v lm thay i cc tham s
ca n (dng quang in, in tr)
+ o nng lng bc x bng phng php b.
Ha k quang in c th o c nhit t 800 2000 oC c cp chnh xc 1 v 1,5.
2.1.8 p k nhit.
Nguyn l hot ng ca p k nhit da trn s ph thuc ca p sut lm vic ca cc
cht trong h thng nhit vo nhit . p k nhit c th o nhit t -150 600 oC.
Nhit k c bit (kim loi nng chy) c th o c nhit t 100 1000 oC.
Nhit k p sut gm mt bnh nhit 1, mt ng mao dn 2 v l xo p k 3. Phn t
nhy cm vi nhit (bnh nhit) c nhng chm vo i tng o, cht mang nhit
trong bnh cha nhit t ti nhit ca mi trng. Khi nhit ca cht trong bnh
thay i, truyn qua ng mao dn ti l xo ca p k lm quay kim ch th ca nhit k
2.1.9 Cm bin siu m nhit .
Trong mt s mi trng kh o nhit nh trong khu vc nhit thp, vng c
mc bc x cao trong l phn ng ht nhn hoc trong khu vc hon ton kn, khng tin
b tr b cm bin ta c th dng phng php m thanh o nhit .
Nguyn l hot ng ca b cm bin siu m nhit da trn quan h gia nhit
v mi trng truyn m. Cu to ca b cm bin m nhit gm 3 b phn: my pht
siu m, my thu siu m v ng knh cha kh kh.

2.2 Cm bin v tr v di chuyn

2.2.1 Khi nim chung
C 2 phng php c bn xc nh v tr v di chuyn:
- Phng php 1: B cm bin cung cp tn hiu l hm ph thuc vo v tr ca mt
trong cc phn t cm bin, ng thi phn t ny c lin quan n vt di ng cn xc
nh di chuyn.

- Phng php 2: ng vi 1 dch chuyn c bn b cm bin s pht ra 1 xung. Vic xc

nh v tr v dch chuyn s tin hnh bng cch m s sung pht ra.
2.2.2 o di chuyn nh bng phng php sng n hi
a. Pht sng n hi bng tc ng ca tia laser ln i phng:
Cc sng n hi cn gi l sng m hoc siu m l cc sng c hc chuyn dch
trong vt cht. trong vt rn ng hng v v hn c th truyn hai sng: sng dc v
sng ngang. Tc truyn sng dc lun ln hn tc truyn sng ngang. Cc tc
ny khng ph thuc vo phng truyn v vo khong vi nghn mt trong mt giy.
Ty theo mt cng sut, s va p ca xung nh sng ln mt t do ca vt rn m
to nn cc sng n hi c c ch khc nhau theo hai loi:
o Loi sng lm thay i trng thi b mt (hin tng ct)
o Loi sng khng lm thay i trng thi b mt (p sut bc x hiu ng nhiu
n hi)
Khi mt cng sut nh sng khng to nn s bay hi vt liu, hiu ng dn n cc
b do s pht sng l ch yu ( ch nhit n hi) so vi p sut bc x. s dn n
nhi gy ra cc lc lng song song vi mt t do.
Ba ch pht sng n hi do laser to nn.
1. Ch n hi nhit
Khi tia bc x c cng nh sng trn mt kim loi nh hn ngng ct
trng in t cm ng mt dng in dn ln cn b mt. mt phn nng
lng ti b hp thu do hiu ng Joule v bin i thnh nhit cn phn khc b
phn x. v hiu ng mn ca cc in t dn hin tng ny c tp trung l
gn b mt kim loi trong mt lp mng (hiu ng mt ngoi). Laser cng
yu ng vai tr ngun nhit v gy ra bin dng c hc. ngun n hi nhit
khng to nn sng dc nu ngun nm trong vt rn. khi c b mt l ngun
gc bin i thnh sng ngang. S phi hp ca cc chuyn dch dc v ngang
to nn sng Rayleigh lan truyn trn b mt cht rn.
2. M hnh mt chiu
M hnh mt chiu l m hnh n gin, b qua khuch tn nhit trong khong
thi gian rt ngn (t 10 n 100ns).
M hnh mt chiu ch ng khi chiu ngang ca ngun ln hn bc sng m.
Trong thc t cho thi gn xung laser t 30 n 50ns, kch thc ngang ca
ngun c mm, ngha l kch thc chm tia A 1 cm2 , mt cng sut tr
nn qu nh bin ln.
3. M hnh ngun im

S bc x ca mt ngun n hi nhit c kch thc ty c tnh ton t

ngun im
b. Ch ct:
Khi mt cng sut nh sng hp th I (W/m2) ln tia laser gy nng chy ri lm
bay hi mt lng vt cht. ng dng cng nghip ca ch ny rt ph bin.
Ch ct xut hin bt u t ngng
/

I>

Ph thuc vo nhit bay hi Tv v nhit ban u Ti ca vt liu.

c. Tng hiu qu:
Trong lnh vc kim tra khng ph hng mu ch n hi nhit trnh c h hng
b mt mu. bin di chuyn c nh dn ti pht hin quang hc kh khn. C th tng
hiu qu pht nu s dng mt li ngun di ng phn b cng sut trn b mt rng.
s c mt mt mng mng hp th hoc mt lp trong sut trn b mt vt liu cng lm
thay i loi ngun n hi nhit theo chiu hng c li.
d. Mng li ngun:
Nguyn l ca li cm bin (phased array) c dng trong thit b y t c th dng
cho laser.
i vi pht hin khuyt tt khng tip xc c, k thut ny c hai u im :
o nhy c ci thin (> 20dB) theo t s tn hiu nhiu
o Hng chm tia m c th c iu khin bng cch thay i tr 1, 2
o qut nhanh mu cn kim tra.
nh hng ca mng mng: S c mt ca mt mng mng (v d lp du) lm tng
hp th tia sng, lm nhit mng tng ln, s bay hi to nn vic truyn mt phn
di chuyn v lc php tuyn trong ch ct. Phn ng ny c bit c li i vi vic
pht sng dc.
2.2.3 Pht hin di chuyn c hc bng phng php quang n hi
Thit b ny khng nhy bng cm bin p in nhng c u im c bn l xem xt
cc b. khng c tip xc c hc v c di thng rt rng.
Tng tc ca mt chm tia sng ng knh d vi mt sng m bc sng lm thay
i :
o Hng chm tia nu d < , tia sng b lch do sng b mt.
o Cng chm tia nu d > , chm tia sng nhiu bc sng b khc x bng
mt li pha phi hp vi sng n hi.

o Pha chm tia do s thay i ng tia sng do s di chuyn ca b mt theo

php tuyn.
o Tn s chm tia do hiu ng Doppler.
Cc cm bin di chuyn c hc bng quang n hi gm hai loi :
o Cm bin khng giao thoa, khai thc s lch hay khc x tia sng,
o Cm bin giao thoa khai thc iu bin pha hay iu bin tn s ca sng nh
sng.
a. Phng php khng giao thoa:
Phng php ny c s dng xem xt sng to nn sng b mt nh sng
Rayleigh. Cc sng ny c qut nhanh trn b mt.
- S lch tia: Hnh v minh ha nguyn l ca phng php ny. Tia sng bc sng
phn x trn b mt b dao ng khi sng b mt qua. Chm tia c che bng mt
khun cng dng quang in c iu bin theo tn s sng (trong thc t l b
cm bin quang)
K thut ny rt n gin v hiu qu c s dng rng ri quan st trng m b
mt nhng c nhc im l cn b mt trng thi tt.
Thit b Slam ( scanning laser Acoustic Microscope) c nguyn l c trnh by trn
hnh v, chi tit cn xem xt c nhng trong bnh nc trit tm i vi tia siu m.
Tia sng qut trn mt nhn v c kim loi ha mt tm thy tinh hu c v to nn
hnh nh sng m c truyn qua mu.
- S khc x: K thut ny c s dng ch xc lp, phn b khng gian ca tia
sng n hi b mt.
b. Cc phng php nhiu x:
- Cm bin ng dao ng:Hnh 5.18a l s nhiu x k michelson trong tia laser
cng sut PL c chia thnh hai thnh phn bng nhau c phn x vo i tng ( tia
S) v trn gng (tia R) v c trn ln vo photodiot. Mt b cch ly ngn phn chia
tr li ngun thm nhp vo hc cng hng ca laser v dn n mt n nh. Cng
dng quang in ph thuc vo hnh sin vo bc sng ^, vo hiu LS.
V tr ca gng chun c iu chnh sao cho duy tr im lm vic vung pha trong
v tr ny khng ph thuc vo cc bin thin ngu nhin ca qung ng quang.
- Cm bin ngoi sai:Trong nhiu x k ngoi sai tn s ca mt hoc hai tia lch nhau
- Cu trc quang compact: Cu trc ca nhiu x k michelson c thay i, trong
b phn chia cc tia c thay bng b iu khin m quang c nhiu nhc im. cc tia
cm bin v chun khng vung gc.
Thu knh tiu th tia cm bin trn i tng ci thin phn gii khng gian lm
tng s lng nh sng thu thp trong trng hp mt khuch tn v lm b cm bin t

