()

.
,
.
, .
,
, ,
, X-,
.

.

. ,
.
,
.

-
.
,
-
.

- . 18.
(1) ,
. (2)

(3),
.
30 keV, 2 GeV. ,
(4) (5).

 (7) (6).
: , 1 A 1 pA ,
, 2 nm 2 m
10 -4 10 -2 sterad.

.
.

,
( 1 eV).
( 0 ) 0 180,
5.

:
Q ( 0 ) 1,62 10 20

Z2
ctg 2 0 ,
2
2
E

: Z - , - 0 -
.

, .
.

.
. .
.
.
.
0 - 50 eV.

.
,
. .
, -,
. -
.
. .


, , .
.

-. , ,
,
.
, . e

.
.
, . , .
1 nA
10C.

:
dE
Z 1.166Es keV
7.85 104
ln

dx
AEs
J
cm

: A - ( g/mol ), - ( g/cm 3 ), Es -
( keV ) J - ( keV ),
:
J (9.76Z 58.5Z .019 ) 103 keV

e
. (
), .
90 ,
, .

. 19. -
.

:

E 0

E E0

1
dE
dE / dx

E0

keV .

, .

: Rmax 0.0276 A

E01.67
.
Z 0.889

,
: R Rmax cos .

,
0
E0 . 20. I

40%
.
40% , II.
50 eV
( III).
.
.

.
30% .
90 .

.
,
.
,
( 10%) .

. 30%
.



.
,
,
.

, .
.
:
) ,
.
) .

,
.
, ,
. ,
.
,
.


, .
.
. 3 - 5 eV.

ns
n0 , :

ns is

n0 i0

is i0 .


,

.
.
,
.

z :

p ~ e z / ,

.
5
.
,

( I . 21.) ( II).
:

I II

, I II
. II I

,
, .
,
. 22.
,

 . -.
, ,
.
- .
,
.
,
.

, . , ,
,
.
- , ,
.

- .
(), ,
() .
.
. ,
20 keV, 0.3,
0.1 .

oo , ,
. .
300000x.

,
.
,
, 3D ,Y,Z 2
.
.
, ,
.
. .
. ,
, 30 150
. .
.
,
, . ,
.

, ,
. .

. ,
.
. ,
.
, , ,
, ,
.

 : ,
. , .
, , 4 (
, , ).
.
.

200 , .
.

-Ray ,
, , ,

. .
, .

, , .
x , . 190 . .
,
. .
,
, ,
.
:

1. - ,
, .
.
1 , .
2. ()

. -
.

.

.