nhy vi mu nghing khi di chuyn. s lch so vi trc ca hai khi lm kh tn hiu

nhiu do s lch ca cc tia S v R to nn trn mt phn cch ca b phn chia B. iu
chnh b cm bin ny nhanh bi v b iu bin ch cho tia cm bin ct qua mt ln v
hai tia song song hoc vung gc. V b phn quang lm vic chc chn nn n nh.
2.2.4.Nhiu x k Doppler
Trong cc nhiu x k miu t trn, sng phn x c th b thay i, xo trn vi 1
sng chun. Trng hp mt khuch tn cc sng ny ch c th thu thp nh sng lin
kt cng pha, v hnh hc n ko di v hn. khc phc nhc im ny ch cn dng
1 sng n b mt v c th o c di chuyn. Thng tin v di chuyn l do phch gia
mt phn ca sng ny v phn sng khc c thi gian tr .
Phng php quang o di chuyn c ca b mt c phn di 10-6 mm/
u im l khng i hi tip xc c hc v c di thng rt rng v khng lm nhiu
lon vic truyn sng n hi.
2.2.5 Cm bin cp si quang o v tr v di chuyn
Cc cm bin iu bin n gin v r tin c p dng t nhng nm 60 o v
tr, khong cch v di chuyn.
Cm bin gm khong 900 si quang ghp trong cng mt si cp km thm mt si
kim loi gia m bo cng mong mun. ng knh trong 2,2mm , ng knh
ngoi 3,2 mm. c hai phng n : cm bin hai si quang v mt si nh sng ti v tr
v qua cng mt cp.
Tia sng ti sau khi p vo mc tiu s tr v si quang th hai
Khong cch gia u si quang v mc tiu l thng s chnh ca h thng o. Nu
khong cch qu b nh sng phn x trc tip v hu nh khng nhn c nh sng tr
v. ngc li nu khong cch qu ln v s phn k ca mt phn x cng khng nhn
c tia tr v, do vy cng c mt khong cch ti u thu c gi tr p ng cc
i. cc si quang pht v nhn c th c phn b ty , phn b trong mt na vng
trn hoc ng tm. ng vi cc cch b tr ny c th nhn c cc ng cong p
ng khc nhau.
2.2.6 Cm bin tip cn
Cm bin tip cn c s dng pht hin s c mt hoc khng c mt ca i
tng bng k thut cm bin khng c tip xc c hc. cc cng tc hnh trnh i hi
s tip xc ca i tng s khng c cp y.
Cc cm bin tip cn s dng nguyn l thay i in cm hay in dung ca phn t
mch in khi c mt hoc khng c mt i tng c cu trc tng i n gin,

khng i hi tip xc c hc nhng tm hot ng hn ch vi khong cch ti a

100mm. cc k thut tip cn da trn nguyn l v sng v quang hc c tm hot ng
ln v s dng rng ri trong thc t.
a. Cm bin tip cn in cm:Mt b cm bin in cm gm c bn khi chnh
o Cun dy v li ferit
o Mch dao ng
o Mch pht hin
o Mch u ra
Mch dao ng pht dao in t tn s radio. T trng bin thin tp trung t li st
s mc vng vi i tng kim loi t i din vi n. Khi i tng li gn s c dng
in foucault cm ng trn mt i tng to nn mt ti lm gim bin tn hiu dao
ng. b pht in s pht hin s thay i trng thi bin mch dao ng (hnh 5.33).
mch b pht in s v tr ON pht hin tn hiu lm mch ra v tr ON. Khi mc tiu
ri khi trng ca b cm bin bin mch dao ng tng ln trn gi tr ngng v
b pht hin tr v v tr OFF l v tr bnh thng.
Nhng yu t sau y nh hng n tn cm bin :
o Kch thc v hnh dng li, cun dy, vt liu li.
o Vt liu v kch thc i tng.
o iu kin in t xung quanh.
o Nhit mi trng.
b. Cm bin tip cn in dung:
Trong cm bin tip cn in dung s c mt ca i tng lm thay i in dung C
ca cc bn cc. cm bin tip cn i dung cng gm c bn b phn chnh l:
1. Cm bin (cc bn cc cch in)
2. Mch dao ng
3. B pht hin
4. Mch u ra
Tuy nhin cm bin in dung khng i hi i tng l kim loi. i tng pht hin
c th l cht lng, vt liu phi kim loi : thy tinh, nha. tc chuyn mch tng i
nhanh, c th pht hin cc i tng kch thc nh, phm vi cm nhn ln.
Hn ch ch yu ca cm bin dung l chu nh hng ca m v bi. cm bin tip
cn in dung c vng cm nhn ln hn vng cm nhn ca cm bin in cm.
c th b nh hng ca mi trng v i tng cc cm bin tip cn in dung
thng c mt chit p iu chnh.
c. Mt s ng dng ca cm bin tip cn:

2.2.7 Cm bin tip cn quang hc

Cc cm bin tip cn theo phng php quang hc s dng ngun sng v cm bin
quang. i tng cn pht hin s ct chm tia sng lm cm bin tc ng.
a. Cch b tr cm bin v ngun pht:

- Cm bin t i din vi ngun pht:

u im:
o C ly cm nhn xa.
o C kh nng thu c tn hiu mnh.
o T s tng phn sng/ti ln nht
o i tng pht hin c th lp li.
Hn ch ca cch b tr ny l :
o i hi dy ni qua vng pht hin gia ngun sng v cm bin.
o Kh chnh thng hng gia ngun sng v cm bin.
o Nu i tng c kch thc nh hn ng knh hiu dng ca chm tia cn
c thu knh thu hp chm tia.
- Cm bin t cng pha vi ngun pht quang: nh sng p vo mt phn x tr v
cm bin. v hnh trnh ca tia sng theo c hai chiu i v v nn c ly cm nhn thp
hn so vi phng php t i din, nhng khng cn dy ni qua khu vc cm nhn.
hn ch chnh ca cch b tr ny l ngun sng khc chiu vo mt phn x c th gy
tc ng sai.
- Pht hin i tng nh tia phn x s dng b lc phn cc: t b lc phn cc gia
ngun sng v gng phn x sao cho cm bin ch nhn c tia tr v t gng phn
x. cch b tr ny khc phc c s tc ng sai do cc ngun sng ngoi chiu vo
gng phn x v b cm bin ch cm nhn tia sng b phn cc.
Phng php b tr ny c u im sau y:
o Khng b tc ng sai.
o T s tng phn sng/ti ln.

o D b tr v cn chnh. Ch cn ni dy mt pha.
Tuy nhin c mt s hn ch:
o C ly tc ng gim do tn tht ca b lc tn hiu
o Cm bin tia phn x phn cc khng lm vic nu vt phn chin c thy tinh,
do nu mc tiu bc bng cht do trong c th tc ng sai.
- Pht hin gn nh nh sng phn chiu khuch tn: Ngun sng v b cm bin t
cng pha nhng y i tng ng vai tr gng phn chiu. trong trng hp ny
i tng t kh gn ngun sng.
u im ca phng php ny l :
o Lp t v chnh nh n gin
o Ch cn ni dy mt pha vng cm nhn
o C th pht hin vi phn chiu khc nhau.
Nhng hn ch l:
o Vng cm nhn b hn ch.
o tng phn sng/ ti v khong cch cm nhn ph thuc vo phn
chiu ca b mt i tng
- Chnh nh h thng cm bin nh sng: Cp quang dng trong mch cm bin v iu
khin thng c hai loi :
o Loi khng phn nhnh mt u ni vi ngun pht quang hoc my thu, mt
u ni vi b cm bin.
o Loi phn nhnh mt u ni vi ngun pht quang u phn nhnh kia ni
vi my thu cn u kia ni vi b cm bin. loi ny thng dng cho cm
bin tip cn v c th b tr thm thu knh tiu th
Chnh nh v tr gia ngun pht v cm bin c tin hnh nh sau:
o i vi cch b tr i din : c th tin hnh xoay ngun pht theo cc mt
nm ngang v thng ng.
o i vi cch b tr mt pha. Tin hnh nh v tr gng phn x theo cc
chiu phi tri, ln xung.
o i vi cch b tr tip cn : tin hnh chnh nh ngun thu v pht nh cch
b tr i din, ngha l quay phi tri hoc ln xung.
2.2.8 Cm bin di chuyn s dng tia laser
a. Nguyn l:
Cm bin di chuyn laser gm phn t pht quang v phn t cm nhn. laser bn dn
c t tiu trn mc tiu nh cc thu knh. Mc tiu phn chiu tia laser v c tiu t
trn b cm bin vt sng. Vt sng s chuyn ng khi mc tiu chuyn ng, do c

th pht hin s chuyn ng ca cc chi tit bng cch theo di s chuyn ng ca cc

vt sng.
b. Mt s ng dng ca cm bin laser
2.2.9 Cm bin vi sng
Cc cm bin vi sng l thit b in t s dng sng cc ngn o di chuyn tc ,
chiu chiu ng, khong cch, pht hin.
a. Phn loi:
K thut cm bin vi sng c th c chia thnh nm loi :
- Cm bin chuyn ng pht hin i tng chuyn ng i vo vng bo v.
- Cm bin tc : o tc ca i tng, v d my o tc oto ca cnh st.
- Pht hin hng chuyn ng ca i tng (chy tin, li ca my quay).
- Cm bin tip cn : pht hin s hin din ca i tng.
- Cm bin khong cch : o khong cch t cm bin n i tng, c th p dng o
mc du trong bnh
b. Cc c im ca cm bin vi sng:
- Khng tip xc v c kh: do khng tip xc c kh vi i tng cm bin vi sng c
th lm vic trong cc mi trng c hi, d chy n, c th thm nhp vo b mt
khng kim loi nh si thy tinh, pht hin mc, pht hin i tng bng cctong
- Bn vng : cm bin vi sng khng c b phn chuyn ng, c th c bc kn.
- Vng tc ng rng : cm bin vi sng c th pht hin cc i tng xa t 25 n
45.000 mm v ln hn, ph thuc vo kch thc ca i tng, cng sut ngun v
anten.
- Kch thc nh : mc d c kch thc ln hn cm bin tip cn in cm, in dung
nhng khi s dng tn s cao v mch in t cng ngh cao c th gim kch thc v
gi thnh.
- Kch thc mc tiu : cm bin vi sng ph hp vi cc mc tiu pht hin k c mc
tiu nh nh mt ht ct.
- Mi trng lm vic : c th lm vic trong iu kin mi trng kh khn t -550C ti
+1250C, mi trng bi bn, nhim, c hi.
c. Nguyn l hot ng:
Cm bin vi sng gm c ba phn chnh : ngun, anten t tiu, my thu v x l tn
hiu. Khi tia phn x li my thu ddiot trn s phi hp vi mt phn tn hiu pht. Nu
mc tiu chuyn ng pha ca hai tn hiu pht v tr v khc nhau do hiu ng doppler.
Tn hiu n my thu c V n mV cn c khuch i. ngoi khuch i, so snh c

thm mch rowle u ra ph hp vi ng dng. hnh 5.53 trnh by cu trc moodun

cm bin vi sng.
2.2.10 B cm bin pht hin h hng trong cc b phn chuyn ng ca my
2.2.11 Cm bin in t
Cm bin in t l nhm cc b cm bin lm vic da trn nguyn l in t. i
lng khng in cn o lm thay i in cm, h cm ca cm bin hay t thng, t
thm ca li thp.
a. Cm bin in cm v h cm:
- Cm bin in cm l mt cun dy qun trn li thp c khe h khng kh (mch t
h hnh 5.55). thng s ca n thay i di tc ng ca i lng vo XV.
Di tc ng ca i lng o XV lm cho phn ng 3 di chuyn, khe h khng kh
thay i t tr ca li thp do in cm v tng tr ca cm bin cng thay i theo
hnh 5.55a. in cm c th thay i do tit din khe h khng kh thay i (hnh 5.55b)
hoc thay i do tn hao dng in xoy di tc ng ca i lng o XV (hnh 5.55c)
tng nhy cm bin v tng on c tnh tuyn tnh lm vic ngi ta thng
dng cm bin in cm mc theo kiu vi sai.
- Cm bin h cm (chuyn i bin p): Cu to ca cm bin h cm ging nh cm
bin in cm, ch khc ch c thm mt cun dy o, khi chiu di hoc tit din khe
h khng kh thay i lm cho t thng ca mch t thay i v sut hin sc in ng
e. i vi cm bin in cm v h cm, trn cc on st t ca mch t c tn hao tr
v dng xoy lm thay i t tr v do tng tr cng b thay i. tn hiu ra s thay
i ca bin v pha. Tuy vt s thay i v pha c th c khc phc nu cm bin
c cung cp bng in p n nh.
c tnh ng ca cc cm bin in cm v h cm c xc nh ch yu h thng
c ca phn ng.
Tn s lm vic rt rng ty theo cu trc ca phn ng c th o c cc i lng
bin thin t 500 Hz vi kHz.
- Mch o: Thng ngi ta dng mch cu khng cn bng vi ngun cung cp xoay
chiu c mt nhnh hot ng (cm bin n) hoc hai nhnh hot ng (cm bin vi
sai).
- Sai s v ng dng . cc cm bi in cm lm vic v mch cu khng cn bng,
ngun cung cp cho mch cu cn phi n nh. Nu in p ngi cung cp thay i 1%
c th gy sai s ti 1%.

b. Cm bin cm ng:
Cm bin cm ng gm c nam chm vnh cu hoc nam chm in (trong mt s
trng hp) v cun dy.
2.2.12 Cm bin in dung
a. Tnh cht chung v cc dng c bn ca cm bin in dung:
Nguyn l lm vic ca cc cm bin in dung da trn s tc ng tng h gia hai
in cc, to thnh mt t in. in dung ca n c thay i di tc ng ca i
lng vo.
Cm bin in dung c th chia thnh hai nhm chnh, cm bin my pht v cm bin
thng s.
i lng ra ca cc cm bin in dung my pht thng l in p ra ca my pht.
i lng vo l s di chuyn thng, di chuyn gc ca bn in cc ng ca cm bin.
loi ny thng dng o cc i lng c hc. i lng vo ca cc cm bin in dung
thng s l s di chuyn, i lng ra l s thay i in dung C ca cm bin.
b.Mch o: Thng thng mch o dng vi cm bin in dung l cc mch cu khng
cn bng cung cp bng dng xoay chiu. mch o cn phi tha mn cc yu cu sau :
tng tr u vo tc l tng tr ca ng cho cn phi tht ln, cc dy dn c bc
kim trnh nh hng ca in trng ngoi khng c mc in tr song song vi
cm bin lm gim tng tr ca n v chng m tt. tn s ngun cung cp cn phi cao,
tng cng sut ra ca cm bin c th ti hng chc MHz.
o i lng bin thin cng vi mch cu ngi ra cn dng mch o dng mt
chiu.
c.Phm vi ng dng:
o Loi c khe h khng kh thay i c dng o nhng di chuyn nh (t vi
micromet n vi milimet).
o Nu dng cm bin in dung trong mch cung cp bng in p mt chiu c
th o c tc , dch chuyn bin thin v cc i lng khc c th
bin i thnh di chuyn (lc, p sut, gia tc).
o Loi c in tch bn cc thay i dng o cc di chuyn ln (hn 1 cm) v di
chuyn gc (n 2700C).
o Cm bin c hng s in mi thay i dng o m (vi, cht do) o mc
nc, chiu dy ca cc vt cch in, o lc.
o Cm bin c tn hao in mi thay i (mch o dng o gc tn tao tg ca
t trong mch xoay chiu) dng xc nh cc tham s vt l ca vt liu no
t gia hai bn cc
o

2.3 Cm bin vn tc v gia tc

2.3.1 o tc quay ca ng c.
o tc roto ta c th s dng cc phng php sau:
- S dng b cm bin quang tc vi a m ha
- S dng my o gc tuyt i
- Xc nh tc gin tip qua php o dng in v in p stato m khng cn
dng b cm bin tc
a. S dng b cm bin quang tc vi a m ha (Incremetal Encoder).
a m ha gn trn trc ng c gm cc l. a t gia ngun tia hng ngoi do
diode pht quang LED cung cp v u thu l tranzitor quang. Khi a quang tranzitor
quang s ch chuyn mch nu v tr LED, l, tranzitor quang thng hng. Khi
tranzitor quang a in p trn R2 v mc thp. Khi a ngn nh sng th tranzito quang
b kha, kt qu l in p trn R2 v mc cao. Khi a m ha quay trn u ra R2 m
c 8 xung hnh ch nht. Tn s xung ph thuc vo tc a.
xc nh chiu quay cn s dng b cm bin kp gm c 2 LED v 2 tranzito
quang, 2 a m ha. Khi a quay ta nhn c 2 xung ch nht lch nhay 90o. Chiu
quay c xc nh bng v tr tng i ca 2 tn hiu ra. Tc bng 0 tc l xung tip
theo khng bao gi ti.
b. S dng my o gc tuyt i (Resolver).
Cu to gm 2 phn: + Phn ng: gn lin vi trc quay ng c cha cun s cp
c kch thch bng sng mang tn s 2-10 kHz qua my bin p quay.
+ Phn tnh: c 2 dy qun th cp (cun sin v cun cos) t
o
lch nhau 90
u ra ca 2 cun dy th cp ta thu c 2 tn hiu iu bin UU0sin tsin v
UU0sin tcos . ng bao ca bin knh tn hiu ra cha thng tin v v tr tuyt i
(gc ) ca roto my o v tr tuyt i ca roto ng c.
C 2 cch thu nhp thng tin v . Cch th 1 l hiu chnh sa sai gc thu c trn
c s so snh gc v c ci t sn trong 1 s vi mch sn c. Cc vi mch ny cho tn
hiu gc dng s vi phn gii 10 16 bit/1 vng v 1 tn hiu tc quay dng
tng t. Cch th 2 c cht lng cao hn l dng 2 b i tng t - s ly mu
trc tip t nh tn hiu iu ch.
My o gc tuyt i t nhy vi nhit v t b nhim in t, tuy vy chng khng
t c phn gii cao nh nh b cm bin quang tc vi tn hiu hnh sin.

c. Phng php khng s dng b cm bin tc .

Cc phng php s dng my pht tc hoc b cm bin tc c mt s nhc
im l lm cho h thng truyn ng khng ng nht do phi lp thm vo trc ng
c cc cm bin, v nhiu do truyn dn tn hiu t b cm bin n t iu khin c th
nh hng ti h thng.
khc phc nhc im trn, ta dng h thng truyn ng khng s dng b cm
bin. Trong h thng ny tc ng c c c lng t in p v dng in stato v
s dng lm tn hiu phn hi ca vng iu chnh tc .
2.3.2 Tc k si quang
L dng c o tc ca cc i tng bng cch truyn dn (i vi dng cht lng)
hoc bng phn x (i vi vt rn chuyn ng di u laser). Di o rt rng t 10-6
105 m/s. Php o khng lm thay chuyn ng ca h.
Nguyn l tc k si quang l chiu sng i tng cn o tc bng 1 li cc
vn sng. nh sng khuch tn t i tng tun theo hiu ng Doppler ngha l tn s
ca n khc vi tn s nh sng ngun. lch tn s ny ph thuc vo tc ca vt.
2.3.3 Gia tc k si quang
Gia tc k c s dng rng ri theo di chn ng ca cc my quay. N cho bit
tnh trng cn bng km v tm cc bin php khc phc.
Gia tc k s dng giao thoa si quang c nhy cao nht. Gia tc cn o tc ng
vo 1 h thng gm 1 khi lng khong 1g, 1 phn t treo n hi gia 2 si quang di
khong 1 cm to nn 2 nhnh ca mt giao thoa k Michelson hoc Mach-Zehndes. Nu
gia tc t trn trc cc si lc qun tnh dn n s sai khc bc gia 2 si.
Mt phng n khc l gia tc k 2 cun dy si quang phn cch bng 1 ngn cha
y cht lng. Mi cun dy l 1 nhnh ca giao thoa k. Khi ngn c gia tc dc theo
trc i xng ca n, p sut vi sai sinh ra trong cht lng c truyn vo cc si quang
v to nn cc bc sng khc nhau, c th khai thc o c.
2.3.4 i hng k si quang v con quay hi chuyn
a. i hng k si quang:
i hng k si quang n mode khai thc giao thoa k Sagnac. Vi mt si quang
chiu di L b tr thnh 1 vng bn knh R quay vi vn tc hiu s pha gia 2 chm
tia c chiu ngc nhau xut pht t giao thoa k l:
= 4 RL. /oC
o: bc sng tia laser

C: vn tc nh sng
Ni chung tc quay m i hng k laser t 0,1 400o/h. Di pha cn o t 10-7-10
rad. C th dng k thut pht hin ngoi sai hoc 1 tn s.
Cc nhiu lon tc ng nh nhau i vi 2 ng tia sng ngc chiu nhau ca giao
thao k Sagnac. Ch c s quay to nn s lch pha ny. Phng n cu trc thun nghch
gm 1 si quang n mode v 1 b lc phn cc I/O ca giao thoa k. H thng cho php
khc phc s khng thun nghch ca b phn cch v loi tr c hin tng lng
chit tn ti trong si quang. iu chnh bc sng ngun cho php m bo tnh n
nh.
b. i hng k con quay hi chuyn:
i hng k hot ng da theo nguyn l quay hai-ba bc t do ca con quay hi
chuyn. Con quay hi chuyn c lp trn mt khung ng v quay quang trc YY vi
tc ln (~104 vg/ph) nh 1 ng c. Tc quay cn o theo trc ZZ vung gc
vi YY lm xut hin 1 ngu lc Cg t l vi theo hng XX v c xu hng lm cho
khung ng ca con quay hi chuyn quay theo. Ngu lc Cg c cn bng bi ngu
lc n hi Cr do 2 l xo gy nn v c gi tr t l vi gc ca khung.
trng thi cn bng: Cg = Cr
Gc quay ca khung ng ca con quay hi chuyn t l vi vn tc gc cn o . Gc
c m ha thnh tn hiu in.
Di o: 7 360o/s
sai lch: < 1,5% di o
2.3.5 Cm bin tc quay thch anh
Cm bin tc thch anh (Quartz Rate Sensor)c s dng c kt qu trong thc t
v c kch thc nh, tiu th cng sut b. N c kch thc c ming thch anh trong
ng h thch anh gm 2 phn phn quay v cm nhn.
Phn quay tc ng chnh xc nh 1 chc quay c kch thc nh. Mi chc c khi
lng v tc hng knh bin thin hnh sim. Khi quay n nh moment ng ca 2
chc bng 0 v khng c nng lng truyn t cc chc vo . Khi chc quay quanh trc
i xng h thng chu nh hng bi lc Coriolis.
Phn cm bin cm nhn lc t l vi tc quay, do khi cc chc cm bin khng
chuyn ng QRS pht hin gc quay bng 0, sau in p ny s c khuch i v
x l.
2.3.6 Gia tc k rung, in dung, p tr, p in
a. Gia tc k rung:

Hin tng rung c hc ca mt vt c mt bc t do quanh v tr chun c th c s

dng o gia tc. Khi ch to v lp t ng, gia tc k phi c kh nng nhn dng
ng tn s cng hng. S thay i tn s rung u ra ca cm bin s phn nh chnh
xc trong c tnh tn ca gia tc k.
- nhy l t s gia in p ra vi i lng c a vo.
- p ng tn s l tn hiu ra trong khong tn s m b cm bin c th hot ng c
- Tn s cng hng trong b cm bin khng suy gim l im cc i
- u ra c kch thc bng 0 c quy nh vi v tr ca b cm bin.
- tuyn tnh ca gia tc k c quy nh trong di ng ca cc tn hiu vo
b. Gia tc k in dung:
Gm 2 b phn: Phn tnh gn vi v hp l 1 bn cc cn bn kia gn vi vt rung.
Cc bn cc ny to nn 1 t in c in dung ph thuc vo gia tc. Di chuyn cc i
m gia tc k in dung c th o c l 20 m. Do vy di chuyn nh i hi phi b
nh hng ca s tri v nhiu.
c. Gia tc k p tr:
Phn t cm nhn l 1 u ng sut, o ng sut trong l xo vt rung. ng sut lin
h vi ln v tc chuyn ng ca vt, do cng ph thuc vo gia tc.
Di o: 0 13 kHz v chu c rung ng n 10000g
d. Gia tc k p in:
Vt rung c t trn phn t p in. Phn t p in sinh ra in tch t l vi
chuyn ng ca vt rung. Cm bin v vt c gn trn gi cng v ton b c
t trong hp kn.
- Gia tc k p in kiu nn:
- Gia tc k p in kiu un cong:

2.4 Cm bin bin dng

2.4.1Khi nim chung v cm bin bin dng.
Bin dng : l t s gia bin thin kch thc l v kch thc ban u l :

=
Bin dng gi l n hi khi ng lc mt i th bin dng cng mt i.
Gii hn n hi : l ng dng ti a khng gy nn bin dng c nh c gi tr ln
hn 0,2%. ln ca gii hn n hi c o bng kglc/mm2.
o Thp t 20 n 80
o ng t 3 n 12
o Ch t 0,4 n 1

Theo nh lut hooke trong vng gii hn n hi ng lc t l vi bin dng do n gy

nn.
Modun Young Y xc nh bin dng theo phng ca ng lc
=

trong ng lc =

n v o modun Young l kglc/mm2. Sau y l modun Young ca mt s vt liu :

o Thp t 18.000 n 29.000
o ng t 9900 n 140000
o Ch t 500 n 1400
H s poisson : xc nh bin dng theo phng vung gc vi lc: =
trong vng n hi = 0,3.
2.4.2. Nguyn l ca cm bin bin dng
u o bin dng loi in tr thng l si dy kim loi mnh c gn trc tip ln
b mt cu trc cn kho st. S bin dng ca cu trc ko theo bin dng ca cm bin
v lm cho in tr ca n b thay i.
2.4.3 Cc loi u o kim loi
u o dy kim loi c ng knh rt mnh d 20m, gi 0,1 mm (giy) hoc
0,03mm (epoxy). Cc u o dng li mng thng c ch to bng phng php
mch in gim kch thc v cho php o tng im.
Cc thng s ch yu ca u o kim loi l :
o in tr sut : in tr sut ca vt liu phi ln trnh dy kim loi qu
di lm tng kch thc ca b cm bin nhng tit din khng nn qu nh
dng in o ln nhm tng nhy.
o H s u o K thng t 2 3.
o nh hng ca lc n tuyn tnh : trong gii hn n hi h s u o
khng i do quan h tuyn tnh gia in tr v bin dng
o nh hng ca nhit : ni chung K t chu nh hng ca nhit .
o nhy ngang
2.4.4 Cm bin p tr silic
a. Nguyn l: S thay i in tr ca vt rn di tc dng ca ng sut, i vi Si c
cho bi phng trnh:

=
+

R: in tr
l: chiu di

: in tr sut
: chiu dy

: chiu rng ca cm bin silic

b. Cu to:
Cm bin p tr c ch to t n tinh th Si tinh khit v th hin tnh i xng, do
vy cn quy nh cc phng x, y v mt phng ca cm bin
c. Cc thng s c bn ca u o silic:
- in tr : khi tng nng pha tp, mt ht dn trong vt liu tng ln v in tr
sut ca chng gim i. Biu thc chung ca in tr sut c dng :
=

trong q l gi tr tuyt i ca in tch in t hoc l (1,6.10-19C), n v p l mt

in t v l trng t do, n v p l linh ng ca chng.
- nh hng ca nhit : khi nhit nh hn 1200c h s nhit ca n c gi tr
dng v gim dn khi pha tp tng ln. nhit cao in tr sut gim khi nhit
tng v h s nhit ca n c gi tr m v khng ph thuc vo pha tp.
- H s u o K : h s u o ph thuc vo pha tp. khi pha tp tng ln, h s
u o gim
2.4.5 u o trong ch ng
a. Tn s s dng ti a:
Tn s lm vic ca u o khng ph thuc vo vt liu ch to tuy vy tn s lm vc
ph thuc vo phng php gn u o v kch thc ca n.
Quan h gia kch thc l ca u o v chiu di bc sng phi tha mn iu kin.
l 0,1
Tn s s dng cc i ca u o c chiu di l l :
fmax =
i vi thp fmax = 60 kHz khi l = 1 cm.
b. Gii hn mi:
Bin dng lp li nhiu ln s dn n lm tng in tr u o. l hiu ng mi,
hiu ng ny cng mnh khi bin bin dng cng ln.
Gii hn mi c xc nh bng chu k bin dng N vi bin cho trc gy nn
bin thin in tr tng ng vi bin dng gi nh bng 10-4.
Vi bin bin dng 2.10-3 gii hn mi ph thuc dng u o v nm trong
khong t 104 (constantan) n 108 ( isoelastic) chu k.
2.4.6 Cm bin dao ng s dng hiu ng doppler

Mt si quang 1mm a nh sng t laser He-Ne vo a cnh, nh sng phn x t

cnh, do hiu ng Doppler b lch tn s v c si quang ny truyn v thit b o.
Dng c c th t c chnh xc o tn s dao ng ca cc cnh l 0,12%
2.4.7 Cm bin ghp si quang
S dng 2 si quang n mode, cng chit sut (n1=1,62), ng knh nh (1 m) cng
t trong mt v ng knh ngoi 250 m,n2=1,52, t cnh nhau vi khong cch 2 m.
Ta nhn thy c s lin h v quang gia 2 si. Mt phn nh sng pht trong mt si
c thy trong si kia. Cch ghp ny nhy vi bin dng di v cng chu nh hng
ca nhit .

2.4.8 Hologram (nh ton k) giao thoa

Nguyn l: nh ton k l mt php ghi trn cng mt bn nhy nh sng khc nhau
ca cng mt vt ang chu nin dng. S lch gia hai nh ny to nn giao thoa. Cc
vn giao thoa c trng cho bin dn ny. nh ton k giao thoa c s dng trong
php o bin dng chnh xc nh chong chng my bay trc thng, bung y tn la.

2.4.9 Kim tra trng thi b mt

Khi chiu sng mt b mt bng tia laser ngi quan st thy nhiu ht g gh trn b
mt. Hin tng ny la do cc ht to ra giao thoa gia cc tia ti v tia phn x bi b
mt ny. Ghi hnh nh ca i tng ang chu ng sut hoc dao ng nh ta nhn c

cc vn giao thoa c trng cho vt. Hnh nh ny c th c truyn bng si quang do

kch thc ca n ln hn kch thc ca mi si.
K thut c th tng qut ha, ch cn mt camera CCD ma trn 500 x 500 im xc
nh ton b mt rng ng thi v hu nh tc thi, ln v pha ca mi kiu chn
ng ca cc chi tit phc tp.

2.5 Cm bin lc v ng sut

2.5.1 i cng v cm bin o lc v ng sut
Php o lc l yu cu i vi c hc vt rn, cn i vi c hc cht lng v cht kh
ngi ta chu n p sut. Lc c chu khi tc ng ln mt im cn p sut c
o khi lc phn b trn din rng. Cc b cm bin lc c th phn thnh hai lp : cc b
cm bin nh lng v nh tnh. Cc b cm bin nh lng dng o lc c gi tr
c th hin bng tn hiu in. Cc b cm bin nh tnh l cc thit b c ngng, tn
hiu ra ca n ch ln ca lc vt qua mt ngng nh trc.
Cc phng php cm bin lc c th thc hin bng hai cch :
- Cn bng mt lc cha bit vi mt lc i khng sao cho lc tng cng v
momen tng ca chng bng khng.
- so gia tc ca vt c khi lng bit xc nh lc.
- Cn bng lc cha bit vi mt lc in t
- Bin i lc thnh p sut cht lng v o p sut ny.
- p ng sut to nn khi vt b bin dng n hi v suy ra lc.
2.5.2 Cm bin p in
Hiu ng p in l hin tng xut hin phn cc in hay thay i phn cc in
c trong mt s cht in mi nh thch anh, tuamalin, sunfat liti khi chng b bin
dng di tc dng ca lc.
Cm bin p in gm mt phin p in mng ph ln hai mt ca mt t in v tc
dng mt lc ln hai bn cc th trm hai bn cc xut hin mt in tch tri du.
in p gia hai bn cc t l vi lc tc ng.
Khi c tc ng lc dng hnh sin F = Fmaxsint th in p ra :
. /

nhy ca phc chuyn i :

(
=

)=
=

=
(

Trong : :hng s thi gian ca mch v cm bin

, , , :in tr v in dung thc ca cm bin v mch khuch i

Lnh vc p dng: o lc bin thin (n 10000 N), o p sut 1000ms-2/(100N/mm2)
v gia tc (ti 1000g) trong gii tn t 0,5 100 Khz
u im : cu trc n gin, kch thc nh , tin cy cao, c kh nng o cc i
lng bin thin nhanh
Nhc im : khng o c lc tnh, kh khc
2.5.3 B cm bin t gio
Do tc ng ca t trng mt s vt liu st t thay i tnh cht hnh hc hoc thnh
cht c hc. ay l hiu ng t gio, c ng dng ch to cc b chuyn i siu
m hoc cc phn t st t hot ng ch cng hng c hc. Mi ng lc trong vt
liu cn o lc s lm thay i ng cong t ha v c th nh gi lc tc ng bng
s bin thin ca t thm hoc t d.
Hnh 8.5 Cm bin t gio
S thay i ca t thm di nh hng ca lc lm thay i in cm L ca cun
dy. B bin cm gm mt cun dy c li b bin dng di tc dng ca lc cn o
theo cng thc :

: ng lc cn o, K: h s t l
2.5.4 B cm bin lc da trn vic o di chuyn
Lc c t ln vt trung gian gy nn s thay i kch thc l. S thay i kch
thc c o bng cm bin di chuyn. T s gia tn hiu ra Vm v lc tc dng F
c cho bng biu thc :
=

: h s truyn y cu b cm bin
: mm ca vt trung gian

Vt trung gian thng l l xo, dng o cc lc tng i nh, ty iu kin s dng

c th dng nhiu loi cm bin di chuyn khc nhau d o lc nh :
- in th k in tr
- Cm bin t tr bin thin
- Cm bin t in
2.5.5 B cm bin xc gic

B cm bin xc gic thuc loi chuyn i lc v p sut c bit c chiu dy rt

mng, do vy c th s dng trong nhng ni c lc v p sut to nn gia hai mt ln
cn nhau.

2.5.6 B cm bin ng sut siu m o bin ng trong vt liu

B cm bin ng sut vect ng siu m (Ultrasomic Dynamic Vector Stress Sensor
UDVSS) mi y c s dng o s thay i ng sut ng c nh hng trong vt
liu hay trong cu trc, khi vt liu hay cu trc chu ti trng chu k. Chuyn i nhy
vi lc cng c s dng o ng sut.
UDVSS l thit b xch tay c th xc nh trc tip ng sut trn mu m khng cn
s dng chuyn i gn vi mu.

Cm bin ng sut ng siu m

UDVSS c ng dng rng ri trong vic ch to cu trc tu v tr, kt cu t
th ng sut v nh gi cc thit k.

2.6 Cm bin thng minh

2.6.1 Khi nim v cm bin thng minh
K thut o lng v iu khin t ng hin i ngy nay c nhng tin b vt bc
nh vic s dng k thut vi in t, vi x l (P) v vi iu khin (C). thc hin
c nhng c tnh mi cho dng c o nh : t ng, chn thang o, t ng x l
thng tin o, t ng b sai s v.v.. ngi ta s dng cc b vi x l hay vi iu khin
kt hp vi cc loi cm bin khc nhau to ra mt loi cm bin mi gi l cm bin
thng minh (Intelligent Sensor).
2.6.2 Cu trc ca mt cm bin thng minh

Hnh 17.1 Cu trc mt cm bin thng minh

Cc chng trnh phn mm bo m mi hot ng ca cm bin bao gm:
- Chng trnh thu thp d liu
- Chng trnh bin i v x l thng tin o
- Chng trnh giao din
2.6.3 Cc khu chc nng ca cm bin thng minh
a. Chuyn i chun ha:
Lm nhim v bin i tn hiu in sau cm bin thnh tn hiu chun thng l p t
0 5 V hay 0 10 V hoc dng t 0 20 mA hay 4 20 mA.
Gia cc cm bin v chuyn i A/D ri vo P nht thit phi qua cc CCH sao cho
bt k khong o no ca cc i lng o th cng tng ng vi mt gii hn o ca
CCH. Cc chuyn i chun ha c th phc v ring cho tng cm bin v t trc
MUX hay cho mt nhm cc cm bin ging nhau v loi v khong o t sau MUX.
Nhim v ca CCH l bin i t l. Nu tn hiu vo x nm trong khong t x1 x2
th tn hiu ra f phi l 0 y

CCH

S nguyn l chuyn i chun ha

c tnh ca CCH l :
=

CCH c u ra l tn hiu mt chiu (l dng hay p) c thc hin bi hai bc :

- Bc 1 : Tr i gi tr ban u x = X1, to ra u ra ca CCH gi tr y = 0
- Bc 2 : Thc hin khuch i ( K>1) hay suy gim (K<1).

b. B dn knh MUX:
Nhim v l dn knh, bin tn hiu song song t cc cm bin thnh ni tip a
vo A/D v P. m bo tc ng nhanh ngi ta phi s dng cc kho in t, tc
l thc hin mch i ni khng tip xc.
B i ni c hai ch lm vic :
- Ch chu trnh : cc cm bin s ln lt c a vo A/D theo mt chu
trnh. Tn s lp li ca tn hiu s c la chn ty thuc sai s ca php o
cho trc.
- Ch a ch : b i ni lm vic theo mt chng trnh nh trc.
c. B chuyn i tng t s - A/D
a thng tin o vo P ta cn phi bin i tn hiu tng t thnh s. Thit b
thc hin nhim v l mch chuyn i tn t s A/D
Nguyn l lm vic ca A/D:C 3 phng php khc nhau ch to mt b chuyn
i A/D nh sau :
a. Phng php song song
b. Phng php trng s
c. Phng php s
2.6.4 Cc thut ton x l cho cm bin thng minh
a. T ng khc s
b. X l tuyn tnh ha tng on
c. Gia cng kt qu o
d. Sai s ca kt qu cc php o gin tip
2.6.5 V d v cm bin thng minh
B cm bin p sut vi sai thng minh

Cm bin ST 3000

Chng III: CC C CU CHP HNH

3.2 . Cc ng c bc.
3.2.1. Gii thiu cc loi ng c bc.
- ng c bc thc cht l mt ng c ng b dng bin i cc tn hiu iu
khin di dng cc xung in ri rc k tip nhau thnh cc chuyn ng gc quay hoc
cc chuyn ng ca Roto v c kh nng c nh Roto vo nhng v tr cn thit.
Theo mt phng din khc, c th coi ng c bc l linh kin (hay dng c s m
cc thng tin s ho thit lp s c chuyn thnh chuyn ng quay theo tng
bc. ng c bc s thc thc hin trung thnh cc lnh s ho m my tnh yu
cu.
- STEP c 5 c tnh c bn nh sau:
+ Brushless(khng chi than): STEP l loi ng c khng chi than
+ Load independent(c lp vi ti): ng c bc quay vi tc n nh trong tm
mmen ca ng c.
+ Open loop positioning(iu khin v tr h vng): thng thng chng ta c th m
xung kch ng c xc nh v tr m khng cn phi c cm bin hi tip v tr,
nhng i khi trong nhng ng dng i hi tnh chnh xc cao STEP thng c s
dng kt hp vi cc cm bin v tr nh: encoder, bin tr,.
+ Holding torque(moment gi): STEP c th gi c trc quay ca n, so vi ng c
DC khng hp s th moment gi ca STEP ln hn rt nhiu.
+ Excellent response(p ng tt): STEP p ng tt khi khi ng, dng li v o
chiu quay 1 cch d dng.
3.2.2. Phn loi v cu to.
- C 3 loi ng c bc c bn: + ng c nam chm vnh cu (Permanent Magnet)
+ ng c t tr thay i (Variable Reluctance)
+ ng c lai (Hybrid)

- STEP nam chm vnh cu l ng c c rotor c t ha, trong khi STEP t tr thay
i xoa rotor c s rnh nh, v ng c lai (hybrid) kt hp c hai k thut trn to
thnh.
- Stator ca STEP c nhiu cun dy qun trn n. S sp xp cc cun dy ny to nn
h s th cp, h s ny s phn bit thnh cc loi ng c khc nhau. STEP nam chm
vnh cu v loi STEP lai c th c kt lin kt li vi nhau phn bit thnh 3
chng loi motor: n cc, lng cc, v STEP hai dy song song.
a. STEP t tr thay i:
- Thng thng loi STEP ny c 3 hoc 5 cun dy vi cu to c m t hnh 1.
STEP t tr thay i trong hnh 1 bao gm 3 cun dy c ni chung mt u. Stator
STEP c 6 cc v rotor c 4 rng. Chng ta c th nhn vo hnh th cun dy 1 ang
c cp in, v th rng X v tr cc 1. Sau khi cun 2 c cp in lc t sinh
ra s ht u Y v cc 2, v trong trng hp ny nu cun 3 c cp in th rng Y s
di chuyn v pha cc 3 lc ng c STEP s di chuyn ngc chiu kim ng h.
Nh vy chng ta thy mi bc ng c di chuyn l 30 , v thc hin mt vng
th STEP phi di chuyn 12 bc.

- Trn thc t th ng c STEP t tr thay i c s cc v s rng nhiu hn di

chuyn nhng bc nh hn. STEP loi ny c th t ti 1 / bc.
b. STEP n cc (Unipolar Stepper Motor):

- STEP loi n cc bao gm 2 cun dy, mi cun c ni ra ngoi gia cun, v

vy thng thng trn thc t y l loi ng c 5 hoc 6 dy ra, STEP loi ny c
iu khin bng cch cho u dy chung ni ln ngun v tng u dy cn li ln lt
c ni mass.
- STEP loi n cc hot ng ging nh tt c ng c STEP nam chm vnh cu v
STEP lai, ngha l n hot ng trn nguyn tc dng t thng ngn nht gia cc stator
v rng rotor. STEP hot ng da trn lc ht gia cc bc v cc nam ca rotor c
nhim t vnh cu v cc ca stator to ra do chiu dng in chy qua stator. Cc bc v
nam trn rotor nam chm vnh cu c t ha trc, v cc t ca stator c quy
nh ty theo chiu di chuyn ca dng in qua cc cc stator, v trn nguyn tc t
thng s hng t cc bc n cc nam.

- Trn hnh v chng ta thy cun dy 1a c cp in chy theo hng t trn xung
di, ngha l khi , cc pha trn s tr thnh cc bc v pha di l cc nam, cc bc
ca cun dy s ht cc nam ca rotor v lm cho rotor di chuyn, v sau chng ta s
cp in cho cun 2a, th cun bn tri s tr thnh cc bc s ht cc nam ca rotor lm
cho rotor xoay theo chiu kim ng h, ngc li nu chng ta cp in cho cun 2b th
ng c s quay ngc chiu kim ng h, v mi bc ng c STEP di chuyn 1 gc
30 . Ti mi thi im ch c mt na cun dy c in, hoc 1a hoc 1b hoc 2a hoc
2b v vy thc hin ht vng quay ng c phi di chuyn 1 bc.

- phng php iu khin th hai, th ti mi thi im 2 na cun dy s c cp

in, lm tng thm moment ng c, v do ng c s tiu hao nhiu cng sut hn.
hai phng php trn th mi bc ng c i chuyn 1 gc 30 (full step). V kt
hp hai phng php trn khi ng c di chuyn mi bc 15 (half step) v v vy
ng c s di chuyn 24 bc / vng.

- c c phn gii nh hn cho mi bc di chuyn th STEP cn phi tng thm

s cc rotor ca ng c STEP.
c. STEP lng cc.
- STEP lng cc bao gm 2 cun dy, v th trn thc t i vi loi STEP ny s c 4
dy ra. Khng ging vi ng c loi n cc, ti mi thi im dng in s i qua ton
b cun dy, nh vy moment sinh ra s ln hn nhiu so vi STEP n cc. Dng in
qua hai cun dy l hai chiu iu ny i hi cc ca ng c STEP phi c thay i.
Da vo hnh chng ta thy dng in chy t u 1b sang u 1a v dng in s chy
theo hng ngc li khi o chiu cp in. V vy iu khin c ng c loi
lng cc chng ta cn 2 mch cu H thay i cc tnh mi cun dy.

- Phng php iu khin ng c STEP loi lng cc:

- i vi phng php trn th ti mi thi im ch c 1 cun dy c cp in, khi

cng sut tiu th ca ng c thp. V phng php th 2 th 2 cun dy ng c
c cp in cng lc, khi moment ng c l cc i v cng sut tiu th ca ng
c lc ny cng ln. V kt hp hai phng php ny ng c STEP s di chuyn 1 gc
15 thay v 30 nh trn, tuy nhin khi moment do ng c sinh ra s khng u.
d. STEP hai dy song song:
- i vi loi STEP ny th chng ta hon ton c th u ni n tr thnh ng c
n cc hoc lng cc

- Chng ta s kt ni song song hai cun dy khi cn dng in hot ng ln, v kt

ni hai dy ni tip khi cn in p hot ng ln.

e. STEP lai.

- STEP lai l loi kt hp gia STEP t thng thay i v loi nam chm vnh cu. rotor
cho ng c STEP lai c nhiu rng , ging nh loi t thng thay i, cha li t ha
trn ng tm xoay quanh trc ca n. Rng ca rotor to ng dn gip nh hng
cho t thng u tin vo trong l khng kh. STEP lai c li ging nh STEP n cc
v lng cc.
3.2.3. La chn ng c bc.
- So snh ng c t tr thay i vi loi nam chm vnh cu v loi lai:
la chn ng c cho cc ng dng ta cn quan tm n loi ng c no s
dng ph hp cho ng dng ny, moment ca h thng nh th no, phc tp ca h
iu khin v cc i lng vt l ca ng c.
i vi ng c t thng thay i, loi ng c ny c li t s n gin ca ng
dng. N khng yu cu roto t thng vnh cu phc tp nn hot ng n nh hn rt
nhiu so vi loi nam chm vnh cu.
Tuy moment ca tt c cc loi ng c bc u gim khi vn tc tng, nhng
i vi STEP t tr thay i th s gim moment ny l hu nh khng ng k khi vn
tc tng, n c th t c vn tc 10000 bc/s, vi STEP nam chm vnh cu l 5000
bc/s (thng l 1000 bc/s). V vy STEP t tr thay i thng c s dng khng
cn hp gim tc, thng c ng dng trong cc my git.
Ngc li ng c STEP nam chm vnh cu v lai li to ra t ting n , trong khi
loi t tr thay i li to ra ting n kh ln.
Vi h thng iu khin thch hp: ng c STEP nam chm vnh cu v lai c
th iu khin vi bc ph thuc vo t s dng in cc cun dy.
- So snh ng c n cc vi lng cc:

ng c loi lng cc s c moment sinh ra nhiu hn 30% so vi loi n cc

c cng kch thc. Tuy nhin ng c loi lng cc li c mch iu khin phc tp
hn so vi loi n cc.
- So snh ng c lai v ng c nam chm vnh cu:
STEP size: Nam chm vnh cu:(3,6 - >7,5)
Lai
(0,9 - >3,6)
c phn gii nh hn ta c th s dng thm hp gim tc.
Moment: y l mt trong nhng vn quan trng khi la chn ng c bc
+ Moment gi: l moment cn thit xoay trc ng c khi cun dy c cp
in.
+ Moment ko: l moment sinh ra khi ng c xoay vn tc n nh, moment
ny chng li kh nng tng tc ca ng c m khng b trt bc.
+ Moment ko ra: moment ny c th lm cho ng c di chuyn khi ng c
ang hot ng.
+ Moment cht: l moment i hi xoay ng c khi cun dy ng c khng
cp in.
Tt c cc hm moment u l hm theo vn tc, da vo moment ny m ta c
th la chn ng c ph hp vi ti sao cho khng b trt bc. Khi b trt bc th
b iu khin khng th bit c v tr trc ng c u nu khng c b hi tip v
tr. Tt c cc loi moment ny c ghi li trong c tnh ng c do nh sn xut cung
cp.
Tui th: Khi la chn ng c, ta chn ng c ph hp vi moment cn ca ti,
chn ti lm vic c moment cn bng 40% - 60% moment ca ng c. Khi s dng
ng c trong mi trng m t, chng ta cn bo v ng c ng c hot ng
hiu qu, tng tui th ng c.
3.2.4. Mch iu khin ng c bc c bn
a. STEP t tr thay i:
Mch iu khin bao gm 3 mosfet iu khin ng m 3 cun dy. Khi mosfet chuyn
t trng thi ng sang trng thi m, s xut hin cc xung in p, c th lm hng
mosfet, v th chng ta cn lp thm diode bo v khi chuyn mch.

b. STEP n cc:
ng c loi ny cch iu khin cng hon ton tng t cch iu khin STEP t tr
thay i.

c. STEP lng cc.

ng c loi ny do c 2 cun dy v dng in qua 2 cun dy o chiu nn mch
iu khin ca n gm 2 cu H. Khi s dng cu H li ng c ta cn ch n hin
tng trng dn, ngha l 2 mosfet trn cng 1 nhnh u ng, lm cho dng in tng
nhanh, s nh hng mosfet. Hin nay c nhiu hng thit k IC cu H vi cng sut

tng i ph hp cho cc ng c loi va, nh hoc chng ta c th s dng module

PWM ca vi iu khin ph hp cho vic iu khin tc ng c v to khong thi
gian delay trnh trng dn.

d. iu khin vi bc (microstep) i vi loi lng cc v n cc:

i vi STEP di chuyn mt bc n hon ton, ngha l kch in p trc tip, cch
ny ch c p dng khi ng c lm vic vn tc thp, nhc im ln nht ca
phng php ny l moment ng c s b suy gim nghim trng do tnh cm ca cun
dy s to ra thi hng, lc cn c thi gian dng in qua cun dy t gi tr max.

Microstepping c s dng tng phn gii bc cho ng c v to ra s

chuyn i mn gia cc bc. Thng thng phng php Microstepping c p dng
trong cc h thng gii hn ting n v cc vn v cng hng.
Microstepping lm vic trn nguyn tc s gia tng dng in t cun dy ny qua
cun dy khc ca ng c bc. iu ny c th t c nh vo vic iu xung in
p cp vo cun dy ng c. T s iu xung trn cun dy ny gim th t s iu xung
trn cun dy kia li tng ln to ra s chuyn bc mn, khng to ra ting n.

3.3 Van kh nn
3.3.1. Ngun cp kh nn.
- Bao gm mt my nn kh, mt van p
sut, mt bnh cha

3.3.2. Cc k hiu dng trong van kh nn.

3.3.3. Nguyn l lm vic.

Ngun nng lng cung cp v truyn ng cho xilanh quay hoc chuyn ng thng l
dng kh nn p lc cao iu khin bng van in. Do ngun cung cp kh nn t c
lp vi c cu chuyn ng nn h s qun tnh ca h thng nh, tuy nhin cc thit b
kh nn hot ng vi p sut thng thng l 7-8 at nn t s P/W thp hn nhiu so vi
c cu thy lc. Khi cun dy ca van c in, van m v dng kh p lc cao i vo
xilanh. Khi van ng, piston phc hi v v tr ban u, van hi kh nn m
3.3.4. Kho st 1 s mch dng kh nn.

3.3.5 Van thy kh.

3.4 Cc loi my in
3.4.1 My bin p
a. nh ngha: Nhng thit b dng tng in p u ra ca my pht in, tc
u ng dy dn in v gim in p khi ti cc h tiu th, tc cui ng dy dn
in gi l my bin p.
My bin p l 1 thit b in t ng yn, lm vic trn nguyn l cm ng in t,
bin i 1 h thng dng in xoay chiu in p ny thnh 1 h thng dng in xoay
chiu in p khc, vi tn s khng thay i.
b. Nguyn l lm vic: Dy qun 1 c 1 vng dy v dy qun 2 c vng dy c qun
trn li thp 3. Khi t 1 in p xoay chiu u1 vo dy qun 1 , trong s c dng in
i1. Trong li thp s sinh ra t thng mc vng vi c 2 dy qun 1 v 2, cm ng ra
s.. e1 v e . Dy qun 2 s c s.. s sinh ra dng in i a ra ti vi in p l u
3.4.2 My in khng ng b
Kt cu gm cc b phn chnh sau:
a. Phn tnh (Stato): gm v, li st v dy qun
- V: c tc dng c nh li st v dy qun, khng dng lm mch dn t.
- Li st: l phn dn t, c lm t nhng l thp k thut in dy 0,5 mm ghp li.
- Dy qun: c t vo cc rnh ca li st v c cch in tt vi li st.

b. Phn ng (Roto):
- Li st: dng cc l thp k thut nh stato, pha ngoi ca l thp c s rnh qun
dy
- Roto v dy qun roto: Gm 2 loi chnh:
+ Kiu roto dy qun
+ Kiu roto lng sc
c. Khe h: Khe h trong my khng ng b rt nh hn ch dng in t ha ly t
li vo v nh vy mi c th lm cho h s cng sut ca my cao hn.
3.5 p in
a. nh ngha: Hin tng p in ( piezoelectric phenomena) l mt hin tng c
nh khong vt hc ngi Php cp u tin vo nm 1817, sau c anh em nh
Pierre v Jacques Curie chng minh v nghin cu thm vo nm 1880. Hin tng xy
ra nh sau: ngi ta tm c mt loi cht c tnh cht ha hc gn ging gm
(ceramic) v n c hai hiu ng thun v nghch nhng khi p vo n mt trng in th
n bin i hnh dng v ngc li khi dng lc c hc tc ng vo n th n to ra. N
nh mt my bin i trc tip t nng lng in sang nng lng c hc v ngc li.
Nu nh theo chiu hng thun, c ngha l tc dng lc ln vt th s sinh ra in v
ngc li l p in nghch : tc ng hiu th vo vt th s sinh ra cng bin dng lm
bin i lc. Mt vt c cu to bi ba yu t PZT ( ch Pb, zorconi, titan ) s c tnh
cht p in( VD: thch anh ).
b. ng dng: Ngy nay hin tng p in c ng dng rt rng ri trong k thut
phc v cho cuc sng hng ngy nh: my bt la, cm bin, my siu m, iu khin
gc quay nh gng phn x tia laser, cc thit b, ng c c kch thc nh, hin nay
ngi ta ang pht trin nhiu chng trnh nghin cu nh my bay bay p cnh nh
cn trng, c nhn to, cnh my bay bin i hnh dng, phng trit tiu m thanh, cc
cu trc thng minh, hu ht cc my in hin nay... mt trong nhng ng dng quan trng
hin nay trong k thut l dng lm ng c piezo
Cho n hin nay ngi ta tm ra c 2 loi vt liu piezo c bn l dng cc
(nh gm) ceramic v tm mng nh tm film.Cc phng php s dng tnh ton cho
loi vt liu ny nh cng c nghin cu khp ni trn th gii.
3.6 MEMS (Microelectromechanical Systems)
MEMS (vit tt ca cm t microelectromechanical systems, ngha l vi h thng c
in t) l thut ng thng dng ch cc h thng in t c th c thm cc b phn
chuyn ng c kch thc c micromet.
Cng ngh ch to cc MEMS l cng ngh s dng k thut ging nh k thut mch
tch hp (v d nh cc cng ngh quang khc, chm ion hi t,). Tuy nhin khng

ging nh linh kin IC c to ra t nhng lp cu trc 2D, sn phm ca cng ngh

MEMS l cc linh kin c cu trc khng gian 3 chiu thc s - gi l thit b MEMS.